WO2006120852A1 - 試験装置、診断プログラムおよび診断方法 - Google Patents

Abstract

　本発明は、各々の試験モジュールの診断に使用することのできる診断用パフォーマンスボードを定めた設定情報を、これまでより少ない作業負担で変更させることを目的とする。本発明に係る試験装置は、診断対象の試験モジュールの種類毎に当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラムを記憶し、それとは別個に、各々の対象診断プログラムによって診断対象試験モジュールを診断するためにテストヘッドに搭載されるべき診断用パフォーマンスボードの識別情報の組を、診断対象試験モジュールの種類毎に記憶する。診断用パフォーマンスボードがテストヘッドに搭載された場合に、その診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得し、その識別情報が、指定された診断対象試験モジュールの種類に対応付けて記憶している識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応する対象診断プログラムを実行する。

Description

明 細 書

試験装置、診断プログラムおよび診断方法

技術分野

[0001] 本発明は、試験装置、診断プログラムおよび診断方法に関する。特に、本発明は、 被試験デバイスを試験する試験モジュールを診断する試験装置、診断プログラムお よび診断方法に関する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については 、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とす る。

特願 2005— 139651 出願曰 2005年 5月 12曰

背景技術

[0002] メモリ、ロジック LSI、または SoC (System on Chip)等の DUT (Device Under

Test:被試験デバイス)を試験する試験装置は、 DUTとの間で信号を入出力する 複数の試験モジュールを搭載している。近年の試験装置には、互換性のある複数の 試験モジュールを搭載可能なスロットが設けられており、そのスロットに挿入する試験 モジュールを変更することで、様々な試験を行うことができる (非特許文献 1参照)。こ こで、各々の試験モジュールに障害が発生すると、入力信号や出力信号を正しく伝 達できなくなることから、被試験デバイスを適切に試験できな!/、。

[0003] このような障害に対応するために、試験モジュール毎にその試験モジュールを診断 するための診断プログラムが作成される。そして、試験装置は、その診断プログラムを 実行することにより、対応する試験モジュールを診断する診断機能を実現する。具体 的には、診断対象の試験モジュールの診断においては、当該試験モジュールが出 力した診断用信号を、他の試験モジュールに入力して期待値と比較し、他の試験モ ジュールが出力した診断用信号を当該試験モジュールに入力して期待値と比較する 等の入出力試験等を行う。

[0004] このような診断機能を実現するために、試験装置のテストヘッドには、 DUTを載置 するためのパフォーマンスボードに代えて、試験モジュールを診断するための診断用 パフォーマンスボードを搭載することができる。例えば、診断用パフォーマンスボード は、各々の試験モジュール力 DUTに対して出力されるべき信号を入力して、入力 したその信号を他の試験モジュールに対して出力することにより、これら試験モジュ ールの入出力機能を診断する。

非特許文献 1 : Semiconductor Test Consortium, "STC ANNOUNCES PUBLIC ACC ESS TO THE OPENSTAR(tm) SPECS", [online],平成 16年 12月 7日、 [平成 17年 3 月 16日検索]、インターネットく URL:http：〃 www.semitest.org/site/News/STC— Spec— Open— to— Public

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 試験モジュールを適切に診断するためには、試験モジュールに対して予め定めら れた入力信号等を適切なタイミングで入力しなければならない。このため、テストへッ ドに搭載すべき診断用パフォーマンスボードは、診断対象となる試験モジュールに対 応して適切に設計されていなければならない。従って、従来、診断処理を制御する診 断用プログラムは、テストヘッドに現在搭載されている診断用パフォーマンスボードの 種類を判別した上で、その種類の診断用パフォーマンスボードがその試験モジユー ルの診断に適して 、る場合にのみ、その試験モジュールを診断して 、た。

[0006] ある試験モジュールの診断には、その試験モジュールの診断専用に開発されたパ フォーマンスボードのみならず、その試験モジュールの改良版にっ 、て開発された 上位互換のパフォーマンスボードを用いることができる場合がある。し力しながら、そ の試験モジュールの診断専用のパフォーマンスボードと、上位互換のパフォーマンス ボードとは、種類が異なる。従って、従来の診断用プログラムは、上位互換のパフォ 一マンスボードを用いて試験モジュールを診断できなかった。また、上位互換のパフ オーマンスボードを用いた診断処理を可能とするためには、このようなパフォーマンス ボードが開発される毎に、診断用プログラムを作り直さなければならな力つた。

[0007] そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置、診断プログラムお よび診断方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項 に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な 具体例を規定する。 課題を解決するための手段

[0008] 上記課題を解決するために、本発明の第 1の形態においては、被試験デバイスを 試験する試験装置であって、試験信号を被試験デバイスに供給し、供給した試験信 号に応じて被試験デバイスが出力する出力信号を入力する複数の試験モジュールと 、被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードであって、載置した被試験デバィ スと複数の試験モジュールとを接続する試験用パフォーマンスボードを搭載するテス トヘッドと、複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備え、制御装置は、診断 の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、制御装置 により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラム を記憶する診断プログラム記憶部と、各々の対象診断プログラムによって診断対象試 験モジュールを診断するために試験用パフォーマンスボードに代えてテストヘッドに 搭載されるべき、互いに互換性のある少なくとも 1つの診断用パフォーマンスボードの 識別情報を、診断対象試験モジュールの種類毎に記録した互換情報ファイルを格納 するファイル格納部と、診断用パフォーマンスボードがテストヘッドに搭載された場合 に、搭載された診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する識別情報取得部 と、指定された診断対象試験モジュールの種類に対応付けて互換情報ファイルに記 録された識別情報のうち少なくとも 1つが、識別情報取得部により取得された識別情 報と一致することを条件として、当該種類に対応する対象診断プログラムを実行する 対象診断プログラム実行部とを有する試験装置を提供する。

[0009] また、ファイル格納部は、試験装置に搭載された複数の試験モジュールのそれぞ れの種類を記録したシステム構成ファイルを更に格納し、制御装置は、システム構成 ファイルを読み出して、当該試験装置に搭載されたそれぞれの試験モジュールの種 類を取得する種類取得部と、それぞれの試験モジュールを順次診断対象試験モジュ ールとし、当該診断対象試験モジュールの種類に応じた対象診断プログラムを順次 選択する対象診断プログラム選択部とを更に有し、対象診断プログラム実行部は、対 象診断プログラム選択部により選択された対象診断プログラムを、当該対象診断プロ グラムの種類に対応付けて記録された識別情報のうち少なくとも 1つが識別情報取得 部により取得された識別情報と一致することを条件として実行してもよい。 [0010] また、制御装置は、テストヘッドに何れかの診断用パフォーマンスボードが搭載され たことを検出する搭載検出部を更に有し、識別情報取得部は、搭載検出部によって 診断用パフォーマンスボードの搭載が検出されたことに応じて、当該診断用パフォー マンスボードの識別情報を取得してもよ 、。

また、制御装置は、複数の試験モジュールの各々を、互換情報ファイルにおいて当 該試験モジュールの種類に対応する識別情報の何れかが、識別情報取得部により 取得された識別情報と一致することを条件として、利用者によって選択可能に表示す る表示部と、表示部により表示された試験モジュールのうち利用者に指定された試験 モジュールを診断するための対象診断プログラムを選択する対象診断プログラム選 択部とを更に備え、対象診断プログラム実行部は、対象診断プログラム選択部によつ て選択された対象診断プログラムを実行してもよ 、。

[0011] また、表示部は、利用者によって指定された試験モジュールの種類に対応付けて 互換情報ファイルに記録された識別情報の何れもが、識別情報取得部により取得さ れた識別情報と一致しな ヽ場合に、互換情報ファイルに記録された当該識別情報を 、テストヘッドに搭載すべきパフォーマンスボードを示す情報として利用者に表示して ちょい。

[0012] 本発明の第 2の形態においては、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試 験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御装置と、被試験デバイスを 載置するパフォーマンスボードであって、載置した被試験デバイスと複数の試験モジ ユールとを接続する試験用パフォーマンスボードを搭載するテストヘッドとを備える試 験装置にぉ 、て、制御装置により試験モジュールを診断させる診断プログラムであつ て、制御装置を、診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュール の種類毎に、制御装置により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御さ せる対象診断プログラムを記憶する診断プログラム記憶部と、各々の対象診断プログ ラムによって診断対象試験モジュールを診断するために試験用パフォーマンスボー ドに代えてテストヘッドに搭載されるべき、互いに互換性のある少なくとも 1つの診断 用パフォーマンスボードの識別情報を、診断対象試験モジュールの種類毎に記録し た互換情報ファイルを格納するファイル格納部と、診断用パフォーマンスボードがテ ストヘッドに搭載された場合に、搭載された診断用パフォーマンスボードの識別情報 を取得する識別情報取得部と、指定された診断対象試験モジュールの種類に対応 付けて互換情報ファイルに記録された識別情報のうち少なくとも 1つが、識別情報取 得部により取得された識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応する対 象診断プログラムを実行する対象診断プログラム実行部として機能させる診断プログ ラムを提供する。

[0013] 本発明の第 3の形態においては、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試 験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御装置と、被試験デバイスを 載置するパフォーマンスボードであって、載置した被試験デバイスと複数の試験モジ ユールとを接続する試験用パフォーマンスボードを搭載するテストヘッドとを備える試 験装置において、制御装置により試験モジュールを診断させる診断方法であって、 制御装置は、診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種 類毎に、制御装置により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対 象診断プログラムを記憶する診断プログラム記憶部と、各々の対象診断プログラムに よって診断対象試験モジュールを診断するために試験用パフォーマンスボードに代 えてテストヘッドに搭載されるべき、互いに互換性のある少なくとも 1つの診断用パフ オーマンスボードの識別情報を、診断対象試験モジュールの種類毎に記録した互換 情報ファイルを格納するファイル格納部とを有し、診断用パフォーマンスボードがテス トヘッドに搭載された場合に、搭載された診断用パフォーマンスボードの識別情報を 取得する識別情報取得段階と、指定された診断対象試験モジュールの種類に対応 付けて互換情報ファイルに記録された識別情報のうち少なくとも 1つが、識別情報取 得段階において取得された識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応 する対象診断プログラムを実行する対象診断プログラム実行段階とを備える診断方 法を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなぐ これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

発明の効果

[0014] 本発明によれば、各々の試験モジュールの診断に使用することのできる診断用パ フォーマンスボードを定めた設定情報を、これまでより少な 、作業負担で変更できる 図面の簡単な説明

[0015] [図 1]図 1は、試験装置 10の全体構成を示す。

[図 2]図 2は、制御装置 40の機能を機能ブロックにより示す。

[図 3]図 3は、診断プログラム記憶部 200およびファイル格納部 210が格納する各種 データの第 1構成例を示す。

[図 4]図 4は、診断プログラム記憶部 200およびファイル格納部 210が格納する各種 データの第 2構成例を示す。

[図 5]図 5は、診断プログラム記憶部 200およびファイル格納部 210が格納する各種 データの第 3構成例を示す。

[図 6]図 6は、制御装置 40が試験モジュールを診断する処理の一例を示す。

[図 7]図 7は、制御装置 40が試験モジュールを診断する処理の他の例を示す。

[図 8]図 8は、制御装置 40として機能する情報処理装置 400のハードウェア構成の一 例を示す。

符号の説明

[0016] 10 試験装置

20 試験モジュール

30 テストヘッド

35 診断用パフォーマンスボード

37 試験用パフォーマンスボード

40 制御装置

50 被試験デバイス

200 診断プログラム記憶部

210 ファイル格納部

220 搭載検出部

230 識別情報取得部

240 表示部 250 種類取得部

260 対象診断プログラム選択部

270 対象診断プログラム実行部

300 対象診断プログラム

310 判別用サブプログラム

320 制御用サブプログラム

330 互換情報ファイル

340 互換情報ファイル

350- - 1〜N 対象診断プログラム

360 判別プログラム

370 システム構成ファイル

400 情報処理装置

発明を実施するための最良の形態

[0017] 以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の 範隨こかかる発明を限定するものではなぐまた実施形態の中で説明されている特 徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

[0018] 図 1は、試験装置 10の全体構成を示す。試験装置 10は、試験モジュール 20— 1 〜Nと、テストヘッド 30と、診断用パフォーマンスボード 35と、試験用パフォーマンス ボード 37と、制御装置 40とを備える。試験モジュール 20— 1〜Nの各々は、試験信 号を被試験デバイス 50 (DUT: Device Under Test)に供給し、供給した試験信 号に応じて被試験デバイス 50が出力する出力信号を入力する。テストヘッド 30は、 被試験デバイス 50を載置するパフォーマンスボードである試験用パフォーマンスボ ード 37を搭載する。そして、試験用パフォーマンスボード 37は、テストヘッド 30に搭 載された場合に、載置した被試験デバイス 50と試験モジュール 20— 1〜Nとを接続 する。

[0019] 一方、診断用パフォーマンスボード 35は、試験モジュール 20— 1〜Nの少なくとも 1 つの良否を診断するために試験用パフォーマンスボード 37に代えてテストヘッド 30 に搭載されるべきパフォーマンスボードである。診断用パフォーマンスボード 35は、 被試験デバイス 50の良否を判断するためには用いられな 、ので、被試験デバイス 5 0を載置しなくてもよい。制御装置 40は、試験用パフォーマンスボード 37が搭載され ている場合においては、被試験デバイス 50の良否を判定し、診断用パフォーマンス ボード 35が搭載されている場合においては、試験モジュール 20—1〜Nの良否を診 断する。

[0020] なお、本図における試験装置 10は、例えば、試験制御用のホストコンピュータ、お よび、被試験デバイス 50との間で試験信号を入出力する試験ユニットから構成され てもよい。この場合、例えば、制御装置 40は、ホストコンピュータによって実現され、 試験モジュール 20— 1〜Nおよびテストヘッド 30は、試験ユニットに設けられる。これ に代えて、試験モジュール 20— 1〜Nの各々の少なくとも一部の機能力 ホストコン ピュータによって実現されてもよい。

[0021] 本実施例に係る試験装置 10は、通常動作において被試験デバイス 50を試験する ために用いられる試験モジュール 20— 1〜Nについて、その試験動作が正常である か否かを診断することを目的とする。以降、テストヘッド 30に診断用パフォーマンスボ ード 35が搭載された場合の制御を説明する。

[0022] 図 2は、制御装置 40の機能を機能ブロックにより示す。制御装置 40は、診断プログ ラム記憶部 200と、ファイル格納部 210と、搭載検出部 220と、識別情報取得部 230 と、表示部 240と、種類取得部 250と、対象診断プログラム選択部 260と、対象診断 プログラム実行部 270とを有する。診断プログラム記憶部 200は、診断の対象となる 試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、制御装置 40によりその 種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラムを記憶する

[0023] ファイル格納部 210は、診断用パフォーマンスボードの互換性に関する情報を記録 している互換情報ファイルを格納する。より詳細には、互換情報ファイルは、各々の 対象診断プログラムによって診断対象試験モジュールを診断するために試験用パフ オーマンスボード 37に代えてテストヘッド 30に搭載されるべき、互いに互換性のある 少なくとも 1つの診断用パフォーマンスボードの識別情報を、診断対象試験モジユー ルの種類毎に記録している。また、ファイル格納部 210は、制御装置 40に搭載され た試験モジュール 20— 1〜Nのそれぞれの種類を記録したシステム構成ファイルを 更に格納する。

[0024] 搭載検出部 220は、テストヘッド 30に何れかの診断用パフォーマンスボードが搭載 されたことを検出する。そして、識別情報取得部 230は、搭載検出部 220によって診 断用パフォーマンスボードの搭載が検出されたことに応じて、その診断用パフォーマ ンスボードの識別情報を取得する。これに代えて、識別情報取得部 230は、診断用 パフォーマンスボードの搭載に関わらず、利用者力 の指示に応じて識別情報を取 得してもよい。表示部 240は、識別情報取得部 230によって取得された識別情報に 基づ 、て、システム構成ファイル中に記録された試験モジュールのうち診断可能な試 験モジュールを、利用者によって選択可能に表示する。

[0025] 種類取得部 250は、システム構成ファイルをファイル格納部 210から読み出して、 制御装置 40に搭載された試験モジュール 20— 1〜Nの種類を取得する。対象診断 プログラム選択部 260は、全ての試験モジュールを診断する旨の指示を受けた場合 においては、試験モジュール 20— 1〜Nのそれぞれを順次診断対象試験モジユー ルとし、その診断対象試験モジュールの種類に応じた対象診断プログラムを順次選 択する。一方で、対象診断プログラム選択部 260は、特定の試験モジュールを診断 対象として指定する指示を受けた場合にお！、ては、その試験モジュールの種類に応 じた対象診断プログラムを選択する。この場合、表示部 240は、選択されたその対象 診断プログラムを、搭載されて 、る診断用パフォーマンスボード 35が搭載されて 、る 状態にお ヽては実行できな 、ことを条件として、搭載すべき他のパフォーマンスボー ドを示す情報を利用者に対して表示してもよ 、。

[0026] 対象診断プログラム実行部 270は、指定された診断対象試験モジュールの種類に 対応付けて記録されたパフォーマンスボードの識別情報を、互換情報ファイル力ゝら取 得する。そして、対象診断プログラム実行部 270は、取得した識別情報のうち少なくと も 1つが、識別情報取得部 230により取得された識別情報と一致することを条件とし て、対象診断プログラム選択部 260により選択された対象診断プログラムを実行する

[0027] 図 3は、診断プログラム記憶部 200およびファイル格納部 210が格納する各種デー タの第 1構成例を示す。診断プログラム記憶部 200は、試験モジュール 20— 1の種 類に対応して当該種類の試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラム 3 00— 1と、試験モジュール 20— 2の種類に対応して当該種類の試験モジュールの診 断を制御させる対象診断プログラム 300— 2とを格納する。対象診断プログラム 300 1は、判別用サブプログラム 310—1と、制御用サブプログラム 320—1とを含み、 対象診断プログラム 300— 2は、判別用サブプログラム 310— 2と、制御用サブプログ ラム 320— 2とを含む。判別用サブプログラム 310—1、制御用サブプログラム 320— 1、判別用サブプログラム 310— 2、および制御用サブプログラム 320— 2の各々は、 対象診断プログラム選択部 260によって読み出されて実行され、対象診断プログラム 実行部 270により実行される。

[0028] また、ファイル格納部 210は、パフォーマンスボードの互換性に関する情報を記録 した互換情報ファイル 330— 1および互換情報ファイル 330— 2と、制御装置 40に搭 載されている試験モジュールの種類を記録したシステム構成ファイル 370とを格納す る。互換情報ファイル 330—1は、試験モジュール 20—1の種類であるモジュールタ ィプ 1に対応して設けられる。そして、互換情報ファイル 330— 1は、モジュールタイプ 1の試験モジュールを診断するためにテストヘッド 30に搭載されるべきパフオーマン スボード (PB)の識別情報 (ID)として、 Aおよび Bを記録する。互換情報ファイル 330 2は、試験モジュール 20— 2の種類であるモジュールタイプ 2に対応して設けられ る。互換情報ファイル 330— 2は、モジュールタイプ 2の試験モジュールを診断するた めにテストヘッド 30に搭載されるべきパフォーマンスボード (PB)の識別情報 (ID)と して、 Bを記録する。

[0029] 判別用サブプログラム 310— 1の制御に基づき、対象診断プログラム実行部 270は 、互換情報ファイル 330— 1に記録された識別情報のうち少なくとも 1つが、識別情報 取得部 230により取得された識別情報と一致するか否かを判断する。一致する場合 には、制御用サブプログラム 320— 1の制御に基づき、対象診断プログラム実行部 2 70は、試験モジュール 20— 1を診断するための制御信号を試験モジュール 20— 1 に対して送信する。即ち、識別情報取得部 230により取得された識別情報が Aまた は Bであれば、対象診断プログラム実行部 270は試験モジュール 20— 1の診断を開 始できる。

[0030] 同様に、判別用サブプログラム 310— 2の制御に基づき、対象診断プログラム実行 部 270は、互換情報ファイル 330— 2に記録された識別情報のうち少なくとも 1つが、 識別情報取得部 230により取得された識別情報と一致するか否かを判断する。一致 する場合には、制御用サブプログラム 320— 2の制御に基づき、対象診断プログラム 実行部 270は、試験モジュール 20— 2を診断するための制御信号を試験モジュール 20— 2に送信する。即ち、識別情報取得部 230により取得された識別情報が Bであ れば、対象診断プログラム実行部 270は試験モジュール 20 - 2の診断を開始できる

[0031] このように、本図に説明した構成によれば、互換情報ファイルと対象診断プログラム とを別個のファイルとして記録することができるので、診断用パフォーマンスボードの 互換性に関する情報の更新に係る作業負担を軽減することができる。

[0032] また、システム構成ファイル 370は、制御装置 40に搭載された複数の試験モジユー ルのそれぞれの種類を記録している。例えば本図の例では、システム構成ファイル 3 70は、制御装置 40に搭載されて ヽる試験モジュールの種類に対応付けて数値の 1 を記録し、制御装置 40に搭載されて 、な 、試験モジュールの種類に対応付けて数 値の 0を記録している。即ち、モジュールタイプ 1および 2の試験モジュールは制御装 置 40に搭載されており、モジュールタイプ 3の試験モジュールは制御装置 40に搭載 されていない。

これにより、搭載されている試験モジュールの種類を容易に判別することができる。

[0033] 図 4は、診断プログラム記憶部 200およびファイル格納部 210が格納する各種デー タの第 2構成例を示す。本例における診断プログラム記憶部 200は、図 3の第 1構成 例と同様に、対象診断プログラム 300— 1と、対象診断プログラム 300— 2とを格納す る。対象診断プログラム 300— 1および対象診断プログラム 300— 2の構成および機 能は図 3において既に説明したので本例における説明を省略する。一方で、ファイル 格納部 210は、図 3の互換情報ファイル 330— 1および互換情報ファイル 330— 2に 代えて互換情報ファイル 340を格納する。

[0034] 互換情報ファイル 340は、単一のファイル内で、モジュールタイプ 1の試験モジユー ルを診断するためにテストヘッド 30に搭載されるべきパフォーマンスボードの ID、お よび、モジュールタイプ 2の試験モジュールを診断するためにテストヘッド 30に搭載さ れるべきパフォーマンスボードの IDの双方を記録する。このような構成であれば、単 一のファイルに対する編集作業のみによって、診断用パフォーマンスボードの互換性 に関する情報を更新できる。

[0035] 図 5は、診断プログラム記憶部 200およびファイル格納部 210が格納する各種デー タの第 3構成例を示す。本例におけるファイル格納部 210は、図 3の第 1構成例と同 様に、互換情報ファイル 330— 1、互換情報ファイル 330— 2およびシステム構成ファ ィル 370を格納する。互換情報ファイル 330— 1、互換情報ファイル 330— 2およびシ ステム構成ファイル 370の構成は、図 3で既に説明したので、本例における説明を省 略する。一方で、診断プログラム記憶部 200は、図 3の第 1構成例と異なり、対象診断 プログラム 350— 1と、対象診断プログラム 350— 2と、判別プログラム 360とを、それ ぞれ別個のファイルとして格納する。

[0036] 判別プログラム 360の制御に基づき、対象診断プログラム実行部 270は、互換情報 ファイル 330— 1に記録された識別情報のうち少なくとも 1つが、識別情報取得部 23 0により取得された識別情報と一致するか否かを判断する。また、判別プログラム 360 の制御に基づき、対象診断プログラム実行部 270は、互換情報ファイル 330— 2に記 録された識別情報のうち少なくとも 1つが、識別情報取得部 230により取得された識 別情報と一致するか否かを判断する。各々の判断結果は、対象診断プログラム 350 —1および対象診断プログラム 350— 2に送られる。

[0037] 対象診断プログラム 350— 1の制御に基づいて、対象診断プログラム実行部 270は 、試験モジュール 20— 1を診断するための制御信号を試験モジュール 20— 1に対し て送信する。また、対象診断プログラム 350— 2の制御に基づいて、対象診断プログ ラム実行部 270は、試験モジュール 20— 2を診断するための制御信号を試験モジュ ール 20— 2に対して送信する。このように、本構成例においては、パフォーマンスボ ードの互換性を判別するプログラムは、各々の対象診断プログラムに共通のプロダラ ムモジュールとして共通化されている。この構成例によれば、試験モジュールの診断 処理を改変 ·修正する場合においては互換性の判別機能に影響を与えることなく作 業することができ、互換性の判別機能を改変 ·修正する場合においては試験モジュ ールの診断処理に影響を与えることなく作業することができる。

[0038] 図 6は、制御装置 40が試験モジュールを診断する処理の一例を示す。試験装置 1 0に搭載されて ヽる全ての試験モジュールを順次診断する指示を受けた場合に（S6 00 : YES)、識別情報取得部 230は、診断用パフォーマンスボード 35の識別情報を 取得する（S610)。そして、種類取得部 250は、システム構成ファイル 370を読み出 して（S620)、試験装置 10に搭載された試験モジュール 20— 1〜Nの種類を取得す る（S630)。対象診断プログラム選択部 260は、試験モジュール 20— 1〜Nの各々を 診断対象試験モジュールとして順次指定し、その診断対象試験モジュールの種類に 応じた対象診断プログラムを選択する（S640)。各々の試験モジュールに対応する 対象診断プログラムは、予め定められていてもよいし、ファイル格納部 210に更に格 納された他の設定ファイルによって定められてもよい。

[0039] 対象診断プログラム実行部 270は、指定されたその診断対象試験モジュールの種 類に対応付けて互換情報ファイル 330—1等に記録された識別情報の少なくとも 1つ 力 識別情報取得部 230により取得された識別情報と一致することを条件として (S6 50： YES)、選択されたその対象診断プログラムを実行する（S660)。システム構成 ファイル 370に記録された試験モジュールのうち、未だ診断処理の対象として選択さ れて ヽな 、試験モジュールが残って ヽれば（S670： YES)、全ての試験モジュール を順次選択するべく処理を S640に戻す。

[0040] 一方で、試験装置 10に搭載された複数の試験モジュールの全てについて、診断 処理の対象として既に選択したならば（S670 : NO)、制御装置 40は、本図の処理を 終了する。

以上、本図の処理によれば、制御装置 40は、試験装置 10に搭載された全ての試 験モジュールの中から、テストヘッド 30に現在搭載されているパフォーマンスボード を用いて診断可能な試験モジュールのみを自動的に選択して、診断処理を実行す ることがでさる。

[0041] 図 7は、制御装置 40が試験モジュールを診断する処理の他の例を示す。搭載検出 部 220によって診断用パフォーマンスボードの搭載が検出されたことに応じて（S700 ： YES)、識別情報取得部 230は、その診断用パフォーマンスボードの識別情報を取 得する（S710)。そして、表示部 240は、試験装置 10に搭載された複数の試験モジ ユールの各々を、システム構成ファイル 370においてその試験モジュールの種類に 対応する識別情報の何れかが、識別情報取得部 230により取得された識別情報と一 致することを条件として利用者に表示する（S720)。例えば、表示部 240は、上記条 件を満たす各試験モジュールの IDを、利用者によって選択可能なようにチェックボッ タスに対応付けて画面上に一覧表示する。これに加えて、表示部 240は、上記条件 を満たさな 、各試験モジュールの IDを、グレーアウト (選択不能である旨を示すダレ 一の文字による表示演出）して表示してもよ!/、。

[0042] 対象診断プログラム選択部 260は、表示部 240により表示された試験モジュールの うち利用者に指定された試験モジュールを診断対象試験モジュールとし、その診断 対象試験モジュールを診断するための対象診断プログラムを選択する（S730)。対 象診断プログラム実行部 270は、診断対象試験モジュールの種類に対応付けて互 換情報ファイルに記録された識別情報のうち少なくとも 1つが、識別情報取得部 230 により取得された識別情報と一致することを条件として (S740： YES)、選択された対 象診断プログラムを実行する（S750)。

[0043] 一方で、利用者によって指定された上記試験モジュールの種類に対応付けて互換 情報ファイル 330— 1等に記録された識別情報の何れもが、識別情報取得部 230に より取得された識別情報と一致しない場合に（S740 : NO)、表示部 240は、指定さ れた試験モジュールの種類に対応して記録された識別情報を互換情報ファイル 330 —1等力も読み出して、それらのうち少なくとも何れか 1つを、テストヘッド 30に搭載す べきパフォーマンスボードを示す情報として利用者に表示する（S760)。

[0044] 図 8は、制御装置 40を構成するホストコンピュータとして機能する情報処理装置 40 0のハードウェア構成の一例を示す。情報処理装置 400は、ホストコントローラ 1082 により相互に接続される CPU1000、 RAM1020、及びグラフィックコントローラ 1075 を有する CPU周辺部と、入出力コントローラ 1084によりホストコントローラ 1082に接 続される通信インターフェイス 1030、ハードディスクドライブ 1040、及び CD— ROM ドライブ 1060を有する入出力部と、入出力コントローラ 1084に接続される ROM101 0、フレキシブルディスクドライブ 1050、及び入出力チップ 1070を有するレガシー入 出力部とを備える。

[0045] ホストコントローラ 1082は、 RAM1020と、高い転送レートで RAM1020をアクセス する CPU1000及びグラフィックコントローラ 1075とを接続する。 CPU1000は、 RO M1010及び RAM1020に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を 行う。グラフィックコントローラ 1075は、 CPU1000等が RAM1020内に設けたフレ ームバッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置 1080上に表示させる。こ れに代えて、グラフィックコントローラ 1075は、 CPU1000等が生成する画像データ を格納するフレームバッファを、内部に含んでもよい。

[0046] 入出力コントローラ 1084は、ホストコントローラ 1082と、比較的高速な入出力装置 である通信インターフェイス 1030、ハードディスクドライブ 1040、及び CD— ROMド ライブ 1060を接続する。通信インターフェイス 1030は、ネットワークを介して外部の 装置と通信する。ハードディスクドライブ 1040は、情報処理装置 400が使用するプロ グラム及びデータを格納する。 CD— ROMドライブ 1060は、 CD—ROM1095から プログラム又はデータを読み取り、 RAM1020又はハードディスクドライブ 1040に提 供する。

[0047] また、入出力コントローラ 1084には、 ROM1010と、フレキシブルディスクドライブ 1 050や入出力チップ 1070等の比較的低速な入出力装置とが接続される。 ROM10 10は、情報処理装置 400の起動時に CPU1000が実行するブートプログラムや、情 報処理装置 400のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルデ イスクドライブ 1050は、フレキシブルディスク 1090からプログラム又はデータを読み 取り、入出力チップ 1070を介して RAM1020またはハードディスクドライブ 1040に 提供する。入出力チップ 1070は、フレキシブルディスク 1090や、例えばパラレルポ ート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して各種の入出力装置を 接続する。

[0048] また、情報処理装置 400には、制御装置 40により試験モジュール 20— 1〜Nを診 断させる診断プログラムが提供される。診断プログラムは、対象診断プログラム 300— 1〜2、対象診断プログラム 350— 1〜2、および判別プログラム 360を含む。これらの プログラムは、フレキシブルディスク 1090、 CD— ROM1095、又は ICカード等の記 録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、入出力チップ 1070 及び/又は入出力コントローラ 1084を介して、記録媒体力も読み出され情報処理装 置 400にインストールされて実行される。プログラムが情報処理装置 400等に働きか けて行わせる動作は、図 1から図 7において説明した制御装置 40における動作と同 一であるから、説明を省略する。

[0049] 以上に示したプログラムは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体として は、フレキシブルディスク 1090、 CD— ROM1095の他に、 DVDや PD等の光学記 録媒体、 MD等の光磁気記録媒体、テープ媒体、 ICカード等の半導体メモリ等を用 いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシ ステムに設けたノヽードディスク又は RAM等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネ ットワークを介してプログラムを情報処理装置 400に提供してもよい。

[0050] 以上、本実施例における試験装置 10は、パフォーマンスボードの互換性を示す情 報を、試験モジュールの診断処理を行うプログラムとは別個のファイルとして記録する 。これにより、新たに開発された診断用パフォーマンスボードを、既に存在する試験 モジュールの試験に使用できるように設定変更するために作業負担を軽減すること ができる。

[0051] 以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実 施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または 改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改 良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から 明らかである。

Claims

請求の範囲

[1] 被試験デバイスを試験する試験装置であって、

試験信号を前記被試験デバイスに供給し、供給した前記試験信号に応じて前記被 試験デバイスが出力する出力信号を入力する複数の試験モジュールと、

前記被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードであって、載置した前記被試 験デバイスと前記複数の試験モジュールとを接続する試験用パフォーマンスボードを 搭載するテストヘッドと、

前記複数の試験モジュールを制御する制御装置と

を備え、

前記制御装置は、

診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、前 記制御装置により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診 断プログラムを記憶する診断プログラム記憶部と、

各々の対象診断プログラムによって前記診断対象試験モジュールを診断するため に前記試験用パフォーマンスボードに代えて前記テストヘッドに搭載されるべき、互 いに互換性のある少なくとも 1つの診断用パフォーマンスボードの識別情報を、診断 対象試験モジュールの種類毎に記録した互換情報ファイルを格納するファイル格納 部と、

前記診断用パフォーマンスボードが前記テストヘッドに搭載された場合に、搭載さ れた前記診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する識別情報取得部と、 指定された前記診断対象試験モジュールの種類に対応付けて前記互換情報ファ ィルに記録された識別情報のうち少なくとも 1つが、前記識別情報取得部により取得 された識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応する前記対象診断プ ログラムを実行する対象診断プログラム実行部と

を有する試験装置。

[2] 前記ファイル格納部は、前記試験装置に搭載された前記複数の試験モジュールの それぞれの種類を記録したシステム構成ファイルを更に格納し、

前記制御装置は、 前記システム構成ファイルを読み出して、当該試験装置に搭載されたそれぞれの 前記試験モジュールの種類を取得する種類取得部と、

それぞれの前記試験モジュールを順次前記診断対象試験モジュールとし、当該診 断対象試験モジュールの種類に応じた前記対象診断プログラムを順次選択する対 象診断プログラム選択部と

を更に有し、

前記対象診断プログラム実行部は、前記対象診断プログラム選択部により選択され た前記対象診断プログラムを、当該対象診断プログラムの種類に対応付けて記録さ れた前記識別情報のうち少なくとも 1つが前記識別情報取得部により取得された識別 情報と一致することを条件として実行する

請求項 1に記載の試験装置。

[3] 前記制御装置は、

前記テストヘッドに何れかの前記診断用パフォーマンスボードが搭載されたことを 検出する搭載検出部を更に有し、

前記識別情報取得部は、前記搭載検出部によって前記診断用パフォーマンスボー ドの搭載が検出されたことに応じて、当該診断用パフォーマンスボードの識別情報を 取得する

請求項 1に記載の試験装置。

[4] 前記制御装置は、

前記複数の試験モジュールの各々を、前記互換情報ファイルにおいて当該試験モ ジュールの種類に対応する識別情報の何れかが、前記識別情報取得部により取得 された識別情報と一致することを条件として、利用者によって選択可能に表示する表 示部と、

前記表示部により表示された試験モジュールのうち利用者に指定された試験モジ ユールを診断するための対象診断プログラムを選択する対象診断プログラム選択部 と

を更に備え、

前記対象診断プログラム実行部は、前記対象診断プログラム選択部によって選択 された対象診断プログラムを実行する

請求項 1に記載の試験装置。

[5] 前記表示部は、利用者によって指定された前記試験モジュールの種類に対応付け て前記互換情報ファイルに記録された識別情報の何れもが、前記識別情報取得部 により取得された識別情報と一致しな ヽ場合に、前記互換情報ファイルに記録された 当該識別情報を、前記テストヘッドに搭載すべきパフォーマンスボードを示す情報と して利用者に表示する

請求項 4に記載の試験装置。

[6] 試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験 モジュールを制御する制御装置と、前記被試験デバイスを載置するパフォーマンス ボードであって、載置した前記被試験デバイスと前記複数の試験モジュールとを接続 する試験用パフォーマンスボードを搭載するテストヘッドとを備える試験装置におい て、前記制御装置により前記試験モジュールを診断させる診断プログラムであって、 前記制御装置を、

診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、前 記制御装置により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診 断プログラムを記憶する診断プログラム記憶部と、

各々の対象診断プログラムによって前記診断対象試験モジュールを診断するため に前記試験用パフォーマンスボードに代えて前記テストヘッドに搭載されるべき、互 いに互換性のある少なくとも 1つの診断用パフォーマンスボードの識別情報を、診断 対象試験モジュールの種類毎に記録した互換情報ファイルを格納するファイル格納 部と、

前記診断用パフォーマンスボードが前記テストヘッドに搭載された場合に、搭載さ れた前記診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する識別情報取得部と、 指定された前記診断対象試験モジュールの種類に対応付けて前記互換情報ファ ィルに記録された識別情報のうち少なくとも 1つが、前記識別情報取得部により取得 された識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応する前記対象診断プ ログラムを実行する対象診断プログラム実行部と して機能させる診断プログラム。

[7] 請求項 6に記載の診断プログラムを記録した記録媒体。

[8] 試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験 モジュールを制御する制御装置と、前記被試験デバイスを載置するパフォーマンス ボードであって、載置した前記被試験デバイスと前記複数の試験モジュールとを接続 する試験用パフォーマンスボードを搭載するテストヘッドとを備える試験装置におい て、前記制御装置により前記試験モジュールを診断させる診断方法であって、 前記制御装置は、

診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、前 記制御装置により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診 断プログラムを記憶する診断プログラム記憶部と、

各々の対象診断プログラムによって前記診断対象試験モジュールを診断するため に前記試験用パフォーマンスボードに代えて前記テストヘッドに搭載されるべき、互 いに互換性のある少なくとも 1つの診断用パフォーマンスボードの識別情報を、診断 対象試験モジュールの種類毎に記録した互換情報ファイルを格納するファイル格納 部と

を有し、

前記診断用パフォーマンスボードが前記テストヘッドに搭載された場合に、搭載さ れた前記診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する識別情報取得段階と、 指定された前記診断対象試験モジュールの種類に対応付けて前記互換情報ファ ィルに記録された識別情報のうち少なくとも 1つが、前記識別情報取得段階において 取得された識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応する前記対象診 断プログラムを実行する対象診断プログラム実行段階と

を備える診断方法。