JP5153774B2 - 試験装置、プログラム、および、記録媒体 - Google Patents

Description

本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置、試験装置を機能させるプログラム、および、プログラムを記録した記録媒体に関する。特に本発明は、複数の試験モジュールを用いて被試験デバイスを試験する試験装置に関する。

従来、複数の試験モジュールを用いて、半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。これらの試験モジュールは、入出力のインターフェースに互換性を有している。試験装置は、各試験モジュールを、他の試験モジュールと交換可能に保持する複数のスロットを有する。このような構成で、試験装置は多様な試験モジュールを用いて被試験デバイスを試験する。

また、試験装置は、これらの試験モジュールが正常に動作できるか否かを診断する診断機能を有する。例えば、それぞれの試験モジュールの出力信号を、ループバックして当該試験モジュールに入力して測定する試験、または、他の試験モジュールに入力して測定する試験等が考えられる。

各試験モジュールを交換可能に保持する試験装置においては、各スロットに挿入される試験モジュールは一定ではない。また、試験モジュールの種類毎に、実行すべき診断内容が異なる。このため試験装置は、各スロットにどのような試験モジュールが挿入されているかを示す構成ファイルを参照して、それぞれの試験モジュールに応じた診断を行う。

図７は、複数の試験モジュールの診断動作を説明する図である。図７における試験装置は、試験モジュールＡから試験モジュールＦまでを診断する。試験装置のＣＰＵは、試験モジュールＡに対してどのような診断を行うべきかを構成ファイルに基づいて判定する。またＣＰＵは、判定した診断内容に応じた診断データを、試験モジュールＡに設定する（処理１０２）。

試験装置のＣＰＵは、試験モジュールＡに対して診断データを設定した後に、試験モジュールＡに対して自己診断を実行すべき命令を供給する（処理１０４）。また、試験装置のＣＰＵは、試験モジュールＡにおける自己診断が終了した後に、自己診断結果を解析する（処理１０６）。ＣＰＵは、このような処理１０２〜処理１０６を、試験モジュール毎に順次実行することで、全ての試験モジュールに自己診断の処理を実行させる。
特開２００６−３１７２５６号公報

しかし、上述した自己診断の処理では、各試験モジュールの自己診断を順番に行うので、全ての試験モジュールの自己診断が終了するまでに時間がかかってしまう。特に、多数の試験モジュールを試験装置に設けたときに、当該課題は顕著となる。

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置、プログラム、および、記録媒体を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスと信号を受け渡すことで、被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御部とを備え、それぞれの試験モジュールは、被試験デバイスと信号を受け渡す試験部と、与えられる診断データに基づいて、試験部の動作を診断する自己診断部とを有し、制御部は、同一の診断データを設定する自己診断部には、並行して診断データを供給し、異なる診断データを設定する自己診断部には、順次診断データを供給する試験装置を提供する。

本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムであって、試験装置を、被試験デバイスと信号を受け渡すことで、被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御部として機能させ、それぞれの試験モジュールを、被試験デバイスと信号を受け渡す試験部と、与えられる診断データに基づいて、試験部の動作を診断する自己診断部として機能させ、制御部に、同一の診断データを設定する自己診断部には、並行して診断データを供給させ、異なる診断データを設定する自己診断部には、順次診断データを供給させるプログラムを提供する。本発明の第３の形態においては、上述したプログラムを記録した記録媒体を提供する。

なお、上記の発明の概要は、発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

一つの実施形態に係る試験装置１００の構成例を示す図である。 試験モジュール４０の機能構成例を示す図である。 複数の試験モジュール４０を診断する場合の、試験装置１００の動作例を説明する図である。 制御部２０の機能構成例を示す図である。 複数の試験モジュール４０を診断する場合の、試験装置１００の他の動作例を説明する図である。 コンピュータ１９００の構成例を示す図である。 複数の試験モジュールの診断動作を説明する図である。

符号の説明

１０・・・情報格納部、１２・・・バス配線、２０・・・制御部、２２・・・グループ抽出部、２４・・・命令供給部、２６・・・診断データ供給部、４０・・・試験モジュール、４２・・・試験部、４４・・・自己診断部、４６・・・設定メモリ、１００・・・試験装置、２００・・・被試験デバイス、１９００・・・コンピュータ、２０００・・・ＣＰＵ、２０１０・・・ＲＯＭ、２０２０・・・ＲＡＭ、２０３０・・・通信インターフェース、２０４０・・・ハードディスクドライブ、２０５０・・・フレキシブルディスク・ドライブ、２０６０・・・ＣＤ−ＲＯＭドライブ、２０７０・・・入出力チップ、２０７５・・・グラフィック・コントローラ、２０８０・・・表示装置、２０８２・・・ホスト・コントローラ、２０８４・・・入出力コントローラ、２０９０・・・フレキシブルディスク、２０９５・・・ＣＤ−ＲＯＭ

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、一つの実施形態に係る試験装置１００の構成例を示す図である。試験装置１００は、半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する。試験装置１００は、情報格納部１０、バス配線１２、制御部２０、および、複数の試験モジュール４０を有する。

それぞれの試験モジュール４０は、試験装置１００に設けられるスロットに挿入される。当該スロットに挿入された試験モジュール４０は、被試験デバイス２００と信号を受け渡すことで、被試験デバイス２００を試験する。

また、それぞれの試験モジュール４０は異なる機能を有してよい。例えば、ある試験モジュール４０は、被試験デバイス２００に所定の論理パターンを有する試験信号を供給する機能を有しており、他の試験モジュール４０は、被試験デバイス２００に動作クロック、電源電力等を供給する機能を有してよい。試験装置１００は、これらの複数の試験モジュール４０を並行して動作させることで、被試験デバイス２００を試験する。

なお、試験装置１００は、一つの被試験デバイス２００を試験してよい。この場合、それぞれの試験モジュール４０は、被試験デバイス２００の対応するピンと電気的に接続される。また試験装置１００は、複数の被試験デバイス２００を並行して試験してよい。この場合、それぞれの試験モジュール４０は、対応する被試験デバイス２００の対応するピンと電気的に接続される。

制御部２０は、ＣＰＵを有しており、バス配線１２を介してそれぞれの試験モジュール４０を制御する。例えば制御部２０は、それぞれの試験モジュール４０を、予め定められた試験プログラムに応じて制御してよい。

情報格納部１０は、試験装置１００の各スロットに、どのような機能を有する試験モジュール４０が挿入されているかを示すモジュール情報を格納する。情報格納部１０は、各スロットに対して、挿入されている試験モジュールの識別情報、被試験デバイス２００の試験する場合において当該試験モジュールに供給すべき制御データ等を示す情報、当該試験モジュールの自己診断に用いるべき診断データを示す情報等を記録してよい。

なお、モジュール情報は、試験モジュール４０が交換される毎に、使用者等により更新されてよい。また、試験モジュール４０が交換されたときに、試験装置１００が当該試験モジュール４０の識別情報等を検出して、情報格納部１０が格納するモジュール情報を更新してもよい。

制御部２０は、被試験デバイス２００を試験する場合に、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて、各スロットに対して制御データ等を供給してよい。このような動作により、多様な試験モジュール４０を用いて被試験デバイス２００を試験できる。

また、試験装置１００は、各試験モジュール４０が正常に動作するか否かを診断する機能を有する。試験モジュール４０の診断を行う場合、制御部２０は、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて、各スロットの試験モジュール４０に対して、診断に用いるべき診断データを供給する。このような制御により、多様な試験モジュール４０の自己診断を実行することができる。

なお、試験モジュール４０を診断する場合、試験装置１００は、被試験デバイス２００に代えて、診断用回路を設けてよい。診断用回路は、例えばそれぞれの試験モジュール４０から受け取った信号を、当該試験モジュール４０または他の試験モジュール４０に入力する機能を有してよい。

図２は、試験モジュール４０の機能構成例を示す図である。試験モジュール４０は、試験部４２、自己診断部４４、および、設定メモリ４６を有する。試験部４２は、被試験デバイス２００の所定のピンと信号を受け渡すことにより、被試験デバイス２００を試験する。

例えば試験部４２は、所定の論理パターンを有する試験信号を生成して被試験デバイス２００に供給する回路を有してよく、被試験デバイス２００が出力する応答信号を測定して、被試験デバイス２００の良否を判定する回路を有してもよい。試験部４２は、バス配線１２を介して、制御部２０からの制御データを受け取ってよい。また、試験部４２は、バス配線１２を介して、被試験デバイス２００の良否判定結果を制御部２０に通知してよい。

自己診断部４４は、与えられる診断データに基づいて、試験部４２が正常に動作するか否かを診断する。例えば自己診断部４４は、与えられる診断データに応じて、試験部４２に所定の診断用信号を出力させてよい。また、自己診断部４４は、試験部４２に入力される診断用信号を試験部４２に測定させて、測定結果を受け取ってよい。制御部２０は、当該測定結果が所定の期待値と一致した場合に、当該診断用信号を出力した試験モジュール４０および当該診断用信号を測定した試験モジュール４０が正常に動作していると判定してよい。上述したように、診断用信号を出力する試験モジュール４０と、診断用信号を受け取る試験モジュール４０とは同一の試験モジュール４０であってよい。

自己診断部４４は、試験部４２の診断を開始する実行命令を、バス配線１２を介して、制御部２０から受け取ってよい。また、自己診断部４４は、試験部４２の診断結果を、バス配線１２を介して制御部２０に通知してよい。

設定メモリ４６は、制御部２０から供給される診断データを、バス配線１２を介して受け取り格納する。自己診断部４４は、試験部４２の診断を行う場合に、設定メモリ４６が格納している診断データを参照してよい。

図３は、複数の試験モジュール４０を診断する場合の、試験装置１００の動作例を説明する図である。図３においては、それぞれの試験モジュール４０の動作を示す。なお、図３では、ＡからＦの試験モジュール４０を用いて説明するが、試験モジュール４０の個数は、図３に示す個数に限定されない。

本例の診断処理において、制御部２０は、同一の診断データを用いるべき試験モジュール４０の自己診断部４４には、並行して当該診断データを供給する。また、制御部２０は、異なる診断データを用いるべき試験モジュール４０の自己診断部４４には、順次、診断データを供給する。

例えば、同種の試験モジュール４０における自己診断部４４は、同一の診断データを用いて試験部４２を診断する。また、所定の試験モジュール４０の出力する診断用信号を、他の試験モジュール４０で測定することで、これらの試験モジュール４０の診断を行う場合にも、これらの試験モジュール４０における自己診断部４４は、同一の診断データを用いて試験部４２を診断してよい。

制御部２０は、このように同一の診断データを用いるべき試験モジュール４０のグループを、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて、診断データ毎に抽出する。本例では、試験モジュール４０−Ａから試験モジュール４０−Ｂまでが第１のグループとして抽出され、試験モジュール４０−Ｅおよび試験モジュール４０−Ｆが第２のグループとして抽出される例を用いて説明する。

制御部２０は、まず第１のグループの試験モジュール４０の設定メモリ４６に対して、所定の診断データを並行して供給する（処理１０２−１）。第１のグループの設定メモリ４６に対する当該診断データの設定が終了した場合、制御部２０は、第２のグループの設定メモリ４６に対して、所定の診断データを並行して供給する（処理１０２−２）。

そして、全ての試験モジュール４０の設定メモリ４６に対して、診断データの設定が終了した場合、制御部２０は、全ての試験モジュール４０の自己診断部４４に対して、試験部４２の診断を並行して行わせる（処理１０４−１および処理１０４−２）。例えば制御部２０は、全ての試験モジュール４０から、診断データの設定が終了した旨の通知を受けた場合に、全ての試験モジュール４０に対して、試験部４２の診断を開始させる実行命令を並行して供給してよい。

そして、全ての試験モジュール４０において試験部４２の診断が終了した場合に、制御部２０は、それぞれの自己診断部４４における診断結果を解析する。診断結果の解析は、試験モジュール４０毎に異なる期待値等を用いるので、制御部２０は、それぞれの試験モジュール４０における診断結果を順番に解析してよい。

本例の試験装置１００によれば、試験部４２の診断に同一の診断データを用いる試験モジュール４０には、並行して診断データを供給するので、複数の試験モジュール４０に診断データを供給する総時間を短縮することができる。また、複数の試験モジュール４０に対して、試験部４２の診断を開始させる実行命令を並行して供給するので、診断処理を並行して実行することができ、複数の試験部４２を診断する総時間を短縮することができる。

図４は、制御部２０の機能構成例を示す図である。制御部２０は、グループ抽出部２２、命令供給部２４、および、診断データ供給部２６を有する。グループ抽出部２２は、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて、同一の診断データを設定すべき自己診断部のグループを、診断データ毎に抽出する。例えばグループ抽出部２２は、情報格納部１０が格納した各試験モジュール４０の種類を示す識別情報、または、各試験モジュール４０の機能を示す情報に基づいてグループを抽出してよい。また、グループ抽出部２２は、情報格納部１０が格納した、各試験モジュール４０に対して設定すべき診断データを示す情報に基づいてグループを抽出してよい。

診断データ供給部２６は、グループ抽出部２２が抽出したそれぞれのグループに対して、順次、診断データを供給する。診断データ供給部２６は、バス配線１２を介して診断データを供給してよい。上述したように、診断データ供給部２６は、同一グループ内の試験モジュール４０に対しては、並行して同一の診断データを供給する。

命令供給部２４は、診断データ供給部２６が全てのグループに対して診断データを設定した場合に、それぞれの試験モジュール４０における自己診断部４４に対して、試験部４２の診断を並行して行わせる。命令供給部２４は、全ての試験モジュール４０から、診断データの設定が終了した旨の通知を受け取った場合に、全ての試験モジュール４０の自己診断部４４に対して診断を実行させる実行命令を並行して供給してよい。このような構成により、複数の試験モジュール４０の自己診断を効率よく行うことができる。

命令供給部２４は、バス配線１２を介して、それぞれの試験モジュール４０と接続されてよい。また、命令供給部２４は、実行命令を供給すべき試験モジュール４０を、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて決定してよい。また、命令供給部２４は、グループ抽出部２２から通知される試験モジュール４０に、実行命令を供給してもよい。

図５は、複数の試験モジュール４０を診断する場合の、試験装置１００の他の動作例を説明する図である。本例の診断データ供給部２６は、少なくとも一つのグループに対して、他のグループの自己診断部４４が試験部４２の診断を行っている間に、診断データを供給する。例えば診断データ供給部２６は、第１のグループにおける自己診断部４４が試験部４２の診断を行っている間に（処理１０４−１）、第２のグループにおける設定メモリ４６に診断データを供給してよい（処理１０２−２）。

この場合、命令供給部２４は、第１のグループに対する診断データの設定が終了したときに、第１のグループに対して実行命令を供給して試験部４２の診断を開始させる（処理１０４−１）。診断データ供給部２６は、命令供給部２４が第１のグループに対して実効命令を供給した後に、第２のグループに対して診断データを設定してよい（処理１０４−２）。このような処理により、処理１０２−１および処理１０４−１の間の待ち時間を短縮することができる。

また、診断データ供給部２６は、グループ抽出部２２が抽出したグループのうち、試験部４２の診断に要する時間（つまり、処理１０４の時間）が長いグループから順に、診断データを供給してよい。このような処理により、全ての試験部４２の診断が終了する時間を早くすることができる。

図６は、コンピュータ１９００の構成例を示す図である。コンピュータ１９００は、与えられるプログラムに基づいて、図１から図５において説明した試験装置１００の少なくとも一部として機能してよい。例えばコンピュータ１９００は、試験装置１００の制御部２０および情報格納部１０として機能してよい。

本実施形態に係るコンピュータ１９００は、ＣＰＵ周辺部、入出力部、及びレガシー入出力部を備える。ＣＰＵ周辺部は、ホスト・コントローラ２０８２により相互に接続されるＣＰＵ２０００、ＲＡＭ２０２０、グラフィック・コントローラ２０７５、及び表示装置２０８０を有する。ＣＰＵ２０００は、制御部２０として機能してよい。また、ＲＡＭ２０２０は、情報格納部１０として機能してよい。

入出力部は、入出力コントローラ２０８４によりホスト・コントローラ２０８２に接続される通信インターフェース２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を有する。レガシー入出力部は、入出力コントローラ２０８４に接続されるＲＯＭ２０１０、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０を有する。

ホスト・コントローラ２０８２は、ＲＡＭ２０２０と、高い転送レートでＲＡＭ２０２０をアクセスするＣＰＵ２０００及びグラフィック・コントローラ２０７５とを接続する。ＣＰＵ２０００は、ＲＯＭ２０１０及びＲＡＭ２０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等がＲＡＭ２０２０内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置２０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。

入出力コントローラ２０８４は、ホスト・コントローラ２０８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェース２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を接続する。通信インターフェース２０３０は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ２０４０は、コンピュータ１９００内のＣＰＵ２０００が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０は、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。

また、入出力コントローラ２０８４には、ＲＯＭ２０１０と、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＲＯＭ２０１０は、コンピュータ１９００が起動時に実行するブート・プログラム、あるいは、コンピュータ１９００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク・ドライブ２０５０は、フレキシブルディスク２０９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。入出力チップ２０７０は、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、あるいは、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。

ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、ＲＡＭ２０２０を介してコンピュータ１９００内のハードディスクドライブ２０４０にインストールされ、ＣＰＵ２０００において実行される。

当該プログラムは、コンピュータ１９００にインストールされる。当該プログラムは、ＣＰＵ２０００等に働きかけて、コンピュータ１９００を、試験装置１００の一部として機能させてよい。

以上に示したプログラムは、外部の記録媒体に格納されてもよい。記録媒体としては、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５の他に、ＤＶＤあるいはＣＤ等の光学記録媒体、ＭＯ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークあるいはインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ１９００に提供してもよい。

以上、発明を実施の形態を用いて説明したが、発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

Claims (11)

1. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   前記被試験デバイスと信号を受け渡すことで、前記被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、
   複数の前記試験モジュールを制御する制御部と
   を備え、
   それぞれの前記試験モジュールは、
   前記被試験デバイスと信号を受け渡す試験部と、
   与えられる診断データに基づいて、前記試験部の動作を診断する自己診断部と
   を有し、
   前記制御部は、同一の前記診断データを設定する前記自己診断部には、並行して前記診断データを供給し、異なる前記診断データを設定する前記自己診断部には、順次前記診断データを供給する試験装置。
2. それぞれの前記試験モジュールの機能に関するモジュール情報を格納する情報格納部を更に備え、
   前記制御部は、前記モジュール情報に基づいて、それぞれの前記自己診断部に前記診断データを供給する
   請求項１に記載の試験装置。
3. 前記制御部は、
   前記情報格納部が格納したモジュール情報に基づいて、同一の前記診断データを設定すべき前記自己診断部のグループを、前記診断データ毎に抽出するグループ抽出部と、
   それぞれの前記診断データを、対応する前記グループ内の前記自己診断部に対して並行して供給する診断データ供給部と
   を有する請求項２に記載の試験装置。
4. 前記制御部は、それぞれの前記自己診断部に対して、前記試験部の診断を並行して行わせる
   請求項３に記載の試験装置。
5. 前記制御部は、複数の前記自己診断部に対して、前記試験部の診断を実行させる実行命令を並行して供給する命令供給部を更に有する
   請求項４に記載の試験装置。
6. 前記命令供給部は、前記診断データ供給部が、全ての前記グループに対して前記診断データを設定した場合に、それぞれの前記自己診断部に前記実行命令を並行して供給する
   請求項５に記載の試験装置。
7. 前記命令供給部は、前記診断データ供給部からの前記診断データの設定が終了した前記グループから順次、前記実行命令を供給する
   請求項５に記載の試験装置。
8. 前記診断データ供給部は、少なくとも一つの前記グループに対して、他の前記グループの前記自己診断部が前記試験部の診断を行っている間に、前記診断データを設定する
   請求項７に記載の試験装置。
9. 前記診断データ供給部は、前記試験部の診断に要する時間が長い前記グループから順に、前記診断データを供給する
   請求項８に記載の試験装置。
10. 被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムであって、
    前記試験装置を、
    前記被試験デバイスと信号を受け渡すことで、前記被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、
    複数の前記試験モジュールを制御する制御部と
    して機能させ、
    それぞれの前記試験モジュールを、
    前記被試験デバイスと信号を受け渡す試験部と、
    与えられる診断データに基づいて、前記試験部の動作を診断する自己診断部と
    して機能させ、
    前記制御部に、同一の前記診断データを設定する前記自己診断部には、並行して前記診断データを供給させ、異なる前記診断データを設定する前記自己診断部には、順次前記診断データを供給させるプログラム。
11. 請求項１０に記載のプログラムを記録した記録媒体。

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