WO2010001468A1 - 試験装置、プログラム、および、記録媒体 - Google Patents

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    • G01R31/31901—Analysis of tester Performance; Tester characterization

Definitions

  • the present invention relates to a test apparatus that tests a device under test, a program that causes the test apparatus to function, and a recording medium that records the program.
  • the present invention relates to a test apparatus that tests a device under test using a plurality of test modules.
  • test apparatus for testing a device under test such as a semiconductor circuit using a plurality of test modules is known (see, for example, Patent Document 1). These test modules are compatible with input / output interfaces.
  • the test apparatus has a plurality of slots for holding each test module in a replaceable manner with other test modules. With such a configuration, the test apparatus tests the device under test using various test modules.
  • test apparatus has a diagnostic function for diagnosing whether or not these test modules can operate normally. For example, a test in which the output signal of each test module is looped back and input to the test module, or a test in which the output signal is input to another test module and measured can be considered.
  • test module inserted into each slot is not constant. Further, the diagnostic contents to be executed are different for each type of test module. For this reason, the test apparatus refers to a configuration file indicating what test module is inserted in each slot, and performs diagnosis according to each test module.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining the diagnostic operation of a plurality of test modules.
  • the test apparatus in FIG. 7 diagnoses from the test module A to the test module F.
  • the CPU of the test apparatus determines what diagnosis should be performed on the test module A based on the configuration file. Further, the CPU sets diagnostic data corresponding to the determined diagnostic content in the test module A (processing 102).
  • the CPU of the test apparatus After setting diagnostic data for the test module A, the CPU of the test apparatus supplies a command for executing self-diagnosis to the test module A (process 104). Further, the CPU of the test apparatus analyzes the self-diagnosis result after the self-diagnosis in the test module A is completed (process 106). The CPU sequentially executes such processing 102 to processing 106 for each test module, thereby causing all the test modules to execute self-diagnosis processing. JP 2006-317256 A
  • an object of the present invention is to provide a test apparatus, a program, and a recording medium that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims.
  • the dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.
  • a test apparatus for testing a device under test wherein a plurality of tests for testing the device under test by passing signals to and from the device under test And a control unit for controlling a plurality of test modules.
  • Each test module includes a test unit for passing signals to and from the device under test, and a self unit that diagnoses the operation of the test unit based on the given diagnostic data.
  • the control unit supplies diagnostic data in parallel to the self-diagnosis unit that sets the same diagnostic data, and sequentially supplies diagnostic data to the self-diagnosis unit that sets different diagnostic data.
  • a program for causing a test apparatus for testing a device under test to function, wherein the test apparatus passes a signal to the device under test to test the device under test.
  • a module that functions as a control unit that controls a plurality of test modules, and each test module performs a test unit that passes signals to and from the device under test, and self that diagnoses the operation of the test unit on the basis of given diagnosis data Let the control unit function as a diagnostic unit, supply diagnostic data in parallel to the self-diagnosis unit that sets the same diagnostic data, and sequentially supply diagnostic data to the self-diagnosis unit that sets different diagnostic data Provide a program.
  • a recording medium on which the above-described program is recorded is provided.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a test apparatus 100 according to an embodiment.
  • 3 is a diagram illustrating an example of a functional configuration of a test module 40.
  • FIG. It is a figure explaining the operation example of the test apparatus 100 in the case of diagnosing the some test module 40.
  • FIG. FIG. 3 is a diagram illustrating a functional configuration example of a control unit 20. It is a figure explaining the other operation example of the test apparatus 100 in the case of diagnosing the some test module 40.
  • FIG. And FIG. 14 is a diagram illustrating a configuration example of a computer 1900. It is a figure explaining diagnostic operation of a plurality of test modules.
  • DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Information storage part, 12 ... Bus wiring, 20 ... Control part, 22 ... Group extraction part, 24 ... Command supply part, 26 ... Diagnostic data supply part, 40 ... Test module 42 ... Test unit 44 ... Self-diagnosis unit 46 ... Setting memory 100 ... Test apparatus 200 ... Device under test 1900 ... Computer 2000 ... CPU, 2010 ... ROM, 2020 ... RAM, 2030 ... communication interface, 2040 ... hard disk drive, 2050 ... flexible disk drive, 2060 ... CD-ROM drive, 2070 ... Input / output chip, 2075 ... Graphic controller, 2080 ... Display device, 2082 ... Host controller, 2084 ... Input and output controller, 2090 ... flexible disk, 2095 ⁇ CD-ROM
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a test apparatus 100 according to an embodiment.
  • the test apparatus 100 tests a device under test 200 such as a semiconductor circuit.
  • the test apparatus 100 includes an information storage unit 10, a bus wiring 12, a control unit 20, and a plurality of test modules 40.
  • Each test module 40 is inserted into a slot provided in the test apparatus 100.
  • the test module 40 inserted into the slot tests the device under test 200 by passing signals to and from the device under test 200.
  • each test module 40 may have different functions.
  • one test module 40 has a function of supplying a test signal having a predetermined logic pattern to the device under test 200, and another test module 40 supplies an operation clock, power supply power, etc. to the device under test 200. It may have a function to supply.
  • the test apparatus 100 tests the device under test 200 by operating the plurality of test modules 40 in parallel.
  • test apparatus 100 may test one device under test 200.
  • each test module 40 is electrically connected to a corresponding pin of the device under test 200.
  • the test apparatus 100 may test a plurality of devices under test 200 in parallel.
  • each test module 40 is electrically connected to a corresponding pin of the corresponding device under test 200.
  • the control unit 20 has a CPU and controls each test module 40 via the bus wiring 12.
  • the control unit 20 may control each test module 40 according to a predetermined test program.
  • the information storage unit 10 stores module information indicating what function the test module 40 has been inserted into each slot of the test apparatus 100.
  • the information storage unit 10 includes, for each slot, identification information of the inserted test module, information indicating control data to be supplied to the test module when the device under test 200 is tested, Information indicating diagnostic data to be used for diagnosis may be recorded.
  • the module information may be updated by the user or the like every time the test module 40 is replaced. Further, when the test module 40 is replaced, the test apparatus 100 may detect the identification information of the test module 40 and update the module information stored in the information storage unit 10.
  • the control unit 20 may supply control data or the like to each slot based on the module information stored in the information storage unit 10 when testing the device under test 200. With this operation, the device under test 200 can be tested using various test modules 40.
  • test apparatus 100 has a function of diagnosing whether or not each test module 40 operates normally.
  • the control unit 20 supplies diagnostic data to be used for diagnosis to the test module 40 in each slot based on the module information stored in the information storage unit 10. By such control, it is possible to execute self-diagnosis of various test modules 40.
  • the test apparatus 100 may be provided with a diagnostic circuit instead of the device under test 200.
  • the diagnostic circuit may have a function of inputting a signal received from each test module 40 to the test module 40 or another test module 40.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a functional configuration example of the test module 40.
  • the test module 40 includes a test unit 42, a self-diagnosis unit 44, and a setting memory 46.
  • the test unit 42 tests the device under test 200 by passing signals to and from predetermined pins of the device under test 200.
  • the test unit 42 may include a circuit that generates a test signal having a predetermined logic pattern and supplies the test signal to the device under test 200.
  • the test unit 42 measures a response signal output from the device under test 200, and There may be a circuit for judging whether the quality is good or bad.
  • the test unit 42 may receive control data from the control unit 20 via the bus wiring 12. Further, the test unit 42 may notify the control unit 20 of the pass / fail determination result of the device under test 200 via the bus wiring 12.
  • the self-diagnosis unit 44 diagnoses whether or not the test unit 42 operates normally based on the given diagnosis data. For example, the self-diagnosis unit 44 may cause the test unit 42 to output a predetermined diagnosis signal in accordance with the given diagnosis data. Further, the self-diagnosis unit 44 may cause the test unit 42 to measure the diagnostic signal input to the test unit 42 and receive the measurement result. When the measurement result matches a predetermined expected value, the control unit 20 determines that the test module 40 that has output the diagnostic signal and the test module 40 that has measured the diagnostic signal are operating normally. It's okay. As described above, the test module 40 that outputs the diagnostic signal and the test module 40 that receives the diagnostic signal may be the same test module 40.
  • the self-diagnosis unit 44 may receive an execution command for starting diagnosis of the test unit 42 from the control unit 20 via the bus wiring 12.
  • the self-diagnosis unit 44 may notify the control unit 20 of the diagnosis result of the test unit 42 via the bus wiring 12.
  • the setting memory 46 receives and stores the diagnostic data supplied from the control unit 20 via the bus wiring 12.
  • the self-diagnosis unit 44 may refer to the diagnosis data stored in the setting memory 46 when the test unit 42 is diagnosed.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an operation example of the test apparatus 100 when diagnosing a plurality of test modules 40.
  • FIG. 3 shows the operation of each test module 40.
  • the description will be given using the test modules 40 of A to F, but the number of test modules 40 is not limited to the number shown in FIG.
  • control unit 20 supplies the diagnosis data in parallel to the self-diagnosis unit 44 of the test module 40 that should use the same diagnosis data. Further, the control unit 20 sequentially supplies diagnostic data to the self-diagnosis unit 44 of the test module 40 that should use different diagnostic data.
  • the self-diagnosis unit 44 in the same type of test module 40 diagnoses the test unit 42 using the same diagnosis data.
  • the diagnostic signal output from a predetermined test module 40 is measured by another test module 40 to diagnose these test modules 40
  • the self-diagnosis unit 44 in these test modules 40 The test unit 42 may be diagnosed using the same diagnostic data.
  • the control unit 20 extracts a group of test modules 40 that should use the same diagnosis data in this way, for each diagnosis data, based on the module information stored in the information storage unit 10.
  • the test modules 40-A to 40-B are extracted as the first group
  • the test modules 40-E and 40-F are extracted as the second group. To do.
  • the control unit 20 first supplies predetermined diagnostic data in parallel to the setting memory 46 of the test module 40 of the first group (processing 102-1). When the setting of the diagnostic data in the first group setting memory 46 is completed, the control unit 20 supplies predetermined diagnostic data to the second group setting memory 46 in parallel (process 102-). 2).
  • the control unit 20 When the setting of the diagnostic data is completed for the setting memories 46 of all the test modules 40, the control unit 20 performs the diagnosis of the test unit 42 in parallel with respect to the self-diagnosis units 44 of all the test modules 40. (Process 104-1 and Process 104-2). For example, when the control unit 20 receives notification from all the test modules 40 that the setting of the diagnostic data has been completed, the control unit 20 issues an execution command for starting the diagnosis of the test unit 42 to all the test modules 40 in parallel. May be supplied.
  • control part 20 analyzes the diagnosis result in each self-diagnosis part 44. Since the analysis of the diagnosis results uses different expected values for each test module 40, the control unit 20 may analyze the diagnosis results in the respective test modules 40 in order.
  • the diagnosis data is supplied in parallel to the test module 40 that uses the same diagnosis data for the diagnosis of the test unit 42, and therefore, the total of supplying the diagnosis data to the plurality of test modules 40. Time can be shortened. In addition, since an execution instruction for starting the diagnosis of the test unit 42 is supplied to the plurality of test modules 40 in parallel, the diagnosis process can be executed in parallel, and the total test unit 42 is diagnosed. Time can be shortened.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a functional configuration example of the control unit 20.
  • the control unit 20 includes a group extraction unit 22, an instruction supply unit 24, and a diagnostic data supply unit 26.
  • the group extraction unit 22 Based on the module information stored in the information storage unit 10, the group extraction unit 22 extracts a group of self-diagnosis units to which the same diagnosis data should be set for each diagnosis data.
  • the group extraction unit 22 may extract a group based on identification information indicating the type of each test module 40 stored in the information storage unit 10 or information indicating the function of each test module 40.
  • the group extraction unit 22 may extract a group based on information stored in the information storage unit 10 and indicating diagnostic data to be set for each test module 40.
  • the diagnostic data supply unit 26 sequentially supplies diagnostic data to each group extracted by the group extraction unit 22.
  • the diagnostic data supply unit 26 may supply diagnostic data via the bus wiring 12. As described above, the diagnostic data supply unit 26 supplies the same diagnostic data in parallel to the test modules 40 in the same group.
  • the command supply unit 24 performs the diagnosis of the test unit 42 in parallel with respect to the self-diagnosis unit 44 in each test module 40. Make it.
  • the instruction supply unit 24 receives notification from all the test modules 40 that the diagnosis data setting has been completed, the instruction supply unit 24 executes in parallel an execution command that causes the self-diagnosis units 44 of all the test modules 40 to execute diagnosis. May be supplied. With such a configuration, the self-diagnosis of the plurality of test modules 40 can be performed efficiently.
  • the instruction supply unit 24 may be connected to each test module 40 via the bus wiring 12.
  • the instruction supply unit 24 may determine the test module 40 to which the execution instruction is to be supplied based on the module information stored in the information storage unit 10. Further, the command supply unit 24 may supply an execution command to the test module 40 notified from the group extraction unit 22.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining another example of the operation of the test apparatus 100 when diagnosing a plurality of test modules 40.
  • the diagnostic data supply unit 26 of this example supplies diagnostic data to at least one group while the self-diagnosis unit 44 of another group is performing the diagnosis of the test unit 42.
  • the diagnostic data supply unit 26 supplies diagnostic data to the setting memory 46 in the second group while the self-diagnosis unit 44 in the first group performs the diagnosis of the test unit 42 (processing 104-1). (Processing 102-2).
  • the instruction supply unit 24 supplies an execution instruction to the first group to start diagnosis of the test unit 42 (Process 104-1). ).
  • the diagnostic data supply unit 26 may set diagnostic data for the second group after the command supply unit 24 supplies an effective command to the first group (processing 104-2). By such processing, the waiting time between the processing 102-1 and the processing 104-1 can be shortened.
  • the diagnostic data supply unit 26 may supply diagnostic data in order from the group extracted by the group extraction unit 22 in the order of the time required for the diagnosis of the test unit 42 (that is, the time of the process 104). By such processing, it is possible to shorten the time for ending diagnosis of all the test units 42.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration example of the computer 1900.
  • the computer 1900 may function as at least a part of the test apparatus 100 described in FIGS. 1 to 5 based on a given program.
  • the computer 1900 may function as the control unit 20 and the information storage unit 10 of the test apparatus 100.
  • the computer 1900 includes a CPU peripheral part, an input / output part, and a legacy input / output part.
  • the CPU peripheral unit includes a CPU 2000, a RAM 2020, a graphic controller 2075, and a display device 2080 that are connected to each other by a host controller 2082.
  • the CPU 2000 may function as the control unit 20.
  • the RAM 2020 may function as the information storage unit 10.
  • the input / output unit includes a communication interface 2030, a hard disk drive 2040, and a CD-ROM drive 2060 that are connected to the host controller 2082 by the input / output controller 2084.
  • the legacy input / output unit includes a ROM 2010, a flexible disk drive 2050, and an input / output chip 2070 connected to the input / output controller 2084.
  • the host controller 2082 connects the RAM 2020 to the CPU 2000 and the graphic controller 2075 that access the RAM 2020 at a high transfer rate.
  • the CPU 2000 operates based on programs stored in the ROM 2010 and the RAM 2020 and controls each unit.
  • the graphic controller 2075 acquires image data generated by the CPU 2000 or the like on a frame buffer provided in the RAM 2020 and displays it on the display device 2080.
  • the graphic controller 2075 may include a frame buffer for storing image data generated by the CPU 2000 or the like.
  • the input / output controller 2084 connects the host controller 2082 to the communication interface 2030, the hard disk drive 2040, and the CD-ROM drive 2060, which are relatively high-speed input / output devices.
  • the communication interface 2030 communicates with other devices via a network.
  • the hard disk drive 2040 stores programs and data used by the CPU 2000 in the computer 1900.
  • the CD-ROM drive 2060 reads a program or data from the CD-ROM 2095 and provides it to the hard disk drive 2040 via the RAM 2020.
  • the ROM 2010, the flexible disk drive 2050, and the relatively low-speed input / output device of the input / output chip 2070 are connected to the input / output controller 2084.
  • the ROM 2010 stores a boot program that the computer 1900 executes at startup, a program that depends on the hardware of the computer 1900, and the like.
  • the flexible disk drive 2050 reads a program or data from the flexible disk 2090 and provides it to the hard disk drive 2040 via the RAM 2020.
  • the input / output chip 2070 connects various input / output devices via the flexible disk drive 2050 or, for example, a parallel port, a serial port, a keyboard port, a mouse port, and the like.
  • the program provided to the hard disk drive 2040 via the RAM 2020 is stored in a recording medium such as the flexible disk 2090, the CD-ROM 2095, or an IC card and provided by the user.
  • the program is read from the recording medium, installed in the hard disk drive 2040 in the computer 1900 via the RAM 2020, and executed by the CPU 2000.
  • the program is installed in the computer 1900.
  • the program may work on the CPU 2000 or the like to cause the computer 1900 to function as a part of the test apparatus 100.
  • the programs shown above may be stored in an external recording medium.
  • an optical recording medium such as DVD or CD
  • a magneto-optical recording medium such as MO
  • a tape medium such as an IC card, and the like
  • a storage device such as a hard disk or a RAM provided in a server system connected to a dedicated communication network or the Internet may be used as a recording medium, and the program may be provided to the computer 1900 via the network.

Abstract

　被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスと信号を受け渡すことで、被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御部とを備え、それぞれの試験モジュールは、被試験デバイスと信号を受け渡す試験部と、与えられる診断データに基づいて、試験部の動作を診断する自己診断部とを有し、制御部は、同一の診断データを設定する自己診断部には、並行して診断データを供給し、異なる診断データを設定する自己診断部には、順次、診断データを供給する試験装置を提供する。

Description

試験装置、プログラム、および、記録媒体
　本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置、試験装置を機能させるプログラム、および、プログラムを記録した記録媒体に関する。特に本発明は、複数の試験モジュールを用いて被試験デバイスを試験する試験装置に関する。
　従来、複数の試験モジュールを用いて、半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。これらの試験モジュールは、入出力のインターフェースに互換性を有している。試験装置は、各試験モジュールを、他の試験モジュールと交換可能に保持する複数のスロットを有する。このような構成で、試験装置は多様な試験モジュールを用いて被試験デバイスを試験する。
　また、試験装置は、これらの試験モジュールが正常に動作できるか否かを診断する診断機能を有する。例えば、それぞれの試験モジュールの出力信号を、ループバックして当該試験モジュールに入力して測定する試験、または、他の試験モジュールに入力して測定する試験等が考えられる。
　各試験モジュールを交換可能に保持する試験装置においては、各スロットに挿入される試験モジュールは一定ではない。また、試験モジュールの種類毎に、実行すべき診断内容が異なる。このため試験装置は、各スロットにどのような試験モジュールが挿入されているかを示す構成ファイルを参照して、それぞれの試験モジュールに応じた診断を行う。
　図７は、複数の試験モジュールの診断動作を説明する図である。図７における試験装置は、試験モジュールＡから試験モジュールＦまでを診断する。試験装置のＣＰＵは、試験モジュールＡに対してどのような診断を行うべきかを構成ファイルに基づいて判定する。またＣＰＵは、判定した診断内容に応じた診断データを、試験モジュールＡに設定する（処理１０２）。
　試験装置のＣＰＵは、試験モジュールＡに対して診断データを設定した後に、試験モジュールＡに対して自己診断を実行すべき命令を供給する（処理１０４）。また、試験装置のＣＰＵは、試験モジュールＡにおける自己診断が終了した後に、自己診断結果を解析する（処理１０６）。ＣＰＵは、このような処理１０２～処理１０６を、試験モジュール毎に順次実行することで、全ての試験モジュールに自己診断の処理を実行させる。
特開２００６－３１７２５６号公報
　しかし、上述した自己診断の処理では、各試験モジュールの自己診断を順番に行うので、全ての試験モジュールの自己診断が終了するまでに時間がかかってしまう。特に、多数の試験モジュールを試験装置に設けたときに、当該課題は顕著となる。
　そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置、プログラム、および、記録媒体を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
　上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスと信号を受け渡すことで、被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御部とを備え、それぞれの試験モジュールは、被試験デバイスと信号を受け渡す試験部と、与えられる診断データに基づいて、試験部の動作を診断する自己診断部とを有し、制御部は、同一の診断データを設定する自己診断部には、並行して診断データを供給し、異なる診断データを設定する自己診断部には、順次診断データを供給する試験装置を提供する。
　本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムであって、試験装置を、被試験デバイスと信号を受け渡すことで、被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御部として機能させ、それぞれの試験モジュールを、被試験デバイスと信号を受け渡す試験部と、与えられる診断データに基づいて、試験部の動作を診断する自己診断部として機能させ、制御部に、同一の診断データを設定する自己診断部には、並行して診断データを供給させ、異なる診断データを設定する自己診断部には、順次診断データを供給させるプログラムを提供する。本発明の第３の形態においては、上述したプログラムを記録した記録媒体を提供する。
　なお、上記の発明の概要は、発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
一つの実施形態に係る試験装置１００の構成例を示す図である。 試験モジュール４０の機能構成例を示す図である。 複数の試験モジュール４０を診断する場合の、試験装置１００の動作例を説明する図である。 制御部２０の機能構成例を示す図である。 複数の試験モジュール４０を診断する場合の、試験装置１００の他の動作例を説明する図である。 コンピュータ１９００の構成例を示す図である。 複数の試験モジュールの診断動作を説明する図である。
符号の説明
１０・・・情報格納部、１２・・・バス配線、２０・・・制御部、２２・・・グループ抽出部、２４・・・命令供給部、２６・・・診断データ供給部、４０・・・試験モジュール、４２・・・試験部、４４・・・自己診断部、４６・・・設定メモリ、１００・・・試験装置、２００・・・被試験デバイス、１９００・・・コンピュータ、２０００・・・ＣＰＵ、２０１０・・・ＲＯＭ、２０２０・・・ＲＡＭ、２０３０・・・通信インターフェース、２０４０・・・ハードディスクドライブ、２０５０・・・フレキシブルディスク・ドライブ、２０６０・・・ＣＤ－ＲＯＭドライブ、２０７０・・・入出力チップ、２０７５・・・グラフィック・コントローラ、２０８０・・・表示装置、２０８２・・・ホスト・コントローラ、２０８４・・・入出力コントローラ、２０９０・・・フレキシブルディスク、２０９５・・・ＣＤ－ＲＯＭ
　以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
　図１は、一つの実施形態に係る試験装置１００の構成例を示す図である。試験装置１００は、半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する。試験装置１００は、情報格納部１０、バス配線１２、制御部２０、および、複数の試験モジュール４０を有する。
　それぞれの試験モジュール４０は、試験装置１００に設けられるスロットに挿入される。当該スロットに挿入された試験モジュール４０は、被試験デバイス２００と信号を受け渡すことで、被試験デバイス２００を試験する。
　また、それぞれの試験モジュール４０は異なる機能を有してよい。例えば、ある試験モジュール４０は、被試験デバイス２００に所定の論理パターンを有する試験信号を供給する機能を有しており、他の試験モジュール４０は、被試験デバイス２００に動作クロック、電源電力等を供給する機能を有してよい。試験装置１００は、これらの複数の試験モジュール４０を並行して動作させることで、被試験デバイス２００を試験する。
　なお、試験装置１００は、一つの被試験デバイス２００を試験してよい。この場合、それぞれの試験モジュール４０は、被試験デバイス２００の対応するピンと電気的に接続される。また試験装置１００は、複数の被試験デバイス２００を並行して試験してよい。この場合、それぞれの試験モジュール４０は、対応する被試験デバイス２００の対応するピンと電気的に接続される。
　制御部２０は、ＣＰＵを有しており、バス配線１２を介してそれぞれの試験モジュール４０を制御する。例えば制御部２０は、それぞれの試験モジュール４０を、予め定められた試験プログラムに応じて制御してよい。
　情報格納部１０は、試験装置１００の各スロットに、どのような機能を有する試験モジュール４０が挿入されているかを示すモジュール情報を格納する。情報格納部１０は、各スロットに対して、挿入されている試験モジュールの識別情報、被試験デバイス２００の試験する場合において当該試験モジュールに供給すべき制御データ等を示す情報、当該試験モジュールの自己診断に用いるべき診断データを示す情報等を記録してよい。
　なお、モジュール情報は、試験モジュール４０が交換される毎に、使用者等により更新されてよい。また、試験モジュール４０が交換されたときに、試験装置１００が当該試験モジュール４０の識別情報等を検出して、情報格納部１０が格納するモジュール情報を更新してもよい。
　制御部２０は、被試験デバイス２００を試験する場合に、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて、各スロットに対して制御データ等を供給してよい。このような動作により、多様な試験モジュール４０を用いて被試験デバイス２００を試験できる。
　また、試験装置１００は、各試験モジュール４０が正常に動作するか否かを診断する機能を有する。試験モジュール４０の診断を行う場合、制御部２０は、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて、各スロットの試験モジュール４０に対して、診断に用いるべき診断データを供給する。このような制御により、多様な試験モジュール４０の自己診断を実行することができる。
　なお、試験モジュール４０を診断する場合、試験装置１００は、被試験デバイス２００に代えて、診断用回路を設けてよい。診断用回路は、例えばそれぞれの試験モジュール４０から受け取った信号を、当該試験モジュール４０または他の試験モジュール４０に入力する機能を有してよい。
　図２は、試験モジュール４０の機能構成例を示す図である。試験モジュール４０は、試験部４２、自己診断部４４、および、設定メモリ４６を有する。試験部４２は、被試験デバイス２００の所定のピンと信号を受け渡すことにより、被試験デバイス２００を試験する。
　例えば試験部４２は、所定の論理パターンを有する試験信号を生成して被試験デバイス２００に供給する回路を有してよく、被試験デバイス２００が出力する応答信号を測定して、被試験デバイス２００の良否を判定する回路を有してもよい。試験部４２は、バス配線１２を介して、制御部２０からの制御データを受け取ってよい。また、試験部４２は、バス配線１２を介して、被試験デバイス２００の良否判定結果を制御部２０に通知してよい。
　自己診断部４４は、与えられる診断データに基づいて、試験部４２が正常に動作するか否かを診断する。例えば自己診断部４４は、与えられる診断データに応じて、試験部４２に所定の診断用信号を出力させてよい。また、自己診断部４４は、試験部４２に入力される診断用信号を試験部４２に測定させて、測定結果を受け取ってよい。制御部２０は、当該測定結果が所定の期待値と一致した場合に、当該診断用信号を出力した試験モジュール４０および当該診断用信号を測定した試験モジュール４０が正常に動作していると判定してよい。上述したように、診断用信号を出力する試験モジュール４０と、診断用信号を受け取る試験モジュール４０とは同一の試験モジュール４０であってよい。
　自己診断部４４は、試験部４２の診断を開始する実行命令を、バス配線１２を介して、制御部２０から受け取ってよい。また、自己診断部４４は、試験部４２の診断結果を、バス配線１２を介して制御部２０に通知してよい。
　設定メモリ４６は、制御部２０から供給される診断データを、バス配線１２を介して受け取り格納する。自己診断部４４は、試験部４２の診断を行う場合に、設定メモリ４６が格納している診断データを参照してよい。
　図３は、複数の試験モジュール４０を診断する場合の、試験装置１００の動作例を説明する図である。図３においては、それぞれの試験モジュール４０の動作を示す。なお、図３では、ＡからＦの試験モジュール４０を用いて説明するが、試験モジュール４０の個数は、図３に示す個数に限定されない。
　本例の診断処理において、制御部２０は、同一の診断データを用いるべき試験モジュール４０の自己診断部４４には、並行して当該診断データを供給する。また、制御部２０は、異なる診断データを用いるべき試験モジュール４０の自己診断部４４には、順次、診断データを供給する。
　例えば、同種の試験モジュール４０における自己診断部４４は、同一の診断データを用いて試験部４２を診断する。また、所定の試験モジュール４０の出力する診断用信号を、他の試験モジュール４０で測定することで、これらの試験モジュール４０の診断を行う場合にも、これらの試験モジュール４０における自己診断部４４は、同一の診断データを用いて試験部４２を診断してよい。
　制御部２０は、このように同一の診断データを用いるべき試験モジュール４０のグループを、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて、診断データ毎に抽出する。本例では、試験モジュール４０－Ａから試験モジュール４０－Ｂまでが第１のグループとして抽出され、試験モジュール４０－Ｅおよび試験モジュール４０－Ｆが第２のグループとして抽出される例を用いて説明する。
　制御部２０は、まず第１のグループの試験モジュール４０の設定メモリ４６に対して、所定の診断データを並行して供給する（処理１０２－１）。第１のグループの設定メモリ４６に対する当該診断データの設定が終了した場合、制御部２０は、第２のグループの設定メモリ４６に対して、所定の診断データを並行して供給する（処理１０２－２）。
　そして、全ての試験モジュール４０の設定メモリ４６に対して、診断データの設定が終了した場合、制御部２０は、全ての試験モジュール４０の自己診断部４４に対して、試験部４２の診断を並行して行わせる（処理１０４－１および処理１０４－２）。例えば制御部２０は、全ての試験モジュール４０から、診断データの設定が終了した旨の通知を受けた場合に、全ての試験モジュール４０に対して、試験部４２の診断を開始させる実行命令を並行して供給してよい。
　そして、全ての試験モジュール４０において試験部４２の診断が終了した場合に、制御部２０は、それぞれの自己診断部４４における診断結果を解析する。診断結果の解析は、試験モジュール４０毎に異なる期待値等を用いるので、制御部２０は、それぞれの試験モジュール４０における診断結果を順番に解析してよい。
　本例の試験装置１００によれば、試験部４２の診断に同一の診断データを用いる試験モジュール４０には、並行して診断データを供給するので、複数の試験モジュール４０に診断データを供給する総時間を短縮することができる。また、複数の試験モジュール４０に対して、試験部４２の診断を開始させる実行命令を並行して供給するので、診断処理を並行して実行することができ、複数の試験部４２を診断する総時間を短縮することができる。
　図４は、制御部２０の機能構成例を示す図である。制御部２０は、グループ抽出部２２、命令供給部２４、および、診断データ供給部２６を有する。グループ抽出部２２は、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて、同一の診断データを設定すべき自己診断部のグループを、診断データ毎に抽出する。例えばグループ抽出部２２は、情報格納部１０が格納した各試験モジュール４０の種類を示す識別情報、または、各試験モジュール４０の機能を示す情報に基づいてグループを抽出してよい。また、グループ抽出部２２は、情報格納部１０が格納した、各試験モジュール４０に対して設定すべき診断データを示す情報に基づいてグループを抽出してよい。
　診断データ供給部２６は、グループ抽出部２２が抽出したそれぞれのグループに対して、順次、診断データを供給する。診断データ供給部２６は、バス配線１２を介して診断データを供給してよい。上述したように、診断データ供給部２６は、同一グループ内の試験モジュール４０に対しては、並行して同一の診断データを供給する。
　命令供給部２４は、診断データ供給部２６が全てのグループに対して診断データを設定した場合に、それぞれの試験モジュール４０における自己診断部４４に対して、試験部４２の診断を並行して行わせる。命令供給部２４は、全ての試験モジュール４０から、診断データの設定が終了した旨の通知を受け取った場合に、全ての試験モジュール４０の自己診断部４４に対して診断を実行させる実行命令を並行して供給してよい。このような構成により、複数の試験モジュール４０の自己診断を効率よく行うことができる。
　命令供給部２４は、バス配線１２を介して、それぞれの試験モジュール４０と接続されてよい。また、命令供給部２４は、実行命令を供給すべき試験モジュール４０を、情報格納部１０が格納したモジュール情報に基づいて決定してよい。また、命令供給部２４は、グループ抽出部２２から通知される試験モジュール４０に、実行命令を供給してもよい。
　図５は、複数の試験モジュール４０を診断する場合の、試験装置１００の他の動作例を説明する図である。本例の診断データ供給部２６は、少なくとも一つのグループに対して、他のグループの自己診断部４４が試験部４２の診断を行っている間に、診断データを供給する。例えば診断データ供給部２６は、第１のグループにおける自己診断部４４が試験部４２の診断を行っている間に（処理１０４－１）、第２のグループにおける設定メモリ４６に診断データを供給してよい（処理１０２－２）。
　この場合、命令供給部２４は、第１のグループに対する診断データの設定が終了したときに、第１のグループに対して実行命令を供給して試験部４２の診断を開始させる（処理１０４－１）。診断データ供給部２６は、命令供給部２４が第１のグループに対して実効命令を供給した後に、第２のグループに対して診断データを設定してよい（処理１０４－２）。このような処理により、処理１０２－１および処理１０４－１の間の待ち時間を短縮することができる。
　また、診断データ供給部２６は、グループ抽出部２２が抽出したグループのうち、試験部４２の診断に要する時間（つまり、処理１０４の時間）が長いグループから順に、診断データを供給してよい。このような処理により、全ての試験部４２の診断が終了する時間を早くすることができる。
　図６は、コンピュータ１９００の構成例を示す図である。コンピュータ１９００は、与えられるプログラムに基づいて、図１から図５において説明した試験装置１００の少なくとも一部として機能してよい。例えばコンピュータ１９００は、試験装置１００の制御部２０および情報格納部１０として機能してよい。
　本実施形態に係るコンピュータ１９００は、ＣＰＵ周辺部、入出力部、及びレガシー入出力部を備える。ＣＰＵ周辺部は、ホスト・コントローラ２０８２により相互に接続されるＣＰＵ２０００、ＲＡＭ２０２０、グラフィック・コントローラ２０７５、及び表示装置２０８０を有する。ＣＰＵ２０００は、制御部２０として機能してよい。また、ＲＡＭ２０２０は、情報格納部１０として機能してよい。
　入出力部は、入出力コントローラ２０８４によりホスト・コントローラ２０８２に接続される通信インターフェース２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、及びＣＤ－ＲＯＭドライブ２０６０を有する。レガシー入出力部は、入出力コントローラ２０８４に接続されるＲＯＭ２０１０、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０を有する。
　ホスト・コントローラ２０８２は、ＲＡＭ２０２０と、高い転送レートでＲＡＭ２０２０をアクセスするＣＰＵ２０００及びグラフィック・コントローラ２０７５とを接続する。ＣＰＵ２０００は、ＲＯＭ２０１０及びＲＡＭ２０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等がＲＡＭ２０２０内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置２０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。
　入出力コントローラ２０８４は、ホスト・コントローラ２０８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェース２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ－ＲＯＭドライブ２０６０を接続する。通信インターフェース２０３０は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ２０４０は、コンピュータ１９００内のＣＰＵ２０００が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ－ＲＯＭドライブ２０６０は、ＣＤ－ＲＯＭ２０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。
　また、入出力コントローラ２０８４には、ＲＯＭ２０１０と、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＲＯＭ２０１０は、コンピュータ１９００が起動時に実行するブート・プログラム、あるいは、コンピュータ１９００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク・ドライブ２０５０は、フレキシブルディスク２０９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。入出力チップ２０７０は、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、あるいは、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。
　ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ－ＲＯＭ２０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、ＲＡＭ２０２０を介してコンピュータ１９００内のハードディスクドライブ２０４０にインストールされ、ＣＰＵ２０００において実行される。
　当該プログラムは、コンピュータ１９００にインストールされる。当該プログラムは、ＣＰＵ２０００等に働きかけて、コンピュータ１９００を、試験装置１００の一部として機能させてよい。
　以上に示したプログラムは、外部の記録媒体に格納されてもよい。記録媒体としては、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ－ＲＯＭ２０９５の他に、ＤＶＤあるいはＣＤ等の光学記録媒体、ＭＯ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークあるいはインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ１９００に提供してもよい。
　以上、発明を実施の形態を用いて説明したが、発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

Claims (11)

  1. 　被試験デバイスを試験する試験装置であって、
    　前記被試験デバイスと信号を受け渡すことで、前記被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、
    　複数の前記試験モジュールを制御する制御部と
    　を備え、
    　それぞれの前記試験モジュールは、
    　前記被試験デバイスと信号を受け渡す試験部と、
    　与えられる診断データに基づいて、前記試験部の動作を診断する自己診断部と
    　を有し、
    　前記制御部は、同一の前記診断データを設定する前記自己診断部には、並行して前記診断データを供給し、異なる前記診断データを設定する前記自己診断部には、順次前記診断データを供給する試験装置。
  2. 　それぞれの前記試験モジュールの機能に関するモジュール情報を格納する情報格納部を更に備え、
    　前記制御部は、前記モジュール情報に基づいて、それぞれの前記自己診断部に前記診断データを供給する
    　請求項１に記載の試験装置。
  3. 　前記制御部は、
    　前記情報格納部が格納したモジュール情報に基づいて、同一の前記診断データを設定すべき前記自己診断部のグループを、前記診断データ毎に抽出するグループ抽出部と、
    　それぞれの前記診断データを、対応する前記グループ内の前記自己診断部に対して並行して供給する診断データ供給部と
    　を有する請求項２に記載の試験装置。
  4. 　前記制御部は、それぞれの前記自己診断部に対して、前記試験部の診断を並行して行わせる
    　請求項３に記載の試験装置。
  5. 　前記制御部は、複数の前記自己診断部に対して、前記試験部の診断を実行させる実行命令を並行して供給する命令供給部を更に有する
    　請求項４に記載の試験装置。
  6. 　前記命令供給部は、前記診断データ供給部が、全ての前記グループに対して前記診断データを設定した場合に、それぞれの前記自己診断部に前記実行命令を並行して供給する
    　請求項５に記載の試験装置。
  7. 　前記命令供給部は、前記診断データ供給部からの前記診断データの設定が終了した前記グループから順次、前記実行命令を供給する
    　請求項５に記載の試験装置。
  8. 　前記診断データ供給部は、少なくとも一つの前記グループに対して、他の前記グループの前記自己診断部が前記試験部の診断を行っている間に、前記診断データを設定する
    　請求項７に記載の試験装置。
  9. 　前記診断データ供給部は、前記試験部の診断に要する時間が長い前記グループから順に、前記診断データを供給する
    　請求項８に記載の試験装置。
  10. 　被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムであって、
    　前記試験装置を、
    　前記被試験デバイスと信号を受け渡すことで、前記被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、
    　複数の前記試験モジュールを制御する制御部と
    　して機能させ、
    　それぞれの前記試験モジュールを、
    　前記被試験デバイスと信号を受け渡す試験部と、
    　与えられる診断データに基づいて、前記試験部の動作を診断する自己診断部と
    　して機能させ、
    　前記制御部に、同一の前記診断データを設定する前記自己診断部には、並行して前記診断データを供給させ、異なる前記診断データを設定する前記自己診断部には、順次前記診断データを供給させるプログラム。
  11. 　請求項１０に記載のプログラムを記録した記録媒体。
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