KR100949281B1 - 시험 장치, 진단 프로그램 및 진단 방법 - Google Patents

시험 장치, 진단 프로그램 및 진단 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100949281B1
KR100949281B1 KR1020077021641A KR20077021641A KR100949281B1 KR 100949281 B1 KR100949281 B1 KR 100949281B1 KR 1020077021641 A KR1020077021641 A KR 1020077021641A KR 20077021641 A KR20077021641 A KR 20077021641A KR 100949281 B1 KR100949281 B1 KR 100949281B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
test
diagnostic
target
identification information
diagnostic program
Prior art date
Application number
KR1020077021641A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070112212A (ko
Inventor
사토시 이와모토
Original Assignee
가부시키가이샤 어드밴티스트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 어드밴티스트 filed Critical 가부시키가이샤 어드밴티스트
Publication of KR20070112212A publication Critical patent/KR20070112212A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100949281B1 publication Critical patent/KR100949281B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317—Testing of digital circuits
    • G01R31/3181—Functional testing
    • G01R31/3183—Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317—Testing of digital circuits
    • G01R31/3181—Functional testing
    • G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31901—Analysis of tester Performance; Tester characterization
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor

Abstract

본 발명은 각각의 시험 모듈의 진단에 사용할 수 있는 진단용 퍼포먼스 보드를 정한 설정 정보를 지금까지보다 적은 작업 부담으로 변경시키는 것을 목적으로 한다.
본 발명과 관련되는 시험 장치는 진단 대상의 시험 모듈의 종류마다 당해 종류의 진단 대상 시험 모듈의 진단을 제어시키는 대상 진단 프로그램을 기억하고, 그것과는 별개로, 각각의 대상 진단 프로그램에 의해 진단 대상 시험 모듈을 진단하기 위해서 테스트 헤드에 탑재되어야 하는 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보의 조를, 진단 대상 시험 모듈의 종류마다 기억한다.
진단용 퍼포먼스 보드가 테스트 헤드에 탑재되었을 경우에, 그 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득해, 그 식별 정보가 지정된 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 기억하고 있는 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로 당해 종류에 대응하는 대상 진단 프로그램을 실행한다.

Description

시험 장치, 진단 프로그램 및 진단 방법{Testing device, diagnostic program, and diagnostic method}
본 발명은 시험 장치, 진단 프로그램 및 진단 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은, 피시험 디바이스(device)를 시험하는 시험 모듈(module)을 진단하는 시험 장치, 진단 프로그램 및 진단 방법에 관한 것이다. 문헌의 참조에 의해, 편입이 인정되는 지정국에 대해서는, 아래와 같은 출원에 기재된 내용을 참조에 의해 본 출원에 편입하여, 본 출원의 일부로 한다.
일본국특허출원번호 2005－139651 출원일 2005년 5월 12일.
메모리(memory), 논리LSI(logic LSI) 또는 SoC(System on Chip) 등의 DUT(Device Under Test:피시험 디바이스)를 시험하는 시험 장치는, DUT와의 사이에 신호를 입출력하는 복수의 시험 모듈을 탑재하고 있다. 근년의 시험 장치에는, 호환성이 있는 복수의 시험 모듈을 탑재 가능한 슬롯(slot)이 설치되어 있고, 그 슬롯에 삽입하는 시험 모듈을 변경하는 것으로, 여러가지 시험을 실시할 수 있다(비특허 문헌 1참조). 여기서, 각각의 시험 모듈에 장해가 발생하면, 입력신호나 출력 신호를 올바르게 전달할 수 없게 되어, 피시험 디바이스를 적절히 시험할 수 없다.
이러한 장해에 대응하기 위해서, 시험 모듈마다 그 시험 모듈을 진단하기 위 한 진단 프로그램이 작성된다. 그리고, 시험 장치는, 그 진단 프로그램을 실행하는 것으로써, 대응하는 시험 모듈을 진단하는 진단 기능을 실현한다. 구체적으로는, 진단 대상의 시험 모듈의 진단에 있어서, 당해 시험 모듈이 출력한 진단용 신호를 다른 시험 모듈에 입력하여 기대치와 비교하며, 다른 시험 모듈이 출력한 진단용 신호를 당해 시험 모듈에 입력하여 기대치와 비교하는 등의 입출력 시험 등을 실시한다.
이러한 진단 기능을 실현하기 위해서, 시험 장치의 테스트 헤드(test head)에는 DUT를 재치(載置)하기 위한 퍼포먼스 보드(performance board)에 대신해, 시험 모듈을 진단하기 위한 진단용 퍼포먼스 보드를 탑재할 수가 있다. 예를 들면, 진단용 퍼포먼스 보드는 각각의 시험 모듈로부터 DUT에 대해서 출력되어야 하는 신호를 입력하여, 입력 한 그 신호를 다른 시험 모듈에 대해서 출력하는 것으로, 이들 시험 모듈의 입출력 기능을 진단 한다.
비특허 문헌 1: Semiconductor Test Consortium, "STC ANNOUNCES PUBLIC ACCESS TO THE OPENSTAR(tm) SPECS", [online], 2004년 12월 7일,［2005년 3월 16일 검색],인터넷＜URL:http://www.semitest.org/site/News/STC_Spec_Open_to_Public＞.
시험 모듈을 적절히 진단하기 위해서는, 시험 모듈에 대해서 미리 정해진 입력신호 등을 적절한 타이밍(timing)으로 입력해야 한다. 이 때문에, 테스트 헤드에 탑재해야 하는 진단용 퍼포먼스 보드는 진단대상으로 되는 시험 모듈에 대응하여 적절히 설계되어 있지 않으면 안 된다. 따라서, 종래, 진단 처리를 제어하는 진단 용 프로그램은, 테스트 헤드에 현재 탑재되고 있는 진단용 퍼포먼스 보드의 종류를 판별 한 다음, 그 종류의 진단용 퍼포먼스 보드가 그 시험 모듈의 진단에 적절한 경우에만, 그 시험 모듈을 진단하고 있었다.
어느 시험 모듈의 진단에는, 그 시험 모듈의 진단 전용으로 개발된 퍼포먼스 보드뿐만 아니라, 그 시험 모듈의 개량판에 대해 개발된 상위 호환의 퍼포먼스 보드를 이용할 수가 있는 경우가 있다. 그렇지만, 그 시험 모듈의 진단 전용의 퍼포먼스 보드와 상위 호환의 퍼포먼스 보드와는 종류가 다르다. 따라서, 종래의 진단용 프로그램은, 상위 호환의 퍼포먼스 보드를 이용해 시험 모듈을 진단할 수 없었다. 또한, 상위 호환의 퍼포먼스 보드를 이용한 진단 처리를 가능하게 하기 위해서는, 이러한 퍼포먼스 보드가 개발될 때마다, 진단용 프로그램을 다시 만들지 않으면 안 되었다.
[발명이 해결하려고 하는 과제]
본 발명은, 상기의 과제를 해결할 수 있는 시험 장치, 진단 프로그램 및 진단 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적은 청구의 범위에 있어서의 독립항에 기재의 특징의 조합에 의해 달성된다. 또한 종속항은 본 발명의 한층 더 유리한 구체적인 예를 규정한다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1 형태에 있어서는, 피시험 디바이스를 시험하는 시험 장치이며, 시험 신호를 피시험 디바이스에 공급하고, 공급한 시험 신호에 응하여 피시험 디바이스가 출력하는 출력 신호를 입력하는 복수의 시험 모듈과, 피시험 디바이스를 재치하는 퍼포먼스 보드이며, 재치한 피시험 디바이스와 복수의 시험 모듈을 접속하는 시험용 퍼포먼스 보드를 탑재하는 테스트 헤드와, 복수의 시험 모듈을 제어하는 제어장치를 구비하며, 제어장치는, 진단의 대상으로 되는 시험 모듈인 진단 대상 시험 모듈의 종류 마다, 제어장치에 의해 당해 종류의 진단 대상 시험 모듈의 진단을 제어시키는 대상 진단 프로그램을 기억하는 진단 프로그램 기억부와, 각각의 대상 진단 프로그램에 의해 진단 대상 시험 모듈을 진단하기 위해서 시험용 퍼포먼스 보드에 대신해 테스트 헤드에 탑재되어야 하는 서로 호환성이 있는 적어도 1개의 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 진단 대상 시험 모듈의 종류마다 기록 한 호환 정보 파일(file)을 격납하는 파일 격납부와, 진단용 퍼포먼스 보드가 테스트 헤드에 탑재되었을 경우에, 탑재된 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득하는 식별 정보 취득부와, 지정된 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 호환 정보 파일에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가, 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로서 당해 종류에 대응하는 대상 진단 프로그램을 실행하는 대상 진단 프로그램 실행부를 구비하는 시험 장치를 제공한다.
또한, 파일 격납부는 시험 장치에 탑재된 복수의 시험 모듈의 각각의 종류를 기록 한 시스템(system) 구성 파일을 더 격납하며, 제어장치는 시스템 구성 파일을 읽어 내어 당해 시험 장치에 탑재된 각각의 시험 모듈의 종류를 취득하는 종류 취득부와, 각각의 시험 모듈을 순차 진단 대상 시험 모듈로 하여 당해 진단 대상 시험 모듈의 종류에 응한 대상 진단 프로그램을 순차 선택하는 대상 진단 프로그램 선택부를 더 구비하며, 대상 진단 프로그램 실행부는 대상 진단 프로그램 선택부에 의해 선택된 대상 진단 프로그램을 당해 대상 진단 프로그램의 종류에 대응하여 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로서 실행해도 좋다.
또한, 제어장치는 테스트 헤드에 어느 하나의 진단용 퍼포먼스 보드가 탑재된 것을 검출하는 탑재 검출부를 더 구비하며, 식별 정보 취득부는 탑재 검출부에 의해 진단용 퍼포먼스 보드의 탑재가 검출되었던 것에 응하여 당해 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득해도 좋다.
또한, 제어장치는 복수의 시험 모듈의 각각을 호환 정보 파일에 대해 당해 시험 모듈의 종류에 대응하는 식별 정보의 어느 하나가 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로서 이용자에 의해 선택 가능하게 표시 하는 표시부와 표시부에 의해 표시된 시험 모듈 중 이용자로 지정된 시험 모듈을 진단하기 위한 대상 진단 프로그램을 선택하는 대상 진단 프로그램 선택부를 더 구비하고, 대상 진단 프로그램 실행부는 대상 진단 프로그램 선택부에 의해 선택된 대상 진단 프로그램을 실행해도 좋다.
또한, 표시부는 이용자에 의해 지정된 시험 모듈의 종류에 대응하여 호환 정보 파일에 기록된 식별 정보의 어느 것도 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하지 않는 경우에, 호환 정보 파일에 기록된 당해 식별 정보를 테스트 헤드에 탑재해야 할 퍼포먼스 보드를 나타내는 정보로서 이용자에게 표시해도 좋다.
본 발명의 제2 형태에 있어서는, 시험 신호를 피시험 디바이스에 공급하는 복수의 시험 모듈과, 복수의 시험 모듈을 제어하는 제어장치와, 피시험 디바이스를 재치하는 퍼포먼스 보드이며, 재치한 피시험 디바이스와 복수의 시험 모듈을 접속하는 시험용 퍼포먼스 보드를 탑재하는 테스트 헤드를 갖추는 시험 장치에 있어서, 제어장치에 의해 시험 모듈을 진단시키는 진단 프로그램이며, 제어장치를, 진단의 대상으로 되는 시험 모듈인 진단 대상 시험 모듈의 종류 마다 제어장치에 의해 당해 종류의 진단 대상 시험 모듈의 진단을 제어시키는 대상 진단 프로그램을 기억하는 진단 프로그램 기억부와, 각각의 대상 진단 프로그램에 의해 진단 대상 시험 모듈을 진단하기 위해서 시험용 퍼포먼스 보드에 대신해 테스트 헤드에 탑재되어야 하는 서로 호환성이 있는 적어도 1개의 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를, 진단 대상 시험 모듈의 종류마다 기록 한 호환 정보 파일을 격납하는 파일 격납부와, 진단용 퍼포먼스 보드가 테스트 헤드에 탑재되었을 경우에, 탑재된 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득하는 식별 정보 취득부와, 지정된 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 호환 정보 파일에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로서 당해 종류에 대응하는 대상 진단 프로그램을 실행하는 대상 진단 프로그램 실행부로서 기능시키는 진단 프로그램을 제공한다.
본 발명의 제3 형태에 있어서는, 시험 신호를 피시험 디바이스에 공급하는 복수의 시험 모듈과, 복수의 시험 모듈을 제어하는 제어장치와 피시험 디바이스를 재치하는 퍼포먼스 보드이며, 재치한 피시험 디바이스와 복수의 시험 모듈을 접속하는 시험용 퍼포먼스 보드를 탑재하는 테스트 헤드를 갖추는 시험 장치에 있어서, 제어장치에 의해 시험 모듈을 진단시키는 진단 방법이며, 제어장치는, 진단의 대상으로 되는 시험 모듈인 진단 대상 시험 모듈의 종류마다, 제어장치에 의해 당해 종류의 진단 대상 시험 모듈의 진단을 제어시키는 대상 진단 프로그램을 기억하는 진단 프로그램 기억부와, 각각의 대상 진단 프로그램에 의해 진단 대상 시험 모듈을 진단하기 위해서 시험용 퍼포먼스 보드에 대신해 테스트 헤드에 탑재되어야 하는 서로 호환성이 있는 적어도 1개의 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 진단 대상 시험 모듈의 종류 마다 기록 한 호환 정보 파일을 격납하는 파일 격납부를 구비하며, 진단용 퍼포먼스 보드가 테스트 헤드에 탑재되었을 경우에, 탑재된 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득하는 식별 정보 취득 단계와, 지정된 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 호환 정보 파일에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 식별 정보 취득 단계에 두어 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로서 당해 종류에 대응하는 대상 진단 프로그램을 실행하는 대상 진단 프로그램 실행 단계를 갖추는 진단 방법을 제공한다.
또한, 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징 모두를 열거한 것이 아니고, 이들 특징 군의 서브 콤비네이션(sub combination)도 발명이 될 수 있다.
본 발명에 의하면, 각각의 시험 모듈의 진단에 사용할 수 있는 진단용 퍼포먼스 보드를 정한 설정 정보를 지금까지보다 적은 작업 부담으로 변경할 수 있다.
도 1은 시험 장치(10)의 전체 구성을 나타낸다.
도 2는 제어장치(40) 기능을 기능 블록(block)으로 나타낸다.
도 3은 진단 프로그램 기억부(200) 및 파일 격납부(210)가 격납하는 각종 데이터의 제1구성 예를 나타낸다.
도 4는 진단 프로그램 기억부(200) 및 파일 격납부(210)가 격납하는 각종 데이터의 제2구성 예를 나타낸다.
도 5는 진단 프로그램 기억부(200) 및 파일 격납부(210)가 격납하는 각종 데이터의 제3구성 예를 나타낸다.
도 6은 제어장치(40)가 시험 모듈을 진단하는 처리의 일 예를 나타낸다.
도 7은 제어장치(40)가 시험 모듈을 진단하는 처리의 다른 예를 나타낸다.
도 8은 제어장치(40)로서 기능하는 정보 처리 장치(400)의 하드웨어(hardware) 구성의 일 예를 나타낸다.
<부호의 설명>
10: 시험 장치
20: 시험 모듈
30: 테스트 헤드
35: 진단용 퍼포먼스 보드
37: 시험용 퍼포먼스 보드
40: 제어장치
50: 피시험 디바이스
200: 진단 프로그램 기억부
210: 파일 격납부
220: 탑재 검출부
230: 식별 정보 취득부
240: 표시부
250: 종류 취득부
260: 대상 진단 프로그램 선택부
270: 대상 진단 프로그램 실행부
300: 대상 진단 프로그램
310: 판별용 서브 프로그램(subprogram)
320: 제어용 서브 프로그램
330: 호환 정보 파일
340: 호환 정보 파일
350－1~N: 대상 진단 프로그램
360: 판별 프로그램
370: 시스템(system) 구성 파일
400: 정보 처리 장치
[발명을 실시하기 위한 최선의 형태]
이하, 발명의 실시의 형태를 통해서 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 청구의 범위에 관한 발명을 한정하는 것이 아니고, 또 실시 형태 중에서 설명 되고 있는 특징의 조합의 모두가 발명의 해결 수단에 필수이다라고는 할 수 없다.
도 1은, 시험 장치(10)의 전체 구성을 나타낸다. 시험 장치(10)는 시험 모듈(20－1~N)과, 테스트 헤드(30)와, 진단용 퍼포먼스 보드(35)와, 시험용 퍼포먼스 보드(37)와, 제어장치(40)를 구비한다. 시험 모듈(20－1~N)의 각각은 시험 신호를 피시험 디바이스(50, DUT：Device Under Test)에 공급하여, 공급 한 시험 신호에 응하여 피시험 디바이스(50)가 출력하는 출력 신호를 입력한다. 테스트 헤드(30)는 피시험 디바이스(50)를 재치하는 퍼포먼스 보드인 시험용 퍼포먼스 보드(37)을 탑재한다. 그리고, 시험용 퍼포먼스 보드(37)는 테스트 헤드(30)에 탑재되었을 경우에, 재치한 피시험 디바이스(50)로 시험 모듈(20－1~N)을 접속한다.
한편, 진단용 퍼포먼스 보드(35)는 시험 모듈(20－1~N)의 적어도 1개의 양부(良否)를 진단하기 위해서 시험용 퍼포먼스 보드(37)에 대신해 테스트 헤드(30)에 탑재되어야 할 퍼포먼스 보드이다. 진단용 퍼포먼스 보드(35)는 피시험 디바이스(50)의 양부를 판단하기 위해서는 이용되지 않기 때문에 피시험 디바이스(50)를 재치 하지 않아도 된다. 제어장치(40)는 시험용 퍼포먼스 보드(37)가 탑재되고 있는 경우에 있어서는, 피시험 디바이스(50)의 양부를 판정하며, 진단용 퍼포먼스 보드(35)가 탑재되고 있는 경우에 있어서는, 시험 모듈(20－1~N)의 양부를 진단한다.
또한, 본 도면에 있어서의 시험 장치(10)는 예를 들면, 시험 제어용의 호스 트 컴퓨터(host computer) 및 피시험 디바이스(50)와의 사이에 시험 신호를 입출력하는 시험 유니트(unit)로부터 구성되어도 좋다. 이 경우, 예를 들면, 제어장치(40)는 호스트 컴퓨터에 의해 실현되며, 시험 모듈(20－1~N) 및 테스트 헤드(30)는 시험 유니트에 설치된다. 이에 대신해, 시험 모듈(20－1~N)의 각각의 적어도 일부의 기능이 호스트 컴퓨터에 의해 실현되어도 좋다.
본 실시예와 관련되는 시험 장치(10)는 통상 동작에 있어서 피시험 디바이스(50)를 시험하기 위해서 이용되는 시험 모듈(20－1~N)에 대해, 그 시험 동작이 정상인지 아닌지를 진단하는 것을 목적으로 한다. 이후, 테스트 헤드(30)에 진단용 퍼포먼스 보드(35)가 탑재되었을 경우의 제어를 설명한다.
도 2는 제어장치(40)의 기능을 기능 블록으로 나타낸다. 제어장치(40)는 진단 프로그램 기억부(200)와, 파일 격납부(210)와, 탑재 검출부(220)와, 식별 정보 취득부(230)와, 표시부(240)와 종류 취득부(250)와, 대상 진단 프로그램 선택부(260)와 대상 진단 프로그램 실행부(270)를 가진다. 진단 프로그램 기억부(200)는 진단의 대상으로 되는 시험 모듈인 진단 대상 시험 모듈의 종류마다, 제어장치(40)에 의해 그 종류의 진단 대상 시험 모듈의 진단을 제어시키는 대상 진단 프로그램을 기억한다.
파일 격납부(210)는 진단용 퍼포먼스 보드의 호환성에 관한 정보를 기록하고 있는 호환 정보 파일을 격납한다. 더욱 상세하게는, 호환 정보 파일은 각각의 대상 진단 프로그램에 의해 진단 대상 시험 모듈을 진단하기 위해서 시험용 퍼포먼스 보드(37)에 대신해 테스트 헤드(30)에 탑재되어야 하는 서로 호환성이 있는 적어도 1 개의 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를, 진단 대상 시험 모듈의 종류마다 기록하고 있다. 또, 파일 격납부(210)는 제어장치(40)에 탑재된 시험 모듈(20－1~N)의 각각의 종류를 기록한 시스템 구성 파일을 더 격납한다.
탑재 검출부(220)는 테스트 헤드(30)에 어느 하나의 진단용 퍼포먼스 보드가 탑재된 것을 검출한다. 그리고, 식별 정보 취득부(230)는 탑재 검출부(220)에 의해 진단용 퍼포먼스 보드의 탑재가 검출되었던 것에 응하여, 그 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득한다. 이에 대신해, 식별 정보 취득부(230)는 진단용 퍼포먼스 보드의 탑재에 관련되지 않고, 이용자로부터의 지시에 응하여 식별 정보를 취득해도 좋다. 표시부(240)는 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보에 근거하여, 시스템 구성 파일 중에 기록된 시험 모듈 중 진단 가능한 시험 모듈을 이용자에 의해 선택 가능하게 표시한다.
종류 취득부(250)는 시스템 구성 파일을 파일 격납부(210)로부터 읽어내어, 제어장치(40)에 탑재된 시험 모듈(20－1~N)의 종류를 취득한다. 대상 진단 프로그램 선택부(260)는 모든 시험 모듈을 진단하는 취지의 지시를 받았을 경우에 대해서는, 시험 모듈(20－1~N)의 각각을 순차 진단 대상 시험 모듈로 하여, 그 진단 대상 시험 모듈의 종류에 응한 대상 진단 프로그램을 순차 선택한다. 한편으로, 대상 진단 프로그램 선택부(260)는 특정의 시험 모듈을 진단 대상으로서 지정하는 지시를 받았을 경우에 대해서는, 그 시험 모듈의 종류에 응한 대상 진단 프로그램을 선택한다. 이 경우, 표시부(240)는 선택된 그 대상 진단 프로그램을, 탑재되어 있는 진단용 퍼포먼스 보드(35)가 탑재되어 있는 상태에 대해서는 실행할 수 없는 것을 조 건으로서, 탑재해야 하는 다른 퍼포먼스 보드를 나타내는 정보를 이용자에 대해서 표시해도 좋다.
대상 진단 프로그램 실행부(270)는 지정된 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 기록된 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 호환 정보 파일로부터 취득한다. 그리고, 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 취득한 식별 정보 중 적어도 1개가, 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로서 대상 진단 프로그램 선택부(260)에 의해 선택된 대상 진단 프로그램을 실행한다.
도 3은 진단 프로그램 기억부(200) 및 파일 격납부(210)가 격납하는 각종 데이터의 제1구성 예를 나타낸다. 진단 프로그램 기억부(200)는 시험 모듈(20－1)의 종류에 대응하여 당해 종류의 시험 모듈의 진단을 제어시키는 대상 진단 프로그램( 300－1)과, 시험 모듈(20－2)의 종류에 대응하여 당해 종류의 시험 모듈의 진단을 제어시키는 대상 진단 프로그램(300－2)을 격납한다. 대상 진단 프로그램(300－1)은 판별용 서브 프로그램(310－1)과 제어용 서브 프로그램(320－1)을 포함하며, 대상 진단 프로그램(300－2)은 판별용 서브 프로그램(310－2)과 제어용 서브 프로그램(320－2)을 포함한다. 판별용 서브 프로그램(310－1), 제어용 서브 프로그램(320－1), 판별용 서브 프로그램(310－2), 및 제어용 서브 프로그램(320－2)의 각각은 대상 진단 프로그램 선택부(260)에 의해 읽어 나와 실행되며, 대상 진단 프로그램 실행부(270)에 의해 실행된다.
또한, 파일 격납부(210)는 퍼포먼스 보드의 호환성에 관한 정보를 기록한 호환 정보 파일(330－1) 및 호환 정보 파일(330－2)과, 제어장치(40)에 탑재되어 있 는 시험 모듈의 종류를 기록한 시스템 구성 파일(370)을 격납한다. 호환 정보 파일(330－1)은 시험 모듈(20－1)의 종류인 모듈 타입 1에 대응하여 설치된다. 그리고, 호환 정보 파일(330－1)은 모듈 타입 1의 시험 모듈을 진단하기 위해서 테스트 헤드(30)에 탑재되어야 하는 퍼포먼스 보드(PB)의 식별 정보(ID)로서 A 및 B를 기록한다. 호환 정보 파일(330－2)은 시험 모듈(20－2)의 종류인 모듈 타입 2에 대응 하여 설치된다. 호환 정보 파일(330－2)은 모듈 타입 2의 시험 모듈을 진단하기 위해서 테스트 헤드(30)에 탑재되어야 할 퍼포먼스 보드(PB)의 식별 정보(ID)로서 B를 기록한다.
판별용 서브 프로그램(310－1)의 제어에 근거하여, 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 호환 정보 파일(330－1)에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는지 아닌지를 판단한다. 일치하는 경우에는, 제어용 서브 프로그램(320－1)의 제어에 근거하여, 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 시험 모듈(20－1)을 진단하기 위한 제어 신호를 시험 모듈(20－1)에 대해서 송신한다. 즉, 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보가 A 또는 B이면, 대상 진단 프로그램 실행부(270)은 시험 모듈(20－1)의 진단을 개시할 수 있다.
유사하게, 판별용 서브 프로그램(310－2)의 제어에 근거하여, 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 호환 정보 파일(330－2)에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는지 아닌지를 판단한다. 일치하는 경우에는, 제어용 서브 프로그램(320－2)의 제어에 근거하여, 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 시험 모듈(20－2)을 진단하기 위한 제어 신호를 시험 모듈(20－2)에 송신한다. 즉, 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보가 B이면, 대상 진단 프로그램 실행부(270)은 시험 모듈(20－2)의 진단을 개시할 수 있다.
이와 같이, 본 도면에 설명한 구성에 의하면, 호환 정보 파일과 대상 진단 프로그램을 별개의 파일로서 기록할 수가 있으므로, 진단용 퍼포먼스 보드의 호환성에 관한 정보의 갱신과 관련되는 작업 부담을 경감할 수가 있다.
또한, 시스템 구성 파일(370)은 제어장치(40)에 탑재된 복수의 시험 모듈의 각각의 종류를 기록하고 있다. 예를 들면 본 도면의 예에서는, 시스템 구성 파일(370)은 제어장치(40)에 탑재되어 있는 시험 모듈의 종류에 대응하여 수치 1을 기록하고 있고, 제어장치(40)에 탑재되어 있지 않은 시험 모듈의 종류에 대응하여 수치의 0을 기록하고 있다. 즉, 모듈 타입 1 및 2의 시험 모듈은 제어장치(40)에 탑재되어 있고, 모듈 타입 3의 시험 모듈은 제어장치(40)에 탑재되어 있지 않다. 이에 의해, 탑재되어 있는 시험 모듈의 종류를 용이하게 판별할 수 있다.
도 4는 진단 프로그램 기억부(200) 및 파일 격납부(210)가 격납하는 각종 데이터의 제2구성 예를 나타낸다. 본 예에 있어서의 진단 프로그램 기억부(200)는 도 3의 제1구성 예와 마찬가지로, 대상 진단 프로그램(300－1)과 대상 진단 프로그램(300－2)를 격납한다. 대상 진단 프로그램(300－1) 및 대상 진단 프로그램(300－2)의 구성 및 기능은 도 3에서 이미 설명했으므로 본 예에 있어서의 설명을 생략한다. 한편으로, 파일 격납부(210)는 도 3의 호환 정보 파일(330－1) 및 호환 정보 파일(330－2)에 대신해 호환 정보 파일(340)을 격납한다.
호환 정보 파일(340)은 단일의 파일 내에서, 모듈 타입 1의 시험 모듈을 진단하기 위해서 테스트 헤드(30)에 탑재되어야 할 퍼포먼스 보드의 ID 및 모듈 타입 2의 시험 모듈을 진단하기 위해서 테스트 헤드(30)에 탑재되어야 할 퍼포먼스 보드의 ID의 쌍방을 기록한다. 이러한 구성에 의하면, 단일의 파일에 대한 편집 작업만으로, 진단용 퍼포먼스 보드의 호환성에 관한 정보를 갱신할 수 있다.
도 5는 진단 프로그램 기억부(200) 및 파일 격납부(210)가 격납하는 각종 데이터(data)의 제3구성 예를 나타낸다. 본 예에 있어서의 파일 격납부(210)는 도 3의 제1구성 예와 마찬가지로, 호환 정보 파일(330－1), 호환 정보 파일(330－2) 및 시스템 구성 파일(370)을 격납한다. 호환 정보 파일(330－1), 호환 정보 파일(330－2) 및 시스템 구성 파일(370)의 구성은, 도 3에서 이미 설명했으므로, 본 예에 있어서의 설명을 생략한다. 한편으로, 진단 프로그램 기억부(200)는 도 3의 제1구성 예와 달리, 대상 진단 프로그램(350－1)과 대상 진단 프로그램(350－2)과 판별 프로그램(360)을 각각 별개의 파일로서 격납한다.
판별 프로그램(360)의 제어에 근거하여, 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 호환 정보 파일(330－1)에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는지 아닌지를 판단한다. 또, 판별 프로그램(360)의 제어에 근거하여, 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 호환 정보 파일( 330－2)에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는지 아닌지를 판단한다. 각각의 판단 결과는, 대상 진단 프 로그램(350－1) 및 대상 진단 프로그램(350－2)에 보내진다.
대상 진단 프로그램(350－1)의 제어에 근거하여, 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 시험 모듈(20－1)을 진단하기 위한 제어 신호를 시험 모듈(20－1)에 대해서 송신한다. 또, 대상 진단 프로그램(350－2)의 제어에 근거하여, 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 시험 모듈(20－2)을 진단하기 위한 제어 신호를 시험 모듈(20－2)에 대해서 송신한다. 이와 같이, 본 구성 예에 대해서는, 퍼포먼스 보드의 호환성을 판별하는 프로그램은 각각의 대상 진단 프로그램에 공통의 프로그램 모듈로서 공통화되어 있다. 이 구성 예에 의하면, 시험 모듈의 진단 처리를 개변·수정 하는 경우에 대하여는 호환성의 판별 기능에 영향을 주는 일 없이 작업할 수 있고, 호환성의 판별 기능을 개변·수정 하는 경우에 대하여 시험 모듈의 진단 처리에 영향을 주는 일 없이 작업할 수 있다.
도 6은 제어장치(40)가 시험 모듈을 진단하는 처리의 일 예를 나타낸다. 시험 장치(10)에 탑재되어 있는 모든 시험 모듈을 순차 진단하는 지시를 받았을 경우에(S600：YES), 식별 정보 취득부(230)는 진단용 퍼포먼스 보드(35)의 식별 정보를 취득한다(S610). 그리고, 종류 취득부(250)는 시스템 구성 파일(370)을 읽어내고(S620), 시험 장치(10)에 탑재된 시험 모듈(20－1~N)의 종류를 취득한다(S630). 대상 진단 프로그램 선택부(260)는 시험 모듈(20－1~N)의 각각을 진단 대상 시험 모듈로서 순차 지정해, 그 진단 대상 시험 모듈의 종류에 응한 대상 진단 프로그램을 선택한다(S640). 각각의 시험 모듈에 대응하는 대상 진단 프로그램은, 미리 정해져 있어도 좋고, 파일 격납부(210)에 더 격납된 다른 설정 파일에 의해 정해져도 좋다.
대상 진단 프로그램 실행부(270)는 지정된 그 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 호환 정보 파일(330－1 등)에 기록된 식별 정보의 적어도 1개가 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로(S650：YES), 선택된 그 대상 진단 프로그램을 실행한다(S660). 시스템 구성 파일(370)에 기록된 시험 모듈 가운데, 아직도 진단 처리의 대상으로서 선택되어 있지 않은 시험 모듈이 남아 있으면(S670：YES), 모든 시험 모듈을 순차 선택할 수 있도록 처리를 S640에 되돌린다.
한편으로, 시험 장치(10)에 탑재된 복수의 시험 모듈의 모두에 대해, 진단 처리의 대상으로서 이미 선택했다면(S670：NO), 제어장치(40)는 본 도면의 처리를 종료한다.
이상, 본 도면의 처리에 의하면, 제어장치(40)는 시험 장치(10)에 탑재된 모든 시험 모듈 중에서, 테스트 헤드(30)에 현재 탑재되어 있는 퍼포먼스 보드를 이용해 진단 가능한 시험 모듈만을 자동적으로 선택하여, 진단 처리를 실행할 수 있다.
도 7은 제어장치(40)가 시험 모듈을 진단하는 처리의 다른 예를 나타낸다. 탑재 검출부(220)에 의해 진단용 퍼포먼스 보드의 탑재가 검출되었던 것에 응하여(S700：YES), 식별 정보 취득부(230)는 그 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득한다(S710). 그리고, 표시부(240)는 시험 장치(10)에 탑재된 복수의 시험 모듈의 각각을, 시스템 구성 파일(370)에 대해 그 시험 모듈의 종류에 대응하는 식별 정보의 어느 하나가, 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로 이용자에게 표시한다(S720). 예를 들면, 표시부(240)는 상기 조건을 만족하는 각 시험 모듈의 ID를, 이용자에 의해 선택 가능한 것 같게 체크 박스(check box)에 대응하여 화면상에 일람표시한다. 이에 더하여, 표시부(240)는 상기 조건을 만족하지 않는 각 시험 모듈의 ID를, 그레이 아웃(gray out)(선택 불능인 취지를 나타내는 그레이의 문자에 의한 표시 연출)하여 표시해도 좋다.
대상 진단 프로그램 선택부(260)는 표시부(240)에 의해 표시된 시험 모듈 중 이용자로 지정된 시험 모듈을 진단 대상 시험 모듈로 하여, 그 진단 대상 시험 모듈을 진단하기 위한 대상 진단 프로그램을 선택한다(S730). 대상 진단 프로그램 실행부(270)는 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 호환 정보 파일에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가, 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로(S740：YES), 선택된 대상 진단 프로그램을 실행한다(S750).
한편으로, 이용자에 의해 지정된 상기 시험 모듈의 종류에 대응하여 호환 정보 파일 330－1등에 기록된 식별 정보의 어느 것도, 식별 정보 취득부(230)에 의해 취득된 식별 정보와 일치하지 않는 경우에(S740：NO), 표시부(240)는 지정된 시험 모듈의 종류에 대응하여 기록된 식별 정보를 호환 정보 파일(330－1 등)로부터 읽기 내어, 그들 중 적어도 어느 것이나 1개를 테스트 헤드(30)에 탑재해야 할 퍼포먼스 보드를 나타내는 정보로서 이용자에게 표시 한다(S760).
도 8은 제어장치(40)를 구성하는 호스트 컴퓨터로서 기능하는 정보 처리 장치(400)의 하드웨어 구성의 일 예를 나타낸다. 정보 처리 장치(400)는 호스트 컨트 롤러(1082)에 의해 상호에 접속되는 CPU(1000), RAM(1020), 및 그래픽 컨트롤러(1075)를 갖는 CPU 주변부와, 입출력 컨트롤러(1084)에 의해 호스트 컨트롤러(1082)에 접속되는 통신 인터페이스(1030), 하드 디스크 드라이브(1040) 및 CD－ROM 드라이브(1060)을 갖는 입출력부와, 입출력 컨트롤러(1084)에 접속되는 ROM(1010), 플렉시블 디스크 드라이브(1050) 및 입출력 칩(1070)을 갖는 리거시(legacy) 입출력부를 갖춘다.
호스트 컨트롤러(1082)는 RAM(1020)과, 높은 전송율로 RAM(1020)을 억세스(access)하는 CPU(1000) 및 그래픽 컨트롤러(1075)를 접속한다. CPU(1000)는 ROM(1010) 및 RAM(1020)에 격납된 프로그램에 근거하여 동작하며, 각부의 제어를 실시한다. 그래픽 컨트롤러(1075)는 CPU(1000) 등이 RAM(1020) 내에 마련한 프레임 버퍼(frame buffer) 상에 생성하는 화상 데이터를 취득해, 표시장치(1080) 상에 표시시킨다. 이에 대신하여, 그래픽 컨트롤러(1075)는 CPU(1000) 등이 생성하는 화상 데이터를 격납하는 프레임 버퍼를 내부에 포함해도 좋다.
입출력 컨트롤러(1084)는, 호스트 컨트롤러(1082)와, 비교적 고속의 입출력 장치인 통신 인터페이스(1030), 하드 디스크 드라이브(1040) 및 CD－ROM 드라이브(1060)를 접속한다. 통신 인터페이스(1030)는 네트워크(network)를 통하여 외부의 장치와 통신한다. 하드 디스크 드라이브(1040)는 정보 처리 장치(400)가 사용 하는 프로그램 및 데이터를 격납한다. CD－ROM 드라이브(1060)는 CD－ROM(1095)으로부터 프로그램 또는 데이터를 읽어 내어, RAM(1020) 또는 하드 디스크 드라이브(1040)에 제공한다.
또한, 입출력 컨트롤러(1084)에는 ROM(1010)과, 플렉시블 디스크 드라이브(1050)나 입출력 칩(1070) 등의 비교적 저속인 입출력 장치가 접속된다. ROM(1010)은 정보 처리 장치(400)의 기동 시에 CPU(1000)가 실행하는 부트 프로그램(boot program)이나, 정보 처리 장치(400)의 하드웨어에 의존하는 프로그램 등을 격납한다. 플렉시블 디스크 드라이브(1050)는 플렉시블 디스크(1090)로부터 프로그램 또는 데이터를 읽어 내어, 입출력 칩(1070)을 통해 RAM(1020) 또는 하드 디스크 드라이브(1040)에 제공한다. 입출력 칩(1070)은 플렉시블 디스크(1090)나, 예를 들면 패럴렐 포트(parallel port), 시리얼 포트(serial port), 키보드 포트(keyboard port), 마우스 포트(mouse port) 등을 통하여 각종의 입출력 장치를 접속한다.
또한, 정보 처리 장치(400)에는, 제어장치(40)에 의해 시험 모듈(20－1~N)를 진단시키는 진단 프로그램이 제공된다. 진단 프로그램은 대상 진단 프로그램(300－1~2), 대상 진단 프로그램(350－1~2) 및 판별 프로그램(360)을 포함한다. 이러한 프로그램은, 플렉시블 디스크(1090), CD－ROM(1095) 또는 IC 카드 등의 기록 매체에 격납되어 이용자에 의해 제공된다. 프로그램은, 입출력 칩(1070) 및/또는 입출력 컨트롤러(1084)를 통하여, 기록 매체로부터 읽어 나와, 정보 처리 장치(400)에 인스톨 되어 실행된다. 프로그램이 정보 처리 장치(400) 등에 구동되어 실행시키는 동작은 도 1부터 도 7에 있어서 설명한 제어장치(40)에서의 동작과 동일하므로 설명을 생략한다.
이상으로 나타낸 프로그램은, 외부의 기억 매체에 격납되어도 좋다. 기억 매체로서는, 플렉시블 디스크(1090), CD－ROM(1095) 외에, DVD나 PD 등의 광학 기록 매체, MD 등의 광자기 기록 매체, 테이프(tape) 매체, IC 카드 등의 반도체 메모리 등을 이용할 수 있다. 또한, 전용 통신 네트워크나 인터넷에 접속된 서버 시스템(server sysytem)에 마련한 하드 디스크 또는 RAM 등의 기억장치를 기록 매체로사용하여, 네트워크를 통해 프로그램을 정보 처리 장치(400)에 제공해도 좋다.
이상, 본 실시예에 있어서의 시험 장치(10)는 퍼포먼스 보드의 호환성을 나타내는 정보를, 시험 모듈의 진단 처리를 실시하는 프로그램과는 별개의 파일로서 기록한다. 이에 의해, 새롭게 개발된 진단용 퍼포먼스 보드를, 이미 존재하는 시험 모듈의 시험에 사용할 수 있도록 설정 변경하기 때문에 작업 부담을 경감할 수가 있다.
이상, 본 발명을 실시형태를 이용해 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시의 형태에 기재의 범위에는 한정되지 않는다. 상기 실시형태에, 다양한 변경 또는 개량을 추가할 수 있다는 것은 당업자에게 분명하다. 이와 같은 변경 또는 개량을 추가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이 청구의 범위의 기재로부터 분명하다.

Claims (8)

  1. 피시험 디바이스를 시험하는 시험 장치에 있어서,
    시험 신호를 상기 피시험 디바이스에 공급하고, 공급한 상기 시험 신호에 응하여 상기 피시험 디바이스가 출력하는 출력 신호를 입력하는 복수의 시험 모듈;
    상기 피시험 디바이스를 재치하는 퍼포먼스 보드이며, 재치한 상기 피시험 디바이스와 상기 복수의 시험 모듈을 접속하는 시험용 퍼포먼스 보드를 탑재하는 테스트 헤드; 및
    상기 복수의 시험 모듈을 실행하고 제어하기 위한 CPU를 갖는 제어장치;를 구비하며,
    상기 제어장치는,
    진단의 대상으로 되는 시험 모듈인 진단 대상 시험 모듈의 종류마다, 상기 제어장치에 의해 당해 종류의 진단 대상 시험 모듈의 진단을 제어시키기 위하여 상기 CPU에 의해 실행되는 대상 진단 프로그램을 기억하는 진단 프로그램 기억부;
    상기 CPU의 제어에 따라, 각각의 대상 진단 프로그램에 의해 상기 진단 대상 시험 모듈을 진단하기 위해서 상기 시험용 퍼포먼스 보드에 대신해 상기 테스트 헤드에 탑재되어야 하는 서로 호환성이 있는 적어도 1개의 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 진단 대상 시험 모듈의 종류마다 기록한 호환 정보 파일(file)을 격납하는 파일 격납부;
    상기 CPU의 제어에 따라, 상기 진단용 퍼포먼스 보드가 상기 테스트 헤드에 탑재되었을 경우에, 탑재된 상기 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득하는 식별 정보 취득부; 및
    상기 CPU의 제어에 따라, 지정된 상기 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 상기 호환 정보 파일에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 상기 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로서 당해 종류에 대응하는 대상 진단 프로그램을 실행하는 대상 진단 프로그램 실행부;
    를 구비하는 시험 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 파일 격납부는 상기 시험 장치에 탑재된 상기 복수의 시험 모듈의 각각의 종류를 기록한 시스템 구성 파일을 더 격납하며,
    상기 제어장치는,
    상기 CPU의 제어에 따라 시스템 구성 파일을 읽어내어 당해 시험 장치에 탑재된 각각의 상기 시험 모듈의 종류를 취득하는 종류 취득부; 및
    상기 CPU의 제어에 따라 각각의 상기 시험 모듈을 순차 상기 진단 대상 시험 모듈로 하여 당해 진단 대상 시험 모듈의 종류에 응하여 상기 대상 진단 프로그램을 순차 선택하는 대상 진단 프로그램 선택부;
    를 더 구비하며,
    상기 대상 진단 프로그램 실행부는 상기 대상 진단 프로그램 선택부에 의해 선택된 상기 대상 진단 프로그램을 당해 대상 진단 프로그램의 종류에 대응하여 기록된 상기 식별 정보 중 적어도 1개가 상기 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로 하는 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어장치는,
    상기 CPU의 제어에 따라 상기 테스트 헤드에 어느 하나의 진단용 퍼포먼스 보드가 탑재된 것을 검출하는 탑재 검출부를 더 구비하며, 상기 식별 정보 취득부는 상기 탑재 검출부에 의해 상기 진단용 퍼포먼스 보드의 탑재가 검출되었던 것에 응하여 당해 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득하는 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제어장치는,
    상기 복수의 시험 모듈의 각각을, 상기 호환 정보 파일에 대해 당해 시험 모듈의 종류에 대응하는 식별 정보의 어느 하나가 상기 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로, 표시장치에 이용자에 의해 선택 가능하게 표시하는 표시부; 및
    상기 CPU의 제어에 따라 상기 표시부에 의해 표시된 시험 모듈 중 이용자로 지정된 시험 모듈을 진단하기 위한 대상 진단 프로그램을 선택하는 대상 진단 프로그램 선택부;
    를 더 구비하고,
    상기 대상 진단 프로그램 실행부는 상기 대상 진단 프로그램 선택부에 의해 선택된 대상 진단 프로그램을 실행하는 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 표시부는 이용자에 의해 지정된 상기 시험 모듈의 종류에 대응하여 상기 호환 정보 파일에 기록된 식별 정보의 어느 것도 상기 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하지 않는 경우에, 상기 호환 정보 파일에 기록된 당해 식별 정보를 상기 테스트 헤드에 탑재해야 할 퍼포먼스 보드를 나타내는 정보로서 이용자에게 표시하는 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  6. 시험 신호를 피시험 디바이스에 공급하는 복수의 시험 모듈과, 상기 복수의 시험 모듈을 실행하고 제어하기 위한 CPU를 갖는 제어장치와, 상기 피시험 디바이스를 재치하는 퍼포먼스 보드이며 재치한 상기 피시험 디바이스와 상기 복수의 시험 모듈을 접속하는 시험용 퍼포먼스 보드를 탑재하는 테스트 헤드를 구비하는 시험 장치에 있어서, 상기 제어장치에 의해 상기 시험 모듈을 진단시키는 진단 프로그램을 기록한 기록 매체이며,
    상기 제어장치를,
    진단의 대상으로 되는 시험 모듈인 진단 대상 시험 모듈의 종류마다, 상기 제어장치에 의해 당해 종류의 진단 대상 시험 모듈의 진단을 제어시키기 위하여 상기 CPU에 의해 실행되는 대상 진단 프로그램을 기억하는 진단 프로그램 기억부와
    상기 CPU의 제어에 따라, 각각의 대상 진단 프로그램에 의해 상기 진단 대상 시험 모듈을 진단하기 위해서 상기 시험용 퍼포먼스 보드에 대신해 상기 테스트 헤드에 탑재되어야 하는 서로 호환성이 있는 적어도 1개의 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를, 진단 대상 시험 모듈의 종류마다 기록한 호환 정보 파일을 격납하는 파일 격납부와,
    상기 CPU의 제어에 따라, 상기 진단용 퍼포먼스 보드가 상기 테스트 헤드에 탑재되었을 경우에, 탑재된 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득하는 식별 정보 취득부와,
    상기 CPU의 제어에 따라, 지정된 상기 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 상기 호환 정보 파일에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 상기 식별 정보 취득부에 의해 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로서 당해 종류에 대응하는 상기 대상 진단 프로그램을 실행하는 대상 진단 프로그램 실행부,
    로서 기능시키는 진단 프로그램을 기록한 기록 매체.
  7. 삭제
  8. 시험 신호를 피시험 디바이스에 공급하는 복수의 시험 모듈과, 상기 복수의 시험 모듈을 실행하고 제어하기 위한 CPU를 갖는 제어장치와, 상기 피시험 디바이스를 재치하는 퍼포먼스 보드이며 재치한 상기 피시험 디바이스와 상기 복수의 시험 모듈을 접속하는 시험용 퍼포먼스 보드를 탑재하는 테스트 헤드를 구비하는 시험 장치에 있어서, 상기 제어장치에 의해 상기 시험 모듈을 진단시키는 진단 방법이며,
    상기 제어장치는,
    진단의 대상으로 되는 시험 모듈인 진단 대상 시험 모듈의 종류마다, 상기 제어장치에 의해 당해 종류의 진단 대상 시험 모듈의 진단을 제어시키기 위하여 상기 CPU에 의해 실행되는 대상 진단 프로그램을 기억하는 진단 프로그램 기억부와
    상기 CPU의 제어에 따라, 각각의 대상 진단 프로그램에 의해 상기 진단 대상 시험 모듈을 진단하기 위해서 상기 시험용 퍼포먼스 보드에 대신해 상기 테스트 헤드에 탑재되어야 하는 서로 호환성이 있는 적어도 1개의 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 진단 대상 시험 모듈의 종류마다 기록한 호환 정보 파일을 격납하는 파일 격납부,
    를 구비하며,
    상기 진단용 퍼포먼스 보드가 상기 테스트 헤드에 탑재되었을 경우에, 탑재된 상기 진단용 퍼포먼스 보드의 식별 정보를 취득하는 식별 정보 취득 단계; 및
    지정된 상기 진단 대상 시험 모듈의 종류에 대응하여 상기 호환 정보 파일에 기록된 식별 정보 중 적어도 1개가 상기 식별 정보 취득 단계에 있어서 취득된 식별 정보와 일치하는 것을 조건으로 당해 종류에 대응하는 상기 대상 진단 프로그램을 실행하는 대상 진단 프로그램 실행 단계;
    를 포함하는 진단 방법.
KR1020077021641A 2005-05-12 2006-04-19 시험 장치, 진단 프로그램 및 진단 방법 KR100949281B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005139651A JP4571534B2 (ja) 2005-05-12 2005-05-12 試験装置、診断プログラムおよび診断方法
JPJP-P-2005-00139651 2005-05-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070112212A KR20070112212A (ko) 2007-11-22
KR100949281B1 true KR100949281B1 (ko) 2010-03-25

Family

ID=37396365

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077021641A KR100949281B1 (ko) 2005-05-12 2006-04-19 시험 장치, 진단 프로그램 및 진단 방법

Country Status (9)

Country Link
US (1) US7158908B2 (ko)
EP (1) EP1881331B1 (ko)
JP (1) JP4571534B2 (ko)
KR (1) KR100949281B1 (ko)
CN (1) CN101147073B (ko)
DE (1) DE602006010363D1 (ko)
MY (1) MY138785A (ko)
TW (1) TW200700753A (ko)
WO (1) WO2006120852A1 (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5021924B2 (ja) * 2005-09-27 2012-09-12 株式会社アドバンテスト パフォーマンスボード、試験装置及び試験方法
US7552028B2 (en) * 2006-12-01 2009-06-23 Advantest Corporation Recording medium, test apparatus and diagnostic method
US20080133165A1 (en) * 2006-12-04 2008-06-05 Advantest Corporation Test apparatus and device interface
US7640132B2 (en) * 2007-04-23 2009-12-29 Advantest Corporation Recording medium and test apparatus
JP2009210311A (ja) * 2008-03-03 2009-09-17 Yokogawa Electric Corp パフォーマンスボード識別装置
CN101576603B (zh) * 2008-05-07 2011-06-01 环旭电子股份有限公司 测试装置
CN102077102B (zh) * 2008-07-02 2013-06-19 爱德万测试株式会社 测试装置和方法
CN101686414B (zh) * 2008-09-26 2013-06-05 深圳富泰宏精密工业有限公司 移动电话测试装置
JP5153670B2 (ja) * 2009-01-30 2013-02-27 株式会社アドバンテスト 診断装置、診断方法および試験装置
JP2013175082A (ja) * 2012-02-27 2013-09-05 Hitachi Automotive Systems Ltd 電子制御装置の検証装置
JP6512052B2 (ja) 2015-09-29 2019-05-15 新東工業株式会社 テストシステム
CN109541426B (zh) * 2018-11-21 2021-09-24 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院 一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法
KR102326670B1 (ko) * 2020-07-14 2021-11-16 주식회사 엑시콘 진단 디바이스가 구비된 반도체 디바이스 테스트 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0337582A (ja) * 1989-07-03 1991-02-18 Mitsubishi Electric Corp Ｉｃテスタ
JPH11118879A (ja) * 1997-10-20 1999-04-30 Toshiba Microelectronics Corp 半導体ｉｃ試験装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3116079A1 (de) * 1981-04-23 1982-11-11 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Pruefsystem
JPS61138184A (ja) * 1984-12-10 1986-06-25 Nec Corp テストプログラムによる試験機ハ−ドウエア確認方式
JPS62240875A (ja) * 1986-04-12 1987-10-21 Fanuc Ltd プリント板自動検査装置
US5036479A (en) * 1989-04-20 1991-07-30 Trw Inc. Modular automated avionics test system
US5357519A (en) * 1991-10-03 1994-10-18 Apple Computer, Inc. Diagnostic system
JP3263475B2 (ja) 1993-03-29 2002-03-04 株式会社アドバンテスト 半導体試験装置の自動試験装置及び方法
JP3730340B2 (ja) * 1996-11-20 2006-01-05 株式会社アドバンテスト 半導体試験装置
SG67501A1 (en) * 1997-05-12 1999-09-21 Advantest Corp Semiconductor device testing apparatus
JPH11304880A (ja) 1998-04-20 1999-11-05 Advantest Corp 半導体試験装置
JP2002174674A (ja) 2000-12-05 2002-06-21 Advantest Corp 半導体試験装置及びその予防保守方法
JP2002350507A (ja) * 2001-05-29 2002-12-04 Ricoh Co Ltd Ｌｓｉテスタ
DE602004017327D1 (de) * 2003-08-06 2008-12-04 Advantest Corp Testvorrichtung, korrekturwert-verwaltungsverfahren und entsprechendes computerprogramm
JP2006275986A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Advantest Corp 診断プログラム、切替プログラム、試験装置、および診断方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0337582A (ja) * 1989-07-03 1991-02-18 Mitsubishi Electric Corp Ｉｃテスタ
JPH11118879A (ja) * 1997-10-20 1999-04-30 Toshiba Microelectronics Corp 半導体ｉｃ試験装置

Also Published As

Publication number Publication date
MY138785A (en) 2009-07-31
JP2006317256A (ja) 2006-11-24
EP1881331A4 (en) 2009-01-07
EP1881331A1 (en) 2008-01-23
CN101147073B (zh) 2011-03-09
TW200700753A (en) 2007-01-01
US20060259264A1 (en) 2006-11-16
WO2006120852A1 (ja) 2006-11-16
EP1881331B1 (en) 2009-11-11
KR20070112212A (ko) 2007-11-22
CN101147073A (zh) 2008-03-19
JP4571534B2 (ja) 2010-10-27
US7158908B2 (en) 2007-01-02
DE602006010363D1 (de) 2009-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100949281B1 (ko) 시험 장치, 진단 프로그램 및 진단 방법
KR100919942B1 (ko) 진단 프로그램, 교체 프로그램, 시험 장치, 및 진단 방법
US7552028B2 (en) Recording medium, test apparatus and diagnostic method
JP5153774B2 (ja) 試験装置、プログラム、および、記録媒体
US20110191509A1 (en) Automatically Launching a Measurement Application in Response to Measurement Device Connection
CN100524241C (zh) 多操作系统平台整合测试方法
US20080262778A1 (en) Recording medium, test apparatus and program
KR101227669B1 (ko) 시험 장치, 회로 장치 및 프로그램
CN102305906B (zh) 芯片测试方法及装置
CN101714113A (zh) 一种虚拟设备的测试方法
KR100919384B1 (ko) 디바이스 진단
KR100751108B1 (ko) 디스플레이 장치의 입력신호 판별장치 및 방법
US6694281B2 (en) Real time signal analysis of a remote block data storage device
CN110780189A (zh) 一种基于fpga的sdio接口测试设备与方法
CN116736823A (zh) 跨平台的控制器硬件在环测试方法、装置及系统
CN113591500A (zh) 一种nfc芯片读写次数自动检测方法及装置
JP2007205726A (ja) 診断装置、プログラム、記録媒体、及び試験装置システム
JPH05165767A (ja) バス使用状況表示機能を備えた情報処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130227

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee