JP3263475B2 - 半導体試験装置の自動試験装置及び方法 - Google Patents
半導体試験装置の自動試験装置及び方法Info
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- JP3263475B2 JP3263475B2 JP09366393A JP9366393A JP3263475B2 JP 3263475 B2 JP3263475 B2 JP 3263475B2 JP 09366393 A JP09366393 A JP 09366393A JP 9366393 A JP9366393 A JP 9366393A JP 3263475 B2 JP3263475 B2 JP 3263475B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体試験装置の試験を
行う場合に、試験手順を自動生成し、制御することによ
り、試験を開始し結果を収集する自動試験装置及び自動
試験方法に関する。
行う場合に、試験手順を自動生成し、制御することによ
り、試験を開始し結果を収集する自動試験装置及び自動
試験方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体試験装置について、自己診
断試験する場合の試験手順は図３に示すようなものであ
る。
断試験する場合の試験手順は図３に示すようなものであ
る。
【０００３】試験者は半導体試験装置２に診断プログラ
ム１を磁気テープやフレキシブルディスク等の媒体によ
り、ローディングする。
ム１を磁気テープやフレキシブルディスク等の媒体によ
り、ローディングする。
【０００４】次に試験者は、半導体試験装置２に対し
て、製品構成を試験するために必要な試験項目を選択
し、試験プログラムを設定する。
て、製品構成を試験するために必要な試験項目を選択
し、試験プログラムを設定する。
【０００５】次に当該診断プログラムの開始を実行す
る。
る。
【０００６】試験の結果３はプリンタ又はＣＲＴ等に表
示される。
示される。
【０００７】試験者はその結果を見て半導体試験装置の
良否を判断する。
良否を判断する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体試験装置
について、自己診断試験する場合は次のような欠点をも
っていた。
について、自己診断試験する場合は次のような欠点をも
っていた。
【０００９】半導体試験装置一台毎に、試験者が当該半
導体試験装置の製造仕様、構成、診断プログラムの実行
結果の確認を行う必要があり、多品種を同一ラインに流
して製造する場合、作業効率向上に限界が生じる。
導体試験装置の製造仕様、構成、診断プログラムの実行
結果の確認を行う必要があり、多品種を同一ラインに流
して製造する場合、作業効率向上に限界が生じる。
【００１０】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされるものであって、半導体試験
装置の試験を行う場合に、試験手順を自動生成し、制御
することにより、生産効率に優れた自動試験装置及び自
動試験方法を提供するものである。
する問題点に鑑みてなされるものであって、半導体試験
装置の試験を行う場合に、試験手順を自動生成し、制御
することにより、生産効率に優れた自動試験装置及び自
動試験方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明によれば、半導
体試験装置を試験する試験装置に於いて、データーベー
ス部を有する試験制御部を設ける。当該データベース部
には、試験項目手順と対応する試験項目テーブルを設
け、製造仕様と対応する構成情報テーブルを設け、両テ
ーブルを比較して抽出した試験項目を格納する試験スケ
ジュールテーブルを設ける。当該試験制御部と複数の半
導体試験装置とをネットワークで接続し、当該データー
ベース部は当該試験結果を当該試験スケジュールテーブ
ルに収集する。
体試験装置を試験する試験装置に於いて、データーベー
ス部を有する試験制御部を設ける。当該データベース部
には、試験項目手順と対応する試験項目テーブルを設
け、製造仕様と対応する構成情報テーブルを設け、両テ
ーブルを比較して抽出した試験項目を格納する試験スケ
ジュールテーブルを設ける。当該試験制御部と複数の半
導体試験装置とをネットワークで接続し、当該データー
ベース部は当該試験結果を当該試験スケジュールテーブ
ルに収集する。
【００１２】又、上記実施例は装置として構成したが、
方法として構成してもよい。
方法として構成してもよい。
【００１３】
【作用】本発明では、半導体試験装置の試験を行う場合
に、試験手順を自動生成し、制御することにより、自動
的に試験を開始し結果を収集する。
に、試験手順を自動生成し、制御することにより、自動
的に試験を開始し結果を収集する。
【００１４】従って、製造仕様に基ずく製品構成の確認
や、試験項目との対応を試験者が行う必要がない。
や、試験項目との対応を試験者が行う必要がない。
【００１５】また、試験スケジュールテーブルの作成に
当たっては、試験項目のみならず、試験実行の順序で格
納することができるので、試験者は手順の確認を行う必
要がない。
当たっては、試験項目のみならず、試験実行の順序で格
納することができるので、試験者は手順の確認を行う必
要がない。
【００１６】また、試験結果は、試験スケジュールテー
ブルに格納されるので、ネットワークに接続されている
全ての半導体試験装置の状態を把握できる。
ブルに格納されるので、ネットワークに接続されている
全ての半導体試験装置の状態を把握できる。
【００１７】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。
する。
【００１８】図１は本発明の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【００１９】図２は、本発明の動作を説明するフロチャ
ートである。
ートである。
【００２０】図１に於いて示すように、試験制御部５を
設ける。
設ける。
【００２１】試験制御部にはデータベース部４を設け
る。
る。
【００２２】各半導体試験装置２には、試験サーバー６
を設ける。
を設ける。
【００２３】データーベース部４では、先ず製造仕様に
基ずく構成情報テーブル１１を作成する。
基ずく構成情報テーブル１１を作成する。
【００２４】次に、試験項目テーブル１２を用意して、
試験項目と対応する構成情報を格納しておく。
試験項目と対応する構成情報を格納しておく。
【００２５】次に、試験スケジュールテーブル１５を設
ける。上記の構成情報テーブルと試験項目テーブルを参
照して、半導体試験装置を試験するのに必要な試験項目
１４だけを抽出１３して当該試験スケジュールテーブル
１５に格納する。
ける。上記の構成情報テーブルと試験項目テーブルを参
照して、半導体試験装置を試験するのに必要な試験項目
１４だけを抽出１３して当該試験スケジュールテーブル
１５に格納する。
【００２６】試験スケジュールテーブル１５に格納する
際には、試験を実行する順番で格納する。以上により、
データーベース部の準備は完了する。
際には、試験を実行する順番で格納する。以上により、
データーベース部の準備は完了する。
【００２７】試験制御部５に試験者から開始が指示され
ていると、試験制御部５は上記の試験スケジュールテー
ブル１５から、試験項目や試験手順を読みとり、それに
従って半導体試験装置２を試験するための診断プログラ
ム１の実行を試験サーバー６に指示する。
ていると、試験制御部５は上記の試験スケジュールテー
ブル１５から、試験項目や試験手順を読みとり、それに
従って半導体試験装置２を試験するための診断プログラ
ム１の実行を試験サーバー６に指示する。
【００２８】試験サーバー６は診断プログラム１を半導
体試験装置２に対して実行し、その結果を読みとる。
体試験装置２に対して実行し、その結果を読みとる。
【００２９】試験結果３は試験制御部５に転送され、さ
らに、試験スケジュールテーブル１５に格納される。
らに、試験スケジュールテーブル１５に格納される。
【００３０】複数の試験項目に対応して上記の診断が繰
り返され、もれなく実行され、最終的に良否が判断され
る。
り返され、もれなく実行され、最終的に良否が判断され
る。
【００３１】さらに、複数の半導体試験装置２が存在す
る場合には、半導体試験装置一台毎に試験サーバー６を
用意する。試験制御部５と複数の試験サーバー６との間
はネットワークで構成する。
る場合には、半導体試験装置一台毎に試験サーバー６を
用意する。試験制御部５と複数の試験サーバー６との間
はネットワークで構成する。
【００３２】そして、上記の診断プログラムの実行は全
ての試験サーバー６に対し、漏れなく実行する。
ての試験サーバー６に対し、漏れなく実行する。
【００３３】なお、半導体試験装置２が機能豊富であ
り、上記の試験サーバー６の機能を内臓している場合に
は、上記試験サーバー６を省いてもよい。
り、上記の試験サーバー６の機能を内臓している場合に
は、上記試験サーバー６を省いてもよい。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本考案は構成されて
いるので、次に記載する効果を奏する。
いるので、次に記載する効果を奏する。
【００３５】半導体試験装置の試験を行う場合に、試験
手順を自動生成し、制御することにより、生産効率に優
れた自動試験装置及び自動試験方法を提供できる。
手順を自動生成し、制御することにより、生産効率に優
れた自動試験装置及び自動試験方法を提供できる。
【図１】本発明の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の動作を説明するフロチャートである。
【図３】従来の自己診断試験をする場合の試験手順であ
る。
る。
１ 診断プログラム ２ 半導体試験装置 ３ 結果 ４ データーベース部 ５ 試験制御部 ６ 試験サーバー １１ 構成情報テーブル １２ 試験項目テーブル １３ 抽出 １４ 試験項目 １５ 試験スケジュールテーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−85880（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−313780（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/26 G01R 31/00 G01R 31/28 - 31/319 G01R 35/00
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体試験装置自身の自己診断（試験）
を行う自動試験装置に於いて、 データーベース部を有する試験制御部を設け、 当該データベース部には、半導体試験装置の構成である
製造仕様に基づいた構成情報テーブルを作成し、自己診
断を実行する試験手順を格納する試験スケジュールテー
ブルを備えて、当該半導体試験装置を自己診断するのに
必要な試験項目だけを試験項目テーブルから抽出し、抽
出した試験項目を前記試験スケジュールテーブルへ格納
して自動生成し、 半導体試験装置の個々の試験項目を試験するための診断
プログラムを設け、 当該試験制御部は自動生成された上記試験スケジュール
テーブルに基づく対応する診断プログラムを、ネットワ
ークを介して当該半導体試験装置へ供給して各試験項目
を試験実行し、 当該データーベース部は上記試験スケジュールテーブル
に基づく各試験項目の試験結果を当該試験スケジュール
テーブルに収集することを特徴とした自動試験装置。 - 【請求項２】 半導体試験装置自身の自己診断（試験）
を行う自動試験装置に於いて、 データーベース部を有する試験制御部を設け、 当該データベース部には、半導体試験装置の構成である
製造仕様に基づいた構成情報テーブルを作成し、自己診
断を実行する試験手順を格納する試験スケジュールテー
ブルを備えて、当該半導体試験装置を自己診断するのに
必要な試験項目だけを試験項目テーブルから抽出し、抽
出した試験項目を前記試験スケジュールテーブルへ格納
して自動生成し、 半導体試験装置の個々の試験項目を試験するための診断
プログラムを設け、 当該試験制御部は自動生成された上記試験スケジュール
テーブルに基づく対応する診断プログラムを、ネットワ
ークを介して当該半導体試験装置へ供給して各試験項目
を試験実行し、 試験の実行と結果の収集を当該試験制御部と複数の半導
体試験装置とを接続したネットワークで授受し、 当該データーベース部は上記試験スケジュールテーブル
に基づく各試験項目の試験結果を当該試験スケジュール
テーブルに収集することを特徴とした自動試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09366393A JP3263475B2 (ja) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | 半導体試験装置の自動試験装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09366393A JP3263475B2 (ja) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | 半導体試験装置の自動試験装置及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06281692A JPH06281692A (ja) | 1994-10-07 |
| JP3263475B2 true JP3263475B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=14088641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09366393A Expired - Fee Related JP3263475B2 (ja) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | 半導体試験装置の自動試験装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3263475B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19680913C2 (de) * | 1995-09-04 | 1999-06-17 | Advantest Corp | Halbleiterbauelement-Transport- und -Handhabungseinrichtung |
| JP2000122886A (ja) * | 1998-10-10 | 2000-04-28 | Advantest Corp | 半導体試験装置のプログラム作成方式 |
| JP3235594B2 (ja) | 1999-05-10 | 2001-12-04 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法 |
| JP2003084034A (ja) | 2001-09-14 | 2003-03-19 | Advantest Corp | 電気部品テストシステムおよび電気部品テスト方法 |
| JP2006275986A (ja) | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Advantest Corp | 診断プログラム、切替プログラム、試験装置、および診断方法 |
| JP4571534B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2010-10-27 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、診断プログラムおよび診断方法 |
| JP5153670B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2013-02-27 | 株式会社アドバンテスト | 診断装置、診断方法および試験装置 |
-
1993
- 1993-03-29 JP JP09366393A patent/JP3263475B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06281692A (ja) | 1994-10-07 |
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