TWI352207B - Program, recording media, testing device and diagn - Google Patents

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TWI352207B
TWI352207B TW096143862A TW96143862A TWI352207B TW I352207 B TWI352207 B TW I352207B TW 096143862 A TW096143862 A TW 096143862A TW 96143862 A TW96143862 A TW 96143862A TW I352207 B TWI352207 B TW I352207B
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Description

1352207 26345pif 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本lx明疋關於一種記錄媒體、測試裝置以及診斷方 . 法。本發明尤其是關於一種在具備將測試信號供給至被測 試元件的多個測試模組以及控制上述多個測試模組的控制 •:裝置之測试裝置中,記錄有對測試模組進行診斷的程式之 ^ °己錄媒體、測试裳置以及診斷方法。對於允許以文獻參照 • 的方式併入的指定國,參照下述申請案所述的内容而併^ 本申請案申,作為本申請案的一部分。 1.美國專利申請編號11/607,824申請日2006年12 月01曰。 【先前技術】 對記憶體、邏輯大型積體電路(Large Scale Integration ’ LSI)或系統晶片(System 〇n Chip,s〇c )等 DUT (Device Under Test,被測試元件)進行測試的測試 _ ^中/具儀在該測試裝置與DUT之間輸入輸出信號的 測试椟組。舉例來說,測試裝置響應指示對DUT的基準 •參數之值進行測量的調用請求後,自測試模組供給測i信 號,並利n陶驗來贼對應測試錢而自DUT的輸 出端子所輸出的輸出信號,將其與期待值進行比較, 定DUT的良否。 測試裝置具有診斷功能,其目的在於判定有無 在診斷過程中’測試裳置亦就各測試模纽是否存在里當而 進灯诊斷。舉例來說,在對測試模組的診斷中,測試裝置 1352207 26345pif 利用測量器對當作診斷對金 電流以及基準阻抗等進行旦的,準電愿、基準 正常的範圍内。又,在測^ ’^定測量結果是否處於 制裝置執行程式,並、_====置的控
Purpose-Interface Bus,GP m、雄 爪排(General 制測量器。再者,由㈣^目排而發送指令來控 省略相關習知技術文獻=^不存在習知技術文獻,故 然而’當測試裝置所且供_ &、力I曰。 後,自控制袭置供給至測量、於H益之種類發生變更 對程式亦必驗行相應的修=發生获,因而 測量器之種類發生變更後^賴裝置所具備的 匯流排㈣亦⑽生敎。及控職置之間的 二當搭載於測試裝置上的測量因二 =::Γ須對診斷該測試模組=二: 因此’本發明的一個方面 決上述問題的記錄媒體、測試,提供-種可解 可藉由申請專利範圍的二方㈣^ 見。又’依_規定本發日㈣更為麵的1體例。、 錄有=發態提供-種記錄媒體,其中記 4=的=:是:=模組、測量器' 量田上述控制裝置使用上述測 :對上述夕個測試模組進行診斷 信號供給至被測試元件;2述測 1352207 26345pif 、基準阻抗、《及基準電 述測試模組及地;量==量;地繼對上 程式包括:對象診斷軟體模組、獲取模組、測 里軟體杈組、以及切換軟體模組,1 控制裝置來診斷當作診斷對象的== 里的測量器識別資訊;上述測量軟體模: :種測㈣而設置,於控制農置上被執行, 丄卞: 董益來測量上述測試模組的基準參數之^ 置發送給測量器,並自測量器獲取上述控f裝 果;上述切換軟體模組在自對象_“=^結 對測試模組所具㈣基準參數的值進行 ί雁相應^此,調用與測量器識別資訊所識別的測量ί相 2 測量軟體模組,並藉由控制裝置來執行,將上述美 準蒼數的測量結果回送至上述對象診斷軟體模植。-本發明的第2形態提供-種記錄媒體,其中 斷::程式’該診斷介_式是於包括測試模組、測量器: 以工制裝置的測試裝置中,被對象診斷軟體模电所 用,並藉由控制裝置來控制測量器,上述對象3 組藉由控制裝置來診斷當作診斯對象的測試模=拉 ==試模組將測試信號供給至被職元件;上述測 =3測试模組所具有的基準電壓、基準阻抗以及基準電 抓中之至少-者準參數進行測量;上魅制裝置對1 26345pif 述測試模組及測量器進行控制,該診_介面程式 取模組、測量軟體模組、以及切換軟體模組,其中,上ς Ϊ取模組_控繼置喊取表示搭载於戦裝置的測Ϊ 的測量器識別資訊;上述測量軟體模組針對每一 4 f而設置,於控制裝置上被執行,以將利用該測量 ^來述測試模组的基準參數之值的指令自控制裝置 測罝β ’並自測量器獲取基準參數的測量結果;上 = 刀換軟體模組在自縣診斷軟體模組接受到指示對測試 ^所具有的基準參數的值進行測量的調用請求後,相應 調用與測量器識別資訊所識別的測量器相對應的測 置f拉組,並藉由控制裳置來執行’將上述基準參數的 測置結果回送至上述診斷軟體模組。 =發明的第3形態提供一種測試裝置,對被測試元件 =试’該測試裝置包括:測試模組、測量器、以及 制袭置,J1中,μ、+、 /' 上迹測試模組將測試信號供給至被測試元 ㈣上述測置裔對包含測試模組所具有的基準電壓、基準 基準電流中之至少一者的基準參數進行測量;上 置對上述剩試模組及測量器進行控制,並且,控 =置執行制測㉔來診斷多個測試模_診斷程式, “斯部、獲取部、測量處理部以及切換部 來發揮功能,農巾,L上 ^ _ ” 上述對象診斷部對當作診斷對象的測 二二上述獲取部獲取表示搭載於測試裝置上 备' 4的剩量器識別資訊;上述測量處理部針對 母一種測量器而設置,於控姆置上執行,將利用該測量 < S ) 10 352207 26345pif J來測J上f?試模組的基準參數之值的指令發送給測量 :心器獲取上述基準參數的測量結果;以 診斷部接受到指示對測試模組所具有的基準 參數的值進行測量的調用請求後,相應於此, ΐΓίΐΓΓ訊所識別的測量器相對應的測量處理部仃 亚將基準錢_彳量結果㈣謂象診斷部。 本發明的第4形態提供一種診斷方法,該診斷方法是 ^括測試模组、測量器、以及控制裝置的測試 由控制裝置朗測量H對多烟試模组進行診斷, 上述測試模組將測試信號供給至被測試元件;上述測 對包含測試模組所具有的基準電覆、基準阻抗、以及基準 電流中之至少—者的基準參數進行測量;上述控制裝2 上述測趣綠測量H進行㈣。該
程:於控制裝置上執行對象診斷軟體模組,上述對S 對象的測試模組進行診斷丄= 裝置獲取表不搭载於測試裝置的測量加 別資訊;於控制裝置上執行測量軟^ ',》、彳1器識 組是針對每-種測量器執而體模 行’以將利用該測量器來測量上述測試槿:的;準= 基準參數的測量結果=測量器獲取上述 示對測試杈組所具有的基準參數的值進行上曰 後,相應於此,調用與測量器翻㈣ _旦^ 對應的測錄體·,域由控缝絲騎,將 1 ^2207 26345pif 數的=量結果回送至上述對象診斷軟體模組。 r_/3、即’本發明的第5形態提供一種診斷程•分感 私式疋於包括_模組、測量器、 式,該言多斷 置中,由控制梦用。。。。 工裝置的測試裝 程式,〜^ 11讀多個測試模組進行体斷的 上述測量$對^轉職㈣供給至被測試^牛; 以則組所具有的基準電壓、 =及基準電料之至少-者的基轉數 基準阻抗 4裝置對上述戦模組 行 4里’上述控 ::=r 上獲==== 置來診斷當作診斷對象的:控制裝 取=搭載於轉^ 置且^番軟體模組針對每一種測量器而設 且於控制鏟置上被執行,以將利 ;測:=基準參數之值的指令自控制裝;;= = _上述基準參數的測量結果;上述切換 权,模組在自對象診斷軟體模組接受到指示對測試模組所 具有的基準參數的值進行測量的調用請求後,相應於此, 調用與測量器識別資訊所識別的測量器相對應的測量軟體 模組,並藉由控制裝置來執行,將基準參數的測量結果回 送至上述對象診斷軟體模組。 本發明的第6形態提供一種診斷介面程式,該診斷介 面程式是於包括測試模組、測量器、以及控制裝置的測試 裝置中’被對象診斷軟體模組所調用,並藉由控制裝置來 12 26345pif 控制上述剩量哭, 珍斷當作診斷對象珍斷軟體模組藉由控制袭置來 試信號供給至被測試測:換組、’其中,上述測試模組將測 具有的基準電壓、其 上述’則畺益對包含測試模組所 基準參數進行測抗以及基準電流中之至少一者的 行控制, ,处控制裝置對測試模組及測量器進
及切換軟括:獲取模組、測量軟體模組、以 ^換軟體H其中,上 =:::=:_之種:== 裝置上被勃t 、'、且針對母一種測量器而設置,於控制 基準參數之值的㈣該測量器來測量上述測試模組的 器獲取上其自控制裝置發送給測量器,並自測量 對i体斷.:二/數的測量結果;上述切換軟體模組在自
•調用°月求後,相應於此,調用與測量器 ^制ΐ置來i別的測量器相對應的測量軟體模組,並藉由 i斷軟體触^將鱗參數的測量結果回縣上述對象 々再者上述發明概要並未列出本發明的全部必要特 =’上述特徵群的次組合(sub combination)亦可成為發 明。 【實施方式】 丄、以下,透過發明的實施形態對本發明的一個方面進行 說明,但以下實施形態並未限定申請專利範圍的發明,而 (S > 13 1352207 26345pif 且實施形態中說明的特徵之所有組合未必為發明的解決手 段所必須。
• 圖1表示本實施形態的測試裝置10的結構以及DUT • (Device Under Test :被測試元件)1〇〇。測試裝置10對 DUT100進行測試。更詳細而言,測試裝置1〇產生測試信 -號後供給至’並根據DUT100基於測試信號而動 • ··. 作後所輸出的輸出信號是否與期待值一致,來判斷 ^ DUT100的良否。 測5式裝置具備:載板(load board ) 12、至少一個 測試模組14、測量器16、以及控制裝置2〇。載板12載置 DUT100 ’並連接於測試模組14與DUT1〇〇之間。此處, 當進行诊斷時,測試裝置亦可具備不載置DUT100的 診斷用的载板12,以取代測試用的載板12。 各測试模組14 (14-1〜14-η (η為正整數))連接於 DUT100所具有的端子,並根據控制裝置2〇所供給的測試 ,式及測試資料來進行DUT1〇〇的測試。在duti〇〇的測 °式中各'則武模組14根據由測試程式所決定的序列 (=ence)而自測試資料產生測試信號,並對連接於該 測。式模組14的DUT1〇〇的端子供給測試信號。進—步, 獲取DUT1GG基於測試信號而動作後所輪出 、剧,並將其與期待值進行比較。繼而,測試模会 軸待值的比較㈣作為赋結果而發送 又舉例來說,測試模組14亦可具有基準電壓源、基 14 1352207 26345pjf 準阻抗以及基準電流源等。 準電壓源、基準祖抗、以万其*式;^測斌刼組Μ使用基 獲取輪出信號。 土準電流源等產生測試信號及 列里器16對包含測試模紐所 抗、以及基準電財之至少—^準轉、基準阻 :量器16被供給來自控土上數進行測量。測 的指令相對應的測量。:置=將=與所供給 回送至控制裝置2〇。 时16將而1所得的結果 當診斷時,測量器】6藉由栌 而與當作闕縣❹购 ^ ,制等 抗以及電流源連接。並且二'所具:的例如電壓源、阻 提供的指令,打敍二制裝置20所 14 值,该測試模組14之基準 Μ羊電屋的 基準電流源所產生的基·;的值值,由_試模組】4之 控制裝置20控制各測試模组14 試時,控制裝置20控制測試模組M 二當測 存於該測試職㈣職料儲 :==:試一發出指二 別社式LV捕的職,並進行 土於 自測試模組Μ接收表示測試已中:j t 並根據測試結果而使測試模組!4進行下1 5虎4, 又’在對測試模組14谁杆吟齡牯 &、#。 進灯^畊日守,控制裝置20控制 1352207 26345pif 測里益16。控制裝置2〇執行 裎式,以此來控制測量哭16 ;^媒體所提供的診斷 診斷時,控制裝置20^二^;^购莫組Μ進行 象的測試模幻4與測量哭16 丁工接J ’亚將作為診斷對 20對測量器16發出指令吏接。然後,控制裳置 象的測試模組14所具有的基準參:里二診斷對 阻抗以及基準電流中 (匕3基準電壓'基準 控制裝置20接收上述基準乂參數的H)進行測量。接著, 使作為診斷對象的谢叫,、“里、、果並進行修正,以 值。又’控制裝置Μ;;:二參哭數:為原士應輸出的 «該測量結果來欺作騎射n的測量結果’並 正常運作。 …、^斷#象的測試模組14是否 根據上述結構的測試裝 試。進一步,_〇〇進行測 修正以使其正常運作。 可對各娜試模組Μ進行 】6二=二:將搭載著的第3種類_ 等不同而自控姆置2〇^ 品版本—t _οη ) 量器Μ⑹)。4戶系的第2種類測 的其他測量器16,測試裝置载Γ/2Γ更換為不同種類 所執行的料程叙記述^^在残更㈣裝置 進行診斷。 谷的情況下,對各測試模組J4 器16之間的^種類之^^連接於控制農置2〇與測量 禋類之匯机排22 (22•卜如、.小舉例 1352207 26345pif 來說,匯流排22可為i甬用κ二r~ D τ ^ 用界面匯流排(General
Purpose她face bus,GP_IB )以及通用 = 伽—Serial Bus,USB)等。此處 = 置上的測量器16更換為其他測量載;= 測量器16亦可連胁與更㈣_胸16職^白 種類匯流排22 (22·1 )不同的第2種類匯流排22、 即便在對上述連接於測量器16龍流排22的種類進行切 換後,測試裝置!〇亦可在不較控制裝置2g所執行的岭 斷程式之記述内容的情況下’對各測試模組14進行夸斷二 圖2表示本實施形態的控制裝置2〇的硬體結構/之一 例。作為控制裴置20而動作的電腦〗9〇〇具備:cpu周邊 部、輸入輸出部、以及既有(legacy)輸入輸出部,其中, 上述cpu周邊部具有經由主機控制器(host c〇ntr〇1ier) 2082而相互連接的CPU2000、RAM2〇2〇、繪圖控制器 (graphic controller) 2075以及顯示裝置2080 ;上述輸入 輸出部具有經由I/O (輸入輸出)控制器2〇84而與主機控 制裔2082連接的通訊介面2030、硬碟2040、以及光碟機 2060;上述既有輸入輸出部具有連接於1/〇控制器2〇84的 ROM2010、軟碟機(f]exible disk drive) 2050、以及 I/O 晶 片 2070。 % 主機控制器2082連接RAM2020、以高傳輸率對 RAM2020進行存取的CPU2000、以及繪圖控制器2075。 CPU2000根據r〇m2010及RAM2020中儲存的程式而動 作’以對各部分進行控制。繪圖控制器2075獲取CPU2000
(S 17 26345pif ^設置於RAM2020内的碼框緩衝器(frame上 .斤生成的圖像資料’並使其顯示於顯示裝置厕上。亦可 =為包含在繪圖控制器2G75内部之儲存cpu2_等所 ' 生成的圖像資料的碼框緩衝器。 • I/O控制态2084連接以下部分:主機控制器2〇82、作 '為較高速的輸入輸出裝置的通訊介面2〇3〇、硬碟2〇4〇、以 -V及光碟機2060。通訊介面2030經由網路而與其他裝置進 # 行通訊。硬碟2040十儲存有電腦1900内的α>υ2000所使 用的,式以及資料。光碟機2〇6〇自CD_R〇M2〇95讀取程 式或資料,並經由RAM2020而提供給硬碟驅動器2040。 又,在I/O控制杰2084上,連接有較低速的輸入輸出 裝置ROM2010、軟碟機2050、以及1/0晶片2〇7〇。R〇M2〇】〇 中儲存有電腦1900啟動時所執行的啟動程式(b〇〇t program)以及與電腦19〇〇的硬體相關的程式等。軟碟機 2050自奴碟片2090讀取程式或資料,並經由 而提供給硬碟2040。I/O晶片2〇7〇經由軟碟機2〇5〇以及 I 如平行埠(Parallel P〇rt )、串聯璋(serial port )、鍵盤埠 (keyboard port)、滑鼠蟑(m〇use p〇rt)等而連接各種輸 入輸出裝置。 經由RAM2020而提供給硬碟2040的診斷程式等程 式,是儲存於軟碟片2090、CD-ROM2095、或ic卡等記 錄媒體中並由使用者所提供的。程式是自記錄媒體被讀出 後’經由RAM2020而安裝於電腦19〇〇内的硬碟2040上, 並於CPU2000中執行的。 < S ) 18 1352207 26345pif 汴不的私式或模組亦可儲存於外部記憶媒體中。 記憶媒體除了可使用軟碟片删、CD初議95之 可使用DVD或CD耸本與· 4 μ — ^ 4先子纪錄媒體、MO等光磁記錄媒 體、磁可媒體、IC卡等半導體記憶體等。又,亦可將設置 =用==網際網路相連接的飼服系統中的硬碟 i供:= 聚置用作記錄媒體™經由網路而 14 對搭載於測試裝置1〇上的作為器仏以 行診斷。 ^辦對象的測忒杈組14進 ^斷耘式30具備診斷控制 象診斷軟體模纽44、診斷介 ^,、’且42、至少—個對 排控制軟體模組46。該 =48、以及至少-個匯流 CPU2000所執行的。—體杈組是由控制裝置20的 更徉細而言,診斷控制軟 因此使該控制裝置2〇 輻、、且42由CPU2000執行, 診斷軟體模組44由cp 2〇^控制部而發揮功能;各對象 作為對象診斷部而發揮功能〇 ^行’由此使該控制裝置20 CPU2000執行, 流排控制軟體模組46由 口此使該控制裝置2G作為匯流排控制: 19 丄叫207 26345pif
St二斷二 =_:執行,纽使 診斷控制軟體模組42藉由控、 二:玄測试裝置10對測試模組Μ的: 仃’以控 &斷控制軟體模組42選擇當作對< °舉例來說’ 並調用與當作診斷對象的測試‘模組14, 杉斷軟體模、纽44,以使控 相對應的-個對象 模組44。 、置2〇執行該對象診斷軟體 各對象診斷軟體模組44 (叫 ,置20而執行,以利用該控制 ^...)藉由控制 象的測試模組14的基準參數之值“斷當作診斷對 測試模組14的設計者等針對^^軟體模組 。已迹的。 種/則喊板組14而 此處’於診斷時,對象診 辦當作診斷對象的職模組 體 使測量器16 量器16對絲參數進賴量時,ςί參數進行測量。使測 用診斷介面程式48,並經由子象診斷軟體模組44調 指示測量器16對測試模組14所1^診斷介面程式48來 =。繼而,對象診斷軟體模組44 $^準參數的值進行 柽式48,自測量器16獲取測量钟果二由所調用的診斷介面 各匯流排控制軟體模組46& ° =置2G執行的。各_ · =_2、...)是由控 制裝置20與測量器16之間的j人體杈組46針對連接控 利用控制裝置2〇來進行經由該二種匯流排22❿設計,並 ^%排22而在控制裝置2〇 20 1352207 26345pif 與測量器16之間的通訊。 #斷介面程式48是響應指示對測試模組14所且 基準參數之值進行測量的調用請求並由控制裝置扣, 的。診斷介面程式48在自對象診斷軟體模組4 仃
用請求後,將執行所_之功能的指令發送至^ 1調 接著,診斷介面程式48自測量器16接收該執行結:6。 ,測量處_結果回送至發出姻請求的斷^ 組44。 乂叫软體模 H番in , 裎式48自控制裝置2〇將與搭载於制
忒裝置1〇上的測量器16之種類( w'J 的指令魏至喂器丨6。齡,岐制對應 =么功Λ時’診斷介面程式48亦會對種類不同ί二目 盗16發出記述内容互不相同的指令。it 一步,盘:挪置 測量器16 _類㈣,輯介面程式48自載的 模組44接受共同的記述内容之調用請求。例二象^軟體 載於測試裳置1〇上的測量器16更換為 搭 16,當使測量器_亍相同的測量功能時,器 48亦會被對象診斷軟體模組4 面程式 用。 田,、冋的記述内容而調 言乡畊介面程式48具有獲取模組52、夕 組54、以及切換敕體模組56 f測1軟體相 2〇的⑽嶋而執行的。更詳:軟而,=由控制裝】 CPU2_執行,由此使該控制裝置=模組52 ^ 功能;測量軟體模組54由咖2_執^為獲取部而發者 丁’由此使該控寺 21 1352207 26345pif 測⑽軟體模組56由 功能。 〃控制裝置2〇作為切換部而發揮 獲取模組52是在控制裝置 置20而獲取表示搭載於_^ ’二利用控制裝 的測量器識別資訊。舉例來、 的測置$ 16之種類 試裝置1〇時或者自堂=斷^取模,組52可在構成_ 等情況下,利用控制用請求時 別資訊。又,例如,獲取模組^匕里斋1的測I器識 模組46,並_#鮮、、7,'可__排控制敕體 制旦时•卜Γ制裝置20而讀出測量器識別資訊,兮 ,則里盗識別資訊儲存在搭載於測試農置10上的、二V亥 内的例如可自外_存取的暫存====16 =^^=量_資訊,該測i 置1G雜存於控制裝 置触52爛控制裝 /熳取表不連接控制裝置2〇與 ;流排。之種類的匿流排識別資訊。此二=; 排S用上控是^裝連置接^來檢測連接於控制裝置2〇的各個匯流 _、、Ϊ之^者上述測量器16,並將檢測到測量器16 匯飢排之識別資訊作為匯流排識別資訊。 等可=^缝置2〇上的例如硬碟 * RAM2020 U 文槽(configuration flle ) 6〇,該配置文禮 6〇 <s 22 1352207 26345pif 中儲存H式裝置1G所搭载的測試模組 以及匯流排22的識別資訊。此時,獲取模組52/利餘 制裝置20來檢索儲存於控制震置社的硬碟2〇 =
Si二器t用控制裝置2〇讀出與搭载於測試裝置 別、又里緙Μ目對應的測量器識別資訊以及匯流排識 ^訊。又,絲模組52可將職取_量ϋ識別資訊也 訊進行比較,以觸儲存於配置 文檔60中的測以16的種類 測量器16白勺種類是否―致。 』貝Λ所扣的 各測量軟體模組54 1 c/i 、 震置可搭載的每一種測量V〗:而:: 髀掇έ日q /·鄉庙十A 6而5又置的。各個測量軟 == 刀換軟體模組56的調用請求後於控 類的測量16 個測量軟體模組54各發出對應之種 取測量= 的指令,並自該種類的測量器㈣ ,01旦^切絲體模組56調㈣測量軟體模組54,將利用 量Γ診斷軟_組44所指示的測試模組 …舉^Γ令’自控制裝置2G發送給測量器 阻抗值的指t :以里及^模組54將測量電壓的指令、測量 發送給,自控制裝置加 16獲取基準參數_4縣各測讀體餘54自測量器 〃’抓排義別貧訊所識別的匯流排相對應的一個 23 1352207 26345pif 匯流排控制軟體模組46,並藉由控制裝置20來執行。接 著,該測量軟體模組54自控制裝置20經由對應的匯流排 • 22向測量器16發出指令,並自測量器16獲取基準參數的 . 測量結果。 切換軟體模組56自對象診斷軟體模組44接受到指示 -; 對測試模組14所具有的基準參數的值進行測量的調用請 ... 求後,相應於此,藉由控制裝置20來執行。接受到該調用 請求的切換軟體模組56調用與測量器識別資訊所識別的 P 測量器16相對應的一個測量軟體模組54,並藉由控制裝 置20來執行。 亦即,切換軟體模組56根據測量器識別資訊來指定搭 載於該測試裝置10上的測量器16的種類,並自多個測量 軟體模組54中調用與指定之種類相對應的一個測量軟體 模組54。接著,切換軟體模組56利用被調用的測量軟體 模組54,將執行對應於對象診斷軟體模組44之指示的測 量處理的指令自控制裝置20發送至測量器16。此時,切 換軟體模組56亦能以使測量器16執行對應於對象診斷軟 體模組44之指示的一個測量動作為目的,將多個指令自控 ' 制裝置20發送至測量器16。然後,切換軟體模組56將所 調用的測量軟體模組54自測量器16所獲取的基準參數的 測量結果,回送至上述對象診斷軟體模組44。 根據上述診斷介面程式48,可將由對象診斷軟體模組 44所提供的共同記述内容的調用請求,轉換成與搭載於測 試裝置10上的測量器16之種類相對應的指令,並自控制 24 叫207 26345pif ,置20發送至測量器16。進一步,根據診斷介面程 請:體模組44供給的共同記述内容的調用 鹿的j 接有測量1116的匯流排22之種類相對 …勺才曰々’並自控制裝置2〇發送至測量器16。 根據以上所示的診斷程式3〇,即便在將搭载於 拆2〇2上的測量器16之種類或者連接於該測量器16的匯ΐ 如的行變更後,亦毋f變更對象錢敕體槿^ 圖4 Γ亍斷减3G皆可糊當的診斷處理。 1〇 _ _ ^、使用本貫施形態的診斷程式30對測·^ κ 仃診斷的診斷流程。當診斷處理開始 知、置 〇上執行的料控錄魏組4 、工制裝置 ,所對應的對象診斷軟體模s J=且Η依序 ,欠體模組42可利用控制 )二轉此,診斷 模組Η (Sl〇U、Sl〇13)。 〇采依序沴斷每個測試 虽所有測試模組14的診斷έ士走入 二 Η:= =試裝置Κ)是否正常動作的資訊=2斷結果而獲 拉、、且14的資訊等。 、 ♦曰弋不良的測試 圖5表示本實施形態的診斷 流程。診斷程式3。内的對象^ :執行的S1012 机排控制軟體模級46、以胁 4幸人體模組44、匯 置20上執㈣,藉此 ;| =式48是在控制裝 的幻〇12中進行圖5所示 1352207 26345pif 的處理。 首先,診斷程式30内的對象診斷軟體模組44對當作 • 診斷對象的測試模組14進行診斷(S1021)。其次,在測 . 試模組14的診斷中,診斷程式30適切地發出調用請求, 指示對基準參數的值進行測量。診斷程式3 0在每次進行該 乂 調用時,實施S1023至S1029的處理(S1022、S1030)。 對象診斷軟體模組44調用診斷介面程式48内的切換 軟體模組56 (S1023)。其次,步驟S1023中所調用的切換 軟體模組56調用並執行測量器識別資訊所識別的測量軟 體模組54 (S1024)。亦即,切換軟體模組56調用並執行 與搭載於該測試裝置10上的測量器16之種類相對應的測 量軟體模組54。 其次,步驟S1024中所調用的測量軟體模組54調用 並執行與匯流排識別資訊所識別的匯流排22相對應的匯 流排控制軟體模組46 (S1026)。亦即,該測量軟體模組 5 4調用並執行匯流排控制軟體模組4 6,該匯流排控制軟體 > 模組46與將搭載於測試裝置10上的測量器16及控制裝置 20之間加以連接的匯流排22之種類相對應。 接著,步驟S1024中所調用的測量軟體模組54,自控 制裝置20經由匯流排22而向測量器16發送指令,該指令 與以測量器16來測量所指示的基準參數的指示相對應 (S1027)。其次,步驟S1024中所調用的測量軟體模組54 利用控制裝置20自測量器16經由匯流排22而獲取基準參 數的測量結果(S1028)。然後,切換軟體模組56將步驟 26 1352207 26345pif S1024中調用的測量軟體模組54所獲取的基準參數的測量 結果回送至上述對象診斷軟體模組44(S1029)。對象診斷 軟體模組44可接受該結果並對當作診斷對象的測試模組 . 14進行診斷。 以上使用實施形態說明了本發明的一個側面,但本發 明的技術範圍並未限定於上述實施形態所述的範圍。可對 -··.上述實施形態進行多種變更或改良^由申請專利範圍可明 φ 確瞭解’進行上述變更或改良後的形態亦可包含於本發明 的技術範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1表示本發明實施形態的測試裝置10的結構以及 DUT100 (實施例 1 )。 圖2表示本發明實施形態的控制裝置20的硬體結構之 一例(實施例1)。 圖3表示在本發明實施形態的控制裝置20上動作的診 _ 斷程式30的結構、測量器16以及匯流排22 (實施例1)。 - 圖4表示使用本發明實施形態的診斷程式30對測試裝 置10進行診斷的診斷流程(實施例1)。 圖5表示本發明實施形態的診斷程式3 0所執行的步驟 S1012的動作流程(實施例υ。 【主要元件符號說明】 10 :測試裝置 12 :载板 14、14_1〜14-η :測試模組 <s 27 1352207 26345pif 16、16-1、16-2 :測量器 20 :控制裝置 22、22-1、22-2 :匯流排 30 :診斷程式 42 :診斷控制軟體模組 44、44-1、44-2 :對象診斷軟體模組 46、46-1、46-2 :匯流排控制軟體模組 48 :診斷介面程式 52 :獲取模組 54、54-1〜54-4 :測量軟體模組 56 :切換軟體模組 60 :配置文檔 100 : DUT (被測試元件) 1900 :電腦 2000 : CPU 2010 : ROM 2020 : RAM 2030 :通訊介面 2040 :硬碟 2050 :軟碟機 2060 :光碟機 2070 : I/O 晶片 2075 :繪圖控制器 2080 :顯示裝置 28 1352207 26345pif 2082 :主機控制器 2084 : I/O控制器 • 2090 :軟碟片
. 2095 : CD-ROM S1011 〜S1014、S1021 〜S1030 :步驟

Claims (1)

  1. 26345pif 修正日期:100年5月6日 爲第96143862號中文專機_©)_正;$; 十、申請專利範圍: 種記錄媒體,其巾簡有賴程式,該診斷程式 ==組、測量器、以及控制裝置的測試装置中 診斷的^ ^甘使用上述測量器對上述多個測試模組進行 二元件.ϋ t ’上述測試模組將測試信號供給至被測 =置;上述控制裝置對上賴試·及上述測量器= 上述珍斷程式包括以下部分: 斷對利用上述控制裝置來診斷當作診 、職ίΖΓ利用上述控織置而獲取表示搭載於上述 的上述測量器之種類的測量器識別資訊; 軟體模組’針對上述每一種測量器而設置,於上 模“上ϋίίΓ以__測量器來測量上述測試 述洌旦哭^數之值的指令自上述控制裝置發送給上 =軟mri量自11魏域鮮錄_量結果; 示讲Η冑模在自述對象診斷軟體模組接受到扣 調用,:試Γ:所具有的上述基準參數的值進行測量的曰 30 1352207 26345pif 修正日期:100年5月6曰 爲第96143862號中文專利範圍無劃線修正本 體模組’針對連接上述控繼置與上述 ,里的之卩⑽母-麵流排而設置,並利用上述控制裝置 經由該匯流排而在上述控制裝置與上述測量器之間 其中上述獲取模組利用上述控制裝置,進一步师 控制裝置與上述測量器之間的 匯流排識別資訊; 併心悝頰的 上述切換軟體模組在自上述對象診桩為 試rr具有的上述基準參數的值進= 的調用續求後,相應於此,調用與上述測量 識別的上述測量器相對應的上述測由 述控制裝置來執行; 粒模汲’亚错由上 由上述切換軟體模組調用的上述 :上述匯流排識別資訊所識別的匯流排述= 排控制軟體模組,並藉由上述_裝_^的 述控制裝置向上述測量器發出上述指令,二2 獲取上述基準參數的測量結果。 述d里盗 =請專利範圍第1項所述之記_體,立中 制裝置^==㈣上魅雛置級針赫於上述控 上述測量試裝置所搭载的上述測試模組、 ,上述控㈣置而讀出與搭载於 3:利 I器相對應的上述測量器識 的上述測 訊。 j貝巩以及上述匯流排識別資 1352207 26345pif m 96143862 修正日紙100年5月6日 其/如申請專利範圍第1項或第2項所述之記錄媒雜’ 制裝====,來檢測連接於上述控 測到上、^連接著上述測量器,並將檢 識別資Ζ里㈣上述匯流排的識別資訊作為上述匯流排 上述莫組調用上述匯流排控制軟體模組,並利用 =内的用以識別該測量器之種類的上述測量器識別資 介面二試;:記:ir介面程式,該診斷 試裝置中,被對象診斷軟以的測 土=量11,上述對象診斷軟體』組藉 拉組將測試信號供給至被測試元件;上述 二====準電壓:基準阻抗心準 上述測試模組及上述測量器進上述控制裝置對 士述診斷介面程式包括以下部分·· 測試取表:搭载於上述 、測量軟體模組,針對上述每二、 述控制裝置上被執行,以將利用該測量ί來測L述:i 32 1352207 26345pif 修正曰期:100年5月6日 爲第96143862號中文 Sd基自準F參數H的指令自上述控制裝置發送給上 ' 述測置益獲取上述基準參數的測量結果. 干斟上!=體模組,在自上述對象診斷軟體模組接受到指 相應於此,調用與上述測量二 二=Γ相對應的上述測量軟體模組,並藉由上: 組基準參數的測量結果回送至上述 測量制軟體模組,針對連接上述控制裝置與上述 由該匯流排而在上述控制裝置與上述測量= _、表^ μ 獲取模組利用上述控制裝置,進—步獲取表 ==裂置與上述測量器之間的匯流排之St 浐示體模組在自上述對象診斷軟體模組接受到 的調用請求後:有S3:參,值進气測量 :別的上述測量器相對應的上述測量識 述控制裝置來執行; 揭、'且並藉由上 與上则 排控制軟體模組,並藉由上述控制^^應的上述匯流 述控制裝置向上述測量器發出上述指令,t上= 33 修正日期:100年5月6日 zcmspif ^ 96143862 獲取上述基準參數的測量結果。 置包^^^裝置’對制試元件進行戦,該測試裝 測試模组,將職健供給至制試元件; 準阻=4=ΓΤ所具有的基準電屋、基 及 竿υ之至少一者的基準參數進行測量:以 制裝置控制上述測試模組及上述測量器, 上述&制褒置執行使用上述 =的診斷程式,藉此而作為對象4;斷 里、切換部以及匯流排控制部來發揮功能,挪 診斷;述對象診斷部對當作診斷對象的上述測試模組進行 上述獲取部獲取表示搭载於上 量器之麵的測量器識別資訊丨心式裝置上的上述测 述^4==理部針對上述每一種測量器而設置,於上 迷控制裝置上執行’將利用該測量 罝於上 的上述基準參數之值的指令測I述=模組 測量器獲取上述基準參數的測量結果相里斋,並自上述 上…上述切換部在自上述對象診斷部接 :模,所具有的上述基準參數的值進行測量:周= 後’相應於此,調用並執行與上 二用切未 的上述測量器相對應的上述測量處所識別 數的測量結果回送至上述對象診斷部,、祕準I 1352207 26345pif 爲第96143862號中文專利範圍無劃線修正本 修正日期:100年5月6日 上述匯流排控制部是針對連接上述控制 量器之間的每-種匯流排而設置,並利用上述控制 進行經由該匯流排而在上述控制裝置與上述測 1來 通訊; σ <間的 其中上述獲取部利用上述控制裝置,進一 連接上述控制裝置與上述測量器之_ 示 流排識別資1Κ ; 4之種續的匯 由上述切換部調用的上述測量處理 流排識別資訊所識別的匯流排相述匯 部:並藉由上述控繼置來執行,使得自上 上述測fit發出上述指令,且自 4控财置向 參數的測量結果。 獲取上述基準 控中=:試模組、測量器、以* 對上述多個測試模植進行診斷裳置使用上述測量器 試信號供給至被測試元株· 〃 ,上述測試模組將測 組所具有的基準電屢、基準測量器對包含上述測試模 一者的基準參數進行測及基準電流中之至少 及上述測量器進行控制,a控制褒置對上述測試模組 該診斷枝包細下過程: 於上述控制裝置上執行 診斷軟體模組對當作診斷對象=斷軟體模組,上述對象 利用上逑控制裝置=上相試模組進行診斷; 上述測量器之種類的測量^裁於上述測試裝置的 35 1352207 26345pif 爲第96143862號中文專利範_劃線修正本 修正日期:100年5月6日 組是體模組,該測量軟體模 上被執行,以將利用該 基=數之值的指令自上述控制裝置發送給上述測量号, 亚自=測量器獲取上述基準參數的測量結果;° 所具有的接=指示對^述測試模組 於此,使得一切換軟體模_τ 述和卿番=應述測量軟體模組,並藉由上 述對象診斷軟體模組;以及 數的和里、·•。果回达至上 於上述控制裝置上執行匯流排控制軟體模组,、ώ :n?組是針對連接上述控制:=二= 間的母一種匯添Μ讯里认 』里益I ===經由_排=: ,?====裝 述刀換軟體模組在自上述對象診斷軟體模組接Λ 指示對上述測試模组 、=欺體核組接文到 的調用請求後,才目應糾,調用與^二量 識別的上述測量器相對應的上述測量軟體模:5,並二:所 述控制裝置來執行; 以㈣歡’並藉由上 由上述切換讀模組調用的上述測量軟體模組,調用 36 1352207 26345pif 修正日期:1〇〇年5月6日 爲第96143862號中文專利範圍無劃線修正本 與上述®簡識㈣⑽朗的 排控制軟體模組,並藉由上述 M目對應的上述匯流 述控制裝置向上述測量器發出上^來執行,使得自上 獲取上述基準參數的测量結果。曰'",且自上述測量器 7.—種診斷程式,是於包括 控制裝置的測試穿置中, ' ° n、測量器、以及 對上述多個測試模組進行診斷的 U用上相Μ 组將測試信號供給至被測試元件;上述測量二 測试模組所具有的基準電壓、基 '、π 3上述 之至少-者的基準參數進行測量 及基準電流中 試模組及上述測量器進行控制,^工制裝置對上述測 該診斷程式包括以下部分: 對象診斷軟體模組,利用上述 斷對象的上述測試模組; 衣置來9斷虽作诊 獲取模組’利用上述控制裝置而獲 測試裝置的上述測量||之種_測量器識別資^ 測量軟體模組,針對上述每―_量H 述控制裝置上被執行,則量 測 模組的上述基準參數之值的指令自上述控制裝 述測罝I並自上述測量賴取上述基準參數的測量結果; 切換軟體模組’在自上述對象診斷軟體模組接受到指 不對上述測試模組所具有的上述基準參數的值進行測量的 調用請求^相應於此’調用與上述測量器識別資訊所識 別的上述測量器相對應的上述測量軟體模組,並藉由上述 37 1352207 26345pif 修正日期:100年5月6曰 爲第96143862號中文專利範圍無劃線修正# 控制裝置來執行,將上述基準參數的測量結果回送至 對象診斷軟體模組;以及 _f流排控制軟體模組,針對連接上述控制裝置與上述 測量器之間的每-種匯流排而設置,並利用上述控制裝置 來進厅經由該匯流排而在上述控制裝置與上述測量器 的通訊, 11 J 一、其中上述獲取模組利用上述控制裝置,進一步獲 不連接上述控制裝置與上述測量器之間的匯流排之種 匯流排識別資訊; ’ 一上述切絲體额在自上述縣辑軟翻組接受 指不對上述測賴組所具有的上述基準參數的值進行 的調用請求後,相應於此,_與上制量器識別資訊 識別的上侧量H相職的上朗量賴 述控制裝置來執行; 卫稭由上 由上述切換車人體模組调用的上述測量軟體模組,調用 、、上述匯流排識別資訊所識別的匯流排相對應的上^ 排控制軟體模組,並藉由上述蝴裝置純行,使自= 述測量器發出上述指令’且自上述測量器 又取上边基準參數的測量結果。 8.-種診斷介面程式,是於包括測試模組、 置的測試裝置中,被對象診斷軟體模組所調 斷軟體模組藉由上述控制裝置來診斷當作診斷對 測成模!且’其中’上述測試模組將測試信號供給至被測試 38 1352207 26345pif 修正日期:1〇〇年5月6日 爲第96143862號中文卿__|^1^ 準電 .測量;上妙u 7相基準參數進行 制,該診===組及上述測量器_ 測試述Si::”,取表示搭載於上述 測量軟體2 資訊; 之=:=來測量上述測試 述測量哭,並自 、上述控制裝置發送給上 切^軟體模t t 上述基準參數的測量結果; + # μ、+λ ,—、在自上述對象診斷軟體模組接受到拃 具有的上述基準參數的值進= 明求後’相應於此,調用與上述測量 = ==器相對應的上述測量軟體模組:輸: 基準參數的測量結果回送至上^ 匯流排控.體模組,針對連接上述控制 ::器之:的每一種匯流排而設置,並利用上述控制: 流排而在上述控制裝置與上述測量器之 1 ^上述獲取模組利用上述控制裝置 裝置與上述測量器之間的匯流排之種: 上述切換軟趙模組在自上述對象診斷軟體模組接受到 39 1352207 26345pif 修正日期:100年5月6日 爲第96143862號中文專利範圍無劃線修正本 才a示對上述測試模組所具有的上述基準參數的值進行測量 的調用請求後,相應於此,細與上制識別資訊所 識別的上述測量器相對應的上述測量軟體模組,並藉由上 述控制裝置來執行;
    田上返切換軟體核組調用的上述測量軟體模組,調用 與上述匯流排識別資訊所識別的匯流排相對應的上述匯流 排控制軟體模組,並藉由上述控制裝置來執行,使 述控制裝置向上述測量器發出上述指令,且自上述測 獲取上述基準參數的測量結果。 ' S °。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI775786B (zh) * 2017-02-01 2022-09-01 南韓商三星電子股份有限公司 半導體裝置

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7552028B2 (en) * 2006-12-01 2009-06-23 Advantest Corporation Recording medium, test apparatus and diagnostic method
JP5183447B2 (ja) * 2008-12-12 2013-04-17 株式会社アドバンテスト 試験装置および診断方法
US8615673B2 (en) * 2009-11-18 2013-12-24 National Instruments Corporation Device synchronization using independent clocks
US8094566B2 (en) * 2009-12-24 2012-01-10 Advantest Corporation Test apparatus and test method
JP5580709B2 (ja) * 2010-10-05 2014-08-27 株式会社アドバンテスト 試験装置及び試験方法
FR2966263B1 (fr) * 2010-10-18 2013-04-05 Continental Automotive France Procede de controle d'un circuit integre, circuit integre et calculateur comportant un circuit integre
US9250269B2 (en) * 2014-04-09 2016-02-02 Keysight Technologies, Inc. Apparatus having feedback loops between multiple pairs of instrumentation modules
KR101956779B1 (ko) * 2017-01-17 2019-03-11 한국항공우주산업 주식회사 모듈화를 통한 자동시험장비의 운용 시스템
US11061077B2 (en) * 2017-03-09 2021-07-13 Keithley Instruments, Llc Parallel trigger model for test and measurement instruments
CN112461062B (zh) * 2020-11-16 2023-02-03 北京宇航系统工程研究所 一种基于运载火箭综合试验分布式测试的自动测控系统
KR102517102B1 (ko) * 2020-11-20 2023-04-03 주식회사 엠아이티 정전위 전기화학 계측 장치를 통해 바이오 진단을 수행하는 방법
KR102539709B1 (ko) * 2020-11-20 2023-06-07 주식회사 엠아이티 바이오 진단을 수행하기 위한 인터페이스를 제공하는 정전위 전기화학 계측 장치

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4397021A (en) * 1981-06-15 1983-08-02 Westinghouse Electric Corp. Multi-processor automatic test system
JPH03176678A (ja) * 1989-12-06 1991-07-31 Advantest Corp Icテスタのac評価方法
US6134674A (en) * 1997-02-28 2000-10-17 Sony Corporation Computer based test operating system
JP2002174663A (ja) 2000-12-06 2002-06-21 Ando Electric Co Ltd Ic試験装置における自己診断方式
JP2004163194A (ja) 2002-11-12 2004-06-10 Yokogawa Electric Corp Icテスタ及び試験モジュール
US7000056B2 (en) * 2003-03-28 2006-02-14 Intel Corporation Method and apparatus for detecting low pin count and serial peripheral interfaces
US7171587B2 (en) * 2003-04-28 2007-01-30 Teradyne, Inc. Automatic test system with easily modified software
JP2006275986A (ja) 2005-03-30 2006-10-12 Advantest Corp 診断プログラム、切替プログラム、試験装置、および診断方法
JP4571534B2 (ja) 2005-05-12 2010-10-27 株式会社アドバンテスト 試験装置、診断プログラムおよび診断方法
US7552028B2 (en) * 2006-12-01 2009-06-23 Advantest Corporation Recording medium, test apparatus and diagnostic method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI775786B (zh) * 2017-02-01 2022-09-01 南韓商三星電子股份有限公司 半導體裝置

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Publication number Publication date
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