JP2009216596A - 故障検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 診断・診断項目毎にどのカードでどの診断項目に関してフェイルが発生したかを１つのファイルを参照するだけで把握できる故障検出装置を提供する。
【解決手段】 構成要素が設けられた複数のカードと、この複数のカードで構成された装置に対し複数の診断プログラムを実行するテスト実行部を備え、前記装置の故障を検出する故障検出装置において、
複数の前記構成要素と複数の前記診断プログラムの対応関係を記憶し、前記テスト実行部で前記診断プログラムが読み出される記憶部と、
前記テスト実行部が実行した診断の結果を、前記診断プログラム毎に記録するプログラム別診断結果データベースと
を備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体試験装置の故障検出装置に関し、特に、診断・校正プログラム毎にどのカードでどの診断項目に関してフェイルが発生したかをプログラム別の診断結果履歴ファイルを参照するだけで把握できる故障検出装置に関する。

一般に、半導体試験装置は、被試験対象（以下ＤＵＴともいう）であるＩＣ、ＬＳＩ等に試験信号を与えることにより得られるＤＵＴの出力に基づき、ＤＵＴの良否の判定を行なうものである。

ところで、このような半導体試験装置は、ＤＵＴの種類や試験方法の相違により、実際に稼動する部品やモジュール（構成要素）が異なる。つまり、試験に際し、診断プログラムＡでは使用される部品でも、診断プログラムＢでは使用されない場合がある。

したがって、半導体試験装置の自己診断を行なう場合、一つの診断プログラムを実行するだけでは、半導体試験装置の全ての構成要素について診断することは困難であり、複数の診断プログラムが実行されるのが通常である。このような自己診断を用いて半導体試験装置の故障を検出する先行技術文献としては次のようなものがある。

特開２００７―０３３０７２号公報

以下、図６を参照して従来の故障検出装置を説明する。テスタ本体１００は、記憶部１１０とテスト実行部１２０を含む。記憶部１１０には、診断プログラムごとに診断対象となる構成要素が規定されている。テスト実行部１２０は、診断対象となる構成要素の診断を実行する。

構成要素Ｈ、Ｉ、Ｊ（符号１４１、１４２、１５１）は、テスタ本体１００に設けられた診断対象となる構成要素である。なお、構成要素１４１及び構成要素１４２はカード１４０、つまり同じプリント基板に設けられた構成要素であり、構成要素１５１はカード１５０に設けられた構成要素である。

テストヘッド２００は、パフォーマンスカード等で構成され、診断対象となる構成要素Ａ、Ｂ、Ｃ（符号２１１、２２１、２３１）も含まれる。なお、構成要素Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれ別のカード（符号２１０、２２０、２３０）に設けられている。

ＤＵＴインターフェース３００は、ＤＵＴインターフェースユニットやユーザーインターフェースボードで構成され、診断対象となる構成要素Ｄ、Ｅ（符号３０１、３０２）も含まれる。プローブカード４００は、ＤＵＴ５００の電極部の配置にあわせたプローブ針が複数本配列され、診断対象となる構成要素Ｆ、Ｇ（符号４０１、４０２）も含まれる。

次に、図６の動作について図７を参照して説明する。図７は、図６の構成で診断を行う場合のフローチャートである。テスト実行部１２０は、診断プログラム（マクロプログラム）を記憶部１１０から取得し（ステップＡ１）、実行プログラムのリストを表示する（ステップ２）。ここでは、まずＤＵＴ接触系が選択され（ステップＡ３）、その後記憶部１１０の診断プログラムのリストから選択されたものが順に行なわれるものとする。

記憶部１１０の診断プログラムのリストによれば、ＤＵＴ接触系は、プローブカードに設けられた構成要素Ｆ、及び構成要素Ｇが診断対象構成要素となっているので、テスト実行部１２０はこれらの構成要素の診断を行う（ステップＡ４）。

また、プログラムの実行がなされると、診断結果のログも併せて出力される（ステップＡ５）。さらに、ログを出力する際は、診断プログラム実行の経過についても併せて出力される（ステップＡ６）。

つづいて、テスト実行部１２０はリレー系診断を行う（ステップＡ３）。診断リストによれば、リレー系診断は、診断対象構成要素がＡ、Ｄ、Ｆ、Ｈと定義されているので、これらの構成要素の診断を行う。同様の手順で、テスト実行部１２０は、カード内経路系診断、システム経路系診断を行う。

このように、図６の構成では順に診断プログラムによりの診断が実行される。そして、選択された全てのプログラムが実行されると、テスト実行部１２０は、Pass/Fail表に加えて、診断結果データベース（ＤＢ）１３０に最終結果表示のログを出力する。

しかし、従来の故障検出装置には次の問題がある。すなわち、フェイル（Fail）が発生した場合にはユーザーが図８のPass/Fail表から、どのプログラムでFAILしたかを見つけ、次にそのFailを起こしたプログラムの詳細ログ（図８のプログラムＡのログファイル、プログラムＢのログファイル、又は図示しないプログラムＣのログファイルのいずれか）を見てFailが発生した診断項目及びカードを特定する、という２段階の操作が必要となる。

また、プログラム毎のFail発生頻度の管理をする場合、詳細ログを過去にさかのぼってすべて見ていく必要があり、傾向を見つけるまでに何回も２つのファイル（Pass/Fail表及びログファイル）の参照が必要となる。

本発明は、これらの問題点に鑑みてなされたものであり、診断プログラム毎に、どのカードにおいてどの診断項目に関するフェイルが発生したかを１つのファイルを参照するだけで把握できる故障検出装置を提供することを目的とする。

このような課題を達成するために請求項１記載の発明は、
構成要素が設けられた複数のカードと、この複数のカードで構成された装置に対し複数の診断プログラムを実行するテスト実行部を備え、前記装置の故障を検出する故障検出装置において、
複数の前記構成要素と複数の前記診断プログラムの対応関係を記憶し、前記テスト実行部で前記診断プログラムが読み出される記憶部と、
前記テスト実行部が実行した診断の結果を、前記診断プログラム毎に記録するプログラム別診断結果データベースと
を備える。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の故障検出装置において、
前記プログラム別診断結果データベースは、前記診断プログラム毎に、どの前記カードにおいてどの診断項目に関するフェイルが発生したかを記録する。

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の故障検出装置において、
前記テスト実行部が、前記カードのシリアル番号を取得するテストを実行し、前記プログラム別診断結果データベースに記録する。

本発明では、次のような効果がある。テスト実行部が実行したテストの結果を、診断プログラム毎に記録するプログラム別診断結果データベースを備えたので、どのカードでどの診断項目に関してフェイルが発生したかをプログラム別の診断実行履歴ファイルを参照するだけで把握できる。

以下、本発明の故障検出装置の構成図について図１を参照して説明するが、図６と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図１は、本発明による故障検出装置の構成図、具体的には、半導体試験装置の故障検出装置の構成図である。

テスタ本体１００には、診断結果データベース１３０に替わりプログラム別診断結果データベース１３１が備えられている。このプログラム別診断結果データベース１３１は、プログラムごとに一つのファイル（プログラム別の診断実行履歴ファイル）が用意されるものであり、またファイルの記録内容は日付・カード・測定項目の３つの要素である。また、これらの３つの要素の表示方法としては、故障発生時の交換が「カード単位」で行なわれることから、日付とカード番号を見出しとする表に、Failした測定項目番号をビットの重みで表現することにより行なう。

次に、本発明の動作の概要を説明する。図２は図１のフローチャートである。ステップＡ１〜ステップＡ３の動作は図７と同様なので説明を省略する。ステップＡ４の動作は、ステップＡ４１からステップＡ４３に分けて説明する。

プログラムが実行されると、まずは診断が実行され（ステップＡ４１）、その結果のサマリが表示される（ステップＡ４２）。つづいて、プログラム別の診断実行履歴に結果を出力する（ステップ４３）。結果が書き込まれたファイルの内容は図３を参照して説明する。

図３はプログラム別の診断実行履歴のファイルの内容である。図において、Dateは実行が行なわれた日付であり、Timeはその時間である。また、P1、P2、P3、P4、P31、P32、P33、P34はそれぞれカードの番号である。図３では、カード番号P32において、2007/05/23に行なった診断と同24日、25日に行なった診断でそれぞれFailが発生している。

まず、2007/5/23の診断では$0001と表示されているので、この意味内容を、図４（Ａ）を参照して詳細に説明する。これら４桁の数字はそれぞれ１６進法で表されるため、0からFまでのいずれかが入ることとなる。したがって、$0001では診断項目の1番でFailが発生していることとなる。

次に、2007/05/24に行なった診断の結果が$0021と表示されている点について図４（Ｂ）を参照して説明する。0021の最下位のビットである「1」については既に図４（Ａ）で説明したので省略する。下位から２ビット目の「2」であるが、これは２進数で表示すると0010となる。したがって、１番の診断項目の他、6番の診断項目でもFailが発生していることが分かる。

最後に、2007/05/25に行なった診断の結果が$0029と表示されている点について図４（C）を参照して説明する。0029の下位から２番目のビットである「2」については既に図４（Ｂ）で説明したので省略する。下位から１ビット目の「9」であるが、これは２進数で表示すると1001となる。したがって、１番、6番の診断項目に加え、4番の診断項目でもFailが発生していることが分かる。

このように、テスト実行部１２０が実行したテストの結果を、診断プログラム毎に記録するプログラム別診断結果データベース１３１を備えたので、診断プログラム毎に、どのカードにおいてどの診断項目に関するフェイルが発生したかを１つのファイルを参照するだけで把握できる。

次に、図５を参照して本発明の応用例を説明する。半導体試験装置における各診断・校正プログラムの実行履歴及びFail発生状況を参照する場合、カードの交換と関連付けて確認したい場合がある。なお、カードの交換はハードウェアの修理の際に行なわれる。

そのため、半導体試験装置の起動時に全てのカードのシリアル番号を取得し、前回の起動時と比較して異なるカードがある場合に全カードの情報を記録する。

図５（Ａ）は2007/05/22の08：35：01に行なった診断の結果である。No.0ではP31のカードについて表示されており、一番右のSerial No.「32GF0112A08」はP31のカードのシリアル番号を意味する。同様に、P32のカードのシリアル番号は「32GF0113A08」である。

図５（Ｂ）を説明する。図５（Ｂ）は2007/05/25の09：42：17に診断された結果である。また、図５（Ｂ）はP32のカードが図５（Ａ）で説明したものから新しいものに交換され、「32GA1397A06」のシリアル番号のカードが実装されている。つまり、P32は前回とカードが異なっているため、P32の前に目印となる記号（*）が付けられており、カードの交換が行なわれたことが一目瞭然に把握できる。

このように、カードの交換と関連して確認したい場合には、図３で説明した診断結果に併せてカードのシリアル番号を取得するので、新たに交換されたカードに問題があっても直ぐに把握することができる。

本発明による半導体試験装置の故障検出装置の構成図である。 図１のフローチャートである。 プログラム別のファイル内容の例である。 診断項目の表示内容がどのような意味を持つのか説明する図面である。 本発明の応用例の説明図である。 従来技術による半導体試験装置の故障検出装置の構成図である。 図６のフローチャートである。 従来の出力形式であり、Pass/Fail表とプログラム毎のログファイルである。

符号の説明

１００ テスタ本体
１１０ 記憶部
１２０ テスト実行部
１３０ 診断結果データベース
１４０ カード
１４１ 構成要素
１４２ 構成要素
１５０ カード
１５１ 構成要素
２００ テストヘッド
２１０ カード
２１１ 構成要素
２２０ カード
２２１ 構成要素
２３０ カード
２３１ 構成要素
３００ ＤＵＴインターフェース
３０１ 構成要素
３０２ 構成要素
４００ プローブカード
４０１ 構成要素
４０２ 構成要素
５００ ＤＵＴ

Claims (3)

1. 構成要素が設けられた複数のカードと、この複数のカードで構成された装置に対し複数の診断プログラムを実行するテスト実行部を備え、前記装置の故障を検出する故障検出装置において、
   複数の前記構成要素と複数の前記診断プログラムの対応関係を記憶し、前記テスト実行部で前記診断プログラムが読み出される記憶部と、
   前記テスト実行部が実行した診断の結果を、前記診断プログラム毎に記録するプログラム別診断結果データベースと
   を備えたことを特徴とする故障検出装置。
2. 前記プログラム別診断結果データベースは、前記診断プログラム毎に、どの前記カードにおいてどの診断項目に関するフェイルが発生したかを記録することを特徴とする請求項１記載の故障検出装置。
3. 前記テスト実行部は、前記カードのシリアル番号を取得するテストを実行し、前記プログラム別診断結果データベースに記録することを特徴とする請求項１又は２記載の故障検出装置。

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