WO2005115751A1

WO2005115751A1 - 離型用積層フィルム

Info

Publication number: WO2005115751A1
Application number: PCT/JP2005/009805
Authority: WO
Inventors: Yoshihiko Nishio; Jyun Nishioka; Shigeki Nishimura; Osamu Kakishita
Original assignee: Mitsubishi Plastics, Inc.
Priority date: 2004-05-27
Filing date: 2005-05-27
Publication date: 2005-12-08
Also published as: KR20070034527A; TW200602182A; JPWO2005115751A1

Abstract

　フッ素樹脂の表面特性を有しながら、層間剥離が生じにくく、作業性、経済性にも優れ、さらに、さらにプレス成形時に多層基板の階段状の形状に容易に追従することが可能な、変性ポリオレフィン樹脂からなる層、および、この層の少なくとも一方の面に積層された接着性フッ素樹脂からなる層を有する離型用積層フィルムを提供する。

Description

明細書

離型用積層フィルム

技術分野

[0001] 本発明は、フッ素榭脂からなる層を表面に有する離型用積層フィルムに関し、特に

、多層基板のプレス成形に好適に用いられる離型用積層フィルムに関する。

背景技術

[0002] 離型フィルムとは、そのフィルムの上に各種粘着材、塗料などを塗布して硬化させることにより、該フィルムの上に塗膜を形成し、そして、この塗膜を剥離して使用できるようにするためのフイノレムを!、う。

[0003] 従来、これらの離型フィルムとしては、テフロン (登録商標） (PTFE)等のフッ素榭脂フィルムやポリ（4ーメチルペンテン 1)フィルム、さらには二軸延伸ポリエチレンテレフタレート（PET)表層にシリコン系材料を塗布したフィルム等が用いられてきた。特に、表層にフッ素榭脂を用いたフィルムは、きわめて粘着性が低ぐ離型性に優れていることが知られている。例えば、特許文献 1には、フッ素系榭脂フィルムを離型フィルムとして使用することが提案されている。また、特許文献 2には、表層をフッ素系榭脂として、熱可塑性榭脂に積層させたフィルムを離型フィルムとして使用することが提案されている。

[0004] また、離型フィルムは、プリント基板やセラミックス電子部品、熱硬化性榭脂製品、化粧板等を製造する際、工程中に金属板同士ゃ榭脂同士が接着してしまわないように、金属板の間、あるいは榭脂の間に挟み込まれて使用される場合もある。

[0005] 例えば、プリント基板の製造は、一般的に、エポキシ榭脂をガラス繊維布に含浸したプリプレダを適宜数枚重ね、さらに銅箔等の金属箔を載置し、プレス加工機に加熱、加圧して一体化する方法が行われているが、このプレス加工時に、プレス加工機のプレス板とプリント基板の間や、当該基板同士の間に離型フィルムを介在させて、互 V、のくつっきを防止して、る。

[0006] 特に、近年、プリント基板の高密度化に伴い表面実装の構成も変化し、チップ等の表面実装部品を積載するために階段状の凹凸を有する多層基板が多用されるようになった。かかる形状の多層基板を積層成形する場合、通常の成形方法では被成形物に均一に圧力をかけることが困難なため、階段状の部分にその形状に合わせてシリコンラバー等を埋め込んで、加熱しつつ圧力を加える方法が行われていた。また、均一に圧力を加えるために、真空多段積層装置による成形も提案されていた。

[0007] また、プレス成形時に多層基板の層間に挿入されたプリプレダ榭脂が溶融してキヤビティ部分に流出するのを防止するため、特許文献 3には三層構造力なり、上下二層はフッ素榭脂等の耐熱性榭脂、コア層はポリエチレン等の熱可塑性榭脂で形成した積層プレス用多層フィルムが開示されている。この多層フィルムは、プレス時に中間層が溶融加圧状態になって、プリプレダの流出を防止できるとされている。

特許文献 1 :特開平 8— 186141号公報

特許文献 2：特開 2002— 208782号公報

特許文献 3：特開平 10— 296765号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0008] しかし、特許文献 1および特許文献 2にお、ては、フッ素榭脂フィルムが高価であるので、離型フィルムとして実用化するには、コストの点で問題があった。また、コストの問題を解消するために、薄いフッ素榭脂フィルムを用いたとすると、フィルムの腰がなくなつてハンドリング性が劣ったり、プリント基板製造時、ステンレス鋼板との熱密着が生じたり等の問題が生じた。

[0009] また、特許文献 2のように、表層をフッ素榭脂にした積層体にぉヽては、フッ素榭脂の粘着性が低いため、非フッ素系の熱可塑性榭脂等との接着力が弱ぐ層間剥離が生じ易いという問題があった。

[0010] また、特許文献 3に開示されている多層フィルムは上下二層のフッ素系榭脂層と、コア層たるポリエチレン榭脂層とを接着する必要があった。フッ素榭脂層とポリェチレン榭脂層とを接着する場合、通常ドライラミネートの手法が採用される。ドライラミネ一トの手法をとる場合、気泡等を介在させずに接着するには、貼り合わせる両層に所定以上の厚みを持たせることが必要になる。これは、コストの高いフッ素系榭脂を多量に使用することにつながり、多層フィルム原料のコストアップの原因になるという問題があった。

[0011] また、各層を別々に作成して、それらを貼り合わせるドライラミネート自体が手間のかかる作業であり、製造コストアップの原因となっていた。さらに、各層が所定以上の厚みを有しているため、プレス成形時に多層フィルムが多層基板の階段状の形状にうまく追従することができな、と、う問題もあった。

[0012] そこで、本発明は、フッ素榭脂の表面特性を有しながら、層間剥離が生じにくぐ作業性、経済性にも優れ、さらに、さらにプレス成形時に多層基板の階段状の形状に容易に追従することが可能な離型用積層フィルムを提供することを課題とする。

課題を解決するための手段

[0013] 以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。

[0014] 第一の本発明は、変性ポリオレフイン榭脂からなる層（10)、および、この層の少なくとも一方の面に積層された接着性フッ素榭脂からなる層（20)を有する離型用積層フイルム（100A)である。

[0015] 第一の本発明において、変性ポリオレフイン榭脂からなる層（10)の両方の面に、接着性フッ素榭脂からなる層（20a、 20b)が積層されていることが好ましい。

[0016] 第一の本発明において、接着性フッ素榭脂からなる層（20)の厚みは 1〜15 m、変性ポリオレフイン樹脂からなる層（10)の厚みは 10〜： LOO μ mであることが好ましい

[0017] 第二の本発明は、ポリオレフイン榭脂からなる層（30)の少なくとも一方の面に、変性ポリオレフイン樹脂からなる層（10)、および、接着性フッ素榭脂からなる層（20)がこの順に積層されて、る離型用積層フィルム（100C)である。

[0018] 第二の本発明において、ポリオレフイン榭脂からなる層（30)の両方の面に、変性ポリオレフイン榭脂からなる層（10a、 10b)、および、接着性フッ素榭脂からなる層（20a

、 20b)がこの順に積層されていることが好ましい。

[0019] 第二の本発明において、接着性フッ素榭脂からなる層（20)の厚みは 1〜15 m、変性ポリオレフイン樹脂からなる層（10)の厚みは 0. 5-100 ^ m,ポリオレフイン榭脂からなる層（30)の厚みは 10〜： LOO μ mであることが好ましい。

[0020] 第三の本発明は、変性ポリオレフイン榭脂からなる層（10)の少なくとも一方の面に

、接着性フッ素榭脂からなる層（20)、および、フッ素榭脂からなる層（40)がこの順で積層されている、離型用積層フィルム（100E)である。

[0021] 第三の本発明において、変性ポリオレフイン榭脂からなる層（10)の両方の面に、接着性フッ素榭脂からなる層（20a、 20b)、および、フッ素榭脂からなる層（40a、 40b) 力の順で積層されて、ることが好まし!/、。

[0022] 第三の本発明において、フッ素榭脂からなる層（40)の厚みは l〜15 /z m、接着性フッ素榭脂からなる層（20)の厚みは 0. 5〜15 m、変性ポリオレフイン榭脂からなる層（10)の厚みは 10〜100 μ mであることが好ましい。

[0023] 第四の本発明は、ポリオレフイン榭脂からなる層（30)の少なくとも一方の面に、変性ポリオレフイン樹脂からなる層（10)、接着性フッ素榭脂からなる層（20)、および、フッ素榭脂からなる層（40)がこの順で積層されている、離型用積層フィルム（100G) である。

[0024] 第四の本発明において、ポリオレフイン榭脂からなる層（30)の両方の面に、変性ポリオレフイン樹脂からなる層（10a、 10b)、接着性フッ素榭脂からなる層（20a、 20b) 、および、フッ素榭脂からなる層（40a、 40b)がこの順で積層されていることが好ましい。

[0025] 第四の本発明において、フッ素榭脂からなる層（40)の厚みは l〜15 /z m、接着性フッ素榭脂からなる層（20)の厚みは 0. 5〜15 m、変性ポリオレフイン榭脂からなる層の厚み（10)は 0. 5〜： LOO /z m ポリオレフイン榭脂からなる層（30)の厚みは 10〜 100 μ mであることが好まし!/、。

[0026] 第一〜第四の本発明において、変性ポリオレフイン樹脂からなる層（10)を形成する変性ポリオレフイン榭脂は、変性ポリエチレン榭脂であることが好ま、。

[0027] 第三および第四の本発明において、フッ素榭脂からなる層（40)を形成するフッ素榭脂は、エチレン一テトラフルォロエチレン共重合体であることが好ましい。

[0028] 第五の本発明は、耐熱性榭脂からなる層、および、この層の少なくとも一方の面に積層されたフッ素榭脂からなる層を有する、離型用積層フィルムである。 [0029] 第五の本発明において、耐熱性榭脂からなる層の両方の面に、フッ素榭脂からなる層が積層されて、ることが好まし、。

[0030] 第五の本発明において、フッ素榭脂からなる層の厚みは 1〜15 m、耐熱性榭脂からなる層の厚みは 10〜 150 mであることが好まし!/、。

[0031] 第五の本発明において、フッ素榭脂からなる層を形成するフッ素榭脂は、エチレンーテトラフルォロエチレン共重合体、低融点エチレンーテトラフルォロエチレン共重合体、またはこれらの混合物であることが好ま、。

[0032] 第五の本発明におヽて、前記耐熱性榭脂からなる層を形成する耐熱性榭脂は、ポリカーボネート、エチレンビュルアルコール共重合体、ポリアミドのいずれかであることが好ましい。

[0033] 第六の本発明は、接着剤を介して複数枚の基板を重ね合わせてなる積層体をカロ熱下で積層プレス成形する際にプレス板とこの積層体との間に配置される積層フィルムであって、コア層（50a)、およびこのコア層の両方の面に積層された接着性フッ素榭脂からなる層（20a、 20b)を有する積層フィルムであり、コア層（50a)が、接着性フッ素榭脂よりも低、融点を有する榭脂から形成されて、る離型用積層フィルム（ 100J )である。

[0034] 第六の本発明にお、て、コア層（50a)は、変性ポリオレフイン榭脂からなる層であることが好ましい。

[0035] 第六の本発明にお、て、接着性フッ素榭脂からなる層（20a、 20b)とコア層（50a) との間に、さらに、変性ポリオレフイン榭脂、エチレンビュルアルコール共重合体 (E VOH)、およびポリアミドからなる群力も選ばれる一種以上の熱可塑性榭脂からなる中間層（60a、 60b)を有して!/、ることが好まし!/、。

[0036] 第六の本発明において、変性ポリオレフイン榭脂は、変性ポリエチレンであることが好ましい。

[0037] 第六の本発明にお、て、接着性フッ素榭脂からなる層（20a、 20b)の厚みは、 5〜

20 μ mであることが好まし!/ヽ。

[0038] 第六の本発明において、接着性フッ素榭脂からなる層（20a、 20b)のさらに外側に

、ポリテトラフルォロエチレン（PTFE)、テトラフルォロエチレン一へキサフルォロプロピレン共重合体（FEP)、テトラフルォロエチレンパーフルォロアルキルビュルエーテル共重合体（PFA)、ポリクロ口トリフルォロエチレン（CTFE)、エチレン—テトラフルォロエチレン共重合体（ETFE)、ポリビ-リデンフルオライド（PVDF)、ポリビュルフルオライド、および酸変性 ETFE (EFEP)カゝらなる群カゝら選ばれる一種以上の榭脂力もなるフッ素榭脂からなる層（70a、 70b)を有していることが好ましい。

[0039] 第六の本発明において、フィルム全体の厚みは 100〜1200 μ mであることが好ましい。

[0040] 第一〜第六の本発明における離型用積層フィルム（100)は、共押出により形成されたものであることが好まし！/、。

発明の効果

[0041] 本発明によれば、フッ素榭脂の優れた離型性を有すると共に、層間剥離が生じにくぐ作業性、経済性にも優れ、さらに、さらにプレス成形時に多層基板の階段状の形状に容易に追従することが可能な離型用積層フィルムを提供することができる。

発明を実施するための最良の形態

[0042] <第一実施形態 >

図 1に、本発明の離型用積層フィルムの層構成を示す。図 1 (a)に示すように、本発明の離型用積層フィルム 100Aは、変性ポリオレフイン榭脂からなる層 10、および、この層の少なくとも一方の面に積層された接着性フッ素榭脂からなる層 20を有する。

[0043] 本発明における「接着性フッ素榭脂」とは、融点が 150°C〜250°Cであって、変性ポリオレフイン榭脂の一種であるレタスパール RA3150 (日本ポリエチレン社製）とフッ素榭脂とを、 4 X 10⁵〜5 X 10⁵Paの試料圧で、 240°Cで、 10分間プレスして、積層シートを作製し、幅 2. 5cm、長さ 25cmに切断して採取したサンプルを、 JIS Z0237 に準じた方法にて、剥離速度 5mmZmin、温度 23°Cで、 180度剥離強度の測定を行った時の 180度剥離強度が 4NZcm以上であるフッ素榭脂のことをいう。

[0044] また、本発明における「接着性フッ素榭脂」の IR ^ベクトルは、 1780cm―¹〜 1880c m^_1の間に吸収ピークを有している。好ましくは、「接着性フッ素榭脂」の IRスペクトルは、 1790cm―¹〜 1800cm^_1の間および 1845cm―¹〜 1855cm^_1の間に、無水マレイン酸基等の無水物に起因する吸収ピークを有し、あるいは、 1800cm―¹〜 1815 cm—¹の間に末端カーボネート基に起因する吸収ピークを有し、あるいは、 1790cm— ^lSOOcm—¹の間、 1845cm―¹〜 1855cm^_1の間および 1800cm―¹〜 1815cm^_1 の間に、無水マレイン酸基等の無水物および末端カーボネート基の混合物に起因する吸収ピークを有している。

[0045] さらに好ましくは、「接着性フッ素榭脂」の IRスペクトルは、 1790cm―¹〜 1800cm— 1の間および 1845cm―¹〜 1855cm^_1の間に、無水マレイン酸基等の無水物に起因する吸収ピークを有し、あるいは、 1800cm―¹〜 1815cm^_1の間に末端カーボネート基に起因する吸収ピークを有して、る。

[0046] また、主鎖の CH基に起因する 2881cm^{_ 1}付近における吸収ピークの高さに対す

2

る、無水マレイン酸基等の無水物に起因する 1790cm―¹〜 1800cm^_1の間の吸収ピークの高さの比は、 0. 5〜1. 5、好ましくは 0. 7〜1. 2、さらに好ましくは 0. 8〜1. 0 である。

[0047] また、主鎖の CH基に起因する 2881cm^{_ 1}付近における吸収ピークの高さに対す

2

る、末端カーボネート基に起因する 1800cm―¹〜 1815cm^_1の間の吸収ピークの高さの比は、 1. 0〜2. 0、好ましくは 1. 2〜1. 8、さらに好ましくは 1. 5〜1. 7である。

[0048] このような接着強度を有するフッ素榭脂として、例えば、テトラフルォロエチレン単位を有するホモポリマーゃコポリマーであって、末端あるいは側鎖に、カーボネート基、カルボン酸ハライド基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、エポキシ基等の官能基を有する樹脂が挙げられる。上記融点と接着強度を発現するのであれば、複数の榭脂を混合してもよい。市販品で上記のような接着強度を有するフッ素榭脂としては、例えば、ネオフロン EFEP (ダイキン工業社製）、フルオン LM— ETFE AH2000 (旭硝子社製)が挙げられる。

[0049] 本発明における「変性ポリオレフイン榭脂」とは、ベースとなるポリオレフイン樹脂に、任意の方法で無機酸、不飽和カルボン酸またはその誘導体等の酸をグラフト反応させることにより得られる榭脂をいう。ベースとなるポリオレフインとしては、例えば、ポリエチレンやポリプロピレン等が使用される。不飽和カルボン酸類としては、例えばボロン酸、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、ィタコン酸、シトラコン酸、またそれらの酸無水物、エステル、アミド、イミド、金属塩等が使用される。変性ポリオレフイン榭脂としては、エチレンとグリシジルメタタリレートのコポリマーが好ましい。このようなエチレンとグリシジノレメタタリレートのコポリマーとしては、例えば、レタスパーノレ RA

3150 (日本ポリエチレン社製）、ボンドファースト E (住友化学社製)を挙げることができる。

[0050] 本発明の離型用積層フィルム 100Aは、この変性ポリオレフイン榭脂からなる層 10 上に、必要に応じてさらにいくつかの層 90を積層することができる。中でも、図 1 (b) に示したように、変性ポリオレフイン榭脂からなる層 10の両方の面に、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bが積層されている構成 100B力両面で離型性を発揮することができ、さらに経済性にも優れて、る点で好ま、。

[0051] 図 1 (a)、図 1 (b)に示した離型用積層フィルム 100A、 100Bのように構成した場合、接着性フッ素榭脂からなる層 20、 20a, 20bは 1〜15 /ζ πι、変性ポリオレフイン榭脂力もなる層 10は 10〜： LOO mであることが好ましい。このように構成することで、接着性フッ素榭脂からなる層 20、 20a、 20bが薄くても、変性ポリオレフイン榭脂からなる層 10に適度な厚みと剛性を持たせているため、コシのある作業性に優れた離型用積層フィルム 100A、 100Bとすることができる。また、高価な接着性フッ素榭脂は、必要最小量しか使用して、な、ため、経済性にも優れて、る。

[0052] 図 1 (c)に示したように、本発明の離型用積層フィルム 100は、ポリオレフイン榭脂からなる層 30の少なくとも一方の面に、変性ポリオレフイン榭脂からなる層 10、および、接着性フッ素榭脂からなる層 20がこの順に積層されている積層フィルム 100Cとすることができる。

[0053] ポリオレフイン榭脂からなる層 30に用いられるポリオレフイン榭脂としては、ポリェチレン、ポリプロピレン等が挙げられるが、中でもポリエチレンがプレス時のクッション性、封止性の観点力好ましい。このように構成すると、積層フィルム 100A、 100Bでは、作業性をよくするために変性ポリオレフインカもなる層 10のみで厚みを持たせてヽたものが、積層フィルム 100Cでは、より安価なポリオレフイン榭脂からなる層 30によつても厚みを持たせることができるので、変性ポリオレフイン樹脂の使用量を減らすことができ、より経済性に優れた離型用積層フィルム 100Cとすることができる。

[0054] ポリオレフイン榭脂からなる層 30を設けた離型用積層フィルム 100Cにおいても、必要に応じてさらにいくつかの層 90を積層することができる。中でも、図 1 (d)に示したように、ポリオレフイン榭脂からなる層 30の両方の面に、変性ポリオレフイン榭脂からなる層 10a、 10b、および、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bがこの順に積層されて、る離型用積層フィルム 100Dとすることが好まし、。このような構成とすることによって、両面で離型性を発揮することができ、さらに経済性にも優れたものとすることができる。

[0055] 図 1 (c)、図 1 (d)に示した離型用積層フィルム 100C、 100Dのように構成した場合、接着性フッ素榭脂からなる層 20、 20a, 20bは 1〜15 /ζ πι、変性ポリオレフイン榭脂力らなる層 10、 10a、 10bは 0. 5〜： LOO m、ポリ才レフィン榭月旨力らなる層 30は 10 〜： L00 m、であることが好ましい。このように構成することで、接着性フッ素榭脂からなる層 20、 20a、 20bが薄くても、ポリオレフイン榭脂からなる層 30に適度な厚みを持たせているため、コシのある作業性に優れた離型用積層フィルム 100C、 100Dとすることができる。また、高価な接着性フッ素榭脂は、必要最小量し力使用していないため、経済性にも優れている。

[0056] 図 2に、本発明の離型用積層フィルムの別の構成を示す。図 2 (a)に示すように、本発明の離型用積層フィルム 100は、変性ポリオレフイン榭脂からなる層 10の少なくとも一方の面に、接着性フッ素榭脂からなる層 20、および、フッ素榭脂からなる層 40がこの順で積層されている、離型用積層フィルム 100Eとすることができる。

[0057] フッ素榭脂からなる層 40に用いられるフッ素榭脂としては、例えば、エチレン一テトラフルォロエチレン共重合体 (ETFE)、ポリビ-リデンフルオライド（PVDF)、テトラフルォロエチレン一へキサフルォロプロピレン共重合体（FEP)、テトラフルォロェチレンへキサフルォロプロピレンビ-リデンフロライド共重合体 (THV)等が挙げられる。中でも、 ETFEが、離型性、加工性等の点力も好ましい。 ETFEは、市販品として容易に入手でき、例えば、ァフロン COP (旭硝子社製）、 Tefzel (デュポン社製）、ネオフロン ETFE (ダイキン工業社製)等が挙げられる。

[0058] 離型用積層フィルム 100Eにおいては、最外層にフッ素榭脂からなる層 40があるために、接着性フッ素榭脂からなる層 20が最外層にある場合に比較して、特に高温 (2 00°C以上)でのプレス成形に使用する場合の離型性が優れている。これは、接着性フッ素榭脂は、その融点以上になると接着性能が発現し、離型性が低下する傾向があるのに対し、通常のフッ素榭脂は、高温での接着性が小さいためであると考えられる。

[0059] 図 2 (a)に示すように、本発明の離型用積層フィルム 100Eは、この変性ポリオレフィン榭脂からなる層 10上に、必要に応じてさらにいくつかの層 90を積層することができる。中でも、図 2 (b)に示すように、変性ポリオレフイン樹脂からなる層 10の両方の面に、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20b、および、フッ素榭脂からなる層 40a、 40 bがこの順で積層されている構成の離型用積層フィルム 100Fとすることが好ましい。この積層フィルム 100Fにおいては、両面で離型性を発揮することができ、さらに経済性にも優れたものとすることができる。

[0060] 図 2 (a)、図 2 (b)に示す離型用積層フィルム 100Eまたは 100Fのように構成した場合、フッ素榭脂からなる層 40、 40a、 40bは l〜15 /z m、接着性フッ素榭脂からなる層 20、 20a, 20b «0. 5〜15 /ζ πι、変'性ポリ才レフィン榭月旨力らなる層 ΙΟίま 10〜： LO であることが好ましい。このように構成することで、フッ素榭脂からなる層 40、 40 a、 40bが薄くても、変性ポリオレフイン樹脂からなる層 10に適度な厚みと剛性を持たせているため、コシのある作業性に優れた離型用積層フィルム 100E、 100Fとすることができる。また、高価なフッ素榭脂は、必要最小量し力使用していないため、経済性にも優れている。

[0061] 図 2 (c)に示すように、本発明の離型用積層フィルム 100は、ポリオレフイン榭脂からなる層 30の少なくとも一方の面に、変性ポリオレフイン榭脂からなる層 10、接着性フッ素榭脂からなる層 20、および、フッ素榭脂からなる層 40がこの順で積層されている、離型用積層フィルム 100Gとすることができる。

[0062] このように構成すると、離型用積層フィルム 100E、 100Fでは、作業性をよくするために変性ポリオレフイン榭脂からなる層 10のみで厚みを持たせて、たものが、離型用積層フィルム 100Gではより安価なポリオレフイン榭脂からなる層 30によっても厚みを持たせることができるので、変性ポリオレフイン樹脂の使用量を減らすことができ、より経済性に優れた離型用積層フィルム 100Gとすることができる。

[0063] 上述の離型用積層フィルム 100Eと同様に、離型用積層フィルム 100Gにおいても、必要に応じてさらにいくつかの層 90を積層することができる。中でも、図 2 (d)に示す、離型用積層フィルム 100Hのように、ポリオレフイン榭脂からなる層 30の両方の面に、変性ポリオレフイン樹脂からなる層 10a、 10b、接着性フッ素榭脂からなる層 20a 、 20b、および、フッ素榭脂からなる層 40a、 40bがこの順で積層されている、離型用積層フィルム 100Hとすることが好ましい。このような構成とすることによって、両面で離型性を発揮することができ、さらに経済性にも優れたものとすることができる。

[0064] 離型用積層フィルム 100Gまたは離型用積層フィルム 100Hのように構成した場合、フッ素榭脂からなる層 40、 40a、 40bは l〜15 /z m、接着性フッ素榭脂からなる層 2 0、 20a, 20b «0. 5〜15 /ζ πι、変'性ポリ才レフィン榭月旨力らなる層 10、 10a、 10biま 0. 5〜： L00 μ m、ポリオレフイン榭脂からなる層 30は 10〜 100 μ m、であることが好ましい。このように構成することで、フッ素榭脂からなる層 40、 40a、 40bが薄くても、ポリオレフイン榭脂からなる層 30に適度な厚みを持たせているため、コシのある作業性に優れた離型用積層フィルムとすることができる。また、高価なフッ素榭脂は、必要最小量しか使用して、な、ため、経済性にも優れて、る。

[0065] <第二実施形態 >

本発明の離型用積層フィルム 100は、耐熱性榭脂からなる層、および、この層の少なくとも一方の面に積層されたフッ素榭脂からなる層を有する構成とすることができる。第二実施形態に係る発明は、特に、高温度環境下においても好適に使用することができる離型積層フィルムである。

[0066] また、上記耐熱性榭脂からなる層におけるフッ素榭脂からなる層が積層された面とは反対側の面に、必要に応じて、さらにいくつかの層を積層することができる。中でも、耐熱性榭脂からなる層の両方の面に、フッ素榭脂からなる層が積層されている構成とすることが、両面で離型性を発揮することができ、さらに経済性に優れている点で好ましい。

[0067] ここで、フッ素榭脂からなる層の厚みは 1〜15 mであることが好ましぐ耐熱性榭脂からなる層の厚みは 10〜 150 mであることが好まし!/、。このように構成することで、フッ素榭脂からなる層が薄くても、耐熱性榭脂からなる層に適度な厚みと剛性を持たせてヽるため、コシのある作業性に優れた離型用積層フィルムとすることができる。また、高価なフッ素榭脂は、必要最小量し力使用していないため、経済性にも優れている。

[0068] 第二の実施形態における、フッ素榭脂からなる層を形成するフッ素榭脂は、ェチレンーテトラフルォロエチレン共重合体、低融点エチレンーテトラフルォロエチレン共重合体、またはこれらの混合物であることが好ま、。

[0069] ここで、低融点エチレンーテトラフルォロエチレン共重合体とは、第一実施形態にぉ、て定義を記載した接着性フッ素榭脂のことである。

[0070] 耐熱性榭脂からなる層を形成する、耐熱性榭脂としては、ポリカーボネート、ポリ力ーボネート系ァロイ、ポリエーテルイミド、エチレンビュルアルコール共重合体、ポリアミド、ポリアミド系ァロイを挙げることができる。この中でも、ポリカーボネート、ェチレンービュルアルコール共重合体、ポリアミドを用いることが好まし、。

[0071] 耐熱性榭脂からなる層を、これらの榭脂により形成することによって、安価で、耐熱性の優れた、離型性積層フィルムとすることができる。また、これらの榭脂は共押出によって成形することができる。これにより、 PETフィルムをラミネートした場合のように、層間における異物嚙み込みが生じる問題を解決できる。

[0072] 高温 (例えば、 180°C以上）にお、ては、上記の耐熱性榭脂の弾性率が低下する力離型用積層フィルムの端部を超音波ウェルダーにて溶断シール等することによつて、後に示す図 3 (a)のように、端部においてフッ素榭脂からなる層を接着して、上記の榭脂の軟化、溶解の問題を解決することができる。

[0073] また、本実施形態の離型用積層フィルムは、刃物によりフィルムを切断したとしても、剥離しない程度の層間の仮密着性を有する。また、離型用積層フィルムにテープを取り付けて、引張部を設けた場合は、この引張部を持って離型用積層フィルムを容易に剥離させて各層を分離することができる。このように、本発明の離型用積層フィルムは、使用後において、各層を剥離し、分離することができ、分別廃棄できるという利点を有する。

[0074] <第三実施形態 >

図 3 (a)は本発明の第三実施形態に係る離型用積層フィルム 100Jの層構成を示す厚さ方向の断面図である。図示の積層フィルム 100Jは三層構造を備え、コア層 50a の両側に接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bが配置されている。本実施形態において、コア層 50aを構成する榭脂は、接着性フッ素榭脂より融点が低い榭脂であることが必須である。力かる構成をとることにより、プレス成形時の加温によりコア層 50a を構成する榭脂のみが溶融することが可能となり、プレス成形時に多層基板の階段状の形状に容易に追従することができる。積層フィルム 100Jの端部において、図 3 (a )の左側に示されているように、二層の接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bは直接接着されて、コア層 50aを封止する構造をとることが好ましいが、積層フィルム 100Jはその表面積に比べて十分に薄ぐまた通常積層フィルム 100Jの大きさは、金型当接面より大であるので、上記封止構造は必須ではな、。

[0075] コア層 50aを構成する榭脂の種類は特に限定されるものではないが、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bとの接着を容易に行うことができ、また、入手し得る接着性フッ素榭脂の融点より低い融点を備えるという観点から、変性ポリオレフイン榭脂、ェチレンビニルアルコール共重合体 (EVOH)およびポリアミド力なる群から選ばれる一種以上の熱可塑性榭脂であることが好ま、。

[0076] 本実施形態における「変性ポリオレフイン榭脂」および「接着性フッ素榭脂」は、第一実施形態におけるものと同様である。

[0077] 本実施形態に力かる積層フィルム 100Jでは、層構成中にコア層 50aを挟むように二層の接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bが配置されている。したがって、コア層 50aと接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bとの間を接着するのに接着剤を必要としない。力べして、本実施形態に力かる積層フィルム 100Jの作製に際して、従来のようなドライラミネート工程を経ることを要することがなぐ共押出により積層フィルム 100 Jを一気に形成することが可能となる。さらに、共押出によるフィルム作製が可能であるため、原料として高価な接着性フッ素榭脂からなる層を薄くすることが可能である。

[0078] 本実施形態に力かる積層フィルム 100Jにおいて、接着性フッ素榭脂からなる層 20 a、 20bの厚みは特に限定されるものではないが、 5〜20 /ζ πιの範囲にあることが好ましい。接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bの厚みが薄過ぎると、強度の点で問題が生じるおそれがある。接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bの厚みをこれより厚くすると、原材料コストが上昇して、共押出により積層フィルム 100Jを作製するメリットが失われる。また、二層の接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bの厚みは同一であつても良ぐまた異なるものであっても良い。

[0079] 一方、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bを上記範囲に薄く形成することにより、コア層 50aの樹脂が溶融した時の積層フィルム 100Jの柔軟性が増すので、積層プレス時に多層基板の階段状の形状に容易に追従して、プレス成形時に多層基板の層間に挿入されたプリプレダ榭脂が溶融してキヤビティ部分に流出するのを防止することができる。

[0080] 本実施形態に力かる積層フィルム 100Jの総厚みは特に限定されない。要は、プレス成形の加熱により変形した時に、多層基板の層間になるベく隙間なく充填される厚みの範囲であればよぐ力かる観点から 100〜1200 μ mの厚みであることが好ましい。

[0081] 図 3 (b)に示すように、本実施形態の離型用積層フィルム 100は、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bとコア層 50bとの間に、さらに、変性ポリオレフイン、エチレンビュルアルコール共重合体 (EVOH)、およびポリアミドからなる群から選ばれる一種以上の熱可塑性榭脂からなる中間層 60a、 60bを有している離型用積層フィルム 1 00Kとすることができる。本実施形態において、コア層 50bを構成する榭脂は、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bを構成する榭脂の融点より低、融点を有する榭脂であることが必須である。カゝかる構成をとることにより、プレス成形時の加温によりコア層 50bを構成する榭脂のみが溶融することが可能となり、プレス成形時に多層基板の階段状の形状に容易に追従することができる。積層フィルム 100Kの端部において、図 3 (b)の左側に示されているように、中間層 60a、 60bは直接接着されて、コア層 50を封止する構造をとることが好ま、が、積層フィルム 100Kはその表面積に比べて十分に薄ぐまた通常積層フィルム 100Kの大きさは、金型当接面より大であるので、上記封止構造は必須ではない。

[0082] 本実施形態において、中間層 60a、 60bを構成する榭脂は、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bを構成する榭脂と良好な接着性を有するものであることが好ましぐかかる観点から中間層 60a、 60bを構成する榭脂は、変性ポリオレフイン、エチレン— ビュルアルコール共重合体 (EVOH)、およびポリアミドからなる群から選ばれる一種以上の熱可塑性榭脂であることが好ま、。

[0083] 本実施形態の積層フィルム 100Kにおいて、コア層 50bを構成する榭脂の種類は特に限定されるものではないが、中間層 60a、 60bを構成する榭脂との間で良好な接着性を有していることが好ましい。中間層 60a、 60bとして、上記好ましい熱可塑性榭脂を使用する場合、コア層 50bと中間層 60a、 60bとの接着は、コア層 50bと接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bとを接着する場合より容易である。また、入手し得る接着性フッ素榭脂の融点より低い融点を備えるという観点から、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩ィ匕ビユリデン、ポリスチレン等が好ましく使用できる。

[0084] 本実施形態に力かる積層フィルム 100Kでは、層構成中にコア層 50bを挟むように二層の中間層 60a、 60bが配置され、さらにその中間層 60a、 60bの外側に接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bが配置されている。すなわち、コア層 50bと接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bとの間に中間層 60a、 60bを配して、両層の接着をはかつている。したがって、両層間に接着剤を必要としない。力べして、本実施形態にかかる積層フィルム 100Kの作製に際して、従来のようなドライラミネート工程を経ることを要せず、共押出により 5層構造の積層フィルム 100Kを一気に形成することが可能となる。さらに、共押出によるフィルム作製が可能であるため、原料として高価な接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bを薄くすることが可能である。

[0085] また、本実施形態に力かる積層フィルム 100Kでは、中間層 60a、 60bに接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bとの接着を任せ、コア層 50bは接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bを構成する榭脂の融点より低い融点を有するという観点のみで選択することができる。したがってコア層 50bを構成する榭脂の選択の幅を広くとることができる。力べして、原材料コストを低減し、新たな機能を積層フィルム 100Kに付与することが容易なものとなる。

[0086] 本実施形態に力かる積層フィルム 100Kにおいて、接着性フッ素榭脂からなる層 2 0a、 20bの厚みは特に限定されるものではないが、 5〜20 /ζ πιの範囲にあることが好ましい。接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bの厚みが薄過ぎると、強度の点で問題が生じるおそれがある。接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bの厚みをこれより厚くすると、原材料コストが上昇して、共押出により積層フィルム 100Kを作製するメリットが失われる。また、二層の接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bの厚みは同一であつても良ぐまた異なるものであっても良い。

[0087] 本実施形態に力かる積層フィルム 100Kにおいて、中間層 60a、 60bの厚みは特に限定されるものではないが、 1〜20 mの範囲にあることが好ましい。中間層 60a、 6 Obの厚みをこれより薄く共押出で作製することは製造に困難を伴う。逆に、厚みをこれより厚くすると、原材料コストが上昇して、共押出により積層フィルム 100Kを作製するメリットが失われる。また、二層の中間層 60a、 60bの厚みは同一であっても良ぐまた異なるものであっても良い。

[0088] このように、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20b、および中間層 60a、 60bを上記のように薄く形成することにより、コア層 50bの榭脂が溶融した時の積層フィルム 10 0Kの柔軟性が増すので、積層プレス時に多層基板の階段状の形状に容易に追従して、プレス成形時に多層基板の層間に挿入されたプリプレダ榭脂が溶融してキヤビティ部分に流出するのを防止することができる。

[0089] 本実施形態に力かる積層フィルム 100Kの総厚みは特に限定されない。要は、プレス成形の加熱により変形した時に、多層基板の層間になるベく隙間なく充填される厚みの範囲であればよぐ力かる観点から 100〜1200 μ mの厚みであることが好ましい。

[0090] 図 3 (c)において示したように、本実施形態の離型用積層フィルム 100においては、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bのさらに外側に、ポリテトラフルォロエチレン（ PTFE)、テトラフルォロエチレン一へキサフルォロプロピレン共重合体（FEP)、テトラフルォロエチレンパーフルォロアルキルビュルエーテル共重合体（PFA)、ポリクロロトリフルォロエチレン（CTFE)、エチレンーテトラフルォロエチレン共重合体（ET FE)、低融点エチレンーテトラフルォロエチレン共重合体 (ETFE)、ポリビ-リデンフルォライド（PVDF)、ポリビュルフルオライド、および酸変性 ETFE (EFEP)力なる群力も選ばれる一種以上の榭脂からなるフッ素榭脂からなる層 70a、 70bを有している構成とすることができる。ここで、低融点エチレンーテトラフルォロエチレン共重合体 (ETFE)とは、 ETFEの中でも低めの融点を有する榭脂であり、例えば、旭硝子社製のフルオン LM720を挙げることができる。 [0091] 力力る構成をとることにより、プレス成形時にこの積層フィルム 100Lの金型、および多層基板に対する剥離性、ガスノリア性、および積層フィルム 100Lからの多層基板側への不純物の非転写性がさらに向上する。

[0092] 外層としてフッ素榭脂からなる層 70a、 70bを設ける場合、外層 70a、 70bの厚みは、同一であっても良ぐまた異なるものであっても良い。またその厚みは、 5〜20 /ζ πι であることが好ましい。外層の厚みが薄過ぎると、強度の点で問題が生じるおそれがある。また外層の厚みが厚すぎると原材料コストが上昇して、共押出により積層フィルム 100Lを作製するメリットが失われる。

[0093] <離型用積層フィルム 100の製造方法 >

上記した第一実施形態〜第三実施形態に係る離型用積層フィルム 100の積層方法としては、熱融着プレスや、共押出等が挙げられるが、この中でも多層共押出により、目的とする離型用積層フィルム 100を一気に作製する方法が、生産性、コストの点で好ましい。また、共押出およびプレスを組み合わせて、フィルム間の接着性を高めた積層フィルムを作製することもできる。

[0094] く離型用積層フィルム 100の用途〉

上記した第一実施形態〜第三実施形態に係る、本発明の離型用積層フィルム 100 は、そのフィルムの上に各種粘着材、塗料などを塗布して硬化させることにより、該フイルムの上に塗膜を形成し、そして、この塗膜を剥離して使用できるようにするための離型用フィルムとして使用される。また、また中間層 10の両面に接着性フッ素榭脂からなる層あるいはフッ素榭脂からなる層を積層した形態の離型用積層フィルム 100B 、 100D、 100F、 100H、 100J、 100K、 100Lは、以下に説明する多層基板用積層体のプレス成形にぉヽて用いられる、離型用フィルム 100としても使用される。

[0095] 以下、多層基板の積層プレス成形について、第三実施形態に係る離型用積層フィルム 100を使用した場合を例として挙げて、説明する。本発明の離型用積層フィルム 100は、接着剤層を介して複数枚の基板を重ね合わせて積層プレスする際に、接着剤榭脂の流出を抑えるために用いられる。本発明の離型用積層フィルム 100は、図 4 (a)のように積層プレス成形装置 200内に配置されて用いられる。

[0096] 積層プレス成形装置 200は、油圧シリンダ 210a、 210bの先端に取り付けられ、上下に対向するように配置されたプレス用熱板 220a、 220bを備えている。図 4 (a)はプレス前の状態を模式的に示す垂直断面図であり、下側のプレス用熱板 220b上に複数の基板 230、 230、…が載置されている。各基板 230、 230、…の間にはプリプレグが揷間されている。プリプレダは、ガラス繊維等の芯材に、榭脂を含浸させたものである。

[0097] プリプレダ用の榭脂としては、エポキシ榭脂、 BTレジン、フエノール榭脂、不飽和ポリエステル榭脂、ビニルエステル榭脂、ポリイミド榭脂、ポリフエ二レンオキサイド榭脂

、フッ素榭脂、ポリエチレンテレフタレート榭脂、ポリブチレンテレフタレート榭脂、ジァリルフタレート樹脂、等の単独、またはこれらの混合物、あるいは変成物等の熱硬化性榭脂が挙げられる。このうち耐熱信頼性の点カゝらエポキシ榭脂および BTレジンが好ましく使用される。これらの榭脂には必要に応じてタルク、クレー、シリカ、炭酸カルシゥム等の無機粒子充填材ゃ、ガラス繊維、アスベスト繊維、セラミック繊維等の繊維質充填材を含有させることができる。プリプレダ用榭脂は所定の溶剤に溶解し、芯材に含浸させプリプレダとされる。プリプレダの芯材としては、ガラス繊維が一般的である力他に芳香族ポリアミド繊維を用いることができる。また、マット状のガラス、ポリエステル、芳香族ポリアミドを用いることもできる。なお、プリプレダの榭脂量は通常プリプレダ全体に対して 30〜80質量％である。

[0098] 多層基板用積層体の積層プレス成形は通常 160〜280°Cの温度で行われる。このとき、熱可塑性榭脂からなるコア層 50a、 50bは溶融状態となり、一方、コア層 50a、 5 Obを挟む接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bは軟ィ匕した状態となる。ここに、コア層 50a、 50bの「溶融状態」とは、液体状態の他、プレス圧力により容易に変形を起こし被成形物の凹凸形状部分を実質的に隙間なく埋めることができる程度に充分に軟化した状態も含む。また接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bの「軟化」とは、プレス成形時において、コア層 50a、 50bの溶融樹脂の内圧により被成型物の凹凸に沿つた形状が容易に付与される程度に軟化した状態となることを意味する。このため上下のプレス用熱板 220a、 220bで加圧されたとき、コア層 50a、 50bの溶融榭脂は接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bによって囲まれた空間に閉じこめられ加圧状態となり、接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bはコア層 50a、 50bの溶融樹脂の内圧により被成形物の凹凸に沿った形状が付与される（図 4 (b) )。この結果、階段状のキャビティ部分とプレス用熱板 220a、 220bとで形成される空間は加圧状態のコア層 5 Oa、 50bの溶融榭脂によって埋められることとなる。この溶融樹脂の圧力が、基板間力も流出しょうとする接着剤の圧力と同等かそれを上回るため、被成形物である多層基板間のプリプレダ榭脂の流出を抑えることができる。上記溶融樹脂の圧力はキヤビティ部分の容積と接着性フッ素榭脂からなる層 20a、 20bの厚みとの関係等によって決定される。すなわち、コア層 50a、 50bの溶融樹脂の体積と、階段状のキヤビティ部分の容積との大小関係によって溶融樹脂の圧力が決まる。この圧力が高いほど、プリプレダ樹脂の流出を抑える効果が大きくなる。

実施例

[0099] く離型用積層フィルムの作製（1) >

(実施例 1)

下記の構成となるように、 280°Cでマルチマ-ホールドダイより共押出し、目的とするフィルムを得た。

第 1層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP EP- 5000)

10 ^ m

第 2層変性ポリオレフイン榭脂（日本ポリエチレン社製レタスパール RA3150)

80

第 3層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP EP- 5000)

10 ^ m

[0100] (実施例 2)

下記の構成となるように、実施例 1と同様の方法により、目的とするフィルムを得た。第 1層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP EP- 5000)

10 m

10 ^ m

第 3層ポリオレフイン榭脂（日本ポリケム社製ノバテック HD HJ580)

60 ^ m 第 4層変性ポリオレフイン榭脂（日本ポリエチレン社製レタスパール RA3150)

10 ^ m

第 5層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP EP- 5000)

10 ^ m

[0101] (実施例 3)

下記の構成となるように、 280°Cでマルチマ-ホールドダイより共押出し、 5 X 10—3 Pa (5kgfZcm²)の圧力で、 10分間、 240°Cでプレス処理し、目的とするフィルムを得た。

5 ^ m

60 ^ m

第 4層変性ポリオレフイン榭脂（日本ポリエチレン社製レタスパール RA3150)

5 ^ m

5 μ ΐΆ

[0102] (実施例 4)

接着性フッ素榭脂として、旭硝子社製のフルオン LM— ETFE ΑΗ2000を用いた以外は、実施例 1と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0103] (実施例 5)

接着性フッ素榭脂として、旭硝子社製のフルオン LM— ETFE ΑΗ2000を用いた以外は、実施例 2と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0104] (実施例 6)

接着性フッ素榭脂として、旭硝子社製のフルオン LM— ETFE AH2000を用いた以外は、実施例 3と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0105] (比較例 1) 実施例 1の第 1層、第 3層をテトラフルォロエチレンへキサフルォロプロピレンビユリデンフロライド共重合体 (ダイ-オン社製 THV220G)とした以外は、実施例 1と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0106] (比較例 2)

実施例 1の第 1層、第 3層をテトラフルォロエチレン一へキサフルォロプロピレン共重合体 (ダイキン社製ネオフロン FEP)とした以外は、実施例 1と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0107] (比較例 3)

実施例 1の第 1層、第 3層をフッ化ビ-リデン (タレハ社製 KFポリマー T# 850)とした以外は、実施例 1と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0108] (実施例 7)

第 1層フッ素榭脂 (旭硝子社製フルオン ETFE C-88AXP) 5 m 第 2層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP EP- 5000)

10 ^ m

第 3層変性ポリオレフイン榭脂（日本ポリエチレン社製レタスパール RA3150)

40 μ ι

第 4層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP ΕΡ- 5000)

10 ^ m

第 5層フッ素榭脂 (旭硝子社製フルオン ETFE C-88AXP) 5 m

[0109] (実施例 8)

5 μ ΐΆ 第 3層変性ポリオレフイン榭脂（日本ポリエチレン社製レタスパール RA3150)

80

第 4層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP EP- 5000)

5 ^ m

第 5層フッ素榭脂 (旭硝子社製フルオン ETFE C-88AXP) 5 m

[0110] (実施例 9)

下記の構成となるように、実施例 7と同様の方法により、目的とするフィルムを得た。第 1層フッ素榭脂 (旭硝子社製フルオン ETFE C-88AXP) 5 m 第 2層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP EP- 5000)

10 ^ m

第 4層ポリオレフイン榭脂（日本ポリケム社製ノバテック HD HJ580)

70 ^ m

第 5層変性ポリオレフイン榭脂（日本ポリエチレン社製レタスパール RA3150)

10 ^ m

第 6層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP EP- 5000)

10 m

第 7層フッ素榭脂 (旭硝子社製フルオン ETFE C-88AXP) 5 m

[0111] (実施例 10)

下記の構成となるように、実施例 8と同様の方法により、目的とするフィルムを得た。第 1層フッ素榭脂 (旭硝子社製フルオン ETFE C-88AXP) 5 m 第 2層接着性フッ素榭脂 (ダイキン工業社製ネオフロン EFEP EP- 5000)

5 μ ΐΆ

70 ^ m 第 5層変性ポリオレフイン榭脂（日本ポリエチレン社製レタスパール RA3150)

5 ^ m

第 7層フッ素榭脂 (旭硝子社製フルオン ETFE C-88AXP) 5 m

[0112] (実施例 11)

接着性フッ素榭脂として、旭硝子社製のフルオン LM— ETFE AH2000を用いた以外は、実施例 7と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0113] (実施例 12)

接着性フッ素榭脂として、旭硝子社製のフルオン LM— ETFE AH2000を用いた以外は、実施例 8と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0114] (実施例 13)

接着性フッ素榭脂として、旭硝子社製のフルオン LM— ETFE AH2000を用いた以外は、実施例 9と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0115] (実施例 14)

接着性フッ素榭脂として、旭硝子社製のフルオン LM— ETFE AH2000を用いた以外は、実施例 10と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0116] (比較例 4)

実施例 7の第 2層、第 4層をポリエチレン榭脂（日本ポリケム社製ノバテック HD H J580)とした以外は、実施例 7と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0117] (比較例 5)

実施例 7の第 2層、第 4層をテトラフルォロエチレン一へキサフルォロプロピレンービユリデンフロライド共重合体 (ダイ-オン社製 THV220G)とした以外は、実施例 7と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0118] (比較例 6)

実施例 7の第 2層、第 4層をテトラフルォロエチレン一へキサフルォロプロピレン共重合体 (ダイキン社製ネオフロン FEP)とした以外は、実施例 7と同様にして、離型用積層フィルムを得た。 [0119] (比較例 7)

実施例 7の第 2層、第 4層をフッ化ビ-リデン (タレハ社製 KFポリマー T# 850)とした以外は、実施例 7と同様にして、離型用積層フィルムを得た。

[0120] (比較例 8)

厚さ 50 μ mの ETFE (旭硝子社製フルオン ETFE C— 88AXP)フィルムをそのま 3;用いた。

[0121] く基板の積層プレス成形（1) >

上記の実施例 1〜 14および比較例 1〜8にお、て作製したフィルムを、プリント基板成形における離型フィルムとして使用した。フィルムは、プリント基板成形用のプレス加工機に、下層から順に、 [クッション材 Zステンレス鋼（SUS)化粧板 Z離型フィルム Z積層成形材料 (外装用銅張積層板、内装用銅張積層板、エポキシ榭脂含浸ガラスクロス入りプリプレダ) Z離型フィルム Zステンレス鋼（sus)化粧板 Zクッション材

]となるようにセットし、加圧プレスはプレス圧 3. 6MPa、加圧温度 180°C、加熱時間

77分の条件で行った。

[0122] <評価方法（1) >

上記の実施例 1〜 14および比較例 1〜8にて作製したフィルム、および積層プレス成形において使用したフィルムについて、以下の評価項目によって評価した。評価結果をまとめて表 1および表 2に示す。

[0123] (押出しカ卩ェ性）

〇：共押出（場合によっては、共押出 +プレス）により安定にフィルムを得ることができる。

X：共押出時に層間で剥離してしま!/、安定して巻き取れな！/、。

[0124] (層間接着性）

〇：層間剥離が生じない。

X：卷き取り時等に層間剥離が生じる。

[0125] (封止性）

エポキシ榭脂がプリント基板のスルーホールから出てヽなヽかを目視でチェックした〇：スルーホールからの榭脂のはみ出しがない。

△：スルーホールからの榭脂のはみ出しが 0. 5mm以内である。

X：スルーホールからの榭脂のはみ出しが 0. 5mm以上である。

[0126] (表面離型性）

プレス加工した後に、ステンレス鋼（SUS)化粧板および積層成形材料との間で離型性があるかを目視で評価した。

〇：離型性があり、軽く剥離する。

X：離型性がなく使用不可。

[0127] (作業性）

塗工時やプレス仕組み時の離型用積層フィルムの扱いやすさを評価した。

〇：フィルムに腰がありセットしやすくしわがよらない。

X：フィルムにコシがなくセットしにくくしわがよりやすい。

[0128] [表 1]

[0129] 表 1に示すように、本発明の離型用積層フィルムは（実施例 1〜6)は、フィルムの層間接着性が良好であり、離型フィルムとしても、封止性、表面離型性、作業性に優れていた。一方、比較例 1〜3の積層フィルムは、層間接着性が悪ぐ各層が剥離してしまレ、、離型フィルムとしての評価ができな力つた。

[0130] [表 2] (表 2)

[0131] 表 2から、本発明の離型用積層フィルム (実施例 7〜14)は、層間接着性、離型性等全ての面で優れていることが分かる。一方、比較例 4〜7のフィルムは、離型性、封止性、経済性は優れていた力他のいずれかの項目において劣っていた。また、 ΕΤ FEフィルムをそのまま用いたもの（比較例 8)は、離型性には優れるものの、経済性、作業性が劣っていた。

[0132] く離型用積層フィルムの作製 (2) >

(実施例 15)

下記の構成となるように、 300°Cでマルチマ-ホールドダイより共押出し、目的とするフィルムを得た。

第 1層フッ素榭脂（三井デュポンフロロケミカル社製テフゼル 290) 5 m 第 2層耐熱性榭脂（三菱エンジニアリングプラスチック社製ユーピロン S— 2000

) 100

第 3層フッ素榭脂（三井デュポンフロロケミカル社製テフゼル 290) 5 m

[0133] (実施例 16)

フッ素榭脂として、ダイキン工業社製ネオフロン EFEP RP— 5000を用いた以外は、実施例 15と同様にして離型フィルムを得た。

[0134] (実施例 17)

耐熱性榭脂として、日本 GEプラスチックウルテム 1000を用いた以外は、実施例 15と同様にして離型フィルムを得た。 [0135] (実施例 18)

第 1層フッ素榭脂（三井デュポンフロロケミカル社製テフゼル 290) 5 m 第 2層耐熱性榭脂（三菱エンジニアリングプラスチック社製ユーピロン S— 2000 ) 100

第 3層フッ素榭脂（三井デュポンフロロケミカル社製テフゼル 290) 5 m [0136] (実施例 19)

フッ素榭脂として、ダイキン工業社製ネオフロン EFEP RP— 5000を用いた以外は、実施例 18と同様にして離型フィルムを得た。

[0137] (実施例 20)

耐熱性榭脂として、日本 GEプラスチック社製ウルテム 1000を用いた以外は、実施例 18と同様にして離型フィルムを得た。

[0138] (実施例 21)

耐熱性榭脂として、宇部興産社製 UBEナイロン 6 1015Bを用いた以外は、実施例 18と同様にして離型フィルムを得た。

[0139] (実施例 22)

耐熱性榭脂として、日本合成化学工業社製ソァノール A4412を用いた以外は、実施例 18と同様にして離型フィルムを得た。

[0140] (実施例 23)

フッ素榭脂として、住友スリーェム社製 THV220を用いた以外は、実施例 15と同様にして離型フィルムを得た。

[0141] (実施例 24)

フッ素榭脂として、ダイキン工業社製ネオフロン FEPを用いた以外は、実施例 1 5と同様にして離型フィルムを得た。

[0142] (比較例 9)

厚さの ETFE (旭硝子社製フルオン ETFE C— 88AXP)フィルムをそのまま用いた。 [0143] (実施例 25)

フッ素榭脂として、住友スリーェム社製 THV220を用いた以外は、実施例 18と同様にして離型フィルムを得た。

[0144] (実施例 26)

フッ素榭脂として、ダイキン工業社製ネオフロン FEPを用いた以外は、実施例 1 8と同様にして離型フィルムを得た。

[0145] (比較例 10)

厚さの ETFE (旭硝子社製フルオン ETFE C— 88AXP)フィルムをそのまま用いた。

[0146] (参考例 1)

実施例 1のフィルムを使用した。

[0147] <基板の積層プレス成形（2) >

上記の実施例 15〜26、比較例 9〜： LOおよび参考例 1にて作製したフィルムを、プリント基板成形における離型フィルムとして使用することにより性能評価した。フィルムは、プリント基板成形用のプレスカ卩工機に、下層から順に、 [クッション材 Zステンレス鋼 (SUS)化粧板 Z離型フィルム Z積層成形材料 (外装用銅張り積層板、内装用銅張り積層板、エポキシ榭脂含浸ガラスクロス入りプリプレダ) Z離型フィルム Zステンレス鋼（SUS)化粧板 Zクッション材]となるようにセットし、加圧プレスはプレス圧 3. 6M

Pa、加圧温度 180°C、加熱時間 77分の条件で行った。

[0148] <評価方法（2) >

上記の実施例 15〜26、比較例 9〜： LOおよび参考例 1にて作製したフィルム、および積層プレス成形において使用したフィルムを、以下の評価項目によって評価した。評価結果をまとめて表 1に示す。

[0149] (押出加工性）

〇：共押出により安定にフィルムを得ることができる。

△:共押出は可能であるが、卷取り時に剥離が見られる。

[0150] (層間接着性）〇：刃物で切断し、切断部分を一度指で折り曲げた際に、層間剥離が生じない。 △:刃物で切断し、切断部分を一度指で折り曲げた際に、層間剥離が生じる。

X：刃物で切断した際に、層間剥離が生じる。

[0151] (封止性）

エポキシ榭脂がプリント基板のスルーホールから出てヽな、か、目視でチェックした

〇：スルーホールからの榭脂のはみ出しがない。

[0152] (高温封止性）

積層プレス成形における加熱温度を、 180°Cから 200°Cに変化させた他は、上記の「封止性」と同様にして評価した。

[0153] (表面離型性）

プレス加工した後に、ステンレス鋼 (SUS)化粧板および積層成形材料との間で離型性があるか目視で評価した。

〇：離型性があり、軽く剥離する。

△:離型性はある力剥離しづらい部分がある。

X：離型性がなぐ使用することができない。

[0154] (作業性）

塗工時やプレス仕込み時の離型用積層フィルムの扱いやすさを評価した。

〇：フィルムに腰があり、セットしやすぐしわがよらない。

△:フィルムの腰が弱ぐセットする際に、しわがよりやすい。

X：フィルムに腰がなぐセットしにくく、しわがよりやすい。

[0155] [表 3] (表 3)

[0156] <離型用積層フィルムの作製および基板の積層プレス成形（3) >

(実施例 27)

BGA(Ball Grid Array)用多層基板に用いられる積層体を、本発明の離型用積層フィルム 100を用いて製造した基板は、ガラス基材に BTレジン（商品名： HL830 ( 三菱瓦斯ィ匕学社製)）を含浸させたものを使用した。また、プリプレダには、ガラス芯材に BTレジン (商品名： HL830 (三菱瓦斯ィ匕学社製)）を含浸させたものを使用した。榭脂量は 75%である。

[0157] 本実施例で用いた離型用積層フィルム 100は、図 3 (c)に示した 100Lの形態のフイルムである。積層フィルム 100は、 240°Cでマルチマ-ホールドダイより共押出することで得た。積層フィルム 100の各層を説明すると、フッ素榭脂からなる層 70a、 70b は、 ETFE (商品名：フルオン LM720；旭硝子社製）を厚さ 2. 5 μ mに形成した。接着層フッ素榭脂からなる層 20a、 20b、ダイキン工業製のネオフロン EFEP EP— 5000を厚さ 2. 5 mに形成した。また、コア層 50aは、変性ポリエチレン（商品名：レタスパール RA3150 ;日本ポリエチレン社製）を、厚さ 500 m〖こ形成した。なお、 E TFEの融点は 230°C、接着性フッ素榭脂の融点は 200°Cであった。

[0158] 積層プレス成形は次のように行った。図 5に示すように、プレス成形装置 300の上下【こ対向して酉己置されてヽる金型 310a、 310bの f¾【こステンレス岡板 320a、 320b,クッシヨン材（不図示；)、基板用の 3枚の基材 330a、 330b, 330c,プリプレダ 340a、 3 40b、および離型用積層フィルム 100を配置した。すなわち、離型用積層フィルム 10 0において、フッ素榭脂からなる層（例えば、 70a)が、ステンレス鋼板 320aの下面側に接し、フッ素榭脂からなる層（例えば、 70b)が、基材 330aの上面側に接するように配置された。これらにはそれぞれピン穴が設けられており、このピン穴を金型 310a、 310b間に立設された位置決め用ピン 350に揷通し、位置決めした。

[0159] ステンレス鋼板 320a、 320bは、 SUS 630ステンレス鋼を用いた。プレス圧力は 0.

98MPa、 1. 96MPaの 2段階加圧とした。成形温度は 200°Cとし、常温から昇温中 1 10°Cとなった時点で 0. 98MPa力ら 1. 96MPaへ圧力を切り替えた。 200°Cの保持時間は 5分とした。このような成形条件で、プレス成形を行い、成形完了後、積層体を取り出した。得られた積層体を電子顕微鏡観察したところ、プリプレダの流出は認められなかった。

[0160] (比較例 11)

離型用積層フィルムを用いずに成形したこと以外は実施例 27と同様にして多層基板用積層体の製造を行った。電子顕微鏡で観察したところ、得られた積層体の凹凸形状面にプリプレダの流出が認められた。

図面の簡単な説明

[0161] [図 1]第一実施形態の離型用積層フィルムの層構成を示した模式図である。

[図 2]第一実施形態の離型用積層フィルムの層構成を示した模式図である。

[図 3]第三実施形態の離型用積層フィルムの層構成を示した模式図である。

[図 4]プレス成形における離型用積層フィルムの作用を示した説明図である。

[図 5]実施例にお、て使用したプレス成形装置を示す図である。

符号の説明

[0162] 100A〜100L 離型用積層フィルム

10 変性ポリオレフイン榭脂からなる層

20 接着性フッ素榭脂からなる層

30 ポリオレフイン榭脂からなる層

40 フッ素榭脂からなる層

50 コア層

60 中間層フッ素榭脂からなる層、 300 積層プレス成形装置

Claims

請求の範囲

[1] 変性ポリオレフイン榭脂からなる層、および、この層の少なくとも一方の面に積層された接着性フッ素榭脂からなる層を有する離型用積層フィルム。

[2] 前記変性ポリオレフイン樹脂からなる層の両方の面に、前記接着性フッ素榭脂からなる層が積層されている、請求の範囲第 1項に記載の離型用積層フィルム。

[3] 前記接着性フッ素榭脂からなる層の厚みが 1〜 15 m、前記変性ポリオレフイン榭脂からなる層の厚みが 10〜： LOO mである、請求の範囲第 1項または第 2項に記載の離型用積層フィルム。

[4] ポリオレフイン榭脂からなる層の少なくとも一方の面に、変性ポリオレフイン榭脂からなる層、および、接着性フッ素榭脂からなる層がこの順に積層されている離型用積層フイノレム。

[5] ポリオレフイン榭脂からなる層の両方の面に、変性ポリオレフイン榭脂からなる層、および、接着性フッ素榭脂からなる層がこの順に積層されている、請求の範囲第 4項に記載の離型用積層フィルム。

[6] 前記接着性フッ素榭脂からなる層の厚みが 1〜 15 m、前記変性ポリオレフイン榭脂からなる層の厚みが 0. 5〜： L00 m、前記ポリオレフイン榭脂からなる層の厚みが 10〜： LOO /z mである、請求の範囲第 4項または第 5項に記載の離型用積層フィルム

[7] 変性ポリオレフイン樹脂からなる層の少なくとも一方の面に、接着性フッ素榭脂からなる層、および、フッ素榭脂からなる層がこの順で積層されている、離型用積層フィルム。

[8] 変性ポリオレフイン榭脂からなる層の両方の面に、接着性フッ素榭脂からなる層、および、フッ素榭脂からなる層がこの順で積層されている、請求の範囲第 7項に記載の離型用積層フィルム。

[9] 前記フッ素榭脂からなる層の厚みが 1〜 15 m、前記接着性フッ素榭脂からなる層の厚みが 0. 5〜15 /ζ πι、前記変性ポリオレフイン榭脂カもなる層の厚みが 10〜： LOO μ mである、請求の範囲第 7項または第 8項に記載の離型用積層フィルム。

[10] ポリオレフイン榭脂からなる層の少なくとも一方の面に、変性ポリオレフイン榭脂からなる層、接着性フッ素榭脂からなる層、および、フッ素榭脂からなる層がこの順で積層されている、離型用積層フィルム。

[11] ポリオレフイン榭脂からなる層の両方の面に、変性ポリオレフイン榭脂からなる層、接着性フッ素榭脂からなる層、および、フッ素榭脂からなる層がこの順で積層されている、請求の範囲第 10項に記載の離型用積層フィルム。

[12] 前記フッ素榭脂からなる層の厚みが 1〜15 m、前記接着性フッ素榭脂からなる層の厚みが 0. 5〜15 /ζ πι、前記変性ポリオレフイン榭脂力なる層の厚みが 0. 5〜10

0 m、前記ポリオレフイン樹脂からなる層の厚みが 10〜： LOO μ mである、請求の範囲第 10項または第 11項に記載の離型用積層フィルム。

[13] 前記変性ポリオレフイン樹脂からなる層を形成する変性ポリオレフイン樹脂が、変性ポリエチレン榭脂である、請求の範囲第 1項〜第 12項のいずれかに記載の離型用積層フィルム。

[14] 前記フッ素榭脂からなる層を形成するフッ素榭脂が、エチレン一テトラフルォロェチレン共重合体である、請求の範囲第 7項〜第 13項のいずれかに記載の離型用積層フイノレム。

[15] 耐熱性榭脂からなる層、および、この層の少なくとも一方の面に積層されたフッ素榭脂からなる層を有する、離型用積層フィルム。

[16] 耐熱性榭脂からなる層の両方の面に、フッ素榭脂からなる層が積層されている、請求の範囲第 15項に記載の離型用積層フィルム。

[17] 前記フッ素榭脂からなる層の厚みが 1〜15 m、前記耐熱性榭脂からなる層の厚みが 10〜150 mである、請求の範囲第 15項または第 16項に記載の離型用積層フイノレム。

[18] 前記フッ素榭脂からなる層を形成するフッ素榭脂が、エチレン一テトラフルォロェチレン共重合体、低融点エチレンーテトラフルォロエチレン共重合体、またはこれらの混合物である、請求の範囲第 15項〜第 17項のいずれかに記載の離型用積層フィルム。

[19] 前記耐熱性榭脂からなる層を形成する耐熱性榭脂が、ポリカーボネート、エチレンビニルアルコール共重合体、ポリアミドのいずれかである、請求の範囲第 15項〜第 18項のいずれかに記載の離型用積層フィルム。

[20] 接着剤を介して複数枚の基板を重ね合わせてなる積層体を加熱下で積層プレス成形する際にプレス板とこの積層体との間に配置される積層フィルムであって、コア層、およびこのコア層の両方の面に積層された接着性フッ素榭脂からなる層を有する積層フィルムであり、

前記コア層が、前記接着性フッ素榭脂よりも低い融点を有する榭脂から形成されている離型用積層フィルム。

[21] 前記コア層が、変性ポリオレフイン樹脂からなる層である、請求の範囲第 20項に記載の離型用積層フィルム。

[22] 前記接着性フッ素榭脂からなる層と前記コア層との間に、さらに、変性ポリオレフィン榭脂、エチレンビュルアルコール共重合体 (EVOH)、およびポリアミド力なる群力選ばれる一種以上の熱可塑性榭脂からなる中間層を有する、請求の範囲第 2 0項または第 21項に記載の離型用積層フィルム。

[23] 前記変性ポリオレフイン榭脂が、変性ポリエチレンである、請求の範囲第 21項または第 22項に記載の離型用積層フィルム。

[24] 前記接着性フッ素榭脂からなる層の厚み力 5〜20 μ mである、請求の範囲第 20 項〜第 23項のいずれかに記載の離型用積層フィルム。

[25] 前記接着性フッ素榭脂からなる層のさらに外側に、ポリテトラフルォロエチレン (PT FE)、テトラフルォロエチレン一へキサフルォロプロピレン共重合体（FEP)、テトラフルォロエチレンパーフルォロアルキルビュルエーテル共重合体（PFA)、ポリクロ口トリフルォロエチレン（CTFE)、エチレンーテトラフルォロエチレン共重合体（ETFE) 、ポリビ-リデンフルオライド（PVDF)、ポリビュルフルオライド、および酸変性 ETFE (EFEP)力なる群力選ばれる一種以上の榭脂からなるフッ素榭脂からなる層を有する、請求の範囲第 20項〜第 24項のいずれかに記載の離型用積層フィルム。

[26] フィルム全体の厚みが 100〜 1200 μ mであることを特徴とする請求の範囲第 20項〜第 25項の、ずれかに記載の離型用積層フィルム。

[27] 共押出により形成された、請求の範囲第 1項〜第 26項のいずれかに記載の離型用積層フィルム。