WO2003049909A1 - Procede de maintient d'un substrat par succion, et appareil associe de maintien et de prehension par succion l'utilisant - Google Patents

Description

明 細 書 基板の吸引保持方法およびその方法を用いる吸引保持搬送機 技術分野

本 明は、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板などの基板を吸引保持する吸引保 持方法およびその方法を用いる吸引保持搬送機に関する。 背景技術

貼り合わせマザ一液晶パネル基板などの脆性材料基板の分断にぉレ、て、 スクラ イブ装置とプレイク装置などの複数の装置を用いて分断加工が連続的に行われる。 この分断工程において、 パネル基板は、 搬送機により保持されこれらの装置の間 を搬送させられる。 たとえば、 スクライブ装置でスクライプラインが形成された パネル基板が、 次にプレイク装置に搬送させられ、 スクライブラインに沿って押 下されることにより、 分断される。

図 1は、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板の分断工程を示す。

( 1 ) まず、 第 1のスクライブ装置にて、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板 1 の一方のガラス基板 Aにガラスカツタホイール 2を圧接転動させることによりス クライプライン S aが形成される。

( 2 ) その貼り合わせマザ一液晶パネル基板 1は、 その表裏が反転させられて 第 1のブレイク装置へ搬送され、 マツト M上でガラス基板 Bにブレークバー 3を スクライプライン S aに沿って押下させることにより、 下側のガラス基板 Aをス クライブライン S aに沿って分断させる。

( 3 ) 次に、 その貼り合わせマザ一液晶パネル基板 1は第 2のスクライプ装置 に搬送され、 他方のガラス基板 Bにガラスカツタホイール 2を圧接転動させるこ とによりスクライブライン S bが形成される。

( 4 ) 次に、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板 1は、 その表裏が反転させられ て第 2のブレイク装置へ搬送され、 マツト M上でガラス基板 Aにスクライブライ ン S b に沿ってプレイクパー 3を押下させることにより、 下側のガラス基板 Bを スクライプライン Sb に沿って分断させて、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板 1 は 2つに分断される。

図 2と図 3は、 従来の片持ち支持構造の搬送機を示す。 図 1に示した貼り合わ せマザ一液晶パネル基板の分断において、 次工程への搬送では、 図 2と図 3に示 す搬送機により、 そのままの状態で、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板全体を吸 弓 I固定して保持され、 搬送されていた。

この搬送機において、 移動台 2 0はモータ 2 3により、 ピエオンギヤ 1 9が回 転し、 ピニオンギヤ 1 9とラック 1 8の組み合わせによりレール 1 7に沿って移 動する。 その移動台 2 0より側方へ延在する延設片 2 5に取り付けられたシリン ダ 2 7により、 水平支持板 4 8が上下動し、 その水平支持板 4 8の下側にスプリ ング 5 3を介してポノレト 5 1およびナツト 5 2により、 吸引固定手段 4 9、 5 0 (多孔性材質)が支持されている。 これにより、 吸引固定手段のテーブル表面に対 する傾きや吸引固定手段のテーブルからの距離が調節される。

し力 し、 この従来の搬送機では、 吸引固定手段 4 9、 5 0は、 片持ち支持構造 の延設片 2 5で支持されているため、 延設片 2 5は僅かながら下方に撓み、 吸引 固定手段 4 9 , 5 0が傾く場合がある。 その場合には、 吸引固定手段 5 0の下面 と貼り合わせマザ一液晶パネル基板表面との間の真空圧が低下するため、 貼り合 わせマザ一液晶パネノレ基板 1の一部が吸引固定手段 5 0に吸引されなかったり、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板 1の表面を押さえ過ぎて、 貼り合わされたそれ ぞれのガラス基板の分断面に欠けが生じて、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板 1 の分断後の単一の製品基板である液晶パネルセル基板の品質不良となることがあ る。

そこでこのような不具合を生じさせないために、 水平支持板 4 8の下面に 4箇 所あるポルト 5 1およびナット 5 2を調整するにより、 吸引固定手段が、 テープ ルに載置された貼り合わせマザ一液晶パネル基板 1 (テーブル） に対して水平 (平行） になる。 しかし、 その調整には手間がかかり、 しかも貼り合わせマザ一 液晶パネル基板 1の品種が変更される度に、 また、 貼り合わせマザ一液晶パネル 基板 1の厚みが変わる度に、 上記の調整が再度必要となっていた。 発明の開示

本発明の目的は、 吸引固定部材のテーブル表面に対する傾きや吸引固定部材の テーブルからの距離を容易に調整可能とした吸引保持方法およびその方法を用い る吸引保持搬送機を提供することである。

本発明に係る吸引保持搬送機は、 テーブルに載置された基板を吸引により保持 する吸引固定部材を備える吸引保持搬送機であって、 前記吸引固定部材を支持す る支持部材と、 前記吸引固定部材に取り付けられ、 前記テーブルの表面と前記吸 引固定部材との間の距離を個別に調節する複数の距離調節手段とを具備する。 この吸引保持搬送機において、 前記距離調節手段は、 たとえば、 テーブルにス トッパーとして当接するバーと、 そのバーを上下するモータと、 前記吸引固定部 材に固定され、 前記バーと前記モータを支持する支持部材とを具備する。 また、 この吸引保持搬送機は、 好ましくは、 さらに、 前記吸引固定部材が前記テーブル に対して平行であることを検出する検出手段を具備する。 また、 この吸引保持搬 送機は、 好ましくは、 さらに、 前記支持部材を支持し、 移動させる移動装置を具 備する。

本発明に係る保持方法は、 テーブルに載置された基板を吸引固定部材に保持さ せる吸引保持方法において、 前記吸引固定部材により、 前記基板を吸引保持させ る際に、 前記テーブルの表面と前記吸引固定部材との間の距離を前記吸引固定部 材の複数箇所で変化させることにより、 前記吸引固定部材の傾きと前記テーブル の表面からの距離を調整する。

本発明では、 吸引固定部材をテープノ^面に対して平行に保持できるため、 分 断された脆性材料などの基板の分断面に欠け等を生じさせることなく、 確実に基 板を保持できる。 また、 基板の厚みが変わった場合でも、 複数の傾斜調節バーの それぞれの下端の位置を変更するだけで確実に基板を保持できる。 図面の簡単な説明

図 1は、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板のスクライブぉよぴブレイクの工程 の手順を示した図である。 図 2は、 従来の吸引保持搬送機の側面図である。

図 3は、 図 2の吸引保持搬送機の平面図である。

図 4は、 本発明の 1実施形態の吸引保持搬送機の側面図である。

図 5は、 図 4の吸引保持部材の側面図である。

図 6は、 図 5の吸引保持部材の平面図である。

図 7は、 吸引盤の詳細を示した図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 添付の図面を参照して発明の実施の形態を説明する。

図 4は、 本発明の 1実施形態に係る吸引保持搬送機の構成を示す。 この吸引保 持搬送機は、 図 2に示した従来の搬送機に比べて、 脆性材料基板を吸引固定させ る吸引固定部の構成が異なり、 テーブル 8 4の上の脆性材料 （たとえばガラス） のパネル基板 1 (たとえば貼り合わせマザ一液晶パネル） を保持して搬送する。 この吸引保持搬送機の概略構成を説明すると、 移動台 2 0は、 貼り合わせマザ 一液晶パネル基板 1を載置するテーブル 8 4の側方に設置される。 移動台 2 0は、 モータ 2 3によりピニオンギヤ 1 9が回転すると、 ピニオンギヤ 1 9とラック 1 8の組み合わせによりレール 1 7に沿って移動する。 その移動台 2 0より、 その 移動方向に対して側方へ延在する延設片 6 1を設け、 そこにシリンダ 6 4を取り 付ける。 延設片 6 1の下方に水平支持板 6 2が位置され、 水平支持板 6 2の下方 に、 貼り合わせマザ一液晶パネル基板 1を吸引する吸引固定部材 6 9が位置され る。 シリンダ 6 4は、 水平支持板 6 2を支持し、 水平支持板 6 2を上下に移動さ せる。 ここで、 2本のシャフト 6 3力 S、 シリンダ 6 4に支持される水平支持板 6 2に、 延設片 6 1の長手方向に関してシリンダ 6 4の両側で固定され、 延設片 6 1に設けられたリニアブッシュ 7 0 (図 5 ) を揷通自在に貫通する。 吸引固定部 材 6 9に固定されている 4本のシャフト 6 7が、 水平支持板 6 2を揷通し、 スプ リング 7 1 (図 5 ) を介してナット 6 6 (図 5 ) を調節することにより吸引固定 部材 6 9自体の水平方向のバランスが調整される。 さらに、 複数の距離調節手段 の 1つの例として傾斜調節板 8 2が吸引固定部材 6 9に取り付けられ、 吸引固定 部材 6 9の、 パネル基板 1を載置するテーブル 8 4の表面に対する距離が個別に 調節できる。 これにより、 吸引固定部材の傾きが調節される。

さらに詳しく説明すると、 図 5は、 吸引固定部材 6 9とその周辺を示した側面 図であり、 図 6はその平面図を示す。 延設片 6 1 (支持部材） は、 図 5において、 左端で、 この延設片 6 1 (支持部材） を紙面と鉛直方向に移動させる移動装置 (不図示）で支持されている。 この延設片 6 1の下方には水平支持板 6 2が位置し、 この水平支持板 6 2より上方に向かう 2本のシャフト 6 3が延設片 6 1に対して リニアプッシュ 7 0を介して揷通自在に貫通している。 水平支持板 6 2は、 シリ ンダ 6 4の両側に配置した 2本のシャフト 6 3をガイドとしてシリンダ 6 4の駆 動により上下動可能となっている。

そして、 延設片 6 1側に設けたシリンダ 6 4のロッド 6 4 aはフローティング ジョイント 6 5を介して水平支持板 6 2に固定されている。 さらに、 水平支持板 6 2の下方に位置している吸引固定部材 6 9が設けられ、 リニアブッシュ 6 8よ り上部に位置するシャフト 6 7にはスプリング 7 1が嵌められており、 4つのナ ット 6 6とスプリング 7 1により吸引固定部材 6 9は、 支持部材 （延設片 1 ) に 支持されると共に、 ナット 6 6により吸引固定部材 6 9自体の水平方向のバラン スが調整されている。

吸引固定部材 6 9に固定した 4本のシャフト 6 7が上方に向けて取り付けられ ており、 そのシャフト 6 7は、 水平支持板 6 2に設けたリエアブッシュ 6 8に揷 通されている。 このシャフト 6 7は、 図 6に示すように、 水平支持板 6 2の 4隅 に設けられる。

リエアブッシュ 6 8とシャフト 6 7間及びリニアブッシュ 7 0とシャフト 6 3 間には若干のクリアランスがあり、 また、 水平支持板 6 2とロッド 6 4 aとの間 はフローティングジョイント 6 5が介在するため、 水平支持板 6 2および吸引固 定部材 6 9は ± 5 ° の範囲で傾くことができる。

吸引固定部材 6 9は、 内部が空洞になっており、 その下面には、 吸引盤 8 0が 複数個取り付けられている。 図 7は、 これらの吸引盤 8 0を下方から見た図を示 している。 吸引盤 8 0は感光性樹脂材からなる円盤状のものであり、 周縁のフラ ットな面の気密部 8 0 aと、 それ以外の吸引部 8 0 bとがあり、 吸引部 8 0 bに は微細な M部が多数形成されている。 そして、 吸引盤 8 0の中央には、 吸引固定 部材 6 9の空洞部に貫通する吸入口 8 0 cが設けられている。 この吸引盤 8 0の 詳細については特開平 11-19838号公報にて説明されている。

さらに、 この吸引固定部材 6 9の 4隅には、 テーブル 8 4の表面から吸引固定 部材 6 9までの距離を調節する複数の距離調節手段の一つの例として傾斜調節器 8 2が取り付けられている。 その傾斜調節器 8 2上部のバー上下用のモータ 8 2 a (図 4に図示）を駆動させることにより、 傾斜調節バー 8 2 bが上下動し、 その 下端がテーブル 8 4にストッパーとして当接するようになつている。

次に、 以上のような構成になる本実施形態の吸引保持搬送機のパネル基板を吸 引保持させる方法について述べる。

テーブル 8 4の表面に向かって、 シリンダ 6 4を駆動させることにより吸引固 定部材 6 9を降下させ、 吸引盤 8 0をテーブル面より 1 mmから 2 mmの間隔をもた せた位置にする。 その後、 吸引固定部材 6 9の上面に水準器などを置き、 吸引固 定部材 6 9が水平となるように、 4つの傾斜調節器 8 2の傾斜調節バー 8 2 bの 下端のそれぞれの位置を調節する。

吸引固定部材 6 9が水平に支持されるようになれば、 そのときの 4つの傾斜調 節バー 8 2 bの下端のそれぞれの位置をスケール、 リニァパルススケーノレゃェン コーダなどの検出手段を用いて検出し、 第 1の位置データ Aとしてメモリに記憶 しておく。 そして、 例えば 5腿、 4つの傾斜調節バーをそれぞれ延出させた後、 シリンダ 6 4を駆動させて、 吸引固定部材 6 9を上昇させる。

その後、 テーブル 8 4にパネル基板 1を載置し、 再ぴ、 シリンダ 6 4を駆動さ せて、 吸引固定部材 6 9を下降させる。 テーブル 8 4に載置されるパネル基板 1 の厚みが 1 瞧であれば、 4つの傾斜調節バー 8 2 bの下端の位置をそれぞれ等 しく上昇させていき、 吸引盤 8 0がパネル基板 1を吸引固定する最適の状態の高 さに吸引固定部材 6 9を位置させる。 このときの傾斜調節パー 8 2 bの下端のそ れぞれの位置を再ぴメモリに第 2の位置データ Bとして記憶しておく。

位置データを記憶する方法の例としては次のような方法がある。

1 ： 人がスケールで読み取りその値をノートなど （記録あるいは記憶手段） に 記録する方法。

2 ： N Cコントローラ、 シーケンサ、 パソコンなどの半導体メモリ （記憶手 段） に書き込む方法

次に、 パネル基板 1の厚みが例えば 2睡である品種に変更されたときには、 4つの傾斜調節バー 8 2 bの下端のそれぞれの位置を記憶された第 2の位置デー タ Bに基づき、 4つの傾斜調節バー 8 2 bのそれぞれの下端の位置を 1 瞧づっ 下降させればよい。 このように搬送対象の脆性材料基板の厚みが変わっても記憶 されている位置データ Aと Bを基準に 4つの傾斜調節バー 8 2 bの調節量を決め ればよく、 貼り合わせ液晶パネル基板 1の品種の変更に対して容易に対応できる。 また、 吸引固定部材 6 9がテーブル 8 4の表面に対して平行 （水平） であるこ とを検出する手段としては、 上記の水準器の他にジャィ口 8 6やレーザジャィ口 などを用いることもできる。 ジャイロ 8 6やレーザジャイロを用いれば、 全て自 動で、 吸引固定部材 6 9の傾きと高さを調整することができる。

なお、 上述の実施の形態においては、 4つの傾斜調節バーを備える距離調節手 段を備える例を説明したが、 傾斜調節バーの数はこの数に限るものではない。 た とえば、 吸引固定部材の 2辺に沿って所定の長さの傾斜調節部材を設けることで も本発明の目的は達成できる。 即ち、 距離調節手段は複数あれば良い。

また、 距離調節手段によって、 テーブルから吸引固定部材までの距離を調節す る箇所は吸引固定部材の 4隅に限ることはない。 2箇所以上の複数箇所でテープ ルから吸引固定部材までの距離を調節することができれば吸引固定部材の傾きと テーブル表面からの距離を調整することができる。

また、 本実施形態では、 脆性材料基板を吸引固定して次工程の装置へ搬送する 吸引保持搬送機を説明した。 しカゝし、 脆性材料基板を単に受け取り、 そしてその 位置で保持するだけの受け取り装置'も本発明の吸引保持搬送機に含まれる。

なお、 本発明は上述の実施の形態により説明されたが、 本発明は実施の形態に 限定されない。 たとえば、 本実施形態では、 貼り合わせマザ一基板などの脆性材 料を保持する吸引保持方法および吸引保持搬送機について説明したが、 吸引固定 部材に吸引保持される基板は、 脆性材料基板に限るものではなく、 たとえばプリ ント基板、 プラスチック基板、 金属基板、 非金属基板などにも本発明を適用でき る。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . テーブルに載置された基板を吸引により保持する吸引固定部材を備える吸 引保持搬送機において、

前記吸引固定部材を支持する支持部材と、

前記吸引固定部材に取り付けられ、 前記テーブルの表面と前記吸引固定部材と の間の距離を個別に調節する複数の距觸周節手段と

を具備することを特徴とする吸引保持搬送機。

2 . 前記距離調節手段は、

テーブルにストッパーとして当接するパーと、

そのバーを上下するモータと、

前記吸引固定部材に固定され、 前記バーと前記モータを支持する支持部材と を具備することを特徴とする請求項 1記載の吸引保持搬送機。

3 . さらに、 前記吸引固定部材が前記テーブルに対して平行であることを検出 する検出手段を具備することを特徴とする請求項 1記載の吸引保持搬送機。

4 . さらに、 前記支持部材を支持し、 移動させる移動装置を具備することを特 徴とする請求項 1に記載された吸引保持搬送機。

5 . テーブルに載置された基板を吸引固定部材に保持させる吸引保持方法にお いて、

前記吸引固定部材により、 前記基板を吸引保持させる際に、 前記テーブルの表 面と前記吸引固定部材との間の距離を前記吸引固定部材の複数箇所で変化させる ことにより、 前記吸引固定部材の傾きと前記テーブルの表面からの距離を調整す ることを特徴とする吸引保持方法。