CN100335242C - 基板的吸引保持方法及使用该方法的吸引保持输送机 - Google Patents

Abstract

吸引保持输送机，利用吸引并保持载置于工作台上的基板(1)的吸引固定部件(69)，对载置于工作台(84)上的基板(1)进行吸引、固定。支持部件(61)，用于支持该吸引固定部件。该吸引保持输送机具有距离调节机构(82)，可在吸引固定部件(69)上的多个部位单独地调节从上述工作台表面至吸引固定部件的距离。

Description

基板的吸引保持方法及使用该方法的吸引保持输送机

技术领域

本发明涉及吸引保持粘合母液晶面板基板之类的基板的吸引保持方法及使用该方法的吸引保持输送机。

背景技术

粘合母液晶面板基板之类的脆性材料基板的截断，是用划线装置和断开装置等多个装置连续地进行截断加工的。在该截断工序中，面板基板由输送机保持着，并在这些装置之间进行输送。例如，用划线装置形成了划线的面板基板，接着，被输送到断开装置，并沿着划线压下而被断开。

图1所示为粘合母液晶面板基板的截断工序。

(1)首先，用第一划线装置将玻璃切割轮2压紧在粘合母液晶面板基板1的一侧的玻璃基板A上，并使其转动，于是形成划线Sa。

(2)将该粘合母液晶面板基板1的表面，背面翻转过来，并输送到第一断开装置，在底板M上将断开柄3沿着划线Sa压在玻璃基板B上，于是，下侧的玻璃基板A便沿着划线Sa断开。

(3)接着，将该粘合母液晶面板基板1，输送至第二划线装置，将玻璃切割轮2压紧在另一侧的玻璃基板B上，并使其转动，从而形成划线Sb。

(4)接着，将粘合母液晶面板基板1的表面，背面翻转过来，并送到第二断开装置，在底板M上，将断开柄3沿着划线Sb压在玻璃基板A上，于是，下侧的玻璃基板B便沿着划线Sb断开，粘合母液晶面板基板1被分成两部分。

图2和图3表示现有技术的悬臂式支承结构的输送机。图1所示的粘合母液晶面板基板的断开，将其输送到下道工序，用图2、图3所示的输送机，在该状态下吸引固定整个粘合母液晶面板基板，将其保持住，并进行输送。

在该输送机上，小齿轮19通过马达23而转动，通过小齿轮19与齿条18的组合使移动台20沿轨道17移动。水平支持板48，通过安装在从该移动台20向侧方延伸的延伸设置片25上的液压缸27而上下运动，吸引固定机构49、50(多孔性材质)通过弹簧53并用螺栓51和螺母52支持在该水平支持板48的下侧。这样，便可调节吸引固定机构相对于工作台表面的倾斜，及吸引固定机构离工作台的距离。

但是，由于该现有输送机的吸引固定机构49、50是用单臂支持结构的延伸设置片25支持着，故延伸设置片25稍向下方挠曲，往往会使吸引固定机构49、50倾斜。这种情况下，吸引固定机构50的下表面与粘合母液晶面板基板表面之间的真空压力降低，故粘合母液晶面板基板1的一部分不能被吸引固定机构50吸引、或过分按压粘合母液晶面板基板1的表面，粘合的各玻璃基板的截断面上产生缺口，往往造成粘合母液晶面板基板1截断后的，作为单一制品基板的液晶面板元件基板的质量不良。

因此，为了不产生这种不良现象，通过调整4处的螺栓51和螺母52，使吸引固定机构在水平支持板48的下面、相对于载置在工作台上的粘合母液晶面板基板1(工作台)成水平(平行)状态。但是，该调整需要时间，而且，每次变更粘合母液晶面板基板1的品种、或粘合母液晶面板基板1的厚度时，必须再一次进行上述调整。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可容易地调整吸引固定部件相对于工作台表面的倾斜和吸引固定部件离工作台的距离的吸引保持方法和使用该方法的吸引保持输送机。

本发明的吸引保持输送机，是具有吸引固定部件的吸引保持输送机，该吸引固定部件利用吸引作用保持住载置在工作台上的基板，该输送机具有支持上述吸引固定部件用的支持部件，和安装在上述吸引固定部件上，且可单独调节上述工作台的表面与上述吸引固定部件之间的距离的多个距离调节机构。

该吸引保持输送机的上述距离调节机构具有例如作为制动器与工作台接触的杆；使该杆上下运动的马达；以及固定在上述吸引固定部件上，用于支持上述杆和上述马达的支持部件。该吸引保持输送机，最好还具有检测上述吸引固定部件是否与上述工作台平行的检测机构。另外，该吸引保持输送机，最好还具有支持上述支持部件、且使其移动的移动装置。

本发明的保持方法，是将载置于工作台上的基板保持在吸引固定部件上的吸引保持方法，在上述吸引固定部件上安装接触上述工作台的多个制动器；在将所述基板载置于工作台上之前，使上述吸引固定部件从上述工作台的上方下降，保持在不接触上述工作台的位置；接着，分别改变上述多个制动器下端的位置，便可调节上述吸引固定部件相对于上述工作台的倾斜状况和上述吸引固定部件离上述工作台表面的距离。

本发明中，由于可将吸引固定部件保持为与工作台表面平行，故在断开后的脆性材料等的基板的断开面上不产生缺口的情况下，可确实保持基板。即使在基板厚度改变了的情况下，只改变多处的倾斜调节杆的各自的下端位置便可确实地保持基板。

附图说明

图1是表示粘合母液晶面板基板的划线和断开工序的顺序之图。

图2是现有技术的吸引保持输送机的侧视图。

图3是图2的吸引保持输送机的俯视图。

图4是本发明的一实施形式的吸引保持输送机之侧视图。

图5是图4的吸引保持部件之侧视图。

图6是图5的吸引保持部件之俯视图。

图7是表示吸盘的详细情况的图。

具体实施方式

以下，参照附图对发明的实施形式作说明。

图4所示为本发明一实施形式的吸引保持输送机的构造。该吸引保持输送机与图2所示的现有技术的输送机相比，吸引固定脆性材料基板的吸引固定部的结构不同，对工作台84上的脆性材料(例如玻璃)的面板基板1(例如粘合母液晶面板)进行保持、输送。

对该吸引保持输送机的概略结构作说明，移动台20设置在载置有粘合母液晶面板基板1的工作台84的侧方。用马达23使小齿轮19回转，通过小齿轮19与齿条18的组合，移动台20便沿着轨道17移动。设有从该移动台20向其移动方向的侧方延伸的延伸设置片61，在延伸设置片上安装有液压缸64。水平支持板62设在延伸设置片61的下方，吸引粘合母液晶面板基板1的吸引固定部件69位于水平支持板62的下方。液压缸64支持着水平支持板62，使水平支持板62上下移动。在此，2根轴63在延伸设置片61的长度方向上的液压缸64的两侧固定在被液压缸64支持的水平支持板62上，插通自如地贯通设在延伸设置片61上的线性轴衬70(图5)。固定于吸引固定部件69上的4根轴67，插通水平支持板62，通过弹簧71(图5)来调节螺母66(图5)，由此，调整吸引固定部件69自身的水平方向的平衡。另外，以多个距离调节机构之一为例，倾斜调节板82安装在吸引固定部件69上，可单独地调节吸引固定部件69与载置有面板基板1的工作台84的表面的距离。这样，可对吸引固定部件的倾斜进行调节。

更详细地加以说明，图5是表示吸引固定部件69及其周边情况的侧视图，图6所示为其俯视图。延伸设置片61(支持部件)，在图5中左端被移动装置(未图示)支持着，该移动装置使延伸设置片61(支持部件)在垂直于纸面的方向上移动。水平支持板62位于该延伸设置片61的下方，从该水平支持板62向上方的2根轴63，通过线性轴衬70插通自如地贯通延伸设置片61。水平支持板62，以配置在液压缸64两侧的2根轴63为导向装置，通过液压缸64驱动可以上下运动。

设在延伸设置片61一侧的液压缸64的活塞杆64a，通过浮动接头65固定在水平支持板62上。另外，还设有位于水平支持板62下方的吸引固定部件69，在位于线性轴衬68上部的轴67上嵌有弹簧71，吸引固定部件69由4个螺母66和弹簧71支持在支持部件(延伸设置片1)上，并用螺母66来调节吸引固定部件69自身在水平方向上的平衡。

固定在吸引固定部件69上的4根轴67朝上方安装，该轴67插通设于水平支持板62上的线性轴衬68。该轴67如图6所示，设于水平支持板62的4个角上。

线性轴衬68与轴67之间及线性轴衬70与轴63之间留有若干间隙，而且，由于水平支持板62与活塞杆64a之间夹有浮动接头65，故水平支持板62和吸引固定部件69可在±5°范围内倾斜。

吸引固定部件69内部形成空洞，其下表面上安装有多个吸盘80。图7表示从下方看这些吸盘80的图。吸盘80是用感光性树脂材料制成的圆盘状部件，具有周缘的平面气密部80a和除此之外的吸引部80b，吸引部80b上形成有许多微小的凹部。吸盘80的中央，设有贯通吸引固定部件69的空洞部的吸入口80c。关于该吸盘80的详细情况，在特开平11-19838号公报中作了说明。

在该吸引固定部件69的4个角，作为调节从工作台84的表面到吸引固定部件69的距离用的多个距离调节机构的一个例子设有倾斜调节器82。使该倾斜调节器82上部的杆上下运动用的马达82a(示于图4)驱动，倾斜调节杆82b便上下运动，其下端作为制动器与工作台84接触。

下面，对具有上述结构的本实施形式的吸引保持输送机的面板基板进行吸引保持的方法作说明。

通过使液压缸64向着工作台84的表面进行驱动，从而使吸引固定部件69下降，将吸盘80设定在离工作台面1mm-2mm间隔的位置上。然后，将水准仪等置于吸引固定部件69的上表面，调节4个倾斜调节器82的倾斜调节杆82b的各下端的位置，以使吸引固定部件69成为水平状态。

若要将吸引固定部件69支持成水平状态，则可用刻度尺、线性脉冲刻度尺和编码器等检测手段，对这时的4个倾斜调节杆82b的下端位置分别进行检测，并作为第一位置数据A存储到存储器内。例如，将4个倾斜调节杆分别延伸5mm之后，驱动液压缸64，使吸引固定部件69上升。

然后，将面板基板1载置在工作台84上，再一次驱动液压缸64，使吸引固定部件69下降。载置在工作台84上的面板基板1的厚度若为1mm，则分别使4个倾斜调节杆82b的下端位置上升相等高度，使吸引固定部件69位于吸盘80对面板基板1进行吸引固定的最佳状态的高度上。将这时的倾斜调节杆82b下端的各位置作为第二位置数据B，再一次存储到存储器中。

关于存储位置数据的方法的例子，有以下方法。

1.人用刻度尺读取其值，并记录在笔记本等(记录或存储装置)中的方法。

2.写入NC控制器、程序装置、个人计算机等半导体存储器(存储装置)内的方法。

接着，若面板基板1的厚度变更为例如2mm的品种时，根据存储于4个倾斜调节杆82b下端的各位置的第二位置数据B，使4个倾斜调节杆82b的各下端位置分别下降1mm即可。这样，即使作为输送对象的脆性材料基板的厚度变更，以存储的位置数据A和B为基准决定4个倾斜调节杆82b的调节量即可，可容易地应对粘合母液晶面板基板1的品种变更。

检测吸引固定部件69是否与工作台84的表面平行(水平)的机构，除了上述水准仪之外，还可用陀螺仪86和激光陀螺仪等。若用陀螺仪86和激光陀螺仪，则全部操作自动进行，可调节吸引固定部件69的倾斜和高度。

在上述实施形式中，对具有设置有4个倾斜调节杆的距离调节机构的例子作了说明，但倾斜调节杆的数量不局限于这个数。例如，沿着吸引固定部件的2个边设规定长度的倾斜调节部件，也可达到本发明的目的。即，距离调节机构只要是多个就行。

用距离调节机构来调节从工作台至吸引固定部件的距离的部位，不局限于吸引固定部件的4个角。在2个以上的多个部位，只要能调节从工作台至吸引固定部件的距离，便可调节吸引固定部件的倾斜和离工作台表面的距离。

在本实施形式中，对吸引固定脆性材料基板、并且向下一道工序的装置进行输送的吸引保持输送机进行了说明。但是，单纯接受脆性材料基板，且只在该位置进行保持的接受装置也包含在本发明的吸引保持输送机的范围内。

本发明虽根据上述实施形式作了说明，但本发明不局限于实施形式。例如，在本实施形式中，对保持粘合母基板等脆性材料的吸引保持方法和吸引保持输送机作了说明，但吸引固定部件所吸引保持的基板不局限于脆性材料基板，例如，印刷电路基板、塑料基板、金属基板、非金属基板等也可用本发明。

Claims (4)

1.一种具有吸引固定部件的吸引保持输送机，该吸引固定部件利用吸引作用保持住载置于工作台上的基板，其特征在于，它包括：

与上述工作台的表面接触，调节工作台表面与上述吸引固定部件之间的距离的多个制动器；

分别使上述多个制动器上下运动的马达；

对设有上述制动器和马达的上述吸引固定部件进行支持的支持部件。

2.如权利要求1所述的吸引保持输送机，其特征在于，它具有检测上述吸引固定部件是否与上述工作台平行的检测机构。

3.如权利要求1所述的吸引保持输送机，其特征在于，它具有支持上述支持部件、并使其移动的移动装置。

4.一种吸引保持方法，是将载置于工作台上的基板保持在吸引固定部件上的吸引保持方法，

其特征在于，在上述吸引固定部件上安装接触上述工作台的多个制动器；在将所述基板载置于工作台上之前，使上述吸引固定部件从上述工作台的上方下降，保持在不接触上述工作台的位置；接着，分别改变上述多个制动器下端的位置，来调节上述吸引固定部件相对于上述工作台的倾斜和上述吸引固定部件离上述工作台表面的距离。

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