TW200301211A - Method of suckingly holding substrate, and suckingly and holdingly carrying machine using the method - Google Patents

Description

玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種用於吸引保持貼合母液晶面板基板 等基板之吸引保持方法、及使用該方法的吸引保持搬運機 〇 【先前技術】 貼合母液晶面板基板等之脆性材料基板之分割中，使 用劃線裝置及裂片裝置等複數個裝置連續進行分割加工。 分割步驟中，將面板基板利用搬運機加以保持並在該等裝 置之間搬運。例如，以劃線裝置形成有刻線（scribe-line)之 面板基板，係接著被搬往裂片裝置，再沿刻線壓下，而被 分割。 圖1係表示貼合母液晶面板基板之分割步驟。 (1) 利用第1劃線裝置，使玻璃切割輪2在貼合母液晶 面板基板1 一邊的玻璃基板A上壓接轉動，藉以形成刻線 Sa 〇 (2) 將前述貼合母液晶面板基板1翻轉後，搬運到第1 裂片裝置，在墊塊Μ上使裂片桿3沿著刻線Sa往玻璃基板 B壓下，藉此使下側的玻璃基板A沿著刻線Sa分割開。 (3) 接著，將前述貼合母液晶面板基板1搬運到第2劃 線裝置，使玻璃切割輪2在貼合母液晶面板基板1另一邊 的玻璃基板B上壓接轉動，藉以形成刻線Sb。 (4) 接著，將前述貼合母液晶面板基板1翻轉後，搬運 到第2裂片裝置，在墊塊Μ上使裂片桿3沿著刻線Sb下壓 6 200301211 玻璃基板A，藉此，使下側的玻璃基板B沿著刻線Sa而分 割開，如此一來，前述貼合母液晶面板基板1就分割成爲 —"ΓΗττ 一塊。 圖2及圖3係表示習知有懸臂式支撐構造之搬運機。 如圖1所示之貼合母液晶面板基板之分割中，在往下一步 驟搬運中，藉由圖2及圖3所示之搬運機，在原來狀態下 ’將整個貼合母液晶面板基板吸引固定並保持、搬運。 在該搬運機中，當馬達23使小齒輪19旋轉時，移動 台20藉由小齒輪19與齒條18之組合會沿著軌道 移動。利用安裝在自前述移動台20往側方延長之延長片25 上的壓缸27，水平支撐板48會上下移動，吸引固定構件 49,50(多孔性材質）透過彈簧53並藉由螺栓51及螺帽52， 被支撐在前述水平支撐板48下側。藉此調節吸引固定構件 相對桌台表面之傾斜度、吸引固定構件與桌台間的距離。 【發明內容】 (一）發明所欲解決之技術問題 然而，在該習知搬運機中，前述吸引固定構件49,50係 被有懸臂式支撐構造的延長片25所支撐，所以，延長片25 會稍向下方撓曲，而吸引固定構件49,50會因此傾斜。在這 種狀況下，吸引固定構件50下面和貼合母液晶面板基板表 面之間的真空壓力會降低，使得貼合母液晶面板基板1之 部分無法被吸引固定構件50所吸引，或者，過度擠壓貼合 母液晶面板基板1表面，而在這些玻璃基板的分割面產生 碎片，因此，由貼合母液晶面板基板1分割出而成爲單一 7 200301211 製品基板的液晶面板單元（cell)基板會有品質不良之現象。 爲了消除前述不良現象，藉由將位於水平支撐板48下 面4處之螺栓51及螺帽52加以調節，能夠使吸引固定構 件，相對於載置在桌台上之貼合母液晶面板基板1(桌台）呈 水平（平行）。可是，上述調整非常麻煩，而且每當貼合母液 晶面板基板1的種類變更時，以及每當貼合母液晶面板基 板1的厚度改變時，就必須再度作上述調整。 本發明之目的係提供一種能夠容易調整吸引固定構件 相對於桌台表面之傾斜度及吸引固定構件與桌台表面、間之 距離的吸引保持方法，以及使用該方法之吸引保持搬運機 (二）解決問題之技術手段 本發明之吸引保持搬運機，係具有將載置於桌台之基 板吸引保持的吸引固定構件；並具有：支撐前述吸引固定 構件之支撐構件；及安裝於前述吸引固定構件之複數個距 離調節機構，用來個別調節前述桌台表面與前述吸引固定 構件間之距離。 該吸引保持搬運機中，前述距離調節機構例如具有： 作爲止動件抵接於桌台之桿件，使該桿件上下之馬達，及 固定於前述吸引固定構件之用來支撐前述桿件與前述馬達 之支撐構件。又，該吸引保持搬運機最好進一步具有檢測 前述吸引固定構件是否平行於前述桌台的檢測機構。又該 吸引保持搬運機最好進一步具有支撐前述支撐構件並使其 移動的移動裝置。 本發明之吸引保持方法，係將載置於桌台之基板保持 在吸引固定構件；當利用前述吸引固定構件將前述基板吸 引保持時，在前述吸引固定構件之複數個部位將前述桌台 表面與前述吸引固定構件間之距離加以改變，藉此調整前 述吸引固定構件之傾斜度及其與前述桌台表面間之距離。 本發明能夠使吸引固定構件相對於桌台表面保持平行 ，所以，分割後之脆性材料等之基板的分割面上不會產生 碎片等，能夠確實保持基板。此外，即使基板之厚度改變 ，僅將複數個傾斜調節桿的各下端位置加以改變即可確實 保持基板。 【實施方式】 [發明之最佳實施例] 以下，參閱所附上之圖式來說明發明之實施例。 圖4係表示本發明第1實施例之吸引保持搬運機的構 成。該吸引保持搬運機，相較於圖2所示之習知搬運機， 在吸引固定脆性材料基板之吸引固定部之構成上不同，本 發明之吸引保持搬運機將桌台84上之脆性材料（例如玻璃） 之面板基板1(例如貼合母液晶面板）保持並搬運。 說明本發明之吸引保持搬運機之槪略構成。移動台20 設於桌台84(用來載置貼合母液晶面板基板1)之側方。當馬 達23使小齒輪19旋轉時，移動台20藉由小齒輪19與齒 條18之組合會沿軌道17移動。自該移動台20起往相對移 動方向之側方延長設置延設片61，在該延設片61安裝壓缸 64。在延設片61下方有水平支撐板62，在水平支撐板62 2003012η 下方有吸引貼合母液晶面板基板1之吸引固定構件69°壓 缸64支撐水平支撐板62並使水平支撐板62上下移動。在 此，2支軸63，係利用壓缸64之相對延設片61長邊方向 之兩側而被固定於水平支撐板62(被壓缸64所支撐），並以 插穿自如之方式貫通設於延設片61之線性軸襯70(圖5)。 有4支固定於吸引固定構件69之軸67插穿水平支撐板62 ，透過彈簧71(圖5)調節螺帽66(圖5)，藉此調整吸引固定 構件69本身之水平方向之平衡。複數個距離調節機構例如 有傾斜調節板82,該傾斜調節板82安裝於吸引固定構件 69，吸引固定構件69與載置面板基板1之桌台84之表面 間之距離可個別調節。藉此調節吸引固定構件之傾斜度。 進一步詳細說明，圖5係表示吸引固定構件69與其周 圍之側視圖。圖6係表不圖5之俯視圖。在圖5中，前述 延長片61(支撐構件）在左端，被使該延長片61沿紙面及鉛 垂方向上移動之移動裝置（圖示省略）所支撐。前述延長片 61下方有水平支撐板62,自前述水平支撐板62往上延伸 之2支軸63，係透過線性軸襯70以可插穿自如之方式貫穿 延長片61，水平支撐板62以配置於壓缸兩側之2支軸63 爲導引件，藉由壓缸64之驅動能上下移動。 而且，設於延長片61側之壓缸64的壓缸桿64a，係透 過浮動接頭65固定在水平支撐板62。此外，水平支撐板 62之下方設有吸引固定構件69，在比線性軸襯68還上部 之軸67嵌入有彈簧71，吸引固定構件69藉由4個螺帽66 和彈簧71被支撐在支撐構件（延長片61)，同時，藉由螺帽 10 200301211 66能夠調整吸引固定構件69本身水平方向之平衡。 固定於吸引固定構件69之4支軸67，係朝上安裝，前 述軸67係插穿設於水平支撐板62上之線性軸襯68。前述 軸67，如圖6所示設於水平支撐板62的4個角落。 在線性軸襯68和軸67之間，以及在線性軸襯70和軸 63之間有若干間隙，又，因爲水平支撐板62和壓缸桿64a 之間有浮動接頭65介入，所以，水平支撐板62及吸引固 定構件69能夠在±5°範圍內傾斜。 吸引固定構件69，係內部中空，在吸引固定構件69下 面安裝有複數個吸盤80。圖7係表示從下方看這些吸盤80 之圖。吸盤80，係由感光性樹脂材料製成之圓盤狀吸盤， 具有周緣平滑面之氣密部80a及前述氣密部80a以外之吸 引部80b，在前述吸引部80b形成許多細微凹部。而且，在 吸盤80中央設有貫穿吸引固定構件69空洞部之吸入口 80c 。前述吸盤80之詳細說明如日本特開平1M9838號公報所 示0 此外，在前述吸引固定構件69的4個角落安裝有傾斜 調節器82，其爲複數個距離調節機構之一例，前述距離調 節機構係用於調節桌台84表面到吸引固定構件69間的距 離。藉由驅動前述傾斜調節器82上部之傾斜調節桿上下用 馬達82a(如圖4所示），傾斜調節桿82b會上下移動，而傾 斜調節桿82b下端則當作止動件抵接於桌台84。 接著，說明有如上構成之本實施例吸引保持搬運機吸 引保持面板基板之方法。 11 20030K11 朝向桌台表面驅動壓缸64，使吸引固定構件69下降， 使吸盤80到達離開桌台面1〜2mm。接著，於吸引固定構件 69上面放置水平儀等，調節4個傾斜調節器82之傾斜調節 桿82b下端的各個位置，以使吸引固定構件69成爲水平。 如果吸引固定構件69被水平支撐的話，就將在水平狀 態之4個傾斜調節桿82b的下端各個位置，利用尺（scale)、 線性脈衝尺（linear-pulse-scale)或編碼器（encoder)等檢測機構 加以檢測，並將該等各位置資料當作第1位置資料A記憶 於記憶體。而且，使4個傾斜調節桿82b分別伸出例如 5mm後，驅動壓缸64使吸引固定構件69上升。 接著，將貼合母液晶面板基板1載置於桌台84上，然 後驅動壓缸64，使吸引固定構件69下降。如果載置於桌台 84上之貼合母液晶面板基板1厚度爲1mm的話，使4個傾 斜調節桿82b下端位置分別上升相同距離，使吸引固定構 件69位於吸盤80吸引固定面板基板1之最佳狀態的高度 。再將此時之各傾斜調節桿82b的下端位置當作第2位置 資料B記憶於記憶體。 記憶位置資料之方法例如有如下之方法： 1) 由人員讀取直尺之數値，將該數値記錄在筆記本等（ 記錄或記憶機構）； 2) 寫入數値控制器、程序控制器或個人電腦等半導體 記憶體（記憶機構）。

接著，當面板基板1之厚度變成例如2mm的種類時， 依據記憶有4個傾斜調節桿82b下端位置之第2位置資料B 12 ，使4個傾斜調節桿82b下端位置以每次1mm之方式下降 。如此一來，作爲搬運對象之脆性材料基板之厚度即使改 變，也可將記憶著之位置資料A及B當作基準，來決定4 個傾斜調節桿82b之調節量，而能夠容易因應貼合液晶面 板基板1之種類改變。 又，檢測吸引固定構件69相對於桌台84表面爲平行( 水平）之檢測機構，除上述水平儀之外，也可使用陀螺儀86 或雷射陀螺儀等。如果使用陀螺儀86或雷射陀螺儀的話， 就能夠全自動調整吸引固定構件69之傾斜度及高度。 在上述實施例中，雖然說明過具備4個傾斜調節桿的 距離調節機構的例子，但是，傾斜調節桿之數量並不侷限 於4個。例如，沿著吸引固定構件2邊設置具有既定長度 之傾斜調節構件，也能夠達成本發明之目的。亦即，只要 距離調節機構是複數個即可。 又5利用距離調節機構來調節桌台到吸引固定構件之 距離的部位，並不侷限於吸引固定構件之4個角落。只要 能在有2個以上之複數個部位調節桌台到吸引固定構件之 間之距離的話，即可調整吸引固定構件之傾斜度及離開桌 台表面之距離。 在本實施例中，雖然說明過將脆性材料基板吸引固定 再搬運到下一步驟之吸引保持搬運機，但是，吸引保持搬 運機也包含接取裝置，其僅將脆性材料基板接取並保持在 接取位置。 再者，本發明雖以上述實施例加以說明，但本發明並 不侷限於上述實施例。例如，本實施例中，雖就保持貼合 母基板等脆性材料之吸引保持方法及吸引保持搬運機加以 說明，但吸引保持於吸引固定構件之基板並不侷限於脆性 材料基板，也可將本發明適用於例如印刷電路板、塑膠基 板、金屬基板、非金屬基板等。 【圖式簡單說明】 (一） 圖式部分 圖1係表示貼合母液晶面板基板之劃線及裂片步驟之 順序的圖。 圖2係習知吸引保持搬運機之側視圖。 圖3係圖2吸引保持搬運機的俯視圖。 圖4係表示本發明第丨實施例之吸引保持搬運機的側 視圖。 圖5係圖4之吸引保持構件的側視圖。 圖Μ系圖5之吸引保持構件的俯視圖。 Β 7係表示吸盤詳細構造之圖面。 (二） 元件代表符號 1 貼合母液晶面板基板 61 延長片 62 水平支撐板 63軸 64 壓缸 64a壓缸桿 65 浮動接頭 14 200301211 66 螺帽 67 軸 68 線性軸襯 69 吸引固定構件 70 線性軸襯 71 彈簧 80 吸盤 82 傾斜調節器 82a傾斜調節桿上下用馬達 82b傾斜調節桿 84 桌台

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Claims (1)

1. 拾、申請專利範圍 1. 一種吸引保持搬運機，係具有將載置於桌台之基板 吸引保持的吸引固定構件；其特徵在於具有： 支撐前述吸引固定構件之支撐構件；及 安裝於前述吸引固定構件之複數個距離調節機構，用 來個別調節前述桌台表面與前述吸引固定構件間之距離。 2·如申請專利範圍第1項之吸引保持搬運機，其中， 前述距離調節機構具有： 作爲止動件抵接於桌台之桿件， 使該桿件上下之馬達，及 固定於前述吸引固定構件之用來支撐前述桿件與前述 馬達之支撐構件。 3. 如申請專利範圍第1項之吸引保持搬運機，其進一 步具有檢測前述吸引固定構件是否平行於前述桌台的檢測 機構。 4. 如申請專利範圍第1項之吸引保持搬運機，其進一 步具有支撐前述支撐構件並使其移動的移動裝置。 5. —種吸引保持方法，係將載置於桌台之基板保持在 吸引固定構件；其特徵在於： 當利用前述吸引固定構件將前述基板吸引保持時，在 前述吸引固定構件之複數個部位將前述桌台表面與前述吸 引固定構件間之距離加以改變，藉此調整前述吸引固定構 件之傾斜度及其與前述桌台表面間之距離。 拾壹、圖式 如次頁。