KR20050044315A - 기판의 흡인지지 방법 및 그 방법을 이용하는 흡인지지반송기 - Google Patents

기판의 흡인지지 방법 및 그 방법을 이용하는 흡인지지반송기 Download PDF

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Abstract

흡인지지반송기는, 테이블에 재치된 기판(1)을 흡인하여 지지하는 흡인고정부재(69)에 의하여 테이블(84)에 재치된 기판(1)을 흡인하여 고정시킨다. 지지부재(61)는 이 흡인고정부재를 지지한다. 흡인고정부재(69)의 복수의 장소에 상기 테이블 표면에서 흡인고정부재까지의 거리를 개별적으로 조절할 수 있는 거리조절수단(82)을 구비한다.

Description

기판의 흡인지지 방법 및 그 방법을 이용하는 흡인지지 반송기{METHOD OF SUCKINGLY HOLDING SUBSTRATE AND SUCKINGLY AND HOLDINGLY CARRYING MACHINE USING THE METHOD}
본 발명은, 접합머더 액정패널 기판(接合 mother 液晶 panel 基板) 등의 기판을 흡인(吸引)하여 지지(支持)하는 흡인지지 방법 및 그 방법을 이용하는 흡인지지 반송기(吸引支持 搬送機)에 관한 것이다.
접합머더 액정패널 기판 등의 취성재료 기판(脆性材料 基板)의 절단에 있어서, 스크라이브 장치(scribe 裝置)와 브레이크 장치(brake 裝置) 등의 복수의 장치를 이용하여 절단가공이 연속적으로 이루어진다. 이 절단공정에 있어서, 패널 기판(panel 基板)은, 반송기에 의하여 지지되어 이들 장치 사이에서 반송된다. 예를 들면, 스크라이브 장치에 의하여 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 패널 기판이 다음의 브레이크 장치로 반송되어 스크라이브 라인을 따라 압력을 가함으로써 절단된다.
도1은 접합머더 액정패널 기판의 절단공정을 나타낸다.
(1)우선, 제1스크라이브 장치로 접합머더 액정패널 기판1의 일방(一方)의 글래스 기판(glass 基板)A에 글래스 커터 휠(glass cutter wheel)2를 압력을 가하면서 전동(轉動 ; 굴림)시킴으로써 스크라이브 라인Sa가 형성된다.
(2)그 접합머더 액정패널 기판1은, 그 표리(表裏)가 반전(反轉)되고 제1브레이크 장치로 반송되어, 매트(mat)M 상에서 글래스 기판B에 브레이크 바(brake bar)3에 의하여 스크라이브 라인Sa를 따라 압력을 가함으로써 하측의 글래스 기판A를 스크라이브 라인Sa를 따라 절단시킨다.
(3)다음에 그 접합머더 액정패널 기판1은 제2스크라이브 장치로 반송되어, 타방(他方)의 글래스 기판B에 글래스 커터 휠2를 압력을 가하면서 전동시킴으로써 스크라이브 라인Sb가 형성된다.
(4)다음에 접합머더 액정패널 기판1은, 그 표리가 반전되어 제2브레이크 장치로 반송되어, 매트M 상에서 글래스 기판A에 스크라이브 라인Sb를 따라 브레이크 바3에 의하여 압력을 가함으로써 하측의 글래스 기판B를 스크라이브 라인Sb를 따라 절단시켜 접합머더 액정패널 기판1은 2개로 절단된다.
도2와 도3은, 종래의 외팔보(cantilever) 지지구조의 반송기를 나타낸다. 도1에 나타나 있는 접합머더 액정패널 기판의 절단에 있어서, 다음 공정으로의 반송에서는 도2와 도3에 나타나 있는 반송기에 의하여 그 상태로 접합머더 액정패널 기판 전체를 흡인고정(吸引固定) 지지하여 반송하였다.
이 반송기에 있어서 이동대(移動臺)20은, 모터(motor)23에 의하여 피니언 기어(pinion gear)19가 회전하고 피니언 기어19와 래크(rack)18의 조합에 의하여 레일(rail)17을 따라 이동한다. 그 이동대20에서 측방으로 연장되는 연장편(延長片)25에 부착되는 실린더(cylinder)27에 의하여 수평 지지판(水平 支持板)48이 상하로 이동하고, 그 수평 지지판48의 하측에 스프링(spring)53을 통하여 볼트(bolt)51 및 너트(nut)52에 의하여 흡인고정 수단(吸引固定 手段)49, 50(다공성(多孔性) 재질)이 지지되어 있다. 이에 따라 흡인고정 수단의 테이블(table) 표면에 대한 경사(傾斜)나 흡인고정 수단의 테이블로부터의 거리가 조절된다.
그러나 이러한 종래의 반송기에서는, 흡인고정 수단49, 50은 외팔보 지지구조의 연장편25로 지지되어 있기 때문에, 연장편25는 조금이기는 하지만 아래쪽으로 휘어 흡인고정 수단49, 50이 경사지는 경우가 있다. 그 경우에는, 흡인고정 수단50의 하면과 접합머더 액정패널 기판 표면과의 사이의 진공압력(眞空壓力)이 저하하기 때문에 접합머더 액정패널 기판1의 일부가 흡인고정 수단50에 흡인되지 않거나, 접합머더 액정패널 기판1의 표면을 지나치게 눌러서 접합된 각각의 글래스 기판의 절단면에 흠집이 발생하여 접합머더 액정패널 기판1의 절단 후에 개개의 하나의 기판인 액정패널 셀 기판(液晶 panel cell 基板)의 품질불량이 되는 경우가 있다.
따라서 이러한 불량을 생기게 하지 않기 위하여, 수평 지지판48의 4곳에 있는 볼트51 및 너트52를 조정함으로써 흡인고정 수단이 테이블에 재치(載置)된 접합머더 액정패널 기판1(테이블)에 대하여 수평(평행)이 되도록 한다. 그러나 그 조정이 번거롭고 또한 접합머더 액정패널 기판1의 종류가 변경될 때마다 또는 접합머더 액정패널 기판1의 두께가 변경될 때마다 상기한 조정이 또 필요하게 된다.
도1은 접합머더 액정패널 기판의 스크라이브 및 브레이크 공정의 순서를 나타내는 도면이다.
도2는 종래의 흡인지지 반송기의 측면도이다.
도3은, 도2의 흡인지지 반송기의 평면도이다.
도4는, 본 발명의 한 실시예에 있어서의 흡인지지 반송기의 측면도이다.
도5는, 도4의 흡인지지 부재의 측면도이다.
도6은, 도5의 흡인지지 부재의 평면도이다.
도7은 흡인반(吸引盤)을 상세하게 나타내는 도면이다.
본 발명의 목적은, 흡인고정부재(吸引固定部材)의 테이블 표면에 대한 경사나 흡인고정부재의 테이블로부터의 거리를 용이하게 조정할 수 있는 흡인지지 방법 및 그 방법을 이용하는 흡인지지 반송기를 제공하는 것이다.
본 발명에 관한 흡인지지 반송기(吸引支持搬送機)는, 테이블(table)에 재치(載置)되는 기판(基板)을 흡인(吸引)에 의하여 지지하는 흡인고정부재(吸引固定部材)를 구비하는 흡인지지 반송기(吸引支持 搬送機)에 있어서, 상기 흡인고정부재를 지지하는 지지부재(支持部材)와, 상기 흡인고정부재에 부착되어 상기 테이블의 표면과 상기 흡인고정부재 사이의 거리를 개별적으로 조절하는 복수의 거리조절수단(距離調節手段)을 구비한다.
이 흡인지지 반송기에 있어서, 상기 거리조절수단은, 예를 들면 스토퍼(stopper)로서 테이블과 접촉하는 바(bar)와, 그 바를 상하로 이동시키는 모터(motor)와, 상기 흡인고정부재에 고정되어 상기 바와 상기 모터를 지지하는 지지부재를 구비한다. 또한 상기 흡인고정부재가 상기 테이블에 대하여 평행한 것을 검출하는 검출수단(檢出手段)을 더 구비한다. 또한 이 흡인지지기구는 바람직하게는 상기 지지부재를 지지하고 이동시키는 이동장치(移動裝置)를 더 구비한다.
본 발명에 관한 지지방법은, 테이블에 재치되는 기판을 흡인고정부재에 지지시키는 흡인지지 방법에 있어서, 상기 흡인고정부재에 의하여 상기 기판을 흡인하여 지지시킬 때에 상기 테이블의 표면과 상기 흡인고정부재 사이의 거리를 상기 흡인고정부재의 복수의 장소에서 변화시킴으로써 상기 흡인고정부재의 경사와 상기 테이블의 표면으로부터의 거리를 조정한다.
본 발명에서는 흡인고정부재를 테이블 표면에 대하여 평행하게 지지할 수 있기 때문에 절단된 취성재료(脆性材料) 등의 기판의 절단면(切斷面)에 흠결(欠缺) 등이 발생하지 않고 확실하게 기판을 지지할 수 있다. 또한 기판의 두께가 변경되는 경우에도 복수의 경사조절 바의 각각의 하단의 위치를 변경하는 것만으로 확실하게 기판을 지지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다.
도4는 본 발명의 한 실시예에 관한 흡인지지 반송기(吸引支持 搬送機)의 구성을 나타낸다. 이 흡인지지 반송기는, 도2에 나타나 있는 종래의 반송기에 비하여 취성재료 기판(脆性材料 基板)을 흡인(吸引)하여 고정시키는 흡인고정부(吸引固定部)의 구성이 다른 것으로서, 테이블(table)84 상의 취성재료(예를 들면 글래스(glass))의 패널 기판(panel 基板)1(예를 들면 접합머더 액정(接合 mother 液晶))을 지지하여 반송한다.
이 흡인지지 반송기의 개략적인 구성에 대하여 설명하면, 이동대(移動臺)20은 접합머더 액정패널 기판(接合 mother 液晶 panel 基板)1을 재치(載置)하는 테이블84의 측방에 설치된다. 이동대20은, 모터(motor)23에 의하여 피니언 기어(pinion gear)19가 회전하면 피니언 기어19와 래크(rack)18의 조합에 의하여 레일(rail)17을 따라 이동한다. 그 이동대20으로부터 그 이동방향에 대하여 측방으로 연장되는 연장편(延長片)61을 설치하고, 여기에 실린더(cylinder)64를 부착한다. 연장편61의 아래쪽으로 수평 지지판(水平 支持板)62가 위치하고, 수평 지지판62의 아래쪽으로 접합머더 액정패널 기판1을 흡인(吸引)하는 흡인고정부재(吸引固定部材)69가 위치한다. 실린더64는 수평 지지판62를 지지하여 수평 지지판62를 상하로 이동시킨다. 여기에서 2개의 샤프트(shaft)63이, 연장편61의 길이방향에 있어서 실린더64의 양측에서 실린더64에 의하여 지지되는 수평 지지판62에 고정되며 연장편61에 설치되는 리니어 부시(linear bush)70(도5)을 관통한다. 흡인고정부재69에 고정되어 있는 4개의 샤프트67이 수평 지지판62에 삽입되고, 너트(nut)66(도5)을 조절함으로써 스프링(spring)71(도5)을 통하여 흡인고정부재69 자체의 수평방향의 균형이 조정된다. 또한 복수의 거리조절수단의 하나의 예로서 경사조절판(傾斜調節板)82가 흡인고정부재69에 부착되어, 패널 기판1을 재치하는 테이블84의 표면에 대한 흡인고정부재69의 거리가 개별적으로 조정될 수 있다. 이에 따라 흡인고정부재의 경사가 조정된다.
더 상세하게 설명하면 도5는 흡인고정부재69와 그 주변을 나타내는 측면도이고, 도6은 그 평면도를 나타낸다. 연장편61(지지부재)은, 도5에 있어서 좌단(左端)에서 이 연장편61(지지부재)을 지면(紙面)의 연직방향으로 이동시키는 이동장치(도면에는 나타내지 않는다)에 의하여 지지되어 있다. 이 연장편61의 하방에는 수평 지지판62가 위치하고, 이 수평 지지판62에서 상방을 향하는 2개의 샤프트63이 연장편61에 대하여 리니어 부시70을 통하여 삽입, 관통하고 있다. 수평 지지판62는, 실린더64의 양측에 배치되는 2개의 샤프트63을 가이드(guide)로 하여 실린더64의 구동에 의하여 상하로 이동할 수 있다.
그리고 연장편61 측에 설치되는 실린더64의 로드(rod)64a는 플로우팅 조인트(floating joint)65를 통하여 수평 지지판62에 고정되어 있다. 또한 수평 지지판62의 하방에는 흡인고정부재69가 설치되어 있고, 리니어 부시68의 상부에 위치하는 샤프트67에는 스프링71이 삽입되어 있고, 4개의 너트66과 스프링71에 의하여 흡인고정부재69는 지지부재(연장편61)에 의하여 지지되며 또한 너트66에 의하여 흡인고정부재69 자체의 수평방향의 균형이 조정된다.
흡인고정부재69에 고정된 4개의 샤프트67이 상방을 향하여 부착되어 있고, 그 샤프트67은 수평 지지판62에 설치된 리니어 부시68에 삽입되어 있다. 이 샤프트67은, 도6에 나타나 있는 바와 같이 수평 지지판62의 네 모퉁이에 설치된다.
리니어 부시68과 샤프트67의 사이 및 리니어 부시70과 샤프트63의 사이에는 약간의 클리어런스(clearance ; 간극)가 있고 또한 수평 지지판62와 로드64a의 사이는 플로우팅 조인트65가 들어 가기 때문에 수평 지지판62 및 흡인고정부재69는 ±5°의 범위에서 기울어지는 것이 가능하다.
흡인고정부재69는 내부가 공동(空洞)으로 되어 있고, 그 하면에는 흡인반(吸引盤)80이 복수 개 부착되어 있다. 도7은 이들 흡인반80을 하방에서 본 도면을 나타내고 있다. 흡인반80은 감광성(感光性)의 수지(樹脂)로 이루어지는 원반(圓盤) 모양의 것으로서, 가장자리의 평면인 기밀부(氣密部)80a와 그 이외의 부분인 흡인부(吸引部)80b로 되어 있고, 흡인부80b에는 미세한 오목부가 다수 형성되어 있다. 그리고 흡인반80의 중앙에는 흡인고정부재69의 공동부(空洞部)를 관통하는 흡입구(吸入口)80c가 형성되어 있다. 이 흡인반80에 대하여 상세한 것은 일본국 공개특허공보 특개평11-19838호 공보에 설명되어 있다.
또한 이 흡인고정부재69의 4모퉁이에는 테이블84의 표면에서 흡인고정부재69까지의 거리를 조절하는 복수의 거리조절수단의 하나의 예로서 경사조절기(傾斜調節器)82가 부착되어 있다. 그 경사조절기82 상부의 바(bar) 상하용 모터82a(도5에 나타나 있다)를 구동시킴으로써 경사조절 바(傾斜調節 bar)82b가 상하로 이동하고, 그 하단이 스토퍼(stopper)로서 테이블84에 접촉하도록 되어 있다.
다음에, 이상과 같이 구성된 본 실시예의 흡인지지 반송기가 패널 기판을 흡인하여 지지하는 방법에 대하여 설명한다.
실린더64를 구동시킴으로써 테이블84의 표면을 향하여 흡인고정부재69를 강하시켜서 흡인반80을 테이블의 표면으로부터 1㎜∼2㎜의 간격을 가지게 하는 위치로 한다. 그 후에 흡인고정부재69의 상면에 수준기(水準器) 등을 놓고 흡인고정부재69가 수평이 되도록 4개의 경사조절기82의 경사조절 바82b의 하단의 각각의 위치를 조절한다.
흡인고정부재69가 수평으로 지지되게 되면 그 때의 4개의 경사조절 바82b 하단의 각각의 위치를 스케일(scale), 리니어 펄스 스케일(linear pulse scale)이나 인코더(encoder) 등의 검출수단(檢出手段)을 이용하여 검출하여, 제1위치 데이터A로서 메모리(memory)에 기억시킨다. 그리고 예를 들면 4개의 경사조절 바를 각각 5㎜ 정도 연장시킨 후에 실린더64를 구동시켜서 흡인고정부재69를 상승시킨다.
그 후에 테이블84에 패널 기판1을 재치하고, 다시 실린더64를 구동시켜 흡인고정부재69를 하강시킨다. 테이블84에 재치되는 패널 기판1의 두께가 1㎜라면 4개의 경사조절 바82b의 하단의 위치를 각각 똑같이 상승시키면서 흡인반80이 패널 기판1을 흡인, 고정시키는 최적 상태의 높이에 흡인고정부재69를 위치시킨다. 이 때의 경사조절 바82b의 하단의 각각의 위치를 다시 제2위치 데이터B로서 메모리에 기억시킨다.
위치 데이터를 기억하는 방법의 예로서는 다음과 같은 방법이 있다.
1 : 사람이 스케일로 읽어내어 그 값을 노트 등(기록 혹은 기억수단)에 기록하는 방법.
2 : NC 컨트롤러, 시퀀서(sequencer), PC 등의 반도체 메모리(기억수단)에 기억시키는 방법
다음에 패널 기판1의 두께가 예를 들면 2㎜로 변경되었을 때에는, 4개의 경사조절 바82b의 하단의 각각의 위치가 기억된 제2위치 데이터B에 의거하여 4개의 경사조절 바82b 각각의 하단의 위치를 1㎜씩 하강시키면 좋다. 이렇게 반송대상의 취성재료 기판의 두께가 변경되더라도 기억되어 있는 위치 데이터A와 B를 기준으로 하여 4개의 경사조절 바82b의 조절량을 정하면 좋으므로 접합액정패널 기판1의 형식의 변경에 대하여 용이하게 대응할 수 있다.
또한 흡인고정부재69가 테이블84의 표면에 대하여 평행(수평)인 것을 검출하는 수단으로서는, 상기한 수준기 이외에 자이로스코프(gyroscope)86이나 레이저 자이로스코프(laser gyroscope) 등을 이용할 수도 있다. 자이로스코프86이나 레이저 자이로스코프 등을 사용하면, 흡인고정부재69의 경사와 높이를 모두 자동으로 조정할 수 있다.
상기의 실시예에 있어서는, 4개의 경사조절 바를 구비하는 거리조절수단을 구비하는 예를 설명하였지만, 경사조절 바의 수는 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 흡인고정부재의 2변을 따라 소정 길이의 경사조절부재를 설치하더라도 본 발명의 목적은 달성될 수 있다. 즉 거리조절수단은 복수 개 있으면 좋다는 것이다.
또한 거리조절수단에 의하여 테이블에서 흡인고정부재까지의 거리를 조절하는 곳으로는 흡인고정부재의 네 모퉁이로 한정되는 것은 아니다. 두 곳 이상의 복수 장소에서 테이블에서 흡인고정부재까지의 거리를 조절할 수 있으면 흡인고정부재의 경사와 테이블 표면으로부터의 거리를 조정할 수 있다.
또한 본 실시예에서는 취성재료 기판을 흡인, 고정하여 다음 공정의 장치로 반송하는 흡인지지 반송기를 설명하였다. 그러나 단지 취성재료 기판을 받고, 그리고 그 위치에서 지지하기만 하는 수취장치도 본 발명의 흡인지지 반송기에 포함된다.
또 본 발명은 상기의 실시예에 의하여 설명되었지만, 본 발명은 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 실시예에서는 접합머더 기판 등의 취성재료를 지지하는 흡인지지 방법 및 흡인지지 반송기에 대하여 설명하였지만, 흡인고정부재에 의하여 흡인되어 지지되는 기판은 취성재료 기판에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면 인쇄기판, 플라스틱 기판, 금속기판, 비금속기판 등에도 본 발명을 적용할 수 있다.

Claims (5)

  1. 테이블(table)에 재치(載置)되는 기판(基板)을 흡인(吸引)에 의하여 지지하는 흡인고정부재(吸引固定部材)를 구비하는 흡인지지 반송기(吸引支持 搬送機)에 있어서,
    상기 흡인고정부재를 지지하는 지지부재(支持部材)와,
    상기 흡인고정부재에 부착되어 상기 테이블의 표면과 상기 흡인고정부재 사이의 거리를 개별적으로 조절하는 복수의 거리조절수단(距離調節手段)을
    구비하는 것을 특징으로 하는 흡인지지 반송기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 거리조절수단은,
    스토퍼(stopper)로서 테이블과 접촉하는 바(bar)와,
    그 바를 상하로 이동시키는 모터(motor)와,
    상기 흡인고정부재에 고정되어 상기 바와 상기 모터를 지지하는 지지부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 흡인지지 반송기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 흡인고정부재가 상기 테이블에 대하여 평행한 것을 검출하는 검출수단(檢出手段)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 흡인지지 반송기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재를 지지하고 이동시키는 이동장치(移動裝置)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 흡인지지 반송기.
  5. 테이블에 재치되는 기판을 흡인고정부재에 지지시키는 흡인지지 방법에 있어서,
    상기 흡인고정부재에 의하여 상기 기판을 흡인하여 지지시킬 때에 상기 테이블의 표면과 상기 흡인고정부재 사이의 거리를 상기 흡인고정부재의 복수의 장소에서 변화시킴으로써 상기 흡인고정부재의 경사와 상기 테이블의 표면으로부터의 거리를 조정하는 것을 특징으로 하는 흡인지지 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005049287A1 (ja) 2003-11-21 2005-06-02 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. 真空吸着ヘッド、その真空吸着ヘッドを用いた真空吸着装置及びテーブル
TW201134778A (en) * 2010-04-08 2011-10-16 Tae Sung Eng Co Ltd Apparatus for transferring of glass panel
JP2014135332A (ja) * 2013-01-09 2014-07-24 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 吸着反転装置
CN104465449B (zh) * 2013-09-18 2017-08-29 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种旋转交换手自适应保护装置及其保护方法
CN103753589A (zh) * 2013-12-25 2014-04-30 江苏中科机器人科技有限公司 一种机器人的吸盘抓手
KR20160042508A (ko) * 2014-10-10 2016-04-20 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 진공 흡착 헤드 및 그를 사용하는 진공 흡착 장치
CN106087015B (zh) * 2016-07-01 2018-05-15 广州明毅电子机械有限公司 一种电镀设备自动下板机
CN106541414A (zh) * 2016-10-17 2017-03-29 苏州科维新型包装有限公司 一种夹手
CN106429432B (zh) * 2016-10-31 2019-02-22 高贯铭 一种木板材上料机及方法
CN107150350B (zh) * 2017-05-25 2019-07-12 东莞质研工业设计服务有限公司 设有阻隔墙的吸盘安装板
JP7033303B2 (ja) 2018-01-31 2022-03-10 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板搬送装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4335980C2 (de) * 1993-10-21 1998-09-10 Wacker Siltronic Halbleitermat Verfahren zum Positionieren einer Werkstückhalterung
JPH08264995A (ja) * 1995-03-28 1996-10-11 Toshiba Fa Syst Eng Kk 吸着ヘッド
CN1141813A (zh) * 1995-07-28 1997-02-05 徐正泰 保持水平的乒乓球台
JPH10107495A (ja) * 1996-09-26 1998-04-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品装着装置
JPH10249771A (ja) * 1997-03-05 1998-09-22 Kanto Auto Works Ltd プレス機用ワーク搬送装置
JP4048592B2 (ja) * 1998-04-03 2008-02-20 ソニー株式会社 露光装置
JP4262389B2 (ja) * 2000-06-01 2009-05-13 本田技研工業株式会社 ワーク取出し方法

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