KR20160042508A - 진공 흡착 헤드 및 그를 사용하는 진공 흡착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉하여 진공 흡착되는 흡착 패드; 일단부가 흡착 패드에 연결되어 흡착 패드를 지지하고, 내부에 흡착 패드 내의 기체를 흡배기하기 위한 흡배기 통로가 형성되는 흡착 샤프트; 흡착 샤프트가 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 내부 공간을 구비하는 하우징부; 하우징부 내에서 흡착 샤프트를 하우징부의 축방향으로 탄성 지지하는 탄성 지지부; 및 하우징부의 일측에 마련되어 흡착 샤프트의 이동을 제한하여 고정시키거나 고정 해제하는 샤프트 고정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 헤드를 제공하여, 흡착 패드가 흡착 대상물을 안정적으로 진공 흡착할 수 있도록 완충 기능을 가지면서도 흡착 대상물의 반송 시 진동 발생을 억제할 수 있어 흡착 대상물의 반송을 안정적으로 할 수 있고 반송 시 흡착 대상물의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

진공 흡착 헤드 및 그를 사용하는 진공 흡착 장치{VACUUM SUCTION HEAD AND VACUUM SUCTION APPARATUS USING THE SAME}
본 발명은 진공 흡착 헤드 및 그를 사용하는 진공 흡착 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 글라스 기판 등의 흡착 대상물을 흡착하여 반송할 때 사용하는 진공 흡착 헤드 및 그를 사용하는 진공 흡착 장치에 관한 것이다.
흡착 대상물의 일례인 액정표시 패널은, 스페이서(spacer)에 의해 유지되는 두 장의 글라스 기판 사이의 갭(gap)에 액정이 주입된 것이다. 개개의 표시장치에 사용되는 액정표시 패널은 그 용도에 따라 다양한 크기로 제작된다. 특히 텔레비전 수상기용이나 모니터용의 액정표시 패널은 시간이 지날수록 대형화되고 있어, 액정표시 패널에 사용되는 글라스 기판도 해마다 대형화되고 또한 얇아지게 되는 경향을 나타낸다.
액정표시 패널 기판은, 대형의 마더(mother) 액정표시 패널 기판을 절단함으로써 다수 개가 동시에 제조된다. 이러한 대형의 마더 액정표시 패널 기판을 절단하여 액정표시 패널 기판을 제조하는 공정에서는, 액정표시 패널 기판을 흡착하여 각각의 공정으로 반송하기 위하여 진공 흡착 장치가 사용된다. 이러한 진공 흡착 장치는 1개 또는 복수의 흡착 패드를 구비하고 있다.
대형의 마더 액정표시 패널 기판을 반송하기 위해서는, 복수의 흡착 패드를 구비한 진공 흡착 장치가 사용된다. 이때 진공 흡착 장치는 대형의 기판 면과 각각의 흡착 패드 사이에서 발생될 수 있는 높이 편차에 관계없이 각각의 흡착 패드가 기판을 안정적으로 진공 흡착할 수 있어야 한다. 이를 위하여, 종래의 진공 흡착 장치에서는 진공 흡착 헤드 내부에 탄성부재를 사용하여 흡착 패드와 기판 사이의 미량의 편차를 극복하고 안정적으로 기판을 흡착할 수 있도록 하였다.
그러나, 이러한 종래의 진공 흡착 장치에 있어서는, 스크라이브(scribe) 공정을 마친 대형의 마더 액정표시 패널 기판을 다음 공정으로 반송하는 경우에 탄성부재의 탄성과 기판의 처짐 등에 의하여 상하 방향 진동이 발생될 수 있으며, 이에 의하여 각 액정표시 패널 기판의 절단면에서 상호 긁힘으로 인한 치핑(chipping) 등의 손상이 발생되는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 2006-0126485호
이에, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 흡착 패드가 흡착 대상물을 안정적으로 진공 흡착할 수 있도록 완충 기능을 가지면서도 흡착 대상물의 반송 시 진동 발생을 억제할 수 있는 진공 흡착 헤드 및 그를 사용하는 진공 흡착 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉하여 진공 흡착되는 흡착 패드; 일단부가 상기 흡착 패드에 연결되어 상기 흡착 패드를 지지하고, 내부에 상기 흡착 패드 내의 기체를 흡배기하기 위한 흡배기 통로가 형성되는 흡착 샤프트; 상기 흡착 샤프트가 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 내부 공간을 구비하는 하우징부; 상기 하우징부 내에서 상기 흡착 샤프트를 상기 하우징부의 축방향으로 탄성 지지하는 탄성 지지부; 및 상기 하우징부의 일측에 마련되어 상기 흡착 샤프트의 이동을 제한하여 고정시키거나 고정 해제하는 샤프트 고정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 헤드를 제공한다.
상기 샤프트 고정 유닛은, 상기 하우징부의 일측에 상기 흡착 샤프트를 향하여 이동 가능하게 마련되어 상기 흡착 샤프트를 가압하는 패드부; 및 상기 패드부의 일단부와 연결되어 상기 패드부를 상기 흡착 샤프트에 접근 또는 이격되는 방향으로 이동시키는 실린더를 포함할 수 있다.
상기 패드부는, 상기 흡착 샤프트와 접촉되는 부분이 상기 흡착 샤프트의 외면의 형상과 대응되는 형상으로 마련될 수 있다.
상기 패드부는, 상기 흡착 샤프트와 접촉되는 부분이 탄성재질로 마련될 수 있다.
상기 진공 흡착 헤드는, 상기 하우징부의 내부 공간에서 상기 흡착 샤프트와 상기 하우징부 사이에 개재되어 상기 흡착 샤프트가 상기 하우징부의 내부 공간에서 상기 하우징부의 축방향으로 직선 이동하도록 가이드하는 가이드부재를 더 포함할 수 있다.
상기 가이드부재는, 미리 정해진 간격으로 2개 이상이 마련될 수 있다.
상기 탄성 지지부는, 일부분이 상기 흡착 샤프트에 연결되어 상기 흡착 샤프트의 이동에 따라 상기 하우징부의 내부에서 상기 하우징부의 축방향으로 탄성 가압되는 스프링 부재일 수 있다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉하여 진공 흡착되는 흡착 패드와, 일단부가 상기 흡착 패드에 연결되어 상기 흡착 패드를 지지하고, 내부에 상기 흡착 패드 내의 기체를 흡배기하기 위한 흡배기 통로가 형성되는 흡착 샤프트와, 상기 흡착 샤프트가 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 내부 공간을 구비하는 하우징부와, 상기 하우징부 내에서 상기 흡착 샤프트를 상기 하우징부의 축방향으로 탄성 지지하는 탄성 지지부와, 상기 하우징부의 일측에 마련되어 상기 흡착 샤프트의 이동을 제한하여 고정시키거나 고정 해제하는 샤프트 고정 유닛을 포함하는 진공 흡착 헤드를 적어도 하나 구비하고, 상기 진공 흡착 헤드를 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉시켜 진공 흡착하는 진공 흡착 장치를 제공한다.
상기 진공 흡착 장치는, 복수의 상기 진공 흡착 헤드가 미리 정해진 간격으로 배치되는 핸드 바디; 및 상기 핸드 바디와 연결되어 상기 핸드 바디 상의 진공 흡착 헤드가 흡착 대상물에 접근 또는 이격되도록 상기 핸드 바디를 이동시키는 핸드 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 진공 흡착 장치는, 상기 진공 흡착 헤드가 상기 흡착 대상물과 접촉하여 진공 흡착되면 상기 샤프트 고정 유닛을 구동하여 상기 흡착 샤프트를 고정시키도록 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 진공 흡착 헤드 및 그를 사용하는 진공 흡착 장치에 따르면, 흡착 패드가 흡착 대상물을 안정적으로 진공 흡착할 수 있도록 완충 기능을 가지면서도 흡착 대상물의 반송 시 진동 발생을 억제할 수 있어 흡착 대상물의 반송을 안정적으로 할 수 있고 반송 시 흡착 대상물의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 헤드의 사시도이다.
도 2는 도 1의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 진공 흡착 헤드의 종단면도이다.
도 4는 도 1의 진공 흡착 헤드의 평면도이다.
도 5는 도 1의 진공 흡착 헤드를 사용하는 진공 흡착 장치의 사시도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 통상의 기술자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
도 1 내지 도 4를 참조하여 살펴보면, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 헤드(100)는, 흡착 패드(110), 흡착 샤프트(120), 하우징부(130), 탄성 지지부(140), 샤프트 고정 유닛(150)을 포함한다.
흡착 패드(110)는, 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉하여 진공 흡착된다. 흡착 패드(110)는 바닥면이 평면인 수지제로 형성되어, 흡착 대상물의 흡착면에 평평하게 흡착된 상태를 유지한다. 흡착 패드(110)의 외측에는 흡착 패드(110)를 감싸도록 마련되어 흡착 패드(110)를 지지하는 패드 하우징(115)이 결합된다.
흡착 샤프트(120)는, 관 형상으로 마련되며, 일단부가 흡착 패드(110)에 연결되어 흡착 패드(110)를 지지하고, 내부에 흡착 패드(110) 내의 기체를 흡배기하기 위한 흡배기 통로(121)가 형성된다. 흡착 샤프트(120)의 흡배기 통로(121)의 일단부는 흡착 패드(110)의 내부와 연통되고, 타단부에는 진공 호스(vacuum hose; 미도시)가 연결되는 진공 호스 연결부(125)가 연결된다.
하우징부(130)는, 흡착 샤프트(120)를 수용하며 흡착 샤프트(120)가 그 길이 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 내부 공간을 구비한다.
탄성 지지부(140)는, 하우징부(130) 내에서 흡착 샤프트(120)를 하우징부(130)의 축방향(흡착 샤프트(120)의 길이 방향, 도 3에서 상하 방향)으로 탄성 지지한다. 즉, 탄성 지지부(140)는 하우징부(130) 내에서 흡착 샤프트(120)가 그 길이 방향으로 슬라이딩 이동되면 탄성 가압된 후, 흡착 샤프트(120)가 원위치로 복귀되도록 복원 탄성력을 제공한다.
본 실시예에서, 탄성 지지부(140)는, 일부분이 흡착 샤프트(120)에 연결되어 흡착 샤프트(120)의 이동에 따라 하우징부(130)의 내부에서 하우징부(130)의 축방향으로 탄성 가압되는 스프링 부재이며, 코일 스프링 등으로 마련된다. 흡착 샤프트(120)가 하우징부(130)의 내부 공간에서 하우징부(130)의 축방향으로 움직일 때 탄성 지지부(140)는 스토퍼(145)와 접촉하면서 탄성 가압되며, 이는 흡착 패드(110)가 흡착 대상물을 진공 흡착할 때에 복수의 흡착 패드(110)가 동일 평면 상에 위치되도록 완충하는 기능을 제공한다.
샤프트 고정 유닛(150)은, 하우징부(130)의 일측에 마련되어 흡착 샤프트(120)의 이동을 제한하여 고정시키거나 고정 해제한다.
도 1, 도 2 및 도 4를 참조하여 살펴보면, 본 실시예에서, 샤프트 고정 유닛(150)은, 하우징부(130)의 일측에 흡착 샤프트(120)를 향하여 이동 가능하게 마련되어 흡착 샤프트(120)를 가압하는 패드부(151)와, 패드부(151)의 일단부와 연결되어 패드부(151)를 흡착 샤프트(120)에 접근 또는 이격되는 방향으로 이동시키는 실린더(152)를 포함한다.
패드부(151)는, 흡착 샤프트(120)의 길이 방향과 교차되는 방향으로 흡착 샤프트(120)에 접근 또는 이격 가능하게 마련된다. 샤프트 고정 유닛(150)이 흡착 샤프트(120)의 이동을 제한하여 고정시키려 할 때는, 패드부(151)가 흡착 샤프트(120)의 외면에 접촉하여 흡착 샤프트(120)를 가압함으로써 흡착 샤프트(120)를 고정시킨다. 흡착 샤프트(120)의 이동 제한을 해제하려할 때에는, 패드부(151)가 흡착 샤프트(120)로부터 이격된다.
패드부(151)는, 흡착 샤프트(120)와 접촉되는 부분이 흡착 샤프트(120)의 외면의 형상과 대응되는 형상으로 마련된다. 이로 인해서 흡착 샤프트(120)의 이동 제한시 패드부(151)는 흡착 샤프트(120)에 밀착되는 접촉면이 증가하여 흡착 샤프트(120)를 효과적으로 고정시킬 수 있다.
또한, 패드부(151)는 흡착 샤프트(120)와 접촉되는 부분이 고무 등의 탄성재질로 마련된다. 이로 인하여, 패드부(151)와 흡착 샤프트(120) 사이의 접촉 마찰력이 증가되고, 패드부(151)가 흡착 샤프트(120)를 가압할 때에 무리한 힘이 가해지지 않도록 완충되는 효과가 있다.
실린더(152)는, 패드부(151)와 연결되어 패드부(151)를 흡착 샤프트(120)를 향하여 접근 또는 이격되는 방향으로 구동시킨다. 실린더(152)는, 공압 또는 유압 실린더(152)로 마련될 수 있다.
한편, 본 실시예의 진공 흡착 헤드(100)는, 하우징부(130)의 내부 공간에서 흡착 샤프트(120)와 하우징부(130) 사이에 개재되어 흡착 샤프트(120)가 하우징부(130)의 내부 공간에서 하우징부(130)의 축방향으로 직선 이동하도록 가이드하는 가이드부재(160)를 더 포함한다. 즉, 가이드부재(160)는 하우징부(130)의 내부 공간에 마련되어 흡착 샤프트(120)가 하우징부(130)의 축방향으로만 이동될 수 있도록 가이드한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 가이드부재(160)는, 미리 정해진 간격으로 2개 이상이 마련된다. 이에 의하여, 흡착 샤프트(120)가 하우징부(130)의 내부 공간에서 하우징부(130)의 축방향으로만 움직일 수 있어 횡방향 진동이 방지된다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 장치(1)는, 상술한 진공 흡착 헤드(100)를 적어도 하나 구비하고, 진공 흡착 헤드(100)를 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉시켜 진공 흡착함으로써 흡착 대상물을 반송시킨다.
구체적으로, 도 5를 참조하면, 본 실시예의 진공 흡착 장치(1)는, 상술한 진공 흡착 헤드(100) 외에, 핸드 바디(200), 핸드 구동부(300) 및 제어부를 더 포함한다.
핸드 바디(200)는, 복수의 진공 흡착 헤드(100)가 미리 정해진 간격으로 배치되는 베이스 프레임으로, 핸드 바디(200)에 장착된 복수의 진공 흡착 헤드(100)는 핸드 바디(200)의 이동에 따라 핸드 바디(200)와 일체로 함께 움직인다.
핸드 구동부(300)는, 핸드 바디(200)와 연결되어 핸드 바디(200) 상의 진공 흡착 헤드(100)가 흡착 대상물에 접근 또는 이격되도록 핸드 바디(200)를 이동시킨다. 즉, 핸드 구동부(300)는 도 5에서와 같이 흡착 대상물이 아래에 배치되는 경우 핸드 바디(200)를 상하 방향으로 구동시킨다. 이 외에도, 핸드 구동부(300)는 흡착 대상물의 반송을 위하여 핸드 바디(200)를 수평 방향으로 구동시킬 수 있다.
제어부는, 진공 흡착 헤드(100)가 흡착 대상물과 접촉하여 진공 흡착되면 샤프트 고정 유닛(150)을 구동하여 흡착 샤프트(120)를 고정시키도록 제어한다. 즉, 제어부는 샤프트 고정 유닛(150)의 실린더(152)를 구동하여 패드부(151)가 흡착 샤프트(120)를 가압 또는 가압 해제하도록 제어한다. 이 외에도, 제어부는 핸드 구동부(300)의 구동과, 흡착 패드(110) 내의 공기에 대한 흡배기 등을 제어한다.
이러한 구성을 갖는 진공 흡착 헤드(100) 및 그를 사용하는 진공 흡착 장치(1)의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 반송하고자 하는 흡착 대상물을 진공 흡착하기 위하여, 핸드 구동부(300)는 진공 흡착 헤드(100)의 흡착 패드(110)가 흡착 대상물에 접촉되도록 핸드 바디(200)를 흡착 대상물을 향하여 이동시킨다.
복수의 진공 흡착 헤드(100) 각각에서 흡착 패드(110)가 흡착 대상물에 접촉되는 시점에는 편차가 존재할 수 있으나, 핸드 구동부(300)는 모든 흡착 패드(110)가 흡착 대상물에 충분히 접촉되도록 핸드 바디(200)를 이동시킨다. 흡착 패드(110)가 흡착 대상물과 접촉하여 가압되면, 흡착 패드(110)와 연결되는 흡착 샤프트(120)가 하우징부(130) 내에서 하우징부(130)의 축 방향으로 이동된다. 이때 흡착 샤프트(120)는 하우징부(130) 내부에 마련되는 탄성 지지부(140)에 의하여 탄성 지지됨으로써, 흡착 패드(110)는 탄성 지지부(140)의 탄성 복원력에 의하여 흡착 대상물에 가압 밀착될 수 있다. 즉, 흡착 패드(110)가 흡착 대상물에 밀착될 때에, 하우징부(130) 내부에 마련되는 탄성 지지부(140)는 흡착 패드(110)가 흡착 대상물에 충분히 밀착될 수 있도록 완충 기능을 제공한다.
핸드 구동부(300)의 구동에 의하여 흡착 패드(110)가 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉되면, 흡착 패드(110)와 연결되는 흡착 샤프트(120)의 흡배기 통로(121)를 통하여 흡착 패드(110) 내의 기체가 진공 호스로 배기되면서 흡착 패드(110) 내부가 진공에 가까운 상태가 되어 흡착 대상물을 진공 흡착한다. 진공 호스와 연결되는 진공 흡입 장치(미도시)의 작동은 제어부에 의하여 제어된다.
흡착 대상물이 흡착 패드(110)에 진공 흡착된 상태에서, 진공 흡착 헤드(100)의 샤프트 고정 유닛(150)에 의하여 흡착 샤프트(120)의 이동이 제한된다. 구체적으로, 흡착 대상물이 흡착 패드(110)에 진공 흡착된 상태에서, 제어부는 샤프트 고정 유닛(150)의 실린더(152)를 구동하여 패드부(151)가 흡착 샤프트(120)의 외면을 가압하도록 함으로써, 흡착 샤프트(120)의 이동을 제한하여 고정시킨다.
흡착 샤프트(120)가 고정된 상태에서, 핸드 구동부(300)는 핸드 바디(200)를 구동하여 흡착 패드(110)에 진공 흡착된 흡착 대상물을 반송한다. 흡착 대상물이 진공 흡착 헤드(100)에 진공 흡착되어 반송될 때에 흡착 샤프트(120)가 고정된 상태를 유지함으로써, 흡착 대상물에 발생하는 진동이 방지될 수 있다. 따라서, 진동으로 인하여 발생하는 긁힘, 치핑 등의 불량 발생이 방지될 수 있다.
흡착 대상물의 반송이 완료되면, 상술한 진공 흡착 과정의 역순으로 흡착 대상물을 흡착 해제하고, 다시 새로운 흡착 대상물의 반송을 반복한다.
이와 같이, 본 발명의 진공 흡착 헤드(100) 및 그를 사용하는 진공 흡착 장치(1)에 의하면, 흡착 패드(110)가 흡착 대상물을 안정적으로 진공 흡착할 수 있도록 완충 기능을 가지면서도 흡착 대상물의 반송 시 진동 발생을 억제할 수 있어, 흡착 대상물의 반송을 안정적으로 할 수 있고 반송 시 흡착 대상물의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 일례로서 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 권리 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 권리 범위는 특허 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1 : 진공 흡착 장치
100 : 진공 흡착 헤드
110 : 흡착 패드
115 : 패드 하우징
120 : 흡착 샤프트
121 : 흡배기 통로
125 : 진공 호스 연결부
130 : 하우징부
140 : 탄성 지지부
145 : 스토퍼
150 : 샤프트 고정 유닛
151 : 패드부
152 : 실린더
160 : 가이드부재
200 : 핸드 바디
300 : 핸드 구동부

Claims (10)

  1. 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉하여 진공 흡착되는 흡착 패드;
    일단부가 상기 흡착 패드에 연결되어 상기 흡착 패드를 지지하고, 내부에 상기 흡착 패드 내의 기체를 흡배기하기 위한 흡배기 통로가 형성되는 흡착 샤프트;
    상기 흡착 샤프트가 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 내부 공간을 구비하는 하우징부;
    상기 하우징부 내에서 상기 흡착 샤프트를 상기 하우징부의 축방향으로 탄성 지지하는 탄성 지지부; 및
    상기 하우징부의 일측에 마련되어 상기 흡착 샤프트의 이동을 제한하여 고정시키거나 고정 해제하는 샤프트 고정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 샤프트 고정 유닛은,
    상기 하우징부의 일측에 상기 흡착 샤프트를 향하여 이동 가능하게 마련되어 상기 흡착 샤프트를 가압하는 패드부; 및
    상기 패드부의 일단부와 연결되어 상기 패드부를 상기 흡착 샤프트에 접근 또는 이격되는 방향으로 이동시키는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 헤드.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 패드부는,
    상기 흡착 샤프트와 접촉되는 부분이 상기 흡착 샤프트의 외면의 형상과 대응되는 형상으로 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 헤드.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 패드부는,
    상기 흡착 샤프트와 접촉되는 부분이 탄성재질로 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 헤드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 하우징부의 내부 공간에서 상기 흡착 샤프트와 상기 하우징부 사이에 개재되어 상기 흡착 샤프트가 상기 하우징부의 내부 공간에서 상기 하우징부의 축방향으로 직선 이동하도록 가이드하는 가이드부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 헤드.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 가이드부재는,
    미리 정해진 간격으로 2개 이상이 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 헤드.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 탄성 지지부는,
    일부분이 상기 흡착 샤프트에 연결되어 상기 흡착 샤프트의 이동에 따라 상기 하우징부의 내부에서 상기 하우징부의 축방향으로 탄성 가압되는 스프링 부재인 것을 특징으로 하는 진공 흡착 헤드.
  8. 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉하여 진공 흡착되는 흡착 패드와, 일단부가 상기 흡착 패드에 연결되어 상기 흡착 패드를 지지하고, 내부에 상기 흡착 패드 내의 기체를 흡배기하기 위한 흡배기 통로가 형성되는 흡착 샤프트와, 상기 흡착 샤프트가 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 내부 공간을 구비하는 하우징부와, 상기 하우징부 내에서 상기 흡착 샤프트를 상기 하우징부의 축방향으로 탄성 지지하는 탄성 지지부와, 상기 하우징부의 일측에 마련되어 상기 흡착 샤프트의 이동을 제한하여 고정시키거나 고정 해제하는 샤프트 고정 유닛을 포함하는 진공 흡착 헤드를 적어도 하나 구비하고,
    상기 진공 흡착 헤드를 흡착 대상물의 흡착되는 면에 접촉시켜 진공 흡착하는 진공 흡착 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    복수의 상기 진공 흡착 헤드가 미리 정해진 간격으로 배치되는 핸드 바디; 및
    상기 핸드 바디와 연결되어 상기 핸드 바디 상의 진공 흡착 헤드가 흡착 대상물에 접근 또는 이격되도록 상기 핸드 바디를 이동시키는 핸드 구동부를 더 포함하는 진공 흡착 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 진공 흡착 헤드가 상기 흡착 대상물과 접촉하여 진공 흡착되면 상기 샤프트 고정 유닛을 구동하여 상기 흡착 샤프트를 고정시키도록 제어하는 제어부를 더 포함하는 진공 흡착 장치.
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