JP2011037549A - ガラス基板吸着保持装置およびそれを用いたガラス基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス基板を高速で搬送しても、吸着パッドの首部を破損させたり、吸着保持するガラス基板に変形を生じさせたりすることのないガラス基板吸着保持装置およびそれを用いたガラス基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板吸着保持装置は、吸着パッド１０の縁面３の周囲のベースの表面１ａを弾性シート５で覆い、ベースの表面１ａから測ったときの、弾性シート表面５ａの高さを、縁面３より低く、かつ、基部内面２ａより高くする。
【選択図】図７

Description

本発明は、ガラス基板を吸着する吸着パッドの１個以上と、この吸着パッドを取り付けるベースとを具え、吸着パッドは、弾性体よりなる、ベースに取り付けられる基部と、基部からガラス基板に密着する縁面まで末広がりに広がるコーン部とよりなり、ガラス基板と、コーン部内面と、基部内面とで囲まれる空間をガラス基板が基部内面に当接するまで負圧にすることにより、ガラス基板を吸着するよう構成されたガラス基板吸着保持装置に関し、特に、その耐久性を確保することができるものに関する。

ガラス基板は割れやすいワークなのでこれを搬送するに際しては、これを保持するための装置として吸着パッドがよく用いられる。図１に断面図で示すように、このような吸着パット１０は、ベース１に取り付けられる基部２と、この基部２からガラス基板１１に密着する縁面３まで末広がりに広がりコーン部４とで構成され、ガラス基板１１と、コーン部４の内面４ａとで囲まれる空間６を、図２に断面図で示すように、ガラス基板１１が基部内面２ａに当接するまで負圧にすることにより、ガラス基板１１を吸着するよう作用する。

ガラス基板１１を高速で搬送しようとすると、加減速時の慣性力によってガラス基板１１が吸着パッド１０から離脱したり滑ったりしやすくなるので、吸着力を高める必要があるが、この問題に対処する手段として、弾性パッドの基部内面２に溝を設け負圧になる空間のガラス基板１１に接触する部分の面積、すなわち吸着面積を増加させたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。しかしながら、この場合、ガラス基板１１は、それが吸着される箇所とそうでない箇所との間での応力の差により歪みが残ってしまう虞があり、別の対処方法として、コーン部４を広げて吸着面を増やす方法も提案されている。しかし、この場合には、ガラス基板１１を高速で搬送する場合の加減速時の慣性力によって、ベース１に取り付けられている吸着パッド１０の基部２、または、基部２をベース１とに設けるのに用いられる継ぎ手部分（合わせて、以下首部という）に大きな応力が集中し、このときの首部のたわみによって吸着パッドが大きく搬送方向に傾斜し、このことによって、吸着保持されているガラス基板１１の変形を招いたり、首部が破損したりする等の問題があった。

特開２００３−０９４３７０号公報

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、ガラス基板を高速で搬送しても、吸着パッドの首部を破損させたり、吸着保持するガラス基板に変形を生じさせたりすることのないガラス基板吸着保持装置およびそれを用いたガラス基板搬送装置を提供することを目的とする。

＜１＞は、ガラス基板を吸着する吸着パッドの１個以上と、この吸着パッドを取り付けるベースとを具え、吸着パッドは、弾性体よりなる、ベースに取り付けられる基部と、基部からガラス基板に密着する縁面まで末広がりに広がるコーン部とよりなり、ガラス基板と、コーン部内面と、基部内面とで囲まれる空間をガラス基板が基部内面に当接するまで負圧にすることにより、ガラス基板を吸着するよう構成されたガラス基板吸着保持装置において、
前記縁面の周囲のベースの表面を弾性シートで覆い、ベースの表面から測ったときの、弾性シート表面の高さを、縁面より低く、かつ、基部内面２ａより高くしたことを特徴とするガラス基板吸着保持装置である。

＜２＞は、＜１＞のガラス基板吸着保持装置を往復移動させるスライダーと、ガラス基板を、エアーを介して支持するエアーテーブルとを具えたガラス基板搬送装置である。

＜３＞は、＜２＞において、前記エアーテーブルの複数本と前記スライダーの１本とを、前記往復移動方向と平行に延在させて配設し、このスライダーをそれらのエアーテーブルの間に配置したことを特徴とするガラス基板搬送装置である。

＜１＞によれば、前記吸着面の周囲のベースの表面を弾性シートで覆い、ベースの表面から弾性シート表面までの高さを、吸着面より低く、基部内面より高くしたので、吸着時は、弾性シートとガラス基板とが弾性シートの弾性力で押し合いながら接触しており、加減速時の慣性力によってベースとガラス基板とが加減速方向にずれようとするのを、ガラス基板とが弾性シートの摩擦力により止めることができ、その結果、吸着パッドの首部を破損させたり、吸着保持するガラス基板に変形を生じさせたりすることを防止することができる。

＜２＞によれば、＜１＞のガラス基板吸着保持装置を往復移動させるスライダーを具えるので、＜１＞と同様の効果を奏することができる。

＜３＞によれば、前記エアーテーブルの複数本と前記スライダーの１本とを、前記往復移動方向と平行に延在させて配設し、このスライダーをそれらのエアーテーブルの間に配置したので、詳細を後述するように、スライダー、エアーテーブルの設置にかかる手間を簡素化することができる。

未吸着の状態における吸着パッドを示す断面図である。 吸着した状態における吸着パッドを示す断面図である。 本発明に係る実施形態のガラス基板搬送装置を示す斜視図である。 ガラス基板搬送装置を示す平面図である。 図４のＡ−Ａ矢視に対応する断面図である。 ガラス基板吸着保持装置を示す平面図および断面図である。 弾性シートと吸着パッドとの高さ関係を示す断面図である。

本発明に係る実施形態のガラス基板吸着保持装置およびそれを用いたガラス基板搬送装置について図を参照して以下に説明する。図３は、実施形態のガラス基板搬送装置を示す斜視図であり、図４は、その平面図、そして、図５は、図４のＡ−Ａ矢視に対応する断面図であり、ガラス基板搬送装置３０は、ガラス基板１１を吸着保持するガラス基板吸着保持装置２０Ａ、２０Ｂを往復移動させるスライダー３１と、ガラス基板１１を、エアーを介して支持するエアーテーブル２２とを具えている。

図示の場合、ガラス基板吸着保持装置２０Ａ、２０Ｂを左から右に移動させることにより、受入れステーション１４に載置され、ガラス基板吸着保持装置２０Ａに吸着保持されたガラス基板１１は、受入れステーション１４から作業ステーション１５に搬送されると同時に、作業ステーション１５で作業を終えて待機中のガラス基板１１は、ガラス基板吸着保持装置２０Ｂに吸着保持されて排出ステーション１６に搬送される。
このあと、ガラス基板吸着保持装置２０Ａは、作業ステーション１５でガラス基板１１を開放したあと、受入れステーション１４に戻るとともに、ガラス基板吸着保持装置２０Ｂも、排出ステーション１６でガラス基板１１を開放したあと、作業ステーション１５に戻る。

ここで、前記エアーテーブル３２の複数本と前記スライダー３１の１本とを、前記往復移動方向と平行に延在させて配設し、このスライダー３１をそれらのエアーテーブル３２の間に配置するのが好ましい。エアーテーブルを挟んだ両側にスライダーが配置されていた従来技術においては、剛体同士を同期させて平行に移動させる必要があるため、スライダーとエアーテーブルの平面度と平行度、および、各スライダー同士の平面度と平行度とを調整する必要があったが、この実施態様においては、スライダー３１とエアーテーブル３２の上面の平行合わせだけで済ませることができ、しかも、高精度の搬送を可能とすることができる。

図６は、ガラス基板吸着保持装置２０Ａ、２０Ｂを示す断面図であり、ガラス基板吸着保持装置２０Ａ、２０Ｂは、ガラス基板１１を吸着する吸着パッド１０の１個以上（図示の場合２個）と、この吸着パッド１０を取り付けるをベース１とを具える。吸着パッド１０は、先に、図１、２を参照して説明した通り、ベース１に取り付けられる基部２と、この基部２からガラス基板１１に密着する縁面３まで末広がりに広がりコーン部４とで構成され、ガラス基板１１と、コーン部４の内面４ａとで囲まれる空間６を、ガラス基板１１が基部内面２ａに当接するまで負圧にすることにより、ガラス基板１１を吸着するように構成されている。

本発明のガラス基板吸着保持装置２０Ａ、２０Ｂは、その特徴として、縁面３の周囲のベースの表面１ａを弾性シート５で覆い、図７に、弾性シートと吸着パッドとの高さ関係を断面図で示すように、ベースの表面１ａから測ったときの、弾性シート表面５ａまでの高さａを、縁面３の高さｂより低く、かつ、基部内面２ａの高さｃより高くなるよう構成されていて、この構成により、吸着時は、弾性シート５とガラス基板１１とが弾性シート５の弾性力で押し合いながら接触しており、加減速時の慣性力によってベース１とガラス基板１１とが加減速方向にずれようとするのを、ガラス基板１１とが弾性シート５の摩擦力により止めることができ、その結果、吸着パッド１０の首部を破損させたり、吸着保持するガラス基板１１に変形を生じさせたりすることを防止することができる。

１ ベース
１ａ ベースの表面
２ 吸着パッドの基部
２ａ 基部内面
３ 縁面
４ 吸着パッドのコーン部
５ 弾性シート
５ａ 弾性シートの表面
６ 空間
１０ 吸着パッド
１１ ガラス基板
１４ 受入れステーション
１５ 作業ステーション
１６ 排出ステーション
２０Ａ、２０Ｂ ガラス基板吸着保持装置
２２ エアーテーブル
３０ ガラス基板搬送装置
３１ スライダー

Claims (3)

1. ガラス基板を吸着する吸着パッドの１個以上と、この吸着パッドを取り付けるベースとを具え、吸着パッドは、弾性体よりなる、ベースに取り付けられる基部と、基部からガラス基板に密着する縁面まで末広がりに広がるコーン部とよりなり、ガラス基板と、コーン部内面と、基部内面とで囲まれる空間をガラス基板が基部内面に当接するまで負圧にすることにより、ガラス基板を吸着するよう構成されたガラス基板吸着保持装置において、
   前記縁面の周囲のベースの表面を弾性シートで覆い、ベースの表面から測ったときの、弾性シート表面の高さを、縁面より低く、かつ、基部内面より高くしたことを特徴とするガラス基板吸着保持装置。
2. 請求項１に記載のガラス基板吸着保持装置を往復移動させるスライダーと、ガラス基板を、エアーを介して支持するエアーテーブルとを具えたガラス基板搬送装置。
3. 前記エアーテーブルの複数本と前記スライダーの１本とを、前記往復移動方向と平行に延在させて配設し、このスライダーをそれらのエアーテーブルの間に配置したことを特徴とするガラス基板搬送装置。

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