KR20190093151A - 기판반송장치 및 기판흡착장치 - Google Patents

기판반송장치 및 기판흡착장치 Download PDF

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요시타카 니시오
키요시 타카마츠
츠토무 우에노
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 기판에 주름을 생기게 하는 일 없이 기판을 원활하게 반송하는 것이 가능한 기판반송장치 및 기판흡착장치를 제공한다.
[해결 수단] 기판을 흡착해서 반송하는 기판반송장치(1)로서, 기판(F)에 접근 및 이간되는 방향으로 변형 가능한 흡착부(10)와, 흡착부(10)를 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 기판(F)에 접근시키도록 흡착부(10)를 변형시키는 구동 기구(20)를 포함한다. 또한, 흡착부(10)는 중앙부에서부터 양단부로 향하는 방향으로 복수의 영역(10A) 내지 (10I)으로 구분되고, 구동 기구(20)는 흡착부(10)의 각 영역을 개별로 구동하는 복수의 구동부(200)를 구비한다.

Description

기판반송장치 및 기판흡착장치{SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS AND SUBSTRATE SUCKING APPARATUS}
본 발명은, 기판을 반송하는 기판반송장치 및 기판을 흡착하는 기판흡착장치에 관한 것이다.
취성 재료 기판을 반송하는 장치로서, 예를 들면, 특허문헌 1에 기재된 기판반송장치가 알려져 있다. 이 장치에서는, 테이블 표면과 흡착부 사이의 거리를 조절하기 위한 거리조절수단이, 흡착부의 복수 개소에 설치되어 있다. 거리조절수단에 의해 흡착부의 복수 개소에 있어서 흡착부와 테이블 표면의 거리를 조절하는 것에 의해, 테이블 표면에 대한 흡착부의 경사가 보정된다. 이것에 의해, 테이블에 재치(載置)된(즉, 얹어 놓여진) 기판의 표면을 전체 면에 걸쳐서 흡착부에 의해 흡착시킬 수 있다.
특허문헌 1의 구성에서는, 흡착부가 기판의 표면에 포개질 때에, 흡착부와 기판 사이에 공기가 유입되어, 기판에 주름이 생길 우려가 있다. 이러한 주름이 생기면, 기판의 품질이 저하되어 버린다. 또한, 기판과 흡착부 사이에 공기가 유입되면, 흡착부는 기판의 표면을 균일하게 흡착하는 것이 가능하지 않아, 기판의 반송이 곤란해질 경우가 있다.
이러한 과제를 감안해서, 본 발명은, 기판에 주름을 생기게 하는 일 없이 기판을 원활하게 반송하는 것이 가능한 기판반송장치 및 기판흡착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 양상은, 기판을 흡착해서 반송하는 기판반송장치에 관한 것이다. 이 양상에 따른 기판반송장치는, 기판에 접근 및 이간되는 방향으로 변형 가능한 흡착부와, 상기 흡착부를 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 상기 기판에 접근시키도록 상기 흡착부를 변형시키는 구동 기구를 구비하도록 구성된다.
이 구성에 따르면, 흡착부가 기판에 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 접근하므로, 흡착부가 기판에 포개질 때에, 흡착부와 기판 사이에 개재하는 공기는, 흡착부가 맞닿은 부분으로부터 기판의 양단부로 방출된다. 따라서, 기판과 흡착부 사이에, 공기굄이 생기지 않는다. 그 결과, 기판에 주름이 생기지 않아, 기판을 양호한 상태에서 원활하게 반송할 수 있다.
또한, 기판이 반송처에서 수수될 때, 기판은 기판 재치부에 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 접근하고, 기판과 기판 재치부가 포개진다. 전술한 바와 같이, 흡착부가 기판에 포개질 때와 마찬가지로, 기판과 기판 재치부 사이에 공기를 개재시키는 일 없이, 기판을 기판 재치부에 재치시킬 수 있다. 따라서, 기판과 기판 재치부 사이에, 공기굄이 생기지 않는다. 그 결과, 기판에 주름이 생기지 않고, 기판을 양호한 상태에서 반송처의 기판 재치부에 재치시킬 수 있고, 기판의 반송을 완료할 수 있다.
본 양상에 따른 기판반송장치에 있어서, 상기 흡착부는, 상기 중앙부에서부터 상기 양단부로 향하는 방향으로 복수의 영역으로 구분되고, 상기 구동 기구는, 상기 흡착부의 상기 각 영역을 개별로 구동하는 복수의 구동부를 갖도록 구성될 수 있다.
이 구성에 따르면, 각 구동부에 의해 각 영역을 구동하는 것에 의해, 흡착부를 중앙부에서부터 양단부로 향하는 방향으로 변형시킬 수 있다. 따라서, 흡착부를 기판의 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 접근시키는 동작이 원활하게 행해질 수 있다.
이 구성에 있어서, 상기 구동부는 에어 실린더일 수 있다.
이 구성에 따르면, 에어 실린더의 압력에 의해서, 흡착부의 각 영역을 기판에 적절하게 압압시킬 수 있다.
이 경우, 상기 구동 기구는, 상기 기판으로부터 벌어지는(즉, 멀어지는) 방향에 있어서 상기 영역의 이동을 규제하는 제1 스토퍼를 상기 영역마다 구비하고, 상기 영역을 상기 기판으로부터 벌어지는 방향으로 상기 에어 실린더가 구동되었을 경우에, 상기 중앙부에서부터 상기 양단부에 걸쳐서 상기 영역과 상기 기판 거리가 커지도록, 상기 각 영역에 대응하는 상기 제1 스토퍼가 조정되도록 구성될 수 있다.
이 구성에 따르면, 각 에어 실린더에 기판으로부터 벌어지는 방향의 압력을 부여하면, 제1 스토퍼에 의한 규제에 의해서, 기판의 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 기판과의 거리가 커지도록, 각 영역을 변위시킬 수 있다. 이것에 의해, 양단부에서부터 중앙부를 향해서 기판 쪽으로 불룩해지는 대략 원호 형상으로, 흡착부를 변형시킬 수 있다. 따라서, 기판을 흡착시킬 때에, 흡착부를 중앙부에서부터 양단부로 차례로 기판에 맞닿게 하기 쉬워진다. 또한, 이 구성에 따르면, 각 에어 실린더에 기판으로부터 벌어지는 방향의 압력을 부여하는 것만으로, 흡착부를 소정의 형상으로 변형시킬 수 있다. 또한, 제1 스토퍼의 규제 위치를 조정하는 것에 의해, 흡착부를 목적하는 형상으로 적절하게 변형시킬 수 있다.
본 양상에 따른 기판반송장치에 있어서, 상기 구동 기구는, 상기 중앙부에서부터 상기 양단부로 향하는 방향에 수직, 또한, 상기 기판에 대해서 평행한 지지축에 의해 상기 각 구동부를 회동 가능하게 지지하도록 구성될 수 있다.
이 구성에 따르면, 각 구동부가 각 영역을 기판으로부터 벌어지는 방향으로 이동시키면, 각 구동부가 회동하면서, 각 영역이 단부로 향하는 방향으로 기운다. 이것에 의해, 흡착부를 양단부에서부터 중앙부를 향해서 기판쪽으로 부푸는 매끈한 원호 형상으로 변형시킬 수 있다. 따라서, 각 영역을 기판에 접근시킬 경우에, 각 영역을 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 원활하게 기판에 맞닿게 할 수 있어, 흡착부와 기판 사이에 개재하는 공기를 적절하게 방출시킬 수 있다.
이 경우, 상기 구동 기구는, 상기 구동부의 회동을 소정 범위로 규제하는 제2 스토퍼를 구비하도록 구성될 수 있다.
이 구성에 따르면, 각 영역을 기판으로부터 벌어지게 할 경우에, 제2 스토퍼에 의해, 흡착부의 각 영역의 경사를 조절할 수 있다. 따라서, 흡착부의 형상을 소정의 곡률의 원호 형상으로 설정할 수 있다.
본 발명의 제2 양상은, 기판을 흡착하는 기판흡착장치에 관한 것이다. 이 양상에 따른 기판흡착장치는, 기판에 접근 및 이간되는 방향으로 변형 가능한 흡착부와, 상기 흡착부를 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 상기 기판에 접근시키도록 상기 흡착부를 변형시키는 구동 기구를 구비하도록 구성된다.
이 구성에 따르면, 예를 들면, 주름이 생긴 상태에서 기판을 재치시키기 위한 테이블 등, 즉, 기판 재치부에 재치되어 있는 기판이어도, 주름이 없는 상태에서 다시 재치시킬 수 있다. 구체적으로는, 흡착부가 기판에 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 접근해서 흡착하고, 일단 들어올린다. 그리고, 기판흡착장치가 기판을 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로, 기판 재치부에 재치시키는 것에 의해, 기판과 기판 재치부 사이에 공기를 개재시키는 일 없이, 기판을 재치시킬 수 있다. 따라서, 기판과 기판 재치부 사이에, 공기굄이 생기지 않는다. 그 결과, 기판에 주름이 생기지 않는 상태에서, 기판 재치부에 다시 재치시킬 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따르면, 기판에 주름을 생기게 하는 일 없이 기판을 양호한 상태에서 원활하게 반송하는 것이 가능한 기판반송장치 및 기판흡착장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 효과 또는 의의는, 이하에 나타낸 실시형태의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다. 단, 이하에 나타낸 실시형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은, 이하의 실시형태에 기재된 것으로 하등 제한되는 것은 아니다.
도 1은 실시형태에 따른 기판반송장치의 외관 구성을 나타낸 사시도이다.
도 2는 실시형태에 따른 기판반송장치의 흡착부를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 일부 확대도이며, 실시형태에 따른 기판반송장치의 구동 기구를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4(a) 및 (b)는 실시형태에 따른 기판반송장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 5(a) 내지 (c)는 실시형태에 따른 기판반송장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 6(a) 내지 (c)는 실시형태에 따른 기판반송장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 7(a) 내지 (c)는 실시형태에 따른 기판반송장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 8은 실시형태에 따른 기판반송장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 9는 실시형태에 따른 기판반송장치의 동작의 순서도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 표기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직방향이다. Z축 플러스쪽이 위쪽이며, Z축 마이너스쪽이 아래쪽이다.
<실시형태>
유리 기판 및 세라믹스 기판 등의 취성 재료 기판이나, PET(폴리에틸렌테레프탈레이트 수지) 기판 및 폴리이미드 수지 기판 등의 수지 기판 등(이후, 단지 "기판"이라 칭함)은, 각종 처리를 거쳐서 최종제품이 된다. 이러한 처리로서, 예를 들면, 기판을 소정수의 분할 요소로 절단하는 처리나, 기판을 절단했을 경우에 생기는 단재(端材)를 제거하는 처리, 기판의 표면을 클리닝하는 처리 등이 있다. 기판은, 처리마다 소정의 스테이지로 반송되고, 처리가 종료되면 다음의 처리를 위하여 다른 스테이지로 반송된다. 실시형태에 따른 기판반송장치(1)는, 소정의 스테이지로부터 다음의 스테이지로 기판(F)을 반송할 때에 사용하는 장치이다.
기판의 종류에는, 예를 들면, 폴리이미드 수지, 폴리아마이드 수지, PET 등의 폴리에스터 수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀 수지, 폴리스타이렌, 폴리염화비닐 등의 폴리비닐 수지 등의 수지 기판 등의 유기질 기판(필름이나 시트도 포함한다. 이하 마찬가지), 유리 기판이나 세라믹스 기판 등의 취성 재료 기판 등의 무기질 기판이 있지만, 실시형태에 따른 기판반송장치(1)에 의해 반송되는 기판(F)은 수지 기판이다. 수지 기판은, 다른 기판이 적층되어 있어도 되고, 예를 들면, PET, 폴리이미드 수지, PET를 하층으로부터 이 순서로 적층시킨 기판으로 해도 된다.
기판반송장치(1)에 의해서 반송되는 기판(F)은, 브레이크 공정을 거쳐서 소정 방향으로 복수로 분할된 상태이어도 된다. 이러한 기판(F)은, 소정 방향으로 분할되고, 또한 소정 방향에 대해서 수직으로 분할되어도 되고, 분할된 기판(F)은, 격자 패턴으로 되어 있다. 이렇게 분할된 상태의 기판(F)에 있어서 "소정 방향"이란, X축 양의 방향으로서, 기판반송장치(1)가 기판(F)을 반송하는 방향과 일치한다.
[기판반송장치의 전체 구성]
도 1은 실시형태에 따른 기판반송장치(1)의 외관 구성을 나타낸 사시도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판반송장치(1)는, 기판 재치부(2)와, 압력 부여부(3)와, 프레임(4)과, 프레임(5)과, 흡착부(10)와, 구동 기구(20)와, 반송 기구(30)를 구비한다.
기판 재치부(2)는, 기판(F)을 재치시키기 위한 평탄면, 즉, 재치면을 갖는 부재이며, 예를 들면, 테이블이나 벨트 컨베이어 등이 포함된다. 기판 재치부(2)에는, 다수의 세공이 형성되어 있고, 다음에 설명하는 압력 부여부(3)는 이 세공을 통해서 기판(F)에 압력을 부여한다.
압력 부여부(3)는, 공압원을 포함하고, 기판 재치부(2)의 하부면에 설치되어, 기판(F)의 하부면에 압력을 부여한다. 압력 부여부(3)는, 기판 재치부(2)의 하부면에 형성되어 있는 다수의 미소한 구멍을 통해서, 기판(F)의 하부면에 압력을 부여한다. 압력 부여부(3)가 기판(F)에 대해서 부압을 부여했을 경우, 기판(F)은 기판 재치부(2)에 흡착되고, 기판(F)은 기판 재치부(2)에 밀착한 상태가 된다. 이것에 대해서, 압력 부여부(3)가 기판(F)에 대해서 부압을 부여하지 않을 경우, 및 정압을 부여한 경우에는, 기판(F)과 기판 재치부(2)는 흡착 상태가 아니므로, 기판(F)을 기판 재치부(2)로부터 용이하게 벌어지게 할 수 있다.
흡착부(10)는 기판(F)을 흡착한다. 구동 기구(20)는 흡착부(10)를 기판(F)에 대해서 접근 및 이간시키도록 구동한다. 반송 기구(30)는 기판(F)을 소정의 위치로 반송한다. 반송 기구(30)는 승강부재(31)와 레일(32)을 구비하고 있다. 승강부재(31)는, 프레임(4)에 연결되어 있고, 도시하지 않은 슬라이더를 개재해서 레일(32)에 접속된다. 기판(F)이 반송될 때, 나중에 설명하는 모터(33)의 구동에 의해, 승강부재(31)는 구동 기구(20)를 승강시켜서, 기판(F)을 수취하여, 소정의 위치로 기판(F)을 반송한다.
도 2는 실시형태에 따른 기판반송장치(1)의 흡착부(10)를 설명하기 위한 분해 사시도이다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 흡착부(10)는, 플레이트(100)와, 베이스(110)와, 흡착부재(120)를 구비하고 있고, 위에서부터 이 순서로 적층된다. 플레이트(100)에는 상부면에 구동 기구(20)가 설치된다. 플레이트(100)는, 소정의 강도 및 유연성을 지니는 바와 같은 재질이면 특별히 한정되지 않지만, 실시형태에서는, 알루미늄이다. 플레이트(100)는, X축 방향을 장변으로 하는 직사각형상이다. 플레이트(100)는, 복수의 작은 구멍(101)이 형성되어 있고, 이들 구멍(101)에 도시하지 않은 배관이 접속된다.
베이스(110)는, 다수의 미소한 구멍이 형성되어 있고, 두께 1㎜ 정도의 스테인리스 강철이다. 흡착부재(120)는 기판(F)에 맞닿는다. 흡착부재(120)는, 기판(F)의 표면에 손상을 주지 않는 바와 같은 재질이며, 또한, 다공질성의 부재이면 특별히 한정되지 않는다. 그러한 재질로서, 예를 들면, 연속 기포를 갖는 발포 플라스틱 및 발포 고무 등의 발포 재료, 스펀지 등을 들 수 있다. 실시형태에서는, 흡착부재(120)는 스펀지이다.
흡착부(10)가 기판(F)을 흡착할 경우, 도시하지 않은 공압원으로부터 이송된 공기가 상기 배관을 통과하고, 베이스(110)에 형성되어 있는 다수의 구멍을 통과해서, 흡착부재(120)에 공기압이 부여된다.
흡착부(10)는, 기판(F)의 상부면의 전체면에 대해서 흡착한다. 따라서, 흡착부(10)를 구성하는 플레이트(100), 베이스(110) 및 흡착부재(120)는, 적어도 기판(F)의 상부면보다 큰 사이즈이다. 또한, 플레이트(100)는, Y축 방향을 장변으로 하는 직사각형상의 플레이트(102)를 X축 방향으로 나열시켜서 형성된다. 실시형태에서는, 플레이트(100)는, 27매의 플레이트(102)로 형성되어, 대발(すのこ) 형상으로 배열된다. 그리고, 흡착부(10)는, 플레이트(102)를 적당한 매수를 1조로 해서, 복수의 영역으로 구분한다. 흡착부(10)는, 플레이트(102)를 3매 1조로 해서 X축 마이너스쪽에서부터 차례로 영역(10A) 내지 (10I)의 9개로 구분하고 있다. 영역(10E)을 제외한 영역에는, 구동 기구(20)를 구성하는 구동부(200) 등이 설치된다. 영역(10E)에는 중앙축(250)이 설치된다.
구동 기구(20)는, 복수의 구동부(200)를 구비하고, 흡착부(10)를 기판(F)에 대해서 접근 및 거리가 이간시키도록 구동한다. 복수의 구동부(200)의 각각에는, 제1 스토퍼(210)와, 제2 스토퍼(220)와, 이동부재(230)와, 지지부(240)가 설치된다. 즉, 구동 기구(20)는, 구동부(200), 제1 스토퍼(210), 제2 스토퍼(220), 이동부재(230) 및 지지부(240)를 1조로 하는 구동체이며, 이러한 구동체가 복수 구비되어서 구성된다. 그래서, 구동부(200)를 중심으로 하는 상기와 같은 조를 "구동체"라 칭한다. 다음에, 이 구동체에 대해서, 도 3에 의거해서 설명한다. 또한, 구동부(200)는, 구체적으로는, 에어 실린더이다. 이후, "구동부(200)"는 "에어 실린더(200)"라 표기한다.
도 3은 도 1의 일부 확대도이며, 실시형태에 따른 기판반송장치(1)의 구동 기구(20)를 설명하기 위한 사시도이다. 구체적으로는, 도 3은, 흡착부(10)의 영역(10A 내지 10E)에 있어서, X축 마이너스쪽 또한 Y축 플러스쪽에 위치하는 4개의 구동체가 도시되어 있다. 도 3에서는, 프레임(4) 및 프레임(5)은 생략한다.
구동 기구(20)에 대해서, 대표로서, 영역(10A)에 설치되어 있는 구동체에 대해서 설명한다. 에어 실린더(200)는, 본체(201)와, 본체(201)에 수용되어 있는 피스톤 로드(202)와, 피스톤 로드(202)를 가이드하는 외통(203)과, 본체(201)의 하부에 설치되는 연결부재(204)와, 본체(201)에 설치되는 접속부(205)를 구비하고 있다. 연결부재(204)에는, Y축 방향에 구멍(204a)이 형성되어 있다.
지지부(240)는, 지지축(241)과, 4개의 축(242)과, 2개의 지지부재(243)와, 아래쪽판(244)과, 위쪽판(245)과, 2개의 기둥(246)을 구비한다. 4개의 축(242)은, Y축 마이너스쪽과 플러스쪽에 각각 2개씩 설치되고, 각 축(242)의 하단면이 플레이트(102)에 고정된다. 2개의 지지부재(243)에는, 각각, Z축 방향에 2개의 구멍(243a)이 형성되어 있고, 각 구멍(243a)에 각 축(242)이 통과된다. 2개의 지지부재(243)에는, Y축 방향에 구멍(243b)이 형성되어 있다.
지지축(241)은, 에어 실린더(200)를 회동 가능하게 지지하는 축이며, 흡착부(10), 즉, 플레이트(100)의 Y축 방향에 평행하고, 또한, 플레이트(100)에 대해서 수직방향에 설치된다. 지지축(241)은, Y축 마이너스쪽의 지지부재(243)의 구멍(243b), 연결부재(204)의 구멍(204a), Y축 플러스쪽의 지지부재(243)의 구멍(243b)이라고 하는 순서로 통과된다. 또한, 2개의 이동부재(230)에는, 각각, Y축 방향에 구멍(230a)이 형성되어 있다. 전술한 지지축(241)에 있어서, Y축 플러스쪽에서부터 이동부재(230)의 구멍(230a)이 지지축(241)에 통과되고, Y축 마이너스쪽에서부터 이동부재(230)의 구멍(230a)이 지지축(241)에 통과된다. 상기와 같이, 연결부재(204)는 에어 실린더(200)의 본체(201)의 하부에 설치되어 있기 때문에, 지지축(241)은 회동 가능하도록 에어 실린더(200) 및 지지부(240)에 접속된다.
아래쪽판(244)에는 중앙부분에 직사각형상의 구멍(244a)이 형성되어 있고, 구멍(244a)이 본체(201)를 둘러싸도록, 아래쪽판(244)은 4개의 축(242)의 상단면에 재치되어 접속된다. 아래쪽판(244)은, 구멍(244a)을 개재해서 Y축 마이너스쪽 및 플러스쪽에 각각 기둥(246)이 설치되고, 각각의 기둥(246)의 상단면에 위쪽판(245)이 접속된다. 여기에서, 위쪽판(245)에는 중앙부에 구멍(245a)이 형성되어 있고, 구멍(245a)에는 외통(203)이 통과된다.
2개의 이동부재(230)는, 각각, 상부에 슬라이더(231)가 설치된다. 슬라이더(231)는, 프레임(4)의 하부면에 형성되어 있는 홈부에 끼워 넣어지고, 이동부재(230)가 X축 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 한다. 이동부재(230)는 지지축(241)을 개재해서 지지부(240) 및 에어 실린더(200)에 접속하게 된다. 따라서, 이동부재(230)가 X축 방향으로 슬라이드 이동하면, 에어 실린더(200) 및 지지부(240)도 X축 방향으로 슬라이드 이동한다.
제1 스토퍼(210)는, 1개의 구동체에 대해서 2개 설치되어 있고, 2개의 지지부재(243)의 하부로서, 지지부재(243)를 Z축 방향으로 통과하는 축(242)과 접하지 않도록 설치된다. 제2 스토퍼(220)는, Y축 플러스쪽에 설치되는 이동부재(230)에 대해서 흡착부(10)의 중앙부에 가까운 쪽, 즉, 중앙축(250)에 가까운 쪽에 위치하도록 프레임(4)에 연결된다. 제2 스토퍼(220)가 프레임(4)에 연결될 때, 이동부재(230)와 제2 스토퍼(220)의 거리가 조정 가능하도록, 예를 들면, 나사에 의해 연결할 수 있다.
전술한 바와 같이 구성되는 구동부(200)를 중심으로 하는 구동체는, 다음과 같이 구동한다. 에어 실린더(200)에, 도시하지 않은 공압원으로부터 정압이 부여되었을 경우, 피스톤 로드(202)는, 외통(203)에 안내되면서 위쪽으로 이동한다. 이때 4개의 축(242)도 피스톤 로드(202)의 이동에 맞춰서, 구멍(243a)을 슬라이딩하면서 위쪽으로 이동한다. 4개의 축(242)은 흡착부(10), 즉, 영역(10A)과 접속하고 있기 때문에, 축(242)이 위쪽으로 이동하면 영역(10A)도 상승한다. 이와 같이 해서 영역(10A)은 위쪽으로 이동하지만, 제1 스토퍼(210)에 의해 이동 거리가 규제된다.
상기 구성은 도 3에 도시되어 있는 각 구동체에 있어서 마찬가지이다. 단, 각 구동체에 포함되어 있는 제1 스토퍼(210)의 사이즈가 다르다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 영역(10A 내지 10D)에 설치되어 있는 각 제1 스토퍼(210)는, 흡착부(10)가 상승했을 경우, 영역(10D)으로부터 영역(10A)에 걸쳐서 차례로 이동 거리가 길어지도록, 각 지지부재(243)에 설치되어 있다. 따라서, 도 3에 도시되어 있는 4개의 에어 실린더(200)의 각각에 정압이 부여되어서 영역(10A 내지 10D)이 상승하면, 기판 재치부(2) 쪽으로 불룩해지는 대략 원호 형상으로 영역(10A 내지 10D)이 변형된다.
또한, 영역(10A 내지 10D)이 위쪽으로 이동하면, 각 에어 실린더(200)가 회동하면서, 영역(10A 내지 10D)이 X축 마이너스쪽으로 기운다. 이것에 의해, 영역(10A 내지 10D)은 기판 재치부(2) 쪽으로 불룩해지는 매끈한 원호 형상으로 변형된다. 이때 각각의 제2 스토퍼(220)에 의해, 영역(10A 내지 10D)의 경사가 각각 규제된다. 이것에 의해, 영역(10A 내지 10D)의 형상을 소정의 곡률의 원호 형상으로 설정할 수 있다.
여기에서, 도 3에 의거해서 설명한 4개의 구동체를 "구동 유닛"이라 칭한다. 실시형태에 따른 기판반송장치(1)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 도 3에서 설명한 구동 유닛과 동일한 구동 유닛이, 영역(10A 내지 10D)에 있어서 Y축 마이너스쪽에 설치되어 있다. 또한, 구동 유닛은, X-Y 평면에 있어서, 중앙축(250)이 설치되어 있는 영역(10E)을 중심으로 해서, X축 방향에 대칭적인 위치에 설치되어 있다. 따라서, 전술한 바와 같이, 영역(10A 내지 10D)이 소정의 곡률의 원호 형상으로 변형되면, 영역(10F 내지 10I)도 마찬가지로 변형되고, 영역(10A 내지 10I)은 반원 형상으로 변형된다.
또, 실시형태에서는, 흡착부(10)는 영역(10A 내지 10I)으로 구분되어 있지만, 이러한 구분으로 한정되지 않는다. 기판(F)의 사이즈에 따라서, 흡착부(10)를 구성하는 플레이트(100), 베이스(110) 및 흡착부재(120)의 사이즈는 적당히 조정된다. 플레이트(100)는, 복수의 플레이트(102)로 형성되지만, 사용하는 플레이트(102)의 사이즈 및 매수도 적당히 조정된다. 또한, 흡착부(10)에 설치되는 구동부(200)의 수도, 기판(F)의 사이즈에 따라서 조정하면 된다.
또한, 각 영역에 설치되는 제1 스토퍼(210)의 Z축 방향의 길이는, 양단부에서부터 중앙부에 걸쳐서 차례로 기판(F)과의 거리가 벌어지도록 설정된다. 즉, 흡착부(10)가 변형될 때, 소정의 곡률의 원호 형상으로 변형되도록 적절하게 조정된다. 또한, 제2 스토퍼(220)가 설치되는 위치는, 흡착부(10)가 변형될 때, 소정의 곡률의 매끈한 원호 형상으로 변형되도록, 제2 스토퍼(220)의 위치를 조정하면 된다.
[기판반송장치에 의한 기판의 흡착]
상기와 같은 구성의 기판반송장치(1)에 의한 기판(F)의 반송에 대해서, 도 4(a) 내지 도 7(c)에 의거해서 설명한다. 도 4(a) 내지 도 7(c)는 실시형태에 따른 기판반송장치(1)의 동작을 설명하기 위한 모식도이다. 또한, 도 4(a) 내지 도 7(c)는 Y축 플러스쪽에서부터 보았을 경우를 나타내고 있다.
기판반송장치(1)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판(F)을 반송하지 않을 때는, 흡착부(10)가 기판 재치부(2)에 수평으로 재치되어 있다. 도시하지 않은 공압원으로부터 각 에어 실린더(200)에 정압이 일제히 부여되면, 각 피스톤 로드(202)는 위쪽으로 신장되고, 이것에 따라 흡착부(10), 즉, 영역(10A 내지 10I)은 위쪽으로 이동한다. 단, 영역(10E)은, 에어 실린더(200)가 설치되어 있지 않으므로, 제외한다. 그리고, 각 영역의 이동 거리는, 각각의 제1 스토퍼(210)에 의해서 규제된다. 이때, 각 에어 실린더(200)는 각 지지축(241)을 중심으로 중앙축(250)과는 반대쪽으로 기운다. 이 때문에, 각 이동부재(230)는 중앙축(250) 쪽으로 슬라이드 이동한다. 또한, 각 이동부재(230)의 이동 거리는, 제2 스토퍼(220)에 의해 규제된다. 이것에 의해, 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 흡착부(10), 즉, 영역(10A 내지 10I)은, 소정의 곡률을 갖는 매끈한 원호 형상으로 변형된다. 이때, 각 영역과 기판(F)의 거리는, 중앙축(250)으로부터 양단부, 즉, 영역(10E)으로부터 영역(10A) 및 영역(10E)으로부터 영역(10I)에 걸쳐서 차례로 벌어지고 있다. 기판반송장치(1)는, 모터(33)에 의한 승강부재(31)에 대한 구동에 의해, 흡착부(10)가 원호 형상으로 변형된 상태에서 상승한다. 이와 같이 해서, 기판반송장치(1)에 기판(F)을 반입하는 것이 가능한 준비가 갖추어지고, 기판 재치부(2)에 기판(F)이 반입되어, 재치된다.
도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 모터(33)의 구동에 의해, 흡착부(10)는 변형된 상태를 유지한 채 서서히 기판(F)을 향해서 하강한다. 그리고, 중앙축(250)이 설치되어 있는 영역(10E)이 최초로 기판(F)에 맞닿는다.
기판반송장치(1)는, 흡착부(10)를 기판(F)에 포개기 위해서, 각 에어 실린더(200)에 일제히 부압을 부여하고, 피스톤 로드(202)를 아래쪽으로 이동시킨다. 이것에 의해, 도 5(a)에 나타낸 바와 같이, 각 영역도 아래쪽으로 이동하기 위해서, 기판(F)에 서서히 접근한다. 이때, 각 영역에 설치되어 있는 각 제1 스토퍼(210)와 기판(F)과 거리는, 흡착부(10)의 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 벌어지고 있다. 따라서, 영역(10E) 내지 영역(10A)에 걸쳐서 차례로, 기판(F)에 접근해 맞닿는다. 영역(10E) 내지 영역(10I)에 걸쳐서도 마찬가지이다. 이것에 의해, 기판(F)과 흡착부(10) 사이에 개재하고 있었던 공기는, 기판(F)의 중앙부에서부터 양단부로 방출된다.
도 5(b)에 나타낸 바와 같이, 기판(F)과 흡착부(10) 사이에는 공기가 개재하지 않는 상태에서, 흡착부(10)는 기판(F)에 포개질 수 있다. 이 상태에서, 흡착부(10)에 공기압이 부여되어, 기판(F)의 흡착이 개시된다.
도 5(c)에 나타낸 바와 같이, 기판반송장치(1)에 있어서, 흡착부(10)가 기판(F)을 흡착한 상태에서, 각 에어 실린더(200)에 일제히 정압이 부여되어서, 도 4(a)와 마찬가지로, 흡착부(10)가 매끈한 원호 형상으로 변형된다. 그리고, 모터(33)의 구동에 의해, 기판(F)을 소정의 위치까지 반송한다.
도 6(a)에 나타낸 바와 같이, 소정의 위치까지 기판(F)이 반송되면, 도 4(b)와 마찬가지로, 흡착부(10)는 기판 재치부(2)를 향해서 하강한다. 그리고, 기판(F)은, 흡착부(10)의 중앙부인 영역(10E)에 흡착되어 있는 부분이 기판 재치부(2)에 최초로 맞닿도록 재치된다.
도 6(b)에 나타낸 바와 같이, 도 5(a)의 경우와 마찬가지로, 각 에어 실린더(200)에 부압이 일제히 부여되어, 피스톤 로드(202)가 아래쪽으로 이동하고, 기판(F)은, 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 기판 재치부(2)에 접근한다. 그리고, 도 6(c)에 나타낸 바와 같이, 기판(F)은 기판 재치부(2)에 재치된다.
도 7(a)에 나타낸 바와 같이, 흡착부(10)는, 기판(F)으로부터 벌어지기 위해서, 도 5(c)의 경우와 마찬가지로, 각 에어 실린더(200)에 일제히 정압이 부여된다. 흡착부(10)는, 영역(10A)으로부터 영역(10E) 그리고 영역(10I)으로부터 영역(10E)을 향해서 차례로 기판(F)으로부터 벌어진다. 도 7(b)에서는, 도 4(a) 및 도 5(c)의 경우와 마찬가지로, 각 영역의 이동 거리는, 각각 제1 스토퍼(210)에 규제된다. 그리고, 도 7(c)에서는, 모터(33)의 구동에 의해, 흡착부(10)가 상승하여, 원래의 위치로 돌아간다. 이와 같이 해서, 기판반송장치(1)에 의한 기판(F)의 반송이 종료된다.
[기판반송장치의 동작]
다음에, 기판반송장치(1)의 동작에 대해서 설명한다. 도 8은 기판반송장치(1)의 구성을 나타낸 블록도이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 기판반송장치(1)는, 기판 재치부(2)와, 압력 부여부(3)와, 흡착부(10)와, 구동 기구(20)의 구동부인 에어 실린더(200)와, 반송 기구(30)와, 모터(33)를 구비하고, 또한, 구동용 유량조정밸브(40)와, 흡착용 유량조정밸브(50)와, 입력부(60)와, 검출부(70)와, 제어부(80)를 구비한다.
입력부(60)는 기판반송장치(1)가 반송하는 기판(F)의 수를 접수한다. 검출부(70)는 기판반송장치(1)의 흡착부(10)가 기판(F)에 대해서 접근 및 이간되었을 때의 위치를 검출한다. 또한, 반송 기구(30)에 의해서 한창 기판(F)을 반송하고 있을 때의 기판(F)의 위치를 검출하도록 구성해도 된다. 검출부(70)는, 예를 들면, 센서나, 촬상 장치 등을 사용할 수 있다.
제어부(80)는 CPU 등의 연산처리회로나, ROM, RAM, 하드 디스크 등의 메모리를 포함하고 있다. 제어부(80)는 메모리에 기억된 프로그램에 따라서 각 부를 제어한다.
또한, 기판반송장치(1)는 구동용 유량조정밸브(40) 및 흡착용 유량조정밸브(50)를 구비하고 있다. 구동용 유량조정밸브(40)는, 에어 실린더(200)에 대해서, 부압 및 정압의 전환을 행하는 밸브이다. 구동용 유량조정밸브(40)는, 에어 실린더(200)의 본체(201)에 설치되어 있는 접속부(205)에 설치되어 있고, 소위, 스피드 컨트롤러이다. 흡착용 유량조정밸브(50)는, 흡착부(10)에 대해서, 부압 및 정압의 전환을 행하는 밸브이다. 흡착용 유량조정밸브(50)는 플레이트(100)에 형성되어 있는 복수의 작은 구멍(101)에 접속되는 도시하지 않은 배관에 설치된다.
도 9는 실시형태에 따른 기판반송장치(1)의 동작을 나타내는 순서도이다. 이 제어는 도 8에 나타낸 제어부(80)가 실행한다. 또한, 도 9의 순서도에 있어서, "개시" 시의 기판반송장치(1)의 상태는, 기판반송장치(1)의 흡착부(10)가 기판 재치부(2)쪽을 향해서 불룩해지는 소정의 곡률의 원호 형상으로 변형된 상태이며, 상공에서 기판(F)의 반입을 대기하고 있는 상태이다. 이 상태는 도 4(a)에 도시되어 있다. 기판반송장치(1)가 이러한 상태일 때, 기판 재치부(2)에 기판(F)이 반입된다. 그리고, 제어부(80)가 모터(33)를 구동시켜, 기판(F)과 흡착부(10)가 마주보도록, 기판반송장치(1)를 소정의 위치에 배치한 상태이다. 또한, 제어부(80)가 압력 부여부(3)에, 기판 재치부(2)에 대해서 부압을 부여시켜도 된다. 이 경우, 기판(F)은, 기판 재치부(2)에 흡착되므로, 기판반송장치(1)에 반송될 때까지의 사이에, 재치된 장소로부터 어긋날 일은 없다.
단계 S11에서는, 제어부(80)는, 공압원에 의한 부압을 각 에어 실린더(200)에 부여시키기 위해서, 구동용 유량조정밸브(40)를 전환시킨다. 이것에 의해, 각 에어 실린더(200)의 각 피스톤 로드(202)가 아래쪽으로 이동하고, 이것에 따라서, 흡착부(10)의 각 영역은, 중앙부의 영역(10E)으로부터 양단부의 영역(10A) 및 영역(10I)에 걸쳐서 차례로 접근하고, 기판(F)에 포개져 간다. 단계 S11에 있어서의 기판반송장치(1)의 동작은 도 4(b) 및 도 5(a)에 도시되어 있다.
단계 S12에서는, 제어부(80)는, 압력 부여부(3)에, 기판 재치부(2)에 대해서 정압을 부여시킨다. 혹은, 제어부(80)가, 압력 부여부(3)에, 기판 재치부(2)에 대해서 부압을 부여시키고 있었을 경우, 압력 부여부(3)에 부압을 해제시키는 것뿐의 제어이어도 된다. 이것에 의해, 기판(F)은, 기판 재치부(2)와 흡착된 상태가 아니기 때문에, 기판 재치부(2)로부터 벌어지기 쉽다.
단계 S13에서는, 제어부(80)는, 공압원에 의한 부압을 흡착부(10)에 부여시키기 위해서, 흡착용 유량조정밸브(50)를 전환시킨다. 이것에 의해, 흡착부(10)는 기판(F)을 흡착한다. 단계 S13에 있어서의 기판반송장치(1)의 동작은 도 5(b)에 도시되어 있다.
단계 S14에서는, 제어부(80)는, 공압원에 의한 정압을 각 에어 실린더(200)에 부여시키기 위해서, 구동용 유량조정밸브(40)를 전환시킨다. 이것에 의해, 각 에어 실린더(200)의 각 피스톤 로드(202)는 위쪽으로 이동하고, 이것에 따라서, 흡착부(10)는 기판(F)을 흡착한 상태에서, 영역(10A)으로부터 영역(10E) 그리고 영역(10I)으로부터 영역(10E)에 걸쳐서 차례로 기판 재치부(2)로부터 벌어진다. 그래서, 제어부(80)는 모터(33)를 구동시켜, 기판(F)을 원하는 위치까지 반송시킨다. 단계 S14에 있어서의 기판반송장치(1)의 동작은 도 5(c)에 도시되어 있다.
단계 S15에서는, 제어부(80)는, 공압원에 의한 부압을 각 에어 실린더(200)에 부여시키기 위해서, 구동용 유량조정밸브(40)를 전환시킨다. 이것에 의해, 각 에어 실린더(200)의 각 피스톤 로드(202)가 아래쪽으로 이동하고, 이것에 따라서, 흡착부(10)는, 영역(10E)으로부터 영역(10A) 및 영역(10E)으로부터 영역(10I)에 걸쳐서 차례로 기판 재치부(2)에 접근하고, 기판(F)이 기판 재치부(2)에 재치된다. 단계 S15에 있어서의 기판반송장치(1)의 동작은 도 6(a) 내지 (c)에 도시되어 있다.
단계 S16에서는, 기판(F)의 반송을 속행할 것인지의 여부를 판정한다. 반송해야 할 기판(F)이 없을 경우, 즉, 단계 S16이 아니오인 경우, 구동부(80)는, 모터(33)를 구동시켜, 흡착부(10)를 원래의 위치로 이동시킨다. 이때, 흡착부(10)는, 원호 형상으로 변형시킬 필요는 없기 때문에, 각 에어 실린더(200)를 구동시키지 않아도 된다.
이것에 대해서, 단계 S16이 예이고, 그리고 기판(F)의 반송을 속행할 경우, 단계 S17에서, 제어부(80)는, 공압원에 의한 정압을 각 에어 실린더(200)에 부여시키기 위해서, 구동용 유량조정밸브(40)를 전환시킨다. 이것에 의해, 흡착부(10)는 기판(F) 쪽으로 불룩해지는 원호 형상으로 변형된다. 그리고, 단계 S18에서, 제어부(80)는, 모터(33)를 구동시켜, 흡착부(10)를 기판(F)으로부터 벌어지게 한다. 단계 S17 및 S18에 있어서의 기판반송장치(1)의 동작은 도 7(a) 내지 (c)에 도시되어 있다.
단계 S18 후에, 기판반송장치(1)에 그 다음의 기판(F)이 반입되고, 기판반송장치(1)는 단계 S11 내지 S17을 반복한다. 이와 같이 해서, 기판반송장치(1)는 기판(F)을 반송한다.
<실시형태의 효과>
실시형태에 따르면, 이하의 효과가 발휘된다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 흡착부(10)에 포함되는 플레이트(100)는, 복수의 플레이트(102)가 X축 방향으로 나열되어 있다. 이때, 복수의 플레이트(102)는, 대발 형상으로 나열되어 있고, 각 플레이트(102)를 접을 수 있다. 이 때문에, 각 플레이트(102)를 소정의 위치로 이동시키고, 즉, 기판(F)에 대해서 접근 및 이간시키는 것에 의해, 흡착부(10)는 매끈한 원호 형상으로 변형될 수 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 기판반송장치(1)는, 다수의 미소한 구멍이 형성되어 있는 베이스(110)가 설치되어 있다. 이 때문에, 흡착부재(120)에 부여되는 공기압은, 이들 다수의 구멍에 의해 흡착부재(120)에 전달되어, 흡착부재(120)의 전체 면에 확산된다. 따라서, 흡착부재(120), 즉, 흡착부(10)는 기판(F)을 균일한 공기압으로 흡착할 수 있다.
도 4(a) 내지 도 7(c)에 나타낸 바와 같이, 흡착부(10)는, 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 기판(F)에 접근한다. 이것에 의해, 흡착부(10)가 기판(F)에 포개질 때에, 흡착부(10)와 기판(F) 사이에 개재하는 공기는, 흡착부(10)가 맞닿은 부분으로부터 기판(F)의 양단부로 방출된다. 따라서, 기판(F)과 흡착부(10) 사이에, 공기굄이 생기지 않는다. 그 결과, 기판(F)에 주름이 생기지 않아, 기판(F)을 양호한 상태에서 원활하게 반송할 수 있다.
또한, 기판(F)이 반송되어서, 기판 재치부(2)에 재치될 때, 기판(F)은 기판 재치부(2)에 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 접근하고, 기판(F)과 기판 재치부(2)가 겹친다. 이때, 기판(F)과 기판 재치부(2) 사이에 공기를 개재시키는 일 없이, 기판 재치부(2)에 기판(F)을 재치시킬 수 있다. 따라서, 기판(F)과 기판 재치부(2) 사이에, 공기굄이 생기지 않는다. 이것에 의해, 기판(F)에 주름이 생기지 않고, 기판(F)을 양호한 상태에서 반송처의 기판 재치부(2)에 재치시킬 수 있고, 반송처에 수수할 수 있다.
또한, 기판반송장치(1)에 반입되어 온 기판(F)에 주름이 생기고 있었을 경우더라도, 기판(F)을 흡착해서 반송하고, 반송처의 기판 재치부(2)에 재치시킬 때, 기판(F)에 주름이 생기고 있지 않은 상태에서 재치시킬 수 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 각 에어 실린더(200)에 대해서 설치되는 제1 스토퍼(210)는, 영역(10E)으로부터 영역(10A) 및 영역(10E)으로부터 영역(10I)에 걸쳐서 차례로, 제1 스토퍼(210)와 기판(F)의 거리가 벌어지도록 설치된다. 이것에 의해, 각 에어 실린더(200)에 정압이 부여되면, 제1 스토퍼(210)에 의한 규제에 의해서, 기판(F)의 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 기판(F)과의 거리가 커지도록, 각 영역을 변위시킬 수 있다. 이것에 의해, 양단부에서부터 중앙부를 향해서 기판(F) 쪽으로 불룩해지는 대략 원호 형상으로, 흡착부(10)를 변형시킬 수 있다. 따라서, 기판(F)을 흡착할 때, 중앙부에서부터 양단부로 차례로 기판(F)에 포갤 수 있다.
또한, 각 에어 실린더(200)에 대해서, 제2 스토퍼(220)가 설치된다. 이것에 의해, 흡착부(10)가 기판(F)에 대해서 이간될 때, 흡착부(10)의 각 영역의 경사를 조절할 수 있다. 따라서, 흡착부(10)의 형상을 소정의 곡률의 원호 형상으로 설정할 수 있다. 그 결과, 기판(F)에 주름이 생기지 않도록, 흡착부(10)를 기판(F)에 포갤 수 있다. 반송처에 있어서도, 기판(F)을 양호한 상태에서 기판 재치부(2)에 재치시킬 수 있다.
<실시형태의 변경예>
(1) 전환 밸브를 구비할 경우
상기 실시형태에 따른 기판반송장치(1)에서는, 각 에어 실린더(200)를 구동시킬 때, 구동용 유량조정밸브(40)에 의해, 각 피스톤 로드(202)의 이동을 제어한다. 여기에서, 예를 들면, 어느 하나의 영역의 피스톤 로드(202)의 이동이 소정보다도 빠르게 되어, 그 영역이 인접하는 영역에서도 빠르게 기판(F)에 도달한 경우, 흡착부(10)는, 기판(F) 쪽으로 불룩해지는 바와 같은 원호 형상이 아니고, 물결치는 것 같은 형상으로 변형된다. 이러한 경우, 기판(F)과 흡착부(10) 사이에 개재하는 공기를 방출하는 것이 가능하지 않아, 기판(F)과 흡착부(10) 사이에 공기굄이 생겨서, 기판(F)에 주름이 생기는 원인이 될 수 있다.
그래서, 실시형태의 변경예에 따른 기판반송장치(1)는, 도시하지 않은 전환 밸브를 더 구비한다. 전환 밸브에 의해, 이웃하는 에어 실린더(200)에 공기압이 부여되면, 전환 밸브 스위치가 전환되고, 다음의 에어 실린더(200)에 공기압이 부여된다.
구체적으로는, 흡착부(10)가 위쪽으로 이동할 경우, 각 에어 실린더(200)에는 정압이 부여된다. 이때, 각 에어 실린더(200)에 일제히 정압을 부여하는 것은 아니고, 흡착부(10)의 양단부에 위치하는 영역(10A) 및 영역(10I)에 설치되는 에어 실린더(200)로부터 시작하여, 중앙에 걸쳐서 차례로 이웃하는 영역의 에어 실린더(200)에 정압을 부여한다. 흡착부(10)를 아래쪽으로 이동시킬 경우에는, 흡착부(10)의 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 이웃하는 영역의 에어 실린더(200)에 부압을 부여한다.
이와 같이, 기판반송장치(1)에 전환 밸브를 설치하는 것에 의해, 에어 실린더(200)에 공기압을 부여하는 타이밍을 제어할 수 있다. 따라서, 흡착부(10)의 각 영역이 기판(F)에 대해서 접근 및 이간되는 순서에 변경은 생기지 않고, 소정의 곡률의 원호 형상으로 변형된다. 따라서, 흡착부(10)는, 기판(F) 사이에 공기굄이 생기지 않도록 포개져서, 기판(F)을 흡착할 수 있다. 이것에 의해, 기판(F)에는 주름이 생기지 않는다.
(2) 제1 스토퍼 및 제2 스토퍼를 가변으로 할 경우
실시형태에 따른 기판반송장치(1)에 있어서, 제1 스토퍼(210)의 기판(F)과의 거리는, 가변이 되도록 구성해도 된다. 예를 들면, 제1 스토퍼(210)를 지지부(240)에 나사에 의해 끼워넣도록 하고, 이 나사의 끼워넣기량에 의해, 제1 스토퍼(210)의 기판(F)과의 거리를 조정하도록 해도 된다. 또한, 제2 스토퍼(220)와 이동부재(230)의 거리에 대해서는, 예를 들면, 프레임(4)에 복수의 나사 구멍을 형성해두고, 적당한 나사 구멍을 선택해서, 프레임(4)에 제2 스토퍼(220)를 부착하도록 구성하면, 제2 스토퍼(220)와 이동부재(230)의 거리를 변경할 수 있다.
전술한 바와 같이 구성하면, 흡착부(10)는 소정의 곡률의 원호 형상으로 변형되지만, 이 곡률을 변경시키고자 할 경우에 유효하다. 이러한 경우, 제1 스토퍼(210)의 기판(F)의 거리 및 제2 스토퍼(220)의 위치를 나사에 의해 조정하면 되고, 제1 스토퍼(210) 및 제2 스토퍼(220)를 전환시킬 필요는 없다.
(3) 구동부를 모터로 할 경우
실시형태에 따른 기판반송장치(1)는, 흡착부(10)를 구동하는 구동부로서, 에어 실린더(200) 대신에 모터를 채용할 수도 있다. 이 경우, 모터는 구동력을 유지한 상태에서 멈출 수 없다. 따라서, 구동부로서 모터를 채용할 경우, 모터에 용수철 등의 탄성부재를 조합시켜서, 압력을 생기게 할 필요가 있다.
이것에 대해서, 실시형태에 따른 에어 실린더(200)는, 정압이 부여된 상태에서 제1 스토퍼(210)에 의해 이동이 규제되었다고 해도, 구동력(압력)을 유지한 채 멈춘다. 또한, 에어 실린더(200)에 부압이 부여되었을 경우에도, 흡착부(10)의 각 영역이 기판(F)에 닿으면, 구동력(압력)을 유지한 채 멈춘다. 즉, 에어 실린더(200)는, 각 영역을 이간 위치와 맞닿는 위치에 원활하게 위치 부여할 수 있고, 맞닿는 위치, 즉, 제1 스토퍼(210)에 규제되어 있는 상태에 있어서, 각 영역을 기판(F)에 소정의 압력으로 적절하게 압압한다.
따라서, 에어 실린더(200) 쪽이 모터보다도 각 영역을 이간 위치와 맞닿는 위치에 원활하게 위치 부여할 수 있고, 효과적으로 흡착부(10)를 기판(F)에 흡착시킬 수 있다.
또, 실시형태에 따른 기판반송장치(1)를 구성하는 흡착부(10) 및 구동 기구(20)에 의해서, 기판(F)을 흡착하는 기판흡착장치를 구성할 수도 있다. 이러한 기판흡착장치는, 주름이 생긴 상태에서 기판(F)이 기판 재치부(2)에 재치되어 있을 경우이어도, 주름이 없는 상태에서 다시 재치시킬 수 있다. 구체적으로는, 흡착부(10)가 기판(F)에 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 접근해서 흡착하고, 일단 들어올린다. 그리고, 기판흡착장치가 기판(F)을 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로, 기판 재치부(2)에 재치시키는 것에 의해, 기판(F)과 기판 재치부(2) 사이에 공기를 개재시키는 일 없이, 기판(F)을 재치시킬 수 있다. 따라서, 기판(F)과 기판 재치부(2) 사이에 공기굄이 생기지 않는다. 그 결과, 기판(F)에 주름이 생기지 않는 상태에서, 기판 재치부(2)에 다시 재치시킬 수 있다.
이러한 기판흡착장치는, 기판(F)을 반송하기 위한 반송 기구를 구비하는 것에 의해, 기판(F)의 수수 동작도 가능해진다.
본 발명의 실시형태는, 청구범위에 나타낸 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적당히 각종 변경이 가능하다.
1: 기판반송장치 10: 흡착부
10A 내지 10I: 흡착부의 영역 20: 구동 기구
200: 구동부(에어 실린더) 210: 제1 스토퍼
220: 제2 스토퍼 241: 지지축
F: 기판

Claims (7)

  1. 기판을 흡착해서 반송하는 기판반송장치로서,
    상기 기판에 접근 및 이간되는 방향으로 변형 가능한 흡착부와,
    상기 흡착부를 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 상기 기판에 접근시키도록 상기 흡착부를 변형시키는 구동 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡착부는 상기 중앙부에서부터 상기 양단부로 향하는 방향으로 복수의 영역으로 구분되고,
    상기 구동 기구는 상기 흡착부의 상기 각 영역을 개별로 구동하는 복수의 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는 에어 실린더인 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동 기구는 상기 기판으로부터 벌어지는 방향에 있어서 상기 영역의 이동을 규제하는 제1 스토퍼를 상기 영역마다 구비하고,
    상기 영역을 상기 기판으로부터 벌어지게 하는 방향으로 상기 에어 실린더가 구동되었을 경우에, 상기 중앙부에서부터 상기 양단부에 걸쳐서 상기 영역과 상기 기판의 거리가 커지도록, 상기 각 영역에 대응하는 상기 제1 스토퍼가 조정되고 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동 기구는, 상기 중앙부에서부터 상기 양단부로 향하는 방향에 수직으로 그리고 상기 기판에 대해서 평행한 지지축에 의해 상기 각 구동부를 회동 가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 구동 기구는 상기 구동부의 회동을 소정 범위로 규제하는 제2 스토퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  7. 기판을 흡착하는 기판흡착장치로서,
    상기 기판에 접근 및 이간되는 방향으로 변형 가능한 흡착부와,
    상기 흡착부를 중앙부에서부터 양단부에 걸쳐서 차례로 상기 기판에 접근시키도록 상기 흡착부를 변형시키는 구동 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.
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