JP6970431B2 - 基板搬出装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板を搬出するための基板搬出装置に関する。

ガラス基板等の脆性材料基板は、基板載置部に載置された状態で加工や搬送がなされる。以下の特許文献１には、基板の端部が基板載置部から外れたエリアに位置するような場合であっても、基板を吸着可能な基板載置部の構成が開示されている。

特開２０１３−１９３１６７号公報

基板が複数の分割要素に分割された状態で基板載置部に載置されている場合、所定数の分割要素ごとに基板を基板載置部から搬出する構成が用いられ得る。この場合、搬出対象の分割要素のみを円滑に搬出でき、残りの分割要素は、後続の搬出動作時に円滑に搬出できるように、所定の位置に留まっていることが好ましい。

かかる課題に鑑み、本発明は、少なくとも所定方向において複数の分割要素に分割された基板から分割要素を複数回に分けて基板載置部から円滑且つ適切に搬出することが可能な基板搬出装置を提供することを目的とする。

本発明の態様は、基板搬出装置に関する。この態様に係る基板搬出装置は、少なくとも所定方向において複数の分割要素に分割された基板が載置される基板載置部と、前記基板載置部に載置された前記基板の上面を覆うシートと、前記シートを前記所定方向に送るシート移送部と、前記シートに覆われていない前記基板の分割要素を搬出する搬出部と、を備えるよう構成される。

本態様に係る基板搬出装置によれば、シートに覆われた基板の分割要素は、シートに押さえられているため、搬出部はシートに覆われていない基板の分割要素だけを確実且つ円滑に搬出することができる。このとき、シートに覆われた基板の分割要素にはずれが生じないため、搬出部は、後続の搬出動作において、残りの分割要素を円滑且つ適切に搬出することができ、例えば、後続の処理装置の基板載置部に正確に配置することができる。また、シート移送部によりシートを送り出す量を調整すれば、所望の数の基板の分割要素を搬出することができる。

本態様に係る基板搬出装置において、前記基板載置部は、載置された前記基板の下面に圧力を付与するための圧力付与部を備え、前記搬出部による搬出動作時に前記圧力付与部により前記基板の下面に正圧を付与して空気を送るよう構成され得る。

これにより、搬出動作前に基板が基板載置部に吸着状態で載置されている場合であっても、搬出動作時に、基板と基板載置部との間の吸着状態が適切に解除され得る。よって、搬出部は、シートに覆われていない基板の分割要素をより円滑に搬出することができる。また、残りの分割要素はシートに覆われているため、基板の下面が吸着されていなくとも、また、基板の下面に空気が送られても、残りの分割要素の位置ずれは抑制される。よって、後続の搬出動作において、残りの分割要素を円滑且つ適切に搬出できる。

なお、基板載置部には、多数の細孔が形成されおり、圧力付与部が基板に対して空気を送る場合、空気はこの細孔を通じて基板に送られる。

本態様に係る基板搬出装置において、前記シート移送部は、前記所定方向に移動可能な搬送ローラを備え、前記シートは、前記搬送ローラの外周面に沿うように折り返されて配置され得る。前記シート移送部は、前記基板の上面側において前記基板に接触しないように前記搬送ローラを移動させて前記シートを移送し得る。

これにより、搬出対象外の分割要素に対して、シートの搬送ローラの外周面に沿うように折り返された下側の部分を当該部分の自重により基板に被せることができる。よって、分割要素の位置ずれをより効果的に抑制できる。

本態様に係る基板搬出装置において、前記シートにテンションを付与する錘と、前記錘と前記搬送ローラとの間に介在し、前記シートを前記搬送ローラへと案内するガイドローラと、を備えるよう構成され得る。

この構成によれば、錘の重力を用いる簡素な構成により、シートに円滑にテンションを付与できる。また、シートを移動させる際にシートにテンションが付与されるため、シートを適切に基板表面に被せることができ、基板表面のシートを被せる領域を狭めるときのシートの弛みを防止することができる。よって、搬出対象外の分割要素全体をシートで適切に覆うことができ、シートを適切に収納することができる。

本態様に係る基板搬出装置において、前記錘は、外周面の少なくとも一部が外側に凸の曲面となるよう形成され得る。前記シートは、前記錘の外周面に沿うように折り返されて配置されるとともに、端部が移動不能に固定されるよう構成され得る。

これにより、錘は、曲面部分がシートに摺接しながら、シートの移動により上下に動くようになる。よって、搬送ローラの移動によりシートが移送されている間、錘はシートに適切にテンションを付与し続けることができる。

この場合、前記錘は、ガイド部材により上下方向に移動可能に支持された状態で、前記シートの折り返し位置に載せられ得る。この構成であれば、錘がシートからずれることを抑制でき、シートに安定的にテンションを付与することができる。

以上のとおり、本発明によれば、少なくとも所定方向において複数の分割要素に分割された基板から分割要素を複数回に分けて基板載置部から円滑且つ適切に搬出することが可能な基板搬出装置を提供することができる。

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。

図１は、実施形態に係る基板搬出装置の外観構成を示す斜視図である。 図２は、実施形態に係る基板搬出装置のシート移送部の構成を説明するための斜視図である。 図３は、実施形態に係る基板搬出装置のシートガイド部の構成を説明するための分解斜視図である。 図４（ａ）は、実施形態に係る基板搬出装置の構成を示すブロック図である。図４（ｂ）は、実施形態に係る基板搬出装置の動作を示すフローチャートである。 図５（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、実施形態に係る基板搬出装置の動作を模式的に示す側面図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｘ−Ｙ平面は水平面に平行で、Ｚ軸方向は鉛直方向である。Ｚ軸正側が上方であり、Ｚ軸負側が下方である。

＜実施形態＞
ガラス基板およびセラミックス基板等の脆性材料基板や、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート樹脂）基板およびポリイミド樹脂基板等の樹脂基板等（以降、単に「基板」とする。）は、種々の処理を経て最終製品となる。このような処理として、たとえば、基板を所定数の分割要素に切断する処理や、基板を切断した場合に生じる端材を除去する処理、基板の表面をクリーニングする処理等がある。基板は、処理ごとに所定のステージに搬送され、処理が終了すると次の処理のために別のステージへと搬出される。本実施形態に係る基板搬出装置１は、とくに、少なくとも所定方向において複数の分割要素に分割された状態の基板Ｆを複数回に分けて搬出するための装置である。なお、本実施形態において所定方向は、Ｘ軸の正方向であって、分割要素の搬出方向と一致している。

図１は、実施形態に係る基板搬出装置１の外観構成を示す斜視図である。図１に示すように、基板搬出装置１は、基板載置部２と、シート３と、圧力付与部４と、シート移送部１００と、シートガイド部２００と、搬出部３００と、を備える。

基板載置部２は、少なくとも所定方向において複数の分割要素に分割された基板Ｆが載置される。ここで、所定方向とは、基板Ｆの搬出方向である。また、基板Ｆは、所定方向に分割され、さらに所定方向に対して垂直に分割されてもよい。このように分割された基板Ｆは、分割要素がマス目状となっている。

基板載置部２は、たとえば、搬出対象となる基板Ｆを載置するための平坦面を有する部品であり、テーブルやベルトコンベア等が含まれる。図１においては、基板載置部２に対してＸ軸方向の負側からシートガイド部２００およびシート移送部１００が配されている。ここで、図１で示されている基板搬出装置１は、基板Ｆが搬送される直前の状態を示しており、基板Ｆは省略されている。図１に示されている基板搬出装置１の状態が、「初期状態」である。この初期状態には、基板Ｆが基板搬出装置１に搬入されて基板載置部２に載置され、基板Ｆの分割要素が搬出される直前の基板搬出装置１の状態も含まれる。また、基板載置部２には、多数の細孔が形成されており、後で説明する圧力付与部４による圧力は、この細孔を通じて基板Ｆに送られる。

基板には、たとえば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ＰＥＴ等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル等のポリビニル樹脂等の樹脂基板等の有機質基板（フィルムやシートも含む。以下同様）、ガラス基板やセラミックス基板等の脆性材料基板等の無機質基板があるが、本実施形態に係る基板搬出装置１の搬出対象の基板Ｆは、樹脂基板である。樹脂基板は、異なる基板が積層されていてもよく、たとえば、ＰＥＴ、ポリイミド樹脂、ＰＥＴを下層からこの順に積層した基板としてもよい。

また、基板搬出装置１に搬入される基板Ｆは、複数の分割要素に分割された状態である。本実施形態に係る基板搬出装置１には、切断の処理で生じた端材が含まれ得る状態の基板Ｆが搬入される。このような端材には、基板Ｆの外周に沿ように生じた端材や、分割要素どうしの間に生じた端材が含まれる。

シート３は、基板Ｆの上面を覆う。シート３の材質は、とくに限定されないが、高分子樹脂が好ましく、具体的には、ポリエチレン、ポリスチレン、ＰＥＴ等が好適である。

圧力付与部４は、空圧源を含み、基板載置部２の下面に設けられ、基板Ｆの下面に圧力を付与する。圧力付与部４が基板Ｆに圧力を付与すると、基板載置部２の下面に形成されている多数の微小な孔を通じて、基板Ｆの下面に圧力が付与される。圧力付与部４が基板Ｆに対して負圧を付与すると、基板Ｆは基板載置部２に吸着される。このため、基板Ｆを基板載置部２から離し難くなる。よって、基板Ｆの分割要素の位置ずれは抑制される。これに対して、圧力付与部４が基板Ｆに対して圧力を付与しない場合、および正圧を付与する場合、基板Ｆに対する基板載置部２の吸着が解除される。このため、基板Ｆを基板載置部２から容易に離すことができる。

シート移送部１００は、基板載置部２に載置された基板Ｆの上面にシート３を移送する。シートガイド部２００は、シート移送部１００にシート３を送り出すとき、および送り出したシート３を回収するとき、シート３を円滑に移送する。

搬出部３００は、シート３で覆われていない基板Ｆの分割要素を搬出する。図１に示すように、基板搬出装置１の初期状態において、搬出部３００は、Ｘ軸方向の正側であって基板載置部２に対して上方に配されている。また、基板搬出装置１は、基板載置部２の上方であって、Ｘ軸方向に２つのレール３０１および３０２が配されている。搬出部３００は、レール３０１および３０２に係合されており、このレール３０１および３０２沿ってＸ軸方向にスライド移動可能なように構成されている。

搬出部３００は、基板Ｆに吸着可能な吸着部３１０と、伸縮可能な管部材３２０と、を備える。搬出部３００は、搬出対象の分割要素の真上に吸着部３１０が位置するよう、Ｘ軸の負方向に移動する。そして、搬出部３００は、所定の位置まで移動すると、管部材３２０を延伸させ、吸着部３１０に搬出対象の分割要素を吸着させる。搬出部３００は、管部材３２０を収縮させて分割要素を持ち上げる。吸着部３１０はＹ軸方向において複数の吸着部に分割されていてもよく、Ｙ軸方向において複数に分割された分割要素を各吸着部が吸着するようにしてもよい。搬出部３００は、搬出対象の分割要素を吸着した状態で、Ｘ軸の正方向に移動し、所定の場所に分割要素を載置する。このようにして、搬出部３００は基板Ｆを分割要素ごとに搬出する。

図２は、実施形態に係る基板搬出装置１のシート移送部１００の構成を説明するための斜視図である。図２は、図１に対応しており、シート移送部１００の初期状態を示す斜視図である。

図１および図２に示すように、シート移送部１００は、搬送ローラ１１０と、搬送部１２０と、ガイドローラ１３０と、を備える。搬送ローラ１１０は、基板Ｆの上面側で基板Ｆに接触することなくＸ軸の正方向および負方向に移動する。搬送ローラ１１０の長手方向の長さ、つまり、Ｙ軸方向の長さは、基板載置部２のＹ軸方向の長さよりも長い。

搬送ローラ１１０において、Ｙ軸方向の正側に搬送ブラケット１１１ａが設けられ、Ｙ軸方向の負側に搬送ブラケット１１１ｂが設けられている。搬送ブラケット１１１ａには、Ｘ軸方向の負側から順に、プーリ１１２ａ、１１３ａ、および１１４ａが設けられている。図示しないが、搬送ブラケット１１１ｂも同様に、Ｘ軸方向の負側から順に、プーリ１１２ｂ、１１３ｂ、および１１４ｂが設けられている。また、搬送ブラケット１１１ａおよび１１１ｂの下部には、それぞれ搬送スライダ１２５ａおよび１２５ｂが設けられている。搬送スライダ１２５ａおよび１２５ｂについては、後で説明する。

搬送部１２０は、搬送ローラ１１０を基板Ｆの上面側で移動させる。図１および図２に示すように、搬送部１２０は、Ｙ軸方向の正側に、搬送ベルト１２１ａと、プーリ１２２ａと、プーリ１２３ａと、搬送レール１２４ａと、搬送スライダ１２５ａと、を備える。

搬送ベルト１２１ａは、基板載置部２のＸ軸方向に沿うように配されており、プーリ１２２ａおよびプーリ１２３ａに掛けられている。プーリ１２２ａは、基板載置部２に対してＸ軸方向の負側に配されており、プーリ１２３ａは、基板載置部２に対してＸ軸方向の正側に配される。プーリ１２２ａおよびプーリ１２３ａは、それぞれ固定板５ａおよび６ａに固定されており、固定板５ａおよび６ａは、基板搬出装置１のフレーム７ａに固定される。また、搬送ベルト１２１ａは、Ｘ軸の正方向から順に、搬送ブラケット１１１ａのプーリ１１２ａの下端面、プーリ１１３ａの上端面、プーリ１１４ａの下端面に当接するように掛けられる。

搬送ベルト１２１ａの下方には、フレーム７ａに固定されている搬送レール１２４ａが搬送ベルト１２１ａに沿って配されている。搬送スライダ１２５ａは、搬送ブラケット１１１ａの下部に設けられており、搬送レール１２４ａをスライド移動可能なように搬送レール１２４ａに取り付けられる。

上記した構成は、図１および図２に示すように、Ｙ軸方向の負側も同様である。すなわち、搬送部１２０は、Ｙ軸方向の負側に、搬送ベルト１２１ｂと、プーリ１２２ｂと、プーリ１２３ｂと、搬送レール１２４ｂと、を備えており、プーリ１２２ｂおよびプーリ１２３ｂは、それぞれ固定板５ｂおよび６ｂに固定されており、固定板５ｂおよび６ｂは、基板搬出装置１のフレーム７ｂに固定される。搬送スライダ１２５ｂは、搬送ブラケット１１１ｂの下部に設けられており、搬送レール１２４ｂをスライド移動可能なように搬送レール１２４ｂに取り付けられる。また、プーリ１２２ａおよびプーリ１２２ｂは、シャフト１２６で連結されている。

搬送スライダ１２５ａは、図示しない駆動部から駆動力が付与されると、搬送レール１２４ａをスライド移動する。一方、搬送スライダ１２５ｂも搬送スライダ１２５ａと同様に、搬送レール１２４ｂをスライド移動する。上記のとおり、搬送ブラケット１１１ａのプーリ１１２ａ、１１３ａ、および１１４ａには、搬送ベルト１２１ａが掛けられており、搬送ブラケット１１１ｂのプーリ１１２ｂ、１１３ｂ、および１１４ｂには、搬送ベルト１２１ｂが掛けられているため、搬送ローラ１１０は安定してＸ軸方向に移動することができる。また、プーリ１２２ａおよび１２２ｂは、シャフト１２６で連結されており、プーリ１２２ａおよび１２２ｂの回転量は一致する。よって、搬送スライダ１２５ａおよび１２５ｂの移動速度は一致する。

図３は、実施形態に係る基板搬出装置１のシートガイド部２００の構成を説明するための分解斜視図である。図３は、図１および図２に対応しており、シートガイド部２００の初期状態を示す斜視図である。

図１および図３に示すように、シートガイド部２００は、錘２１０および２２０と、シャフト２６０と、を備える。また、シートガイド部２００は、Ｙ軸方向の正側に、ガイド部材として、ガイド板２３０ａと、ガイドレール２４０ａと、ガイドスライダ２５０ａと、を備える。

錘２１０は、シート３がシート移送部１００によって移送されている間、シート３にテンションを付与する。錘２１０は、シャフトであり、Ｙ軸方向の端部２１０ａおよび２１０ｂにそれぞれ、軸２１１ａおよび２１１ｂが設けられている。軸２１１ａおよび２１１ｂのそれぞれには、さらに、突部２１２ａおよび２１２ｂが設けられている。錘２２０は、錘２１０と同様の部材であり、Ｙ軸方向の端部２２０ａおよび２２０ｂにそれぞれ、軸２２１ａおよび２２１ｂが設けられ、軸２２１ａおよび２２１ｂのそれぞれには、さらに、突部２２２ａおよび２２２ｂが設けられている。

ガイド板２３０ａには、同一のサイズである溝２３１ａおよび２３２ａがＺ軸方向に形成されている。溝２３１ａの幅は、錘２１０のシャフト部の径および突部２１２ａの径よりも小さく、軸２１１ａの径よりも大きく設定されている。溝２３１ａに錘２１０の軸２１１ａを嵌めて、軸２１１ａの先端に突部２１２ａが取り付けられる。同様に、溝２３２ａに錘２２０の軸２２１ａを嵌めて、軸２２１ａの先端に突部２２２ａが取り付けられる。これにより、錘２１０および２２０は、シート３からはみ出ることなく、安定して上下に移動できる。

ガイド板２３０ａには、溝２３１ａおよび２３２ａに沿うようにガイドレール２４０ａが設けられている。ガイドレール２４０ａにスライド移動可能なガイドスライダ２５０ａが取り付けられており、ガイドスライダ２５０ａは、錘２１０の突部２１２ａおよび錘２２０の突部２２２ａと係合する。

基板搬出装置１は、Ｙ軸方向の負側に、ガイド板２３０ａと対になるガイド板２３０ｂを備える。ガイド板２３０ｂは、ガイド板２３０ａと同様に、同一のサイズである溝２３１ｂおよび２３２ｂがＺ軸方向に形成されている。溝２３１ｂに錘２１０の軸２１１ｂが嵌められて、軸２１１ｂの先端に突部２１２ｂが取り付けられる。同様に、溝２３２ｂに錘２２０の軸２２１ｂが嵌められて、軸２２１ｂの先端に突部２２２ｂが取り付けられる。

また、ガイド板２３０ｂには、溝２３１ｂ及び２３２ｂに沿うように、図示しないガイドレール２４０ｂが設けられている。このガイドレール２４０ｂにスライド移動可能なガイドスライダ２５０ｂが取り付けられている。ガイドスライダ２５０ｂは、錘２１０の突部２１２ｂおよび錘２２０の突部２２２ｂに係合する。

シート３は、以下のようにして基板搬出装置１にセットされる。シート３は、Ｙ軸方向に延びる端縁部３ａで図示しないシート止め部により止められる。シート３は、端縁部３ａから下方に延び、錘２１０の外周面に沿うように折り返されて上方に延び、シャフト２６０の外周面に沿うように折り返されて下方に延びる。そして、シート３は、錘２２０の外周面に沿うように折り返されて上方に延び、ガイドローラ１３０の外周面に沿うように折り返される。ここから、シート３はＸ軸の正方向に延び、搬送ローラ１１０の外周面に沿うように折り返されて、Ｘ軸の負方向に延び、シート３は、端縁部３ｂの角部がシート挟持部２７０ａおよび２７０ｂに挟持される。図１に示すように、シート挟持部２７０ａおよび２７０ｂは、それぞれ、フレーム７ａおよび７ｂに固定されている。このようにして、シート３は基板搬出装置１に配設される。

搬送ローラ１１０がＸ軸の正方向に移動すると、ガイドスライダ２５０ａおよび２５０ｂがガイドレール２４０ａおよび２４０ｂに沿って上方にスライド移動する。この間、シート３は、錘２１０および２２０の外周面に摺接しながら上方に移動する。これにより、シート３が基板Ｆの上面側に送り出され、シート３の自重により基板Ｆの上面が覆われる。錘２１０および２２０によるテンションは、シート３と搬送ローラ１１０等との摩擦力およびシート３の基板Ｆを覆う部分の自重等とつりあう程度の大きさとする。

搬送ローラ１１０をＸ軸の負方向に移動させた場合、ガイドスライダ２５０ａおよび２５０ｂはガイドレール２４０ａおよび２４０ｂを下方にスライド移動する。この間、シート３は錘２１０および２２０に摺接しながら下方に移動する。これにより、基板Ｆの上面に送り出されたシート３は、元の状態つまり折り畳まれた状態へと戻る。

図４（ａ）は、基板搬出装置１の構成を示すブロック図である。図４（ａ）に示すように、基板搬出装置１は、図１に示した基板載置部２と、圧力付与部４と、シート移送部１００と、シートガイド部２００と、搬出部３００と、を備え、さらに、入力部１０と、検出部２０と、制御部３０と、を備える。

入力部１０は、１回の搬出作業で搬出部３００によって搬出される基板Ｆの分割要素の数を受け付ける。検出部２０は、搬送ローラ１１０の位置を検出する。検出部２０は、たとえば、エンコーダであってもよく、この場合、図２に示すように、プーリ１２２ｂにサーボモータ１２７を設けることができる。エンコーダは、サーボモータ１２７の回転数を検出して、搬送ローラ１１０の位置を制御する。この他、検出部２０は、搬送ローラ１１０の位置を適切に検出できればよく、たとえば、センサや、撮像装置等でもよい。

制御部３０は、ＣＰＵ等の演算処理回路や、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク等のメモリを含んでいる。制御部３０は、メモリに記憶されたプログラムに従って各部を制御する。

図４（ｂ）は、実施形態に係る基板搬出装置１の動作を示すフローチャートである。この制御は、図４（ａ）に示した制御部３０が実行する。以下、制御部３０による制御を、適宜、図５（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。図５（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、基板搬出装置１の動作を模式的に示す側面図である。

図５（ａ）は、基板搬出装置１の初期状態を示す。すなわち、図１において、基板載置部２に基板Ｆが載置されている状態を示している。このとき、搬出部３００は、Ｘ軸方向の正側であって上方に待機しており、錘２１０および２２０は、それぞれ、溝２３１ａおよび２３２ａの最下端に位置している。つまり、溝２３１ａおよび２３２ａの最下端に突部２１２ａ及び２２２ａが位置している。また、圧力付与部４は、基板Ｆに対して負圧を付与して、基板載置部２と基板Ｆとを吸着状態にしている。図４（ｂ）のフローチャートにおける「スタート」は、図５（ａ）の初期状態とする。

初期状態において、制御部３０は、入力部１０に、１回の搬出動作で搬出部３００が搬出すべき基板Ｆの分割要素の数を受け付けさせる。この数は、基板Ｆのサイズや分割要素のサイズ等に応じて適宜、ユーザが決定することができる。あるいは、たとえば、予め、基板の種類ごとに搬出する分割要素の数を制御部３０に記憶させておき、ユーザが基板の種類を入力部１０に入力すれば、制御部３０が搬出する分割要素の数を読み出すように設定してもよい。本実施形態では、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、最初に分割要素Ａを搬出することとする。

搬出動作が開始すると、制御部３０は、図５（ｂ）に示すように、搬送ローラ１１０をＸ軸の正方向へ移動させ、分割要素Ａ以外をシート３で覆わせる（Ｓ１１）。このとき、制御部３０は、搬送ローラ１１０を移動させた距離だけ、シートガイド部２００にシート３を送り出させる。これにより、ガイドスライダ２５０ａがガイドレール２４０ａを上方にスライド移動し、錘２１０および２２０はシート３に摺接しながら上昇する。

次いで、制御部３０は、搬出部３００の吸着部３１０に分割要素Ａを吸着させる（Ｓ１２）。この時点では、制御部３０は、圧力付与部４に基板Ｆに対して負圧を付与させている。これにより、吸着部３１０は、基板載置部２に整列した状態の分割要素Ａを円滑且つ確実に吸着することができる。この後、制御部３０は、圧力付与部４に基板Ｆに対して正圧を付与させる（Ｓ１３）。つまり、制御部３０は、圧力付与部４に基板Ｆに対して大気圧以上の空気を送らせる。これにより、基板載置部２と基板Ｆとの吸着状態が解除される。そして、図５（ｃ）に示すように、制御部３０は、搬出部３００に分割要素Ａを搬出させる（Ｓ１４）。このとき、基板Ｆにおいて分割要素Ａ以外の分割要素はシート３に覆われているため、基板Ｆの下面に空気が送り出されても位置ずれは生じない。また、基板載置部２と基板Ｆとの吸着状態は解除されているため、分割要素Ａは基板載置部２から離れ易い状態となっている。よって、制御部３０は、搬出部３００に分割要素Ａを円滑に搬出させることができる。

分割要素Ａを搬出部３００に搬出させた後、制御部３０は、搬出すべき基板Ｆの分割要素があるか否か判断する（Ｓ１５）。搬出する基板Ｆの分割要素がある場合、ステップＳ１６へ進む。一方、搬出すべき基板Ｆの分割要素がない、つまり、全ての分割要素を搬出した場合、基板Ｆの搬出は終了する。

ステップＳ１５でＮＯの場合、制御部３０は、圧力付与部４に基板Ｆに対して負圧を付与させる（Ｓ１６）。これにより、基板載置部２と基板Ｆとは吸着状態となる。

ステップＳ１６の後、制御部３０は、基板Ｆの分割要素が全て搬出されるまで、ステップＳ１１〜Ｓ１６を繰り返すよう制御する。具体的には、制御部３０は、搬送ローラ１１０をＸ軸の負方向に移動させ、基板Ｆの分割要素Ｂ以外をシート３で覆わせる（Ｓ１１）。このとき、錘２１０および２２０は、シート３に摺接しながら下降し、シート３は搬送ローラ１１０がＸ軸の負方向に移動した長さだけ折り畳まれる。この状態を示した図が、図５（ｄ）である。この後は、上記したステップと同様である。

このように、基板搬出装置１では、基板ＦをＸ軸方向の正側に位置する分割要素から所定数ごとに順に搬出する。基板Ｆの分割要素が全て搬出されると、基板載置部２の表面に残存している端材は、所定の処理により除去される。制御部３０は、搬送ローラ１１０および搬出部３００を図５（ａ）に示される初期状態に移動させる。そして、新たな基板Ｆが基板搬出装置１に搬入されて基板載置部２に載置された後、同様にして搬出される。

＜実施形態の効果＞
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。

図５（ａ）〜（ｄ）に示すように、基板Ｆの分割要素のうちの搬出対象以外の分割要素はシート３で覆われる。つまり、シート３で覆われている領域は、シート３の自重で押さえられている。ここで、シート３がない状態で基板Ｆの搬出対象の分割要素が搬出される場合、基板Ｆの搬出対象以外の分割要素（後続の搬出動作において搬出対象となる分割要素）は位置ずれが生じ易くなる。基板Ｆは整列した状態で基板搬出装置１に搬入されてきたのにも関わらず、搬出動作において搬出対象となる分割要素に位置ずれが生じていると、円滑に搬出し難い。本実施形態であれば、搬出対象の分割要素以外はシート３で押さえられているため、このシート３に覆われた基板Ｆの分割要素にはずれが生じない。このため、搬出部３００は、後続の搬出動作において、残りの分割要素を円滑且つ適切に搬出することができる。

また、シート３で覆われていない分割要素が搬出の対象であると明確に分かるため、搬出部３００はこの分割要素を確実に搬出することができる。

図１に示すように、基板搬出装置１は圧力付与部４を備える。これにより、圧力付与部４によって基板Ｆに対する負圧が解除される、または、圧力付与部４が基板Ｆに正圧が付与すると、基板Ｆに対すると基板載置部２の吸着状態が解除されるため、基板載置部２から基板Ｆが離れ易くなる。この場合、基板Ｆの分割要素は位置ずれが生じやすくなる。しかし、本実施形態であれば、搬出対象の分割要素以外はシート３で覆われ、シート３の自重で押さえられているため、圧力付与部４が基板Ｆに負圧を付与しなくとも、または圧力付与部４が基板Ｆに正圧を付与するとしても、シート３で覆われた分割要素に位置ずれは生じない。よって、搬出部３００は、搬出対象の分割要素を円滑に搬出するとともに、残りの分割要素を後続の搬出動作において円滑且つ適切に搬出することができる。

図１、図３、および図５（ａ）〜（ｄ）に示すように、錘２１０および２２０は、シート３に取り付けるのではなく、シート３に乗せられている。このように、錘２１０および２２０の重力を用いる簡素な構成により、シート３には適度なテンションが付与される。よって、シート３を自重で適切に基板Ｆの表面に被せることができる。

また、錘２１０および２２０は、外周面が円弧状となっている。このため、錘２１０および２２０の円弧状の部分がシート３に摺接しながら、シート３の移動により上下に動くようになる。よって、搬送ローラ１１０の移動によりシート３が移送されている間、錘２１０および２２０はシート３に適切にテンションを付与し続けることができる。なお、錘２１０および２２０は、シート３の移動により回転しながら上下に動くようにしてもよい。

また、錘２１０および２２０は、ガイド板２３０ａおよび２３０ｂに形成された溝をスライダによって上下に移動するように構成される。これにより、錘２１０および２２０がシート３からずれることを抑制でき、シート３に安定的にテンションを付与することができる。

シート３の材質は、例えば、ポリエチレンであり、柔軟性を有し、搬送ローラ１１０は基板Ｆに対して非接触である。シート３は、自重により基板Ｆを覆うため、搬送ローラ１１０は基板Ｆを損傷することなく基板Ｆの上面を覆うことができる。

図５（ａ）〜（ｄ）および図４（ｂ）のステップＳ１２およびＳ１６に示すように、制御部３０は、搬出部３００による分割要素の吸着および搬出のタイミングに合わせて、圧力付与部４に基板Ｆに対して正圧または負圧を付与させ、または圧力の付与を解除する。つまり、制御部３０は、圧力付与部４に、基板載置部２と基板Ｆとの吸着状態を維持または解除させる。これにより、基板Ｆの上面がシート３で覆われている間、基板載置部２と基板Ｆとの吸着状態を解除（圧力の付与を解除または正圧を付与）させても、基板Ｆの分割要素に位置ずれは生じない。よって、後続の搬出動作を円滑に行うことができる。また、シート３で覆われていない搬出対象である分割要素も、搬出部３００の吸着部３１０に吸着されて搬出されるまでの間、シート３で覆われている分割要素と分割された状態ではあるが一体的に連なった状態にあるため位置ずれが生じない。よって、搬出部３００は、搬出対象の分割要素を円滑且つ確実に搬出することができる。

＜他の実施形態＞
上記の実施形態では、錘２１０および２２０にシャフトを用いており、外周面の形状は円形であった。ここで、錘２１０および２２０は、シート３を摺接することが可能な形状でればよく、外周面の形状は円形に限られない。

そこで、錘２１０および２２０は、外周面の少なくとも一部が外側に凸の曲面となるように形成され得る。そのような形状として、たとえば、凸の曲面以外の部分は、凹状に形成されていてもよく、直線状であってもよい。このような形状に錘２１０および２２０を形成しても、シート３は、凸の曲面部分に摺接することが可能である。

本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。

１…基板搬出装置
２…基板載置部
３…シート
４…圧力付与部
１００…シート移送部
１１０…搬送ローラ
１３０…ガイドローラ
２１０、２２０…錘
２３０ａ、２３０ｂ…ガイド板
２３１ａ、２３２ａ…溝
２３１ｂ、２３２ｂ…溝
２４０ａ、２４０ｂ…ガイドレール
２５０ａ、２５０ｂ…ガイドスライダ
Ｆ…基板

Claims (6)

1. 少なくとも所定方向において複数の分割要素に分割された基板が載置される基板載置部と、
   前記基板載置部に載置された前記基板の上面を覆うシートと、
   前記シートを前記所定方向に送るシート移送部と、
   前記シートに覆われていない前記基板の分割要素を搬出する搬出部と、を備える、ことを特徴とする基板搬出装置。
2. 請求項１に記載の基板搬出装置において、
   前記基板載置部は、載置された前記基板の下面に圧力を付与するための圧力付与部を備え、前記搬出部による搬出動作時に前記圧力付与部により前記基板の下面に正圧を付与して空気を送る、
   ことを特徴とする基板搬出装置。
3. 請求項１または２に記載の基板搬出装置において、
   前記シート移送部は、前記所定方向に移動可能な搬送ローラを備え、
   前記シートは、前記搬送ローラの外周面に沿うように折り返されて配置され、
   前記シート移送部は、前記基板の上面側において前記基板に接触しないように前記搬送ローラを移動させて前記シートを移送する、
   ことを特徴とする基板搬出装置。
4. 請求項３に記載の基板搬出装置において、
   前記シートにテンションを付与する錘と、
   前記錘と前記搬送ローラとの間に介在し、前記シートを前記搬送ローラへと案内するガイドローラと、を備える、
   ことを特徴とする基板搬出装置。
5. 請求項４に記載の基板搬出装置において、
   前記錘は、外周面の少なくとも一部が外側に凸の曲面となっており、
   前記シートは、前記錘の外周面に沿うように折り返されて配置されるとともに、端部が移動不能に固定されている、
   ことを特徴とする基板搬出装置。
6. 請求項５に記載の基板搬出装置において、
   前記錘は、ガイド部材により上下方向に移動可能に支持された状態で、前記シートの折り返し位置に載せられている、
   ことを特徴とする基板搬出装置。

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