JP7054174B2 - 基板反転装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板を反転させるための基板反転装置に関する。

一般に、ガラス基板等の脆性材料からなるマザー基板は、スクライブ工程とブレイク工程を経て、所定サイズの基板に分断される。これらの工程に供される際に、マザー基板は、適宜、表裏反転される。たとえば、２つのガラス基板を貼り合わせてマザー基板が構成される場合、マザー基板の両面にスクライブラインが形成される。この場合、一方の面にスクライブラインが形成された後、マザー基板が表裏反転されて、他方の面にスクライブラインが形成される。この他、スクライブラインが形成されたマザー基板が、表裏反転されて、ブレイク工程に供される場合もある。

以下の特許文献１には、水平方向に並ぶ２つのテーブル間でマザー基板を搬送する際にマザー基板を表裏反転させる装置が開示されている。この装置は、マザー基板を水平方向に搬送する搬送機構と、マザー基板を反転させる回転機構とを備える。搬送機構および回転機構には、それぞれ、吸着板が設けられている。一方のテーブルに載置されたマザー基板は、回転機構の吸着板により吸着されて表裏反転される。表裏反転されたマザー基板は、回転機構の吸着板から搬送機構の吸着板に受け渡される。その後、マザー基板は、搬送機構によって、他方のテーブルへと送られて、他方のテーブルに載置される。

特開２０１４－０８０３３６号公報

特許文献１の構成では、マザー基板を反転させる際に、マザー基板をテーブルから一旦持ち上げた後、水平方向に退避させ、その位置で、マザー基板を１８０度回転させるため、水平方向および垂直方向に十分なスペースを確保する必要がある。また、このように、マザー基板の反転の際に、マザー基板をテーブルから持ち上げる工程と、マザー基板を水平方向に退避させる工程と、マザー基板を１８０度回転させる工程とが個別に必要となるため、マザー基板の表裏反転の作業が効率的であるとは言いがたい。

かかる課題に鑑み、本発明は、基板の反転を効率的、且つ、より小さなスペースで行うことが可能な基板反転装置を提供することを目的とする。

本発明の主たる態様は、基板反転装置に関する。この態様に係る基板反転装置は、基板を吸着可能な一対の吸着部と、前記一対の吸着部を駆動する駆動部と、を備える。前記駆動部は、前記一対の吸着部が前記基板の載置面との間で前記基板を受け渡し可能に前記載置面に向き合う第１の位置と、前記一対の吸着部が前記載置面に垂直な状態で前記基板を受け渡し可能に互いに向き合う第２の位置との間で、前記一対の吸着部を駆動するよう構成される。

この構成によれば、一方の吸着部が第１の位置において基板を吸着した後、両方の吸着部を第２の位置に位置付けることにより、一方の吸着部から他方の吸着部へと基板を受け渡すことができる。そして、その後、他方の吸着部を第１の位置に位置付けることにより、基板を表裏反転させながら載置面へと載置できる。上記構成によれば、一対の吸着部を９０度程度の角度範囲で回動させるだけで、基板の表裏反転を行い得る。よって、基板の反転を効率的、且つ、より小さなスペースで行うことができる。

本態様に係る基板反転装置において、前記駆動部は、回転駆動力を付与されることにより、前記各吸着部を前記第１の位置と前記第２の位置との間でそれぞれ移動させる１組の連携機構を備えるよう構成され得る。

この構成によれば、駆動源としてモータを用いることにより、各吸着部を円滑に制御できる。

本態様に係る基板反転装置において、前記各連携機構は、前記吸着部を直線移動可能に支持する支持部と、前記支持部を回転可能に支持する支持軸と、前記回転駆動力により回動する回動部材と、前記支持軸に平行に配置され、前記回動部材と前記吸着部とを互いに回動可能に接続する接続軸と、を備えるよう構成され得る。

この場合、前記接続軸は、前記支持軸に平行な方向に見たとき、前記回動部材の回動に伴い前記回動部材の回動軸と前記支持軸との間を通るように配置され得る。

この構成によれば、回転駆動力により回動部材を回動させると、吸着部が支持部に対して接近および離間しつつ回動して、第１の位置と第２の位置との間で移動する。すなわち、吸着部は、第１の位置と第２の位置の中間付近に向かうに伴い支持部に接近し、第１の位置および第２の位置に向かうに伴い支持部から離間する。よって、第２の位置において、一対の吸着部を、基板を互いに挟む方向に接近させることができ、一対の吸着部との間で基板を円滑に受け渡すことができる。また、第２の位置において、各吸着部を、載置面との間で基板を挟む方向に載置面に接近させることができ、各吸着部と載置面との間で基板を円滑に受け渡すことができる。

本態様に係る基板反転装置において、前記各連携機構は、それぞれ、個別の駆動モータによって前記回転駆動力が付与されるよう構成され得る。

この構成によれば、連携機構ごとに個別に駆動力を付与できるため、適宜、各連携機構を個別に制御することができる。ただし、駆動モータは、必ずしも、連携機構ごとに設けられなくともよく、１つの駆動モータの駆動力が、伝達機構によって、各連携機構に振り分けられる構成であってもよい。

以上のとおり、本発明によれば、基板の反転を効率的、且つ、より小さなスペースで行うことが可能な基板反転装置を提供できる。

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。

図１は、実施形態に係る基板反転装置の外観構成を示す斜視図である。 図２は、図１の一部拡大図であり、実施形態に係る基板反転装置の連携機構を説明するための図である。 図３（ａ）～（ｄ）は、実施形態に係る基板反転装置の動作を模式的に示す正面図である。 図４（ａ）～（ｃ）は、実施形態に係る基板反転装置の動作を模式的に示す正面図である。 図５（ａ）は、実施形態に係る基板反転装置の構成を示すブロック図である。図５（ｂ）は、実施形態に係る基板反転装置の動作のフローチャートである。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｘ－Ｙ平面は水平面に平行で、Ｚ軸方向は鉛直方向である。Ｚ軸正側が上方であり、Ｚ軸負側が下方である。

［実施形態］
ガラス基板およびセラミックス基板等の脆性材料基板や、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート樹脂）基板およびポリイミド樹脂基板等の樹脂基板等（以降、単に「基板」と称する。）は、種々の処理を経て最終製品となる。このような処理として、たとえば、基板を所定数の分割要素に切断する処理や、基板を切断したときに生じた端材を除去する処理、基板の表面をクリーニングする処理等がある。基板は、処理ごとに所定のステージに搬入され、処理が終了すると次の処理のために別のステージへと搬出される。

実施形態に係る基板反転装置１は、スクライブ工程とブレイク工程とを経たマザー基板を、所定サイズの分割要素に切断した後、所定数の分割要素ごとに表裏反転する装置である。なお、本実施形態において、「所定方向」とは、Ｘ軸正方向であって、基板Ｆの分割要素が基板反転装置１に搬入される方向と一致する。なお、これ以降、「基板Ｆを吸着する」、或いは「基板Ｆを表裏反転する」等、「基板Ｆ」との記載があるが、これは、基板反転装置１が１回の動作で表裏反転を行う所定数の分割要素を意味する。

基板の種類は、たとえば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ＰＥＴ等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル等のポリビニル樹脂等の樹脂基板等の有機質基板（フィルムやシートも含む。以下同様）、ガラス基板やセラミックス基板等の脆性材料基板等の無機質基板があるが、実施形態に係る基板反転装置１によって反転される基板Ｆは、樹脂基板である。樹脂基板は、異なる基板が積層されていてもよく、たとえば、ＰＥＴ、ポリイミド樹脂、ＰＥＴを下層からこの順に積層した基板としてもよい。

基板反転装置１に搬入される基板Ｆは、所定方向において複数の分割要素に分割された状態である。基板Ｆは、所定方向に分割され、さらに所定方向に対して垂直に分割されてもよい。このように分割された基板Ｆは、分割要素がマス目状となっている。

図１は、実施形態に係る基板反転装置１の外観構成を示す斜視図である。図１に示すように、基板反転装置１は、基板載置部２と、圧力付与部３と、吸着部１００と、駆動部２００と、を備える。

基板載置部２は、基板Ｆを載置するための平坦面、つまり、基板の載置面を有する部材であり、たとえば、テーブルやベルトコンベア等が含まれる。基板載置部２は、基板反転装置１に搬入されてきた基板Ｆが載置される基板載置部２ａ、および表裏反転された後の基板Ｆが載置される基板載置部２ｂから構成される。基板載置部２ａおよび２ｂには、多数の細孔が形成されおり、次に説明する圧力付与部３による圧力はこの細孔を通じて基板Ｆに送られる。

圧力付与部３は、空圧源を含み、基板載置部２の下面に設けられ、基板Ｆの下面に圧力を付与する。圧力付与部３が基板Ｆに圧力を付与すると、基板載置部２の下面に形成されている多数の微小な孔を通じて、基板Ｆの下面に圧力が付与される。圧力付与部３が基板Ｆに対して負圧を付与すると、基板Ｆは基板載置部２に吸着される。このため、基板Ｆは基板載置部２から離れ難くなる。よって、基板Ｆの分割要素の位置ずれは抑制される。これに対して、圧力付与部３が基板Ｆに対して負圧を付与しない場合、および正圧を付与する場合は、基板Ｆに対する基板載置部２の吸着が解除される。このため、基板Ｆを基板載置部２から容易に離すことができる。

図１では、圧力付与部３が１つだけ設けられている基板反転装置１を示しているが、基板載置部２ａおよび２ｂのそれぞれに圧力付与部３を設けてもよい。

図１に示すように、吸着部１００は、基板載置部２ａに載置された基板Ｆを吸着する第１吸着部１０１と、第１吸着部１０１から基板Ｆを受け取る第２吸着部１０２と、を備える。第１吸着部１０１と第２吸着部１０２とは、対をなして基板反転装置１に設けられる。実施形態に係る基板反転装置１では、第１吸着部１０１と第２吸着部１０２との構成は同一である。なお、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２の構成は、両者の間で基板Ｆの受け渡しが可能な構成であればよく、必ずしも両者の構成が同一である必要はない。また、基板反転装置１において、第１吸着部１０１は、基板載置部２ａの載置面２ｃに配置され、第２吸着部１０２は、基板載置部２ｂの載置面２ｄに配置される。

吸着部１００すなわち第１吸着部１０１および第２吸着部１０２は、吸着パッド１１０と、弁駆動部１２０と、配管１３０と、ベース部１４０と、を備える。吸着パッド１１０は、複数設けられ、基板Ｆを吸着する。弁駆動部１２０（図５（ａ）を参照。）は、図示しない空圧源に接続されており、空圧源から吸着パッド１１０に正圧または負圧が付与される際、弁の切り替えを行って、吸着パッド１１０に負圧または正圧を付与する。配管１３０は、複数の吸着パッド１１０どうしを繋ぐ部材である。配管１３０は、図示しない配管を介して、弁駆動部１２０に接続される。ベース部１４０は、吸着パッド１１０、および配管１３０が設けられる台座であり、材質は、ステンレス鋼である。

なお、図１には、ベース部１４０が１０枚設けられている基板反転装置１が図示されているが、ベース部１４０の枚数やサイズは、基板Ｆの分割要素の数やサイズに応じて適宜調整される。また、吸着パッド１１０や配管１３０の数も、基板Ｆの分割要素の数やサイズに応じて適宜調整される。さらに、各ベース部１４０に同数の吸着パッド１１０を設ける必要はなく、ベース部１４０ごとに吸着パッド１１０の個数を変更してもよい。

駆動部２００は、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２を駆動する。図１に示すように、駆動部２００は、モータ２１０と、連携機構２２０と、伝達部２３０と、を備える。連携機構２２０は、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２を駆動する。図１には、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２のそれぞれに、連携機構２２０がＹ軸正側と負側とに１つずつ設けられている構成が示されている。以下では、第１吸着部１０１に設けられている連携機構２２０について説明するが、第２吸着部１０２に設けられた場合も同様である。

図２は、図１の一部拡大図であり、実施形態に係る基板反転装置１の連携機構２２０を説明するための図である。図１および図２に示されるように、連携機構２２０は、支持部１０と、支持軸２０と、回動部材３０と、接続軸４０と、を備える。

支持部１０は、第１吸着部１０１を支持する。支持部１０は、支持ブロック１１と、２つの軸１２と、を備える。支持ブロック１１は、Ｚ軸方向に２つの孔１１ａ、およびＹ軸方向に孔１１ｂが形成されている。孔１１ａのぞれぞれの内周には、軸受部１３がそれぞれ設けられている。２つの軸１２は、各軸受部１３に通される。

孔１１ｂには、支持部１０を回転可能に支持する支持軸２０が通される。なお、支持軸２０を支持ブロック１１の孔１１ｂに通す場合、支持ブロック１１に、セットカラー１４を設けてもよい。

回動部材３０は、モータ２１０による回転駆動力によって回動する矩形状の板部材である。回動部材３０は、Ｘ軸方向の両端に孔３０ａおよび孔３０ｂが形成されている。孔３０ａには回動軸３１が設けられ、孔３０ｂには、Ｙ軸方向に沿って接続軸４０が通される。接続軸４０は、連結部５０を介して第１吸着部１０１と接続される。

連結部５０は、支持部１０および接続軸４０を連結する。また、第１吸着部１０１は、連結部５０を介して、支持軸２０および接続軸４０に接続される。連結部５０は、連結ブロック５１と、２つの連結軸５２と、固定部５３と、を備える。

連結ブロック５１は、Ｚ軸方向に２つの孔５１ａが形成されている。支持部１０の２つの軸１２は、２つの孔５１ａにそれぞれ通される。これにより、２つの軸１２を介して、支持部１０と連結部５０とが接続される。また、連結ブロック５１は、Ｙ軸方向に３つの孔が形成されている。３つの孔のうち、２つの孔５１ｂは、２つの孔５１ａより下方に形成されている。２つの孔５１ｂには、２つの連結軸５２がそれぞれ通される。また、それぞれの連結軸５２は、固定部５３によってベース部１４０にそれぞれ固定される。

連結ブロック５１に形成されている３つのＹ軸方向の孔のうち、孔５１ｃは、２つの孔５１ａの間に位置している。孔５１ｃは、接続軸４０が通される。このようにして、支持軸２０、接続軸４０、および２つの連結軸５２は、Ｙ軸方向に沿って平行に配置される。

伝達部２３０は、モータ２１０の駆動力を連携機構２２０に伝達する。図１に示すように、伝達部２３０は、各連携機構２２０にそれぞれ設けられる。

伝達部２３０は、２つのタイミングプーリ２３１と、ベルト２３２とを備える。２つのタイミングプーリ２３１は、プレート４に取り付けられており、この２つのタイミングプーリ２３１にベルト２３２が掛けられる。図１では、Ｙ軸正側のプレート４を介して、モータ２１０と２つのタイミングプーリ２３１およびベルト２３２とが設けられている。２つのタイミングプーリ２３１のうち、Ｚ軸正側すなわち上方に位置するタイミングプーリ２３１と、モータ２１０とが軸２３３で接続される。一方、Ｚ軸負側すなわち下方に位置するタイミングプーリ２３１は、回動軸３１と接続される。なお、図１において、基板反転装置１のＹ軸負側にはモータ２１０が設けられていない。そのため、Ｙ軸負側に位置するタイミングプーリ２３１は、軸２３３のみに接続される。

モータ２１０が回転駆動すると、軸２３３を経由して、上方に位置するタイミングプーリ２３１に回転駆動力が伝達される。これにより、ベルト２３２が動き、下方に位置するタイミングプーリ２３１が回転し、回動軸３１に回転駆動力が付与される。

次に、基板反転装置１による基板Ｆの表裏反転の動作について、図３（ａ）～（ｄ）、および図４（ａ）～（ｃ）に基づいて説明する。図３（ａ）～（ｄ）および図４（ａ）～（ｃ）は、基板反転装置１の動作を説明するための模式図であり、基板反転装置をＹ軸正側から見た図である。

図３（ａ）に示されている基板反転装置１の状態は、基板反転装置１に搬入された基板Ｆ、つまり、所定数の分割要素に分割された状態の基板Ｆが基板載置部２ａの載置面２ｃに載置され、第１吸着部１０１が載置面２ｃに向き合った状態である。このように、第１吸着部１０１が載置面２ｃに向き合ったときの第１吸着部１０１の位置を「第１の位置」と称する。一方、第２吸着部１０２も、基板載置部２ｂの載置面２ｄに向き合った状態であり、第２吸着部１０２の位置は、第１吸着部１０１と同様に、第１の位置である。また、第１の位置に垂直な位置を「第２の位置」と称する。

図３（ａ）に示すように、第１吸着部１０１は、第１の位置で基板Ｆの面Ｆ１を吸着する。このとき、第１の位置に対する回動部材３０の角度は略０度である。回動部材３０が回動軸３１を中心にＸ－Ｚ平面においてＸ軸正側へ移動、つまり、右回りに回動すると、接続軸４０は、支持部１０の支持ブロック１１に接近するように右回りに回動する。このとき、接続軸４０と第１吸着部１０１とは、連結部５０によって連結されているため、本来であれば、回動部材３０と同様に、右回りに回動すると考えられる。

しかし、接続軸４０が支持軸２０に接近するにつれて、支持ブロック１１は、回動部材３０を避けるように、回動部材３０の回動方向とは反対のＸ－Ｚ平面においてＸ軸負側へ移動、つまり、左回りに回動する。支持ブロック１１が左回りに回動すると、軸１２がＺ軸正方向に直線移動する。軸１２は、連結部５０を介して第１吸着部１０１に連結されているため、第１吸着部１０１は、支持部１０の左回りの回動に追従して左回りに回動する。その様子を図３（ｂ）に示す。

図３（ｂ）に示すように、第１の位置に対する回動部材３０の角度が約４５度のとき、接続軸４０は支持軸２０に最も接近する。そして、第１の位置に対する回動部材３０の角度が約４５度を超えると、図３（ｃ）に示すように、接続軸４０は支持軸２０から離れる。そして。図３（ｄ）に示すように、第１の位置に対する回動部材３０の角度が約９０度になると、接続軸４０は支持軸２０から最も離れる。このように、連携機構２２０により、第１吸着部１０１の回動方向が、左回りから右回りに変換される。

一方、第２吸着部１０２は、基板反転装置１において、第１吸着部１０１とＺ－Ｙ平面に対して対称に動作する。つまり、第２吸着部１０２では、回動部材３０は、Ｘ－Ｚ平面においてＸ軸負側へ移動、つまり、左回りに回動する。上記した第１吸着部１０１の回動と同様に、第２吸着部１０２は、連携機構２２０により回動方向が変換され、回動部材３０の回動方向とは反対のＸ－Ｚ平面においてＸ軸正側へ移動、つまり、右回りに回動する。これにより、図３（ｂ）～（ｄ）に示すように、第２吸着部１０２においても、接続軸４０は支持軸２０に対して接近および離間するように回動する。そして、図３（ｄ）に示すように、第２の位置において、第１吸着部１０１と第２吸着部１０２とは互いに向き合う。

第１吸着部１０１および第２吸着部１０２が、図３（ｄ）に示す状態であるとき、第１吸着部１０１から第２吸着部１０２に基板Ｆが受け渡される。ここで、上記のとおり、第１吸着部１０１は、基板Ｆの面Ｆ１側を吸着している。よって、第２吸着部１０２は、面Ｆ１とは反対側の面Ｆ２を吸着する。

基板Ｆを吸着した第２吸着部１０２、および基板Ｆを受け渡した第１吸着部１０１は、第２の位置から第１の位置へ戻る。図４（ａ）～（ｃ）に示すように、第２吸着部１０２側の回動部材３０は、右回りに回動する。これにより、第２吸着部１０２は、その反対の左回りに回動して、載置面２ｄに向き合う、つまり、第１の位置に位置付けられる。図４（ｃ）に示すように、第２吸着部１０２は、載置面２ｄに基板Ｆを載置する。このとき、基板Ｆの面Ｆ１が載置面２ｄに当接する。このように、実施形態に係る基板反転装置１は、基板Ｆが第１吸着部１０１から第２吸着部１０２へ受け渡されるタイミングで、基板Ｆの表裏反転を行うことができる。

一方、第１吸着部１０１側の回動部材３０は、第２の位置から左回りに回動する。したがって、第１吸着部１０１は右回りに回動して、載置面２ｄに向き合う位置すなわち第１の位置に位置する。

図５（ａ）は、基板反転装置１の構成を示すブロック図である。図５（ａ）に示すように、基板反転装置１は、図１に示した基板載置部２と、圧力付与部３と、吸着部１００と、駆動部２００と、を備え、さらに、入力部６０と、検出部７０と、制御部８０と、を備える。

入力部６０は、基板反転装置１で表裏反転させる基板Ｆの数を受け付ける。検出部７０は、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２の位置を検出する。上記のとおり、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２は、第２の位置で基板Ｆを挟んで互いに向き合うことによって、基板Ｆの反転および受け渡しが行われる。そのため、検出部７０により、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２の位置を検出し、両者が第１の位置と第２の位置とに位置するタイミングを制御する。検出部７０は、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２の位置を適切に検出できればよく、たとえば、センサや、撮像装置等を使用することができる。

制御部８０は、ＣＰＵ等の演算処理回路や、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク等のメモリを含んでいる。制御部８０は、メモリに記憶されたプログラムに従って各部を制御する。

図５（ｂ）は、実施形態に係る基板反転装置１の動作を示すフローチャートである。この制御は、図５（ａ）に示した制御部８０が実行する。また、図５（ｂ）のフローチャートにおいて、「スタート」時の基板反転装置１の状態は、基板反転装置１に基板Ｆが搬入され、基板載置部２ａに載置された状態である。

ステップＳ１１では、制御部８０は、圧力付与部３に、基板Ｆに対して負圧を解除または正圧を付与させる。これにより、基板載置部２ａと基板Ｆとの吸着状態は解除されるため、基板Ｆは基板載置部２ａから離れ易くなる。

ステップＳ１２では、制御部８０は、空圧源による負圧を第１吸着部１０１に付与させるため、弁駆動部１２０を切り替えさせる。これにより、基板Ｆは、第１吸着部１０１に容易に吸着される。ステップＳ１１およびＳ１２は、図３（ａ）に示されている基板反転装置１の状態に対応する。

ステップＳ１３では、制御部８０は、モータ２１０を回転駆動させ、各連携機構２２０に回転駆動力を付与させる。これにより、第１吸着部１０１と第２吸着部１０２とは、互いに接近するように回動する。ステップＳ１３は、図３（ｂ）および（ｃ）に示されている基板反転装置１の状態に対応する。

ステップＳ１３で、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２が回動して、互いに第２の位置に位置すると、ステップＳ１４では、制御部８０は、空圧源による負圧を解除させる、或いは、正圧を付与させるため、弁駆動部１２０を切り替えさせる。これにより、第１吸着部１０１と基板Ｆとの吸着状態が解除され、基板Ｆは第１吸着部１０１から離れ易くなる。また、制御部８０は、空圧源による負圧を第２吸着部１０２に付与させるため、弁駆動部１２０を切り替えさせる。これにより、第２吸着部１０２には負圧が付与されるため、第２吸着部１０２によって基板Ｆは吸着される。よって、基板Ｆは、第１吸着部１０１から第２吸着部１０２に受け渡される。ステップＳ１４は、図３（ｄ）に示されている基板反転装置１の状態に対応する。

ステップＳ１４の後、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２は、図４（ａ）～（ｃ）に示すように、第２の位置から第１の位置へ回動する。ステップＳ１５では、図４（ｃ）に示すように、第２吸着部１０２が第１の位置に位置する直前、または、同時に、制御部８０は、圧力付与部３に基板Ｆに対して負圧を付与するよう制御する。基板Ｆに負圧を付与した場合、基板Ｆと基板載置部２ｂとは吸着状態となる。よって、基板Ｆを整列させた状態で基板載置部２ｂに載置することができる。

ステップＳ１６では、制御部８０は、表裏反転すべき基板Ｆがあるか否か判断する。表裏反転すべき基板Ｆが用意されている場合、ステップＳ１１～Ｓ１５の処理が再び行われる。ステップＳ１６で、表裏反転すべき基板Ｆが無い場合、基板反転装置１による基板Ｆの表裏反転は終了する。

＜実施形態の効果＞
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。

図１および図２に示すように、基板反転装置１において、吸着部１００は、第１吸着部１０１と第２吸着部１０２とが対になっている。また、第１吸着部１０１と第２吸着部１０２とに対し、同一の構成の連携機構２２０を適用している。よって、基板反転装置１を容易に構成することができる。

図３（ａ）～（ｄ）および図４（ａ）～（ｃ）に示すように、基板Ｆの表裏反転は、第１の位置と第２の位置との間で行われている。連携機構２２０において、仮に、支持部１０が設けられていなかった場合、図３（ａ）の状態では、回動部材３０の右回りの回動により、第１吸着部１０１も右回りに回動する。この場合、回動部材３０が１８０度回動しなければ、基板Ｆは表裏反転されない。このため、基板反転装置は、水平方向および垂直方向にスペースが必要となる。これに対し、実施形態に係る基板反転装置１の連携機構２２０は、図１に示すように、支持軸２０、回動軸３１、および接続軸４０を備え、支持軸２０と接続軸４０との間には、直線移動可能な軸１２を備える。これにより、回動部材３０の回動方向とは反対の方向に第１吸着部１０１を回動させることができる。つまり、連携機構２２０により、吸着部１００の回動方向の変換が行われる。このため、吸着部１００は、回動範囲が９０度程度でよくなり、第２の位置で基板を反転させることができる。よって、基板の反転をより小さなスペースで行うことができる。

また、第２の位置で基板Ｆを受け渡すと同時に、基板Ｆの表裏反転が行われる。よって、効率的に基板Ｆを反転させることができる。

［他の実施形態］
上記の実施形態では、第１吸着部１０１および第２吸着部１０２のそれぞれにモータ２１０が設けられる構成としていたが、モータ２１０は１つにしてもよい。この場合、たとえば、１つのモータ２１０の駆動力をギヤ等の伝達機構によって、各連携機構２２０に振り分ける構成にしてもよい。

本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。

１…基板反転装置
２…基板載置部
２ａ、２ｂ…基板載置部
２ｃ、２ｄ…載置面
１０…支持部
２０…支持軸
３０…回動部材
３１…回動軸
４０…接続軸
１００…吸着部
２００…駆動部
２１０…モータ
２２０…連携機構
Ｆ…基板

Claims (3)

1. 基板を吸着可能な一対の吸着部と、
   前記一対の吸着部を駆動する駆動部と、を備え、
   前記駆動部は、前記一対の吸着部が前記基板の載置面との間で前記基板を受け渡し可能に前記載置面に向き合う第１の位置と、前記一対の吸着部が前記載置面に垂直な状態で前記基板を受け渡し可能に互いに向き合う第２の位置との間で、前記一対の吸着部を駆動し、
   前記駆動部は、回転駆動力を付与されることにより、前記各吸着部を前記第１の位置と前記第２の位置との間でそれぞれ移動させる１組の連携機構を備え、
   前記各連携機構は、
   前記吸着部を直線移動可能に支持する支持部と、
   前記支持部を回転可能に支持する支持軸と、
   前記回転駆動力により回動する回動部材と、
   前記支持軸に平行に配置され、前記回動部材と前記吸着部とを互いに回動可能に接続する接続軸と、を備える、
   ことを特徴とする基板反転装置。
2. 請求項１に記載の基板反転装置において、
   前記支持軸に平行な方向に見たとき、前記接続軸は、前記回動部材の回動に伴い前記回動部材の回動軸と前記支持軸との間を通るように配置されている、
   ことを特徴とする基板反転装置。
3. 請求項１又は２に記載の基板反転装置において、
   前記各連携機構は、それぞれ、個別の駆動モータによって前記回転駆動力が付与される、
   ことを特徴とする基板反転装置。
   

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