JP7076828B2 - 位置決め装置および位置決め搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、基板を位置決めするための位置決め装置および当該位置決め装置を備える位置決め搬送システムに関する。

一般に、ガラス基板等の脆性材料からなる基板の分断においては、基板に対してスクライブラインを形成するためのスクライブ工程と、スクライブラインに沿って基板を分断するためのブレイク工程とが行われる。スクライブ工程では、予め基板の所定の位置にアライメントマークが付される。このアライメントマークが付された部分がテーブルの所定の位置に位置付けられるように、テーブルに基板が載置される。

以下の特許文献１に開示されている基板加工方法では、基板の隅部にアライメントマークが付されており、テーブルに基板が載置されると、スクライブヘッドに設けられたカメラによって撮像基準位置が撮像される。カメラで撮像された画像は、スクライブ装置の制御部に出力される。制御部は、記憶部に記憶されているアライメントマークと、撮像されたマークの形状とが一致するか否かを判定する。マークが撮像されていない、または、撮像されたマークがアライメントマークと不一致であった場合、撮像領域を少しずつ変えながら基板が撮像されて、アライメントマークが探索される。

アライメントマークが確認されると、制御部は撮像基準位置とアライメントマークの位置とのずれから加工開始の位置を補正する。そして、補正された位置からスクライブ工程が開始される。

特開２０１２－１３８５４８号公報

特許文献１では、たとえば、アライメントマークが撮像基準位置から大きく離間している場合でも、撮像領域を少しずつ移動しながら探索することになる。この場合、アライメントマークが確認されるまで時間がかかり、スクライブ工程の開始が遅延するため、スクライブ工程を効率よく行うことができない。

上記のような事象は、テーブルに載置された基板の姿勢が適切でない場合に起こり得る。このため、テーブル上での基板の姿勢が適正となるように、テーブルに対して基板を位置決めする必要がある。

かかる課題に鑑み、本発明は、基板の位置決めを簡素な構成により効率よく行うことが可能な位置決め装置、および位置決め搬送システムを提供することを目的とする。

本発明の第１の態様は、位置決め装置に関する。この態様に係る位置決め装置は、基板に平行な方向に接近および離間可能に支持された少なくとも一対の移動部と、前記一対の移動部にそれぞれ配置され前記基板の外周を係止するピンと、前記一対の移動部の間に配置され前記基板に垂直な軸部材に軸支された支持部材と、前記支持部材と前記各移動部とをそれぞれ連結する一対のリンクレバーと、前記支持部材を前記軸部材について回動させる駆動部と、を備える。

本態様に係る構成によれば、駆動部により支持部材が所定方向に回動すると、一対の移動部が、支持部材の回動に伴い、互いに接近する方向に同時に移動する。こうして一対の移動部が移動すると、各移動部に配置されたピンによって、基板が面内方向に挟まれる。これにより、基板が一対の移動部の中間位置に位置決めされる。したがって、本態様に係る位置決め装置によれば、１つの駆動部により、一対の移動部を同期して移動させて、基板を所定の位置に位置決めできる。よって、基板の位置決めを、簡素な構成により効率良く行うことができる。

本態様に係る位置決め装置において、前記移動部は、前記ピンが配置されるスライド部材と、前記スライド部材に対して前記支持部材側に配置され前記リンクレバーに連結される連結部材と、前記スライド部材と前記連結部材とを互いに吸着させるマグネットと、を備えるよう構成され得る。

本態様に係る構成によれば、位置決めピンが基板に当接すると、基板がストッパとなってスライド部材はこれ以上基板側に移動することはできない。一方、連結部材はリンクレバーと連結されているため、その後さらに支持部材が回動されると、連結部材は、マグネットによる吸着力に抗してスライド部材から離間して単独で支持部材側に移動する。これにより、位置決めピンが基板に当接したとき、基板に過度な負荷が掛かからない。よって、基板の破損や変形を防止できる。

本態様に係る位置決め装置において、前記移動部の移動方向に交差する方向に離れるように２つの前記ピンが前記移動部に配置され、前記移動部には、前記２つのピンを差し込んで設置するための２つの孔の組が、前記移動部の移動方向に離れるように、複数設けられ、前記各組の前記孔の間隔が、互いに相違するよう構成され得る。

本態様に係る構成によれば、平面視において基板が対角方向に一対の角を有する場合、各移動部に配置された２つのピンを基板の各角に係合させることにより、基板を位置決めできる。また、各移動部には、間隔の異なる複数組の孔が設けられているため、ピンを嵌める孔を変更することにより、２つのピンの間隔を変更できる。たとえば、基板のサイズが大きい場合は、２つのピンの間隔が広い方が、安定的に基板を位置決めできる。したがって、上記構成によれば、基板のサイズに応じて、基板をより安定的に位置決めできる。

本態様に係る位置決め装置において、前記一対の移動部および前記一対のリンクレバーの組が、前記軸部材の回りの異なる位置に複数配置されるよう構成され得る。
ことを特徴とする位置決め装置。

本態様に係る構成によれば、基板の外周上の異なる複数の位置で基板をピンで挟んで位置決めできる。よって、基板をより適正に位置決めできる。

本態様に係る位置決め装置において、前記一対の移動部および前記一対のリンクレバーの２つの前記組が、それぞれ、前記軸部材の回りの互いに直交する２つの位置に配置され、前記各組の移動部には、当該移動部の移動方向に交差する方向に離れるように２つの前記ピンが配置されるよう構成され得る。
ことを特徴とする位置決め装置。

本態様に係る構成によれば、平面視において基板が正方形である場合に、２つのピンを基板の４つの角のそれぞれに係合させることができる。よって、正方形の基板を適正に位置決めできる。

本発明の第２の態様は、位置決め搬送システムに関する。この態様に係る位置決め搬送システムは、基板の位置を位置決めするための位置決め装置と、前記基板を位置決め装置に搬送する搬送装置と、を備える。前記位置決め装置は、前記基板に平行な方向に接近および離間可能に支持された少なくとも一対の移動部と、前記一対の移動部にそれぞれ配置され前記基板の外周を係止するピンと、前記一対の移動部の間に配置され前記基板に垂直な軸部材に軸支された支持部材と、前記支持部材と前記各移動部とをそれぞれ連結する一対のリンクレバーと、前記支持部材を前記軸部材について回動させる駆動部と、を備える。

本態様に係る構成によれば、第１の態様と同様の効果を奏する。

本態様に係る位置決め搬送システムにおいて、前記搬送装置は、前記基板が載置されるテーブルと、前記テーブルを搬送する搬送部と、を備え得る。前記テーブルは、載置された前記基板を空圧源から付与される空気圧により吸着するよう構成され、前記搬送装置は、前記位置決め装置により前記基板が位置決めされる期間は、前記基板の吸着を解除し、前記位置決め装置により前記基板が位置決めされたことに基づいて、前記基板の吸着を動作させるよう構成され得る。

本態様に係る構成によれば、位置決め装置により位置決めされた基板を、吸着によりその位置に維持して、その後の搬送を行い得る。

この場合、前記位置決め装置は、前記移動部の移動位置を検出するための検出部を備え、前記搬送装置は、前記検出部により、前記移動部が前記基板のサイズに応じた位置に移動したことが検出されたことに基づいて、前記テーブルに対する前記基板の吸着動作を開始させるよう構成され得る。

以上のとおり、本発明によれば、基板の位置決めを簡素な構成により効率よく行うことが可能な位置決め装置、および位置決め搬送システムを提供できる。

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。

図１は、実施形態に係る位置決め装置の構成を示す斜視図である。 図２は、実施形態に係る位置決め装置の構成を示す斜視図である。 図３は、実施形態に係る位置決め装置の構成を示す斜視図である。 図４は、実施形態に係る位置決め装置の一部の構成を示す斜視図である。 図５（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る位置決め装置の動作を説明するための模式図である。 図６（ａ）は、実施形態に係る位置決め装置の動作を説明するための模式図である。図６（ｂ）は、実施形態に係る位置決め装置における、基板とピンとの位置関係を示す模式図である。 図７（ａ）～（ｃ）は、実施形態に係る位置決め搬送システムの動作を説明するための模式図である。 図８は、実施形態に係る基板反転装置の構成を示すブロック図である。 図９（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る基板反転装置の動作のフローチャートである。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｘ－Ｙ平面は水平面に平行で、Ｚ軸方向は鉛直方向である。Ｚ軸正側が上方であり、Ｚ軸負側が下方である。以下の説明において、上方および下方に移動することは、Ｚ軸正側および負側に移動することを意味する。

＜実施形態＞
［位置決め搬送システム］
ガラス基板等の脆性材料基板（以降、単に「基板Ｆ」と称する）は、種々の工程を経て最終製品となる。このような工程として、たとえば、マザー基板から所定サイズの基板Ｆに分割する工程、分割された基板Ｆにスクライブラインを形成する工程、スクライブラインに沿って基板Ｆを分断するブレイク工程等がある。基板Ｆは工程ごとに所定のステージに搬入され、１つの工程が終了すると次の工程のために別のステージへと搬出される。

本実施形態に係る位置決め搬送システムは、基板が載置されたテーブルを所定の場所で受け取って、当該テーブルに対する基板Ｆの位置決めを行い、その後、当該テーブルを基板とともにスクライブ装置に搬送するための搬送システムとして説明される。

基板Ｆの種類としては、たとえば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ＰＥＴ等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル等のポリビニル樹脂等の樹脂基板等の有機質基板（フィルムやシートも含む。以下同様）が挙げられる。樹脂基板は、異なる基板が積層されていてもよく、たとえば、ＰＥＴ、ポリイミド樹脂、ＰＥＴを下層からこの順に積層した基板としてもよい。また、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスなどのセラミックス基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等であってもよい。また、基板Ｆは、表面または内部に脆性材料に該当しない薄膜あるいは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。本実施形態では、基板Ｆはアルミナ基板として説明される。

本実施形態では、正方形状に形成された基板Ｆに対して位置決めが行われる。

位置決め搬送システムは、基板Ｆをテーブルに対して位置決めする位置決め装置と、当該テーブルとともに基板Ｆを搬送する搬送装置と、を備える。

［位置決め装置］
まず、位置決め装置１０の構成について図１～図４を参照して説明する。

図１は、位置決め装置１０の構成を示す斜視図である。

図１に示すように、位置決め装置１０は、４つの移動部１００Ａ～１００Ｄと、ピン１１０と、支持部材１２０と、４つのリンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄと、駆動部１４０と、検出部１５０と、を備えている。位置決め装置１０は、フレーム２に取り付けられている。

図２は、位置決め装置１０の構成を示す斜視図である。図３は、図２を下側（Ｚ軸負側）から見た斜視図である。図２および図３では、フレーム２および駆動部１４０は省略されている。

図２に示すように、４つの移動部１００Ａ～１００Ｂは、支持部材１２０を支持する軸部材１２４（図４参照）の軸の回りの異なる位置に配置されている。４つの移動部１００Ａ～１００Ｂは、移動部１００Ａ、１００Ｃ、および移動部１００Ｂ、１００Ｄの２組に分けることができる。移動部１００Ａ、１００Ｃの組および移動部１００Ｂ、１００Ｄの組は、対をなして配置されている。つまり、移動部１００Ａ、１００Ｃは、軸部材１２４（図４参照）に対して対称な位置に配置される。同様に、移動部１００Ｂ、１００Ｄは、軸部材１２４（図４参照）に対して対称な位置に配置される。移動部１００Ａ、１００ＣはＸ軸方向に並び、移動部１００Ｂ、１００ＤはＹ軸方向に並ぶ。すなわち、移動部１００Ａ、１００Ｃの配置位置と移動部１００Ｂ、１００Ｄとは、軸部材１２４（図４参照）を中心に９０度異なっている。

４つの移動部１００Ａ～１００Ｄのそれぞれは、同様に構成されているため、代表して移動部１００Ａの構成について説明する。

移動部１００Ａは、スライド部材１０１と、連結部材１０２と、マグネット１０３と、シャフト１０４と、を備えている。このうち、マグネット１０３は、図２では示されず、図５（ａ）～図６（ａ）で示される。

スライド部材１０１は、Ｌ字型に形成された板状の部材である。図２および図３に示すように、スライド部材１０１の底面部１０１ａには、４つの孔１０１ｂ～１０１ｅが形成されている。孔１０１ｂ～１０１ｅは段付き孔である。孔１０１ｂ～１０１ｅは、孔１０１ｂ、１０１ｃ、および孔１０１ｄ、１０１ｅの２組に分けることができる。

孔１０１ｂ、１０１ｃの組は、Ｙ軸方向に並んで配置されている。孔１０１ｄ、１０１ｅの組も同様である。孔１０１ｂ、１０１ｃの組は、孔１０１ｄ、１０１ｅの組よりも支持部材１２０側に配置されている。また、孔１０１ｄ、１０１ｅ間の距離の方が孔１０１ｂ、１０１ｃ間の距離よりも狭い。

孔１０１ｂ～１０１ｅの配列は、移動部１００Ｃにおけるスライド部材１０１においても同様である。

移動部１００Ｂ、１００Ｄにおいては、孔１０１ｂ、１０１ｃの組は、Ｘ軸方向に並んで配置されている。孔１０１ｄ、１０１ｅの組も同様である。孔１０１ｂ、１０１ｃの組は、孔１０１ｄ、１０１ｅの組よりも支持部材１２０側に配置されている。また、孔１０１ｄ、１０１ｅ間の距離の方が孔１０１ｂ、１０１ｃ間の距離よりも狭い。

また、スライド部材１０１の側壁１０１ｆには、支持部材１２０側に３つのマグネット１０３が設けられている（図５（ａ）～図６（ａ）参照）。

連結部材１０２は、矩形状のブロック部材である。連結部材１０２は、上面に段付き孔が形成されている。この段付き孔は、リンクレバー１３０Ａとの連結の際に用いられる。連結部材１０２は、スライド部材１０１に設けられているマグネット１０３に接続する。このため、連結部材１０２は、磁性材料からなる部材で形成される。

または、連結部材１０２の側面に磁性材料からなるシートを貼り付けて、このシートがマグネット１０３と吸着するように構成することもできる。

なお、連結部材１０２にマグネット１０３が設けられるように構成してもよい。この場合、スライド部材１０１は磁性材料により形成される。または、上記と同様に、スライド部材１０１に磁性材料からなるシートを貼り付けて、このシートがマグネット１０３と吸着するように構成することもできる。

スライド部材１０１の側壁１０１ｆ、および連結部材１０２は、それぞれ、Ｘ軸方向に貫通する２つの孔が形成されている。スライド部材１０１と連結部材１０２とがマグネット１０３を介して接続された状態で、側壁１０１ｆおよび連結部材１０２に形成されている２つの孔のそれぞれにシャフト１０４が挿入される。２つのシャフト１０４のＸ軸負側の端部は、係止板１０５に形成されている２つの孔のそれぞれに嵌め込まれて、固定される。２つのシャフト１０４のＸ軸正側の端部は、後述するベース１２３に固定される。

このような構成により、スライド部材１０１と連結部材１０２とは、マグネット１０３によって一体化した状態で、シャフト１０４に沿って移動することができる。

上記のとおり、移動部１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは、移動部１００Ａと同様の構成である。

ピン１１０は、移動部１００Ａ～１００Ｄの各スライド部材１０１に２つずつ設けられる。図２および図３に示すように、２つのピン１１０はそれぞれ、孔１０１ｂ～１０１ｅのうち何れか２つの孔に嵌め込まれる。この場合、ピン１１０は、スライド部材１０１の底面部１０１ａの下面側（Ｚ軸負側）から嵌め込まれる。

図２および図３では、移動部１００Ａのスライド部材１０１には、孔１０１ｂ、１０１ｅに、２つのピン１１０が嵌め込まれている。移動部１００Ｂのスライド部材１０１には、孔１０１ｃ、１０１ｄに２つのピン１１０が嵌め込まれている。移動部１００Ｃ、１００Ｄの各スライド部材１０１には、孔１０１ｂ、１０１ｃに２つのピン１１０が嵌め込まれている。このような２つのピン１１０の配置による作用ついては、後で説明する。

図２に示すように、支持部材１２０は、台座部１２１と、台座部１２１の中央に設けられている軸部１２２と、から構成される。支持部材１２０の中央には、Ｚ軸方向に孔１２０ａが形成されている。孔１２０ａは、台座部１２１および軸部１２２の中央にそれぞれ形成されている同径の円形状の孔が連なった孔である。

また、支持部材１２０の台座部１２１は、十字型の形状に形成された板状の部材である。台座部１２１は、放射状に等間隔で配置されている４つの板部材の端部に段付き孔が１つずつ形成されている。この段付き孔は、後述するリンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄと支持部材１２０との連結に用いられる。

図３に示すように、支持部材１２０の下方には、ベース１２３が配置される。ベース１２３は、矩形状の板状の部材から四隅が切り欠かれた形状に形成されている。ベース１２３の中央には、Ｚ軸方向に円形状の孔１２３ａが形成されている。

また、移動部１００Ｂにおいて、２つのシャフト１０４の端部（係止板１０５に固定された端部と反対側の端部）は、ベース１２３の側面に形成されている２つの穴のそれぞれに嵌め込まれて、固定される。この２つの穴が形成されるベース１２３の側面は、移動部１００Ｂと対向する位置に位置付けられている側面である。

移動部１００Ａ、１００Ｃ、１００Ｄのそれぞれに設けられる２つのシャフト１０４も、移動部１００Ｂにおけるシャフト１０４と同様にして、ベース１２３に形成されている各穴に嵌め込まれて、固定される。

図４は、位置決め装置１０の一部の構成を示す斜視図である。

図２～図４に示すように、支持部材１２０の孔１２０ａとベース１２３の孔１２３ａとに、軸部材１２４が挿入される。軸部材１２４は、支持部材１２０にベアリングおよびナットで固定される。軸部材１２４の下端部は、ベース１２３にパワーロックで固定される。このような構成により、軸部材１２４は支持部材１２０およびベース１２３を支持する。支持部材１２０は、軸部材１２４により、ベース１２３に対して回動可能に軸支される。

図２に示すように、４つのリンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄは、アーチ状に形成された板状の部材である。リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｂは、それぞれ、４つの移動部１００Ａ～１００Ｄと支持部材１２０とを連結する。リンクレバー１３０Ａとリンクレバー１３０Ｃの組と、リンクレバー１３０Ｂとリンクレバー１３０Ｄの組とが、軸部材１２４（図４参照）の軸の回りに、互いに直交するように配置されている。

リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄの両端は、移動部１００Ａ～１００Ｄの連結部材１０２と支持部材１２０とに連結される。リンクレバー１３０Ａと移動部１００Ａとの連結は、図２および図４に示すように、リンクレバー１３０Ａの孔に段付きネジ１３１が上方から挿入され、段付きネジ１３１の軸部にワッシャが通される。段付きネジ１３１のネジ部は、移動部１００Ａの連結部材１０２の上面に形成されている段付き孔に挿入され、ネジ留めされる。

リンクレバー１３０Ａと支持部材１２０との連結は、図２および図４に示すように、リンクレバー１３０Ａの孔に段付きネジ１３２が下方から挿入され、段付きネジ１３２の軸部にワッシャが通される。段付きネジ１３２のネジ部が台座部１２１に形成されている段付き孔に挿入され、ネジ留めされる。

これにより、リンクレバー１３０Ａは、支持部材１２０が回動すると、段付きネジ１３１を中心に回動する。

リンクレバー１３０Ｃは、リンクレバー１３０Ａと同様にして、移動部１００Ｃの連結部材１０２および支持部材１２０に連結される。

リンクレバー１３０Ｂと移動部１００Ｂとの連結は、図２および図４に示すように、リンクレバー１３０Ｂの孔に段付きネジ１３１が上方から挿入され、段付きネジ１３１の軸部がカラー１３３で覆われる。段付きネジ１３１のネジ部は、移動部１００Ｂの連結部材１０２の上面に形成されている段付き孔に挿入され、ネジ留めされる。

リンクレバー１３０Ｂと支持部材１２０との連結は、図２および図４に示すように、リンクレバー１３０Ｂの孔に段付きネジ１３２が上方から挿入され、段付きネジ１３２の軸部にワッシャが通される。段付きネジ１３２のネジ部は台座部１２１に形成されている段付き孔に挿入され、ネジ留めされる。

これにより、リンクレバー１３０Ｂは、支持部材１２０が回動すると、段付きネジ１３１を中心に回動する。

リンクレバー１３０Ｄは、リンクレバー１３０Ｂと同様にして、移動部１００Ｄの連結部材１０２および支持部材１２０に連結される。

上記のように、リンクレバー１３０Ｂ、１３０Ｄと移動部１００Ｂ、１００Ｄの各連結部材１０２との連結では、段付きネジ１３１の軸部がカラー１３３で覆われる。これにより、リンクレバー１３０Ｂ、１３０Ｄは、リンクレバー１３０Ａ、１３０Ｃよりも支持部材１２０を挟んで異なる高さ位置に位置付けられる。このため、支持部材１２０が回動すると、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄは互いに干渉することなく回動できる。

また、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄは、アーチ状に形成されている。このため、支持部材１２０が軸部材１２４を中心に回動すると、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄは軸部材１２４との干渉を回避しながら回動できる。

なお、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄと軸部材１２４との干渉を回避する構成はこれに限られない。リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄと軸部材１２４とが干渉することなく回動する場合、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄはアーチ状ではなく直線状に形成されてもよい。

図１に戻って、駆動部１４０は、ロータリアクチュエータ１４１と、ギヤ１４２、１４３と、を備えている。ロータリアクチュエータ１４１の下方に、ギヤ１４２が装着されている。ギヤ１４３は、ギヤ１４２と噛み合うように配置されている。

図４に示すように、ギヤ１４３は、中央に孔１４３ａが形成されている。孔１４３ａは段付き孔である。ギヤ１４３は、支持部材１２０の軸部１２２の上面とネジ（不図示）でネジ留めされる。これにより、ギヤ１４３と支持部材１２０とが一体化される。また、ギヤ１４３の孔１４３ａに、Ｚ軸正側から軸部材１２４が挿入される。この軸部材１２４と孔１４３ａとの間にベアリングが嵌められる。

このような構成により、図１のロータリアクチュエータ１４１が回転駆動されるとギヤ１４２が回動する。そして、ギヤ１４２に噛み合うギヤ１４３が軸部材１２４を中心に回動する。上記のとおり、支持部材１２０とギヤ１４３とは一体化されているため、ギヤ１４３と支持部材１２０とが一体的に回動する。

再び図１に戻って、ギヤ１４３の上方には、ブロック部材１４４が設けられている。ブロック部材１４４は、Ｚ軸方向に貫通する孔が形成されており、この孔に軸部材１２４が挿入され、固定されている（図４参照）。ブロック部材１４４には、さらに、ロータリアクチュエータ１４１が設置されている。ブロック部材１４４の側面がフレーム２に固定される。これにより、位置決め装置１０が、ブロック部材１４４を介してフレーム２に取り付けられる。

図２および図３に示すように、検出部１５０は、４つのセンサ１５１～１５４を有する。センサ１５１～１５４は、保持部材１５５に設置されている。たとえば、移動部１００Ｂ、１００Ｃの間に配置されている保持部材１５５は、放射状に等間隔で配置されている３つのプレート１５５ａ～１５５ｃから構成されている。

保持部材１５５のプレート１５５ａは、ベース１２３のＺ軸負側でネジ（不図示）でネジ留めされる。プレート１５５ｂは、移動部１００Ｂとベース１２３との間に設けられているシャフト１０４に沿って配置されている。４つのセンサ１５１～１５４は、プレート１５５ｂ上に所定の間隔で設置される。

保持部材１５５のプレート１５５ｃは、移動部１００Ｃとベース１２３との間に設けられているシャフト１０４に沿って配置されている。４つのセンサ１５１～１５４は、プレート１５５ｃ上に所定の間隔で設置される。

移動部１００Ａ、１００Ｄの間にも、同様にして保持部材１５５が配置され、検出部１５０（４つのセンサ１５１～１５４）が設けられる。

センサ１５１～１５４は、何れも各連結部材１０２の位置を検出するために用いられる。ただし、センサ１５１～１５３は基板Ｆのサイズに応じて設けられる。たとえば、移動部１００Ａ～１００Ｄにおいて最も外側に配置されているセンサ１５１は、この位置決め装置１０が位置決めすることができる最大サイズの基板Ｆが位置決めされたときの４つの角部の位置に対応するように配置されている。

一方、センサ１５４は、支持部材１２０に近接する位置に設けられる。センサ１５１～１５４については、後で詳細に説明する。

［位置決め装置の動作］
図５（ａ）～図６（ａ）は、位置決め装置１０の動作を説明するために、位置決め装置１０を模式的に示した上面図である。図６（ｂ）は、図５（ｂ）および図６（ａ）の状態における、基板Ｆとピン１１０とを模式的に示した上面図である。なお、図５（ａ）～図６（ａ）は、説明の便宜上、移動部１００Ａ～１００Ｄ、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄ、支持部材１２０、およびベース１２３のみが図示されている。

また、図５（ａ）～図６（ａ）では基板Ｆが省略されているが、以下の説明では、図１に示されている基板Ｆの位置決めを行うものとして説明される。この場合、基板Ｆはテーブル２１０（図７（ａ）参照）に載置された状態である。さらに、基板Ｆに対応するセンサは、図２および図３を参照して説明された検出部１５０のうちセンサ１５１であるとして説明される。

図５（ａ）に示すように、初期状態において、移動部１００Ａ～１００Ｄの各スライド部材１０１は、係止板１０５と当接した状態である。図５（ａ）では、各スライド部材１０１と各連結部材１０２とがマグネット１０３を介して接続されている。図５（ａ）における各連結部材１０２の位置は、「開始位置」と称される。

図５（ａ）の状態から、支持部材１２０がＸ－Ｙ平面において反時計方向に回動すると、支持部材１２０に連結されているリンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄも支持部材１２０の回動に伴い移動する。このため、支持部材１２０が反時計方向に回動すると、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄによって、移動部１００Ａ～１００Ｄのスライド部材１０１および連結部材１０２が、それぞれ、シャフト１０４に沿って内方に引っ張られる。これにより、移動部１００Ａ～１００Ｄのスライド部材１０１および連結部材１０２が、互いに同期して、シャフト１０４に沿って支持部材１２０に向かって直線移動する。これにより、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄは、各連結部材１０２における段付きネジ１３１を中心として時計方向に回動する。

上記のとおり、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄは同様の構成であって、支持部材１２０に連結されている。また、移動部１００Ａ～１００Ｄは互いに同様に構成されている。よって、支持部材１２０の回動に伴い、移動部１００Ａ～１００Ｄは、一斉に、且つ、同じ移動量だけ支持部材１２０側の方に移動する。

その後、移動部１００Ａ～１００Ｄのスライド部材１０１および連結部材１０２のが、図５（ｂ）に示される位置に位置付けられると、各スライド部材１０１に２つずつ設けられているピン１１０が基板Ｆに当接する。このとき、図６（ｂ）に示すように、基板Ｆの４つの角部が２つのピン１１０と係合する。また、基板Ｆは、対角方向に並ぶ一対のピン１１０によって、対角方向に挟まれる。これにより、基板Ｆは前後左右に移動することができず、テーブル２１０（図７（ａ）参照）に対して位置決めされる。このように、基板Ｆがピン１１０に当接して位置決めされる位置、すなわち、図５（ｂ）における連結部材１０２の位置は、「位置決め位置」と称される。

このとき、図２の検出部１５０を構成するセンサ１５１は、連結部材１０２が位置決め位置に位置したことを検出する。上記のとおり、位置決め位置に連結部材１０２が位置したということは、スライド部材１０１に設けられているピン１１０が基板Ｆに当接したということである。これにより、基板Ｆはピン１１０によって位置決めされる。よって、「連結部材１０２が位置決め位置に位置に到着した」ということは、「基板Ｆの位置決めが行われた」ことを意味する。

このため、連結部材１０２の位置を検出部１５０で検出することにより、基板Ｆが適切に位置決めされたかどうかを把握することができる。

本実施形態では、このように、基板Ｆの状態（基板Ｆが位置決めされたか否か）を検出するために、図２を参照して説明したとおり、基板Ｆのサイズに応じた位置にセンサ１５１～１５３が配置されている。

こうして連結部材１０２が位置決め位置に到達した後、さらに、支持部材１２０が回動すると、図６（ａ）に示すように、スライド部材１０１と連結部材１０２とが離間する。すなわち、ピン１１０はスライド部材１０１に設けられているため、基板Ｆがストッパとなり、各スライド部材１０１はこれ以上支持部材１２０側つまり基板Ｆの内側に移動することはできない。

一方、各連結部材１０２はリンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄのそれぞれと連結されている。このため、支持部材１２０が回動し続けると、各連結部材１０２は、マグネット１０３による吸着力に抗して各スライド部材１０１から離間する。

スライド部材１０１から離間した連結部材１０２は、その後も、支持部材１２０の回動に伴い、支持部材１２０に向かって移動する。本実施形態では、連結部材１０２が支持部材１２０に最接近する位置は、「終了位置」と称される。

センサ１５４は、連結部材１０２が終了位置に位置付けられたことを検出する。これにより、連結部材１０２が位置決め位置で正常にスライド部材１０１から離間して、終了位置に到達したことが把握することができる。

連結部材１０２が終了位置に位置付けられた後、支持部材１２０が逆向きに回動（つまり、時計方向に回動）すると、連結部材１０２は位置決め位置に向かって移動する。このとき、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄは、支持部材１２０の回動に伴って移動する。

連結部材１０２が位置決め位置に到着すると、連結部材１０２はスライド部材１０１とマグネット１０３を介して接続される。これは、図５（ｂ）の状態に対応する。その後、支持部材１２０が回動すると、連結部材１０２とスライド部材１０１とは一体となって開始位置へ移動する。これは、図５（ａ）の状態に対応する。

このように、スライド部材１０１および連結部材１０２は、支持部材１２０の反時計方向の回動により、開始位置から位置決め位置に移動し（図５（ａ）、（ｂ））、連結部材１０２のみ位置決め位置から終了位置に移動する（図６（ａ））。その後、支持部材１２０の時計方向の回動により、連結部材１０２は、終了位置から再び位置決め位置に移動し、連結部材１０２が位置決め位置に到着すると、マグネット１０３を介してスライド部材１０１に接続された状態で、位置決め位置から開始位置に移動する。

なお、スライド部材１０１および連結部材１０２が位置決め位置に到着し、連結部材１０２のみ位置決め位置から終了位置に移動し、再び終了位置から位置決め位置に移動している間に、位置決めされた基板Ｆが後述する搬送装置２０によって搬送される。

［搬送装置の動作］
次に、搬送装置２０による基板Ｆの搬送について説明する。

図７（ａ）～（ｃ）は、位置決め搬送システムにおいて、搬送装置２０が基板Ｆを位置決め装置１０に搬送する様子を示した模式図である。なお、図７（ｂ）のみ、搬送部２００が省略されている。

図７（ａ）に示すように、搬送装置２０は、搬送部２００と、テーブル２１０と、圧力付与部２２０と、を備えている。搬送部２００は、たとえば、ロボットアームである。搬送部２００は、テーブル２１０を把持しつつテーブル２１０をＸ－Ｙ平面内で回動させたり、昇降させたすることにより、基板Ｆを所定の場所に搬送する。

テーブル２１０には複数の微小な孔が形成されている。圧力付与部２２０により空圧源（不図示）からテーブル２１０に負圧が付与されると、上記した複数の孔を通じて、基板Ｆに負圧が付与される。これにより、基板Ｆはテーブル２１０に吸着される。

これに対して、圧力付与部２２０により空圧源（不図示）からテーブル２１０に正圧が付与されると、上記した複数の孔を通じて、基板Ｆに正圧が付与される。これにより、基板Ｆはテーブル２１０に対する吸着が解除されるため、テーブル２１０上を移動することができる。

上記のような構成の搬送装置２０が基板Ｆを搬送する場合、図７（ａ）に示すように、搬送部２００は、基板Ｆが載置されたテーブル２１０を位置決め装置１０の直下の位置に搬送する。このとき、圧力付与部２２０によってテーブル２１０を介して基板Ｆに負圧が付与されている。これは、基板Ｆがテーブル２１０上で移動しないよう、テーブル２１０に基板Ｆを吸着するためである。その後、搬送部２００は、テーブル２１０を上昇させて、基板Ｆを位置決めのための所定の位置に位置付ける。

図７（ｂ）に示すように、搬送部２００によりテーブル２１０が所定の位置に位置付けられると、上記した位置決め装置１０による基板Ｆの位置決めが行われる。図７（ｂ）中の矢印は、移動部１００Ａ～１００Ｄの各スライド部材１０１および各連結部材１０２が基板Ｆの内方に向かって移動し、ピン１１０によって基板Ｆの位置決めが行われることを示している。

また、このとき、圧力付与部２２０によってテーブル２１０を介して基板Ｆに正圧が付与される。これにより、テーブル２１０に対する基板Ｆの吸着が解除されるため、基板Ｆをテーブル２１０上で動かすことが可能となり、基板Ｆの位置決めを行うことができる。なお、図７（ｂ）の状態は、図５（ｂ）の状態に対応する。

図７（ｃ）に示すように、基板Ｆの位置決めが終了すると、搬送部２００はテーブル２１０を昇降させる。このとき、圧力付与部２２０によってテーブル２１０を介して基板Ｆに負圧が付与される。これにより、基板Ｆがテーブル２１０に対して位置決めされた状態を維持することができる。

また、図７（ｃ）のとき、位置決め装置１０では、連結部材１０２がスライド部材１０１から離間して、終了位置に向かって移動する（図６（ａ））。連結部材１０２は終了位置から再び位置決め位置に移動し、位置決め位置で連結部材１０２がスライド部材１０１にマグネット１０３を介して接続された状態で（図５（ｂ））、位置決め位置から開始位置に移動する（図５（ａ））。

この後、搬送装置２０は、たとえば、テーブル２１０をスクライブ装置に搬送する。これにより、基板Ｆに対するスクライブ動作が行われる。

図８は、位置決め搬送システム１の構成を示すブロック図である。図８に示すように、位置決め搬送システム１は、上記の構成に加えて、制御部３０と、入力部３１と、報知部３２と、を備えている。

制御部３０は、ＣＰＵ等の演算処理回路や、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク等のメモリを含んでいる。制御部３０は、メモリに記憶されたプログラムに従って各部を制御する。

入力部３１は、タッチパネル等で構成され、使用者からの情報の入力を受け付ける。報知部３２は、ディスプレイやスピーカ等で構成され、使用者に、所定の情報を報知する。

図９（ａ）は、位置決め装置１０における移動部１００Ａ～１００Ｄの動作を示すフローチャートである。この制御は、図８に示した制御部３０が実行する。以下、制御部３０による制御を図９（ａ）のフローチャート、および上記した図５（ａ）～図６（ｂ）を適宜参照して説明する。

図９（ａ）のフローチャートにおける「開始」では、移動部１００Ａ～１００Ｄの各連結部材１０２が、マグネット１０３を介して各スライド部材１０１に接続された状態で、図５（ａ）に示す開始位置に位置付けられている。

ステップＳ１１において、制御部３０は駆動部１４０を駆動する。具体的には、ロータリアクチュエータ１４１を正駆動する。ロータリアクチュエータ１４１が正駆動するとギヤ１４２が回動し、ギヤ１４２の回動によりギヤ１４３が回動する。これにより、支持部材１２０が反時計方向に回動し、上記のように、移動部１００Ａ～１００Ｄのスライド部材１０１および連結部材１０２が開始位置から位置決め位置に向かって移動する。スライド部材１０１および連結部材１０２が、図５（ｂ）に示す位置決め位置に移動すると、上記のように、基板Ｆに対する位置決めが行われる。

その後、ロータリアクチュエータ１４１が正駆動を継続すると、各連結部材１０２がスライド部材１０１から離間する。そして、連結部材１０２は、図６（ａ）に示すように、単独で、終了位置に向かって移動する。

ステップＳ１２において、制御部３０は連結部材１０２が終了位置に到達したか否かを判定する。制御部３０は、支持部材１２０に最も近い位置に設けられているセンサ１５４の検出結果によって判定する。

センサ１５４が、連結部材１０２が終了位置に到達したことを検出すると、制御部３０は、連結部材１０２が終了位置に到達したと判定する（ステップＳ１２：ＹＥＳ）。この場合、制御部３０はロータリアクチュエータ１４１の正駆動を停止する（ステップＳ１３）。

センサ１５４が、連結部材１０２が終了位置に到達したことを検出しない場合、制御部３０は、連結部材１０２が終了位置に到達していないと判定する（ステップＳ１２：ＮＯ）。そして、制御部３０は、引き続きロータリアクチュエータ１４１を正駆動する。

ステップＳ１４において、制御部３０はロータリアクチュエータ１４１を逆駆動する。ロータリアクチュエータ１４１が逆駆動するとギヤ１４２が回動し、ギヤ１４２の回動によりギヤ１４３が回動する。これにより、支持部材１２０が時計方向に回動する。これにより、支持部材１２０が時計方向に回動し、上記のように、移動部１００Ａ～１００Ｄのスライド部材１０１および連結部材１０２が、終了位置から位置決め位置に向かって移動する。

連結部材１０２が図５（ｂ）に示す位置決め位置に位置すると、連結部材１０２はスライド部材１０１にマグネット１０３を介して接続される。そして、連結部材１０２およびスライド部材１０１は開始位置に向かって移動する。

ステップＳ１５において、制御部３０は連結部材１０２が開始位置に到達したか判定する。連結部材１０２が開始位置に到達した場合（ステップＳ１５：ＹＥＳ）、制御部３０は、ロータリアクチュエータ１４１の逆駆動を停止する（ステップＳ１６）。これに対して、連結部材１０２が開始位置に到達していない場合（ステップＳ１５：ＮＯ）、制御部３０は引き続きロータリアクチュエータ１４１を逆駆動する。

このようにして、１つの基板Ｆに対する位置決めが終了する。位置決めすべき基板Ｆがある場合、ステップＳ１１～Ｓ１６の処理が繰り返し行われる。

図９（ｂ）は、搬送装置２０の動作を示すフローチャートである。この制御は、図８に示した制御部３０が実行する。以下、制御部３０による制御を図９（ｂ）のフローチャート、および上記した図５（ａ）～図７（ｃ）を適宜参照して説明する。

図９（ｂ）のフローチャートにおける「開始」は、搬送装置２０のテーブル２１０上に位置決めを行う基板Ｆが載置され、圧力付与部２２０によりテーブル２１０を介して基板Ｆに負圧が付与されている状態である。また、図９（ｂ）のフローチャートが開始される前に、使用者は、図８の入力部３１を介して、基板Ｆのサイズを入力する。これにより、制御部３０は、検出部１５０のセンサ１５１～１５３のうち、基板Ｆのサイズに対応するセンサを特定する。

図９（ｂ）に示すように、ステップＳ２１において、制御部３０は搬送部２００を駆動させて、テーブル２１０を位置決めのための所定の位置（図７（ｂ）の位置）に搬送させる。

ステップＳ２１の処理で基板Ｆが所定の位置に位置付けられると、ステップＳ２２において、制御部３０は、圧力付与部２２０に、基板Ｆに正圧を付与させる。これにより、基板Ｆのテーブル２１０に対する吸着が解除される。このため、基板Ｆはテーブル２１０上で移動できる。

ステップＳ２３において、制御部３０は、移動部１００Ａ～１００Ｄに設けられている検出部１５０によって、移動部１００Ａ～１００Ｄの各連結部材１０２が基板Ｆのサイズに対応する位置に移動したことが検出されたか否か判定する。

本実施形態では、図２に示すように、移動部１００Ａ～１００Ｄのそれぞれに対して検出部１５０が設けられている。制御部３０は、これら４つの検出部１５０の全てにおいて、基板Ｆのサイズに対応する位置に、移動部１００Ａ～１００Ｄの各連結部材１０２が位置付けられたことが検出されたか否かを判定する。たとえば、基板Ｆのサイズが、センサ１５１に連結部材１０２が位置位置付けられるサイズである場合、制御部３０は、４つのセンサ１５１の全てが連結部材１０２を検出した場合に、基板Ｆの位置決めが完了したと判定する。

たとえば、４つのセンサ１５１のうち移動部１００Ａに対応付けられて設けられているセンサ１５１が連結部材１０２を検出しなかった場合、移動部１００Ａにおいて連結部材１０２が位置決め位置でない位置でマグネット１０３から離間している可能性がある。このような場合、移動部１００Ａのスライド部材１０１に設けられているピン１１０が基板Ｆを適切に係止できないため、基板Ｆの位置決めを適正に行うことができない。

または、移動部１００Ａに設けられているセンサ１５１に不具合が生じている可能性もある。この場合、そもそも、基板Ｆが適正に位置決めされたか否かを判定することができない。

このような理由により、４つのセンサ１５１の全てが連結部材１０２を検出した場合に、制御部３０は、基板Ｆが位置決めされたと判定する。

よって、ステップＳ２３で、制御部３０によって基板Ｆの位置決めが完了していないと判定した場合（ステップＳ２３：ＮＯ）、制御部３０は、報知部３２にエラーを報知させる（ステップＳ２４）。報知部３２により報知は、たとえば、ディスプレイに「エラー」と表示させる方法によって行われる。または、報知部３２から所定の報知音を出力させることにより、エラーの報知が行われてもよい。この他、報知部３２がランプを有する場合、ランプを点灯させて報知が行われてもよい。

この場合、使用者は位置決め装置１０の点検等行った後、再度、基板Ｆの位置決めを行う。

ステップＳ２３で制御部３０が基板Ｆの位置決めが完了したと判定した場合（ステップＳ２３：ＹＥＳ）、制御部３０は、圧力付与部２２０に、基板Ｆに負圧を付与させる。これにより、基板Ｆはテーブル２１０に吸着される（ステップＳ２５）。

ステップＳ２６において、制御部３０は、搬送部２００を駆動し、スクライブ装置へと基板Ｆを搬送させる。

このようにして、１つの基板Ｆに対する位置決めと搬送が終了する。さらに、位置決めおよび搬送すべき基板Ｆがある場合、制御部３０は、ステップＳ２１～Ｓ２６の処理を繰り返し実行する。

＜実施形態の効果＞
本実施形態の構成により、以下の効果を奏する。

図１および図２に示すように、位置決め装置１０は、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄが支持部材１２０および移動部１００Ａ～１００Ｄのそれぞれに連結される。また、移動部１００Ａ～１００Ｄのそれぞれにはピン１１０が２つ設けられている。

この構成により、駆動部１４０が支持部材１２０を所定方向に回動させると、移動部１００Ａ～１００Ｄが、支持部材１２０の回動に伴い、互いに支持部材１２０の方向に同時に移動する。こうして移動部１００Ａ～１００Ｄが移動すると、移動部１００Ａ～１００Ｄに配置されたピン１１０によって、基板Ｆが面内方向に挟まれる。これにより、基板Ｆは移動部１００Ａ～１００Ｄの中心付近に位置決めされる。

このように、１つの駆動部１４０により、移動部１００Ａ～１００Ｄを同期して移動させて、基板Ｆを所定の位置に位置決めできる。よって、基板Ｆの位置決めを、簡素な構成により効率良く行うことができる。

図１、図２、および図５（ａ）に示すように、移動部１００Ａ～１００Ｄは、それぞれ、スライド部材１０１と連結部材１０２とがマグネット１０３により接続されている。各連結部材１０２は、リンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄと連結されている。

この構成により、ピン１１０が基板Ｆに当接すると、基板Ｆがストッパとなって各スライド部材１０１はこれ以上基板Ｆ側に移動することはできない。一方、各連結部材１０２はリンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄと連結されているため、その後さらに支持部材１２０が回動されると、各連結部材１０２は、マグネット１０３による吸着力に抗してスライド部材１０１から離間して単独で支持部材１２０側に移動する。これにより、ピン１１０が基板Ｆに当接したとき、基板Ｆに過度な負荷が掛かからない。よって、基板Ｆの破損や変形を防止できる。

図２および図３に示すように、スライド部材１０１には孔１０１ｂ～１０１ｅが形成されており、このうちの何れか２つにピン１１０が差し込まれる。孔１０１ｂ～１０１ｅは、孔１０１ｂ、１０１ｃの組と孔１０１ｄ、１０１ｅの組とに分けた場合、孔１０１ｂ、１０１ｃ、および孔１０１ｄ、１０１ｅは、移動部１００Ａ～１００Ｄの移動方向に交差する方向に離れるように配置される。また、孔１０１ｂ、１０１ｃの間隔、および孔１０１ｄ、１０１ｅの間隔は、異なるように配置されている。

この構成により、平面視において基板Ｆが対角方向に一対の角を有する場合、移動部１００Ａ～１００Ｄの各スライド部材１０１に配置された２つのピン１１０を基板Ｆの各角に係合させることにより、基板Ｆを位置決めできる。

また、移動部１００Ａ～１００Ｄの各スライド部材１０１には、孔１０１ｂ～１０１ｅが形成されている。これにより、ピン１１０を嵌める孔を変更することにより、２つのピン１１０の間隔を変更できる。たとえば、基板Ｆのサイズが大きい場合は、２つのピン１１０の間隔が広い方が、安定的に基板Ｆを位置決めできる。したがって、上記構成によれば、基板Ｆのサイズに応じて、基板Ｆをより安定的に位置決めできる。

また、搬送部２００としてロボットアームが用いられる場合、基板Ｆ（テーブル２１０に載置された状態である）を位置決め装置１０の所定の位置に搬送する際、搬送部２００のアームがピン１１０に干渉することを防ぐため、ピン１１０の位置を適宜調整することができる。

たとえば、本実施形態では、移動部１００Ａ、１００Ｂでは、連結部材１０２の移動方向に交差する方向に配置されている孔１０１ｂ、１０１ｃ、および孔１０１ｄ、１０１ｅに２つのピン１１０が嵌め込まれていない。本実施形態では、移動部１００Ａのスライド部材１０１には、孔１０１ｂ、１０１ｅに、２つのピン１１０が嵌め込まれている。移動部１００Ｂのスライド部材１０１には、孔１０１ｃ、１０１ｄに２つのピン１１０が嵌め込まれている。

図１、図２、図４に示すように、移動部１００Ａ～１００Ｄおよびリンクレバー１３０Ａ～１３０Ｄは、軸部材１２４の回りに異なる位置に配置されている。

この構成により、基板Ｆの外周上の異なる複数の位置で基板Ｆをピン１１０で破産で位置決めできる。よって、基板Ｆを適正に位置決めできる。

図１、図２、図４に示すように、移動部１００Ａ、１００Ｃと、リンクレバー１３０Ａ、１３０Ｃとからなる組と、移動部１００Ｂ、１００Ｄと、リンクレバー１３０Ｂ、１３０Ｄとからなる組とは、軸部材１２４の回りに互いに直交する位置に配置される。また、移動部１００Ａ、１００Ｃのスライド部材１０１に設けられる２つのピン１１０は、移動部１００Ａ、１００Ｃの移動方向に交差する方向に離れるように配置れる。移動部１００Ｂ、１００Ｄのスライド部材１０１に設けられる２つのピン１１０も同様に配置される。

この構成により、平面視において基板Ｆが正方形である場合に、２つのピン１１０を基板Ｆの角に係合させることができる。よって、正方形の基板Ｆを適正に位置決めできる。

図７（ａ）～（ｃ）に示すように、位置決め搬送システム１において、搬送装置２０の搬送部２００は、基板Ｆが載置されたテーブル２１０を所定の箇所に搬送する。テーブル２１０は、位置決め装置１０により基板Ｆが位置決めされる期間は基板Ｆを吸着し、位置決め装置１０により基板Ｆが位置決めされたことに基づいて、基板Ｆの吸着を動作させる。

この構成により、位置決め装置１０に位置決めされた基板Ｆは位置決めされた状態を維持され状態で、所定の場所に搬送され得る。

図２および図３に示すように、位置決め装置１０は移動部１００Ａ～１００Ｄの各連結部材１０２を検出する検出部１５０、すなわち、４つのセンサ１５１～１５４を備える。

移動部１００Ａ～１００Ｄの連結部材１０２は、ピン１１０が基板Ｆに当接すると、スライド部材１０１から離間して単独で終了位置へ移動する。このように、連結部材１０２がスライド部材１０１から離間した位置は、ピン１１０により基板Ｆが位置決めされた位置である。このため、検出部１５０が備えるセンサ１５１～１５３により全て連結部材１０２の位置が正常に検出された場合、基板Ｆの位置決めが行われたことを把握することができる。

＜変更例＞
本発明の実施形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。

上記実施形態では、基板Ｆは正方形状のものが用いられたが、長方形状の基板Ｆであっても構わない。

この場合、基板Ｆの一方の対角線の延長線上に移動部１００Ａ、１００Ｃの組が配置され、もう一方の対角線の延長線上に移動部１００Ｂ、１００Ｄが配置される。リンクレバー１３０Ａは、移動部１００Ａおよび支持部材１２０と連結される。リンクレバー１３０Ｂ～１３０Ｄはそれぞれ、リンクレバー１３０Ａと同様に、移動部１００Ｂ～１００Ｄのそれぞれと、支持部材１２０とに連結される。

また、各スライド部材１０１に設けられる２つのピン１１０は、基板Ｆの４つの角部を挟み込めるように配置される。

また、基板Ｆは、円形状に形成されたものであってもよい。移動部１００Ａ～１００Ｄは、軸部材１２４を中心として等間隔に放射状に配置されているため、移動部１００Ａ～１００Ｄが基板Ｆに向かって移動すると、円形状の基板の外周にピン１１０が当接する。これにより、円形状の基板Ｆの位置決めを適切に行うことができる。

さらに、基板Ｆが円形状に形成されている場合、基板Ｆの外周縁に、４方向からピン１１０を当接させればよいので、各スライド部材１０１に設けられるピン１１０は１つでよい。

また、上記実施形態では、ピン１１０を差し込む孔は４つであったが、適宜増やすことができる。

また、上記実施形態では、移動部およびリンクレバーは４つ設けられていた。しかし、基板Ｆの形状が正方形状または長方形状の場合、一対の移動部および一対のリンクレバーが設けられていればよい。

この場合、基板Ｆの１つの対角線の延長線上に移動部１００Ａ、１００Ｃが配置される。これに対応するように、リンクレバー１３０Ａ、１３０Ｃが設けられる。これにより、基板Ｆの２つの角部（対角線上に位置する２つの角部）がピン１１０によって挟み込まれる。よって、基板Ｆが適切に位置決めされる。

また、上記実施形態では、基板Ｆの位置決めが完了したか否かを把握するため、３つのセンサ１５１～１５３によって連結部材１０２が位置決め位置に位置したことを検出した。このセンサは、基板Ｆのサイズに応じて変更してもよい。

また、上記実施形態では、３つのセンサ１５１～１５３が保持部材１５５に固定されていたが、連結部材１０２の位置を検出する構成はこれに限られない。

たとえば、連結部材１０２の開始位置から終了位置にかけてスライドボリュームを設置し、スイッチの移動量を検出するように構成されてもよい。この場合、スライドボリュームのスイッチが連結部材１０２に連結される。連結部材１０２の移動に伴ってスイッチが移動する。これにより、連結部材１０２の移動量、すなわち、スイッチの移動量が検出される。

このような構成により、センサを複数設ける必要なく、１つのスイッチで複数の基板Ｆに対して、連結部材１０２が位置決め位置に到達したことを検出することができる。

また、上記実施形態では、終了位置に連結部材１０２が到達したことを検出するためにセンサ１５４が設けられていたが、スライドボリュームを用いれば、終了位置に連結部材１０２が到達したことも併せて検出できる。

または、保持部材１５５に目盛を設けておき、使用者が基板Ｆのサイズに応じて、この目盛にしたがってセンサ１５１を手動で移動させてもよい。この場合でも、検出部１５０（センサ１５１）は、基板Ｆのサイズに応じて基板Ｆの位置決め位置（連結部材１０２の位置）を適切に検出することができる。

１…位置決め搬送システム
１０…位置決め装置
２０…搬送装置
１００Ａ～１００Ｄ…移動部
１０１…スライド部材
１０１ｂ～１０１ｅ…孔
１０２…連結部材
１０３…マグネット
１１０…ピン
１２０…支持部材
１２４…軸部材
１３０Ａ～１３０Ｄ…リンクレバー
１４０…駆動部
１５０…検出部
２００…搬送部
２１０…テーブル

Claims (6)

1. 基板に平行な方向に接近および離間可能に支持された少なくとも一対の移動部と、
   前記一対の移動部にそれぞれ配置され前記基板の外周を係止するピンと、
   前記一対の移動部の間に配置され前記基板に垂直な軸部材に軸支された支持部材と、
   前記支持部材と前記各移動部とをそれぞれ連結する一対のリンクレバーと、
   前記支持部材を前記軸部材について回動させる駆動部と、を備える位置決め装置において、
   前記移動部は、
   前記ピンが配置されるスライド部材と、
   前記スライド部材に対して前記支持部材側に配置され前記リンクレバーに連結される連結部材と、
   前記スライド部材と前記連結部材とを互いに吸着させるマグネットと、を備える、
   ことを特徴とする位置決め装置。
2. 請求項１に記載の位置決め装置において、
   前記移動部の移動方向に交差する方向に離れるように２つの前記ピンが前記移動部に配置され、
   前記移動部には、前記２つのピンを差し込んで設置するための２つの孔の組が、前記移動部の移動方向に離れるように、複数設けられ、
   前記各組の前記孔の間隔が、互いに相違している、
   ことを特徴とする、位置決め装置。
3. 請求項１または２に記載の位置決め装置において、
   前記一対の移動部および前記一対のリンクレバーの組が、前記軸部材の回りの異なる位置に複数配置されている、
   ことを特徴とする位置決め装置。
4. 請求項３に記載の位置決め装置において、
   前記一対の移動部および前記一対のリンクレバーの２つの前記組が、それぞれ、前記軸部材の回りの互いに直交する２つの位置に配置され、
   前記各組の移動部には、当該移動部の移動方向に交差する方向に離れるように２つの前記ピンが配置されている、
   ことを特徴とする位置決め装置。
5. 基板の位置を位置決めするための位置決め装置と、
   前記基板を位置決め装置に搬送する搬送装置と、を備え、
   前記位置決め装置は、前記基板に平行な方向に接近および離間可能に支持された少なくとも一対の移動部と、
   前記一対の移動部にそれぞれ配置され前記基板の外周を係止するピンと、
   前記一対の移動部の間に配置され前記基板に垂直な軸部材に軸支された支持部材と、
   前記支持部材と前記各移動部とをそれぞれ連結する一対のリンクレバーと、
   前記支持部材を前記軸部材について回動させる駆動部と、を備える位置決め搬送システムにおいて、
   前記搬送装置は、
   前記基板が載置されるテーブルと、
   前記テーブルを搬送する搬送部と、を備え、
   前記テーブルは、載置された前記基板を空圧源から付与される空気圧により吸着するよう構成され、
   前記搬送装置は、前記位置決め装置により前記基板が位置決めされる期間は、前記基板の吸着を解除し、前記位置決め装置により前記基板が位置決めされたことに基づいて、前記基板の吸着を動作させる、
   ことを特徴とする、位置決め搬送システム。
6. 請求項５に記載の位置決め搬送システムにおいて、
   前記位置決め装置は、前記移動部の移動位置を検出するための検出部を備え、
   前記搬送装置は、前記検出部により、前記移動部が前記基板のサイズに応じた位置に移動したことが検出されたことに基づいて、前記テーブルに対する前記基板の吸着動作を開始させる、
   ことを特徴とする、位置決め搬送システム。

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