CN110015557B - 基板翻转装置 - Google Patents

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Abstract

技术问题：提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板的翻转的基板翻转装置。解决方案：基板翻转装置(1)具备能够吸附基板的一对吸附部(100)、以及驱动一对吸附部(100)的驱动部(200)。其特征在于，驱动部(200)在第一位置与第二位置之间驱动一对吸附部(100)，所述第一位置是一对吸附部(100)以在其与基板(F)的载置面(2c及2d)之间能够交接基板(F)的方式与载置面(2c及2d)相对的位置，所述第二位置是一对吸附部(100)以在垂直于载置面(2c及2d)的状态下能够交接基板(F)的方式彼此相对的位置。

Description

基板翻转装置
技术领域
本发明涉及一种用于使基板翻转的基板翻转装置。
背景技术
一般而言，由玻璃基板等脆性材料制成的母基板经过划线工序和断裂工序而截断成规定大小的基板。当向这些工序供给时，母基板被适当正反翻转。例如，在贴合两张玻璃基板而构成母基板的情况下，在母基板的两面形成有划分线。在这种情况下，在一面形成划分线之后，使母基板正反翻转并在另一面形成划分线。除此之外，也有时使形成有划分线的母基板正反翻转并向断裂工序供给。
在以下的专利文献1中公开有一种装置，所述装置在水平方向上并列的两张工作台之间输送母基板时使母基板正反翻转。该装置具备在水平方向上输送母基板的输送机构、以及使母基板翻转的旋转机构。在输送机构及旋转机构上分别设置有吸附板。载置于一个工作台的母基板被旋转机构的吸附板吸附而进行正反翻转。进行了正反翻转的母基板从旋转机构的吸附板交接给输送机构的吸附板。之后，母基板被输送机构向另一个工作台输送，并载置于另一个工作台。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利公开2014-080336号公报
发明内容
(一)要解决的技术问题
在专利文献1的结构中，使母基板翻转时，从工作台暂时提起母基板后，使其在水平方向上退避，为了在该位置上使母基板旋转180度而需要在水平方向及垂直方向上确保充足的空间。另外，当像这样翻转母基板时，需要分别执行从工作台提起母基板的工序、使母基板在水平方向上退避的工序、使母基板旋转180度的工序，很难说母基板的正反翻转操作是高效的。
鉴于该问题，本发明的目的在于提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板的翻转的基板翻转装置。
(二)技术方案
本发明的主要方式涉及一种基板翻转装置。本方式的基板翻转装置具备能够吸附基板的一对吸附部、以及驱动所述一对吸附部的驱动部。所述驱动部构成为在第一位置与第二位置之间驱动所述一对吸附部，所述第一位置是所述一对吸附部以能够在其与所述基板的载置面之间交接所述基板的方式与所述载置面相对的位置，所述第二位置是一对吸附部以在垂直于所述载置面的状态下能够交接所述基板的方式彼此相对的位置。
根据本结构，当一个吸附部在第一位置吸附了基板后，将两吸附部定位于第二位置，从而能够从一个吸附部向另一个吸附部交接基板。而且，之后将另一个吸附部定位于第一位置，从而能够一边使基板正反翻转一边将其载置于载置面。根据上述结构，只要使一对吸附部在90度左右的角度范围内转动，就能够进行基板的正反翻转。因而，能够高效地且在更小的空间进行基板的翻转。
在本方式的基板翻转装置中，可以构成为，所述驱动部具备一组联动机构，所述联动机构通过被施加旋转驱动力而使所述各吸附部分别在所述第一位置与所述第二位置之间移动。
根据本结构，将电动机作为驱动源使用，从而能够平顺地控制各吸附部。
在本方式的基板翻转装置中，可以构成为，所述各联动机构具备：支撑部，其可直线移动地支撑所述吸附部；支撑轴，其可旋转地支撑所述支撑部；转动部件，其利用所述旋转驱动力转动；以及连接轴，其与所述支撑轴平行地配置，并使所述转动部件与所述吸附部彼此可转动地连接。
在这种情况下，当在平行于所述支撑轴的方向上观察时，所述连接轴能够以伴随着所述转动部件的转动而在所述转动部件的转动轴与所述支撑轴之间通过的方式配置。
根据本结构，当利用旋转驱动力使转动部件转动时，吸附部相对于支撑部接近及远离并转动，从而在第一位置与第二位置之间移动。即，吸附部伴随着朝向第一位置与第二位置的中间附近而接近支撑部，并伴随着朝向第一位置及第二位置而远离支撑部。因而，在第二位置，能够使一对吸附部在相互夹持基板的方向上接近，并能够在一对吸附部之间平顺地交接基板。另外，在第一位置，能够使各吸附部在其与载置面之间在夹持基板的方向上接近载置面，并能够在各吸附部与载置面之间平顺地交接基板。
在本方式的基板翻转装置中，可以构成为，所述各联动机构分别利用单独的驱动电动机而被施加所述旋转驱动力。
根据本结构，由于能够对各联动机构分别施加驱动力，因此能够适当对各联动机构分别进行控制。但是，驱动电动机并非必须对各联动机构分别设置，而也可以构成为将一个驱动电动机的驱动力通过传动机构向各联动机构分配。
(三)有益效果
如以上所述，根据本发明，能够提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板的翻转的基板翻转装置。
通过以下所示的实施方式的说明，能够进一步明确本发明的效果、意义。但是，以下所示的实施方式只是实施本发明时的一个例示，本发明不受以下实施方式所记载的内容的任何限制。
附图说明
图1是表示实施方式的基板翻转装置的外观结构的立体图。
图2是图1的局部放大图，是用于说明实施方式的基板翻转装置的联动机构的图。
图3的(a)～(d)是示意性地表示实施方式的基板翻转装置的动作的主视图。
图4的(a)～(c)是示意性地表示实施方式的基板翻转装置的动作的主视图。
图5的(a)是示出实施方式的基板翻转装置的结构的框图。图5的(b)是实施方式的基板翻转装置的动作的流程图。
附图标记说明
1-基板翻转装置；2-基板载置部；2a、2b-基板载置部；2c、2d-载置面；10-支撑部；20-支撑轴；30-转动部件；31-转动轴；40-连接轴；100-吸附部；200-驱动部；210-电动机；220-联动机构；F-基板。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，在各图中为了方便而标注有相互正交的X轴、Y轴以及Z轴。X-Y平面与水平面平行，Z轴方向是垂直方向。Z轴正侧是上方，Z轴负侧是下方。
[实施方式]
玻璃基板及陶瓷基板等脆性材料基板、PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂)基板以及聚酰亚胺树脂基板等树脂基板等(以下简称为“基板”)经过各种处理而成为最终产品。作为这样的处理，例如有将基板切断成规定数量的分割要素的处理、除去切断基板时所产生的端材的处理、清洁基板的表面的处理等。基板按照处理运入规定的载置台，当处理结束后为了进行下个处理而向其它的载置台运出。
实施方式的基板翻转装置1是在将经过了划线工序和断裂工序后的母基板切断成规定大小的分割要素后，对规定数量的各分割要素进行正反翻转的装置。此外，在本实施方式中，“规定方向”是X轴正方向，与基板F的分割要素向基板翻转装置1运入的方向一致。此外，在这之后，有些“吸附基板F”、或者“对基板F进行正反翻转”等“基板F”的记载，这表示基板翻转装置1通过一次动作进行正反翻转的规定数量的分割要素。
基板的种类例如有聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、PET等聚酯树脂、聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃树脂、聚苯乙烯、聚氯乙烯等聚乙烯树脂等的树脂基板等有机基板(也包括膜、片。以下相同)、以及玻璃基板、陶瓷基板等脆性材料基板等无机基板，通过实施方式的基板翻转装置1进行翻转的基板F是树脂基板。树脂基板可以层叠有不同的基板，例如是从下层起按照顺序层叠有PET、聚酰亚胺树脂、PET的基板。
运入基板翻转装置1的基板F是在规定方向上分割成多个分割要素的状态。基板F可以在规定方向上分割，再相对于规定方向垂直地分割。这样进行了分割的基板F的分割要素呈网格状。
图1是表示实施方式的基板翻转装置1的外观结构的立体图。如图1所示，基板翻转装置1具备基板载置部2、压力施加部3、吸附部100、驱动部200。
基板载置部2是具有用于载置基板F的平坦面即基板的载置面的部件，例如包含工作台、带式输送机等。基板载置部2由基板载置部2a、基板载置部2b构成，所述基板载置部2a载置向基板翻转装置1运入的基板F，所述基板载置部2b载置进行了正反翻转后的基板F。在基板载置部2a及2b上形成有多个细孔，由将在下面进行说明的压力施加部3产生的压力通过该细孔输送至基板F。
压力施加部3包含压缩气源，且设置于基板载置部2的下表面，向基板F的下表面施加压力。当压力施加部3向基板F施加压力时，通过形成于基板载置部2的下表面的多个微小的孔向基板F的下表面施加压力。当压力施加部3对基板F施加负压时，基板F被吸附于基板载置部2。因此，基板F难以从基板载置部2分离。因而，可抑制基板F的分割要素的位置偏移。与此相对，在压力施加部3不对基板F施加负压的情况下，以及施加正压的情况下，可解除基板载置部2对基板F的吸附。因此，能够容易地使基板F从基板载置部2分离。
在图1中，示出了仅设置有一个压力施加部3的基板翻转装置1，也可以在基板载置部2a及2b分别设置压力施加部3。
如图1所示，吸附部100具备对载置于基板载置部2a的基板F进行吸附的第一吸附部101、以及从第一吸附部101接收基板F的第二吸附部102。第一吸附部101和第二吸附部102成对地设置于基板翻转装置1。在实施方式的基板翻转装置1中，第一吸附部101与第二吸附部102的结构相同。此外，第一吸附部101及第二吸附部102的结构只要是能够在二者之间交接基板F的结构即可，不是必须二者的结构相同。另外，在基板翻转装置1中，第一吸附部101配置于基板载置部2a的载置面2c，第二吸附部102配置于基板载置部2b的载置面2d。
吸附部100即第一吸附部101及第二吸附部102具备吸附垫110、阀驱动部120、配管130、基座部140。吸附垫110设置有多个，用于吸附基板F。阀驱动部120(参照图5的(a))连接于未图示的压缩气源，当从压缩气源向吸附垫110施加正压或者负压时，进行阀的变换，而向吸附垫110施加负压或者正压。配管130是将多个吸附垫110彼此连结的部件。配管130经由未图示的配管与阀驱动部120连接。基座部140是设置吸附垫110及配管130的底座，材质是不锈钢。
此外，虽然在图1中图示了设置有十张基座部140的基板翻转装置1，但是基座部140的张数、大小可以根据基板F的分割要素的数量、大小适当调整。另外，吸附垫110、配管130的数量也可以根据基板F的分割要素的数量、大小适当调整。而且，不需要在各基座部140上设置相同数量的吸附垫110，可以按照基座部140变更吸附垫110的个数。
驱动部200驱动第一吸附部101及第二吸附部102。如图1所示，驱动部200具备电动机210、联动机构220、传动部230。联动机构220驱动第一吸附部101及第二吸附部102。在图1中示出了针对第一吸附部101及第二吸附部102分别在Y轴正侧和负侧各设置有一个联动机构220的结构。以下对设置于第一吸附部101的联动机构220进行说明，设置于第二吸附部102的情况也是同样的。
图2是图1的局部放大图，是用于对实施方式的基板翻转装置1的联动机构220进行说明的图。如图1及图2所示，联动机构220具备支撑部10、支撑轴20、转动部件30、连接轴40。
支撑部10支撑第一吸附部101。支撑部10具备支撑块11、两个轴12。支撑块11在Z轴方向上形成有两个孔11a、以及在Y轴方向上形成有孔11b。在各个孔11a的内周分别设置有轴承部13。两个轴12贯穿于各轴承部13。
在孔11b贯穿有可旋转地支撑支撑部10的支撑轴20。此外，在将支撑轴20贯穿于支撑块11的孔11b的情况下，也可以在支撑块11设置固定环14。
转动部件30是利用电动机210的旋转驱动力进行转动的矩形状的板部件。转动部件30在X轴方向的两端形成有孔30a及孔30b。在孔30a设置有转动轴31，在孔30b沿着Y轴方向贯穿有连接轴40。连接轴40经由连结部50与第一吸附部101连接。
连结部50连结支撑部10及连接轴40。另外，第一吸附部101经由连结部50与支撑轴20及连接轴40连接。连结部50具有连结块51、两个连结轴52、固定部53。
连结块51在Z轴方向上形成有两个孔51a。支撑部10的两个轴12分别贯穿于两个孔51a。由此，经由两个轴12将支撑部10与连结部50连接。另外，连结块51在Y轴方向上形成有三个孔。三个孔中的两个孔51b形成为比两个孔51a更靠下方。在两个孔51b分别贯穿有两个连结轴52。另外，各个连结轴52利用固定部53而分别固定于基座部140。
形成于连结块51的三个Y轴方向的孔中的孔51c位于两个孔51a之间。孔51c贯穿有连接轴40。这样，支撑轴20、连接轴40以及两个连结轴52沿着Y轴方向平行地配置。
传动部230将电动机210的驱动力向联动机构220传递。如图1所示，传动部230分别设置于各联动机构220。
传动部230具备两个同步带轮231、带232。两个同步带轮231安装于板4，在该两个同步带轮231上缠有带232。在图1中，介由Y轴正侧的板4设置有电动机210和两个同步带轮231以及带232。在两个同步带轮231中，位于Z轴正侧即上方的同步带轮231与电动机210通过轴233连接。另一方面，位于Z轴负侧即下方的同步带轮231与转动轴31连接。此外，在图1中，在基板翻转装置1的Y轴负侧未设置电动机210。因此，位于Y轴负侧的同步带轮231仅与轴233连接。
当电动机210进行旋转驱动时，旋转驱动力经由轴233向位于上方的同步带轮231传递。由此，带232运动，位于下方的同步带轮231旋转，向转动轴31施加旋转驱动力。
接着，参照图3的(a)～(d)以及图的4(a)～(c)对基板翻转装置1使基板F正反翻转的动作进行说明。图3的(a)～(d)以及图4的(a)～(c)是用于说明基板翻转装置1的动作的示意图，是从Y轴正侧观察基板翻转装置的图。
图3的(a)所示的基板翻转装置1的状态是向基板翻转装置1运入的基板F，也就是说，分割成规定数量的分割要素的状态的基板F载置于基板载置部2a的载置面2c并且第一吸附部101与载置面2c相对的状态。这样，将第一吸附部101与载置面2c相对时的第一吸附部101的位置称为“第一位置”。另一方面，第二吸附部102也是与基板载置部2b的载置面2d相对的状态，第二吸附部102的位置与第一吸附部101同样地是第一位置。另外，将垂直于第一位置的位置称为“第二位置”。
如图3的(a)所示，第一吸附部101在第一位置吸附基板F的面F1。此时，转动部件30相对于第一位置的角度大致是0度。当转动部件30以转动轴31为中心在X-Z平面上向X轴正侧移动，也就是说，向右转动时，连接轴40以接近支撑部10的支撑块11的方式向右转动。此时，连接轴40与第一吸附部101通过连结部50连结，因此认为本来是与转动部件30同样地向右转动。
但是，随着连接轴40接近支撑轴20，支撑块11以避开转动部件30的方式向与转动部件30的转动方向的相反的X-Z平面内的X轴负侧移动，也就是说向左转动。当支撑块11向左转动时，轴12在Z轴正方向上直线移动。轴12经由连结部50与第一吸附部101连结，因此第一吸附部101追随着支撑部10的向左转动而向左转动。图3的(b)示出其状态。
如图3的(b)所示，当转动部件30相对于第一位置的角度大致为45度时，连接轴40最接近支撑轴20。而且，当转动部件30相对于第一位置的角度超过约45度时，如图3的(c)所示，连接轴40远离支撑轴20。而且，如图3的(d)所示，当转动部件30相对于第一位置的角度大致为90度时，连接轴40最远离支撑轴20。这样，利用联动机构220，第一吸附部101的转动方向从左转变换成右转。
另一方面，第二吸附部102在基板翻转装置1中，与第一吸附部101相对于Z-Y平面对称地动作。也就是说，在第二吸附部102中，转动部件30在X-Z平面中向X轴负侧移动，也就是说，向左转动。与上述的第一吸附部101的转动同样地，第二吸附部102利用联动机构220变换转动方向，向与转动部件30的转动方向相反的X-Z平面中的X轴正侧移动，也就是说，向右转动。由此，如图3的(b)～(d)所示，在第二吸附部102中，连接轴40也以相对于支撑轴20接近以及远离的方式转动。而且，如图3的(d)所示，在第二位置，第一吸附部101与第二吸附部102彼此相对。
当第一吸附部101及第二吸附部102是图3的(d)所示的状态时，从第一吸附部101向第二吸附部102交接基板F。在此，如上所述，第一吸附部101吸附基板F的面F1侧。因而，第二吸附部102吸附面F1的相反侧的面F2。
吸附了基板F的第二吸附部102以及交接了基板F的第一吸附部101从第二位置向第一位置返回。如图4的(a)～(c)所示，第二吸附部102侧的转动部件30向右转动。由此，第二吸附部102与之相反地向左转动而与载置面2d相对，也就是说定位于第一位置。如图4的(c)所示，第二吸附部102在载置面2d载置基板F。此时，基板F的面F1与载置面2d抵接。这样，实施方式的基板翻转装置1能够在基板F从第一吸附部101向第二吸附部102交接的时机进行基板F的正反翻转。
另一方面，第一吸附部101侧的转动部件30从第二位置向左转动。因而，第一吸附部101向右转动，从而位于与载置面2d相对的位置即第一位置。
图5的(a)是表示基板翻转装置1的结构的框图。如图5的(a)所示，基板翻转装置1具备图1所示的基板载置部2、压力施加部3、吸附部100、驱动部200，还具备输入部60、检测部70、控制部80。
输入部60接受通过基板翻转装置1进行正反翻转的基板F的数量。检测部70检测第一吸附部101及第二吸附部102的位置。如上所述，第一吸附部101及第二吸附部102在第二位置隔着基板F彼此相对，从而进行基板F的翻转及交接。因此，利用检测部70检测第一吸附部101及第二吸附部102的位置，并且控制二者位于第一位置和第二位置的时机。检测部70只要能够适当检测出第一吸附部101及第二吸附部102的位置即可，例如能够使用传感器、摄像装置等。
控制部80包含CPU等运算处理电路、ROM、RAM、硬盘等存储器。控制部80按照存储于存储器的程序对各部进行控制。
图5的(b)是表示实施方式的基板翻转装置1的动作的流程图。该控制由图5的(a)所示的控制部80执行。另外，在图5的(b)的流程图中，“开始”时的基板翻转装置1的状态是基板F运入基板翻转装置1并载置于基板载置部2a的状态。
在步骤S11中，控制部80使压力施加部3针对基板F解除负压或者施加正压。由此，可解除基板载置部2a与基板F的吸附状态，因此容易使基板F从基板载置部2a分离。
在步骤S12中，控制部80使压缩气源的负压施加于第一吸附部101，因此使阀驱动部120切换。由此，使基板F容易吸附于第一吸附部101。步骤S11及S12对应于图3的(a)所示的基板翻转装置1的状态。
在步骤S13中，控制部80使电动机210旋转驱动，向各联动机构220施加旋转驱动力。由此，第一吸附部101和第二吸附部102以相互接近的方式转动。步骤S13对应于图3的(b)及(c)所示的基板翻转装置1的状态。
在步骤S13中，当第一吸附部101及第二吸附部102进行转动而相互位于第二位置时，在步骤S14中，控制部80解除压缩气源的负压或者施加正压，因此使阀驱动部120切换。由此，可解除第一吸附部101与基板F的吸附状态，使基板F容易从第一吸附部101分离。另外，控制部80使压缩气源的负压施加于第二吸附部102，因此使阀驱动部120切换。由此，向第二吸附部102施加负压，因此可利用第二吸附部102吸附基板F。由此，使基板F从第一吸附部101向第二吸附部102交接。步骤S14对应于图3的(d)所示的基板翻转装置1的状态。
在步骤S14之后，第一吸附部101及第二吸附部102如图4的(a)～(c)所示那样从第二位置向第一位置转动。在步骤S15中，如图4的(c)所示那样，在第二吸附部102即将位于第一位置之前或者是同时地，控制部80控制压力施加部3对基板F施加负压。在向基板F施加了负压的情况下，基板F与基板载置部2b成为吸附状态。因而，能够使基板F以整齐排列的状态载置于基板载置部2b。
在步骤S16中，控制部80判断是否有应该进行正反翻转的基板F。在准备了应该进行正反翻转的基板F的情况下，再次进行步骤S11～S15的处理。在步骤S16中，在没有应该进行正反翻转的基板F的情况下，结束基板翻转装置1对基板F的正反翻转。
＜实施方式的效果＞
根据本实施方式，可实现以下效果。
如图1及图2所示，在基板翻转装置1中，吸附部100的第一吸附部101和第二吸附部102成对。另外，对第一吸附部101和第二吸附部102应用相同结构的联动机构220。因而，能够容易地构成基板翻转装置1。
如图3的(a)～(d)以及图4的(a)～(c)所示，基板F的正反翻转在第一位置与第二位置之间进行。在联动机构220中，假设在未设置支撑部10的情况下，在图3的(a)的状态下，由于转动部件30的向右转动，第一吸附部101也会向右转动。在这种情况下，如果转动部件30没有转动180度，则无法使基板F正反翻转。因此，基板翻转装置在水平方向及垂直方向上需要空间。与此相对，实施方式的基板翻转装置1的联动机构220如图1所示那样具备支撑轴20、转动轴31以及连接轴40，且在支撑轴20与连接轴40之间具备能够直线移动的轴12。由此，能够使第一吸附部101向与转动部件30的转动方向相反的方向转动。也就是说，可利用联动机构220来进行吸附部100的转动方向的变换。因此，吸附部100的转动范围只要是90度左右即可，并能够在第二位置使基板翻转。因而，能够在更小的空间进行基板的翻转。
另外，在第二位置交接基板F的同时进行基板F的正反翻转。因而，能够高效地使基板F翻转。
[其它实施方式]
在上述的实施方式中构成为，分别在第一吸附部101及第二吸附部102设置有电动机210，但是也可以使电动机210为一个。在这种情况下，例如可以构成为，利用齿轮等传动机构将一个电动机210的驱动力向各联动机构220分配。
本发明的实施方式能够在权利要求书所示的技术思想的范围内适当进行各种变更。

Claims (3)

1.一种基板翻转装置，其特征在于，具备：
一对吸附部，其能够吸附基板；以及
驱动部，其驱动所述一对吸附部，
所述驱动部在第一位置与第二位置之间驱动所述一对吸附部，所述第一位置是所述一对吸附部以能够在其与所述基板的载置面之间交接所述基板的方式与所述载置面相对的位置，所述第二位置是所述一对吸附部以在垂直于所述载置面的状态下能够交接所述基板的方式彼此相对的位置，
所述驱动部具备一组联动机构，所述联动机构通过被施加旋转驱动力而使所述各吸附部分别在所述第一位置与所述第二位置之间移动，
所述各联动机构具备：
支撑部，其可直线移动地支撑所述吸附部；
支撑轴，其可旋转地支撑所述支撑部；
转动部件，其利用所述旋转驱动力转动；以及
连接轴，其与所述支撑轴平行地配置，并使所述转动部件与所述吸附部彼此可转动地连接。
2.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，
当在平行于所述支撑轴的方向上观察时，所述连接轴以伴随着所述转动部件的转动而在所述转动部件的转动轴与所述支撑轴之间通过的方式配置。
3.根据权利要求1或2所述的基板翻转装置，其特征在于，
所述各联动机构分别利用单独的驱动电动机而被施加所述旋转驱动力。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7029187B2 (ja) 2020-01-29 2022-03-03 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板反転装置および分断システム
CN114654579B (zh) * 2022-05-05 2024-05-28 江苏宗恒科技有限公司 一种用于混凝土预制式桩型零件的连续翻转装置
WO2023230377A1 (en) * 2022-05-27 2023-11-30 Jabil Inc. A flipping tray picker gantry

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004107064A (ja) * 2002-09-20 2004-04-08 Yoshino Gypsum Co Ltd ボード反転装置及びボード反転方法
CN1712333A (zh) * 2004-06-22 2005-12-28 大日本网目版制造株式会社 基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装置及方法
CN103420138A (zh) * 2013-07-25 2013-12-04 浙江金指科技有限公司 一种玻璃翻面传送机
CN104380456A (zh) * 2012-06-15 2015-02-25 斯克林集团公司 基板翻转装置以及基板处理装置
CN106493907A (zh) * 2017-01-05 2017-03-15 埃科产品创意开发（深圳）有限公司 注塑自动合件装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10129832A (ja) * 1996-10-28 1998-05-19 Ricoh Co Ltd カード状ワークの吸着反転昇降装置及び該装置を備えるカード状ワークの反転移送装置
JP3789635B2 (ja) * 1998-03-31 2006-06-28 ローム株式会社 電子部品用基板の表裏反転装置
JP3733569B2 (ja) * 2003-01-21 2006-01-11 山久チヱイン株式会社 ワーク反転システム
JP4197129B2 (ja) * 2003-03-19 2008-12-17 シャープ株式会社 ワーク搬送装置
TWI334749B (en) * 2008-01-04 2010-12-11 Foxconn Advanced Tech Inc Releasing and collecting system for printed circuit board and turn-over method using the same
JP5318482B2 (ja) * 2008-07-23 2013-10-16 ジャパンマリンユナイテッド株式会社 板状体の反転装置及び方法
JP2014080336A (ja) 2012-10-17 2014-05-08 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 基板分断装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004107064A (ja) * 2002-09-20 2004-04-08 Yoshino Gypsum Co Ltd ボード反転装置及びボード反転方法
CN1712333A (zh) * 2004-06-22 2005-12-28 大日本网目版制造株式会社 基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装置及方法
CN104380456A (zh) * 2012-06-15 2015-02-25 斯克林集团公司 基板翻转装置以及基板处理装置
CN103420138A (zh) * 2013-07-25 2013-12-04 浙江金指科技有限公司 一种玻璃翻面传送机
CN106493907A (zh) * 2017-01-05 2017-03-15 埃科产品创意开发（深圳）有限公司 注塑自动合件装置

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