KR20170126438A - 흡착 부재 및 액정 셀 흡착 회전 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 액정 셀의 상이한 반송 방식에 대응할 수 있고, 또한 흡착 부재에 있어서의 유효 작업 면적 비율을 향상시킴과 함께, 동작의 효율이 높은 흡착 부재를 제공한다. 당해 흡착 부재에는, 액정 셀의 표면과 접촉하는 복수의 흡착부가 형성되고, 수평면 내에 있어서의 상기 흡착부의 배치 영역은 「＋」자형이 된다. 또, 본 발명은, 당해 흡착 부재를 구비한 액정 셀 흡착 회전 장치를 제공한다.

Description

흡착 부재 및 액정 셀 흡착 회전 장치{SUCTION HOLDING MEMBER, AND APPARATUS FOR SUCTION HOLDING AND ROTATING A LIQUID CRYSTAL CELL}

본 발명은, 흡착 부재, 및 당해 흡착 부재를 구비한 액정 셀 흡착 회전 장치에 관한 것이다.

통상, 액정 셀 처리 라인, 예를 들어 액정 표시 장치를 제조하기 위한 광학 필름 첩합 라인에 있어서 반송되는 액정 셀은 사각형이고, 장변과 단변을 갖는다. 그리고, 액정 셀이 반송되는 방식에도, 액정 셀의 장변이 액정 셀 반송 방향을 따르도록 반송되는 MD 방식과, 액정 셀의 장변이 액정 셀 반송 방향에 수직하도록 반송되는 TD 방식이 있다.

액정 셀에 대한 제조 공정에서의 처리 요구에 의해, 동일 라인에 있어서, 반송 방식을 상기 2 종의 반송 방식 간에서 전환할 필요가 있다. 이 경우, 액정 셀 흡착 회전 장치에 의해, 먼저 라인에 있어서의 액정 셀을 흡착하고, 또한 상하로 이동하고 나서 회전시킴으로써, 액정 셀의 반송 방식을 전환한다.

이미 이와 같은 액정 셀 흡착 회전 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 에 기재되어 있는 액정 셀 흡착 회전 장치는, 위로부터 액정 셀을 흡착하고 회전시킨다. 또, 특허문헌 3 에 기재되어 있는 액정 셀 흡착 회전 장치는, 아래로부터 액정 셀을 흡착하고 지지하면서 회전시킨다.

일본 공개특허공보 2002-12319호 일본 공개특허공보 2013-107185호 일본 공개특허공보 평08-112793호

하지만, 상기 종래의 액정 셀 흡착 회전 장치는, 모두 액정 셀과 동일한 형상을 갖는 사각형의 흡착 부재를 구비하고 있다. 이 경우, 흡착 부재가 MD, TD 반송 방식의 어느 것에도 대응하려면, 흡착 부재의 치수를 증가시켜, 사각형의 흡착 부재의 단변이 액정 셀의 장변보다 길게 할 수 밖에 없다. 이와 같이 하면, 흡착 부재 및 액정 셀 흡착 회전 장치가 커지고, 또한 흡착 부재에 있어서의 쓸데없는 면적의 비율이 커진다.

또, 사각형의 흡착 부재는, 180 도의 대칭성밖에 없기 때문에, 예를 들어 MD 방식으로부터 TD 방식으로 바꾸기 위해서, 먼저의 액정 셀을 90 도 선회한 후, 다음으로 반송되어 오는 액정 셀을 선회하기 위해서는, 또 90 도 선회 동작을 해야 한다. 그 때문에, 동작의 효율도 향상시킬 여지가 있다.

본 발명은, 이와 같은 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, MD 및 TD 반송 방식의 어느 것에도 대응할 수 있고, 또한 흡착 부재에 있어서의 유효 작업 면적 비율을 향상시킴과 함께, 동작의 효율이 높은 흡착 부재를 제공한다. 또한, 본 발명은, 상기 흡착 부재를 구비하는 액정 셀 흡착 회전 장치를 제공한다.

구체적으로, 본 발명의 제 1 형태에서 제공되는 흡착 부재는, 액정 셀을 흡착하기 위한 흡착 부재로서, 액정 셀의 표면과 접촉하는 복수의 흡착부가 형성되고, 수평면 내에 있어서의 상기 흡착부의 배치 영역은 「＋」자형이 된다.

또, 본 발명의 제 2 형태에 관련된 흡착 부재에 의하면, 상기 흡착부가 탄성재로 이루어진다. 이와 같이 하면, 액정 셀의 표면에 접촉하고 흡착을 실시할 때, 액정 셀의 표면에 흠집을 낼 가능성을 감소시킨다.

또, 본 발명의 제 3 형태에 관련된 흡착 부재에 의하면, 상기 제 1 또는 제 2 형태에 있어서, 상기 흡착 부재가 수평면 내에 있어서의 형상이 「＋」자형이 되는 흡착 패드이고, 상기 흡착부가 상기 흡착 패드의 하면에 배치된다.

또, 본 발명의 제 4 형태에 관련된 흡착 부재에 의하면, 상기 제 3 형태에 있어서, 상기 흡착부가 상기 흡착 패드의 하면에 균일하게 배치된다.

또, 본 발명의 제 5 형태에 관련된 흡착 부재에 의하면, 상기 제 1 또는 제 2 형태에 있어서, 상기 흡착 부재가, 일방향을 따라 연신하는 적어도 2 개의 흡착 아암과, 상기 일방향과 수직하는 방향을 따라 연신하는 적어도 2 개의 흡착 아암에 의해 구성되는 흡착 프레임이고, 상기 흡착 프레임의 수평면 내에 있어서의 포락선의 형상이 「＋」자형이 되고, 상기 흡착부가 상기 흡착 아암의 하면에 배치된다.

또, 본 발명의 제 6 형태에 관련된 흡착 부재에 의하면, 상기 제 5 형태에 있어서, 상기 흡착부가 상기 흡착 아암에 균일하게 배치된다.

또, 본 발명의 제 7 형태에 관련된 흡착 부재에 의하면, 상기 제 1 또는 제 2 형태에 있어서, 상기 흡착 부재가, 일방향을 따라 연신하는 적어도 2 개의 흡착 아암과, 상기 일방향과 수직하는 방향을 따라 연신하는 적어도 2 개의 흡착 아암에 의해 구성되는 흡착 프레임이고, 상기 흡착 프레임의 수평면 내에 있어서의 포락선의 형상이 「＋」자형이 되고, 상기 흡착부가 상기 흡착 아암의 상면에 배치된다.

또, 본 발명의 제 8 형태에 관련된 흡착 부재에 의하면, 상기 제 7 형태에 있어서, 상기 흡착부가 상기 흡착 아암에 균일하게 배치된다.

상기 각 흡착 부재에 의하면, MD 및 TD 반송 방식의 어느 것에도 대응할 수 있고, 또한 흡착 부재에 있어서의 유효 작업 면적 비율을 향상시켜, 장치의 대형화를 방지할 수 있다. 또, 90 도 선회 후에, 다음의 액정 셀과 얼라인먼트하기 위해서 또 90 도 선회할 필요가 없기 때문에, 동작의 효율도 향상시킬 수 있다.

또, 본 발명의 제 9 형태는, 액정 셀을 흡착한 상태에서 회전할 수 있는 액정 셀 흡착 회전 장치로서, 상기 액정 셀 흡착 회전 장치가 액정 셀 반송로의 상방에 위치하고, 상기 흡착부가 흡착 부재의 하면에 배치되어 액정 셀 반송로를 향하여 상기 액정 셀에 대향하는, 제 1 ∼ 6 형태 중 어느 하나에 기재된 흡착 부재와, 액정 셀을 흡착하기 위한 부압을 발생시키는 진공 펌프와, 상기 진공 펌프와 상기 흡착부를 연통하는 흡기로와, 상기 흡착 부재의 중심을 둘레로, 수평면 내에서 상기 흡착 부재를 선회시키는 선회 수단과, 상기 흡착 부재를 상하로 이동시키는 상하 이동 수단을 구비하는 액정 셀 흡착 회전 장치를 제공한다. 제 9 형태의 액정 셀 흡착 회전 장치에 의하면, 본 발명의 흡착 부재를 사용함으로써, MD 및 TD 반송 방식의 어느 것에도 대응할 수 있고, 또한 흡착 부재에 있어서의 유효 작업 면적 비율을 향상시켜, 장치의 대형화를 방지할 수 있다. 또, 90 도 선회 후에, 다음의 액정 셀과 얼라인먼트하기 위해서 또 90 도 선회할 필요가 없기 때문에, 동작의 효율도 향상시킬 수 있다.

또, 본 발명의 제 10 형태에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치는, 상기 제 9 형태에 있어서, 상기 흡착 부재를 수평으로 이동시키는 수평 이동 수단을 추가로 구비한다. 이와 같이 하면, 액정 셀을 이동하면서 회전할 수 있으므로, 라인에 있어서의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.

또, 본 발명의 제 11 형태에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치는, 상기 제 9 또는 제 10 형태에 있어서, 상기 흡기로가 메인 흡기로와 복수의 서브 흡기로로 이루어지고, 상기 메인 흡기로의 일단이 상기 진공 펌프와 연통되고, 상기 메인 흡기로의 타단이 복수의 서브 흡기로로 분기되고, 각 서브 흡기로가 적어도 1 개의 흡착부에 연통되고, 메인 흡기로 및 각 서브 흡기로에는, 독립적으로 개폐할 수 있는 밸브가 각각 설치되어 있다. 이와 같이 하면, 액정 셀의 상이한 치수 및 반송 방식에 따라, 흡착 부재에 있어서의 실제의 흡착 영역을 유연하게 배치할 수 있다.

또, 본 발명의 제 12 형태는, 액정 셀을 흡착한 상태에서 회전할 수 있는 액정 셀 흡착 회전 장치로서, 상기 액정 셀 흡착 회전 장치가 액정 셀 반송로의 하방에 위치하고, 상기 흡착부가 흡착 부재의 상면에 배치되어 액정 셀 반송로를 향하여 상기 액정 셀에 대향하는, 제 7 또는 8 형태에 기재된 흡착 부재와, 액정 셀을 흡착하기 위한 부압을 발생시키는 진공 펌프와, 상기 진공 펌프와 상기 흡착부를 연통하는 흡기로와, 상기 흡착 부재의 중심을 둘레로, 수평면 내에서 상기 흡착 부재를 선회시키는 선회 수단과, 액정 셀 반송로에 있어서의 반송 롤러 사이의 간극을 통하여 상기 흡착 부재를 상하로 이동시키는 상하 이동 수단을 구비하는 액정 셀 흡착 회전 장치를 제공한다. 제 12 형태의 액정 셀 흡착 회전 장치에 의하면, 제 9 형태와 동일하게 MD 및 TD 반송 방식의 어느 것에도 대응할 수 있고, 또한 흡착 부재에 있어서의 유효 작업 면적 비율을 향상시켜, 장치의 대형화를 방지할 수 있다. 또, 90 도 선회 후에, 다음의 액정 셀과 얼라인먼트하기 위해서 또 90 도 선회할 필요가 없기 때문에, 동작의 효율도 향상시킬 수 있다.

또, 본 발명의 제 13 형태에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치는, 상기 제 12 형태에 있어서, 액정 셀 반송로에 있어서의 반송 롤러 사이의 간극을 따라 상기 흡착 부재를 수평으로 이동시키는 수평 이동 수단을 추가로 구비한다. 이와 같이 하면, 액정 셀을 이동하면서 회전할 수 있으므로, 제 10 형태와 동일하게 라인에 있어서의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.

또, 본 발명의 제 14 형태에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치는, 상기 제 12 형태 또는 제 13 형태에 있어서, 상기 흡기로가 메인 흡기로와 복수의 서브 흡기로로 이루어지고, 상기 메인 흡기로의 일단이 상기 진공 펌프와 연통되고, 상기 메인 흡기로의 타단이 복수의 서브 흡기로로 분기되고, 각 서브 흡기로가 적어도 1 개의 흡착부에 연통되고, 메인 흡기로 및 각 서브 흡기로에는, 독립적으로 개폐할 수 있는 밸브가 각각 설치되어 있다. 이와 같이 하면, 액정 셀의 상이한 치수 및 반송 방식에 따라, 제 11 형태와 동일하게 흡착 부재에 있어서의 실제의 흡착 영역을 유연하게 배치할 수 있다.

도 1 은, 본 발명에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치를 구비하는 광학 필름 첩합 라인의 구조 개략도이다.
도 2 는, 제 1 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치의 구조 개략도이다.
도 3A, 도 3B 는, 제 1 실시예에 관련된 흡착 패드의 평면도이고, 도 3A 는 MD 반송 방식에서의 상태를 나타내고, 도 3B 는 TD 반송 방식에서의 상태를 나타낸다.
도 4A ∼ 4H 는, 제 1 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치의 흡착 회전 동작을 나타내는 개략도이다.
도 5 는, 제 2 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치의 구조 개략도이다.
도 6A, 도 6B 는, 제 2 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치의 흡착 회전 이동 동작을 나타내는 개략도이다.
도 7A, 7B 는, 제 3 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치의 구조 개략도이다.
도 8A, 8B 는, 제 3 실시예에 관련된 흡착 프레임의 평면도이고, 도 8A 는 MD 반송 방식에서의 상태를 나타내고, 도 8B 는 TD 반송 방식에서의 상태를 나타낸다.
도 9 는, 반송 롤러 사이의 간극을 나타내는 개략도이다.
도 10A ∼ 10D 는, 제 3 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치의 흡착 회전 동작을 나타내는 개략도이다.
도 11 은, 제 4 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치의 구조 개략도이다.
도 12A, 12B 는, 제 4 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치의 흡착 회전 이동 동작을 나타내는 개략도이다.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 설명한다. 이하의 실시예는, 단지 본 발명의 실시예일뿐이고, 본 발명에 대한 제한은 아니다. 또, 본 명세서에서 「제 1」, 「제 2」 등은 동일한 종류에 속하는 상이한 것을 구분하기 위해서 사용되는 용어이고, 반송 방향에서의 순서 등의 제한적인 의미가 없다.

또, 본 명세서에 있어서 「액정 셀」이란, 액정 패널에 한정되지 않고, 디스플레이 패널의 제조 중에 광학 필름을 첩합 (貼合) 하기 위해 임의의 기판상의 소재라고 이해할 수 있다. 본 명세서에 있어서 「광학 필름」이란, 예를 들어 편광 필름과 같은 디스플레이 패널의 광학 특성을 조정하는 임의의 필름이다.

또, 본 명세서에 있어서 「상」, 「하」, 「좌」, 「우」는, 특별히 설명이 없는 한 액정 셀 반송로를 따라 상류측으로부터 하류측을 향한 경우의 「상」, 「하」, 「좌」, 「우」의 방향이다.

먼저, 도 1 을 참조하면서 본 발명에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치를 구비하는 액정 셀 처리 라인의 일례로서, 광학 필름 첩합 라인 (이하, 「라인」이라고도 한다) 을 설명한다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 라인은, 액정 셀 공급부 (A), 액정 셀 반송로 (B), 제 1 광학 필름 반송로 (C), 제 2 광학 필름 반송로 (D), 및 액정 셀 배출부 (E) 를 포함한다.

액정 셀 공급부 (A), 액정 셀 반송로 (B), 및 액정 셀 배출부 (E) 는, 순차적으로 연접되어 있다. 제 1 광학 필름 반송로 (C) 와 제 2 광학 필름 반송로 (D) 는, 각각에 액정 셀 반송로 (B) 의 상방 또는 하방에 위치한다.

제 1 광학 필름 반송로 (C) 는, 제 1 광학 필름 반송로 (C) 의 가장 상류측에 배치되고, 제 1 광학 필름 적층체를 제공하는 제 1 광학 필름 공급부 (CF1) 와, 제 1 광학 필름 공급부 (CF1) 의 하류에 배치되고, 제 1 광학 필름 공급부 (CF1) 로부터 공급되는 제 1 광학 필름 적층체를 규정된 길이의 시트재로 절단하는 제 1 광학 필름 절단부 (CF2) 와, 제 1 광학 필름 절단부 (CF2) 의 하류 또한 액정 셀 반송로 (B) 에 배치되고, 액정 셀 (U) 의 한 면에 제 1 광학 필름을 첩합하는 제 1 광학 필름 첩합부 (CF3) 와, 제 1 광학 필름 반송로 (C) 의 가장 하류측에 배치되고, 첩합 후의 제 1 캐리어 필름을 권취하는 제 1 캐리어 필름 권취부 (CF4) 를 구비한다.

제 2 광학 필름 반송로 (D) 는, 제 2 광학 필름 반송로 (D) 의 가장 상류측에 배치되고, 제 2 광학 필름 적층체를 제공하는 제 2 광학 필름 공급부 (DF1) 와, 제 2 광학 필름 공급부 (DF1) 의 하류에 배치되고, 제 2 광학 필름 공급부 (DF1) 로부터 공급되는 제 2 광학 필름 적층체를 규정된 길이의 시트재로 절단하는 제 2 광학 필름 절단부 (DF2) 와, 제 2 광학 필름 절단부 (DF2) 의 하류 또한 액정 셀 반송로 (B) 에 배치되고, 액정 셀 (U) 의 한 면에 제 2 광학 필름을 첩합하는 제 2 광학 필름 첩합부 (DF3) 와, 제 2 광학 필름 반송로 (D) 의 가장 하류측에 배치되고, 첩합 후의 제 2 캐리어 필름을 권취하는 제 2 캐리어 필름 권취부 (DF4) 를 구비한다.

액정 셀 (U) 은, 액정 셀 공급부 (A) 로부터 액정 셀 반송로 (B) 로 들어간다.

액정 셀 공급부 (A) 측으로부터 액정 셀 반송로 (B) 상으로 순차적으로 액정 셀 공급부 (A) 의 뒤에 위치하고, 필요에 따라 액정 셀 반송로 (B) 로 들어가는 액정 셀 (U) 을 흡착하여 선회시키는 제 1 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR1) 와, 제 1 광학 필름 첩합부 (CF3) 부근의 상류측에 위치하고, 액정 셀 (U) 을 흡착하여 제 1 광학 필름 첩합부 (CF3) 의 작업 개시 위치로 이동하여 얼라인먼트시키는 제 1 액정 셀 흡착 이동 장치 (BT1) 와, 제 1 광학 필름 첩합부 (CF3) 의 뒤에 위치하고, 필요에 따라 제 1 광학 필름 첩합부 (CF3) 를 통과한 액정 셀 (U) 을 흡착하여 선회시키는 제 2 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR2) 와, 제 2 광학 필름 첩합부 (DF3) 부근의 상류측에 위치하고, 액정 셀 (U) 을 흡착하여 제 2 광학 필름 첩합부 (DF3) 의 작업 개시 위치로 이동하여 얼라인먼트시키는 제 2 액정 셀 흡착 이동 장치 (BT2) 와, 제 2 광학 필름 첩합부 (DF3) 의 하류에 위치하고, 필요에 따라 제 2 광학 필름 첩합부 (DF3) 를 통과한 액정 셀 (U) 을 흡착하여 선회시키는 제 3 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR3) 를 구비한다. 또, 제 1, 제 2, 제 3 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR1, BR2, BR3) 의 부근에는, 각각 액정 셀이 흡착 대기 위치에 도달했는지의 여부를 검출하는 액정 셀 위치 센서 (BP1, BP2, BP3) 가 설치되어 있다. 또, 필요에 따라 제 2 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR2) 부근의 위치에 액정 셀의 상하면을 반전시키는 반전 수단을 구비한다.

광학 필름 첩합이 완료된 액정 셀 (U) 은, 액정 셀 반송로 (B) 로부터 액정 셀 배출부 (E) 로 배출되고, 하류 공정에 사용된다.

상기 라인에 있어서, 제 1, 제 2, 제 3 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR1, BR2, BR3) 가 본 발명에 관련된 액정 셀 흡착 선회 장치이다.

＜제 1 실시예＞

이하, 도 2 를 참조하면서, 본 발명에 관련된 액정 셀 흡착 선회 장치의 제 1 실시예를 설명한다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 는, 흡착 패드 (BR-B10), 진공 펌프 (BR-P), 흡기로 (BR-G), 선회 수단 (BR-R), 및 상하 이동 수단 (BR-ST) 을 포함한다. 본 실시예에 있어서, 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 는, 액정 셀 반송로 (B) 의 상방에 위치한다.

흡착 패드 (BR-B10) 는, 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 가 액정 셀 (U) 을 흡착할 때에, 액정 셀 (U) 과 직접 접촉하는 부재이다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (BR-B10) 의 하면에 복수의 흡착부 (BR-B20) 가 배치되고, 흡착부 (BR-B20) 는 액정 셀 반송로측인 하측을 향하여 액정 셀 (U) 과 대향한다. 흡착을 하지 않을 때, 흡착 패드 (BR-B10) 는, 액정 셀 반송로 (B) 로부터 일정한 고도를 갖는 상방의 지점에 위치한다. 액정 셀 (U) 을 흡착할 때, 흡착 패드 (BR-B10) 는, 후술하는 상하 이동 수단 (BR-ST) 에 의해 내려가, 흡착부 (BR-B20) 를 액정 셀 반송로 (B) 에 있어서의 액정 셀 (U) 의 상면에 접촉시킨다. 액정 셀 (U) 의 표면에 대한 데미지를 방지하기 위해서, 바람직하게는 흡착부 (BR-B20) 는, 예를 들어 고무와 같은 탄성재로 이루어지는 흡입 노즐이다.

도 3A, 3B 는, 상방을 향하여 본 경우의 흡착 패드 (BR-B10) 의 평면도이고, 파선으로 MD, TD 반송 상태의 액정 셀 (U) 을 각각 나타내고 있다. 평면도로 나타낸 바와 같이, 흡착 패드 (BR-B10) 의 형상은 「＋」자형이 된다. 흡착 패드 (BR-B10) 의 하면에 있어서의 흡착부 (BR-B20) 의 배치 영역이 「＋」자형이 되면 되지만, 바람직하게는 흡착부 (BR-B20) 는 흡착 패드 (BR-B10) 의 하면에 균일하게 배치된다.

흡착부 (BR-B20) 가 「＋」자형의 영역에 배치되므로, 도 3A, 3B 에 나타내는 바와 같이, TD, MD 반송 방식 중의 어느 액정 셀도, 평면으로 볼 때 흡착부 (BR-B20) 의 배치 영역 내에 수납된다. 본 실시예에 있어서, TD, MD 반송 방식 중의 어느 액정 셀도, 흡착 패드 (BR-B10) 의 윤곽 범위 내에 수납된다. 또한, 실제로 이것에 한정되지 않고, 액정 셀의 중심과 흡착 패드 (BR-B10) 의 중심을 얼라인먼트하여 흡착하면 된다. 요컨대, 액정 셀이 흡착부 (BR-B20) 의 배치 영역이나 흡착 패드 (BR-B10) 의 윤곽 범위로부터 튀어나와도 된다.

그 때문에, 본 실시예의 흡착 패드 (BR-B10) 는, TD, MD 반송 방식 양방에 대응할 수 있어, 종래의 사각형의 흡착 패드에 비해 쓸데없는 면적의 비례가 감소하여, 장치의 대형화가 방지된다.

진공 펌프 (BR-P) 는, 액정 셀 (U) 을 흡착하기 위한 부압을 발생시키는 것이면, 주지의 제품을 사용해도 된다.

흡기로 (BR-G) 는, 진공 펌프 (BR-P) 와 흡착부 (BR-B20) 를 연통하고, 메인 흡기로 (BR-G10) 및 복수의 서브 흡기로 (BR-G20) 를 구비하고 있다. 메인 흡기로 (BR-G10) 의 일단은 진공 펌프 (BR-P) 와 연통하고, 메인 흡기로 (BR-G10) 의 타단은 복수의 서브 흡기로 (BR-G20) 로 분기되어 각각에 흡착 패드 (BR-B10) 에 있어서의 흡착부 (BR-B20) 에 연통한다. 또한, 각 서브 흡기로 (BR-G20) 가 또한 복수의 모세 흡기로로 분기되고, 이 모세 흡기로를 통하여 흡착부 (BR-B20) 에 연통해도 된다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 메인 흡기로 (BR-G10) 에는 메인 밸브 (BR-V10) 가 설치되고, 또한 각 서브 흡기로 (BR-G20) 에는 각각 서브 밸브 (BR-V20) 가 설치되어 있다. 메인 밸브 (BR-V10) 및 각 서브 밸브 (BR-V20) 는, 각각 독립적으로 개폐할 수 있다. 메인 밸브 (BR-V10) 를 개폐함으로써, 흡착 패드 (BR-B10) 를 전체적으로 진공 펌프 (BR-P) 와 연통 또는 차단한다. 또, 메인 밸브 (BR-V10) 를 개방한 경우, 서브 밸브 (BR-V20) 를 선택적으로 개폐함으로써, 흡착 패드 (BR-B10) 에 있어서의 흡착부 (BR-B20) 의 배치 영역 내에서 실제로 흡착력을 발생시키는 영역을 유연하게 조정할 수 있다. 예를 들어, 도 3A 에 나타낸 경우, 흡착 패드 (BR-B10) 의 상, 하 양측의 돌출 영역 (요컨대, 액정 셀 (U) 이외의 영역) 중의 흡착부 (BR-B20) 에 따르는 서브 흡기로 (BR-G20) 는 각각의 서브 밸브 (BR-V20) 에 의해 차단되어, 당해 영역에서 흡착력이 발생하지 않는다. 또, 예를 들어 도 3B 에 나타낸 경우, 흡착 패드 (BR-B10) 의 좌, 우 양측의 돌출 영역 (요컨대, 액정 셀 (U) 이외의 영역) 중의 흡착부 (BR-B20) 에 따르는 서브 흡기로 (BR-G20) 는 각각의 서브 밸브 (BR-V20) 에 의해 차단되어, 당해 영역에서 흡착력이 발생하지 않는다.

메인 밸브 (BR-V10) 및 서브 밸브 (BR-V20) 의 개폐는, 수동으로 실시해도 되고, 컴퓨터의 제어로 자동으로 실시해도 된다.

선회 수단 (BR-R) 은, 「＋」자형인 흡착 패드 (BR-B10) 의 중심 O 의 둘레로, 수평면 내에서 흡착 패드 (BR-B10) 를 선회시킨다. 선회 수단 (BR-R) 은, 모터 등의 주지의 선회 수단을 사용하면 된다. 그리고, 그 선회 방향에 대해서도 제한이 없다.

상하 이동 수단 (BR-ST) 은, 흡착 패드 (BR-B10) 를 상하 방향으로 이동시킨다. 상하 이동 수단 (BR-ST) 은, 예를 들어 상하 방향을 따라 설치된 가이드 슬리브 (BR-ST10) 와, 가이드 슬리브 (BR-ST10) 를 따라 슬라이드할 수 있는 슬라이드 바 (BR-ST20) 를 구비한다. 또, 상하 이동 수단 (BR-HT) 은, 로봇 아암 등 외의 주지의 구조여도 된다.

또, 바람직하게는 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 는, 흡착 패드 (BR-B10) 가 상하로 이동하는 거리를 제어하기 위해서, 액정 셀 반송로 (B) 에 대한 흡착 패드 (BR-B10) 의 고도를 검사하는 고도 센서 (도시 생략) 를 구비한다.

또, 흡착 패드 (BR-B10) 의 선회 동작과 상하 이동 동작을 순조롭게 실시할 수 있으면, 흡착 패드 (BR-B10), 선회 수단 (BR-R), 상하 이동 수단 (BR-ST) 간의 결합 관계에 대해 특별히 제한이 없다. 그 일례로서 도 2 에 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (BR-B10) 와 슬라이드 바 (BR-ST20) 가 일체로 고정되고, 슬라이드 바 (BR-ST20) 가 가이드 슬리브 (BR-ST10) 를 따라 상하로 이동하고, 가이드 슬리브 (BR-ST10) 가 선회 수단 (BR-R) 에 의해 슬라이드 바 (BR-ST20) 와 함께 선회된다.

이하, 도 4A ∼ 4F 를 참조하면서, 제 1 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 가 실시하는 MD 반송 상태로부터 TD 반송 상태까지의 흡착 선회 동작을 설명한다.

도 4A 에 나타내는 바와 같이, 액정 셀 (U) 은, 액정 셀 반송로에서의 흡착 대기 위치로 반송된다. 라인에 설치된 액정 셀 위치 센서가 액정 셀 (U) 의 흡착 대기 위치까지의 반송을 검출하면, 당해 흡착 대기 위치에서의 반송 롤러의 회전을 정지하여, 액정 셀 (U) 을 당해 흡착 대기 위치에 정지시킨다. 흡착 대기 위치는, 도 3A 또는 도 3B 에 나타낸 바와 같이, 평면으로 볼 때 MD 또는 TD 반송 방식의 액정 셀의 중심이 「＋」자형의 흡착 패드의 중심에 얼라인먼트되도록 설정되어 있다. 이것으로, 흡착 패드의 중심에 액정 셀의 중심이 위치하도록 되고, 선회 전후에 액정 셀의 중심이 어긋나는 일이 없다. 또한, 액정 셀의 중심과 흡착 패드의 중심이 위치 맞춤되면, 액정 셀이 흡착 패드의 윤곽 내로 들어가도 되고, 윤곽으로부터 부분적으로는 튀어나와도 된다.

계속해서, 도 4B 에 나타내는 바와 같이, 상하 이동 수단 (BR-ST) 을 구동하여, 흡착부 (BR-B20) 가 액정 셀 (U) 의 상면에 접촉할 때까지 흡착 패드 (BR-B10) 를 하방으로 이동시킨다.

그리고, 메인 밸브 (BR-V10) 를 개방함과 함께, 서브 밸브 (BR-V20) 를 선택적으로 개방함으로써, 액정 셀 (U) 의 상면과 접촉하고 있는 흡착부 (BR-B20) 에 흡착력을 발생시켜, 액정 셀 (U) 에 대해 흡착을 실시한다.

계속해서, 도 4C 에 나타내는 바와 같이, 상하 이동 수단 (BR-ST) 을 구동하여, 액정 셀 (U) 을 흡착하고 있는 흡착 패드 (BR-B10) 를 상측으로 규정된 고도까지 이동한다.

계속해서, 도 4D 에 나타내는 바와 같이, 선회 수단 (도시 생략) 에 의해 흡착 패드와 함께 액정 셀 (U) 을 90 도 선회시킨다. 이 선회에 의해, 도 4G 에 나타내는 바와 같이, 원래 MD 반송 상태에 있던 액정 셀이, TD 반송 상태로 바뀐다.

계속해서, 도 4E 에 나타내는 바와 같이, 상하 이동 수단 (BR-ST) 을 구동하여, 액정 셀 (U) 이 액정 셀 반송로에 있어서의 반송 롤러에 접촉할 때까지 흡착 패드 (BR-B10) 를 하방으로 이동시킨다. 도시 생략한 압력 센서 등에 의해 액정 셀 (U) 이 반송 롤러에 지지되었다고 판단하면, 메인 밸브 (BR-V10) 를 폐쇄하여, 흡착부 (BR-B20) 의 흡착을 해제한다.

계속해서, 도 4F 에 나타내는 바와 같이, 상하 이동 수단 (BR-ST) 을 구동하여, 흡착 패드 (BR-B10) 를 올려, 액정 셀 (U) 의 상면으로부터 멀어진다. 흡착 패드 (BR-B10) 가 「＋」자형이므로, 이때 다음의 액정 셀 (U) 과 얼라인먼트하기 위해서, 흡착 패드 (BR-B10) 를 또 90 도 회전시킬 필요가 없다.

이상의 동작에 의해, 도 4G 에 나타낸 액정 셀 (U) 의 MD 반송 상태로부터 TD 반송 상태까지의 선회를 실시한다. 또, 도 4H 에 나타낸 액정 셀 (U) 의 TD 반송 상태로부터 MD 반송 상태까지의 선회도 동일하므로, 중복되는 설명을 생략한다.

＜제 2 실시예＞

이하, 도 5 를 참조하면서, 본 발명의 제 2 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치를 설명한다.

제 1 실시예에 비해 제 2 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치 (BR) 는, 수평 이동 수단 (BR-HT) 을 추가로 비한다. 다른 구조는 제 1 실시예와 동일하다. 그 때문에, 이들의 구조에 대해서는 중복되는 설명을 생략한다.

수평 이동 수단 (BR-HT) 은, 흡착 패드 (BR-B10) 를 수평 방향으로 이동시키는 부재이다. 수평 이동 수단 (BR-HT) 은, 예를 들어 수평 방향을 따라 설치된 가이드 레일 (BR-HT10) 과, 가이드 레일 (BR-HT10) 을 따라 슬라이드할 수 있는 슬라이드부 (BR-HT20) 를 구비한다. 또, 수평 이동 수단 (BR-HT) 은, 다른 주지의 구조, 예를 들어 전동 모터에 의해 구동되는 로봇 아암이어도 된다.

흡착 패드 (BR-B10) 를 수평 방향으로 이동시킬 수 있으면, 수평 이동 수단 (BR-HT) 과, 선회 수단 (BR-R), 상하 이동 수단 (BR-ST) 간의 결합 관계에 대해 특별히 제한이 없지만, 그 일례로서 도 5 에 나타내는 바와 같이 슬라이드부 (BR-HT20) 가 선회 수단 (BR-R) 과 연결되어도 된다.

이하, 도 6A ∼ 6B 를 참조하면서, 제 2 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 가 실시하는 흡착 선회 이동 동작을 설명한다.

제 2 실시예에 관련된 흡착 선회 이동 동작은, 제 1 실시예와 비교해 도 4C ∼ 4F 에 나타낸 스텝에서 상이하다.

구체적으로, 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 는, 먼저 제 1 실시예와 동일하게 도 4A ∼ 4B 까지의 동작을 실시한다.

그리고, 도 6A 에 나타내는 바와 같이, 먼저 상하 이동 수단 (BR-ST) 에 의해, 액정 셀 (U) 이 흡착되어 있는 흡착 패드 (BR-B10) 를 상방으로 올린다.

액정 셀 (U) 이 반송 롤러로부터 멀어진 후, 선회 수단 (BR-R) 에 의해 액정 셀 (U) 과 함께 흡착 패드 (BR-B10) 를 90 도 선회시키면서, 수평 이동 수단 (BR-HT) 을 구동하여 흡착 패드 (BR-B10) 를 액정 셀 반송 방향을 따라 목표 위치까지 수평 이동시킨다. 요컨대, 액정 셀 (U) 은, 선회 운동과 수평 이동을 동시에 실시함으로써, MD/TD 의 전환과 흡착 대기 위치로부터 목표 위치까지의 수평 이동을 동시에 실시한다.

그리고, MD/TD 의 전환과 목표 위치까지의 수평 이동이 종료하면, 상하 이동 수단 (BR-ST) 에 의해 흡착 패드 (BR-B10) 를 하방으로 이동시켜 액정 셀 (U) 을 반송 롤러 상에 얹는다. 액정 셀 (U) 을 반송 롤러에 얹은 후, 흡착 패드 (BR-B10) 의 흡착을 해제한다.

그 후, 상하 이동 수단 (BR-ST) 에 의해 흡착 패드 (BR-B10) 를 올려 액정 셀 (U) 의 상면으로부터 멀어짐과 함께, 수평 이동 수단 (BR-HT) 을 구동하여 흡착 패드 (BR-B10) 를 흡착 대기 위치의 상방으로 이동시켜, 다음의 액정 셀을 대기한다.

이와 같이 동작함으로써, 도 6B 에 나타낸 MD 반송 상태로부터 TD 반송 상태까지의 선회를 실시할 때, 선회 중에도 액정 셀 (U) 의 반송이 중단되지 않는다. 요컨대, 액정 셀 (U) 의 선회와 반송을 동시에 실시하므로, 제 1 실시예에 비해 반송 효율이 올라가, 생산성이 향상된다. 물론, TD 반송 상태로부터 MD 반송 상태까지의 선회를 실시하는 경우도 동일하다.

＜제 3 실시예＞

도 7A, 7B 에 나타내는 바와 같이, 제 1 실시예에 비해 제 3 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치 (BR) 는, 액정 셀 반송로의 하방에 위치하고, 흡착 부재가 아래에서 위를 향하여 액정 셀 (U) 을 지지하고 나서, 흡착을 실시하여 액정 셀 (U) 을 선회시킨다.

이 동작을 실현하기 위해서, 도 8A, 8B 에 나타내는 바와 같이, 본 실시예의 흡착 부재는 흡착 패드가 아니고, 2 개의 흡착 아암 (BR-H20) 과, 흡착 아암 (BR-H20) 과 수직하는 2 개의 흡착 아암 (BR-H30) 으로 이루어지는, 흡착 프레임 (BR-H10) 이다. 물론, 흡착 아암 (BR-H20) 이나 흡착 아암 (BR-H30) 의 수는 2 개로 한정되지 않고, 적절히 조정할 수 있다. 액정 셀 (U) 의 형상에 따라 흡착 아암 (BR-H20) 과 흡착 아암 (BR-H30) 의 수가 상이해도 된다.

액정 셀 반송로의 하방에 위치하고, 흡착 부재의 구성이 상이한 것 이외에, 다른 구성은 제 1 실시예와 동일하므로, 중복되는 설명을 생략한다.

이와 같이 구성된 흡착 프레임 (BR-H10) 의 수평면 내에 있어서의 포락선의 형상은 「＋」자형이 된다. 흡착부 (BR-H40) 는, 흡착 아암 (BR-H20, BR-H30) 에서 위를 향하여 흡착 아암 (BR-H20, BR-H30) 의 상면에 배치되고, 액정 셀 반송로 상의 액정 셀 (U) 과 대향한다. 바람직하게는, 흡착부 (BR-H40) 는, 흡착 아암 (BR-H20, BR-H30) 에 균일하게 배치된다.

또, 바람직하게는 액정 셀 (U) 의 표면에 손해를 주지 않도록, 흡착부 (BR-H40) 는 예를 들어 고무와 같은 탄성 재료로 이루어지는 흡입 노즐이다.

도 9 에 나타내는 바와 같이, 액정 셀 반송로 (B) 에 있어서의 반송 롤러 (R) 는, 액정 셀 반송 방향, 및 액정 셀 반송 방향과 수직하는 방향으로, 서로 간극을 가지고 있다.

상하 이동 수단 (BR-ST) 에 의해, 흡착 프레임 (BR-H10) 에 있어서의, 액정 셀 반송 방향 및 액정 셀 반송 방향과 수직하는 방향을 따라 얼라인먼트된 흡착 아암 (BR-H20, BR-H30) 은 상기 간극을 원활하게 통과할 수 있고, 이로써 흡착 프레임 (BR-H10) 은 액정 셀 반송로 (B) 의 하방으로부터 액정 셀 반송로 (B) 의 상방으로 이동할 수 있다. 즉, 도 7A 에 나타내는 상태로부터 도 7B 에 나타내는 상태가 될 수 있다.

이하, 도 10A ∼ 10D 를 참조하면서, 제 3 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 가 실시하는 흡착 선회 동작을 설명한다.

도 10A 에 나타내는 바와 같이, 액정 셀 (U) 은, 액정 셀 반송로에서의 흡착 대기 위치로 반송된다. 라인에 설치된 액정 셀 위치 센서가 액정 셀 (U) 의 흡착 대기 위치까지의 반송을 검출하면, 당해 흡착 대기 위치에서의 반송 롤러의 회전을 정지하여, 액정 셀 (U) 을 당해 흡착 대기 위치에 정지시킨다. 흡착 대기 위치는, 도 8A 또는 도 8B 에 나타낸 바와 같이, MD 또는 TD 반송 방식의 액정 셀 (U) 의 중심이 대기 중의 흡착 프레임 (BR-H10) 의 「＋」자형의 포락선의 중심과 맞춰지도록 설정되어 있다.

계속해서, 도 10B 에 나타내는 바와 같이, 상하 이동 수단 (BR-ST) 을 구동하여, 액정 셀 (U) 이 흡착 프레임 (BR-H10) 에 의해 지지되어 반송 롤러로부터 상방으로 어느 정도 이격할 때까지, 흡착 프레임 (BR-H10) 을 상방으로 이동시킨다. 이때, 흡착부 (BR-H40) 는 액정 셀 (U) 의 하면에 접촉한다.

그리고, 메인 밸브 (BR-V10) 를 개방함과 함께, 서브 밸브 (BR-V20) 를 선택적으로 개방함으로써, 액정 셀 (U) 의 하면과 접촉하고 있는 흡착부 (BR-H40) 에 흡착력을 발생시켜, 액정 셀 (U) 에 대해 흡착을 실시한다.

계속해서, 도 10C 에 나타내는 바와 같이, 선회 수단 (BR-R) 에 의해 액정 셀 (U) 과 함께 흡착 프레임 (BR-H10) 을 90 도 선회시킨다. 이 선회에 의해, 예를 들어 원래 MD 반송 상태에 있었던 액정 셀 (U) 이 TD 반송 상태로 변경된다.

계속해서, 메인 밸브 (BR-V10) 를 폐쇄하여, 흡착부 (BR-H40) 의 흡착을 해제한다. 그리고, 도 10D 에 나타내는 바와 같이, 상하 이동 수단 (BR-ST) 을 구동하여, 도 10A 에 나타낸 개시 위치까지 흡착 프레임 (BR-H10) 을 하방으로 이동시킨다. 흡착 프레임 (BR-H10) 이 반송 롤러 사이의 간극을 통과해 액정 셀 반송로의 하방으로 이동하면, 액정 셀 (U) 이 액정 셀 반송로에 있어서의 반송 롤러에 지지되도록 된다.

흡착 프레임 (BR-H10) 이 「＋」자형이므로, 이때 다음의 액정 셀 (U) 과 얼라인먼트하기 위해서 흡착 프레임 (BR-H10) 을 또 90 도 회전시킬 필요가 없다.

이상의 동작에 의해, 액정 셀을 흡착하여 선회시킨다.

＜제 4 실시예＞

이하, 도 11 을 참조하면서, 본 발명의 제 4 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치를 설명한다.

제 3 실시예에 비해, 제 4 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 회전 장치 (BR) 는, 수평 이동 수단 (BR-HT) 을 추가로 구비한다. 다른 구조는 제 3 실시예와 동일하다. 그 때문에, 이들 구조에 대해서는 중복되는 설명을 생략한다.

수평 이동 수단 (BR-HT) 은, 흡착 프레임 (BR-H10) 을 수평 방향으로 이동시키는 부재이다. 수평 이동 수단 (BR-HT) 은, 예를 들어 수평 방향을 따라 설치된 가이드 레일 (BR-HT10) 과, 가이드 레일 (BR-HT10) 을 따라 슬라이드할 수 있는 슬라이드부 (BR-HT20) 를 구비한다. 또, 수평 이동 수단 (BR-HT) 은, 다른 주지의 구조, 예를 들어 전동 모터에 의해 구동되는 로봇 아암이어도 된다.

흡착 프레임 (BR-H10) 을 수평 방향으로 이동시킬 수 있으면, 수평 이동 수단 (BR-HT) 과, 선회 수단 (BR-R), 상하 이동 수단 (BR-ST) 간의 결합 관계에 대해 특별히 제한이 없지만, 그 일례로서 도 11 에 나타내는 바와 같이 슬라이드부 (BR-HT20) 가 선회 수단 (BR-R) 과 연결되어도 된다.

이하, 도 12A ∼ 12B 를 참조하면서, 제 4 실시예에 관련된 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 가 실시하는 흡착 선회 이동 동작을 설명한다.

구체적으로, 액정 셀 흡착 선회 장치 (BR) 는, 먼저 제 3 실시예와 동일하게 도 10A ∼ 10B 까지의 동작을 실시한다.

계속해서, 도 12A 에 나타내는 바와 같이, 흡착 프레임 (BR-H10) 의 하면이 반송 롤러로부터 위를 향하여 멀어진 후, 선회 수단 (BR-R) 에 의해 액정 셀 (U) 과 함께 흡착 프레임 (BR-H10) 을 90 도 선회시키면서, 수평 이동 수단 (BR-HT) 을 구동하여 흡착 프레임 (BR-H10) 을 액정 셀 반송 방향을 따라 목표 위치까지 수평 이동시킨다. 요컨대, 액정 셀 (U) 은, 선회 운동과 수평 이동을 동시에 실시함으로써, 도 12B 에 나타내는 바와 같이 MD/TD 의 전환과 흡착 대기 위치로부터 목표 위치까지의 수평 이동을 동시에 실시한다.

이때, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 액정 셀 반송로에 있어서의 반송 롤러는, 액정 셀 반송 방향으로 서로 간극을 가지고 있으므로, 상하 이동 수단 (BR-ST) 의 슬라이드 바 (BR-ST20) 가 당해 간극을 통과할 수 있다. 그 때문에, 흡착 프레임 (BR-H10) 도 반송 롤러 사이의 간극을 따라 수평으로 이동할 수 있다.

그리고, MD/TD 의 전환과 목표 위치까지의 수평 이동이 종료하면, 흡착 프레임 (BR-H10) 의 흡착을 해제하고, 상하 이동 수단 (BR-ST) 에 의해 흡착 프레임 (BR-H10) 을 액정 셀 반송로의 하방으로 이동시켜, 액정 셀을 반송 롤러 상에 얹는다.

액정 셀 반송로의 하방으로 이동하고 나서, 계속해서 수평 이동 수단 (BR-HT) 에 의해 흡착 프레임 (BR-H10) 이 흡착 대기 위치의 하방으로 돌아간다.

상기와 같이, 본 실시예에 의하면 액정 셀 (U) 이 MD/TD 의 전환과 흡착 대기 위치로부터 목표 위치까지의 수평 이동을 동시에 실시하므로, 반송 효율이 올라가, 생산성이 향상된다.

또, 본 발명에서 상기 각 실시예에 한정되지 않고, 다른 변형을 실시해도 된다. 예를 들어, 제 3, 제 4 실시예에 관련된 흡착 프레임을 제 1, 제 2 실시예에 적용해도 된다. 즉, 흡착 프레임이 위로부터 액정 셀 (U) 을 흡착하여 선회를 실시하도록 해도 된다. 이때, 흡착부는 흡착 아암의 하면에 형성되면 된다.

A : 액정 셀 공급부
B : 액정 셀 반송로
C : 제 1 광학 필름 반송로
D : 제 2 광학 필름 반송로
E : 액정 셀 배출부
U : 액정 셀 (U)
BP1, 2, 3 : 액정 셀 위치 센서
BR : 액정 셀 흡착 선회 장치
BR1 : 제 1 액정 셀 흡착 선회 장치
BR2 : 제 2 액정 셀 흡착 선회 장치
BR3 : 제 3 액정 셀 흡착 선회 장치
BR-B10 : 흡착 패드
BR-B20 : 흡착부
BR-G : 흡기로
BR-G10 : 메인 흡기로
BR-G20 : 서브 흡기로
BR-HT : 상하 이동 수단
BR-P : 진공 펌프
BR-R : 선회 수단
BR-ST : 상하 이동 수단
BT1 : 제 1 액정 셀 흡착 이동 장치
BR-ST10 : 가이드 슬리브
BR-ST20 : 슬라이드 바
BR-V10 : 메인 밸브
BR-V20 : 서브 밸브
BT2 : 제 2 액정 셀 흡착 이동 장치
BR-H10 : 흡착 프레임
BR-H20, 30 : 흡착 아암
BR-H40 : 흡착부
CF1 : 제 1 광학 필름 공급부
CF2 : 제 1 광학 필름 절단부
CF3 : 제 1 광학 필름 첩합부
CF4 : 제 1 캐리어 필름 권취부
DF1 : 제 2 광학 필름 공급부
DF2 : 제 2 광학 필름 절단부
DF3 : 제 2 광학 필름 첩합부
DF4 : 제 2 캐리어 필름 권취부

Claims (14)

1. 액정 셀을 흡착하기 위한 흡착 부재로서,
   액정 셀의 표면과 접촉하는 복수의 흡착부가 형성되고, 수평면 내에 있어서의 상기 흡착부의 배치 영역은 「＋」자형이 되는 흡착 부재.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 흡착부가 탄성재로 이루어지는 흡착 부재.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 흡착 부재는 수평면 내에 있어서의 형상이 「＋」자형이 되는 흡착 패드이고,
   상기 흡착부가 상기 흡착 패드의 하면에 배치되는 흡착 부재.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 흡착부가 상기 흡착 패드의 하면에 균일하게 배치되는 흡착 부재.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 흡착 부재는, 일방향을 따라 연신하는 적어도 2 개의 흡착 아암과, 상기 일방향과 수직하는 방향을 따라 연신하는 적어도 2 개의 흡착 아암에 의해 구성되는 흡착 프레임이고,
   상기 흡착 프레임의 수평면 내에 있어서의 포락선의 형상은 「＋」자형이 되고,
   상기 흡착부가 상기 흡착 아암의 하면에 배치되는 흡착 부재.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 흡착부가 상기 흡착 아암에 균일하게 배치되는 흡착 부재.
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 흡착 부재는, 일방향을 따라 연신하는 적어도 2 개의 흡착 아암과, 상기 일방향과 수직하는 방향을 따라 연신하는 적어도 2 개의 흡착 아암에 의해 구성되는 흡착 프레임이고,
   상기 흡착 프레임의 수평면 내에 있어서의 포락선의 형상은 「＋」자형이 되고,
   상기 흡착부가 상기 흡착 아암의 상면에 배치되는 흡착 부재.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 흡착부가 상기 흡착 아암에 균일하게 배치되는 흡착 부재.
9. 액정 셀을 흡착한 상태에서 회전할 수 있는 액정 셀 흡착 회전 장치로서,
   상기 액정 셀 흡착 회전 장치가 액정 셀 반송로의 상방에 위치하고,
   상기 흡착부가 흡착 부재의 하면에 배치되어 액정 셀 반송로를 향하여 상기 액정 셀에 대향하는, 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 흡착 부재와,
   액정 셀을 흡착하기 위한 부압을 발생시키는 진공 펌프와,
   상기 진공 펌프와 상기 흡착부를 연통하는 흡기로와,
   상기 흡착 부재의 중심을 둘레로, 수평면 내에서 상기 흡착 부재를 선회시키는 선회 수단과,
   상기 흡착 부재를 상하로 이동시키는 상하 이동 수단을 구비하는 액정 셀 흡착 회전 장치.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 흡착 부재를 수평으로 이동시키는 수평 이동 수단을 추가로 구비하는 액정 셀 흡착 회전 장치.
11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 흡기로가 메인 흡기로와 복수의 서브 흡기로로 이루어지고,
    상기 메인 흡기로의 일단이 상기 진공 펌프와 연통되고, 상기 메인 흡기로의 타단이 복수의 서브 흡기로로 분기되고,
    각 서브 흡기로가 적어도 1 개의 흡착부에 연통되고,
    메인 흡기로 및 각 서브 흡기로에는, 독립적으로 개폐할 수 있는 밸브가 각각 설치되어 있는, 액정 셀 흡착 회전 장치.
12. 액정 셀을 흡착한 상태에서 회전할 수 있는 액정 셀 흡착 회전 장치로서,
    상기 액정 셀 흡착 회전 장치가 액정 셀 반송로의 하방에 위치하고,
    상기 흡착부가 흡착 부재의 상면에 배치되어 액정 셀 반송로를 향하여 상기 액정 셀에 대향하는, 제 7 항 또는 제 8 항에 기재된 흡착 부재와,
    액정 셀을 흡착하기 위한 부압을 발생시키는 진공 펌프와,
    상기 진공 펌프와 상기 흡착부를 연통하는 흡기로와,
    상기 흡착 부재의 중심을 둘레로, 수평면 내에서 상기 흡착 부재를 선회시키는 선회 수단과,
    액정 셀 반송로에 있어서의 반송 롤러 사이의 간극을 통하여 상기 흡착 부재를 상하로 이동시키는 상하 이동 수단을 구비하는 액정 셀 흡착 회전 장치.
13. 제 12 항에 있어서,
    액정 셀 반송로에 있어서의 반송 롤러 사이의 간극을 따라 상기 흡착 부재를 수평으로 이동시키는 수평 이동 수단을 추가로 구비하는 액정 셀 흡착 회전 장치.
14. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
    상기 흡기로가 메인 흡기로와 복수의 서브 흡기로로 이루어지고,
    상기 메인 흡기로의 일단이 상기 진공 펌프와 연통되고, 상기 메인 흡기로의 타단이 복수의 서브 흡기로로 분기되고,
    각 서브 흡기로가 적어도 1 개의 흡착부에 연통되고,
    메인 흡기로 및 각 서브 흡기로에는, 독립적으로 개폐할 수 있는 밸브가 각각 설치되어 있는, 액정 셀 흡착 회전 장치.

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