KR20110079575A - 유리 기판 곤포 장치 및 그 곤포 방법 - Google Patents

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히로카즈 오쿠무라
켄지 미시나
히데아키 쿠라하시
유지 타카하시
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니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

유리 기판 곤포 장치는 보호 시트(3) 상에 유리 기판(4)이 탑재되는 탑재 스테이션과, 보호 시트(3)와 유리 기판(4)을 교대로 적재하는 적재 스테이션과, 보호 시트(3) 상에 탑재된 유리 기판(4)을 보호 시트(3)와 함께 유지하고, 적재 스테이션에 적재하는 적재 수단으로서의 유리 기판 적재 장치를 구비한다. 여기에서, 유리 기판 적재 장치를 구성하는 로봇암은 보호 시트(3) 및 유리 기판(4)을 유지하는 유지부를 갖고, 이 유지부는 유리 기판(4)을 흡착하는 복수개의 흡착 패드(45)와, 탑재된 상태의 유리 기판(4)으로부터 돌출된 보호 시트(3)의 변 가장자리 부분 중 서로 대향하는 2개의 변 가장자리부(3a, 3b)를 협지하는 협지부(46)를 갖는다.

Description

유리 기판 곤포 장치 및 그 곤포 방법{GLASS SUBSTRATE PACKAGING DEVICE AND GLASS SUBSTRATE PACKAGING METHOD}
본 발명은 유리 기판과 보호 시트를 교대로 팰릿 등의 적재면 상에 적재하여 곤포하는 기술에 관한 것이며, 예를 들면, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이 또는 유기 EL, FED, SED 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)용 유리 기판의 적재 곤포 기술에 관한 것이다.
유리판의 보관이나 수송에 있어서는 팰릿 상에 보호 시트와 유리 기판을 교대로 밀착하여 세로 자세(대략 연직 자세) 또는 가로 자세(대략 수평 자세)로 적층 곤포하는 경우가 있다. 종래, 이러한 곤포 작업은 작업자의 수작업에 의해 행해져 왔지만 작업 효율이 나쁜 것이나 최근 유리 기판의 대형화에 따라 수작업에 의한 것이 곤란하게 되어 왔다. 그래서, 이들 점을 개선하기 위해서 즉, 유리 기판의 곤포 작업의 자동화, 생산성이나 품질의 향상을 목적으로 해서 이하에 나타내는 곤포 기술이 제안되어 있다.
예를 들면, 하기 특허문헌 1에는 위치 결정된 유리판을 흡착 지지하는 유리판 흡착 수단과, 소정 위치에 탑재된 합지 상에 유리판을 겹친 상태에서 상단 및 하단으로부터 돌출된 일단 변부를 흡착하는 합지 흡착 수단과, 상기 유리판 흡착 수단과 상기 합지 흡착 수단을 부착하여 고정시킨 핸드와, 그 핸드를 전방위로 이동하고, 또한 선회 가능한 이동 수단으로 이루어지며, 유리판과, 이 유리판의 흡착면 반대측에 위치하는 합지와 동시에 들어올려 팰릿에 세로 적층시키는 유리판의 이송 탑재 장치가 개시되어 있다.
또한, 하기 특허문헌 2에는 합지 공급 장치의 소정 위치에서 위치 결정된 만곡 유리판을 흡착 지지하는 유리 흡착 수단과, 만곡 유리판의 반송 경로 측방에 설치한 합지 공급 장치의 다른 소정 위치에 탑재하거나 또는 매단 상태에 있는 합지의 상단 변부를 파지 또는 흡착에 의해 매달고, 또한 장착 상태에서 수취 유지하는 한쌍의 합지 유지 수단과, 한쌍의 합지 유지 수단을 서로 접근시켜서 만곡 유리면 형상을 따르도록 느슨하게 하는 합지 유지부 이완 수단과, 만곡 유리판과 그 외측에서 매달아 느슨하게 한 상태의 합지의 양쪽을 동시에 팰릿 상에 세로 적층하는 적재 로봇을 갖는 만곡 유리판의 적재 장치가 개시되어 있다.
일본 특허공개 2001-139138호 공보 일본 특허공개 2005-60063호 공보
그런데, 최근에는 액정 디스플레이로 대표되는 FPD 제품의 한층 더 보급을 꾀하기 위해서 보다 나은 생산성의 향상이나 비용 다운이 요구되고 있고, 그 때문에 곤포 시간의 단축도 요구되고 있다. 그러나, 종래의 곤포 기술에서는 그 구조 상 유리 기판 등의 반송 거리나 반송 시간의 단축에 한계가 있어 상기 요구에 응하기 위해서는 어려운 상황에 있었다. 또한, 곤포 시간의 단축을 꾀하기 위해서는 보호 시트의 이송 속도를 높일 필요가 있지만 보호 시트의 유지가 확실하게 행해지지 않는 경우에는 이송 중에 상기 시트가 탈락된다는 문제가 발생되어 있었다. 그 때문에 상기 사상이 곤포 시스템의 신뢰성을 저하시키는 하나의 원인으로 되어 있었다.
이 점에서 예를 들면, 상기 특허문헌 1에 의한 이송 탑재 장치에서는 유리 기판과 보호 시트를 각각 흡착하여 이송하도록 되어 있지만 이들 워크의 고속 반송시에는 상기 반송에 의해 발생되는 풍압을 받아 보호 시트가 변형되기 쉬워지고, 또한 크게 흔들리거나 해서 보호 시트가 흡착 수단으로부터 분리되는 사태가 발생될 수 있다. 그 때문에 상기 이송 탑재 장치를 사용해서 워크를 고속 반송하는 것은 곤란하다고 하지 않을 수 없다. 또한, 상기 구성에서는 반송시에 발생되는 풍압에 의해 보호 시트의 자세가 안정되지 않기 때문에 유리 기판과 밀착시켜 정밀하게 경사 팰릿에 적재하는 것도 어렵다.
또한, 상기 특허문헌 2에 있어서 합지를 척 등에 의해 유지하고, 이 합지를 먼저 흡착 유지하여 직립시킨 유리 기판과 겹치도록 하는 경우에는 상기 특허문헌 1에 개시된 구성과 같이 보호 시트가 유지 수단으로부터 분리될 가능성은 낮다. 그러나, 한쌍의 유지부에 의한 합지의 척 개소가 상기 합지의 상단 변부에 한정되어 있는 점을 감안하면 보호 시트의 고속 반송에 의해 발생된 풍압에 의해 보호 시트의 유지측과 반대측의 하단 변부가 크게 흔들려 안정적인 자세로 이송하는 것이 어렵다. 또한, 시트가 크게 흔들리고 있는 상태에서 팰릿 등에 적재되면 주름이나 절곡 등이 크게 남은 상태에서 보호 시트와 유리 기판이 적재되게 되어 유리 기판의 적층 정밀도에 악영향을 끼칠 우려가 발생된다.
이상의 사정을 감안하여 본 명세서에서는 유리 기판과 그 보호 시트의 고속반송을 실현하고, 아울러 고정밀도이며 고품질의 적재 곤포를 달성하는 것을 본 발명에 의해 해결해야 하는 기술적 과제로 한다.
상기 과제의 해결은 본 발명에 의한 유리 기판의 곤포 장치에 의해 달성된다. 즉, 이 곤포 장치는 보호 시트 상에 유리 기판이 탑재되는 탑재 스테이션과, 보호 시트와 유리 기판을 교대로 적재하는 적재 스테이션과, 보호 시트 상에 탑재된 유리 기판을 보호 시트와 함께 유지하고, 적재 스테이션에 적재하는 적재 수단을 구비하는 유리 기판 곤포 장치에 있어서, 적재 수단은 탑재 상태의 유리 기판으로부터 돌출된 보호 시트의 변 가장자리 부분 중 서로 대향하는 두변 가장자리를 협지하는 협지부를 갖는 점을 가지고 특징지어진다.
이와 같이, 유리 기판이 탑재된 상태의 보호 시트의 유리 기판으로부터 돌출된 변 가장자리 부분 중 서로 대향하는 두변 가장자리를 협지함으로써 보호 시트를 유지하도록 하면 고속 반송시, 유지 시트의 유지하고 있지 않은 측의 한변 가장자리측이 크게 흔들려서 변형되는 사태를 피할 수 있다. 또한, 유리 기판이 탑재된 상태의 보호 시트를 협지함으로써 보호 시트를 평탄상으로 펼친 상태에서 협지할 수 있다. 또한, 보호 시트를 서로 대향하는 두변 가장자리에 의해 협지함으로써 예를 들면, 흡착한 경우와 같이 그 이송 방향에 따라서는 탈락되기 쉽다는 등의 문제를 발생시키지 않고, 확실하게 보호 시트를 유지할 수 있다. 이상으로부터 보호 시트를 이탈시키지 않고, 또한 풍압에 의해 적재 수단(반송용 로봇암 등)이 받는 반력을 작게 해서 고속으로 이송하는 것이 가능하게 된다. 또한, 고속으로 이송하여 적재하는 경우에 있어서 보호 시트를 평탄상으로 펼친 상태를 유지하여 팰릿 등에 적재할 수 있다. 그 때문에 보호 시트에 주름이나 절곡 등의 변형이 발생되는 것을 억제하여 유리 기판을 고정밀도이며, 고품질로 적재할 수 있다.
여기에서, 협지부는 보호 시트의 변 가장자리 부분 중 서로 대향하는 두변 가장자리 이외의 변 가장자리 부분을 더 협지하도록 구성되어 있어도 좋다. 보호 시트의 변 가장자리 부분 중 유리 기판으로부터 돌출된 부분이 있으면 이송시, 풍압을 받아 크게 흔들리기 쉬운 바, 상술한 바와 같이, 유리 기판으로부터 돌출된 변 가장자리 부분의 대향 두변 가장자리 뿐만 아니라 그 이외의 변 가장자리 부분도 협지함으로써 흔들리기 쉬운 개소를 고정시켜 보호 시트 전체의 흔들림을 한층 작게 할 수 있다.
또한, 협지부는 각각의 변 가장자리 부분을 각각 복수 개소에서 협지하도록 구성되어 있어도 좋다. 통상, 보호 시트는 유리 기판과 동등하거나 또는 그 이상의 크기를 갖기 때문에 유리 기판으로부터 돌출된 변 가장자리 부분의 길이 방향 치수도 상당한 크기가 된다. 따라서, 2개 이상의 협지부에 의해 하나의 변 가장자리 부분을 협지하도록 하면 상기 변 가장자리 부분을 광범위에 걸쳐 협지 고정할 수 있어 안정성이 증가한다.
또한, 협지부는 더욱이 보호 시트에 장력을 부여하도록 구성되어 있어도 좋다. 이 구성에 의하면 보호 시트의 광역에 걸쳐 장력을 부여하고, 또한 장력을 부여한 상태를 유지하여 보호 시트를 이송할 수 있다. 그 때문에 이송시에 보호 시트가 받는 풍압의 영향을 매우 작게 해서 보호 시트와 유리 기판을 고속으로, 또한 안정적인 자세로 적재하는 것이 가능하게 된다.
또는 본 발명에 의한 곤포 장치가 탑재 스테이션에 있어서의 보호 시트에 장력을 부여하는 장력 부여 수단을 협지부와는 별도로 구비하는 것이어도 좋다. 이 구성에 의하면 장력을 부여한 상태의 보호 시트에 유리 기판을 탑재함으로써 양자의 밀착성이 향상된다. 그 때문에 이 밀착 상태를 유지하여 시트와 유리 기판을 각각 유지하여 이송할 수 있다. 이 경우, 이송시에 있어서의 보호 시트의 흔들림도 거의 없고, 주름이나 절곡 등도 발생되지 않는다. 또한, 유리 기판을 탑재하기 전에 보호 시트에 장력을 부여하는 것이면 보호 시트에 장력을 부여하여 신장시킬 때에 유리 기판과의 마찰의 영향을 받지 않기 때문에 보호 시트를 유지할 때의 자세가 안정된다. 또한, 장력 부여시에 유리 기판과의 위치 어긋남이 발생되는 것을 피할 수도 있다.
또한, 보호 시트의 구조, 재질 등은 특별히 한정되지 않지만 장력을 부여하는 관점에서는 수지제가 좋고, 발포 구조를 이루는 것이면 더욱 좋다. 이러한 재질내지 구조를 갖는 보호 시트이면 신축성이 우수하기 때문에 비교적 작은 장력으로 보호 시트를 신장시킬 수 있고, 유리 기판과 보호 시트의 밀착성도 높이기 쉽다.
또한, 본 발명에 의한 곤포 장치는 적재 수단에 의해 유리 기판을 보호 시트와 함께 유지하여 인출하는 인출 스테이션을 탑재 스테이션과는 다른 위치에 구비한 것이어도 좋다. 통상, 유리 기판은 적당한 이송 수단에 의해 탑재 스테이션 상으로 이송된다는 점에서 유리 기판의 탑재 동작에 요하는 작업 스페이스와, 적재 수단에 의해 유리 기판과 보호 시트를 모두 유지하여 인출하고, 적재 스테이션을 향해 이송하기 위한 작업 스페이스가 중복될 가능성이 적지 않다. 이에 대하여 본 발명과 같이, 유리 기판과 보호 시트를 유지하여 인출하는 인출 스테이션을 탑재 스테이션과는 다른 위치에 설치하도록 하면 각 작업 스페이스의 중복을 피해서 후공정(여기에서는, 보호 시트와 유리 기판의 유지 동작)의 대기 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 곤포 작업에 따른 택 타임의 단축을 꾀할 수 있다. 또한, 각 반송 수단의 가동 스페이스가 서로 독립적으로 형성되기 때문에 이들 일련의 곤포 시스템의 신뢰성을 높일 수도 있다.
또한, 본 발명에 의한 곤포 장치는 탑재 스테이션에 보호 시트를 공급하는 시트 공급 수단을 더 구비하는 것이어도 좋고, 또한 이 경우, 시트 공급 수단이 탑재 스테이션에 공급되고, 또한 유리 기판이 탑재된 보호 시트를 인출 스테이션까지 반송하도록 구성되어 있는 것이어도 좋다. 시트 공급 수단이 유리 기판의 반송 수단을 겸하도록 함으로써 보호 시트를 일정한 형태로 탑재 스테이션, 그리고 인출 스테이션까지 반송할 수 있다. 또한, 이러한 구성을 채용하는 경우, 예를 들면, 탑재 스테이션에 있어서의 보호 시트에 장력을 부여하는 장력 부여 수단을 시트 공급 수단의 반송 기구와 일체화시킬 수도 있어 장력을 부여한 상태에서 보호 시트를 탑재 스테이션을 향해 공급할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 곤포 장치는 유리 기판을 유리 기판이 공급되는 공급 스테이션으로부터 탑재 스테이션으로 이송 탑재하는 이송 탑재 수단을 더 구비하는 것이어도좋고, 또한 이 경우, 이송 탑재 수단은 유리 기판의 진행 방향 선단측이 하방이 되도록 유리 기판을 경사지게 한 상태에서 탑재 스테이션에 접근시키고, 또한 탑재 스테이션에 접근함에 따라 유리 기판의 자세를 탑재 자세에 가깝게 하는 이동 경로를 구성하는 것이어도 좋다. 택 타임의 단축을 위해서는 유리 기판의 보호 시트 상으로의 이송 속도를 높이는 것도 중요하게 되지만 단순히 유리 기판을 고속으로 이송한 것에서는 이송시에 유리 기판으로부터 발생되는 공기의 흐름에 의해 탑재 스테이션 상에 배치된 보호 시트가 들어 올려지거나 또는 크게 흔들릴 우려가 있다. 이에 대하여 상기 이송 경로를 구성하는 이송 탑재 수단을 구비한 곤포 장치이면 상기 자세로 접근시킴으로써 유리 기판이 받는 공기 저항을 감소시켜 상기 유리 기판을 고속으로 이송하는 것이 가능하게 된다. 또한, 상기한 바와 같이 자세를 바꿈으로써 유리 기판의 자세 변경에 기인해서 발생되는 공기의 흐름이 주로 탑재 스테이션으로부터 멀어지는 방향으로 발생된다. 이상으로부터 유리 기판을 고속으로 이송시키면서도 유리 기판으로부터 탑재 스테이션을 향해 발생되는 공기의 흐름을 약하게 할 수 있어 탑재 스테이션 상의 보호 시트가 들어 올려지거나 크게 흔들려 주름이나 절곡이 발생되는 것을 가급적으로 방지할 수 있다. 또한, 상기 이송 경로를 채용하는 경우, 유리 기판의 하강량에 대한 수평 이동량의 비율을 높여 가면서 탑재 스테이션에 접근시키는 이송 경로를 더 구성하는 것도 가능하다. 이 경우, 유리 기판의 하강량이나 수평 이동량은 예를 들면, 유리 기판의 무게 중심 위치를 기준으로 평가할 수 있다. 상기 구성에 의하면 유리 기판 전체의 접근 방향에 직교하는 것보다 오히려 상기 접근 방향을 따른 방향으로 유리 기판의 자세를 취해서 이송하게 되므로 유리 기판 전체의 이송에 따라 발생되는 공기의 흐름 중 탑재 스테이션을 향해 발생되는 공기의 흐름을 더욱 약하게 할 수 있다.
한편, 상기 과제의 해결은 탑재 스테이션에서 보호 시트 상에 유리 기판을 탑재하고, 탑재된 유리 기판을 보호 시트와 함께 적재 스테이션을 향해 이송하고, 적재 스테이션에 유리 기판과 보호 시트를 교대로 적재하는 방법이며, 보호 시트 상에 탑재된 유리 기판을 보호 시트와 함께 유지하고, 적재 스테이션에 적재하는 적재 수단이 설치되고, 적재 수단은 탑재 상태의 유리 기판으로부터 돌출된 보호 시트의 변 가장자리 부분 중 서로 대향하는 두변 가장자리를 협지하는 협지부를 갖는 유리 기판의 곤포 방법에 의해서도 달성할 수 있다.
(발명의 효과)
이상과 같이, 본 발명에 의한 유리 기판 곤포 장치와 그 곤포 방법에 의하면 유리 기판과 그 보호 시트의 고속 반송을 실현하고, 아울러 고정밀도이며 고품질의 적재 곤포를 달성하고, 또한 곤포 시스템의 신뢰성 향상에 기여하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 의한 유리 기판 곤포 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 유리 기판 곤포 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 유리 기판 곤포 장치를 구성하는 유리 기판 적재 장치의 유지부의 사시도이다.
도 4는 유지부에 의한 유리 기판 및 보호 시트의 유지 형태의 일례를 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 5는 유지부에 의한 유리 기판 및 보호 시트의 유지 형태의 다른 예를 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 6은 유리 기판 이송 탑재 장치에 의한 유리 기판의 이송 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이며, 이송 개시 직전의 유리 기판 곤포 장치의 일부 측면도이다.
도 7은 유리 기판 이송 탑재 장치에 의한 유리 기판의 이송 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이며, 이송 개시 직후의 유리 기판 곤포 장치의 일부 측면도이다.
도 8은 유리 기판 이송 탑재 장치에 의한 유리 기판의 이송 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이며, 이송 동작 중의 유리 기판 곤포 장치의 일부 측면도이다.
도 9는 유리 기판 이송 탑재 장치에 의한 유리 기판의 이송 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이며, 이송 동작 중의 유리 기판 곤포 장치의 일부 측면도이다.
도 10은 유리 기판 이송 탑재 장치에 의한 유리 기판의 이송 탑재 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이며, 이송 완료 직전의 유리 기판 곤포 장치의 일부 측면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 의한 유리 기판 곤포 장치(1)의 평면도를 나타낸다. 이 곤포 장치(1)는 탑재 스테이션(2)에 있어서 보호 시트(3) 상에 유리 기판(4)을 탑재하고, 탑재된 유리 기판(4)을 보호 시트(3)와 함께 적재 스테이션(5)을 향해 이송하고, 적재 스테이션(5)에 있어서 유리 기판(4)과 보호 시트(3)를 교대로 적재하기 위한 장치이다. 구체적으로는 유리 기판 공급 장치(10)와, 유리 기판 공급 장치(10)에 인접해서 배치된 유리 기판(4)의 공급 스테이션(6)에 있어서 유리 기판(4)의 공급을 받고, 탑재 스테이션(2)으로 유리 기판(4)을 이송 탑재하는 유리 기판 이송 탑재 장치(20)와, 탑재 스테이션(2)에 인접해서 배치되고, 탑재 스테이션(2)에 보호 시트(3)를 공급하는 보호 시트 공급 장치(30)와, 보호 시트(3) 상에 탑재된 유리 기판(4)을 보호 시트(3)와 함께 유지하고, 또한 적재 스테이션(5)에 적재하는 적재 장치(40)와, 적재 스테이션(5)을 갖는 곤포 팰릿 장치(50)를 구비한다. 이하, 도 2에 나타내는 곤포 장치(1)의 사시도를 주로 참조하여 각 구성 요소를 상세하게 설명한다.
유리 기판 공급 장치(10)는 유리 기판(4)을 수평 자세로 반송하기 위한 반송로(11)를 갖는 것이며, 이 반송로(11)는 예를 들면, 복수개의 롤러 컨베이어(12) 등에 의해 구성된다. 이 도시예에서는 반송로(11)의 종단 위치에 유리 기판 이송 탑재 장치(20)에 의한 유리 기판(4)의 취득을 행하기 위한 공급 스테이션(6)이 배치되어 있다. 공급 스테이션(6)에 있어서는 후술하는 로봇암(22)의 워크 유지부(28)를 연직 상하 방향으로 통과시킬 수 있는 형상의 오목부(13)가 유리 기판 공급 장치(10)의 공급 방향의 측방을 향해 개방된 상태로 형성되어 있다. 그리고, 공급 스테이션(6)에 있어서 정지된 상태의 유리 기판(4)을 오목부(13)의 하방으로부터 워크 유지부(28)에 의해 유지하여 그대로 상방으로 인출할 수 있도록 되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만 반송로(11) 상에 적당한 위치 조정 수단을 배치하여 공급 스테이션(6) 상에서 정지시킨 유리 기판(4)의 반송 방향 위치 또는 반송 직교 방향 위치를 조정하도록 해도 상관없다.
유리 기판 이송 탑재 장치(20)는 기대(21)와, 기대(21) 상에 배치되는 로봇암(22)과, 로봇암(22)의 동작을 제어하는 제어 장치(23)를 구비한다. 여기에서, 로봇암(22)은 다관절 구조를 갖고, 각 관절축이 모두 서로 평행하며, 또한 공급 스테이션(6) 상에 배치되는 유리 기판(4)의 양측 단면을 따른 방향으로 배치되어 있다. 바꿔 말하면, 워크 유지부(28)에 유지된 유리 기판(4)의 법선이 어느 관절축에 대해서나 항상 직교하는 자세를 유지하도록 로봇암(22)의 구조나 공급 스테이션(6)이나 탑재 스테이션(2)에 대한 로봇암(22)의 설치 자세가 설정되어 있다. 이 도시예에서는 유리 기판 이송 탑재 장치(20)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 공급 스테이션(6)과 탑재 스테이션(2) 사이에 형성되는 유리 기판(4)의 이송 경로의 측방에 배치되어 있다.
여기에서, 로봇암(22)에 대해서 상세하게 설명하면 도 2에 나타내는 바와 같이, 이 로봇암(22)은 3축 관절 구조를 이루고, 가장 기대(21)측에 위치하는 제 1 링크(24)가 기대(21)에 대하여 기립 설치됨과 아울러, 제 1 조인트(24a)를 통해 제 2 링크(25)의 일단이 제 1 링크(24)의 타단에 연결되어 있다. 제 2 링크(25)의 타단에는 제 2 조인트(25a)를 통해 제 3 링크(26)의 일단이 연결됨과 아울러, 제 3 링크(26)의 타단에는 제 3 조인트(26a)를 통해 워크 유지부(28)의 손목(27)이 연결되어 있다. 각 조인트(24a, 25a, 26a)의 근방에는 각각 대응하는 구동 모터{제 1 조인트(24a)용 구동 모터만 도 6에 있어서 나타내고 있음}가 일체적으로 배치되어 있고, 이들 구동 모터도 각 링크(24, 25, 26)와 함께 로봇암(22)을 구성한다. 또한, 각 조인트(24a, 25a, 26a)에 감속기를 장착해도 좋고, 또는 감속기가 부착된 모터를 상기 구동 모터로 해서 사용해도 좋다. 또한, 이 때 사용되는 감속기로서는 암 강성의 한층 향상을 꾀하기 위해서 백래시의 발생을 억제한 감속기{예를 들면, 가부시키가이샤 산쿄세이사쿠쇼제의 제로 백래시 정밀 감속기인 롤러 드라이브(등록 상표) 등}가 바람직하다. 또한, 각 링크(24, 25, 26)는 모두 각 조인트(24a, 25a, 26a) 둘레에서 각각 독립적으로 정역회전할 수 있고, 회전 각도에 의해 링크끼리 또는 주변의 물체와의 간섭이 발생되는 경우가 없도록 구성되어 있다.
워크 유지부(28)는 반송로(11)의 공급 스테이션(6)에 대응하는 위치에 형성된 오목부(13)를 연직 상하 방향으로 통과할 수 있는 형상을 갖고 있고, 이 도시예에서는 복수개의 돌기부를 병렬로 배치한 소위 빗살 형상을 갖는다. 워크 유지부(28)의 일면측에는 복수개의 흡착 패드(29)가 배치되어 있고, 도시는 생략하지만 로봇암(22)에 접속된 진공 펌프 등의 감압 수단에 의해 흡착 패드(29)를 밀착한 물체{유리 기판(4)}를 흡착 유지할 수 있도록 되어 있다.
보호 시트 공급 장치(30)는 보호 시트(3)의 띠상체를 권취한 형태를 이루는 롤상 시트(31)와, 연장시킨 롤상 시트(31)의 장력을 일정하게 유지하여 롤상 시트(31)의 인출 길이를 일정하게 유지하기 위한 장력 조정 기구(32)와, 인출한 롤상 시트(31)를 소정 길이, 또한 매엽(枚葉)상(직사각형상)으로 절단하는 로터리 커터(33)와, 매엽상으로 절단한 보호 시트(3)를 1장씩 탑재 스테이션(2)을 향해서 반송하기 위한 반송 수단을 주로 구비한다.
롤상 시트(31) 및 보호 시트(3)에는 예를 들면, 발포 폴리에틸렌 등 신축성을 갖는 재질 내지 구조를 갖는 것이 사용되지만 특별히 이것에 한정되는 경우는 없다. 보호 시트(3)로서 공지의 재질, 구조를 갖는 것인 한에 있어서 임의의 것을 사용할 수 있다. 또한, 도시는 생략하지만 예비의 롤상 시트(31)를 사용 중인 롤상 시트(31)와 교환할 수 있는 기구를 설치하도록 해도 상관없다.
또한, 반송 수단에 대해서 상세하게 설명하면 반송 수단은 로터리 커터(33)의 배치 위치로부터 탑재 스테이션(2) 및 유리 기판(4)의 인출 스테이션(7)으로까지 연장하는 반송로(34)와, 반송로(34) 상에 공급된 보호 시트(3)를 협지하고, 그 협지된 보호 시트(3)를 탑재 스테이션(2) 내지 인출 스테이션(7)까지 반송하는 좌우 한쌍의 척부(35, 35) 및 좌우 한쌍의 척부(35, 35)를 동기하여 보호 시트(3)의 반송 방향을 따라 이동시키는 제 1 슬라이드 기구(36)에 의해 구성된다. 이 도시예에서는 2세트의 좌우 한쌍의 척부(35, 35)가 반송 방향을 따라 배치되어 있고, 반송로(34) 상에 탑재된 보호 시트(3)의 좌우 양측의 변 가장자리부(3a, 3b)(후술하는 도 4를 참조)를 각각 2개의 척부(35){즉, 합계 4개의 척부(35)}에 의해 협지한다. 그리고, 상기 2세트의 좌우 한쌍의 척부(35, 35)가 동기하여 제 1 슬라이드 기구(36)에 의해 반송 방향을 따라 이동함으로써 상기 한쌍의 척부(35, 35)에 의해 협지된 보호 시트(3)를 반송로(34)를 따라 반송할 수 있도록 되어 있다. 또한, 제 1 슬라이드 기구(36)는 예를 들면, 레일 구조를 이루고, 척부(35)의 측에 형성한 오목부와, 이 오목부와 감합 슬라이딩하는 볼록조부에 의해 구성된다. 후술하는 제 2 슬라이드 기구(37)에 관해서도 동일한 구성을 갖는다.
또한, 이 실시형태에서는 각각의 척부(35)와 제 1 슬라이드 기구(36) 사이에 척부(35)를 제 1 슬라이드 기구(36)와는 독립적으로 그 반송 직교 방향으로 슬라이딩시킬 수 있는 제 2 슬라이드 기구(37)가 설치되어 있다. 이 경우, 좌우 한쌍의 척부(35, 35)는 제 1 슬라이드 기구(36)에 의해 보호 시트(3)의 반송 방향을 따라 이동함과 아울러, 이 이동과는 독립적으로 보호 시트(3)의 반송 방향에 직교하는 방향으로 서로 접근하거나 또는 이격할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 이 실시형태에서는 도 2 또는 후술하는 도 6에 나타내는 바와 같이, 상기 구성의 제 1 및 제 2 슬라이드 기구(36, 37)를 갖는 좌우 한쌍의 척부(35', 35')가 상술한 척부(35, 35)의 각각 내측에 배치되어 있다. 또한, 상기 척부(35', 35')의 제 1 슬라이드 기구(36)와 제 2 슬라이드 기구(37) 사이에는 각 슬라이드 기구(36, 37)와는 독립적으로 척부(35')를 연직 상하 방향으로 이동시킬 수 있는 제 3 슬라이드 기구(38)가 설치되어 있다. 이상의 구성에 의해 외측의 척부(35, 35)에 의해 보호 시트(3)를 협지하여 탑재 스테이션(2)으로 반송할 때에는 내측의 척부(35', 35')를 외측의 척부(35, 35)보다 하방으로 이동시킨 상태에서 반송 방향 하류측{탑재 스테이션(2)측}으로부터 상류측{보호 시트(3) 협지 위치측}까지 이동시키고, 내측의 척부(35', 35')에 의해 보호 시트(3)를 협지하여 탑재 스테이션(2)으로 반송할 때에는 외측의 척부(35, 35)를 내측의 척부(35', 35')보다 반송 방향 측방측으로 이동시킨 상태에서 반송 방향 상류측으로 이동시키고, 이에 따라 쌍방의 척부(35, 35')에 의해 교대로 보호 시트(3)를 협지, 반송할 수 있도록 되어 있다.
또한, 예를 들면, 도 2에 나타내는 바와 같이, 반송로(34) 상에 에어 플로트용의 다수의 분출 구멍을 형성한 에어 플로트 패널(38)을 배치하도록 해도 좋다. 이렇게 구성함으로써 반송로(34) 상에 탑재된 보호 시트(3)에 대하여 에어를 분사하여 반송시에 있어서의 보호 시트(3)의 마찰 저항을 경감시킬 수 있다. 또한, 상기 에어 플로트 패널(38) 사이에 반송 방향을 따른 방향의 홈부를 더 형성하고, 이 홈부로부터 유리 기판(4)을 수평 방향으로 가압하기 위한 바(도시는 생략)를 상방으로 돌출시키고, 상기 4개의 척부(35)와 동기하여 홈부 내를 이동시키도록 해도 좋다. 이렇게 구성함으로써 보호 시트(3) 상에 탑재된 유리 기판(4)을 상기 보호 시트(3)와 함께 인출 스테이션(7)까지 반송할 수 있다.
유리 기판 적재 장치(40)는 기대(41)와, 기대(41) 상에 배치되는 로봇암(42)을 주로 구비하는 것이며, 로봇암(42)의 가동 범위 내에 인출 스테이션(7)과 적재 스테이션(5)이 포함되는 위치에 배치된다. 로봇암(42)의 선단에는 유리 기판(4) 및 보호 시트(3)를 모두 유지하기 위한 유지부(43)가 설치되어 있다. 여기에서, 유지부(43)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 대략 격자상의 프레임체(44)와, 프레임체(44)의 각 프레임변의 일면측에 배치되고, 유리 기판(4)을 흡착 유지하기 위한 복수개의 흡착 패드(45)와, 유리 기판(4)이 탑재된 보호 시트(3)의 서로 대향하는 좌우의 변 가장자리부(3a, 3b)(도 4를 참조)를 각각 협지하는 복수개의 협지부(46)를 갖는다. 협지부(46)는 한쌍의 클로부로 이루어지고, 상기 한쌍의 클로부 중 예를 들면, 실린더(47) 등의 구동 수단에 의해 구동되는 가동 클로부의 개폐 동작에 따라 고정측 클로부와의 사이에서 보호 시트(3)를 협지하거나 또는 개방되도록 되어 있다. 이 도시예에서는 프레임체(44)의 양측의 프레임변에 각각 3개의 협지부(46)가 배치되어 있고, 인출 스테이션(7) 상의 보호 시트(3)의 좌우 양측의 변 가장자리부(3a, 3b)를 각각 3개소씩에서 협지할 수 있도록 되어 있다.
또한, 이 실시형태에서는 복수개의 협지부(46)가 배치되는 양측 프레임변 사이를 연결하는 상단 프레임변에 1개의 프레임변이 평행하게 연결되어 있고, 상기 연결 프레임변에는 후술하는 보호 시트(3)의 상측 변 가장자리부(3c)(도 4를 참조)를 흡착 유지하기 위한 복수개의 흡착 패드(48)가 배치되어 있다.
곤포 팰릿 장치(50)는 이 실시형태에서는 2대의 곤포용 팰릿(51, 51)과, 이들 곤포용 팰릿(51, 51)을 탑재하고, 연직축 둘레에서 회전 가능한 턴테이블(53)을 구비한다. 여기에서, 각 곤포용 팰릿(51)은 모두 소정각 경사진 적재면(52)을 갖고, 이 적재면(52) 상에 복수개의 유리 기판(4) 및 보호 시트(3)를 교대로 적재할 수 있도록 되어 있다. 이 경우, 적재 스테이션(5)은 상술한 유리 기판 적재 장치(40)의 로봇암(42)의 가동 범위에 포함되는 측의{또는 로봇암(42)에 의해 가까운 측의} 적재면(52)과 동일한 위치에 배치된다.
이하, 상기 구성에 의한 유리 기판 곤포 장치(1)를 사용한 유리 기판(4)의 적재 곤포 작업의 일례를 설명한다.
우선, 유리 기판 공급 장치(10)에 의해 반송로(11) 상에서 반송되는 유리 기판(4)이 반송로(11)의 말단에 위치하는 공급 스테이션(6)에 도달한 것을 적당한 센서(도시는 생략)에 의해 검지하고, 롤러 컨베이어(12)를 정지시킨다. 이것에 의해 유리 기판(4)이 감속 정지하여 공급 스테이션(6) 상에 세팅된다. 그리고, 상기 공급 스테이션(6) 상에 배치된 유리 기판(4)의 반송로(11)측의 면(이면)을 유리 기판 이송 탑재 장치(20)에 설치한 워크 유지부(28)의 흡착 패드(29)에 의해 흡착 유지하고, 상기 유지한 유리 기판(4)을 표리 반전 동작을 수반하여 탑재 스테이션(2)을 향해서 이송한다.
한편, 보호 시트 공급 장치(30)에 있어서는 장력 조정 기구(32) 및 로터리 커터(33)에 의해 롤상 시트(31)로부터 매엽상의 보호 시트가 정치수로 잘라내어진다. 잘라내어진 보호 시트(3)는 반송로(34) 상에 공급됨과 아울러, 반송로(34)의 양측에 배치된 2세트의 좌우 한쌍의 척부(35, 35)에 의해 협지되고, 또한 상기 모든 척부(35)가 동기하여 제 1 슬라이드 기구(36)에 의해 반송로(34)를 따라 이동함으로써 이들 척부(35)에 협지된 보호 시트(3)가 탑재 스테이션(2)까지 반송된다. 그 후, 유리 기판 이송 탑재 장치(20)에 의해 유리 기판(4)이 탑재 스테이션(2)으로 이송되고, 앞서 탑재 스테이션(2)으로 반송되어 대기하고 있던 보호 시트(3) 상에 유리 기판(4)이 탑재된다. 이 실시형태에서는 보호 시트(3)의 컷팅 치수는 대응하는 유리 기판(4)의 세로 방향 치수보다 크고, 또한 보호 시트(3)의 좌우 폭치수도 대응하는 유리 기판(4)의 그것보다 크다. 이러한 경우, 예를 들면, 도 4에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(4)의 세변(좌우 두변 및 이들 두변과 그 상단에서 연속되는 상변)으로부터 보호 시트(3)가 소정 치수(예를 들면, 수십㎜ 정도) 돌출되는 위치에 유리 기판(4)이 탑재된다. 또한, 이 실시형태에서는 유리 기판(4)의 하측 변 가장자리부(4a)가 보호 시트(3)로부터 약간(예를 들면, 수㎜ 정도) 돌출되는 위치에 유리 기판(4)이 탑재된다. 이것은 가령 보호 시트(3)가 그 하단 변 가장자리부도 돌출되어 있던 경우에는 후술하는 곤포용 팰릿(51){적재 스테이션(5)}에 적재했을 때 상기 변 가장자리부가 절곡되고, 이 절곡된 부분 위에 유리 기판(4)이 탑재되게 되고, 유리 기판(4)의 적재 위치에 어긋남 등이 발생되는 것을 회피하기 위해서 이루어진 것이다.
또한, 이 실시형태에서는 탑재 스테이션(2)에 있어서 보호 시트(3)가 복수개의 척부(35)에 의해 협지된 상태에 있어서 각 척부(35)와 제 1 슬라이드 기구(37) 사이에 설치한 제 2 슬라이드 기구(36)에 의해 좌우 한쌍의 척부(35, 35)를 서로 이격하는 방향으로 이동시킴으로써 보호 시트(3)에 소정 장력이 부여된다. 여기에서는 도 2에 나타내는 바와 같이, 보호 시트(3)의 네 모서리를 각각 척부(35)에 의해 인장함으로써 보호 시트(3) 전체에 장력을 부여하여 보호 시트(3) 전면을 평탄상으로 펴도록 하고 있다. 이렇게 해서 장력이 부여된 상태의 보호 시트(3) 상에 유리 기판(4)을 탑재함으로써 양자 3, 4가 광범위에 걸쳐 서로 밀착된 상태에서 탑재된다. 이상과 같이 해서 유리 기판(4)이 탑재된 보호 시트(3)는 계속해서 좌우 한쌍의 척부(35, 35)에 의해 유리 기판(4)과 함께 유리 기판(4)의 인출 스테이션(7)을 향해 반송로(34) 상에서 반송된다. 또한, 이 실시형태에서는 좌우 한쌍의 척부(35, 35)의 반송 방향 내측에 상기 구성의 척부(35', 35')를 설치하도록 했으므로 외측의 척부(35, 35)에 의해 보호 시트(3)를 협지하여 탑재 스테이션(2)으로 반송하는 것과 동시에 내측의 척부(35', 35')가 외측의 척부(35, 35)와 간섭되지 않고 반송로(34)의 하류측으로부터 상류측으로 이동하고, 롤상 시트(31)로부터 새롭게 잘라내어져 반송로(34) 상에 공급된 후속의 보호 시트(3)를 협지하여 탑재 스테이션(2)을 향해서 반송한다. 또한, 내측의 척부(35', 35')에 의해 보호 시트(3)를 협지하여 탑재 스테이션(2)으로 반송하는 것과 동시에 외측의 척부(35, 35)가 내측의 척부(35', 35')와 간섭되지 않고 반송로(34)의 하류측으로부터 상류측으로 이동하여 반송로(34) 상에 새롭게 공급된 후속의 보호 시트(3)를 협지하여 탑재 스테이션(2)을 향해서 반송한다. 따라서, 보호 시트(3)를 협지해서 탑재 스테이션(2)으로 반송하고, 유리 기판(4)을 탑재한 후, 또한 인출 스테이션(7)을 향해서 반송하는 상기 일련의 작업이 외측의 척부(35, 35)와 내측의 척부(35', 35')에 의해 교대로, 또한 반복해서 행해진다.
유리 기판(4)의 인출 스테이션(7)에 도달한 보호 시트(3)와 유리 기판(4)은 유리 기판 적재 장치(40)에 의해 유지된 후, 한쪽의 곤포용 팰릿(51)의 적재면(52)이 되는 적재 스테이션(5)을 향해서 이송됨과 아울러, 보호 시트(3)를 아래로 해서 적재 스테이션(5) 상에 적재된다. 상세하게는 로봇암(42)의 선단에 설치한 유지부(43)의 흡착 패드(45)에 의해 유리 기판(4)이 흡착 유지됨과 아울러, 보호 시트(3)의 변 가장자리 부분 중 탑재된 유리 기판(4)으로부터 돌출된 양측의 변 가장자리부(3a, 3b)(도 4를 참조)가 유지부(43)의 양측 프레임변에 설치한 협지부(46)에 의해 협지된다. 또한, 이 실시형태에서는 보호 시트(3)의 변 가장자리 부분 중 복수개의 협지부(46)에 의해 협지되는 좌우의 변 가장자리부(3a, 3b)를 연결하는 상측 변 가장자리부(도 4 중 상측의 변 가장자리부)(3c)가 일렬로 배치된 흡착 패드(48)에 의해 흡착 유지된다. 그리고, 이렇게 해서 유지된 보호 시트(3)와 유리 기판(4)을 로봇암(42)에 의해 이송함으로써 보호 시트(3)가 이송시에 크게 요동, 펄럭이거나 하는 것을 억제하여 안정적인 자세로 보호 시트(3)가 적재 스테이션(5)에 적재된다.
또한, 이 실시형태에서는 장력을 부여한 상태의 보호 시트(3)를 유리 기판(4)과 함께 유지하여 적재하도록 했으므로 보호 시트(3)와 유리 기판(4)의 밀착성이 높아져 상기 이송시의 자세도 한층 안정적인 것이 된다. 특히, 상술한 바와 같이 유리 기판(4)을 탑재하기 전에 보호 시트(3)에 장력을 부여함으로써 보호 시트(3)에 장력을 부여하여 신장시킬 때에 유리 기판(4)과의 마찰의 영향을 받지 않는다. 또한, 도 2나 도 4의 위치 관계로부터 알 수 있는 바와 같이, 협지부(46)에 의한 협지 부위와 척부(35)에 의한 척 부위를 각각 중복되지 않는 위치로 설정함으로써 척부(35)에 의해 보호 시트(3)를 척하여 장력을 부여한 상태를 유지한 상태에서 유지부(43)의 협지부(46)에 의해 보호 시트(3)를 협지하는 것이 가능하게 된다.
이상의 작업을 반복함으로써 적재 스테이션(5)이 되는 한쪽의 곤포용 팰릿(51)의 적재면(52)에 보호 시트(3) 및 유리 기판(4)이 교대로 적재되어 간다. 그리고, 적재(적층) 매수가 소정수에 도달하면 이들 교대로 적층된 유리 기판(4)과 보호 시트(3)가 소정의 곤포 수단에 의해 곤포됨과 아울러, 바로 턴테이블(53)을 회전시켜서 적재 스테이션(5)을 다른 쪽의 곤포용 팰릿(51)의 적재면(52)으로 스위칭한다. 이상의 작업을 반복함으로써 유리 기판(4)의 적재 곤포 작업이 자동적으로 계속 실시된다.
여기에서, 유리 기판 이송 탑재 장치(20)에 의한 유리 기판(4)의 이송 탑재 동작에 관해 설명한다. 예를 들면, 도 2에 나타내는 상태로부터 제 2 링크(25)를 제 1 조인트(24a)를 중심으로 해서 시계 방향으로 선회{유리 기판(4)을 들어올리는 방향으로 선회}시킴으로써 유리 기판(4)을 표리 반전시켜서 탑재 스테이션(2)으로 이송 탑재하는 것도 가능하지만 이송 탑재 작업의 고속화 및 그 때의 보호 시트(3)의 형태 안정성을 고려한 경우, 보다 바람직한 유리 기판(4)의 이송 경로를 설정하는 것도 가능하다. 이하, 유리 기판 이송 탑재 장치(20)를 사용한 이송 탑재 동작의 일례를 설명한다.
우선, 도 6에 나타내는 바와 같이, 워크 유지부(28)를 공급 스테이션(6) 상에 세팅한 유리 기판(4)의 바로 아래에 배치한다. 이 때, 제 2 조인트(25a)는 제 1 조인트(24a) 및 제 3 조인트(26a)보다 상방에 위치하고 있다. 그리고, 이 위치에 있어서 워크 유지부(28)에 설치한 복수개의 흡착 패드(29)를 유리 기판(4)의 하면에 밀착하여 유리 기판(4)을 흡착 유지한다. 그 후, 유리 기판(4)을 조금 상방으로 들어올린 상태로부터 실질적인 이송 동작을 개시한다. 즉, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제 1 조인트(24a) 둘레에서 제 2 링크(25)를 반시계 방향으로 선회시킴과 아울러, 제 2 링크(25)의 선회 동작에 맞춰서 제 3 링크(26)도 반시계 방향으로 선회시키고, 아울러 손목(27)을 제 3 조인트(26a) 둘레에서 시계 방향으로 회전시킨다. 이러한 동작에 의해 유리 기판(4)을 그 이송 방향 전방측{탑재 스테이션(2)에 가까운 측}을 상위로 해서 서서히 기울여 가면서 들어올려 탑재 스테이션(2)을 향해서 이동시킨다.
상술한 바와 같이 해서 유리 기판(4)을 탑재 스테이션(2)을 향해 이동해 가고, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제 2 링크(25)와 제 3 링크(26)가 일직선 상에 나란히 로봇암(22)이 연직 상방으로 모두 신장되는 위치까지 유리 기판(4)을 이동시킨다. 동시에 유리 기판(4)을 세워 가고, 로봇암(22)이 연직 상방으로 모두 신장된 상태에서는 유리 기판(4)이 그 선단측의 단면을 하방을 향해 직립된 상태에 있도록 손목(27)을 회전시킨다.
그리고, 이 상태로부터 계속해서 손목(27)을 시계 방향으로 회전시킴과 아울러, 제 2 링크(25)는 시계 방향으로, 제 3 링크(26)는 반시계 방향으로 각각 선회시킨다(모두 도 8을 참조). 이렇게 로봇암(22)을 움직임으로써 유리 기판(4) 전체 위치에 직결되는 제 3 조인트(26a)를 하방으로 이동시켜 유리 기판(4)을 하강시킴과 아울러, 유리 기판(4)의 진행 방향 선단측이 하방이 되도록 유리 기판(4)을 경사지게 한 상태에서 탑재 스테이션(2)을 향해서 접근시켜 간다. 또한, 유리 기판(4)의 진행 방향 선단측{탑재 스테이션(2)에 가까운 측의 단부}을 상대적으로 상승시키고, 후단측을 상대적으로 하강시킴으로써 유리 기판(4)의 자세를 수평(탑재 자세)에 가깝게 해 간다.
그리고, 상기 유리 기판(4)의 이송 동작 중 도 9에 나타내는 바와 같이, 시계 방향으로 선회하고 있던 제 2 링크(25)를 역전시켜 반시계 방향으로 선회시킴으로써 유리 기판(4) 전체적인 하강량에 대한 수평 이동량의 비율을 높여 유리 기판(4)을 탑재 자세에 가깝게 하면서 탑재 스테이션(2)을 향해 수평 방향으로 이송해 간다. 이것에 의해 도 10에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(4)이 표리 반전된 상태에서 탑재 스테이션(2) 상의 보호 시트(3)와 정면 대향하는 위치까지 이송된다. 상기 이송 동작에 의하면 유리 기판(4)이 이송시에 받는 공기 저항을 최대한 작게 해서 탑재 스테이션(2)을 향해 고속으로 반송된다.
그리고, 도 10에 나타내는 위치, 즉, 유리 기판(4)이 대략 수평 자세를 취하여 보호 시트(3)와 정면 대향하는 위치로부터 상기 정면 대향 자세를 유지하면서 유리 기판(4)을 보호 시트(3)를 향해 직선적으로 이동시킨다. 이것에 의해 유리 기판(4)이 정확하게 위치 결정된 상태에서 보호 시트(3) 상에 탑재된다.
이렇게 해서 유리 기판(4)의 이송 탑재 동작이 완료되면 재차 유리 기판(4)의 이송·탑재 동작을 행하기 위해서 워크 유지부(28)를 공급 스테이션(6)의 하방으로 이동시킨다. 이렇게 해서 도 6~도 10에 의한 일련의 동작을 반복함으로써 공급 스테이션(6)으로부터 탑재 스테이션(2)으로의 유리 기판(4)의 이송 탑재 동작이 반복해서 행해진다.
이상, 본 발명에 의한 유리 기판 곤포 장치(1)를 사용한 유리 기판(4)의 적재 곤포 작업의 일례를 설명했지만 본 발명은 상기 동작예에 한정되지 않는 것은 물론이다. 적재 수단이 되는 유리 기판 적재 장치(40) 또는 이 장치를 구성하는 로봇암(42)의 유지부(43)가 탑재된 상태의 유리 기판(4)으로부터 돌출된 보호 시트(3)의 변 가장자리 부분 중 서로 대향하는 두변 가장자리를 협지하는 협지부(46)를 갖는 한에 있어서 상기 이외의 적재 곤포 형태를 채용하는 것도 가능하다.
예를 들면, 유리 기판 적재 장치(40)에 관하여 상기 실시형태에서는 보호 시트(3)의 변 가장자리 부분 중 탑재된 유리 기판(4)으로부터 돌출된 양측의 변 가장자리부(3a, 3b)(도 4를 참조)가 유지부(43)의 양측 프레임변에 설치한 협지부(46)에 의해 협지되도록 구성한 경우를 설명했지만 유리 기판(4)으로부터 돌출된 다른 변 가장자리 부분을 협지하도록 구성하는 것도 가능하다. 도 5는 그 일례를 나타내는 것이며, 동 도면에 의한 유지부(43)는 프레임체(44)의 양측 프레임변에 배치되고, 보호 시트(3)의 서로 대향하는 좌우의 변 가장자리부(3a, 3b)를 각각 협지하는 2개의 협지부(46)를 가짐과 아울러, 이들 복수개의 협지부(46)에 의해 협지되는 좌우의 변 가장자리부(3a, 3b)를 연결하는 상측 변 가장자리부(3c)를 협지하는 2개의 협지부(46)를 더 갖는 구조를 이룬다. 다른 구성, 예를 들면, 흡착 패드(45, 48)에 관한 구성은 도 4에 나타내는 상술한 유지부(43)와 동일하기 때문에 그 설명을 생략한다.
상기 구성에 의한 유리 기판 적재 장치(40){유지부(43)}이면 유리 기판(4)으로부터 돌출된 보호 시트(3)의 변 가장자리 부분의 서로 대향하는 2개의 변 가장자리부(3a, 3b) 뿐만 아니라 이들 변 가장자리부(3a, 3b)를 연결하는 다른 변 가장자리부(3c)도 협지되므로 이송시, 풍압을 받아 크게 흔들리기 쉬운 개소를 고정시켜 보호 시트 전체의 흔들림 또는 이 흔들림에 기인하는 절곡 등의 변형을 작게 억제할 수 있어 고속으로 고정밀도, 또한 고품질의 반송을 행하는 것이 가능하게 된다.
또한, 상기 실시형태에서는 보호 시트 공급 장치(30)에 설치된 좌우 한쌍의 척부(35, 35)에 의해 반송로(34) 상의 보호 시트(3)에 장력을 부여하는 경우를 설명했지만 특별히 이 형태에 한정될 필요는 없다. 예를 들면, 유리 기판 적재 장치(40)의 유지부(43)에 설치한 대응하는 좌우 한쌍의 협지부(46, 46)를 서로 접근시키거나 또는 이격 가능하게 구성하고, 인출 스테이션(7)에 있어서 보호 시트(3)의 양측 두변 가장자리부(3a, 3b)를 협지한 상태의 한쌍의 협지부(46, 46)를 서로 이격하는 방향으로 이동시킴으로써 상기 보호 시트(3)에 장력을 부여하는 것도 가능하다.
또한, 이상의 설명에서는 유리 기판 이송 탑재 장치(20)를 구성하는 로봇암(22)으로서 소위 3축 관절형의 로봇암을 예시했지만 물론, 이 구조에 한정될 필요는 없다. 공급 스테이션(6)으로부터 탑재 스테이션(2)에 유리 기판(4)을 이송 탑재하는 동작을 행할 수 있는 것인 한, 임의의 다관절 로봇암(예를 들면, 6자유도 등의 범용 로봇암 등)을 사용할 수 있다. 또한, 유리 기판 적재 장치(40)를 구성하는 로봇암(42)에 대해서도 특별히 구체적 구조는 한정되지 않고, 인출 스테이션(7)으로부터 적재 스테이션(5)으로 유리 기판(4)과 보호 시트(3)를 일체적으로 이송하는 동작을 행할 수 있는 것인 한에 있어서 임의의 다관절 로봇암을 사용할 수 있다.
또한, 이상의 설명에서는 이송 대상이 되는 워크로서 액정 디스플레이용 유리 기판(4)을 예시했지만 본 발명은 액정 디스플레이용으로 한정되지 않고, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이, FED, SED 등의 각종 플랫 패널 디스플레이용 유리판(예를 들면, 0.4㎜~3.0㎜ 정도의 판두께를 갖는 것)이나 각종 전자 표시 기능 소자나 박막을 형성하기 위한 기재로서 사용되는 유리판 등, 보호 시트를 통해 적층 곤포될 가능성이 있는 유리 기판 전반을 이송 대상으로 할 수 있다.
1: 유리 기판 곤포 장치 2: 탑재 스테이션
3: 보호 시트 3a, 3b, 3c: 변 가장자리부
4: 유리 기판 5: 적재 스테이션
6: 공급 스테이션 7: 인출 스테이션
10: 유리 기판 공급 장치 11: 반송로
13: 오목부 20: 유리 기판 이송 탑재 장치
22: 로봇암 24, 25, 26: 링크
24a, 25a, 26a: 조인트 28: 워크 유지부
29: 흡착 패드 30: 보호 시트 공급 장치
31: 롤상 시트 34: 반송로
35: 척부 36: 제 1 슬라이드 기구
37: 제 2 슬라이드 기구 40: 유리 기판 적재 장치
42: 로봇암 43: 유지부
44: 프레임체 45: 흡착 패드(유리 기판용)
46: 협지부 48: 흡착 패드(보호 시트용)
50: 곤포 팰릿 장치 51: 곤포용 팰릿
52: 적재면

Claims (9)

  1. 보호 시트 상에 유리 기판이 탑재되는 탑재 스테이션과, 상기 보호 시트와 상기 유리 기판을 교대로 적재하는 적재 스테이션과, 상기 보호 시트 상에 탑재된 상기 유리 기판을 상기 보호 시트와 함께 유지하고 상기 적재 스테이션에 적재하는 적재 수단을 구비한 유리 기판 곤포 장치에 있어서:
    상기 적재 수단은 상기 탑재 상태의 유리 기판으로부터 돌출된 상기 보호 시트의 변 가장자리 부분 중 서로 대향하는 두변 가장자리를 협지하는 협지부를 갖는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 협지부는 상기 서로 대향하는 두변 가장자리 이외의 변 가장자리 부분을 더 협지하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 협지부는 상기 각각의 변 가장자리 부분을 각각 복수 개소에서 협지하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 협지부는 더욱이 상기 보호 시트에 장력을 부여하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탑재 스테이션에 있어서의 상기 보호 시트에 장력을 부여하는 장력 부여 수단을 상기 협지부와는 별도로 구비한 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적재 수단에 의해 상기 유리 기판을 상기 보호 시트와 함께 유지해서 인출하는 인출 스테이션을 상기 탑재 스테이션과는 다른 위치에 구비한 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 탑재 스테이션에 상기 보호 시트를 공급하는 시트 공급 수단을 더 구비하고;
    상기 시트 공급 수단은 상기 탑재 스테이션에 공급되고, 또한 상기 유리 기판이 탑재된 상기 보호 시트를 상기 인출 스테이션까지 반송하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유리 기판을 상기 유리 기판이 공급되는 공급 스테이션으로부터 상기 탑재 스테이션으로 이송 탑재하는 이송 탑재 수단을 더 구비하고;
    상기 이송 탑재 수단은 상기 유리 기판의 진행 방향 선단측이 하방이 되도록 상기 유리 기판을 경사지게 한 상태에서 상기 탑재 스테이션에 접근시키고, 또한 상기 탑재 스테이션에 접근함에 따라 상기 유리 기판의 자세를 탑재 자세에 가깝게 하는 이동 경로를 구성하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포 장치.
  9. 탑재 스테이션에서 보호 시트 상에 유리 기판을 탑재하고, 상기 탑재한 유리 기판을 상기 보호 시트와 함께 적재 스테이션을 향해서 이송하고, 상기 적재 스테이션에 상기 유리 기판과 상기 보호 시트를 교대로 적재하는 방법으로서:
    상기 보호 시트 상에 탑재된 상기 유리 기판을 상기 보호 시트와 함께 유지하고 상기 적재 스테이션에 적재하는 적재 수단이 설치되고,
    상기 적재 수단은 상기 탑재 상태의 유리 기판으로부터 돌출된 상기 보호 시트의 변 가장자리 부분 중 서로 대향하는 두변 가장자리를 협지하는 협지부를 갖는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 곤포 방법.
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