JP2018111226A

JP2018111226A - ワーク搬送装置及びワーク搬送方法

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Publication number: JP2018111226A
Application number: JP2017001760A
Authority: JP
Inventors: 義和大谷; Yoshikazu Otani
Original assignee: Shin Etsu Engineering Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Engineering Co Ltd
Priority date: 2017-01-10
Filing date: 2017-01-10
Publication date: 2018-07-19
Anticipated expiration: 2037-01-10
Also published as: JP6165372B1

Abstract

【課題】保持面に対してフィルム状のワークをサイズに関係なく機能部が張ったまま均一に受け渡すワーク搬送装置の提供。【解決手段】ワークＷで一組以上の対辺を着脱自在に挟み込む複数の挟持部１ａを有する複数のハンド部材１と、複数のハンド部材をワークの受け取り位置から中間位置を経て保持面ｈに対する受け渡し位置Ｐ３に向け移動させるハンド駆動機構２と、複数の挟持部の駆動源及びハンド駆動機構を作動制御する制御部と、を備え、受け取り位置で複数の挟持部を対辺の挟み込み方向へ移動させ、複数の挟持部が挟み込み方向へ移動した状態で複数のハンド部材を、受け取り位置からワークの裏面Ｗｂが保持面と交差する方向へ離隔して配置される中間位置に向け移動し、中間位置からワークの一組以上の対辺が保持面の延長線を越える受け渡し位置に向け移動し、受け渡し位置で複数の挟持部を挟み込み解除方向へ移動させる様に制御するワーク搬送装置Ａ。【選択図】図３

Description

本発明は、例えばフレキシブル液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、フレキシブル有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）等のフレキシブルディスプレイに用いられるフィルム基板や、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるカバーフィルムなどのフィルム状ワークを着脱自在に保持して移送するワーク搬送装置、及び、ワーク搬送方法に関する。
本発明は、ワーク搬送装置が組み込まれてフィルム状ワーク同士を貼り合わせるか又はフィルム状ワークとガラス基板などの板状ワークを貼り合わせるワーク貼り合わせ装置、及び、ワーク搬送方法を用いたワーク貼り合わせ方法に関する。

従来、この種のワーク搬送装置及びワーク貼り合わせ装置として、ＣＦパターンが形成されたウェブフィルムを支持する真空チャンバ内の下ステージと、ＴＦＴパターンが形成されたシートフィルムを供給するシート搬送装置と、を備え、シート搬送装置は、シートフィルムを真空チャンバ内の上ステージに供給する供給ハンドと、供給ハンドを移動させるハンド駆動機構と、を備えたアライメント貼合装置がある（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１では、供給ハンドからシートフィルムが真空吸着方式で上ステージに吸着され、真空チャンバ内の減圧に伴ってシートフィルムを真空吸着方式から静電チャックに切り換えて保持し、真空状態でシートフィルムのＴＦＴパターンとウェブフィルムのＣＦパターンが位置合わせされた後に、上ステージを下ステージに向け接近移動してウェブフィルムとシートフィルムが貼り合わせる。
詳しく説明すると、供給ハンドは、シートフィルムの周縁部を保持する枠状の保持部材と、保持部材で囲まれた空間に気体を流入させる流入孔と、を備え、保持部材には、複数の吸引孔が所定の間隔で設けられ、枠状の保持部材に対してシートフィルムの周縁部を吸着している。シートフィルムの吸着後は、流入孔から気体が流入されてシートフィルムをその中心部が凸となるようにたわませ、このシートフィルムが上ステージと対向するように供給ハンドを反転している。その次に、供給ハンドを上ステージに向け接近移動させて、シートフィルムが凸となった中心部から外周に向かって上ステージに吸着される。

特開２００９−２６５２６５号公報

このような従来のワーク搬送装置及びワーク貼り合わせ装置では、気体の流入により凸状に膨らんだシートフィルムがその中心部から外周に向かって上ステージに吸着されることにより、上ステージの表面に対してシートフィルムがシワを発生させずに受け渡されるようにしている。
しかし乍ら、気体によるシートフィルムの膨出形状は、繰り返し同形状にコントロールすることが難しく、特にシートフィルムのサイズが大型化すると、膨出量も増大することからコントロールが極めて困難となり、チャンバ内に僅かな気流変化が起きるなど、少々の変化要因でシートフィルムの膨出形状が部分的に弛んでしまう。このため、シートフィルムのサイズが大型化するほど、上ステージの表面に対するシートフィルムの受け渡し時において、シートフィルムにシワが発生し易くなるとともに、ＴＦＴパターンなどの機能部が供給ハンドに接触するなど、ＴＦＴパターンなどの機能部にダメージを与えるという問題があった。
さらに、シートフィルムを確実に膨らませるには、枠状の保持部材を完全な密閉構造にする必要があるため、シートフィルムのサイズが大型化すると、これに伴い保持部材を含む供給ハンドの全体重量が非常に重くなる。この場合には、供給ハンドを移動させるハンド駆動機構も大型化する必要もあるが、それには限界があってサイズによってはシートフィルムを搬送不能なおそれもある。これにより、特に大型のディスプレイ装置の製造には適さないという問題があった。
また、シートフィルムの膨出形状が不安定であるため、上ステージの表面に対するシートフィルムの受け渡し時においてシートフィルムが位置ズレし易く、下ステージのウェブフィルムと高精度に位置合わせして貼り合わせることができない。これにより、シートフィルムの位置合わせ精度が悪化して、特に大型のディスプレイ装置を製造すると製品が一部不良になるという問題があった。

このような課題を解決するために本発明に係るワーク搬送装置は、表面に機能部が形成された略矩形フィルム状のワークを受け取って保持し保持面へ移送するワーク搬送装置であって、前記ワークにおいて少なくとも一組の対辺を着脱自在に挟み込む複数の挟持部を有する複数のハンド部材と、前記複数のハンド部材を前記ワークの受け取り位置から中間位置を経て前記保持面に対する受け渡し位置に向け移動させるハンド駆動機構と、前記複数の挟持部の駆動源及び前記ハンド駆動機構を夫々作動制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記受け取り位置で前記複数の挟持部を前記対辺の挟み込み方向へ移動させ、前記複数の挟持部が挟み込み方向へ移動した状態で前記複数のハンド部材を、前記受け取り位置から前記ワークの裏面が前記保持面と交差する方向へ離隔して配置される前記中間位置に向け移動し、前記中間位置から前記ワークの少なくとも前記一組の対辺が前記保持面の延長線を越える前記受け渡し位置に向け移動し、前記受け渡し位置にて前記複数の挟持部を挟み込み解除方向へ移動させるように制御することを特徴とする。
また、このような課題を解決するために本発明に係るワーク搬送方法は、表面に機能部が形成された略矩形フィルム状のワークを受け取って保持したまま保持面まで移送して受け渡すワーク搬送方法であって、前記ワークにおいて少なくとも一組の対辺を、受け取り位置で複数のハンド部材の挟持部により挟み込む挟持工程と、前記挟持部により前記ワークの少なくとも前記一組の対辺を挟み込んだ状態で前記複数のハンド部材を前記受け取り位置から、前記ワークの裏面が前記保持面と交差する方向へ離隔して配置される中間位置に向け移動させる第一移送工程と、前記挟持部により前記ワークの少なくとも前記一組の対辺を挟み込んだ状態で前記複数のハンド部材を前記中間位置から、前記保持面と交差する方向へ前記保持面の延長線を越えた受け渡し位置に向け移動して、前記保持面に対し前記ワークの前記裏面を圧接させる第二移送工程と、前記保持面による前記ワークの保持完了後に前記受け渡し位置において前記複数のハンド部材の前記挟持部による前記ワークの少なくとも前記一組の対辺の挟み込みを解除する挟持解除工程と、を含むことを特徴とする。

本発明の実施形態に係るワーク搬送装置の全体構成を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬送方法の挟持工程を示す縦断正面図、（ｂ）が同工程の平面図である。本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ装置の作動状態を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬送方法の第一移送工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。（ａ）がワーク搬送方法の第二移送工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。（ａ）がワーク搬送方法の挟持解除工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。（ａ）がワーク搬送方法の第一移送工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。（ａ）がワーク搬送方法の第二移送工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。（ａ）がワーク搬送方法の挟持解除工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。（ａ）がワーク貼り合わせ方法の貼り合わせ工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。（ａ）がワーク貼り合わせ方法の搬出工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。（ａ）がワーク貼り合わせ方法の搬出工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。（ａ）がワーク貼り合わせ方法の搬出工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が同工程の縮小縦断側面図である。本発明の実施形態に係るワーク搬送装置を貯蔵庫に適用した場合の作動状態を示す説明図であり、（ａ）がワーク搬送方法の第一移送工程を示す縮小縦断正面図、（ｂ）が第一移送工程を示す縮小縦断正面図、（ｃ）が挟持解除工程を示す縮小縦断正面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の実施形態に係るワーク搬送装置Ａは、図１〜図１２に示すように、フレキシブルディスプレイなどのフィルム基板（プラスチックフィルム）や、フラットパネルディスプレイなどのカバーフィルムなどからなるフィルム状のワークＷを受け取って着脱自在に保持し、平滑な保持面ｈなどに向け移送して受け渡す枚葉式のフィルム搬送装置である。
フィルム状のワークＷは、後述する保持面ｈのサイズよりも大きな矩形（長方形及び正方形を含む角が直角の四辺形）やこれと類似する形状（略矩形）に形成される。ワークＷの表面Ｗａ又は裏面Ｗｂのいずれか一方においてその外周部を除く中央のアクティブエリアには、ＴＦＴパターンやＣＦパターンなどの機能部（図示しない）が形成される。図示例の場合には、機能部が形成される面を表面Ｗａとしている。
ワークＷは、相対する二組の対辺Ｗｃ，Ｗｄを有し、そのうちいずれかの対辺Ｗｃ，Ｗｄが後述する複数のハンド部材１と対向するように供給される。
保持面ｈは、ワークＷのサイズよりも小さな矩形やこれと類似する略矩形に形成され、ワークＷを着脱自在に保持するために後述するチャック機構を有している。

本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ装置Ｂは、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）等のフレキシブルディスプレイ又はフラットパネルディスプレイなどを含む貼合デバイスＤの製造装置である。ワーク貼り合わせ装置Ｂに向けて貼合デバイスＤを構成する第一ワークＷ１と第二ワークＷ２がワーク搬送装置Ａにより供給される。
ワーク貼り合わせ装置Ｂは、第一ワークＷ１を第一ステージ１１に保持し、第二ワークＷ２を第二ステージ１２に保持し、第一ステージ１１と第二ステージ１２の相対的な接近移動により第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２を高精度に位置合わせして貼り合わせる。
詳しく説明すると、ワーク貼り合わせ装置Ｂは、図２〜図１１に示すように、第一ワークＷ１が保持される第一ステージ１１と、第一ステージ１１と対向して第二ワークＷ２が保持される第二ステージ１２と、第一ステージ１１又は第二ステージ１２のいずれか一方若しくは両方を相対的に接近移動させる接離用駆動部２１と、第一ステージ１１又は第二ステージ１２のいずれか一方若しくは両方を対向方向と交差する方向へ相対的に調整移動させるアライメント用駆動部２２と、を主要な構成要素として備えている。
第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２のいずれか一方か若しくは第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２の両方は、フィルム状のワークＷである。第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２のいずれか一方のみがフィルム状のワークＷである場合には、第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２の他方がガラス基板などの板状ワークとなる。
第一ステージ１１又は第二ステージ１２のいずれか一方か若しくは第一ステージ１１及び第二ステージ１２の両方は、第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２のいずれか一方若しくは両方を保持する保持面ｈを有している。
保持面ｈには、第一ワークＷ１や第二ワークＷ２を着脱自在に保持するチャック機構１３が設けられる。チャック機構１３としては、真空吸着方式の吸着チャックや静電チャックや粘着チャックなどが用いられる。吸着チャックと静電チャックを併用することが好ましい。
なお、第一ステージ１１及び第二ステージ１２は、通常上下方向へ対向するように配置され、上側の第一ステージ１１と下側の第二ステージ１２により第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２が貼り合わされる方向を以下「Ｚ方向」という。Ｚ方向と交差する第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２に沿った方向を以下「ＸＹ方向」や「ＸＹθ方向」という。

ワーク貼り合わせ装置Ｂの具体例として図２〜図１１に示される場合には、貼合デバイスＤとしてフレキシブルディスプレイなどを生産するため、第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２の両方がフィルム状のワークＷである。上側の第一ステージ１１の保持面ｈに対して第一ワークＷ１をその表面Ｗａが下向きとなるように保持するとともに、下側の第二ステージ１２の保持面ｈに対して第二ワークＷ２をその表面Ｗａが上向きとなるように保持している。
第一ステージ１１及び第二ステージ１２は、真空チャンバ３０の内部に配設して、第一ステージ１１の保持面ｈに保持された第一ワークＷ１と、第二ステージ１２の保持面ｈに保持された第二ワークＷ２とを貼り合わせることが好ましい。真空チャンバ３０の内部には、減圧可能な貼り合わせ空間Ｓが形成され、減圧雰囲気において、第一ステージ１１にの保持面ｈに保持された第一ワークＷ１と、第二ステージ１２の保持面ｈに保持された第二ワークＷ２とを重ね合わせる。
真空チャンバ３０は、真空ポンプや圧縮機などの減圧用駆動源３０ａを有し、貼り合わせ空間Ｓを大気雰囲気から所定真空度の減圧雰囲気まで調整可能にしている。特に、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２の貼り合わせ後に、貼り合わせ空間Ｓを大気雰囲気に戻すことで、貼合デバイスＤの封止空間の内圧と圧力差が生じ、この圧力差により貼合デバイスＤを所定ギャップまで均等に加圧することが好ましい。
さらに、真空チャンバ３０は、貼り合わせ空間Ｓに第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２を出し入れするためにその全体又は一部が開閉自在に構成され、貼り合わせ空間Ｓと真空チャンバ３０の外部空間Ｏに亘りワーク搬送装置Ａを設けている。
図示例の場合には、真空チャンバ３０の一部に出入口３１が開設され、出入口３１を通ってワーク搬送装置Ａが移動可能に配設されるとともに、ワーク貼り合わせ時には出入口３１を開閉扉３２で密閉している。
また、その他の例として図示しないが、特開２００９−２６５２６５号公報に記載されるように真空チャンバ３０を複数に分割して開閉自在に連結させることも可能である。

一方、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置Ａは、ワークＷにおいて二組の対辺Ｗｃ，Ｗｄのうち少なくとも一組の対辺Ｗｃに沿って設けられる複数のハンド部材１と、複数のハンド部材１を保持面ｈに向けて移動させるハンド駆動機構２と、ハンド駆動機構２などを作動制御する制御部３と、を主要な構成要素として備えている。
ハンド部材１は、ワークＷにおいて各辺Ｗｃ，Ｗｄの略全長に沿った帯板状に形成される。
複数のハンド部材１は、ワークＷにおいて一組の対辺Ｗｃに沿って略平行状に形成されるか、二組の対辺Ｗｃ，Ｗｄに沿って四角枠状に形成されるか、若しくは連続する三辺（一組の対辺Ｗｃ及び両者間のいずれか一方の辺Ｗｄ）に沿ってコの字状に形成される。
複数のハンド部材１には、対辺Ｗｃ，Ｗｄをその厚み方向（Ｚ方向）にそれぞれ挟み込む複数の挟持部１ａが設けられ、複数の挟持部１ａによってワークＷを保持（吊持）する。
特に、複数のハンド部材１が略平行状又はコの字状に形成される場合には、ワークＷを全体的に均一な吊り下げ状態又は均一なテンション状態で保持するため、複数のハンド部材１において対向する一端側をワークＷの幅方向（Ｘ方向）へ揺動自在に支持するなど、調整移動可能することが好ましい。

複数の挟持部１ａは、保持面ｈの幅方向（Ｘ方向又はＹ方向のいずれか一方若しくは両方）の寸法よりも長い間隔を空けて配設される。
複数の挟持部１ａの間隔は、ワークＷにおいて少なくとも一組の対辺Ｗｃよりも中央部位Ｗｅを吊り下げるように固定配置することが好ましい。
また、その他の例として図示しないが、保持面ｈに対するワークＷの移送に連動して複数の挟持部１ａを保持面ｈの幅方向（Ｘ方向）へ互いに接近又は隔離するように移動可能に配置したり、ワークＷの全体的な吊り下げ状態やテンション状態を調整するために複数の挟持部１ａをワークＷの幅方向（Ｘ方向）へ接近又は隔離するように移動可能に配置したり変更可能である。
複数の挟持部１ａには、ワークＷの各辺Ｗｃ，Ｗｄにおいて表面Ｗａ又は裏面Ｗｂのいずれか一方か若しくは表面Ｗａ及び裏面Ｗｂの両方と対向当接する可動部位１ｃを有することが好ましい。
可動部位１ｃは、駆動源１ｂによりワークＷの厚み方向（Ｚ方向）へ移動自在に支持されている。
駆動源１ｂは、ロータリーアクチュエータなどの回転式駆動部からなり、後述する制御部３で作動制御される。駆動源１ｂは、可動部位１ｃの基端に装着し、可動部位１ｃの先端側をＺ方向へ回転して開閉移動させることが好ましい。
さらに、複数の挟持部１ａには、可動部位１ｃを常時閉動方向へ付勢する押圧手段（図示しない）がそれぞれ設けられて、ワークＷの抜け落ちを防止することが好ましい。これらの押圧手段としては、例えば永久磁石などを用いることが好ましい。
また、複数の挟持部１ａのワーク当接面には、滑り止め手段（図示しない）がそれぞれ設けられて、ワークＷの抜け落ちを防止することが好ましい。この滑り止め手段としては、例えばウレタン樹脂やシリコーン樹脂などからなる弾性変形可能な緩衝材を用いることが好ましい。

複数のハンド部材１の具体例として図１〜図１２に示される場合には、複数のハンド部材１がワークＷの一組の対辺Ｗｃに沿って二本それぞれ略平行状に配置される。複数の挟持部１ａの可動部位１ｃとして回動片を、一組の対辺Ｗｃの裏面Ｗｂに向けそれぞれ開閉移動自在に当接させ、一組の対辺Ｗｃを挟んで反対側には、移動不能な不動部位１ｄが設けられている。
二本の略平行状なハンド部材１には、両者間に亘って連結片１ｅ，１ｆを架け渡して枠状に組み付けることにより、複数の挟持部１ａの間隔がワークＷの一組の対辺Ｗｃよりも中央部位Ｗｅを吊り下げる状態で固定配置されている。このため、ワークＷは、複数の挟持部１ａで挟み込まれる（挟持される）一組の対辺Ｗｃよりも中央部位Ｗｅを低くした曲面状に吊持される。
また、その他の例として図示しないが、複数のハンド部材１を二組の対辺Ｗｃ，Ｗｄが挟持される四角枠状や、連結片１ｅ，１ｆのいずれか一方を外して連続する三辺Ｗｃ，Ｗｄが挟持されるコの字状に変更したり、不動部位１ｄを設けずに各辺Ｗｃ，Ｗｄにおいて表面Ｗａ及び裏面Ｗｂの両方に対し一対の可動部位１ｃをそれぞれ当接させたりなど変更可能である。

ハンド駆動機構２は、複数のハンド部材１をワークＷの受け取り位置Ｐ１から中間位置Ｐ２を経て保持面ｈに対する受け渡し位置Ｐ３に向けてＸＹ方向及びＺ方向へ往復動させるアクチュエータなどの駆動部２ａを有し、後述する制御部３により作動制御している。
ワークＷの受け取り位置Ｐ１とは、フィルム状のワークＷをワーク貼り合わせ装置Ｂなどの搬送先に向けて供給するため、搬送元となる機器などが配置される箇所をいう。搬送元となる機器の具体例としては、複数のワークＷを一時的に蓄えるワークストッカーなどの貯蔵庫Ｃが挙げられる。貯蔵庫Ｃについては後述する。
中間位置Ｐ２は、複数のハンド部材１の挟持部１ａで挟み込んだワークＷの裏面Ｗｂが、保持面ｈと交差する方向（Ｚ方向）へ所定間隔だけ離れるように配置される。
受け渡し位置Ｐ３は、複数のハンド部材１の挟持部１ａで挟み込んだワークＷの一組の対辺Ｗｃが、保持面ｈと交差する方向（Ｚ方向）へ保持面ｈの延長線を越えるように配置される。

制御部３は、挟持部１ａの駆動源１ｂやハンド駆動機構２の駆動部２ａだけでなく、保持面ｈに設けられるチャック機構１３の駆動源（図示しない）、接離用駆動部２１、アライメント用駆動部２２、真空チャンバ３０の減圧用駆動源３０ａ、開閉扉３２の駆動源３２ａなどにも電気的に接続するコントローラである。
接離用駆動部２１は、第一ステージ１１又は第二ステージ１２のいずれか一方か若しくは第一ステージ１１及び第二ステージ１２の両方をＺ方向へ往復動させるアクチュエータなどで構成される。
アライメント用駆動部２２は、第一ステージ１１又は第二ステージ１２のいずれか一方か若しくは第一ステージ１１及び第二ステージ１２の両方をＸＹ方向やＸＹθ方向へ調整移動させるアクチュエータなどで構成される。
制御部３となるコントローラは、その制御回路（図示しない）に予め設定されたプログラムに従って、予め設定されたタイミングで順次それぞれ作動制御している。

そして、制御部３の制御回路に設定されたプログラムを、ワークＷを受け取って着脱自在に保持し、ワークＷが保持された状態で平滑な保持面ｈへ移送するワーク搬送方法、及び、貼合デバイスＤを生産するためのワーク貼り合わせ方法として説明する。
本発明の実施形態に係るワーク搬送方法は、ワークＷの一組の対辺Ｗｃを受け取り位置Ｐ１で複数のハンド部材１の挟持部１ａにより挟み込む挟持工程と、複数のハンド部材１を受け取り位置Ｐ１から中間位置Ｐ２に向け移動させる第一移送工程と、複数のハンド部材１を中間位置Ｐ２から受け渡し位置Ｐ３に向け移動させる第二移送工程と、保持面ｈによるワークＷの保持完了後に受け渡し位置Ｐ３において複数のハンド部材１の挟持部１ａによるワークＷの一組の対辺Ｗｃの挟み込みを解除する挟持解除工程と、を主要な工程として含んでいる。

前記挟持工程では、図１（ａ）（ｂ）に示されるように、制御部３が受け取り位置Ｐ１において挟持部１ａの駆動源１ｂを作動させ、挟持部１ａ（可動部位１ｃ）が挟み込み方向へ移動する。
このため、複数のハンド部材１において複数の挟持部１ａ（可動部位１ｃ）が、ワークＷにおいて少なくとも保持面ｈの幅寸法よりも長い間隔が空くように配置される一組の対辺Ｗｃをそれぞれ挟み込んで脱落不能に保持する。
前記第一移送工程では、図２（ａ）（ｂ）及び図５（ａ）（ｂ）に示されるように、制御部３がハンド駆動機構２の駆動部２ａを作動させて、複数のハンド部材１が受け取り位置Ｐ１から中間位置Ｐ２に向けＹ方向又はＸ方向のいずれか一方若しくは両方などへ移動する。
このため、複数の挟持部１ａで両者間に亘って保持したワークＷは、受け取り位置Ｐ１から中間位置Ｐ２まで移送され、ワークＷの裏面Ｗｂが保持面ｈとＺ方向へ離れて対向する。

前記第二移送工程では、図３（ａ）（ｂ）及び図６（ａ）（ｂ）に示されるように、制御部３がハンド駆動機構２の駆動部２ａを作動させて、複数のハンド部材１と共に複数の挟持部１ａが中間位置Ｐ２から受け渡し位置Ｐ３に向けＺ方向へ方向転換し、保持面ｈの延長線を越えて保持面ｈよりも奥側の受け渡し位置Ｐ３まで移動する。
このため、複数の挟持部１ａに亘って保持したワークＷは、中間位置Ｐ２から少なくとも一組の対辺Ｗｃが保持面ｈの延長線を越えて、保持面ｈよりも奥側の受け渡し位置Ｐ３まで移送される。
これにより、ワークＷにおいて少なくとも一組の対辺Ｗｃが保持面ｈよりも奥側に向けＺ方向へそれぞれ引っ張られるため、ワークＷの裏面Ｗｂの中央部位Ｗｅが保持面ｈに接近し、保持面ｈに沿ってワークＷが全体的に張った状態となる。
この状態で、保持面ｈのチャック機構１３が作動して、保持面ｈに対しワークＷの裏面Ｗｂの中央部位Ｗｅを移動不能に保持する。
特に、ワークＷのサイズが大型化した場合は、図３（ａ）（ｂ）及び図６（ａ）（ｂ）に示されるように、複数の挟持部１ａによりワークＷを少なくともその一組の対辺Ｗｃよりも中央部位Ｗｅが曲面状に吊り下がった状態で保持すると、ワークＷの重力で裏面Ｗｂの中央部位Ｗｅが保持面ｈに対してスムーズに接近しないことも考えられる。
そこで、このような場合には、複数の挟持部１ａをワークＷの幅方向（Ｘ方向）へ隔離移動させて、ワークＷをその一組の対辺Ｗｃと中央部位Ｗｅが略同一高さの張った状態にすることが好ましい。これにより、ワークＷの裏面Ｗｂの中央部位Ｗｅを保持面ｈに対して強制的に接近させることができる。
このため、チャック機構１３が真空吸着方式の吸着チャックなどであっても、ワークＷの裏面Ｗｂの中央部位Ｗｅを確実に吸着保持することが可能になる。

前記挟持解除工程では、図４（ａ）（ｂ）及び図７（ａ）（ｂ）に示されるように、保持面ｈに対するワークＷの保持完了後に、制御部３が受け渡し位置Ｐ３において挟持部１ａの駆動源１ｂを作動させ、挟持部１ａ（可動部位１ｃ）が挟み込み方向と逆の挟み込み解除方向へ移動する。
このため、挟持部１ａ（可動部位１ｃ）が、ワークＷの一組の対辺Ｗｃをそれぞれ開放して、ワークＷは張った状態で保持面ｈに受け渡される。
また、前記挟持解除工程の後工程としては、制御部３がハンド駆動機構２の駆動部２ａを作動させて、複数のハンド部材１が受け渡し位置Ｐ３から中間位置Ｐ２を経て受け取り位置Ｐ１に向けＹ方向又はＸ方向のいずれか一方若しくは両方などへ逆移動し、初期状態に戻る。

本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ方法は、前述したワーク搬送方法により搬送された第一ワークＷ１や第二ワークＷ２を第一ステージ１１や第二ステージ１２の保持面ｈに保持して受け渡すワーク保持工程と、第一ステージ１１と第二ステージ１２の相対的な接近移動により第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２を重ね合わせる貼り合わせ工程と、第一ステージ１１と第二ステージ１２の相対的な調整移動により第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２を位置合わせするアライメント工程と、を主要な工程として含んでいる。
さらに、貼り合わせが完了した貼合デバイスＤを第一ステージ１１や第二ステージ１２から前述したワーク搬送方法により取り外して移送する搬出工程を含むことが好ましい。
前記ワーク保持工程の具体例として図２（ａ）（ｂ）〜図７（ａ）（ｂ）に示される場合には、先ず第一ステージ１１の保持面ｈに向け前述のワーク搬送方法でフィルム状の第一ワークＷ１が移送された後に、制御部３が吸着チャックや静電チャック又は粘着チャックなどからなるチャック機構１３の駆動源を作動させて、第一ステージ１１の保持面ｈに対し第一ワークＷ１の裏面Ｗｂが移動不能に保持して受け渡される。次に第二ステージ１２の保持面ｈに向け前述のワーク搬送方法でフィルム状の第二ワークＷ２が移送された後に、チャック機構１３により第二ステージ１２の保持面ｈに対し第二ワークＷ２の裏面Ｗｂが移動不能に保持して受け渡される。
また、その他の例として図示しないが、第一ステージ１１又は第二ステージ１２のいずれか一方の保持面ｈに対して前述のワーク搬送方法で移送されたフィルム状の第一ワークＷ１や第二ワークＷ２を受け渡し、第一ステージ１１又は第二ステージ１２の他方の保持面ｈに対しては、搬送ロボットなどでガラス基板などの板状ワークを受け渡すことも可能である。

前記貼り合わせ工程では、図８（ａ）（ｂ）に示されるように、制御部３が接離用駆動部２１を作動させて、第一ステージ１１又は第二ステージ１２のいずれか一方か若しくは第一ステージ１１及び第二ステージ１２の両方がＺ方向へ相対的に接近移動する。
このため、第一ステージ１１に保持した第一ワークＷ１の表面Ｗａと、第二ステージ１２に保持した第二ワークＷ２の表面Ｗａとがシール材（図示しない）などを挟んでＺ方向へ重ね合わされる。
この際、第一ステージ１１及び第二ステージ１２が真空チャンバ３０の内部に配設される場合には、前記貼り合わせ工程の前工程として制御部３が開閉扉３２の駆動源３２ａを作動させて、貼り合わせ空間Ｓが密閉される。これに加えて、制御部３が真空チャンバ３０の減圧用駆動源３０ａを作動させて、貼り合わせ空間Ｓが大気雰囲気から減圧され、所定真空度の減圧雰囲気に達した時点で第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２の重ね合わせを行う。
また、この重ね合わせと略同時、すなわち第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２の表面Ｗａ同士の貼り合わせが完了する直前に前記アライメント工程が行われる。
前記アライメント工程では、制御部３が接離用駆動部２１を作動させて、第一ステージ１１又は第二ステージ１２のいずれか一方を他方に対しＸＹ方向やＸＹθ方向へ相対的に調整移動する。
このため、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２の相対的な位置合わせが高精度に行われる。この位置合わせ完了後に、接離用駆動部２１による第一ワークＷ１と第二ワークＷ２の重ね合わせが完了するように作動制御している。

前記搬出工程では、図９（ａ）（ｂ）〜図１１（ａ）（ｂ）に示されるように、貼合デバイスＤを前述のワーク搬送方法で移送するが、制御部３による接離用駆動部２１などの作動制御を前述した作動制御と逆にしている。
先ず、前記貼り合わせ工程の完了状態で、制御部３が上側の第一ステージ１１の保持面ｈに設けられるチャック機構１３を作動停止させる。
このため、上側の第一ステージ１１の保持面ｈから第一ワークＷ１が剥離可能になる。
その次に、図９（ａ）（ｂ）に示されるように、制御部３が接離用駆動部２１を逆向きに作動させて、第一ステージ１１又は第二ステージ１２のいずれか一方か若しくは第一ステージ１１及び第二ステージ１２の両方がＺ方向へ相対的に隔離移動する。
このため、貼合デバイスＤは、下側の第二ステージ１２に載置された状態で残される。
この際、第一ステージ１１及び第二ステージ１２が真空チャンバ３０の内部に配設される場合には、制御部３が開閉扉３２の駆動源３２ａを開動させて、貼り合わせ空間Ｓが出入口３１を通して大気開放される。

これに続いて、前述したワーク搬送方法と同様に、制御部３がハンド駆動機構２の駆動部２ａを作動させて、複数のハンド部材１を初期状態から第二ステージ１２上の貼合デバイスＤに向けＹ方向又はＸ方向のいずれか一方若しくは両方などへ移動する。
この際、貼合デバイスＤにおいて第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２が重なり合った一組の対辺Ｗｃは、図９（ａ）に示されるように、第二ステージ１２からＹ方向へそれぞれ突出して自重により垂れ下がる。このため、複数のハンド部材１において挟持部１ａの可動部位１ｃを開動させ、その先端が第二ステージ１２の保持面ｈの延長線を越えて、対辺Ｗｃの先端よりも奥側（下方）に位置させている。
その後、図１０（ａ）（ｂ）に示されるように、制御部３が挟持部１ａの駆動源１ｂを作動させ、挟持部１ａの可動部位１ｃが挟み込み方向へ移動する。
これにより、第二ステージ１２の保持面ｈから垂れ下がった貼合デバイスＤの貼合デバイスＤの一組の対辺Ｗｃを挟持部１ａの可動部位１ｃがそれぞれ挟み込んで脱落不能に保持する。
これに続いて、図１１（ａ）（ｂ）に示されるように、制御部３がハンド駆動機構２の駆動部２ａを作動させて、複数のハンド部材１がＺ方向へ保持面ｈから離れるように移動する。
これにより、複数のハンド部材１は、第二ステージ１２から貼合デバイスＤを受け取り、貼合デバイスＤは複数の挟持部１ａに亘って保持される。このため、それ以降はハンド駆動機構２の駆動部２ａで、複数のハンド部材１をＹ方向又はＸ方向のいずれか一方若しくは両方などへ移動しても、貼合デバイスＤが第二ステージ１２の保持面ｈと接触せずに貼合デバイスＤの回収位置に向けて搬出可能となる。

ところで、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置Ａは、フィルム状のワークＷをワーク貼り合わせ装置Ｂに向けて供給することのみに限定されず、それ以外に用いることが可能である。
その一例として、フィルム状のワークＷをワークストッカーなどの貯蔵庫Ｃに適用した場合について説明する。
貯蔵庫Ｃの具体例として図１２（ａ）〜（ｃ）に示される場合には、前述したワーク搬送方法と同様に、フィルム状のワークＷを貯蔵庫Ｃの棚板Ｃ１に向け移送して受け渡している。
図１２（ａ）では、前述したワーク搬送方法の第一移送工程と同様に、複数のハンド部材１を受け取り位置（図示しない）から中間位置Ｐ２に向けへ移動させている。
これにより、複数の挟持部１ａに亘って保持したワークＷの裏面Ｗｂが搬送先の棚板Ｃ１とＺ方向へ離れて対向する。
図１２（ｂ）では、前述したワーク搬送方法の第二移送工程と同様に、複数のハンド部材１を中間位置Ｐ２から受け渡し位置Ｐ３に向けＺ方向へ移動させている。
このため、複数の挟持部１ａに亘って保持したワークＷは、中間位置Ｐ２から受け渡し位置Ｐ３まで移送したワークＷの一組の対辺Ｗｃが棚板Ｃ１の表面の延長線を越えて、棚板Ｃ１よりも奥側まで移送される。これにより、棚板Ｃ１の表面に対しワークＷの裏面Ｗｂが接触した状態でワークＷの一組の対辺Ｗｃが更に引っ張られる。
図１２（ｃ）では、前述したワーク搬送方法の挟持解除工程と同様に、挟持部１ａ（可動部位１ｃ）を挟み込み方向と逆の挟み込み解除方向へ移動させている。
このため、挟持部１ａ（可動部位１ｃ）が、ワークＷの一組の対辺Ｗｃをそれぞれ開放して、ワークＷは張った状態で棚板Ｃ１に受け渡される。
また、その他の例として図示しないが、上述した図１２（ａ）〜（ｃ）の順序を逆に動作させることにより、貯蔵庫Ｃの棚板Ｃ１上に載置されたワークＷを複数の挟持部１ａで受け取って、ワーク貼り合わせ装置Ｂの第一ステージ１１や第二ステージ１２に向けて移動（搬入）することが可能になる。

このような本発明の実施形態に係るワーク搬送装置Ａ及びワーク搬送方法によると、受け取り位置Ｐ１において複数の挟持部１ａの駆動源１ｂの作動により、複数のハンド部材１の複数の挟持部１ａがそれぞれ挟み込み方向へ移動して、ワークＷの一組の対辺Ｗｃを脱落不能に保持する。
その後、ハンド駆動機構２の作動により複数のハンド部材１が受け取り位置Ｐ１から中間位置Ｐ２まで移動して、複数の挟持部１ａで保持したワークＷの裏面Ｗｂが保持面ｈと交差する方向（Ｚ方向）へ対向するように移送される。
これに続いて、ハンド駆動機構２の作動により複数のハンド部材１が中間位置Ｐ２から受け渡し位置Ｐ３まで移動して、複数の挟持部１ａで保持したワークＷの一組の対辺Ｗｃが保持面ｈの延長線を越えるように移送される。
これにより、ワークＷの裏面Ｗｂが保持面ｈに接近し、保持面ｈに沿ってワークＷが全体的に張った状態となる。
これに続いて保持面ｈでワークＷが保持された後に、受け渡し位置Ｐ３において複数の挟持部１ａの駆動源１ｂの作動により、複数のハンド部材１の複数の挟持部１ａがそれぞれ挟み込み解除方向へ移動して、ワークＷの一組の対辺Ｗｃを開放する。
これにより、保持面ｈに対してワークＷが張った状態のまま受け渡される。
したがって、保持面ｈに対してフィルム状のワークＷをサイズに関係なく機能部が張った状態のまま均一に受け渡すことができる。
その結果、気体の流入により凸状に膨らんだシートフィルムをその中心部から外周に向かって上ステージに吸着させる従来のものに比べ、フィルム状のワークＷが大型化しても、保持面ｈに対する受け渡し時においてフィルム状のワークＷにシワが発生せず、表面ＷｆのＴＦＴパターンやＣＦパターンなどの機能部にダメージを与えることがなく、高品質な受け渡しが実現できる。
さらに、完全な密閉構造にする必要がないため、フィルム状のワークＷが大型化しても、これに伴い複数の挟持部１ａを含む複数のハンド部材１の含む重量が著しく重くならず、ハンド駆動機構２も大型化する必要がない。これによって、大型化のフレキシブルディスプレイなどのサブミクロン精度の高精度な貼合デバイスＤを簡単に製造できる。

特に、複数の挟持部１ａをワークＷの一組の対辺Ｗｃよりも中央部位Ｗｅが吊り下げられる間隔で固定配置することが好ましい。
この場合には、複数の挟持部１ａが所定の間隔で移動不能に固定されるため、ワークＷの移送中にワークＷが変形せず、ワークＷの振動や位置ズレが発生しない。
したがって、簡素な構造で保持面ｈに対しフィルム状のワークＷを安定して受け渡すことができる。
その結果、フィルム状のワークＷの高品質な受け渡しが実現でき、サブミクロン精度の高精度な貼合デバイスＤをより簡単に製造できる。

また、このような本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ装置Ｂ及びワーク貼り合わせ方法によると、第一ステージ１１や第二ステージ１２の保持面ｈに対して、ワーク搬送装置Ａにより移送したフィルム状の第一ワークＷ１や第二ワークＷ２が受け渡される。
したがって、第一ステージ１１や第二ステージ１２に対して第一ワークＷ１，第二ワークＷ２をサイズに関係なく張った状態のまま均一で且つ正確に受け渡すことができる。
その結果、シートフィルムの膨出形状が不安定であるため上ステージの表面に対するシートフィルムの受け渡し時においてシートフィルムが位置ズレし易い従来のものに比べ、第一ステージ１１や第二ステージ１２に対して第一ワークＷ１，第二ワークＷ２を正確に受け渡すことができる。特にサブミクロン精度を要求される貼り合せに対しても、面内を均一な状態で貼り合せることができる。このため、サブミクロン精度の高精度な貼合デバイスＤを製造できる。

なお、前示の実施形態において図示例では、第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２の両方がフィルム状のワークＷであり、貼合デバイスＤとしてフレキシブルディスプレイを生産する場合を説明したが、これに限定されず、第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２のいずれか一方のみがフィルム状のワークＷであってもよい。
この場合には、第一ワークＷ１又は第二ワークＷ２の他方がガラス基板などの板状ワークとなり、フィルム状のワークＷと板状ワークが貼り合わされることで、フラットパネルディスプレイの生産が可能となる。
また、複数の挟持部１ａによりワークＷを少なくともその一組の対辺Ｗｃよりも中央部位Ｗｅが曲面状に吊り下がった状態で保持し、この吊り下げ状態のまま保持面ｈに向けてＺ方向へ移動させたが、これに限定されず、複数の挟持部１ａによりワークＷを少なくともその一組の対辺Ｗｃと中央部位Ｗｅが略同一高さの張った状態で保持し、この張った状態のまま保持面ｈに向けてＺ方向へ移動させてもよい。
この場合には、保持面ｈに対するワークＷの移送に連動して、ワークＷの裏面Ｗｂの中央部位Ｗｅが保持面ｈに接触した後、前記第二移送工程で少なくとも一組の対辺Ｗｃが保持面ｈの延長線を越えて保持面ｈよりも奥側の受け渡し位置Ｐ３へ移動すると、これに連動して少なくとも一組の対辺Ｗｃ及び複数の挟持部１ａの間隔が保持面ｈの幅方向（Ｘ方向）へ互いに接近移動する。このため、保持面ｈにワークＷの裏面Ｗｂの中央部位Ｗｅが圧接してワークＷが全体的に張った状態となり、前述した曲面状の吊り下げ状態と同様に保持面ｈに対してワークＷが張った状態のまま受け渡すことができる。

Ａワーク搬送装置１ハンド部材
１ａ挟持部１ｂ駆動源
２ハンド駆動機構３制御部
Ｂワーク貼り合わせ装置１１第一ステージ
１２第二ステージｈ保持面
Ｐ１受け取り位置Ｐ２中間位置
Ｐ３受け渡し位置Ｗワーク
Ｗａ表面Ｗｂ裏面
Ｗｃ一組の対辺Ｗｅ中央部
Ｗ１第一ワークＷ２第二ワーク

このような課題を解決するために本発明に係るワーク搬送装置は、表面に機能部が形成された略矩形フィルム状のワークを受け取って保持し、下向きの保持面へ移送して受け渡す枚葉式のワーク搬送装置であって、前記ワークにおいて少なくとも一組の対辺を着脱自在に挟み込む複数の挟持部を有する複数のハンド部材と、前記複数のハンド部材を前記ワークの受け取り位置から中間位置を経て前記保持面に対する受け渡し位置に向け移動させるハンド駆動機構と、前記ワークのサイズよりも小さな略矩形に形成され、前記ワークの前記表面が下向きとなるように裏面の中央部位を着脱自在に保持するチャック機構を有する前記保持面と、前記複数の挟持部の駆動源，前記ハンド駆動機構及び前記チャック機構を夫々作動制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記受け取り位置で前記複数の挟持部を前記対辺の挟み込み方向へ移動させ、前記複数の挟持部が挟み込み方向へ移動した状態で前記複数のハンド部材を、前記受け取り位置から前記ワークの前記裏面が前記保持面と交差する方向へ離隔して配置される前記中間位置に向け移動し、前記中間位置から前記ワークの少なくとも前記一組の対辺が前記保持面の延長線を越える前記受け渡し位置に向け移動して前記ワークを引っ張り、前記保持面に沿って前記ワークが全体的に張った状態で前記チャック機構により前記裏面の前記中央部位を保持し、前記受け渡し位置にて前記複数の挟持部を挟み込み解除方向へ移動させるように制御することを特徴とする。
また、このような課題を解決するために本発明に係るワーク搬送方法は、表面に機能部が形成された略矩形フィルム状のワークを受け取って保持したまま、前記ワークのサイズよりも小さな略矩形で且つ下向きに形成された保持面へ移送して受け渡すワーク搬送方法であって、前記ワークにおいて少なくとも一組の対辺を、受け取り位置で複数のハンド部材の挟持部によりそれぞれ挟み込む挟持工程と、前記複数の挟持部により前記ワークの少なくとも前記一組の対辺を挟み込んだ状態で前記複数のハンド部材を前記受け取り位置から、前記ワークの裏面が前記保持面と交差する方向へ離隔して配置される中間位置に向け移動させる第一移送工程と、前記挟持部により前記ワークの少なくとも前記一組の対辺を挟み込んだ状態で前記複数のハンド部材を前記中間位置から、前記保持面と交差する方向へ前記保持面の延長線を越えた受け渡し位置に向け移動して前記ワークが引っ張られ、前記保持面に対し前記ワークの前記裏面を圧接させる第二移送工程と、前記保持面による前記ワークの保持完了後に前記受け渡し位置において前記複数のハンド部材の前記挟持部による前記ワークの少なくとも前記一組の対辺の挟み込みを解除する挟持解除工程と、を含み、前記第二移送工程では、前記ワークの引っ張りに伴い前記保持面に沿って前記ワークが全体的に張った状態で、前記保持面のチャック機構により前記ワークの前記表面が下向きとなるように前記裏面の中央部位を着脱自在に保持することを特徴とする。

Claims

表面に機能部が形成された略矩形フィルム状のワークを受け取って保持し保持面へ移送するワーク搬送装置であって、
前記ワークにおいて少なくとも一組の対辺を着脱自在に挟み込む複数の挟持部を有する複数のハンド部材と、
前記複数のハンド部材を前記ワークの受け取り位置から中間位置を経て前記保持面に対する受け渡し位置に向け移動させるハンド駆動機構と、
前記複数の挟持部の駆動源及び前記ハンド駆動機構を夫々作動制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記受け取り位置で前記複数の挟持部を前記対辺の挟み込み方向へ移動させ、前記複数の挟持部が挟み込み方向へ移動した状態で前記複数のハンド部材を、前記受け取り位置から前記ワークの裏面が前記保持面と交差する方向へ離隔して配置される前記中間位置に向け移動し、前記中間位置から前記ワークの少なくとも前記一組の対辺が前記保持面の延長線を越える前記受け渡し位置に向け移動し、前記受け渡し位置にて前記複数の挟持部を挟み込み解除方向へ移動させるように制御することを特徴とするワーク搬送装置。
前記複数の挟持部は、前記ワークの少なくとも前記一組の対辺よりも中央部位が吊り下げられる間隔で固定配置されることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
第一ワークを保持する第一ステージと、第二ワークを保持する第二ステージの相対的な接近移動により、前記第一ワークと第二ワークを位置合わせして貼り合わせるワーク貼り合わせ装置であって、
前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方は、略矩形のフィルム状に形成され、
前記第一ステージ又は第二ステージのいずれか一方若しくは両方は、請求項１又は２記載のワーク搬送装置により移送した前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方が保持される前記保持面を有することを特徴とするワーク貼り合わせ装置。
表面に機能部が形成された略矩形フィルム状のワークを受け取って保持したまま保持面まで移送して受け渡すワーク搬送方法であって、
前記ワークにおいて少なくとも一組の対辺を、受け取り位置で複数のハンド部材の挟持部により挟み込む挟持工程と、
前記挟持部により前記ワークの少なくとも前記一組の対辺を挟み込んだ状態で前記複数のハンド部材を前記受け取り位置から、前記ワークの裏面が前記保持面と交差する方向へ離隔して配置される中間位置に向け移動させる第一移送工程と、
前記挟持部により前記ワークの少なくとも前記一組の対辺を挟み込んだ状態で前記複数のハンド部材を前記中間位置から、前記保持面と交差する方向へ前記保持面の延長線を越えた受け渡し位置に向け移動して、前記保持面に対し前記ワークの前記裏面を圧接させる第二移送工程と、
前記保持面による前記ワークの保持完了後に前記受け渡し位置において前記複数のハンド部材の前記挟持部による前記ワークの少なくとも前記一組の対辺の挟み込みを解除する挟持解除工程と、を含むことを特徴とするワーク搬送方法。
第一ワークを保持する第一ステージと、第二ワークを保持する第二ステージの相対的な接近移動により、前記第一ワークと第二ワークを位置合わせして貼り合わせるワーク貼り合わせ方法であって、
略矩形のフィルム状に形成される前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方を、請求項４記載のワーク搬送方法により移送して、前記第一ステージ又は第二ステージのいずれか一方若しくは両方に設けられる前記保持面に受け渡すことを特徴とするワーク貼り合わせ方法。