WO1984003984A1 - Magnetic head and method of manufacture thereof - Google Patents

Description

明 細 書

発明の名称 磁気ヘッ ドおよびその製造方法

技 術 分 野

本発明は磁気記録媒体にガー ドバン ドを形成できる磁気へッ ド ならびにその製造方法に係 り、 特に磁気ディスク用の記録再生装 置に用いるのに好適な前記磁気ヘッ ドに闋する。

背 景 技 術

円板状の記録媒体の周方向に沿って記録 トラック を形成する磁 気ディスク装置の場合、 トラック間隔を狭めて記録密度を高める と、 再生時に隣接 トラックのク ロス トークが問題となる。

このよ う な目的のために、 従来の記録再生用磁気ヘッ ドは、 例 えば第 1 図， 第 2 図に示す構造のものが用い られていた。 この磁 気ヘッ ドは 3 つのヘッ ドコ 7 1 0 , 1 1 ， 1 2 からなっている。

第 1 のヘッ ドコァ 1 0 は作動ギャップ 1 4 およびコ イル巻線用窓 1 5 を有し、 フェライ トで構成された磁気コア部 1 3 とセラ ミ ツ ク等の非磁性材料から成る L字状の部材 1 6 と からなる。 同様に して、 第 2 , 第 3 のヘッ ドコ 7 1 1 , 1 2 はフェライ 卜で構成さ れた磁気コア部 1.7 , 1 8 と L字状の非磁性材料 2 3 ， 2 4 と か らな り、 それぞれ作動ギャップ 1 9 ， 2 0 およびコイル巻線用窓 2 1 , 2 2 が形成されている。 これらのヘッ ドコ ァ 1 0 ， 1 1 , 1 2 は、 同一のブロック から所定幅で切り 出されたものが用い ら れており、 第 2 図のごと く接合され一体化されている。 中央のへ ッ ドコァ 1 0 が記録再生用で、 その両側のヘッ ドコア 1 1 および 1 2 が消去用となっている。

このよ う に構成する こ とによ り、 第 2 図に示す磁気ヘッ ドの記

OMPI

— 。一 録媒体対向面の記録再生用ギャップ 1 4 によ り形成される記録 ト ラックのちょう ど側部を一対の消去用ギャップ 1 3 , 2 0 が走査 することになる。 従って、 この記録トラックの両側がほぼ完全に 無信号状態のガー ドバン ドになるので、 トラック間隔を狭めても， 再生時に、 驊接する トラックからクロス トーク を生じるようなこ とがほとんどな く なる。

と ころが上述したよう な構造の磁気ヘッ ドでは、 ブロックから 切断した後、 各ヘッ ドコ 1 0 , 1 1 ， 1 2 を重ねて接合させね ばならない。 この漦， 特に各ギャップ 1 4 ， 1 9 ， 2 0 の位置合 せが非常にむずかしい作業となる。 また、 ト ラック幅が 3 0 m 以下になるとヘッ ドコアの機械的強度が弱く な リ、 加工が困難と なる。

さ らに、 最近では記録波長も短かくするために、 高保磁力の記 録媒体が使用されるよう にな リ、 これに十分記録可能な磁気へッ ドと しては、 現扰のフェライ トでは不十分となってきた。 高飽和 磁束密度で高透磁率の磁性材料となる と、 金属磁性材料に限られ てく る。 しかし、 周知のよ う にバルクの金属磁性材料は漓電流損 失によ り高周波領域の良好な特性が得られないという欠点がある これを解決するために、 薄膜形成技術によ り形成した金属磁性体 膜あるいはこれを多層構造と した金属磁性体膜を用いた磁気へッ ドが提案されているが、 第 1 図， 第 2 図の構造でこれを実現する ことは至難のおざである。

また、 記録再生甩ギャップを有するヘッ ド素子部と一対の消去 用キャップを有するヘッ ド素子部と を、 各ギヤップが互に平行に な り且つ各素子部がギャップ方向とは直角な方向に配列されるよ う に、 合体してなる磁気ヘッ ドが、 日本国公開特許公報、 特開昭 57 - 44219 号に示されている。 しかし、 この磁気ヘッ ドも薄膜の 金属磁性体を用いたものではなく 、 磁性体を薄膜化する こ と によ る利益を期待するこ とはできない。

発 明 の 開 示

本発明は前述の種々の問題点を解決し、 記録再生用ギャップと 一対の消去招ギャップと を具備し、 その製造が非常に簡単でかつ 精度の良い磁気へシ ドな らびにその製造方法を提供するものであ る。 しかも、 高保磁力の記録媒体にも十分記録可能で、 2 0 m 以下の トラック幅を簡単に製造できる構造の磁気ヘッ ドな らびに その製造方法を提供するものである。

上記目的を達成するため、 本発明の磁気ヘッ ドは、 非磁性部材 上に形成された磁性体によ り磁気回路が構成される第 1 のコアを 有する記録再生用ヘッ ド， および他の非磁性部材上に形成された 磁性体によ リそれぞれ磁気回路が構成される第 2 ならびに第 3 の コアを有し該記録再生用へッ ドによ リ磁気.記録媒体に形成された 磁気記録部分の トラック幅の雨側緣部を該第 2 な らびに第 3 のコ ァを用いて消去して所望の記録 ト ラック幅を残すよ う に配置され た一体構造の消去用ヘッ ドを具備し、 且つ該記録苒生用ヘッ ドと 該消去用ヘッ ドが磁気記録媒体走行方向に連結 · 結合され一体化 されてなるものである。

さ らに、 これを具体化して述べる と、 まず、 前記記録再生用へ' ッ ドと しては、 先端に平坦部を有するほぽ V字状の断面形状を有 し、 磁気回路を構成する一対の金属磁性体膜が非磁性ギャップ材 を介してその突起部において互いに突き合わせて前記第 1 のコ ァ

π、 を形成してな リ、 該 V字拔の形状の断面部分が磁気記録媒体対向 面に露出し、 該一対の金属磁性体膜の該突起部の先端は互に平行 で且つ磁気記録媒体走行方向にほぼ直角な平面でぁ リ、 該平面と 該磁気記録媒体対向面との交線で示される該平面の檑は ト ラック 幅に対応し、 且つ該金属磁性俸膜は該 V字祆に対応する形状の突 起部を有する非磁性部材上に彤成されてなるものを挙げる ことが できる。 また、 前記消去用ヘッ ドと しては、 突起部の先端が平面 をなす山形祅の靳面 ¾状を有する 2個の非磁性部材の該山形部雨 側面にそれぞれ形成された各一対の磁気回路構成 ffl金属磁性体獏 が非磁性ギャップ材を介して該非磁性部材先端の平面部に驊接す る部分にてそれぞれ突き合わせて前記第 2 ， 第 3 のコアを形成し てな リ、 該山形部雨側面の金属磁性体膜靳面が磁気記録媒体対向 面に露出し、 該各一対の金属磁性体膜の突き合わせ部は互に平行 で且つ磁気記録媒体走行方向にほぼ直角な平面であ り、 且つ該苐 2 ， 第 3 のコア間に挟在する該非磁性部材先端を構成する平面と 該磁気記録媒体対向面どの交線で示される該平面の福が前記 ト ラ ック辐以下であるよう に搆成してなるものを挙げる こ と ができる このような記録再生用ヘッ ドと消去^ヘッ ドを、 磁気記録媒俸走 行方向に直列に違結 · 結合して、 一体化し、 卷線を設ける こ と に よ り、 本発明の典型的な磁気ヘッ ドを得る こ と ができる。

上述した本発明の磁気ヘッ ドは、 i ) 2假の非磁性体ブロック のギャップ形成側の面にそれぞれ少な く とも 1 假のコ イル卷線用 溝を形成する工程、 Π ) 前記非磁性体ブロックのギャップ形成側 の面に前記コィル巻線用溝に直角に複数の突起部を残すよう に平 行に溝を形成する工程、 ffi ) 工程 ii )を終了した前記非磁性体ブ ロックのギャップ形成側の面の少な く とも前記溝面上に金属磁性 体を被着せしめる工程、 W ) 前記金属磁性体が表面に被着されて いる前記溝に非磁性材を充墚する工程、 V ) 前記一方の非磁性体 ブロックの前記非磁性充塡材ならびに磁性体の不要部を除去し、 所要の トラック幅を有するギャップ形成面を露呈せしめる工程、

V i ) 工程、 iV ) を終了した前記も う一方の非磁性体ブロックの 非磁性充塡材な らびに磁性体の不要部を除去し、 所要の非磁性体 部とその両側部に一対の金属磁性钵を有するギャップ形成面を露 呈せしめる工程、 V ii ) 工程 V ) および工程 V i )を終了 したプロ ック をそれぞれ中央部で切新して、 それぞれ一対のコアブロ ック とする工程、 V iii ) 工程 V ii ) を終了 した前記各一対のブロックの 少なく とも一方のギャップ形成側の面にそれぞれ所要の厚さの非 磁性層を形成する工程、 iX ) 工程 V iii )を終了した前記各ー对の ブロックのギャップ形成面をそれぞれ栢対峙せしめ、 互いに接合 する工程、 X ) 接合された 2組のブロック を所定の位置に接合一 体化する工程、 および Xi ) 前記接合されたブロ ック を所定の位置 にて切断し、 少な く とも 1 個の磁気へ 'ン ドコアを得る工程を有す る製造方法によ り容易に製造する こ とができる。

本発明においては、 前述のよ う に、 前記第 1 のコア部は対向す る 2個の非磁性保護部材の突起部に形成された略 V字状の金属磁 性体を非磁性ギャップ材を介して突き合せ接合されてなる。 ト ラ ジク幅は前記突き合せ面を研摩する こ と によって V字状の金属磁 性体膜の先端部を所要の幅に規定できる。 この場合、 非磁性保護 材の突起部が現われない範囲で任意に選ぶこ とができる。 このよ う に して、 第 1 のヘッ ドコアは記録再生用の磁気ヘッ ドとなる。 tr

O FI

、/ 二 。 次に、 第 2 ならびに第 3 のヘッ ドコアは第 1 のヘッ ドコアと同 様の方法で製造され、 ギャップ突き合せ面を形成する研摩の工程 において、 非磁性保護部材の突起部が現われるまで研摩すること によって第 2 のコアと第 3 のコアに分難される。 この時の非磁性 保護部材の突起部が露出する輻を前記第 1 のヘッ ドコアの トラッ ク輻に等しいか、 それよ り狭くする こ と によって所要の記録 トラ ジク IIを規定する こ と ができる。 すなわち、 非璲性保護部材の露 出部の面側部に第 2 のコアと第 3 のコアからなる消去后磁気へジ ドが形成され、 第 1 のヘッ ドコアで記録される記録 トラックのち よう ど雨側部を一対の消去 fflヘッ ドが走査する こ と になる。 従つ て、 この記録 ト ラックの両側がほぼ完全な無信号状態のガ一ドバ ン ドになる。 また、 金属磁性体膜の被着厚さ がほぼガードバン ド の檑になるので、 金属磁性体膜の厚さ を変える こと によ り、 ガー ド'バン ドの幅を自由に選択できる。 したがって、 第 1 図， 第 2 図 に示す従来のものよ リ铗ぃ幅のガー ドバン ドとする こともできる， 上記のような構造の第 1 の記録再生 fflヘッ ドコアと第 2 ， 第 3 の消去用磁気ヘッ ドは直列に接合一体化されて一髓の磁気ヘッ ド を構成する。

このよ う に、 本発明によれば、 金属磁性体谟の膜厚によって任 意に ト ラック幅が規定でき、 従来のバルク材によって構成された 磁気ヘッ ドに比べ、 狭ト ラック辐ものが容易に得られ、 高密度記 録用の磁気ヘッ ドに好適である。 また、 ガー ドバン ド幅も狭くす るのに好都合である。

木発明において いる金属磁性体は、 第 1 のコアと、 第 2 ， 第

3 のコアと同一の材料を用いてもよ く 、 異なった材料を用いる こ

¾bA 、

— ?。 とも容易にできる。

本発明 磁気へッ ド搆造において、 ギャップ近傍の金属磁性体 膜を保護するために金属磁性体膜を被着後、 非磁性保護材を形成 する とよい。 保護材はガラスを充塡してもよ く 、 A fl ₂ 0 3 ,

S i O 2 等の耐摩耗性材料を形成してもよ く 、 前記耐摩耗性保護 材とガラスの 2層以上の構造にする こと ができる。 この場合ガラ スは 2個のコア半体を接合するための接合材とする こ と ができる

本発明の磁気へ 'ン ドコア部を構成する金属磁性体膜は従来の フ エライ トよ り も飽和磁束密度 B _s が高く 、 且つ磁歪が 0付近の高 透磁率材料であれば何でもよいが、 代表的なものと しては、 F e

一 Α ΰ — S i 合金 （いわゆるセンダス ト系合金） 、 N i — F e 合 金 （いわゆるパーマロイ系合金） . 等の多結晶金属磁性材料、 あ るいは非晶質磁性合金材料を挙げる こ と ができる。 これらの磁性 材料はスパッタ リ ングあるいは蒸着等の薄膜形成技術によって被

着される。 一方、 非磁性部材は前記磁性体膜を保護するために設 けられたもので、 金属磁性体膜の被着,弔基扳を兼ね、 耐摩耗性に 優れた、 非磁性フェライ ト、 セラ ミ ックあるいはガラス等が用い られる。

また、 上記金属磁性体膜は、 周知のよ う に、 磁性膜と非磁性謨

を交互に積層 した多層構造とする こ ともできる。

以上説明したごと く 、 本発明の磁気ヘッ ドは、 高飽和磁束密度

の磁性体で磁気コアを形成できるので高保磁力の記録媒体にも十 分に記録可能で記録の高密度化が可能であ り 、 任意の ト ラッ ク福

の狭 トラックヘッ ドが容易に得られ、 また消去ヘッ ドの磁性体膜

の膜厚制御によ り記録 トラック に対して任意に消去幅を変える こ

OMPI

W1PO 、 ： とができるので トラック幅方向の記録密度を高める'ことができ、 さ らに一対の消去へッ ドが一体になつて構成されているため精度 の高い実質記録トラック幅のものを容易に製造でき、 さ らにまた 記録再生用へッ ドと消去两へッ ドの一体化が簡単であるため量產 性が高い、 等の大きな利点を有するものである。

なお、 本発明の磁気ヘッ ドの記録再生用ヘッ ド部分の詳細は、 昭和 5 8年 2 月 4 日 に 日本において特願晤 58— 16067 号と して出 顯された 「磁気ヘッ ドおよびその製造方法」 の明識書に詳述され ている。 この特願昭 58— 16067 号の発明は本顕 明に ¾する先顯 発明であ り 、 公知技術ではない。 また、 前記特頹昭 58— 160 S 7 号 は滠先権主張を して、 米国， カナダ， および韓国に 顥され、 ま た僂先権主張を してョ一口 'ソパ特許出頹 （指定国は、 英'国， 西ド イ ツ， フ ラ ンス， およびオランダ） されている。

上記の他、 本発明の磁気へッ ドな らびにその製造方法において , 本明 書に記載してないことについては、 従来の技銜上の知見を 用いてよい。

図 面 の 簡 ^ な

第 1 図， 第 2 図はそれぞれ従来の磁 ヘッ ドの斜視 gおよび上 面図、 第 3 図， 第 4 図ばそれぞれ本 51明の一実旌^における磁気 ヘッ ドの斜視図および上面図、 第 5 a ( a ) 〜 （ i ) は本発明の 一実施例における磁気ヘッ ドの製造方法の各工程の説 ¾図、 第 S 図は第 5 図に示す磁気ヘッ ド製造方法によって得.られた磁気へッ ドの記録媒体対向面を示す平面図、 第 7 図は本発明の磁気へッ ド によって形成される記録 トラック を沄す溉略説明図、 第 8 図は本 発明の一実施例における磁気ヘッ ドの磁性体部を取リ 岀した磁気 コア部斜視図、 第 9 図 （ a ) 〜 （ c ) は本発明の の実施例にお ける磁気ヘッ ドの製造方法の各工程を示す断面図、 第 1 0 図は第 9 図に示す方法によって得られた磁気へッ ドの記録媒体対-向面を 示す平面図である。

発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明の磁気ヘッ ドの構造およびその製造方法について 実施例によって詳し く 説明する。

実施例 1

第 3 図， 第 4 図は本発明の一実施例における磁気ヘッ ドの構造 を示す斜視図と平面図である。

3 0 は記録再生^の第 1 のヘッ ドコア 3 1 と、 これと直列に接 合された消去用の第 2 , 第 3 のヘッ ドコア 3 2 を有する磁気へッ ドである。 3 3 ， 3 3 ' はそれぞれのヘッ ドコ アの非磁性保護部 材でセラ ミ ック ， 非磁性フェラ イ トあるいはガラス等のバルク材 からな リ 、 それぞれのコア半体の対向都が突起を形成している。

この突起部の雨側面に高飽和磁束密度の金属磁性体からなる F e 一 A J2 — S i ， N i — F e の結晶質合金も し く は非晶質合金 3 4 . 3 4 ' および 3 5， 3 5 ' が被着され、 それぞれ、 ほぼ磁歪零近 傍の組成を有するものである。 こ こで、 ー对の金属磁性体 3 4 と 3 4 ' および 3 5 と 3 5 ' の突き合せ部は ト ラック部および非磁 性材からなる作動ギャップを形成するために研摩され， 所要の ト ラック檑 β i (例えば第 1 のコ ア 3 3 では 3 0 m ) を得る。 ま た、 消去用ヘッ ドコ ア 3 2 においては磁性体膜を被着した後、 非 磁性保護部材 3 3 , 3 3 ' が露出するまで研摩し、 露岀幅 δ ₂ は 記録 ト ラック幅とな り、 & i ≥ J2 2 とする。 この研摩によって、

OMPL- 、 RNA 一対の消去甩ヘッ ドコアが分離され、 ちょ う ど β i 'の幅で記録ざ れた トラック辐の雨縁部を消去して所要の記録トラック幅が残さ れるよう に構成する。 消去用ヘッ ドコアにおける輻 β 3 ， β 4 は 磁性体膜の厚みに相当 し、 第 1 のヘッ ドコアと同時に作製したも のでは約 1 5 /i mとなる。 したがって、 トラック輻方向の記録密 度を高めるためには被着厚みを薄くすれば任意にガードバン ド を選ぶこと ができる。

なお、 ギャップ近傍は狭 ト ラック にするために絞った構造とな つているため、 保護材 3 S と して、 金属磁性体膜を被着した後、 スパッタ リ ング法によ り A β ₂ Ο 3 を約 1 0 πι镀着し、 さ らに . ガラス 3 7 を溶融充塡した。 ここで、 ガラスほ 2假のコ ア半俸を 周知の非磁性ギャップ材を介して接合する時の接合材となる。

3 8 は記録再生用の作動ギャップで、 3 9 , 3 9 ' は消去 ¾の作 動ギャップを示す。 4 0 , 4 1 はそれぞれのコイル卷線用窓であ る。 記録再生用の第 1 のヘッ ドコア 3 1 と消去 Sの第 2 ， 第 3 の ヘッ ドコア 3 2 を直列に 4 2で接合して磁気ディスク ^の磁気へ ッ ドを得る。

本発明によって得られた磁気ヘッ ドは、 従来のフェライ トバル クヘッ ドに比べ、 .

( 1 ) 任意の狡 卜ラックヘッ ドが容易に得られる。

( 2 ) 飽和磁京密度 （ 3 _s ) の大きい材料を用いる こと ができるた

め高保磁力 （H e ) 記録媒体に十分適 Sでき、 高密度 Γύが可能 である。

(3 ) 記録トラックに対して任意に消去輻をかえる こ と ができ、 磁

性体膜の.膜厚を制御する こ と によって トラック ffi方向の記録密

CMPI

ί 〜 WIPO ^ (ID 度を高める こ と ができる。

(4) 一対の消去ヘッ ドが一体になつているため実質記録 ト ラック 幅の精度が高く 、 かつ、 容易に形成できる。'

(5) 記録再生へシ ドコアと消去ヘッ ドコアの一体化が簡単である ため量産性が高い。

等の利点がある。

実施例 2

次に、 本発明の前記磁気ヘッ ドの製造方法の一例を以下に説明 する。

本発明の製造方法の各工程の説明図を第 5 図 （ a ) 〜 ( i ) に 示す。 以下、 第 5 回 （ a ) ， 第 5 図 ( ) 等に対応する工程をェ 裎 （ a ) ， 工程 （ b ) 等とする。

i ) 第 5 図 （ a ) は非磁性の Z ri フェライ トよ り なる ブロ ック

5 。 を 2 緬用意する。 一方は記録再生^の磁気ヘッ ドを得るた めのものであ り， も う一方は消去^磁気ヘッ ドを得るためのも のである。 それぞれ同様な製造プロセスで加工される。 こ こで は、 一方のみの工程を ^し、 途中工程において、 も う 一方の力 ェ工程を含めて説明する。 '

^磁' ブロ ック 5 0 で a = 1 5 mm、 b = G ϊτ,ία,. c = 1 . 2 tnsn と した。 a はコア厚み方向で複数涸のへ 'ン ドコアが切り 出され る。 b はコア高さで、 2 . 5 mmのコ ア高さ を示すものが 2 涸取 れるよう になっており 、 一対のコアブロッ ク と なる。 c は一対 のコアを形成する コ ア幅の約 1 ノ 2 の寸法となっている。 5 1 はギャップ突き合せ面で、 ギャップ深さ d を残して a c 面に平 行にコイル卷線 ^の窓となる溝 5 2 を形成する。 該コイル卷線

Ο ΡΙ S溝 5 2 の深さ hは 0 . 3 5 maと した。 "

) 工程 （ b ) は前記 （ a ) の工程で得られたコイル巻線 S溝に 直角に複数の突起部 5 3 を平行に同一間隔に形成するための溝 5 4 を高速ダイサ等によって加工される。 該溝 5 4 の深さ Hは 前記コイル卷線 瀵の深さ h よ り深く する こ こでは、 H = 0 . 6 mm と した。 突起部の角度 3 はできる限リ鋭角の方が好ま しいが、 璣拔カ ϋェによる場合、 あま り鋭角にする と突起部に欠 けを生じ、 鈍角にした場合、 コア厚みを薄く する 要がある時 に後の工程で形成される磁性体膜がコィル巻線溝よ リ浅く なつ てしまうため磁気回路が形成できな く な リ好ま し く ない。 した がって、 突起部の角度 S は 1 0 〜 1 5 が好ま しい。

) 工程 （ c ) は前記 ( b ) の工程で得られた 部を含めギヤツ プ突き合せ面全面に金属磁 'ί生 5 5 をスパジタ リ ングによつ て堆積させる工程である。 金属磁性^にほ結晶質合金も し く は 非晶質合金が Sい られ、 結晶質合金と しては ^えば — Α β 一 S i 合金 （センダス ト） 、 N i — F e (パーマロ イ） 等が； ¾ い られ、 非晶質合金と しては例えば C o — F e — S i — S系で 代表される周知のメ タル一メタ イ ド系合金や、 C o — Τ ί , C o - o - Z r , C o - b - Z r , C o — W— Z r 等の周 知のメ タルーメタル系合金等が ¾い られる。 堆稜法は他に真空 蒸着、 イオンプレーティ ング、 化学蒸着あるいはメジキ法等で も可能であるが、 限られた金属しかできないこ とや組成変動が 大きい等の難点があ り、 スパッタ リ ング法がもっとも適してい る。 また、 スパッタ リ ング法は付着強度が高く 、 溝部にも廼リ 込みがよいという利点があ リ この点からも本発明法に適してい

。 し る。 堆積する金属磁性体の膜厚は突起部の雨側面に堆積された ものが利用できるので所要の ト ラ ック檑ょ リ薄く て済むためス ノヽ。ッタ リ ング時間を短縮する こ と ができ る。 本実施树において は、 例えば 2 8 mの ト ラ ッ ク镭を得るのに、 磁性^膜の厚さ は 1 5 m と した。 磁性^膜は必要な らば、 非磁性物質を交互 に積層した多層膜と して も よい

次に、 前記金属磁性体謨の堆積後、 保護^と して、 A ΰ ₂ 0 ₃

S i 0 2 等の非磁性材 5 6 を堆 ¾する こ と が好ま し い。 該保護 膜は金属磁性体膜 5 5 の 護と ヘッ ドコ アに完成した時にギヤ ップ近傍部の絞 り込み部の耐摩耗性を確深するために有効であ る。

V ) 工程 （ d ) は工程 （ c ) で得られた金属磁性膜と 保護膜が形 成された上に少な く と も残 リ の溝部が埋ま る程度に非磁性材 5 7 を充塡する工程である。 非磁性材 5 7 はガラ ス、 セ ラ ミ ツ ク ス系の煞機接着材ある いは硬質の樹 が^い られ る。 安定性 面から ガラ スが適している。 ガラ ス材は金属磁性^ ^ 5 5 が結 晶質合金であれば作業温度が 8 0 0 て以下の広い ¾ sで還ぶこ と が可能であ る。 一方非晶質合金の場合は少な く と も結晶 ίヒ温 度以下のも のが選ばれ、 一般に ^ ^温度が 5 0 0 て以下の低融 ^ガラスにする必要があ る。

なお、 ェ程 ( d ) を省 ¾して工程 （ c ) において非璲性膜 5 S で溝を埋めても よ く 、 工程 （ c ) において非磁性膜 5 S の 代 リ にガラス 5 7 のみで溝を埋める こ と もでき る。

V ) 工程 （ e ) は工程 （ 'i ) で得 られたブロ ック を 2 m /5意 し、 一方のブロ ッ ク を加工する工程であ る = この一方のブロ ッ ク の 非磁性材 5 S， 5 7 および金属磁性傣膜 5 5 の不要部を除去し、 所要の トラック幅 i に対応する蝠を有する金属磁性体膜から なる作動ギヤップ形成面を露呈させる工程である。 このブロッ クからは記録再生^のヘッ ドコアが作られる。 除去法は研削お よび研摩によって行なおれ、 ギャップ突き合せ面を得 ため、 最終仕上げは鏡面研摩面とする。 A部の拡大図は工程 ( a ) に よって得られた一部 （A ) の竑大図を示し、 鏡面 摩は前記 ト ラック幅 β i が得られるまで行なう 。 次に、 ブロック 5 0 は中 央部点線 6 0で切新し， 一対のコアブロック 5 8 , 5 9 を得る， コアブロック 5 8， 5 9 はギャップ突き合せ面に周知のよう に 非磁性ギャップ膜を形成した後互いに トラック蝠がー致するよ う に突き合せて接合される。

)工程 （ f ) は工程 （ d ) で得られたも う一方のブロ ック を加 ェする工程である。 該ブロック 5 0 ' の非磁性材 5 6， 5 7 お よび金属磁性体膜 5 5 の不要部を除去し、 非磁性部材からなる 突起部 5 3 が露呈するに至ら しめる。 B 都の拡大因は工程（ ί' ) によって得られた一部 （ Β ) の拡大図を示す。 ここで、 突起 の 5 3 が露呈される長さ ₂ は記録 トラッ ク幅に ¾当 し、 前記 トラック i^ jS i に対して少なく と も fi t ¾ d 2 とする。 このよ う に加工したブロッ クは非磁性突起き; 5 3 の両 ' 面に金属磁性 体膜 5 5 が分離されて铵着された構造とな リ 、 同一非磁性基 ¾ 上に 2つのヘッ ドコアが形成される。 このブロ ック からは治' 诏のヘッ ドコアが作られる。 その 2つのヘッ ドコアの トラッ ク 輻はそれぞれ β ₃ ， β ₄ で形成された金属璲性体^の厚さに一 致する。 加工方法は工程 （ e ) と同様にして行なわれ、 後に

ΟΜΡて 4 二循 ^^ ブロ ッ ク 5 0 ' は中央部点線 6 3 で切断し、 一対のコ アブロ ッ ク 6 1 ， 6 2 を得る。 コ アブロ ッ ク 6 1 , 6 2 はギャップ突き 合せ面に非磁性ギャッ プ膜を ^成した後、 互いに ト ラッ ク幅が 一致する よ う に突き合せて接合さ れる。

V Π )工程 ( s ) はニ裎 ( e ) で得られた一方の コ アブロ ッ ク 5 8

5 3 を突き ^せて加 . ¾ M しながら接合一 ^化する工程であ る。 この場合、 接合は； f に充 されてい る非 ϋ性材 5 7 がガラ スな ら ばお互いのガラ スによって 5なおれ、 Δ ώ 2 0 a の よ う な高融点材を用いた場合には別途コ イル卷線窓の一部、 および 後部接合部に ¾ リ 欠き ^を設けて ¾詣によって行なわれる 。 次 に、 コ イル 镍窓のな い コ アブロ ッ ク 5 3 厠を点線 S 4 で切断 し， 次ェ 12で ^られる ブコ ッ ク と の接合面とする。

V iii )ェ S ( ) は工程 （ f ) で^ られたも う 一方の コ アブロ ッ ク

G ： , S 2 を突き合せて加圧、 加 しながら工程 （ e ) と 同様

'/ T 体 ίヒ-する。 次に、 コ イル巻線窓のない アブロ ッ ク S 2 (3を 6 5 で ¾断 し、 前工程て得られたブロ ッ ク と の 接合 ¾とする。

ix ) 工程 ( i ) は工程 ( g ) とェ S ( h ) で得られた接合ブ口 ッ ク S f3 と S 7 を接合部 S 8 で；ま合する 。 なお、 接合面 6 8 には ガラ ス をス ノ、。シタ リ ン グによって形成 し加熱圧着する こ と によ つて寸法精 / のよ い接合がで き る。 次に、 ト ラ ジ ク短に対応す る ^分を 中心に し て点線で示す所要の コ ア厚み T になる よ う に ¾断 し て、 記録苒生用の第 i のへ ジ ドコ ア と {M部に一対の第 2 第 3 の消去用ヘッ ド コ ア を有する一^化 した磁気ヘシ ド を複数 涸得る。 6 9 ， 6 9 ' 〖まそれぞれコ ィル巻線 窓であ る 。 第 S 図は工程 （ i ) で得られた磁気ヘッ ドの記録媒体対向面を 示す。 そして、 記録再生用ギャップ 7 0 と一対の消去 Sギャップ 7 1 , 7 2 とは互いに平行に配置され、 上記記録再生用ギャップ 7 0 で^成される 録 トラック 3 i の雨 縁部近傍を上記一対の 清去] ¾ギャップ 7 i , 7 2が β 2 の突貧記録 卜ラック檑を残して β a ， 3 ₄ の瘙で消去される。 すなわち、 ^清去 ギャップ 7 1 - 7 2 の閭隔 ₂ は記録再 ii^ギヤジブ 7 0 ® ^ ώ ι に等しいか或 いは若干 όさ く なされている。

このよ う に.露或する こ とによって、 第 7 函に示すように、 記録 苒生 Sギャジブ 7 0 によって ^成された記録 ト ラック 7 3 のちよ う ど ϊ¾ 部を一 ¾の消去ギャップ 7 i ， 7 2 が走査する。 って , この記録トラック 7 3 の面認が 信号栻態とな リ、 実質記録トラ ジク 7 4 が^成される ₃

第 8 gは本発明の磁気ヘッ ドコア磁性律部を取リ出した斜視 である。 7 5 は記録再生^で第 1 の i 気コアの磁¾ ^部を示す。 7 o , 7 7 ¾消去用で第 2 および第 3 の磁 二ァの磁性体^を示 す。 7 6 ， 7 7 はコ イル卷線窓の 分で^^しているが、 力 3工法 によって分愨する こ ともできる。 以上述べた 21 ^ヘッ ドにそれぞ れコイルを卷装する こ と によって本 ϋ%の へッ ドが得られる 次に本発明の铯の実¾钶を第 9 , 1 0 ¾に示す - 特に消去 ヘッドの構造およびその製造方法を^す。 〜 （ _C ) はその製造工程における ¾気コアブコ ック半 の 32録媒 ^对向面 からみ 新面図である。 主な製造工程は第 5 図の実^例に準じ、 特に具なる部分は第 9 ( a ) に沄される二程においての非磁性 ブ CI ック 5 J) ' に形成された突^部 5 3 の形状である。 すなわち 突起部 5 3 の先端を実質記録 ト ラック幅 J2 2 になるよ う に残して 溝を形成しておく 。 その後、 第 9 図 （ b ) に示される工程におい て、 所要の厚みの金属磁性体膜 5 5 を突起部の少な く と も商厠面 に形成し、 次に、 非磁性保護膜 5 S を形成して後、 ガラ ス 5 7 を 残 り の溝に充填する。

次に第 3 1¾ ( c ) に示さ れるェ程において、 不要な部分の非 性材 5 S , 5 7 および金属磁性体;谟 5 5 を除去する と、 前記突起 部 5 3 の先端部の ¾ β ₂ が露呈し、 その商側部に金属 性体膜 5 5 Ά 3 , ί 4 と し て露呈さ れる。 すなわち、 镉 J3 2 は精度 よ く ¾成する こ と がで き、 記録再生ヘッ ドコ アの記録幅 J2 i に対 して一 ¾ [の消去ヘッ ドの ト ラ ； ^ ク ¾ fi a , ΰ ₄ でその側緣部を消 去する こ と によって J2 2 の記録 ト ラ ッ ク； が得られる 。

第 i 0 因はこのよ う に し て完 された消去 Sヘッ ド コ アの ΐ記録 媒体対向面の平面 ¾を示す。 それぞれの 3己号説 は前 ¾へ： ドコ ァ と ί する も のであ る。

なお、 上記第 9 図 （ a ) , ( b ) に すェ sを いて製造さ れ たへッ ド コ アの構造を記録再生へッ ドに這^するため には iti記突 起部 5 3 の先端部を ギャッ プと平 ^さ； を持たな λ う な形状にす るのが好ま し い。

また、 磁気ヘシ を示す各 S面において、 コ ィルの面示を省 ¾ してあ る が、 ニ イルは装着する も の とする 。

^上の利 可能性

本発明の磁気ヘッ ドは、 磁気 ¾録媒体に、 所望とする信号を記 録する と と も にガー ドバンド を形成する方式の磁気記録再生装蘆 に利^する こ と がで き、 特に磁気ディ スク Sの磁気記録再生装置 甩と して適している。 また、 本発明の製造方法は、 ·上記本発明の 磁気へッ ドを容易に製造するのに利^でき、 量産性も高い。

Claims

求 の

. 非磁性部材上に形成された磁性体によ り磁気回路が搆成され る第 1 のコ ア を有する記録再生诏ヘッ ド、 および他の非磁性部 材上に形成された磁性体によ リ それぞれ磁気回路が構成される ロ一一 =

第 2 な らびに第 3 の コ ア を有 し該記録再生用ヘッ ドによ り 磁気 記録；！ ^に形成された 気記録部分の 卜 ラ ッ ク幅の両厠緣部を 該第 2 な らびに第 3 のコ ア を ^いて 去 して所望の記録 卜 ラ ン •ク镉を残すよ う に配匿された一律構造の消去用へッ ド を具備 し 且つ該記録？？生/ へッ ド と該消去用へッ ドが磁気記録媒体走行 方向に連結 · 結合され一体化さ れてなる こ と を特徵とする磁気 へ ソ ド c

. 前記記録再生 へ 'ン ドは、 ほぼ V字钛の靳面形'状を有し、 磁 回路を構成する一対の金 磁性^膜が非磁性ギャップ材を介 してその突起部において互いに突き合わせて前記第 1 の コ ア を 形成 してな り 、 該 V字状の形状の靳面部分が磁気記録媒体対向 面に露出 し、 該一対の金属磁性体 の ^突起部の先端は互に平 行で且つ磁気記録谋体 行方向にほぼ直角な平面であ り 、 該平 と該磁気記録媒^対向面と の交線で示される該平面の幅は 卜 ラッ ク ¾に対応し、 且つ該金属磁性^膜は該 V字状に対応する B状の突起部を有する非磁性部材上に形成されてなる こ と を特 徵と する請求の 囲第 1 頊記戧の磁気へ ッ 。

. 前記消去用へ 'ソ ドは、 突起部の先端が 面をなす山形钛の新 面形状を有する 2 個の非磁性部材の該山形部^側面にそれぞれ 形成された各一対の磁気回路構成^金属磁性体膜が非磁性ギヤ ップ材を介 して該非磁性部材先端の平面部に ^接する部分にて それぞれ突き合おせて前記第 2 ， 第 3 のコアを^成してな り、 該山形部雨側面の金属磁性体膜靳面が磁気記録媒体対向面に露 出し、 該各一封の金属磁 ¾体膜の突き合わせ部は互に平行で且 つ磁気記録媒^走行方向にほぼ直角な平面でぁ リ、 且つ該第 2， 第 3 のコ ア に挾在する該非邋性部材先 を構成する平面と該 磁気記録 $ 向面との交線で示される該平面の镭が前記 トラ シク ^ ^下である こ と を特 i とする 求の範 ¾第 1 項記戧の磁

- 気へジ ド

. 前記消去用へッ ドは、 突起部の先端が平面をなす ώ 拔の靳 面形钛を有する 2 の非磁性部材の該山形部面側面にそれぞれ

^成された各一^の磁気回路搆成； g金属磁性体 が非磁性ギヤ

Vブ材を -介して該非磁性部材先端の平面部に驊接する部分にて それぞれ突き合わせて前記第 2 , 第 3 のコアを形成してな り、 該山形部商側面の金属磁性^膜新面が磁気記録媒体対向面に露 出 し、 該各一封の金属磁性体膜の突き合わせ部は互に平行で且 つ 気記録媒体走行方 ί にほぼ直角な平面であ り、 且つ該第 2 第： 5 のコア間に挾在する該非磁性部材先端を ϋ成する平面と該 磁気記錄缳体对向面との交線で示される該平面の : が前記 卜ラ ック镭以下である こ と を特徵とする請求の ^固第 2項記載の璲 気ヘッ ド。

. 前記記録苒生 ¾ヘシ ドにおける前記金属磁性^謨の上面に非 磁¾保護材を形成してなる こ と を特徵とする請求の範 a第 2項 記載の磁気へッ ド

6 . 前記消去用へジ ドにおける前記金属磁性 ^膜の上面に非磁性 保護材を形成してなる こ と を特徵とする請求の範囲第 3項記哉

' AT の磁気八ッ ド。

. 前記記録再生周ヘッ ドおよび前記消去用ヘッ ドの少な く とも 一方における前記金属磁性体膜の上面に非磁性保護材を形成し てなる こ と を特澂とする請求の範囲第 4項記載の磁気ヘッ ド。 . m記記録苒生^ヘシ ドおよび も し く は前記消去周へッ ドに おける前記金 S磁性体膜が高透磁率多結晶合金も し く は高透磁 率非 賈合金からなる こ と を特墩とする請求の範囲第 2項乃至 第 7 項のいずれかの項に記載の磁気へッ ド。

. i ) 2涸の非磁性体ブロ ックのギャップ形成側の面にそれぞ れ少な く と も 1 個のコ イル巻線用溝を形成する工程、 ϋ ) 前記 非磁性体ブ αッ クのギヤシプ形成厠の面に前記コィル卷線用 ;莆 に直角に複数の突起部を残すよう に平行に溝を形成する工程、 iii ) ェ,程 ii ) を終了 した前記 性体ブロ ック のギャップ形成 側の面の少なく と も前記溝面上に金属磁性体を被着せしめるェ 程、 w ) Iff 記金属磁性体が表面に被着されている前記溝に非磁 性材を充塡する工程、 V ) 前記一方の非磁性体ブ π ッ ク の前記 非磁性充塡材な らびに磁性体の不要部を除去し、 所要の ト ラッ ク镉を有する ギャップ形成面を露呈せしめる工程、 V i ) 工程 I ) を終了 した前記も う 一方の非磁性 ：ブロ ックの非磁性充塡 材な らびに 性体の不要部を除去し、 所要の非璲性体部とその ϋ部に一^の金属磁性.体を有する ギャップ形成面を露呈せし めるェ裎、 V ii ) 工程 V ) および工程 V i ) を終了 したブロック をそれぞれ中央部で切断して、 それぞれ-一封のコ アブロ ック と する工程、 V iii ) 工程 V Π ) を終了 した前記各一対のブロ ッ ク の 少な く とも一方のギャップ形成厠の面にそれぞれ所要の厚さの 非磁性層を形成する工程、 iX ) 工程 V iii ) を終了し fe前記各一 対のブロックのギャップ形成面をそれぞれ相対時せしめ、 互い に接合する工程、 X ) 接合された 2組のブロック を所定の位置 に接合一体化する工程、 および Χί ) 前記接合されたブロック を 所定の位置にて ¾断し、 少なく とも 1 假の磁気ヘッ ドコアを得 る工程を有する こ と を特墩とする磁気へッ ドの製造方法。

10 . 前記工程 iV ) において金属磁性体を被着した上に第 1 の非磁 性保護獏を被着した後、 さ らに、 溝部を堙めるよ う に第 2 の非 磁性材を充填する こ と を特^とする ^求の範囲第 9項記裁の磁 気へッ ドの製造方法。