TWI751342B - 保護膠帶黏貼方法以及保護膠帶黏貼裝置 - Google Patents

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Abstract

[課題]本發明應解決的課題是提供一種保護膠帶黏貼方法以及保護膠帶黏貼裝置，能夠使保護膠帶的前端部確實從剝離紙剝離，並將保護膠帶確實黏貼於晶圓。[解決手段]一種保護膠帶的黏貼方法，將保護膠帶黏貼於晶圓上，該保護膠帶具有藉由紫外線的照射而使黏著力降低的黏著層，該保護膠帶的黏貼方法包含：彎折步驟，將大小對應晶圓大小的保護膠帶的黏著層面向並黏貼於剝離紙上，將該剝離紙彎折拉起並將從該剝離紙剝離下來的保護膠帶的前端部黏貼於晶圓上；黏貼步驟，在實施該彎折步驟後，以滾輪按壓該黏著層的相反側以使保護膠帶的黏著層密接於晶圓，並且進一步將該剝離紙拉起以從該剝離紙完全剝離黏著膠帶，將保護膠帶黏貼於晶圓上；以及剝離起點形成步驟，在藉由實施該彎折步驟而在保護膠帶的從該剝離紙開始剝離之前端部的區域上以點狀照射紫外線以形成剝離起點。

Description

保護膠帶黏貼方法以及保護膠帶黏貼裝置
本發明係關於一種在晶圓正面黏貼保護膠帶的保護膠帶黏貼方法以及保護膠帶黏貼裝置。
由分割預定線劃分且在正面形成IC、LSI等多個元件的晶圓，係在正面黏貼保護膠帶後，將保護膠帶側保持於研削裝置的卡盤台上，研削背面以形成預定的厚度(例如參照專利文獻1)。
此外，在正面黏貼保護膠帶後，將保護膠帶側保持於雷射加工裝置的卡盤台上，並從背面側照射對晶圓具有穿透性的波長之雷射光線，以在分割預定線的內部形成成為分割起點的改質層(例如參照專利文獻2)。
適用於上述研削裝置、雷射加工裝置之將保護膠帶黏貼於晶圓的正面的保護膠帶黏貼裝置係，具有以下功能：從容納薄片之保護膠帶捲筒送出薄片，該薄片係在剝離紙上黏貼大小對應晶圓大小的保護膠帶，且從該剝離紙剝離保護膠帶，一邊拉起該剝離紙一邊黏貼至晶圓上(例如參照專利文獻3)。
[習知技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2000-288881號公報
[專利文獻2]日本特許第3408805號公報
[專利文獻3]日本特開2005-116928號公報
在上述專利文獻3記載的保護膠帶黏貼裝置中，在使保護膠帶從剝離紙剝離時，從保護膠帶捲筒將保護膠帶的黏著層黏貼於剝離紙之狀態的薄片送出，且在通過使該薄片被彎折成銳角的彎折部之彎折步驟中，剝離紙急遽反轉且被 彎折，藉此使保護膠帶的前端部從剝離紙剝離，將晶圓的前端部定位於已剝離之保護膠帶的前端部，以按壓於晶圓的表面並進行黏貼。
由於在上述彎折步驟中要確實地剝離保護膠帶，故可將面對剝離紙的保護膠帶的黏著層的黏著力設為較弱。然而，保護膠帶在從剝離紙剝離下來後黏貼於晶圓的正面並在下一步驟中作為保護膠帶而發揮功能，因此即使在下一步驟(例如研削步驟)中受到衝擊，為了不使保護膠帶偏移或剝落，必須將該黏著層的黏著力設定成一定程度的強度。因此，保護膠帶的黏著層的黏著力必須同時考慮到容易從剝離紙剝離，及確保對工件的黏著力，而為了在保護膠帶黏著裝置上不發生保護膠帶的剝離不當，不僅是保護膠帶的黏著層的黏著力，還必須適當調整從保護膠帶捲筒送出黏貼有保護膠帶之薄片的速度，及在彎折步驟中進行彎折時的角度等。進而，黏貼於剝離紙的保護膠帶係預先切割成大小對應所使用的晶圓的大小(例如圓形狀)，但該切割時外周部分被特別強力地按壓在剝離紙側，導致比其他部位更強力地黏貼住，而存在保護膠帶難以從剝離紙剝離的情形，且在上述保護膠帶黏貼裝置所實行的彎折步驟中要不發生剝離不當而確實地使保護膠帶剝離亦非易事。
因此，本發明的目的是提供一種保護膠帶黏貼方法以及保護膠帶黏貼裝置，能夠使保護膠帶的前端部確實從剝離紙剝離，並將保護膠帶確實黏貼於晶圓。
根據本發明的一方案，提供一種保護膠帶的黏貼方法，將保護膠帶黏貼於晶圓上，該保護膠帶具有藉由紫外線的照射而使黏著力降低的黏著層，該保護膠帶的黏貼方法具備：彎折步驟，將大小對應晶圓大小的保護膠帶的黏著層面向並黏貼於剝離紙上，將該剝離紙彎折拉起並將從該剝離紙剝離下來的保護膠帶的前端部黏貼於晶圓上；黏貼步驟，在實施該彎折步驟後，以滾輪按壓該黏著層的相反側以使保護膠帶的黏著層密接於晶圓，並且進一步將該剝離紙拉起以從該剝離紙完全剝離黏著膠帶，將保護膠帶黏貼於晶圓上；以及剝離起點形成步驟，在藉由實施該彎折步驟而在保護膠帶的從該剝離紙開始剝離之前端部的區域上預先以點狀照射紫外線以形成剝離起點。
根據本發明的另一方案，提供一種保護膠帶黏貼裝置，將保護膠帶黏貼於晶圓上，該保護膠帶具有藉由紫外線的照射而使黏著力降低的黏著 層，該保護膠帶黏貼裝置具備：保持手段，其保持晶圓；薄片進給手段，將薄片從保護膠帶捲筒送出，該薄片係使大小對應晶圓大小的保護膠帶的黏著層面向並黏貼於剝離紙；剝離紙捲收手段，捲收該剝離紙；彎折手段，將該剝離紙彎折拉起並將從該剝離紙剝離下來的保護膠帶的前端部黏貼於該保持手段所保持的晶圓上；黏貼手段，以滾輪按壓該黏著層的相反側以使保護膠帶的黏著層密接於晶圓，並且進一步將該剝離紙拉起以從該剝離紙完全剝離黏著膠帶，將保護膠帶黏貼於晶圓上；以及紫外線照射器，在藉由該彎折手段而使從保護膠帶的剝離開始之前端部上預先以點狀照射紫外線以形成剝離起點。
根據本發明的一方案，在藉由實施該彎折步驟而使保護膠帶的從該剝離紙開始剝離之前端部的區域上預先以點狀照射紫外線，使黏著力下降以形成剝離起點，藉此能夠將保護膠帶的外周的一部分(前端部)確實地從剝離紙剝離，並能夠解決無法將保護膠帶黏貼於晶圓上的問題。
根據本發明的另一方案，藉由具備：紫外線照射器，其在藉由彎折手段而在保護膠帶的剝離開始之前端部上預先以點狀照射紫外線，使黏著力下降以形成剝離起點，能夠將保護膠帶的外周的一部分(前端部)確實地從剝離紙剝離，並能夠解決無法將保護膠帶黏貼於晶圓上的問題。
以下，參照圖式詳細說明根據本發明而構成的保護膠帶黏貼方法，及用來實現該保護膠帶黏貼方法所構成的保護膠帶黏貼裝置。
圖1表示根據本發明而構成的保護膠帶黏貼裝置10之立體圖。又，在圖式中，為了便於說明而適當省略了：覆蓋保護膠帶黏貼裝置10整體的蓋、支撐各手段的支撐構造，以及支撐框架等。
保護膠帶黏貼裝置10具備基台11，其載置有用來實施各步驟的各手段。在基台11上至少構成：保持台20，作為保持晶圓的保持手段；移動手段30，使保持台20在箭頭X所示方向上移動；薄片進給手段40，從後述的保護膠帶捲筒R送出薄片60；及剝離紙捲收手段70，在從薄片60的剝離紙64剝離保護膠帶62之後，捲收剝離紙64。
在保持台20的上表面配設有圓形狀的未圖示的吸附卡盤以保持晶圓W，該吸附卡盤由多孔材料形成且實質上以水平延伸，形成為大致和晶圓W相同大小。該吸附卡盤藉由通過保持台20的流動路徑而連接於未圖示的吸引手段。
移動手段30具有滾珠螺桿33，其一端部在基台11上連結馬達31，另一端部在以支撐構件32支撐的X方向上延伸，且滾珠螺桿33的螺帽部（圖示省略）固定於保持台20的下表面。馬達31的旋轉運動是藉由滾珠螺桿33而變換成直線運動並傳遞至保持台20，使保持台20沿著並排設置在X方向上的導軌34、34進退。
在聚-乙烯氯乙烯、聚烯烴等的基材的表面配設丙烯酸系黏著層（糊層）之物係用來作為保護膠帶62，其被切割成對應要黏貼的晶圓W的大小之圓形狀，且屬於藉由紫外線的照射而降低黏著力的紫外線硬化型膠帶。預先使保護膠帶62連續黏貼於剝離紙64的其中一面的預定位置上之薄片60，係以保護膠帶捲筒R的狀態被薄片進給手段40的支撐滾輪41支撐。支撐滾輪41連結於未圖示的馬達的輸出軸，且具有藉由使該馬達間歇性驅動預定量，傳遞預定長度而送出薄片60的功能。
根據薄片進給手段40的作用從保護膠帶捲筒R送出的薄片60，係藉由構成彎折手段的彎折板50而以急遽的角度（銳角）反轉，並捲收於剝離紙捲收手段70的捲收滾輪71，作為剝離保護膠帶62後的捲筒R’而被支撐。捲收滾輪71亦連結於未圖示的馬達上，根據薄片進給手段40的作用配合送出的薄片60進行作動、停止，藉此進行捲收以使彎折板50的下流側的張力成為固定。
在彎折板50的前端部配設有構成為可上下升降的按壓滾輪52（構成可升降的升降手段省略圖示），其使剝離紙64通過彎折板50的前端部而急遽反轉，藉此將剝離的保護膠帶62從上方朝向下方按壓至保持台20上所保持之晶圓W的上表面。進而，通過彎折板50到達捲收滾輪71的途中配設有張力滾輪54，其從下方朝向上方給予張力以使通過彎折板50的剝離紙64的拉起張力維持一定。又，上述支撐滾輪41、捲收滾輪71構成為對應所支撐的捲筒的直徑而往上下方向移動，且構成為即使保護膠帶捲筒R、捲筒R’的直徑變化，剝離紙64通過彎折板50時的反轉角度、薄片60的送出位置及卷收位置也不變化。
在從薄片進給手段40送出至彎折板50之薄片60的寬度方向中央的上方配設有朝向保護膠帶62從垂直方向照射紫外線（UV）的紫外線照射器56，且紫外線照射器56構成為未圖示的感測器檢測到保護膠帶62通過紫外線照射器56的正下方時，朝向保護膠帶62的前端部照射紫外線。
本發明的保護膠帶黏貼裝置10大概具有上述構成，且以下一邊參照圖2~圖5，一邊說明使用該保護膠帶黏貼裝置10所實施的保護膠帶黏貼方法。
在實施保護膠帶黏貼方法時，操作員準備保護膠帶捲筒R並固定於薄片進給手段40的支撐滾輪41，保護膠帶捲筒R係以捲筒壯容納薄片60，薄片60在剝離紙64的中央部以預定間隔黏貼了保護膠帶62的黏著層。
接著，從支撐滾輪41所支撐的保護膠帶捲筒R拉出未黏貼保護膠帶62之預定長度的薄片60的前端，繞過上述彎折板50等將其端部固定於捲收滾輪71上。
配合上述保護膠帶捲筒R的固定，在保持台20的吸附卡盤上載置並吸引保持黏貼保護膠帶62的晶圓W。吸引保持晶圓W的保持台20被定位於圖2所示的待機位置（圖1的2點鏈線所示位置）。
若將薄片60的前端固定於捲收滾輪71，則作動薄片進給手段40、剝離紙捲收手段70，使支撐滾輪41、捲收滾輪71以箭頭所示方向旋轉，且如圖2所示將黏貼在薄片60的最初的保護膠帶62的前端部定位在紫外線照射器56的正下方。
若最初的保護膠帶62的前端部定位在紫外線照射器56的正下方，則以預定時間（例如0.5~1秒）對從保護膠帶62的前端往中心方向1cm左右之區域（較佳為從前端5mm左右）照射紫外線。如上述般，保護膠帶62是藉由紫外線的照射而使黏著力下降之紫外線硬化型膠帶，故保護膠帶62的前端部的黏著力下降，在後述彎折步驟中形成剝離起點以成為剝離的起點。又，紫外線的照射時間被適當地設定成對應紫外線照射器56的輸出、保護膠帶62的黏著層的黏著力等。
第1次的紫外線的照射係對保護膠帶62的前端部的區域實施，若如圖3所示在保護膠帶62的前端部形成剝離起點S，則作動薄片進給手段40、捲收手段70，將薄片60送出預定量以使下一個保護膠帶62的前端部成為在紫外線照射器56的正下方。並且，若下一個保護膠帶62的前端部定位在紫外線照射器56的正下方，則和上述相同地從紫外線照射器56照射紫外線，形成使前端部的黏著力下降之剝離起點S。如此，若保護膠帶62的前端部定位在紫外線照射器56的正下方，則藉由隨時從紫外線照射器56照射紫外線，在通過紫外線照射器56的正下方的全部的保護膠帶62的前端部上形成剝離起點S。
進而，若藉由使薄片進給手段40、剝離紙捲收手段70作動，從保護膠帶捲筒R送出薄片60，則如圖4所示，保護膠帶62的剝離起點S到達彎折板50的前端。黏貼著保護膠帶62的剝離紙64通過彎折板50的前端且被彎折，急遽反轉，藉此使保護膠帶62的前端部從剝離紙64剝離。在本實施方式的構成中，如上述般在保護膠帶62的前端部的區域存在：照射紫外線使黏著層的黏著力下降之剝離起點S，藉此薄片60通過彎折板50的前端時，能夠確實將保護膠帶62的前端部從剝離紙64剝離。
配合保護膠帶62的剝離起點S到達彎折板50的前端，使移動手段30作動，藉此使保持台20在箭頭所示方向上移動。此時，移動手段30作動，以使晶圓W的前端定位於形成保護膠帶62的剝離起點S之前端。若在彎折板50的前端，使晶圓W的前端定位於被剝離的保護膠帶62的前端，則如圖4所示，按壓滾輪52從上方朝向下方將保護膠帶62按壓至晶圓W上，並在送出薄片60的方向，亦即順時鐘方向上旋轉，使保護膠帶62的前端部密接於晶圓W。此為本發明的彎折步驟。
實施該彎折步驟，進而藉由薄片進給手段40和捲收手段70的作用而使剝離紙64被進一步拉起，配合該薄片60的送出速度，亦使保持台20移動。並且，定位於保持台20上的晶圓W之保護膠帶62係從剝離紙64完全剝離，藉由按壓滾輪52的作用而使該保護膠帶62的整體黏貼於晶圓W的正面整體上，結束黏貼步驟（參照圖5）。
該黏貼步驟一旦結束，則停止薄片進給手段40、捲收手段70，及在保持台20的吸附卡盤上作用的吸引手段，取出（搬出）黏貼保護膠帶62的晶圓W，將尚未黏貼保護膠帶62的新晶圓W載置（搬入）於保持台20的吸附卡盤上並吸引保持。並且，一旦將晶圓W保持於保持台20上，則再作動移動手段30，使保持台20移動至圖3所示的待機位置。並且，一旦使保持台20移動至該待機位置，則間歇地重複上述彎折步驟、黏貼步驟，藉此能夠將保護膠帶62連續地黏貼至多片晶圓W上。又，上述晶圓W的搬入、搬出可由操作員實行，亦可搭載自動搬送裝置以自動實行。
根據本實施方式，僅在保護膠帶62的前端部的狹窄區域使黏著力下降，藉此在保護膠帶黏貼裝置10中能夠確實地開始保護膠帶62從剝離紙64上的剝離，並且黏著力下降的僅限於前端部區域的狹窄區域，因此在黏貼於晶圓W後，保護膠帶62確實地保持於晶圓W的正面上。因此，即便是例如將保護膠帶62側朝下而研削晶圓W的背面側時，保護膠帶62也不會在晶圓W的正面產生偏移，而確實保護晶圓W的正面。進而，在結束研削步驟等的後續步驟之後，能夠對保護膠帶62的整面照射紫外線，以從晶圓W去除保護膠帶。
又，本發明並不限定於上述實施方式，只要包含於本發明技術範圍中亦可推知各種變形例。例如，在上述實施方式的保護膠帶黏貼裝置10中，從薄片進給手段40送出至彎折板50的薄片60之寬度方向中央的上方配設有紫外線照射器56，在即將實施彎折步驟之前對保護膠帶62的前端部照射紫外線以形成黏著力下降的剝離起點S，但在本發明的保護膠帶黏貼方法中，對保護膠帶62形成剝離起點S的時機點在實施彎折步驟之前的階段即可，並未特別限定。例如，亦可在薄片60被捲成保護膠帶捲筒R的階段對保護膠帶62的前端部照射紫外線以形成剝離起點S。
10：    保護膠帶黏貼裝置 11：    基台部 20：    保持台（保持手段） 30：    移動手段 40：    薄片進給手段 41：    支撐滾輪 50：    彎折板（彎折手段） 52：    按壓滾輪 56：    紫外線照射器 60：    薄片 62：    保護膠帶 64：    剝離紙 70：    剝離紙捲收手段 71：    捲收滾輪 R：     保護膠帶捲筒 W：    晶圓
圖1是概略表示本發明實施方式的保護膠帶黏貼裝置之立體圖。
圖2是用於表示說明本發明的保護膠帶黏貼方法的側視圖。
圖3是用於表示說明本發明的保護膠帶黏貼方法中，實施圖2所示步驟之後的側視圖。
圖4是用於表示說明本發明的保護膠帶黏貼方法的彎折步驟之側視圖。
圖5是用於表示說明本發明的保護膠帶黏貼方法的黏貼步驟之側視圖。
10：    保護膠帶黏貼裝置 11：    基台部 20：    保持台（保持手段） 30：    移動手段 31：    馬達 32：    支撐構件 33：    滾珠螺桿 34：    導軌 40：    薄片進給手段 41：    支撐滾輪 50：    彎折板（彎折手段） 52：    按壓滾輪 56：    紫外線照射器 60：    薄片 62：    保護膠帶 64：    剝離紙 70：    剝離紙捲收手段 71：    捲收滾輪 R、R’：    保護膠帶捲筒 S：      剝離起點 W：    晶圓 X：     箭頭

Claims (2)

  1. 一種保護膠帶的黏貼方法，將保護膠帶黏貼於晶圓上，該保護膠帶具有藉由紫外線的照射而使黏著力降低的黏著層，該保護膠帶的黏貼方法具備：彎折步驟，將大小對應晶圓大小的保護膠帶的黏著層面向並黏貼於剝離紙上，將該剝離紙彎折拉起並將從該剝離紙剝離下來的保護膠帶的前端部黏貼於晶圓上；黏貼步驟，在實施該彎折步驟後，以滾輪按壓該黏著層的相反側以使保護膠帶的黏著層密接於晶圓，並且進一步將該剝離紙拉起以從該剝離紙完全剝離黏著膠帶，將保護膠帶黏貼於晶圓上；以及剝離起點形成步驟，在藉由實施該彎折步驟而在保護膠帶的從該剝離紙開始剝離之前端部的區域上，在即將實施該彎折步驟之前預先以點狀照射紫外線以形成剝離起點。
  2. 一種保護膠帶黏貼裝置，將保護膠帶黏貼於晶圓上，該保護膠帶具有藉由紫外線的照射而使黏著力降低的黏著層，該保護膠帶黏貼裝置至少包含以下而構成：保持手段，其保持晶圓；薄片進給手段，將薄片從保護膠帶捲筒送出，該薄片係使大小對應晶圓大小的保護膠帶的黏著層面向並黏貼於剝離紙；剝離紙捲收手段，捲收該剝離紙；彎折手段，將該剝離紙彎折拉起並將從該剝離紙剝離下來的保護膠帶的前端部黏貼於該保持手段所保持的晶圓上；以及黏貼手段，以滾輪按壓該黏著層的相反側以使保護膠帶的黏著層密接於晶圓，並且進一步將該剝離紙拉起以從該剝離紙完全剝離黏著膠帶，將保護膠帶黏貼於晶圓上；其中，在該保護膠帶捲筒與該彎折手段之間，具備紫外線照射器，其在藉由該彎折手段而使從保護膠帶的剝離開始之前端部上預先以點狀照射紫外線以形成剝離起點。
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