TWI418456B - Substrate storage container - Google Patents

Substrate storage container Download PDF

Info

Publication number
TWI418456B
TWI418456B TW096145149A TW96145149A TWI418456B TW I418456 B TWI418456 B TW I418456B TW 096145149 A TW096145149 A TW 096145149A TW 96145149 A TW96145149 A TW 96145149A TW I418456 B TWI418456 B TW I418456B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
support
substrate
contact layer
storage container
support wall
Prior art date
Application number
TW096145149A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200833491A (en
Inventor
Hideo Kudo
Hiroki Yamagishi
Original Assignee
Shinetsu Handotai Kk
Shinetsu Polymer Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinetsu Handotai Kk, Shinetsu Polymer Co filed Critical Shinetsu Handotai Kk
Publication of TW200833491A publication Critical patent/TW200833491A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI418456B publication Critical patent/TWI418456B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/16—Making multilayered or multicoloured articles
    • B29C45/1657—Making multilayered or multicoloured articles using means for adhering or bonding the layers or parts to each other
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D1/00—Containers having bodies formed in one piece, e.g. by casting metallic material, by moulding plastics, by blowing vitreous material, by throwing ceramic material, by moulding pulped fibrous material, by deep-drawing operations performed on sheet material
    • B65D1/22—Boxes or like containers with side walls of substantial depth for enclosing contents
    • B65D1/24—Boxes or like containers with side walls of substantial depth for enclosing contents with moulded compartments or partitions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/16—Making multilayered or multicoloured articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/16—Making multilayered or multicoloured articles
    • B29C45/1657—Making multilayered or multicoloured articles using means for adhering or bonding the layers or parts to each other
    • B29C2045/1659—Fusion bonds
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
    • Y10T428/1352—Polymer or resin containing [i.e., natural or synthetic]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
    • Y10T428/24612—Composite web or sheet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Containers Having Bodies Formed In One Piece (AREA)
  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)

Description

基板收納容器
本發明關於將異材質或同材質彼此組合並加以一體化之基板收納容器。
以往，在各種機械裝置的機構零件或基板收納容器等，為了滿足構成製品之複數個部位的不同之要求特性，採用下述方法，即，藉由不同的材質分別形成複數個部位，將此複數個部位組合並加以一體化，獲得異材質之製品。作為這種製品之製造方法，可舉出插入成形法或多色成形法(亦有被稱為雙色成形法、雙模法)，在多色成形法，材質不同的2種類之成形材料由是否可接合的觀點來進行取捨選擇並使用(參照專利文獻1、2)。
專利文獻1：日本特開2005-67139號公報
專利文獻2：日本特開2000-12673號公報
以往之多色成形法，因如以上所述，將材質不同之2種類的成形材料，僅由可否接合的觀點來予以組合使用，所以，會有無法重視性能而將2種類的成形材料適當地組合之問題產生。例如，2種類的成形材料，由性能的觀點來看，即使為適當的組合，由可否接合的觀點觀點來看， 也無相容性，在不適當的組合之情況，會無法充分地接合，因此必須再考量進行組合。
當雖不適當的選擇仍重視性能而將2種類的成形材料予以組合時，則2種類的成形材料的界面強度會弱化，會因洗浄時的應力或使用時、輸送時的振動造成剥離。
本發明是有鑑於上述情事而開發完成之發明，其目的在於提供，由性能的觀點來看，能將複數個成形材料予以適當地組合之基板收納容器。
在本發明，為了解決上述課題，本發明是在收納基板的前開箱型的容器本體的內部兩側，分別設置將基板予以整列並支承的支承體，並將各支承體作為多色成形體的基板收納容器，其特徵為：支承體包含有：藉由第一成形材料成形且設於容器本體的內部側方之支承壁；藉由第一成形材料成形且被支承壁所支承之支承片；與藉由第二成形材料，層積成形於支承壁的局部與支承片，並與基板接觸之接觸層，以聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺中的任一者作為第一成形材料，以聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚甲醛、或聚醚醚酮作為第二成形材料將支承壁的局部與接觸層的境界的周緣部、以及支承片與接觸層之境界的周緣部，分別形成為斷面大致呈三角 形且前端變細的薄型突片，將各薄型突片的前端變細的傾斜角度設定為5°~40°的範圍，而將各薄型突片的傾斜面做成0.4~5.0mm的長度。
在容器本體的內部側方與支承體的支承壁之間，形成有與第二成形材料不同的材料的介裝層為佳。
又，在支承體，包含有：藉由第二成形材料成形於支承壁，接觸於基板對支承壁之最接近部的接觸層為佳。
又，在層積於支承體的支承片的接觸層之表面，形成有與基板接觸之突起為佳。
又，支承體的支承片，包含有：由支承壁朝內方向突出，並與基板的側部靠近前端相對向的第一支承部；及由支承壁朝內方向突出，並與基板的側部靠近末端相對向的第二支承部，將接觸層分別層積於第一、第二支承部的露出面，並且將接觸層層積於支承壁與第二支承部之間，使支承壁與接觸層之境界的至少周緣部的一部分形成為斷面大致呈三角形且前端變細的薄型突片，將此薄型突片的前端變細的傾斜角度設為5°~40°的範圍，而將薄型突片的傾斜面做成0.4~5.0mm的長度。
又，在支承體的支承壁，形成有介裝於第一、第二支承部之間的架子部。
且，以描繪與基板的中心部大致呈同心圓之圓錐的方式，傾斜形成：層積於第一、第二支承部的露出面之接觸層之表面。
又，將支承壁與接觸層之境界的周緣部形成為斷面大 致呈三角形且前端變細的薄型突片，將此薄型突片的前端變細的傾斜角度設為5°~40°的範圍，而將薄型突片的傾斜面做成0.4~5.0mm的長度。
將支承體的架子部藉由第一成形材料成形，而形成為較第一、第二支承部的表面更低的高度，藉由第二成形材料將接觸層層積成形於該架子部的露出面中的至少表面。
將支承體的架子部背面形成為：位於較第一、第二支承部的背面更上方的高度。
藉由本發明，將支承壁的局部與接觸層的境界、支承片與接觸層的境界的周緣部，分別形成為前端變細的薄型突片，將此薄型突片的前端變細的傾斜角度設為5°~40°的範圍，而將形成境界的傾斜面做成0.4~5.0mm的長度，所以無論第一、第二成形材料的相熔性如何，都能預期有良好的熔融接合。
若根據本發明的話，例如在將第一、第二成形材料從接合的觀點不適合(例如聚碳酸酯與聚對苯二甲酸丁二醇酯的組合等)的情況，由於將支承壁的局部與接觸層的境界的周緣部、及支承片與接觸層的境界的周緣部，分別形成為斷面大致呈三角形且前端變細的薄型突片而一體化，所以能適當且堅固地組合，不需要從接合觀點再考慮組合。於是即使相熔性差，也能重視性能適當組合兩種成形材料，而有能符合支承體的複數部位的不同的要求特性的 效果。
而且能防止：兩種成形材料的介面強度弱化，洗淨時的介面活性劑的浸入或應力，使用時或輸送時的振動導致剥離的情形。而由於不是支承片的露出面接觸基板，而是滑動性優異的接觸層的表面接觸基板，所以在基板減少載置位置的痕跡，可以預期基板的順暢移動。於是，防止基板的取出失誤而防止事故，可以防止基板的標記或損傷。
又，若在支承體含有形成於支承壁且接觸於基板對支承壁之最接近部的接觸層的話，因基板進出時，接觸層會與基板對於支承壁之接近部接觸，所以，可防止伴隨基板與支承壁之接觸所產生的磨損或損傷。
又，若使層積於第一、第二支承部的露出面之接觸層之表面，以描繪與基板的中心部大致呈同心圓之圓錐的方式傾斜的話，則在基板收納容器為前開箱型，將基板大致呈水平地支承收納之情況，因基板藉由自重，自動地向心，所以，可將基板適當地定位。且，因朝向基板的中心之力常時作用而持為阻抗，所以能夠限制基板的旋轉。
以下，參照圖面，說明本發明的理想實施形態。本實施形態之多色成形體與多色成形法是如圖1至圖3所示，準備相互材質不同的第一、第二成形材料，當將由第一成形材料所構成的一對第一成形體1與由第二成形材料所構成的第二成形體3組合並予以一體化時，各第一成形體1 與第二成形體3之直線的境界6的周緣部形成為斷面大致三角形且為銳角之薄型突片5。
第一成形材料，未被特別限定，亦可例如，使用各種的熱可塑性樹脂，具體而言，選擇使用聚碳酸酯、環烯烴聚合物、或聚醚醯亞胺等。又，第二成形材料，未被特別限定，例如，可使用較第一成形材料具有更優良之滑動性、耐熱性、耐磨損性且第一成形材料之熔融(加熱溶解)困難的各種的熱可塑性樹脂，具體而言，可選擇使用聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚甲醛、聚醚醚酮等。
一對第一成形體1是如圖2或圖3所示，分別形成為相同大小之剖面大致方塊形，發揮夾持第二成形體3之功能。在各第一成形體1的與第二成形體3接觸之境界面，突出形成有第二成形體3之組合用的凸部2。又，第二成形體3是如圖2或圖3所示，形成較第一成形體1長之剖面大致呈方塊形，且於與各第一成形體1接觸的境界面，凹陷形成有與第一成形體1的凸部2卡合之凹部4。
薄型突片5是如同圖所示，形成為隨著朝向前端部而前端逐漸變細的薄型狀之剖面大致呈直角三角形(亦即剖面大致呈楔形)，形成境界6之傾斜面7與水平面所形成之前端變細的傾斜角度θ設為5°~40°，理想為10°~30°，更理想為15°~20°的範圍，傾斜面7的長度L設為0.4~5.0mm。
將薄型突片5的前端變細的傾斜角度θ設為5°~40° 的範圍，是因為在傾斜角度θ未滿5°之情況時，由實驗結果得知，無法對薄型突片5的前端部充分地填充第一、第二成形材料。相對於此，在傾斜角度θ超過40°之情況時，由實驗結得知，無法將各第一成形體1與第二成形體3強固地接合之故。薄型突片5的前端變細的傾斜角度θ，由多色成形的穩定化或接合的確實化的觀點來看，最理想為10°~30°的範圍。
薄型突片5的傾斜面7的長度L設為0.4~5.0mm的範圍，是因為在長度L未滿0.4mm之情況時，由實驗結果得知，無法期待充分的接合。相反地，在長度L超過5.0mm之情況時，由實驗結果得知，無法適當充分地填充第一、第二成形材料，造成成形不穩定化之故。
在上述，在成形由各種機械裝置的機構零件、按鍵、鍵頂、旋鈕、銷組等所構成之多色成形體的情況時，首先，對未圖示的模填充可塑化之由聚碳酸酯等所構成的第一成形材料，分別成形成為基底的一對第一成形體1，將各第一成形體1由模具進行脫模，然後插入至成形第二成形體3之模具(未圖示)，藉由各第一成形體1區劃形成此模具的模腔之壁面的一部分。
如此，當將一對第一成形體1插入至第二成形體用的模具後，對模具填充可塑化之由聚對苯二甲酸丁二醇酯等所構成的第二成形材料，成形第二成形體3，並且將各第一成形體1與第二成形體3之境界6的周緣部形成為銳角的薄型突片5並熔融接合，然後，予以冷却再由模具脫模 的話，則能夠成形多色成形體。
若根據上述結構的話，即使由接合的觀點來看，第一、第二成形材料為不適當的組合之情況，若使第一、第二成形體1、3的境界6的周緣部形成為薄型突片5並加以一體化的話，也能不需使用大的壓力或熱，即可予以適當且強固地組合，因此，完全不需要由接合的觀點來再次考量進行組合。因此，即使相容性差，也能重視性能而適當地組合2種類的成形材料。又，能夠確實地抑制防止，2種類的成形材料的界面的強度弱化、因洗浄時的應力、使用時或輸送時的振動造成剥離。
其次，說明關於使用上述多色成形體或多色成形法之基板收納容器。
本實施形態之基板收納容器是如圖4至圖11所示，具備有收納由口徑300mm的圓形半導體品圓所構成之複數片的基板W之容器本體10、及經由密封墊圈24可將此容器本體10的開口正面予以開閉之可自由裝卸的蓋體20，在容器本體10的相對向之兩側壁，分別配設有用來將複數片的基板W整列並予以支承之支承體30，將各支承體30作為多色成形體。
容器本體10與蓋體20的成形材料，雖未被特別限定，但選擇例如由聚碳酸酯、聚醚醯亞胺、環烯烴樹脂等所構成之熱可塑性樹脂為佳。
容器本體10是如圖4或圖5所示，例如，使用透明的聚碳酸酯等形成為正面開口之前開箱型，在底面的前部 兩側與後部中央，分別設有由上方卡合至未圖示的半導體加工裝置的定位銷之斷面大致呈倒V字形的定位具，在頂部之中央部，受到未圖示的自動搬送機構所把持之機器把手11可自由裝卸地被裝設著。
容器本體10的正面是朝寬度方向外側突出形成而形成有蓋體20卡合用的緣部12，在此緣部12的內周面上下，隔著間格分別凹陷形成有蓋體20的鎖定機構26用的複數個卡止孔13。又，在容器本體10的背面壁的內面，將基板W的後部周緣予以水平地卡合保持之左右一對後保持器14於上下方向以預定的間距呈複數個並列設置著。又，在容器本體10的兩側壁外面，手動搬送用的把手(未圖示)分別可自由裝卸地被裝設著。
蓋體20是如圖4或圖5所示，具備有：可自由裝卸地卡合於容器本體正面的緣部12並在正面視角為横長且大致呈矩形的框體21；與可自由裝卸地覆蓋此框體21的開口之表面兩側並大致呈矩形之複數個覆蓋板22，在這些框體21與複數個覆蓋板22之間，內裝有卡止於容器本體10的卡止孔13並進行鎖定之左右一對鎖定機構26。
框體21形成為斷面大致呈皿形，於與基板W相對向的裏面的周緣部切削形成有框枠形的階差凹部23，並且在此階差凹部23，以循環嵌入彈性的密封墊圈24，藉由此密封墊圈24壓接於容器本體10的緣部12內而變形，來確保氣密性。在此框體21的裏面的凹陷中央部，將複數片的基板W的前部周緣彈推地呈水平地加以保持之縱長 的前保持器25可自由裝卸地被裝設著。
各鎖定機構26具備有軸支承於框體21的表面側方並由外部進行操作之旋轉板27，在此旋轉板27的周緣部，經由圓弧溝或銷等連結有伴隨旋轉板27的旋轉而朝框體21的上下內外方向滑動之上下一對進退動板，在各進退動板的前端部，貫通框體21的周壁而卡合至容器本體10的卡止孔13之係止爪被可擺動地連結支承著。
一對支承體30，當容器本體10成形時藉由插入成形分別一體化於兩側壁，將被收納於容器本體10之複數片的基板W於上下方向以預定的間距整列，並由左右夾持各基板W予以水平支承地來發揮功能。各支承體30是如圖6至圖11所示，具備有一體化於容器本體10的側壁之支承壁31；於支承壁31的上下方向，以預定的間距並列設置的複數個支承片34；層積於支承壁31的一部分與各支承片34的露出面之複數個接觸層37；及形成於各支承壁31之複數個接觸層40。
這樣的支承體30是如圖9至圖11所示，支承壁31的一部分與接觸層37之境界6、各支承片34與接觸層37之境界6、及支承壁31與各接觸層40之境界6的周緣部分別形成為前端變細的薄型突片5，各薄型突片5的前端變細的傾斜角度θ作成5°~40°，理想為10°~30°，更理想為15°~20°的範圍，且形成境界6之傾斜面7的長度L作成0.4~5.0mm。
支承壁31與複數個支承片34是利用由具有優良之耐 衝撃性、耐熱性、耐水性的聚碳酸酯等所構成的第一成形材料來成形，數個接觸層37與接觸層40是利用由表面平滑性、低磨損性、尺寸穩定性之聚對苯二甲酸丁二醇酯等所構成的第二成形材料來成形。因此，支承壁31與複數個支承片34形成第一成形體1，複數個接觸層37與接觸層40形成第二成形體3。
支承壁31，形成為在正面視角呈縱長的長方形，當容器本體10成形時，以插入成形來一體化於其側壁內面。此支承壁31的後部(圖6、圖8的右側)33是對容器本體10的內方向，以45°~80°的傾斜角度屈曲傾斜，對應於朝容器本體10的側壁的內方向屈曲之後部形狀。
各支承片34是如圖5或圖8所示，為由第一支承部35與第二支承部36分形成，該第一支承部35是由支承壁31的前部32的表面朝容器本體10的內方向大致水平地突出，而由下方經由接觸層37，來與基板W的側部靠近前端(側部前端)相對向，該第二支承部36由是支承壁31的屈曲的後部33的表面朝容器本體10的內方向大致水平地突出，而由下方經由接觸層37，與基板W的側部靠近末端(側部後端)相對向，這些第一、第二支承部35、36隔著間隔間隔，隔離於器本體10的前後方向換言之，隔離於於基板W的進出方向。
第一支承部35是如圖7所示，形成為隨著朝向前端部而逐漸成為薄型之斷面大致呈前端變細的平面大致呈半圓形且位於容器本體10的正面側，受到接觸層37所被 覆，細狀的前端部側由下方經由接觸層37，來與基板W的裏面側部靠近前端相對向。又，第二支承部36形成為較第一支承部35窄之多角形並位於容器本體10的背面側，且形成為隨著朝向前端部而逐漸變成薄型之斷面大致前端變細，且受到接觸層37所被覆，此接觸層37亦部分地被覆支承壁31的後部33表面(參照圖6)。
複數個接觸層37是如圖7、圖9、圖10所示分別一體地層積被覆於第一、第二支承部35、36的露出面，並且一體地層積於排列在上下方向之複數個第二支承部36間之支承壁31的後部33表面，第一、第二支承部35、36、及支承壁31的後部33表面之境界6的周緣部分別形成為前端變細的薄型突片5，各薄型突片5的前端變細的傾斜角度θ設為5°~40°，理想為10°~30°，更理想為15°~20°的範圍，且形成境界6之傾斜面7的長度L被調整成0.4~5.0mm。
被覆第一、第二支承部35、36之接觸層37形成為中空之斷面大致呈前端變細，表面38隨著朝向前端部而逐漸朝下方向傾斜，來支承基板W的側部周緣。這樣的接觸層37的表面38是如圖7所示，以描繪與基板W的中心部呈同心圓之倒圓錐的方式傾斜形成，將基板W利用其自重予以定位，且限制基板W的旋轉地來發揮功能。
在被覆第一支承部35之接觸層37的表面38，如同圖所示，階差部39形成於厚度方向，此階差部39會與基板W的側部周緣接觸來防止其朝容器本體10的開口之正面 方向飛出。此階差部39是以基板W的厚度尺寸、具體而言為0.3mm~0.7mm的高度來形成。
複數個接觸層40是如圖6所示，以預定的間距並列設置於各支承壁31的大致中央部表面的上下方向並位於第一、第二支承部35、36之間，當基板W進出時，藉由接觸於基板W對支承壁3之兩側的最接近部Wa，來防止伴隨基板W與支承壁31之接觸所產生的磨損或損傷。
各接觸層40是如圖6或圖11所示，形成為在正面視角呈横長或縱長之矩形，與支承壁31的表面之境界6的周緣部形成為前端變細的薄型突片5，薄型突片5的前端變細的傾斜角度θ設為5°~40°，理想為10°~30°，更理想為15°~20°的範圍，且形成境界6之傾斜面7的長度L被調整成0.4~5.0mm。關於其他的部分，因與上述實施形態相同，所以省略其說明。
在上述，當製造容器本體10或支承體30的情況時，首先，藉由可塑化之第一成形材料，一體成形為成為基底之支承體30的支承壁31與複數個支承片34後形成中間品，將此中間品組裝至成形複數個接觸層37與接觸層40之模具(未圖示)，對此模具填充已被可塑化之第二成形材料，來成形複數個接觸層37與接觸層40，而成形完全之支承體30。
當進行此成形之際，因支承壁31與接觸層37之境界6、各第一、第二支承部35、36與接觸層37之境界6、及支承壁31與各接觸層40之境界6的周緣部分別形成為前 端變細的薄型突片5，各薄型突片5的前端變細的傾斜角度θ設為5°~40°的範圍，並且形成境界6之傾斜面7的長度L被設定成0.4~5.0mm，所以，不受第一、第二成形材料的相容性影響，可期待良好的熔融接合。因此，針對支承壁31與接觸層37、第一、第二支承部35、36與接觸層37、及支承壁31與接觸層40，不需使用大的壓力或熱，即可謀求強固之一體化。
當形成這樣的完全之支承體30後，將此支承體30插入至容器本體10成形用的模具(未圖示)，對此模具填充容器本體10用的成形材料，然後，予以冷却並由模具脫模的話，能夠獲得在左右兩側部具備有支承體30之容器本體10。
若根據上述結構的話，即使由接合的觀點來看，第一、第二成形材料為不適當的組合(例如，聚碳酸酯與聚對苯二甲酸丁二醇酯的組合等)之情況，若分別將支承壁31與接觸層37之境界6、及各支承片34與接觸層37之境界6的周緣部形成為薄型突片5並加以一體化的話，能夠適當且強固地組合，因此，完全不需要由接合的觀點來再次考量進行組合。因此，即使相容性差，也能重視性能而適當地組合2種類的成形材料，能夠大幅符合支承體30的複數個部位不同之要求特性。
又，能夠確實地抑制，2種類的成形材料的界面的強度弱化，因洗浄時的界面活性劑的侵入或應力、使用時或輸送時的振動所造成之剥離。又，不是僅將境界6的周緣 部的一部分形成為前端變細的薄型突片5，而是將境界6的全周緣部形成為前端變細的薄型突片5，所以可獲得極高之強度。
又，因非支承片34的露出面接觸於基板W，而是具有優良的滑動性之接觸層37的傾斜表面38接觸於基板W，所以，在基板W不會殘留有載置位置的痕跡，可大大地期待基板W的圓滑移動。因此，可防止基板W的錯誤取出而防止事故產生，並可確實地防止基板W被標記或受損。且，第一、第二支承部35、36非一片板，而是被分割而隔著間隔相互分離，所以，可減少對基板W之接觸領域，可大幅地抑制顆粒產生。
其次，圖12為顯示本發明的第2實施形態者，在此情況，於被覆各支承體30的第一支承部35之接觸層37與被覆第二支承部36之接觸層37的至少其中任一方的表面38，形成有與基板W的裏面周緣部接觸之突起50。
在圖12，於被覆各自左右一對第一支承部35之接觸層37的表面38，形成有與基板W的裏面周緣部接觸之突起50，但亦可於被覆各第二支承部36之接觸層37的表面38，形成與基板W的裏面周緣部接觸之突起50。
突起50，例如形成為細長之線條狀，一體化於接觸層37的表面38並指向基板W的半徑方向。針對其他的部分，因與上述實施形態相同，所以省略其說明。
在本實施形態，也能期待與上述實施形態相同的作用效果，並且，因小面積的突起50接觸於基板W的裏面， 所以，可減少接觸面積並大幅減低顆粒產生之比率。
其次，圖13是顯示本發明的第3的實施形態之圖，在此情況，於容器本體10的兩側壁與各支承體30的支承壁31之間，將至少與第二成形材料不同的其他材料的介裝被覆層51分別形成為板狀並一體化。
各介裝被覆層51是藉由以第二成形材料以外的成形材料，例如，第一成形材料或其他的成形材料成形為薄狀成形。關於其他的部分，因與上述實施形態相同，所以省略其說明。
在本實施形態，也能期待與上述實施形態相同的作用效果，並且，能以第二成形材料不會露出於由第一成形材料所構成之露出面後來與容器本體10的側壁一體化。
其次，圖14、圖15是顯示本發明的第4實施形態之圖，在此情況，於作為各支承體30的支承片34之第一、第二支承部35、36之間，隔著間隔大致呈水平地介裝形成有板形的架子部52。
架子部52是藉由預定的成形材料所成形，形成為與第一、第二支承部35、36的表面相同高度，或較這些第一、第二支承部35、36的表面低的高度，在欲使具有與第一、第二支承部35、36相同的作用效果之情況等，將由第二成形材料所構成之接觸層37積層被覆於露出面中的至少表面。
此架子部52的成形材料，未被特別限定，當欲迴避與基板W之接觸的情況時，選擇第一成形材料。
架子部52的下面即裏面，在基板W以自動機拾取的情況時，為了防止拾取範圍變窄，設定成為位於較第一、第二支承部35、36的裏面更上方之高度。關於其他的部分，因與上述實施形態相同，所以省略其說明。
在本實施形態，也能期待與上述實施形態相同的作用效果，並且，對容器本體10，非以自動而是以手動插入基板W之情況，能夠藉由架子部52，抑制防止對隣接的支承片34之錯誤插入(斜插；Cross Slot)。
其次，圖16是顯示本發明的第5實施形態之圖，在此情況，將接觸層37分別僅層積於作為各支承體30的支承片34之第一、第二支承部35、36的表面的。關於其他的部分，因與上述實施形態相同，省略其說明。
在本實施形態，也能期待與上述實施形態相同的作用效果，並且，因將接觸層37積層於第一、第二支承部35、36的露出面中之至少表面，所以，可使接觸層37的積層領域而謀求成本降低。
其次，圖17、圖18是顯示本發明的第6實施形態之圖，在此情況，非藉由第一成形材料成形各支承體30的支承片34，而是藉由第二成形材料，成形各支承體30的支承片34與接觸層37並加以一體化，使基板W支承於各支承片34。
支承壁31與支承片34之境界6的周緣部，由強度確保的觀點來看，形成為前端變細的薄型突片5，將各薄型突片5的前端變細的傾斜角度θ做成5°~40°、，理想為 10°~30°，更理想為15°~20°的範圍，且形成境界6之傾斜面7的長度L做成0.4~5.0mm。關於其他的部分，因與上述實施形態相同，省略其說明。
在本實施形態，也能期待與上述實施形態相同的作用效果，並且，可期待製造法或結構之多樣化。
再者，上述實施形態之多色成形法的程序，可如以下般進行變更。例如，亦可對模具填充已可塑化之第一成形材料，射出成形第一成形體1，暫時予以開模後，使第一成形體1附著於模具的芯側的狀態下，將模具的旋轉盤旋轉180°旋轉，將模具進行鎖模後填充已可塑化之第二成形材料，成形第二成形體3，並且，在使第一、第二成形體1、3的境界6的周緣部的至少一部分形成為薄型突片5並熔融一體化後脫模，獲得具備創作性之文字、數字、記號等所形成的模樣之多色成形體。
又，除了使用具備上述二組射出裝置之專用機進行多色成形的方法以外，亦可適當地採用下述方法，即，例如，將二組的模具於垂直軸的周圍背對背的方式進行安裝，以垂直軸為中心予以半旋轉進行多色成形之方法，或在一組的模具內設置一次成形用與二次成形用的模腔、芯進行多色成形之方法等。又，亦可將此多色成形法進一步展開，增加成形成形體之壓缸數以近行數色的成形。
又，在上述實施形態，顯示第一、第二成形體1、3的直線的境界6，但不限於此，亦可做成波形、三角形、四角形、凹凸形、階差形、鋸齒形等的境界6來增大接觸 面積，用以獲得良好的接合。又，顯示前開箱型之基板收納容器，但不限於此，亦可例如，為由上部開口的開放式匣所構成之基板收納容器。又，若不會帶來阻礙的話，亦可不將承片34分割成第一、第二支承部35、36，而形成為平面大致呈ㄑ字形的平板等。
又，將各支承片34與接觸層37之境界6的周緣部形成為前端變細的薄型突片5，但不限於此，亦可例如，將任意的支承片34與接觸層37之境界6的周緣部的至少一部分形成為前端變細的薄型突片5。又，藉由成形，將支承壁31分別一體化於容器本體10的兩側壁，但，亦可使用螺絲、螺栓、螺帽等所構成之栓緊具來將支承壁31一體化於容器本體10的兩側壁，或藉由熱熔著、超音波熔著、雷射熔著等將其固定於容器本體10的兩側壁內面。又，亦可使用凹凸卡合等的技術，將支承壁31固定於容器本體10或其底部之底板。
又，亦可在藉由第一成形材料成形容器本體10之情況時，非由支承壁31，而是由容器本體10的側壁內面分別使第一、第二支承部35、36直接突出，將這些第一、第二支承部35、36與接觸層37之境界6的周緣部分別形成為前端變細的薄型突片5，將其前端變細的傾斜角度θ設為5°~40°的範圍，且將傾斜面7的長度L做成0.4~5.0mm。且，亦可將第一支承部35形成為在平面視角，呈組合了大致三角形與大致半圓形之形狀。
1‧‧‧第一成形體
3‧‧‧第二成形體
5‧‧‧薄型突片
6‧‧‧境界
7‧‧‧傾斜面
10‧‧‧容器本體
20‧‧‧蓋體
30‧‧‧支承體
31‧‧‧支承壁
32‧‧‧前部
33‧‧‧後部
34‧‧‧支承片
35‧‧‧第一支承部
36‧‧‧第二支承部
37‧‧‧接觸層
38‧‧‧表面
39‧‧‧階差部
40‧‧‧接觸層
50‧‧‧突起
51‧‧‧介裝被覆層(介裝層)
52‧‧‧架子部
W‧‧‧基板
Wa‧‧‧最接近部
圖1是示意地顯示本發明之多色成形體與多色成形法的實施形態之說明圖。
圖2是圖1的II-II線斷面說明圖。
圖3是示意地顯示圖2的III部之放大斷面說明圖。
圖4是示意地顯示本發明之基板收納容器的實施形態之全體斜視說明圖。
圖5是示意地顯示本發明之基板收納容器的實施形態之斷面說明圖。
圖6是示意地顯示本發明之基板收納容器的實施形態之支承體的正面說明圖。
圖7是圖5的VII-VII線斷面說明圖。
圖8是示意地顯示本發明之基板收納容器的實施形態之支承體的平面說明圖。
圖9是圖8的IX-IX線斷面說明圖。
圖10是圖8的X-X線斷面說明圖。
圖11是圖8的XI-XI線斷面說明圖。
圖12是示意地顯示本發明之基板收納容器的第2實施形態之斷面說明圖。
圖13是示意地顯示本發明之基板收納容器的第3實施形態之斷面說明圖。
圖14是示意地顯示本發明之基板收納容器的第4實施形態之平面說明圖。
圖15是示意地顯示本發明之基板收納容器的第4實 施形態之斷面說明圖。
圖16是示意地顯示本發明之基板收納容器的第5實施形態之斷面說明圖。
圖17是示意地顯示本發明之基板收納容器的第6實施形態之平面說明圖。
圖18是示意地顯示本發明之基板收納容器的第6實施形態之斷面說明圖。
1‧‧‧第一成形體
2‧‧‧凸部
3‧‧‧第二成形體
4‧‧‧凹部
5‧‧‧薄型突片
6‧‧‧境界
7‧‧‧傾斜面

Claims (10)

  1. 一種基板收納容器，是在收納基板的前開箱型的容器本體的內部兩側，分別設置將基板予以整列並支承的支承體，並將各支承體作為多色成形體的基板收納容器，其特徵為：支承體包含有：藉由第一成形材料成形且設於容器本體的內部側方之支承壁；藉由第一成形材料成形且被支承壁所支承之支承片；與藉由第二成形材料，層積成形於支承壁的局部與支承片，並與基板接觸之接觸層，以聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺中的任一者作為第一成形材料，以聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚甲醛、或聚醚醚酮作為第二成形材料將支承壁的局部與接觸層的境界的周緣部、以及支承片與接觸層之境界的周緣部，分別形成為斷面大致呈三角形且前端變細的薄型突片，將各薄型突片的前端變細的傾斜角度設定為5°~40°的範圍，而將各薄型突片的傾斜面做成0.4~5.0mm的長度。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板收納容器，其中，在容器本體的內部側方與支承體的支承壁之間，形成有與第二成形材料不同材料之介裝層。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之基板收納容器，其中，支承體包含有：藉由第二成形材料成形於支承壁，接觸於基板對支承壁之最接近部的接觸層。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之基板收納容器，其中，於層積於支承體的支承片的接觸層之表面，形成有與基板接觸之突起。
  5. 如申請專利範圍第1或2項之基板收納容器，其中，支承體的支承片包含有：由支承壁朝內方向突出，並與基板的側部靠近前端相對向的第一支承部；及由支承壁朝內方向突出，並與基板的側部靠近末端相對向的第二支承部，將接觸層分別層積於第一、第二支承部的露出面，並且將接觸層層積於支承壁與第二支承部之間，使支承壁與接觸層之境界的至少周緣部的一部分形成為斷面大致呈三角形且前端變細的薄型突片，此薄型突片的前端變細的傾斜角度設為5°~40°的範圍，而將薄型突片的傾斜面做成0.4~5.0mm的長度。
  6. 如申請專利範圍第5項之基板收納容器，其中，在支承體的支承壁，形成有介裝於第一、第二支承部之間的架子部。
  7. 如申請專利範圍第5項之基板收納容器，其中，將層積於第一、第二支承部的露出面之接觸層之表面，以描繪成與基板的中心部大致呈同心圓之圓錐的方式加以傾斜形成。
  8. 如申請專利範圍第3項之基板收納容器，其中，將支承壁與接觸層之境界的周緣部形成為斷面大致呈三角形且前端變細的薄型突片， 此薄型突片的前端變細的傾斜角度設定為5°~40°的範圍，而將薄型突片的傾斜面做成0.4~5.0mm的長度。
  9. 如申請專利範圍第6項之基板收納容器，其中，將支承體的架子部藉由第一成形材料成形，而形成為較第一、第二支承部的表面更低的高度，藉由第二成形材料將接觸層層積成形於該架子部的露出面中的至少表面。
  10. 如申請專利範圍第6項之基板收納容器，其中，將支承體的架子部背面形成為：位於較第一、第二支承部的背面更上方的高度。
TW096145149A 2006-12-01 2007-11-28 Substrate storage container TWI418456B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006325096A JP4920387B2 (ja) 2006-12-01 2006-12-01 基板収納容器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200833491A TW200833491A (en) 2008-08-16
TWI418456B true TWI418456B (zh) 2013-12-11

Family

ID=39467684

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW096145149A TWI418456B (zh) 2006-12-01 2007-11-28 Substrate storage container

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8318275B2 (zh)
EP (1) EP2098351B1 (zh)
JP (1) JP4920387B2 (zh)
KR (1) KR101410162B1 (zh)
CN (1) CN101588906B (zh)
TW (1) TWI418456B (zh)
WO (1) WO2008065892A1 (zh)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4881834B2 (ja) * 2007-10-30 2012-02-22 キヤノン株式会社 多層成形品およびその製造方法
CN102017119B (zh) 2008-03-13 2014-01-01 安格斯公司 具有管状环境控制部件的晶圆容器
EP2306504B1 (en) * 2008-06-23 2018-09-12 Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. Support body and substrate storage container
JP5092949B2 (ja) * 2008-07-07 2012-12-05 株式会社Ｓｕｍｃｏ ウェーハケース
US20120028063A1 (en) * 2009-04-20 2012-02-02 Kouichi Sakata Polybutylene terephthalate resin composition for welding and composite molded article
CN102844249B (zh) * 2010-04-20 2014-09-10 未来儿株式会社 基板收纳容器
JP5301731B2 (ja) * 2010-05-24 2013-09-25 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP6018404B2 (ja) * 2012-04-25 2016-11-02 株式会社荏原製作所 基板処理装置
JP6166275B2 (ja) * 2012-11-20 2017-07-19 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP6185268B2 (ja) * 2013-03-26 2017-08-23 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US9865487B2 (en) * 2013-09-11 2018-01-09 Miraial Co., Ltd. Substrate storage container
JP2015177165A (ja) * 2014-03-18 2015-10-05 ダイセル・エボニック株式会社 フロントオープニングシッピングボックス及びその製造方法
CN106796905A (zh) * 2014-08-28 2017-05-31 恩特格里斯公司 衬底容器
WO2016046985A1 (ja) * 2014-09-26 2016-03-31 ミライアル株式会社 基板収納容器
KR102374961B1 (ko) * 2015-04-10 2022-03-15 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 기판 수납 용기
US9601577B1 (en) 2015-10-08 2017-03-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Three-dimensionally integrated circuit devices including oxidation suppression layers
JP6191672B2 (ja) * 2015-10-15 2017-09-06 大日本印刷株式会社 基板用トレイ
JP6672570B2 (ja) * 2017-01-10 2020-03-25 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及び基板収納容器の製造方法
JP6915037B2 (ja) * 2017-02-27 2021-08-04 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP6905867B2 (ja) * 2017-05-26 2021-07-21 花王株式会社 歯ブラシ
JP7069475B2 (ja) * 2017-08-10 2022-05-18 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその製造方法
JP6992240B2 (ja) * 2017-11-16 2022-01-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
CN109203358A (zh) * 2018-09-19 2019-01-15 合肥联宝信息技术有限公司 一种复合材料的结构
US12027397B2 (en) * 2020-03-23 2024-07-02 Applied Materials, Inc Enclosure system shelf including alignment features

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4874654A (en) * 1987-06-15 1989-10-17 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Vehicle window glass
TWI225839B (en) * 2003-03-04 2005-01-01 Shinetsu Polymer Co Precision substrate storage container
TW200605261A (en) * 2004-06-11 2006-02-01 Shinetsu Polymer Co Container of substrate
TW200616870A (en) * 2004-10-14 2006-06-01 Miraial Co Ltd Storage container
JP2006324327A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器及びその製造方法
TWI281901B (en) * 2003-09-16 2007-06-01 Dainippon Printing Co Ltd Storing container of clad laminate

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4762822A (en) * 1985-08-08 1988-08-09 Ettinger Anna C Reduction of gastrointestinal disease-producing organisms with sialic acid and gangliosides
JP2607076B2 (ja) * 1987-02-13 1997-05-07 大同特殊鋼株式会社 鋼材加熱装置
JP3145252B2 (ja) 1994-07-29 2001-03-12 淀川化成株式会社 基板支承用側板およびそれを用いたカセット
US6428729B1 (en) 1998-05-28 2002-08-06 Entegris, Inc. Composite substrate carrier
US6808668B2 (en) * 1998-05-28 2004-10-26 Entegris, Inc. Process for fabricating composite substrate carrier
JP4159946B2 (ja) * 2003-08-19 2008-10-01 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP4226974B2 (ja) 2003-08-27 2009-02-18 紀伊産業株式会社 ２色成形品の製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4874654A (en) * 1987-06-15 1989-10-17 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Vehicle window glass
TWI225839B (en) * 2003-03-04 2005-01-01 Shinetsu Polymer Co Precision substrate storage container
TWI281901B (en) * 2003-09-16 2007-06-01 Dainippon Printing Co Ltd Storing container of clad laminate
TW200605261A (en) * 2004-06-11 2006-02-01 Shinetsu Polymer Co Container of substrate
TW200616870A (en) * 2004-10-14 2006-06-01 Miraial Co Ltd Storage container
JP2006324327A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2098351B1 (en) 2014-03-19
CN101588906B (zh) 2013-05-29
KR101410162B1 (ko) 2014-06-19
TW200833491A (en) 2008-08-16
EP2098351A4 (en) 2012-06-20
WO2008065892A1 (fr) 2008-06-05
EP2098351A1 (en) 2009-09-09
JP2008140948A (ja) 2008-06-19
US8318275B2 (en) 2012-11-27
US20110064896A1 (en) 2011-03-17
CN101588906A (zh) 2009-11-25
JP4920387B2 (ja) 2012-04-18
KR20090087889A (ko) 2009-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI418456B (zh) Substrate storage container
JP3838786B2 (ja) 精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法
JP4819043B2 (ja) 射出成形同時加飾用金型
WO2021234808A1 (ja) 基板収納容器
JP3942379B2 (ja) 精密基板収納容器の位置決め部材
KR20060115376A (ko) 인몰드 용기 및 그 제조장치
JP2006256311A (ja) 固体撮像素子収納ケース用樹脂製蓋材及びその製造方法
JP4217030B2 (ja) インモールド容器およびその製造装置
JP2003099747A (ja) メモリーカードの製造方法
WO2009102063A1 (ja) ガラスインサート成形用金型
JP2009131999A (ja) ガラスインサート成形用金型
JP2011056917A (ja) 金属調加飾樹脂成形品及び金属調加飾樹脂成形品の製造方法
JP2018018863A (ja) 容器本体の製造方法
JP6931302B2 (ja) 板状部材収容容器
JP2002305239A (ja) 基板収納容器及びその製造方法
JP4980202B2 (ja) 光学用梱包トレイ及びこれに収容された光学素子
WO2012043391A1 (ja) 樹脂成形品及び樹脂成形品製造用金型
JP7463090B2 (ja) 樹脂積層体および樹脂積層体の製造方法
TW201940394A (zh) 載帶、載帶之製造方法、帶狀包裝體以及帶狀包裝體之製造方法
US20040126220A1 (en) Front opening shipping box
JP2005064275A (ja) 収納容器及びその製造方法
JP3671029B2 (ja) ガラス基板搬送用ボックス
JP2022003673A (ja) 基板収納容器
KR200347362Y1 (ko) 메탈 cd 케이스
CN103803150B (zh) 卡盘收纳盒