1357630 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於在第1薄板處理裝置，及第1薄板處理裝 置與朝X軸方向隔開的第2薄板處理裝置之間，例如在浮起 玻璃基板等的薄板的狀態下進行移送的薄板移送裝置、薄 板處理移送系統、及薄板移送方法。 【先前技術】 在潔淨移送的領域所使用的薄板移送裝置的關連技術 ，是被揭示在依據專利協力條約所公開的國際公開公報： 第WO 20 06/ 1 293 8 5號（專利文獻1 )。以下針對於該關連 技術的薄板移送裝置的構成等簡單地加以說明。 首先，在第1處理站與第2處理站之間的移送站，設有 裝置本體，而在該裝置本體，朝X軸方向可移動地設有〕 形狀的支撐構件，在裝置本體的適當位置，設有朝X軸方 向移動支撐構件的支撐構件移動用電動機。又，在支撐構 件，朝X軸方向可移動地設有從下方向支撐薄板的機械手 ，而在支撐構件的適當位置，設有朝X軸方向移動機械手 的機械手移動用電動機。 在裝置本體，可昇降地設有朝X軸方向移送薄板的滾 子運送機，而在裝置本體的適當位置’設有可昇降滾子運 送機的運送機昇降用氣缸（運送機昇降用主動器的一例子 )。又，滾子運送機是具備：可旋轉在平行於Y軸方向的 軸心周圍的複數移送滾子，及進行旋轉複數移送滾子的滾 -4- 1357630 子旋轉用電動機。 因此，藉由支撐構件移動用電動機的驅動，對於裝置 本體朝X軸方向的一方側進行移動支撐構件，藉由機械手 移動用電動機的驅動，對於支撐構件朝X軸方向的一方側 進行移動機械手，而藉由機械手從下方向來支撐位於第1 薄板處理裝置的所定位置的薄板。又，藉由支撐構件移動 用電動機的驅動對於裝置本體朝X軸方向的另一方側進行 移動支撐構件，而藉由機械手移動用電動機的驅動對於支 撐構件朝X軸方向的另一方側進行移動機械手，俾將薄板 從第1薄板處理裝置朝裝置本體側拉出。 在將薄板從第1薄板處理裝置朝裝置本體側拉出之後 ’藉由運送機昇降用氣缸的驅動把運送機（昇降框）予以 上昇’而藉由將上述運送機的複數移送滾子對於機械手的 支撐高度位置（支撐薄板的高度位置）朝上方向予以突出 ’而將薄板從機械手交接給複數移送滾子。然後，藉由滾 子旋轉用電動機的驅動進行旋轉複數移送滾子，藉此，可 將薄板從裝置本體側送出至第2薄板處理裝置。 利用以上’可將薄板從第1薄板處理裝置移送至第2薄 板處理裝置。又，藉由進行與上述動作相反之動作，可將 薄板從第2薄板處理裝置移送至第丨薄板處理裝置。 然而’如上述地，在先前技術的薄板移送裝置中，爲 了在第1薄板處理裝置與第2薄板處理裝置之間進行薄板移 送’除了機械手’機械手移動用主動器等以外，還需要滾 子運送機及運送機昇降用主動器，使得薄板移送裝置的構 -5- 1357630 成變成複雜化’而且薄板移送裝置的製造成本有變高的趨 勢。 一方面，代替機械手及機械手移動用電動機等，藉由 使用在裝置本體具有設置成朝X軸方向可移動且在X軸方 向的兩端側（一端側與另一端側）吸附薄板背面的吸附墊 (在一端側爲第1吸附墊’另一端側爲第1吸附墊）的複數 臂，也可考量從薄板移送裝置的構成要素省略滾子運送機 及運送機昇降用主動器。亦即，藉由複數第1吸附墊來吸 附薄板背面’而將複數移送臂朝X軸方向的另一方側移動 ，藉此’從第1薄板處理裝置拉出薄板。然後，解除依複 數第1吸附墊的吸附狀態，俾將複數移送臂朝X軸方向—方 側移動’而藉由複數第2吸附墊來吸附薄板背面。之後， 藉由將複數移送臂朝X軸方向的另一方側移動，藉此，將 薄板送出至第2薄板處理裝置。藉此，不必使用滾子運送 機及運送機昇降用主動器，可將薄板從第1薄板處理裝置 移送至第2薄板處理裝置。 然而’使用複數移送臂，擬將薄板從第1薄板處理裝 置移送至第2薄板處理裝置時，則必須充分確保移送臂的χ 軸方向的移動範圍。所以擴大薄板移送裝置的X軸方向的 設置空間，成爲很難有效利用工廠的空間。 本發明是鑑於上述問題而創作者。因此，本發明的目 的是在於提供可得到簡化裝置的構成及降低裝置的製造$ 本的薄板移送裝置、薄板處理移送系統、及薄板移送方法 -6- 1357630 本發明的其他目的，因可充分地抑制移送臂的移動範 圔擴大的情形，因此提供減小裝置的設置空間而可有效利 用工廠的空間的薄板移送裝置、薄板處理移送系統、及薄 板移送方法。 【發明內容】 爲了達成上述目的，本發明的第1項觀點，是一種薄 板移送裝置，其特徵爲：具備以下：被配設於第1處理站 ，且對於薄板進行處理的第1薄板處理裝置；及被配設於 朝X軸方向相隔在上述第1處理站的第2處理站，且對於薄 板進行處理的第2薄板處理裝置；及設於上述第1處理站與 上述第2處理站之間的移送站的裝置本體；及設於上述裝 置本體，把薄板浮起的浮起單元，而在上述第1薄板處理 裝置與上述第2薄板處理裝置之間，以浮起上述薄板的狀 態予以移送所用的浮起單元；及朝X軸方向可移動且朝Y 軸方向隔著間隔設於上述裝置本體，而朝X軸方向延伸的 複數移送臂；及朝X軸方向移動複數上述移送臂的臂移動 用主動器；及分別設於上述各移送臂的X軸方向的一端側 ，將薄板從上述第1薄板處理裝置朝上述裝置本體側拉出 時吸附薄板的背面或表面的第1吸附墊；及分別設於上述 各移送臂的X軸方向的另一端側，將薄板從上述裝置本體 側朝上述第2薄板處理裝置送出時吸附薄板的背面或表面 的第2吸附墊。 本發明的第2觀點，是一種薄板處理移送系統，屬於 1357630 對於薄板進行處理及移送的薄板處理移送系統，其特徵爲 :具備以下：被配設於第1處理站，對於薄板進行處理的 第1薄板處理裝置；及被配設於朝X軸方向相隔在上述第1 處理站的第2處理站，對於薄板進行處理的第2薄板處理裝 置；及被配設於上述第1處理站與上述第2處理站之間的移 送站的薄板移送裝置；在上述構成中，上述薄板移送裝置 具有以下：裝置本體：及設於上述裝置本體，把薄板浮起 的浮起單元，而在上述第1薄板處理裝置與上述第2薄板處 理裝置之間，以浮起上述薄板的狀態予以移送所用的浮起 單元；及朝X軸方向可移動且朝Y軸方向隔著間隔設於上 述裝置本體，而朝X軸方向延伸的複數移送臂；及朝X軸 方向移動複數上述移送臂的臂移動用主動器；及分別設於 上述各移送臂的X軸方向的一端側，將薄板從上述第1薄板 處理裝置朝上述裝置本體側拉出時吸附薄板的背面或表面 的第1吸附墊；及分別設於上述各移送臂的X軸方向的另一 端側’將薄板從上述裝置本體側朝上述第2薄板處理裝置 送出時吸附薄板的背面或表面的第2吸附墊。 按照上述本案發明的第1觀點及第2觀點的特徵，則藉 由上述臂移動用主動器的驅動朝X軸方向的一方側移動複 數上述移送臂，藉由複數上述吸附墊進行吸附位於上述第 1薄板處理裝置的所定位置的薄板背面或表面。又把上述 浮起單元予以浮起動作下，藉由上述臂移動用主動器的驅 動’朝X軸方向的另一方側移動複數上述移送臂，俾將薄 板從上述第1薄板處理裝置朝上述裝置本體側拉出。 -8- 1357630 在將薄板從上述第1薄板處理裝置朝上述裝置本體側 拉出之後’解除依複數上述第1吸附墊的吸附狀態，而藉 由上述臂移動用主動器的驅動朝X軸方向的一方側移動複 數上述移送臂，又藉由複數上述第2吸附墊進行吸附薄板 的背面或表面。然後，把上述浮起單元進行浮起動作下， 藉由上述臂移動用主動器的驅動朝X軸方向的另一方側移 動複數上述移送臂，俾將薄板從上述裝置本體側朝上述第 2薄板處理裝置送出，解除依複數上述第2吸附墊的吸附狀 態。 藉由以上’可將薄板以浮起狀態從上述第1薄板處理 裝置移送至上述第2薄板處理裝置。又，在薄板移送裝置 藉由進行與上述動作相反的動作，則可將薄板以浮起狀態 從上述第2薄板處理裝置移送至上述第1薄板處理裝置。 主要爲在各移送臂的X軸方向的一端側，分別設有將 薄板從上述第1薄板處理裝置朝上述裝置本體側拉出時進 行吸附薄板的背面或表面的第1吸附墊，而在各移送臂的X 軸方向的另一端側’分別設有將薄板從上述裝置本體側朝 上述第2薄板處理裝置送出時進行吸附薄板的背面或表面 的上述第2吸附墊之故，因而不必使用滾子運送機及運送 機昇降用主動器等’可將薄板以浮起狀態從上述第1薄板 處理裝置移送至上述第2薄板處理裝置。 本案發明的第3項觀點，是使用藉由上述第！項觀點所 特定的薄板移送裝置，在被配設於第1處理站的第1薄板處 理裝置，及被配設於朝X軸方向隔開在上述第丨處理站的第 -9- 1357630 2處理站的第2薄板處理裝置之間，以浮起薄板的狀態下進 行移送的薄板移送方法。此薄板移送方法其特徵爲：包括 以下的步驟：將複數移送臂朝X軸方向的一方側移動，藉 由複數第1吸附墊進行吸附位於上述第1薄板處理裝置的所 定位置的薄板背面或表面的第1步驟·，及在結束上述第！步 驟之後’將浮起單元進行浮起動作，朝X軸方向的另一方 側移動複數上述移送臂’俾將薄板從上述第1薄板處理裝 置朝上述裝置本體側拉出的第2步驟；及在結束上述第2步 驟之後’解除利用複數上述第1吸附墊的吸附狀態，朝X軸 方向的一方側移動複數上述移送臂，藉由複數第2吸附墊 進行吸附薄板的背面或表面的第3步驟；及在結束上述第3 步驟之後，將上述浮起單元進行浮起動作，朝X軸方向的 另一方側移動複數上述移送臂，俾將薄板從上述裝置本體 側朝上述第2薄板處理裝置送出，而進行解除利用複數上 述第2吸附墊的吸附狀態的第4步驟。 依照上述本案發明的第3項觀點如上述地，不必使用 滾子運送機及運送機昇降用主動器等，就可將薄板以浮起 的狀態從上述第1薄板處理裝置移送至上述第2薄板處理裝 置。 本案發明的第4項觀點，是一種薄板移送裝置，其特 徵爲：具備以下：被配設於第1處理站，且對於薄板進行 處理的第1薄板處理裝置；及被配設於朝X軸方向相隔在上 述第1處理站的第2處理站，且對於薄板進行處理的第2薄 板處理裝置；及設於上述第1處理站與上述第2處理站之間 -10- 1357630 的移送站的裝置本體：及設於上述裝置本體，把薄板浮起 的浮起單元，而在上述第1薄板處理裝置與上述第2薄板處 理裝置之間，以浮起上述薄板的狀態予以移送所用的浮起 單元；及朝X軸方向可移動且朝Y軸方向隔著間隔設於上 述裝置本體，而朝X軸方向分別延伸的複數移送臂，各個 移送臂具有以下：朝X軸方向的一端側進行吸附薄板的背 面或表面的第1吸附墊，及朝X軸方向的另一端側進行吸附 薄板的背面或表面的第2吸附墊，藉由上述構成，從上述 第1處理裝置拉出薄板，或是朝上述第2薄板處理裝置送出 薄板的複數移送臂；及朝X軸方向移動上述複數之上述移 送臂的臂移動用主動器；及藉由上述移送臂，將薄板剛從 上述第1薄板處理裝置朝上述裝置本體側拉出之後，將薄 板對於上述裝置本體進行定位的剛拉出後用定位機構；及 藉由上述移送臂，將薄板從上述裝置本體側朝上述第2薄 板處理裝置送出之前，將薄板對於上述裝置本體進行定位 的送出之前用定位機構。 本案發明的第5項觀點，是一種薄板處理移送系統， 屬於對於薄板進行處理及移送的薄板處理移送系統，其特 徵爲：具備以下：被配設於第1處理站，對於薄板進行處 理的第1薄板處理裝置·，及被配設於朝X軸方向相隔在上述 第1處理站的第2處理站’對於薄板進行處理的第2薄板處 理裝置；及被配設於上述第1處理站與上述第2處理站之間 的移送站的薄板移送裝置，在上述構成中，上述薄板移送 裝置具有以下：裝置本體；及設於上述裝置本體，把薄板 -11 - 1357630 浮起的浮起單元，而在上述第1薄板處理裝置與上述第2薄 板處理裝置之間，以浮起上述薄板的狀態予以移送所用的 浮起單元；及朝X軸方向可移動且朝Y軸方向隔著間隔設 於上述裝置本體，而朝X軸方向分別延伸的複數移送臂； 各個移送臂具有以下：朝X軸方向的一端側進行吸附薄板 的背面或表面的第1吸附墊，及朝X軸方向的另一端側進行 吸附薄板的背面或表面的第2吸附墊，藉由上述構成，從 上述第1處理裝置拉出薄板，或是朝上述第2薄板處理裝置 送出薄板的複數移送臂：及朝X軸方向移動上述複數之上 述移送臂的臂移動用主動器；及藉由上述移送臂，將薄板 剛從上述第1薄板處理裝置朝上述裝置本體側拉出之後， 將薄板對於上述裝置本體進行定位的剛拉出後用定位機構 ;及藉由上述移送臂，將薄板從上述裝置本體側朝上述第 2薄板處理裝置送出之前’將薄板對於上述裝置本體進行 定位的送出之前用定位機構。 依照上述本案發明的第4觀點及第5觀點的特徵，藉由 上述臂移動用主動器的驅動，俾將複數之上述移送臂朝χ 軸方向的一方側移動’而藉由複數上述第1吸附塾來吸附 位於上述第1薄板處理裝置的所定位置的薄板的背面或表 面。然後’把上述浮起單元予以浮起動作下，藉由上述臂 移動用主動器的驅動朝X軸方向的另一方側移動複數上述 移送臂’而藉由上述移送臂將薄板從上述第1薄板處理裝 置朝上述裝置本體側拉出。又，剛拉出薄板之後，藉由上 述剛拉出之後用定位機構，俾將薄板對於上述裝置本 -12- 1357630 行定位。之後，解除依複數上述第1吸附墊的吸附狀態’ 藉由上述臂移動用主動器的驅動，朝X軸方向的一方側移 動上述複數上述移送臂，而藉由複數上述第2吸附墊或複 數上述第1吸附墊來吸附薄板的背面或表面。 藉由複數上述第2吸附墊或複數上述第1吸附墊來吸附 薄板的背面或表面之後，把上述浮起單元予以浮起動作下 ，藉由上述臂移動用主動器的驅動器，將複數上述移送臂 朝X軸方向的另一方側移動。然後，藉由上述移送臂剛將 薄板從上述裝置本體側朝上述第2薄板處理裝置送出之前 ，藉由上述送出之前用定位機構，將薄板對於上述裝置本 體進行定位。 藉由上述送出之前用定位機構，將薄板對於上述裝置 本體進行定位之後，解除依複數上述第2吸附墊或複數上 述第1吸附墊的吸附狀態’利用上述臂移動用主動器的驅 動朝X軸方向的一方側移動複數上述移送臂，而藉由複數 上述第2吸附墊進行吸附薄板的背面或表面。之後，把上 述浮起單元予以浮起動作下，利用上述臂移動用主動器的 驅動朝X軸方向的另一方側移動複數上述臂，藉此，藉由 上述移送臂將薄板從上述裝置本體側送出至上述第2薄板 處理裝置’俾解除依複數上述第2吸附墊的吸附狀態。 利用以上’可將薄板以浮起的狀態下從上述第1薄板 處理裝置移送至上述第2薄板處理裝置。 主要爲，在上述裝置本體朝χ軸方向可移動地設有複 數上述移送夤，各移送臂是在χ軸方向的―端側分別具有 -13- 1357630 上述第1吸附墊，而在X軸方向的另一端側分別具有上述第 2吸附墊之故，因而不必使用滾子運送機及運送機昇降用 主動器，就可將薄板從上述第1薄板處理裝置移送至上述 第2薄板處理裝置。 又，剛將薄板從上述第1薄板處理裝置朝上述裝置本 體側拉出之後’藉由上述剛拉出後用定位機構將薄板對於 上述裝置本體進行定位，朝X軸方向的一方側移動複數上 述移送臂，而且剛將薄板從上述裝置本體側朝上述第2薄 板處理裝置送出之前，藉由上述送出之前用定位機構將薄 板對於上述裝置本體進行定位，朝X軸方向的一方側移動 複數上述移送臂之故，因而可充分地抑制上述移送臂的X 軸方向的移動範圍擴大的情形。 本案發明的第6項觀點，是使用上述第4項觀點所述的 薄板移送裝置，在被配設於第1處理站的第1薄板處理裝置 ’及被配設於朝X軸方向隔開在上述第1處理站的第2處理 站的第2薄板處理裝置之間，以浮起薄板的狀態下進行移 送的薄板移送方法，該薄板移送方法的特徵爲：包括以下 的步驟：將複數移送臂朝X軸方向的一方側移動，藉由複 數第1吸附墊進行吸附位於上述第1薄板處理裝置的所定位 置的薄板背面或表面的第1步驟；及在結束上述第1步驟之 後’將浮起單元進行浮起動作，利用朝X軸方向的另一方 側移動複數上述移送臂，藉由上述移送臂將薄板從上述第 1薄板處理裝置朝裝置本體側拉出，同時在剛拉出薄板之 後，藉由剛拉出之後用定位機構，俾將薄板對於上述裝置 -14- 1357630 本體進行定位的第2步驟；及在結束上述第2步驟之後，解 除利用複數上述第1吸附墊的吸附狀態，朝X軸方向的一方 側移動複數上述移送臂，藉由複數上述第2吸附墊或是複 數上述第1吸附墊進行吸附薄板的背面或表面的第3步驟： 及在結束上述第3步驟之後，將上述浮起單元進行浮起動 作，朝X軸方向的另一方側移動複數上述移送臂，藉由上 述移送臂，將薄板剛從上述裝置本體側朝上述第2薄板處 理裝置送出之前，藉由剛送出之前用定位機構俾將薄板對 於上述裝置本體進行定位的第4步驟；及在結束上述第4步 驟之後，解除利用複數上述第2吸附墊或是複數上述第1吸 附墊的吸附狀態，朝X軸方向的一方側移動複數上述移送 臂，藉由複數上述第2吸附墊進行吸附薄板的背面或表面 的第5步驟；及在結束上述第5步驟之後，將上述浮起單元 進行浮起動作，朝X軸方向的另一方側移動複數上述移送 臂’藉此’藉由上述移送臂將薄板朝上述第2薄板處理裝 置送出’而進行解除利用複數上述第2吸附墊的吸附狀態 的第6步驟。 依上述本案發明的第6項觀點的特徵，如上述地，不 必使用滾子運送機及運送機昇降用主動器，就可將薄板從 上述第1薄板處理裝置移送至上述第2薄板處理裝置。 又’剛將薄板從上述第1薄板處理裝置朝上述裝置本 體側拉出之後，藉由上述剛拉出後用定位機構將薄板對於 上述裝置本體進行定位’朝X軸方向的一方側移動複數上 述移送臂，而且剛將薄板從上述裝置本體側朝上述第2薄 -15- 1357630 板處理裝置送出之前，藉由上述送出之前用定位機構將薄 板對於上述裝置本體進行定位，朝X軸方向的一方側移動 複數上述移送臂之故，因而可充分地抑制上述移送臂的X 軸方向的移動範圍擴大的情形。 又，依照本案發明的第1觀點至第6觀點，則不必使用 滾子運送機及運送機昇降用主動器等，就可將薄板以浮起 狀態從上述第1薄板處理裝置移送至上述第2薄板處理裝置 之故，因而可得到簡化上述薄板移送裝置的構成及降低上 述薄板移送裝置的製造成本。 又，依照本案發明的第1觀點至第6觀點可充分地抑制 移送臂的X軸方向的移動範圍之故，因而可減少上述薄板 移送裝置的X軸方向的設置空間，而可有效利用工廠的空 間。 【實施方式】 針對於本發明的第1實施形態參照第1圖至第7圖加以 說明。 又，第1圖是表示本發明的實施形態的主要部分的薄 板移送裝置的俯視圖。第2圖是表示沿著上述第1圖的Π-Π 線的圖式。第3 ( a )圖是表不沿著第1圖的I π a -111A線的 圖式。第3 (b)圖是表示沿著第1圖的ΙΠΒ-ΙΙΙΒ線的圖式 。第4(&)圖是表示沿著第1圖的1¥八-1乂八線的圖式。第4 (b)圖是表示沿著第1圖的IVB-IVB線的圖式。第5 (a) 圖 '第5(b)圖、第5(c)圖是表示說明本發明的實施形 -16- 1357630 態的薄板移送方法的圖式。第6(a)圖 '第6(b)圖是表 示說明本發明的實施形態的薄板移送方法的圖式。第7圖 是表示本發明的實施形態的薄板處理移送系統的模式性俯 視圖。 又，在本發明的專利說明書及申請專利範圍中，「設 置」是指除了直接地設置的情形之外，還包括經由其他構 件被間接地設置的意思。又，「薄板的原理」是指包括薄 板的製程處理、薄板的搬運處理、薄板的保管處理等的意 思，在製程處理是包括蝕刻處理、CVD處理、PVD處理等 〇 如第7圖所示地，本發明的實施形態的薄板處理移送 系統1，是例如對於玻璃基板等的薄板W進行各種處理（ 本發明的實施形態，爲製程處理與保管處理）及移送的系 統。又，針對於薄板處理移送系統1加以槪說，成爲如下 〇 在第1處理站PS1，沿著Y軸（Y-AXIS)方向，換言之 沿著將裝置作爲平面視時的前後方向配設有對於薄板w進 行處理的複數第1薄板處理裝置3A、3B、3C。又，在第1 處理站PS 1，隔開著X軸方向，換言之隔開著將裝置作爲平 面視時的左右方向的第2處理站PS2，沿著Y軸方向配設有 進行薄板W的處理的複數第2薄板處理裝置5A、5B、5C。 又，在第1處理站PS1與第2處理站PS2之間的移送站TS，被 配設有將薄板W以浮起狀態移送在第1薄板處理裝置3A、 3B、3C與第2薄板處理移送系統5A、5B' 5C之間的薄板移 -17- l35?63〇 送裝置7。 在此’第1薄板處理裝置3A及第2薄板處理裝置5A， 是如日本國專利公報的特開2005-170675號所示地，對於 薄板W進行保管處理的裝置，第1薄板處理裝置3B、3C及 第2薄板處理裝置5B、5C是對於薄板W行蝕刻處理或CVD 處理等的製程處理的裝置。又，在第1薄板處理裝置3A的 適當位置，第1薄板處理裝置3B、3C的薄板搬入出部9。第 2薄板處理裝置5A的適當位置，及第2薄板處理裝置5B、 5C的薄板搬入出部11，分別設有以空氣壓力浮起薄板w的 複數浮起單元13，而在各浮起單元13的上面，分別形成有 噴出空氣的複數孔狀的噴嘴13η。 繼續，針對於薄板處理移送系統1的薄板移送裝置7的 具體性構成加以說明。 如第1圖及第2圖所不地’在移送站TS的地面，設有朝 Υ軸延伸的一對導軌15，而在一對導軌15，朝Υ軸方向可 移動地設有裝置本體I7，該裝置本體17是由：被引導支撐 於一對導軌1 5的腳框1 9 ’及水平地設於該腳框丨9的上側的 支撐框21所構成。又’在腳框19的適當位置，設有朝γ軸 方向移動裝置本體I7的裝置本體移動用電動機（裝置本體 移動用主動器的一例）23，而在該裝置本體移動用電動機 23的輸出軸，一體地設有小齒輪25’在移送站ts的地面的 —對導軌15之間，設有嚙合於小齒輪25且朝Y軸方向延伸 的齒條2 7。 在支擦框21 ’沿者X軸方向及γ軸方向設有藉由空氣 -18- 1357630 壓力浮起薄板W的複數浮起單元29，而在各浮起單元29的 上面，分別形成有噴出空氣的複數孔狀的噴嘴29η。又， 代替在各浮起單元29的上面分別形成有複數孔狀的噴嘴 29η，如日本國專利公報的特開2006- 1 82563號所示地，形 成有對於垂直方向朝單元中心側傾斜的框狀噴嘴也可以。 在支撐框2 1，朝Υ軸方向隔著間隔（朝Υ軸方向隔離 )設有朝X軸方向延伸的一對的支撐托架31 (靠前的支撐 托架31與靠後的支撐托架31)，在各支撐托架31，朝X軸 方向可移動地分別設有滑件33，而在各滑件33，經由昇降 桿37可昇降地分別設有朝X軸方向延伸的移送臂35。換言 之在支撐框21，經由支撐托架31、滑件33、及昇降桿37朝 X軸方向可移動，可昇降且朝Υ軸方向隔著間隔設有一對 移送臂3 5。又，在各滑件3 3，分別設有可昇降位於對應關 係的移送臂35的臂昇降用氣缸（臂昇降用主動器的一例） 39 ° 在各支撐托架3 1，經由複數滑車43可行走地分別設有 朝X軸方向延伸的無端狀定時皮帶4 1，而各滑件3 3是分別 被連結於位於對應關係的定時皮帶4 1的適當位置。又，靠 前的支撐托架31的適當位置，設有可將一對移送臂35與滑 件33 —體地朝X軸方向移動的臂移動用電動機（臂移動用 主動器的一例）45，該臂驅動用電動機45的輸出軸（省略 圖示），是經由連結軸等所成的臂用連結機構（省略圖示 )被連動連結於一對定時皮帶41。 在各移送臂3 5的X軸方向的一端側（左端側），分別 -19- 1357630 設有從任一第1薄板處理裝置3A(3B、3C)朝裝置本體側 (浮起單元側）拉出薄板W時進行吸附薄板W的背面的X軸 方向的另一端側的部位的第1吸附墊47。又，在各移送臂 3 5的X軸方向的另一端側（右端側），分別設有從裝置本 體側朝任一第2薄板處理裝置5A(5B、5C)送出薄板W時 進行吸附薄板W的背面的X軸方向的一端側的部位的第2吸 附墊49。 如第1圖所示地，薄板移送裝置7是具備：可碰觸到薄 板W的X軸方向的一端面（左端面）的一對X軸基準滾子51 ，對薄板W的X軸方向的另一端面（右端面）具彈推力而 可碰到的X軸彈推滾子55，可碰觸到薄板W的Y軸方向的一 端面（前端面）的一對Y軸基準滾子59，及對薄板W的Y軸 方向的另一端面（後端面）具彈推力而可碰觸到的Y軸彈 推滾子61。又，一對X軸基準滾子51及X軸彈推滾子55, 是對於薄板浮起高度位置（藉由浮起單元29所浮起的薄板 W的高度位置）FLP可出沒[參照第3 ( a ) ( b )圖]，一對 Y軸基準滾子59及Y軸彈推滾子61，是對於薄板浮起高度 位置FLP朝上方向突出[參照第4 ( a ) ( b )圖]。又’ X軸 基準滾子51的周邊構成，X軸彈推滚子55的周邊構成，Y 軸基準滾子59的周邊構成，及一對Y軸彈推滾子61的周邊 構成，是成爲如下。 亦即，如第2圖及第3 (a)圖所示地’在支撐框21的X 軸方向的一端側近旁（左端部近旁）’經由左導件61朝X 軸方向可移動地設有左塊部59’在支撐框21的適當位置’ -20- 1357630 設有將左塊部朝X軸方向移動在左塊部用基準位置[在第3 (a)圖中以虛線表示的位置]及左塊部用躲避位置{從左 塊部用基準位置朝X軸方向的一方側[在第3 (a)圖中爲左 方側]躲避的位置[在第3 ( a )圖中以實線表示的位置]}之 間的左塊部移動用氣缸63。又，在左塊部59，經由昇降桿 (省略圖示）可昇降地設有在垂直軸周圍旋轉自如地支撐 X軸基準滚子51的滾子支撐構件65，而在左塊部59，設有 將X軸基準滾子51與滾子支撐構件65 -體地昇降的X軸基 準滾子昇降用氣缸67 (X軸基準滾子51的周邊構成）。 如第2圖及第3 (b)圖所示地，在支撐框21的X軸方向 的另一端部近旁（右端部近旁），經由右導件71朝X軸方 向可移動地設有右塊部69，在支撐框21的適當位置，設有 將右塊部69朝X軸方向移動在右塊部用基準位置[在第3 (b )圖中以虛線表示的位置]及在右塊部用躲避位置{從右塊 部用基準位置朝X軸方向的另一方側[在第3 ( b )圖中爲右 方側]躲避的位置[在第3 ( b )圖中以實線表示的位置]}之 間的右塊部移動用氣缸7 3。又在右塊部6 9，經由中間構件 77及昇降桿（省略圖示）可昇降地設有在垂直軸周圍旋轉 自如地支撐X軸彈推滾子55的滾子支撐構件75，而在右塊 部69，設有將X軸彈推滾子55與滚子支撐構件75一體地昇 降的X軸彈推滾子昇降用氣缸79。又，在中間構件77的適 當位置，設有朝X軸方向的一方側[在第3 ( b )圖中爲左方 側]彈推X軸彈推滾子55的彈簧81 (X軸彈推滾子55的周邊 構成）。 -21 - 1357630 如第2圖及第4 (a)圖所示地’在支撐框21的Y軸方向 的一端部（前端部），經由前導件85朝Υ軸方向可移動地 設有前塊部83，在支撐框21的適當位置’設有將前塊部83 朝Υ軸方向移動在前塊部用基準位置[在第4 (a)圖中以虛 線表示的位置]及前塊部用躲避位置{從前塊部用基準位置 朝Y軸方向的一方側[在第4 (a)圖中爲右方側]躲避的位 置[在第4 (a)圖中以實線表示的位置]}之間的前塊部移動 用氣缸87。又，在前塊部83，設有在垂直軸周圍旋轉自如 地支撐Y軸基準滾子59的滾子支撐構件89 ( Y軸基準滾子 59的周邊構成）。 如第2圖及第4(b)圖所示地，在支撐框21的Y軸方向 的另一端部（前端部），經由後導件93朝Y軸方向可移動 地設有後塊部9 1，在支撐框2 1的適當位置，設有將後塊部 91朝Y軸方向移動在後塊部用基準位置[在第4(b)圖中以 虛線表示的位置]及在後塊部用躲避位置{從後塊部用基準 位置朝Y軸方向的另一方側[在第4 ( b )圖中爲左方側]躱 避的位置[在第4 ( b )圖中以實線表示的位置]}之間的後塊 部移動用氣缸95。又在後塊部91，經由中間構件99設有在 垂直軸周圍旋轉自如地支撐Y軸彈推滾子61的滾子支撐構 件97，又在中間構件99的適當位置，設有朝γ軸方向的— 方側[在第4 ( b )圖中爲右方側]彈推γ軸彈推滾子6 1的彈 簧100 (Y軸彈推滾子6丨的周邊構成）。 利用上述構成，藉由驅動一對X軸基準滾子昇降用氣 缸67’俾將一對X軸基準滾子51予以上昇，對於薄板浮起 -22- 1357630 高度位置FLP朝上方突出。之後，藉由驅動一對左塊部移 動用氣缸63，俾將一對左塊部5 9從左塊部用躲避位置一直 移動至左塊部用基準位置，藉此，將一對X軸基準滾子51 碰觸到朝裝置本體17側拉出的薄板W的X軸方向的一端面 。又，將X軸彈推滾子55以對於薄板浮起高度位置FLP朝 上方向突出的狀態下，藉由驅動一對右塊部移動用氣缸73 ，俾將右塊部69從右塊部用躲避位置一直移動至右塊部用 基準位置，藉此，俾將X軸彈推滚子55以彈簧81的彈推力 碰觸到薄板W的X軸方向的另一端面。藉由此，可將薄板W 對於裝置本體1 7朝X軸方向進行定位。 又，藉由驅動一對前塊部移動用氣缸87，俾將一對前 塊部83從前塊部用躲避位置一直移動至前塊部用基準位置 ，藉此，將一對Y軸基準滾子59碰觸到薄板W的Y軸方向的 一端面。又，藉由驅動一對後塊部移動用氣缸95，俾將後 塊部91從後塊部用躲避位置一直移動至後塊部用基準位置 ，藉此，俾將Y軸彈推滾子61以彈簧100的彈推力碰觸到薄 板W的Y軸方向的另一端面。藉由此，可將薄板W對於裝置 本體17朝Y軸方向進行定位。 又，一對X軸基準滾子151、X軸彈推滾子55、Y軸基 準滾子59、一對Y軸彈推滾子61、及此些的周邊構成，是 相當於將薄板W對於裝置本體1 7進行定位的定位機構者。 以下，針對於本發明的第1實施形態的薄板移送方法 參照第5圖及第6圖加以說明。 本發明的實施形態的薄板移送方法，是例如在將薄板 -23- 1357630 浮起在第1薄板處理裝置3A與第2薄板處理裝置5C之間的狀 態下進行移送的方法。具備如下的第1步驟至第4步驟° (i )第1步驟 如第5 (a)圖所示地，藉由驅動裝置本體移動用電動 機23，俾朝Y軸方向移動裝置本體17，而將裝置本體17位 於鄰接於第1薄板處理裝置3 A的位置（換言之，將薄板W 從第1薄板處理裝置3A可拉出至裝置本體17側的位置）。 之後，藉由驅動臂移動用電動機45，朝X軸方向的一方側 (第5圖及第5圖中爲左方側）移動一對移送臂35，藉此， 如第5 ( b )圖所示地，將一對第1吸附墊47位置於位在第1 薄板處理裝置3A的所定位置的薄板W的下方位置。然後， 藉由驅動一對臂昇降用氣缸39把移送臂35予以上昇，而藉 由一對第1吸附墊47進行吸附薄板W的背面的X軸方向的另 一端側的部位。 (Π )第2步驟 結束第1步驟之後，從複數浮起單元29的噴嘴29η噴出 空氣’藉由驅動臂移動用電動機45，朝X軸方向的另一方 側（在第5圖及第6圖中爲右方側）移動—對移送臂35，藉 此，如第5(c)所示地’將薄板W從第1薄板處理裝置3Α 朝裝置本體1 7側（浮起單元29側）拉出。 (iii)第3步驟 -24- 1357630 結束第2步驟之後，如上述地，將一對X軸基準滾子51 碰觸到薄板W的X軸方向的一端面，而將X軸彈推滚子55以 具有彈簧81的彈推力碰觸到薄板W的X軸方向的另一端面 ，而且將一對Y軸彈推滾子5 9碰觸到薄板W的Y軸方向的一 端面，而將Y軸基準滾子61以彈簧100的彈推力碰觸到薄板 的Y軸方向的另一端面，藉此，如第5(c)圖所示地，對 於裝置本體17朝X軸方向及Y軸方向進行定位薄板W。然後 ，解除依一對第1吸附墊4 7的吸附狀態，藉由驅動一對臂 昇降用氣缸39，俾將一對移送臂35予以下降。之後，如第 6(a)圖所示地，藉由驅動臂移動用電動機45，朝X軸方 向的一方側移動一對移送臂35，而藉由驅動一對臂昇降用 氣缸39，把一對移送臂35予以上昇，藉由一對第2吸附墊 49進行吸附薄板W的背面的X軸方向的一端側部位。又， 一對X軸基準滾子51及X軸彈推滾子55對於薄板浮起高度 位置FLP朝下方向被沒入，而且將左塊部59位於左塊部用 躲避位置，將右塊部69位於右塊部用躲避位置，將前塊部 8 3位於前塊部用躲避位置，而將後塊部9 1位於後塊部用躲 避位置。 又’在第3步驟中，藉由驅動裝置本體移動用電動機 23’朝Y軸方向移動裝置本體17，並將裝置本體17位於鄰 接在第2薄板處理裝置5C的位置（換言之，將薄板從裝置 本體17側可送出至第2薄板處理裝置5C的位置）。 (i v )第4步驟 -25- 1357630 結束第3步驟之後，從複數浮起單元29的噴嘴29n噴出 空氣’藉由驅動臂移動用電動機45，朝X軸方向的—方側 移動一對移送臂35，藉此，如第6(b)圖所示地，將薄板 W從裝置本體17側朝第2薄板處理裝置5C送出。又，解除 依一對第2吸附墊49的吸附狀態，藉由驅動—對臂昇降用 氣缸39，把一對移送臂35予以下降。 利用以上’例如在將薄板W從第1薄板處理裝置3 a朝 第2薄板處理裝置5C浮起的狀態下可予以移送。又，藉由 在薄板移送裝置7進行與上述動作相反的動作，例如將薄 板W從第2薄板處理裝置5C朝第1薄板處理裝置3A浮起的狀 態下可進行移送。 以下’針對於本發明的第1實施形態的作用及效果加 以說明。 在各移送臂3 5的X軸方向的一端側，分別設有將薄板 W從任一第1薄板處理裝置3A(3B、3C)朝裝置本體17側 拉出時吸附薄板W的背面的第1吸附墊47，而在各移送臂 35的X軸方向的另一端側，分別設有將薄板W從裝置本體 17側朝任一第2薄板處理裝置5A(5B、5C)送出時吸附薄 板W的背面的第2吸附墊49之故，因而不必使用滾子運送 機及運送機昇降用主動器等，而可將薄板W以浮起狀態從 任一第1薄板處理裝置3A(3B、3C)移送至任一第2薄板 處理裝置5A ( 5B、5C )。 又，藉由相同理由，在複數第1薄板處理裝置3A' 3B 、3 C不必具備將薄板W送出至裝置本體1 7側的薄板送出機 -26- 1357630 構，而且成爲在複數第2薄板處理裝置5A、5B、5C不必具 備將薄板W從裝置本體1 7側拉出的薄板拉出機。 因此’依照本發明的實施形態，不必使用滾子運送機 及運送機昇降用主動器等，而將薄板W以浮起的狀態從任 —第1薄板處理裝置3A(3B、3C)可移送至任一第2薄板 處理裝置5A(5B、5C)之故，因而可得到簡化薄板移送 裝置7的構成及降低薄板移送裝置7的製造成本，換言之， 可得到簡化薄板處理移送系統1的構成及降低薄板處理移 送系統1的製造成本。 尤其是，在複數第1薄板處理裝置3A、3B、3C不必具 備將薄板W送出至裝置本體17側的薄板送出機構，而且成 爲在複數第2薄板處理裝置5A、5B、5C不必具備將薄板W 從裝置本體17側拉出的薄板拉出機之故，因而可更得到簡 化薄板處理移送系統1的構成及降低薄板處理移送系統1的 製造成本。 以下，針對於本發明的第2實施形態參照第2圖、第8 圖至第1 4圖加以說明。 在此，第8圖是表示本發明的第2實施形態的薄板移送 裝置的俯視圖。又，將沿著第8圖的Π-Π線的圖式，與本 發明的第1實施形態同樣地表示於第2圖。第9 ( a )圖是表 示沿著第8圖的IXA-IXA線的圖式’第9(b)圖走沿著第8 圖的1又8-1又8線的圖式。第10(3)圖是沿著第8圖的乂八-X A線的圖式，第10(b)圖是沿著第8圖的XB-XB線的圖式 。第11(a)圖、第11(b)圖、第H(c)圖是表示說明 -27- 1357630 本發明的實施形態的薄板移送方法的圖式。第12 (a)圖 、第12(b)圖是表示說明本發明的實施形態的薄板移送 方法的圖式。第13 (a)圖、第13 (b)圖是表示說明本發 明的實施形態的薄板移送方法的圖式。第Μ圖是表示本發 明的實施形態的薄板處理移送系統的模式性俯視圖。 如第1 4圖所示地’本發明的第2實施形態的薄板處理 移送系統2 0 1 ’是與上述的第1實施形態同樣，例如對於玻 璃基板等的薄板W進行各種處理（在本發明的實施形態中 ，爲製程處理與保管處理）及移送的系統。又，針對於上 述薄板處理移送系統201加以槪略說明，則成爲如下。 第1處理站PS1及朝X軸方向（換言之，左右方向）隔 開於該第1處理站PS1的第2處理站PS2，是與上述第1實施 形態同樣的構成。還有在上述第1處理站PS1與上述第2處 理站PS2之間，設有移送站YS 100，而配設有將薄板W以浮 起狀態移送在第1薄板處理裝置3Α、3Β、3C與第2薄板處 理裝置5Α、5Β、5C之間的薄板移送裝置的薄板移送裝置 107 ° 上述薄板移送裝置107是改良上述第1實施形態的薄板 移送裝置7者之故，因而以下針對於薄板處理移送系統201 的該薄板移送裝置1 07的具體性構成加以說明。 如第2圖及第8圖所示地，在移送站TS1 00的地面，設 有朝Υ軸方向延伸的一對導軌15，而在一對導軌15，朝Υ 軸方向可移動地設有裝置本體17，該裝置本體17是由：被 引導支撐於一對導軌15的腳框19，及水平地設於該腳框19 -28- 1357630 的上側的支撐框21所構成。又’在腳框19的適當位置，設 有朝Y軸方向移動裝置本體17的裝置本體移動用電動機（ 裝置本體移動用主動器的一例）23，而在該裝置本體移動 用電動機23的輸出軸，一體地設有小齒輪25 ’在移送站 TS100的地面的一對導軌15之間，設有嚙合於小齒輪25且 朝Y軸方向延伸的齒條27。 在支撐框21，朝Y軸方向隔著間隔（朝γ軸方向隔離 )設有朝X軸方向延伸的一對的支撐托架31 (靠前的支撐 托架31與靠後的支撐托架31)，在各支撐托架31，朝X軸 方向可移動地分別設有滑件3 3 〇又’在各滑件3 3 ’經由昇 降桿37可昇降地分別設有朝X軸方向延伸的移送臂35，一 對移送臂35是對於任一第1薄板處理裝置3A(3B、3C)進 行薄板W的拉出及送出，或是對於第2薄板處理裝置5A( 5B、5C)進行薄板W送出及拉出者。換言之在支撐框21， 經由支撐托架3 1、滑件33、及昇降桿37朝X軸方向可移動 ，可昇降且朝Y軸方向隔著間隔設有一對移送臂35。各移 送臂35是朝X軸方向分別延伸，而在X軸方向的一端側， 分別具有吸附薄板W的背面的第1吸附墊47，在X軸方向的 另一端側分別具有吸附薄板W的背面的第2吸附墊49。又 ，在各滑件3 3，分別設有可昇降位於對應關係的移送臂3 5 的臂昇降用氣缸（臂昇降用主動器的一例）43。 如第8圖所示地，薄板移送裝置107是具備：剛將薄板 W從任一第1薄板處理裝置3A(3B、3C)朝裝置本體17側 拉出之後（剛拉出薄板之後）可碰觸到薄板W的X軸方向 -29- 1357630 的一端面（左端面）的一對第IX軸基準滾子151。剛將薄 板W從裝置本體17側朝任一第2薄板處理裝置5A(5B、5C )送出之前（剛送出薄板之前）可碰觸到薄板w的X軸方 向的一端面的一對第2X軸基準滾子153，剛拉出薄板之後 ’以彈推力碰觸到薄板W的X軸方向的另一端面（右端面 )的第1 X軸彈推滾子1 5 5，剛送出薄板之前，以彈推力碰 觸到薄板W的X軸方向·的另一端面的第2X軸彈推滾子157， 可碰觸到薄板W的Y軸方向的一端面（前端面）的—對γ軸 基準滾子159，及以彈推力可碰觸到薄板W的Y軸方向的另 —端面（後端面）的Y軸彈推滾子161。又，一對第IX軸 基準滾子151，一對第2X軸基準滾子153，第IX軸彈推滾 子155，及第2X軸彈推滾子157，是對於薄板浮起高度位置 (藉由浮起單元29所浮起的薄板W的高度位置）FLP可出 沒[參照第9(a) (b)圖]，一對Y軸基準滾子159及Y軸彈 推滾子161，是對於薄板浮起高度位置FLP朝上方向突出[ 參照第10(a) (b)圖]。又，第IX軸基準滾子151的周邊 構成，第2X軸基準滾子153的周邊構成，第IX軸彈推滚子 155的周邊構成，第2X軸彈推滾子157的周邊構成，Y軸基 準滾子159的周邊構成，及一對Y軸彈推滾子161的周邊構 成，是成爲如下。 亦即，如第2圖及第9 (a)圖所示地，在支撐框21的X 軸方向的一端部（左端部），經由左導件1 65朝X軸方向可 移動地設有第1左塊部163’在支撐框21的適當位置’設有 將第1左塊部163朝X軸方向移動在第1左塊部用基準位置[ -30- 1357630 在第9 (a)圖中以虛線表示的位置]及第〗左塊部用躲避位 置{從第1左塊部用基準位置朝X軸方向的一方側[在第9 ( a )圖中爲左方側]躲避的位置[在第9 ( a )圖中以實線表示 的位置]}之間的第1左塊部移動用氣缸67。又，在第1左塊 部163，經由昇降桿（省略圖示）可昇降地設有在垂直軸 周圍旋轉自如地支撐第IX軸基準滾子151的滾子支撐構件 169，而在第1左塊部163，設有將第IX軸基準滾子151與滾 子支撐構件169 —體地昇降的第IX軸基準滾子昇降用氣缸 171(第IX軸基準滾子1H的周邊構成）。 同樣地，在支撐框21的X軸方向的一端部近旁（左端 部近旁），經由左導件165朝X軸方向可移動地設有第2左 塊部173，在支撐框21的適當位置，設有將第2左塊部173 朝X軸方向移動在第2左塊部用基準位置[在第9(a)圖中 以虛線表示的位置]及第2左塊部用躲避位置{從第2左塊部 用基準位置朝X軸方向的一方側[在第9 (a)圖中爲左方側 ]躲避的位置[在第9 (a)圖中以實線表示的位置;|}之間的 第2左塊部移動用氣缸175。又，在第2左塊部173’經由昇 降桿（省略圖示）可昇降地設有在垂直軸周圍旋轉自如地 支撐第2X軸基準滾子153的滾子支撐構件177’而在第2左 塊部173，設有將第2X軸基準滾子m與滾子支撐構件177 —體地昇降的第2X軸基準滾子昇降用氣缸179 (第2X軸基 準滾子153的周邊構成）。
如第2圖及第9(b)圖所示地’在支撐框21的X軸方向 的另一端部近旁（右端部近旁）’經由第1右導件183朝X -31 - 1357630 軸方向可移動地設有第1右塊部181 ’在支撐框21的適當位 置，設有將第1右塊部181朝x軸方向移動在第1右塊部用基 準位置[在第9(b)圖中以虛線表示的位置]及在第1右塊部 用躲避位置{從第1右塊部用基準位置朝X軸方向的另一方 側[在第9(b)圖中爲右方側]躱避的位置[在第9(b)圖中 以實線表示的位置]}之間的第1右塊部移動用氣缸185。又 在第1右塊部181，經由斷面3形狀的安裝構件189及昇降 桿（省略圖示）可昇降地設有在垂直軸周圍旋轉自如地支 撐第IX軸彈推滾子1H的滾子支撐構件187，而在第1右塊 部181，設有將第IX軸彈推滾子155與滾子支撐構件187 — 體地昇降的第IX軸彈推滾子昇降用氣缸191。又，在安裝 構件189的適當位置，設有朝X軸方向的一方側[在第9 ( b )圖中爲左方側]彈推第IX軸彈推滾子155的彈簧193(第 IX軸彈推滾子155的周邊構成）。 同樣地，在支撐框21的X軸方向的另一端部（右端部 )，經由右導件183朝X軸方向可移動地設有第2右塊部195 ，在支撐框21的適當位置，設有將第2右塊部195朝X軸方 向移動在第2右塊部用基準位置[在第9 ( b )圖中以虛線表 示的位置]及在第2右塊部用躲避位置{從第2右塊部用基準 位置朝X軸方向的另一方側[在第9 ( b )圖中爲右方側]躲 避的位置[在第9 ( b )圖中以實線表示的位置]}之間的第2 右塊部移動用氣缸197。又在第2右塊部195，經由斷面3 形狀的安裝構件101及昇降桿（省略圖示）可昇降地設有 在垂直軸周圍旋轉自如地支撐第2X軸彈推滾子I57的滾子 -32- 1357630 支撐構件199，而在第2右塊部195，設有將第2X軸彈推滚 子157與滾子支撐構件19 9—體地昇降的第2X軸基準滾子昇 降用氣缸103。又，在安裝構件101的適當位置，設有朝X 軸方向的一方側[在第9 ( b )圖中爲左方側]彈推第2X軸彈 推滾子157的彈簧105 (第2X軸彈推滾子157的周邊構成） 〇 如第2圖及第10 (a)圖所示地，在支撐框21的Y軸方 向的一端部（前端部），經由前導件109朝Y軸方向可移動 地設有前塊部107，在支撐框21的適當位置，設有將前塊 部朝Y軸方向移動在前塊部107用基準位置[在第10 ( a)圖 中以虛線表示的位置]及前塊部用躲避位置{從前塊部用基 準位置朝Y軸方向的一方側[在第1 〇 ( a )圖中爲右方側]躲 避的位置[在第1 〇 ( a )圖中以實線表示的位置]}之間的前 塊部移動用氣缸111。又，在前塊部107，可昇降地設有在 垂直軸周圍旋轉自如地支撐Y軸基準滾子159的滾子支撐構 件113(Y軸基準滾子159的周邊構成）^ 如第2圖及第10(b)圖所示地，在支撐框21的Υ軸方 向的另一端部（後端部），經由後導件1 1 7朝Υ軸方向可移 動地設有後塊部115，在支撐框21的適當位置，設有將後 塊部115朝Υ軸方向移動在後塊部用基準位置[在第10 (b) 圖中以虛線表示的位置]及在後塊部用躲避位置{從後塊部 用基準位置朝γ軸方向的另一方側[在第10(b)圖中爲左 方側]躲避的位置[在第1 0 ( b )圖中以實線表示的位置]}之 間的後塊部移動用氣缸119。又在右塊部Π5，經由斷面υ -33- 1357630 形狀的安裝構件123設有在垂直軸周圍旋轉自如地支撐γ軸 彈推滾子161的滾子支撐構件121，而在安裝構件123的適 當位置，設有朝Υ軸方向的一方側[在第10(b)圖中爲右 方側]彈推Υ軸彈推滾子161的彈簧125 ( Υ軸彈推滚子161的 周邊構成）。 利用上述構成，剛將薄板W從任一第薄板處理裝置3Α (3Β、3C)朝裝置本體17側拉出之後，藉由驅動一對第 IX軸基準滾子昇降用氣缸171，俾將一對第IX軸基準滾子 151予以上昇，對於薄板浮起高度位置FLP朝上方突出。之 後，藉由驅動一對第1左塊部移動用氣缸67，俾將一對第1 左塊部163從第1左塊部用躲避位置一直移動至第1左塊部 用基準位置，藉此，將一對第IX軸基準滾子151碰觸到薄 板W的X軸方向的一端面。又，將第IX軸彈推滾子155以對 於薄板浮起高度位置FLP朝上方向突出的狀態下，藉由驅 動一對第1右塊部移動用氣缸185，俾將第1右塊部181從第 1右塊部用躲避位置一直移動至第1右塊部用基準位置，藉 此，俾將第IX軸彈推滾子155以彈簧193的彈推力碰觸到薄 板W的X軸方向的另一端面。藉由此，剛將薄板W從任一第 1薄板處理裝置3A(3B、3C)朝裝置本體17側拉出之後， 可將薄板W對於裝置本體17朝X軸方向進行定位。 又，藉由驅動一對前塊部移動用氣缸1 1 1，俾將一對 前塊部107從前塊部用躲避位置一直移動至前塊部用基準 位置，藉此，將一對Υ軸基準滾子159碰觸到薄板W的Υ軸 方向的一端面。又，藉由驅動一對後塊部移動用氣缸119 -34- 1357630 ’俾將後塊部115從右塊部用躲避位置一直移動至後塊部 用基準位置，藉此，俾將Y軸彈推滾子161以彈簧125的彈 推力碰觸到薄板W的Y軸方向的另一端面。藉由此，剛將 薄板W從任一第1薄板處理裝置3A(3B、3C)朝裝置本體 17側拉出之後’可將薄板W對於裝置本體17朝¥軸方向進 行定位。 又’ 一對第IX軸基準滾子151、第IX軸彈推滾子155 、Y軸基準滾子159、一對Y軸彈推滾子16ι'及此些的周 邊構成，是相當於剛將薄板W從任一第1薄板處理裝置3A (3B、3C)朝裝置本體17側拉出之後，將薄板w對於裝置 本體17進行定位的剛拉出之後用定位機構者。 同樣地，剛將薄板W從裝置本體1 7側朝任一第2薄板 處理裝置5A(5B、5C)送出之前，藉由驅動一對第2又軸 基準滾子昇降用氣缸179，俾將一對第2X軸基準滾子153予 以上昇，對於薄板浮起高度位置F L P朝上方突出。之後， 藉由驅動一對第2左塊部移動用氣缸175，俾將一對第2左 塊部173從第2左塊部用躲避位置一直移動至第2左塊部用 基準位置，藉此，將一對第2X軸基準滾子153碰觸到薄板 W的X軸方向的一端面。又，將第2X軸彈推滾子157以對於 薄板浮起高度位置FLP朝上方向突出的狀態下，藉由驅動 —對第2右塊部移動用氣缸197，俾將第2右塊部157從第2 右塊部用躲避位置一直移動至第2右塊部用基準位置，藉 此，俾將第2X軸彈推滾子157以彈簧105的彈推力碰觸到薄 板W的X軸方向的另一端面。藉由此，剛將薄板W從任一第 -35- 1357630 2薄板處理裝置5A ( 5B ' 5C )朝裝置本體1 7側拉出之前， 可將薄板W對於裝置本體17朝X軸方向進行定位。 又’將一對Y軸基準滾子159碰觸到薄板W的Y軸方向 的一端面。又’將Y軸彈推滾子161以彈簧125的彈推力碰 觸到薄板W的Y軸方向的另一端面。藉由此，剛將薄板w從 裝置本體17側朝任一第2薄板處理裝置5A(5B、5C)送出 之前’可將薄板W對於裝置本體17朝γ軸方向進行定位。 又，一對第2X軸基準滾子153、第2X軸彈推滾子157 、Y軸基準滾子159、一對γ軸彈推滾子161、及此些的周 邊構成，剛將薄板從裝置本體1 7側朝任一第2薄板處理裝 置送出之前，是相當於將薄板W對於裝置本體17進行定位 的送出之前定位機構者。 以下’針對於本發明的第2實施形態的薄板移送方法 參照第1 1 ( a )圖至第1 3 ( b )圖加以說明。 本發明的實施形態的薄板移送方法，是例如在將薄板 浮起在第1薄板處理裝置3A與第2薄板處理裝置5C之間的狀 態下進行移送的方法。具備如下的第101步驟至第106步驟 (i )第1 〇 1步驟 如第11 (a)圖所示地，藉由驅動裝置本體移動用電 動機23’俾朝Y軸方向移動裝置本體17，而將裝置本體17 位於鄰接於第1薄板處理裝置3 A的位置（換言之，將薄板 W從第1薄板處理裝置3A可拉出至裝置本體17側的位置） -36- 1357630 。之後，藉由驅動臂移動用電動機49，朝X軸方向的一方 側（第1 1 ( a )圖及第1 3 ( b )圖中爲左方側）移動一對移 送臂’藉此，如第11 (b)圖所示地，將一對第1吸附墊47 位置於位在第1薄板處理裝置3A的所定位置的薄板W的下 方位置。然後，藉由驅動一對臂昇降用氣缸43把一對移送 臂35予以上昇，而藉由一對第1吸附墊47進行吸附薄板W 的背面的X軸方向的另一端側的部位。 (ii )第102步驟 結束第101步驟之後，從複數浮起單元29的噴嘴29η噴 出空氣，藉由驅動臂移動用電動機49，朝X軸方向的另一 方側（在第11 (a)圖及第13(b)圖中爲右方向）移動一 對移送臂35’藉此，如第11 (c)所示地，藉由—對移送 臂3 5將薄板W從第1薄板處理裝置3 A朝裝置本體1 7側（浮 起單元29側）拉出。 又，剛拉出薄板W之後，如上述地，將一對第1 X軸基 準滾子151碰觸到薄板W的X軸方向的一端面，而將第IX軸 彈推滾子155以具有彈簧193的彈推力碰觸到薄板w的X軸 方向的另一端面，而且將一對Y軸基準滾子159碰觸到薄板 W的Y軸方向的一端面’而且將一對γ軸基準滾子159碰觸 到薄板W的Y軸方向的一端面，而將γ軸彈推滾子ι61以彈 簧125的彈推力碰觸到薄板的Y軸方向的另—端面，對於裝 置本體17朝X軸方向及Y軸方向進行定位薄板w。 -37- 1357630 (iii )第103步驟 結束第1〇2步驟之後，解除依一對第1吸附墊47的吸附 狀態，藉由驅動一對臂昇降用氣缸43，俾將一對移送臂35 予以下降。之後，如第12(a)圖所示地，藉由驅動臂移 動用電動機49，朝X軸方向的一方側移動一對移送臂35， 而藉由驅動一對臂昇降用氣缸43，把一對移送臂35予以上 昇，藉由複數第2吸附墊49進行吸附薄板W的背面。又， —對第IX軸基準滾子151及第IX軸彈推滾子55對於薄板浮 起高度位置FLP朝下方向被沒入，而且將第1左塊部163位 於第1左塊部用躲避位置，將第1右塊部181位於第1右塊部 用躲避位置，將前塊部107位於前塊部用躲避位置，而將 後塊部1 1 5位於後塊部用躲避位置。 又，在開始第103步驟之後而在結束第105步驟之前， 藉由驅動裝置本體移動用電動機23，朝Y軸方向移動裝置 本體17，並將裝置本體17位於鄰接在第2薄板處理裝置5C 的位置（換言之，將薄板從裝置本體17側可送出至第2薄 板處理裝置5C的位置）。 (iv )第104步驟 結束第103步驟之後，從複數浮起單元29的噴嘴29η噴 出空氣，藉由驅動臂移動用電動機49，朝X軸方向的另一 方側移動一對移送臂35。又，藉由一對移送臂35，剛將薄 板W從裝置本體17側朝第2薄板處理裝置5C送出之前，如 上述地，將一對第2Χ軸基準滾子153碰觸到薄板W的X軸方 -38- 1357630 向的一端面，而將第2X軸彈推滾子157以彈簧105的彈推碰 到薄板W的X軸方向的另一端面，而且將一對γ軸基準滾子 159碰觸到薄板W的Y軸方向的一端面，而將γ軸彈推滾子 161以彈簧125的彈推力碰觸到薄板W的Y軸方向的另一端 面，藉此，如第12(b)圖所示地，對於裝置本體17朝X軸 方向及Y軸方向進行定位薄板W。 (v )第1 0 5步驟 結束第1 04步驟之後，解除依一對第1吸附墊47的吸附 狀態，藉由驅動一對臂昇降用氣缸43，俾將一對移送臂3 5 予以下降。之後，如第13(a)圖所示地，藉由驅動臂移 動用電動機49，朝X軸方向的一方側移動一對移送臂35, 而藉由驅動一對臂昇降用氣缸43，把一對移送臂35予以上 昇，藉由複數第2吸附墊49進行吸附薄板W的背面的X軸方 向的一端側部位。又，一對第2X軸基準滾子153及第2X軸 彈推滾子157對於薄板浮起高度位置FLP朝下方向被沒入， 而且將第2左塊部173位於第2左塊部用躲避位置’將第2右 塊部195位於第2右塊部用躱避位置，將前塊部107位於前 塊部用躲避位置，而將後塊部115位於後塊部用躲避位置 (vi)第106步驟 結束第105步驟之後’從複數浮起單元29的噴嘴29η噴 出空氣，藉由驅動臂移動用電動機49 ’朝Χ軸方向的另一 -39- 1357630 方側移動一對移送臂3 5，藉此，如第1 3 ( b )圖所示地， 將薄板W從裝置本體17側朝第2薄板處理裝置5C送出。又 ’解除依一對第2吸附墊49的吸附狀態，藉由驅動一對臂 昇降用氣缸43，把一對移送臂3 5予以下降。 利用以上，例如在將薄板W從第1薄板處理裝置3 A朝 第2薄板處理裝置5C浮起的狀態下可予以移送。又，藉由 在薄板移送裝置107進行與上述動作相反的動作，例如將 薄板W從第2薄板處理裝置5C朝第1薄板處理裝置3 A浮起的 狀態下可進行移送β 以下，針對於本發明的第2實施形態的作用及效果加 以說明。 —對移送臂35朝X軸方向可移動地設於裝置本體17， 各移送臂35是在X軸方向的一端側分別具有第1吸附墊47， 而在X軸方向的另一端側分別具有第2吸附墊49之故，因而 不必使用滾子運送機及運送機昇降用主動器等，而可將薄 板W從任一第1薄板處理裝置3A(3B、3C)移送至任一第2 薄板處理裝置5A(5B、5C)。 又，剛將薄板W從任一第1薄板處理裝置3A ( 3B、3C )朝裝置本體17側拉出之後，將薄板W對於裝置本體17進 行定位，而朝X軸方向的一方側移動複數移送臂35，而且 剛將薄板W從裝置本體17朝任一第2薄板處理裝置5A ( 5B 、5C )送出之前，將薄板W對於裝置本體17進行定位，而 朝X軸方向的一方側移動複數移送臂35之故，因而可充分 地抑制移送臂3 5的X軸方向的移動範圍被擴大的情形。 -40- 1357630 如以上，依照本發明的實施形態，不必使用滾子運送 機及運送機昇降用主動器等，而將薄板评從任一第1薄板 處理裝置3A(3B、3C)可移送至任一第2薄板處理裝置5A (5B、5C)，而且可充分地抑制移送臂35的X軸方向的移 動範圍被擴大的情形之故，因此可得到降低薄板移送裝置 107的製造成本（換言之，薄板處理移送系統201的製造成 本），可減小薄板移送裝置1〇7的X軸方向的設置空間（換 言之，薄板處理移送系統201的X軸方向的設置空間，而可 有效利用工廠的空間。 本發明是並不被限定於上述實施形態的說明者，例如 代替藉由空氣壓力將薄板W予以浮起的浮起單元29，使用 著利用超音波而將薄板W予以浮起的浮起單元等，其他以 各種態樣可實施。又，在本發明所包括的權利範圍，是並 不被限定於此些實施形態者。 又，日本國專利申請第2007-185237號（ 2007年7月17 日申請）及日本國專利申請第2007-185240號（2007年7月 17曰申請）的全內容，爲了參考，被編入在本案發明的專 利說明書。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明的實施形態的主要部分的薄板移 送裝置的俯視圖" 第2圖是表示沿著第1圖的II-II線，及沿著第8圖的II-II線的圖式。 -41 _ 1357630 第3 ( a )圖是表示沿著第1圖的III A-III A線的圖式， 第3(b)圖是表示沿著第1圖的IIIB-IIIB線的圖式。 第4 (a)圖是表示沿著第1圖的IV A-IVA線的圖式，第 4(b)圖是表示沿著第1圖的IVB-IVB線的圖式。 第5 (a)圖 '第5(b)圖、第5 (c)圖是表示說明本 發明的實施形態的薄板移送方法的圖式。 第6 ( a )、第6 ( b )圖是表示說明本發明的實施形態 的薄板移送方法的圖式。 第7圖是表示本發明的實施形態的薄板處理移送系統 的模式性的俯視圖。 第8圖是表示本發明的第2實施形態的薄板移送裝置的 俯視圖。 第9 (a)圖是表示沿著第8圖的IX A-IX A線的圖式，第 9 ( b )圖是表示沿著第8圖的IXB-IXB線的圖式。 第10 (a)圖是表示沿著第8圖的XA-X A線的圖式，第 10(b)圖是表示沿著第8圖的XB-XB線的圖式❶ 第11(a)圖、第11(b)圖、第11(c)圖是表示說 明本發明的實施形態的薄板移送方法的圖式。 第12(a)圖、第12(b)圖是表示說明本發明的實施 形態的薄板移送方法的圖式。 第13 (a)圖、第13(b)圖是表示說明本發明的實施 形態的薄板移送方法的圖式。 第14圖是表示本發明的實施形態的薄板處理移送系統 的模式性的俯視圖。 -42- 1357630 【主要元件符號說明】
1、201 :薄板處理移送系統 3A、3B、3C:第1薄板處理裝置 5A、5B、5C :第2薄板處理裝置 7、107:基板移送裝置 9、1 1 :基板搬入出部 13、29 :浮起單元 13η、 29η ：噴嘴 15 :導軌 17 :裝置本體 1 9 :腳框 2 1 :支撐框 23·’裝置本體移動用電動機 25 :小齒輪 2 7 :齒條
31 :支撐托架 3 3.:滑件 35 :移送臂 37 :昇降桿 39 :臂昇降用氣缸 41 :定時皮帶 43 :臂昇降用氣缸 45:臂移動用電動機 -43 - 1357630 47 :第1吸附墊 49 :第2吸附墊 51 : X軸基準滾子 55 : X軸彈推滾子 59、1 59 : Y軸基準滾子 61、161 : Y軸彈推滾子 63:左塊部移動用氣缸 199 :滾子支撐構 65、 75、 89、 97、 169、 177、 187、 67 : X軸基準滾子昇降用氣缸 6 9 :右塊部 7 1 :右導件 73:右塊部移動用氣缸 77、99 :中間構件 79 : X軸彈推滾子昇降用氣缸 81、 100、 193、 105、 25:彈簧 83 :前塊部 8 5 :前導件 87:前塊部移動用氣缸 9 1 :後塊部 93 :後導件 95:後塊部移動用氣缸 151 :第IX軸基準滾子 153 :第2X軸基準滾子 44 - 1357630 155 :第IX軸彈推滾子 157 :第2X軸彈推滾子 163 :第1左塊部 1 6 5 :左導件 171:第IX軸基準滾子昇降用氣缸 1 73 :第2左塊部 175:第2左塊部移動用氣缸 129:第2基準滾子移動用氣缸 1 8 1 :第1右塊部 1 8 3 :右導件 185:第1右塊部移動用氣缸 189 :安裝構件 191 :第IX軸基準滾子昇降用氣缸 195 :第2右塊部 197:第2右塊部移動用氣缸 W :薄板 P S 1 :第1處理站 PS2 :第2處理站 -45-