CN106494889A - 一种基板输送装置及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种基板输送装置及其控制方法，涉及基板运输设备技术领域。为解决现有技术采用滚筒式输送机输送基板时容易造成基板磨损、划伤或变形的问题而发明。本发明的基板输送装置包括：输送平台；悬浮组件，所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一个向上的浮力，以使所述基板悬浮于所述输送平台的上方；牵引装置，所述牵引装置用于牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。本发明基板输送装置用于降低基板在输送过程中产生磨损、划伤或变形的可能性。

Description

一种基板输送装置及其控制方法

技术领域

本发明涉及基板运输设备技术领域，尤其涉及一种基板输送装置及其控制方法。

背景技术

随着液晶显示技术的快速发展，基板作为显示设备中的重要组成部分也得到了越来越多的应用。在生产过程中，为了满足自动化生产需求，不可避免地会将基板从一个工位输送至另一个工位，而现有技术中用以实现工位之间输送的设备通常为滚筒式输送机。滚筒式输送机的结构简单、可靠性高、使用维护方便，广泛适用于底部为平面的物品的输送。

但是，在采用滚筒式输送机输送基板的过程中，基板与滚筒轨道直接接触，因此在输送过程中不可避免会出现摩擦磨损或划伤，且滚筒轨道上相邻两个滚筒之间具有一定间隙，滚筒轨道表面的平整度较低，因此基板的输送平稳性较低，容易造成基板变形。

发明内容

本发明提供一种基板输送装置及其控制方法，能够避免基板在输送轨道上移动的过程中产生摩擦磨损或划伤，同时能够提高基板的输送平稳性，降低基板在输送过程中产生变形的可能性。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，本发明的实施例提供了一种基板输送装置，包括：输送平台；悬浮组件，所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一个向上的浮力，以使所述基板悬浮于所述输送平台的上方；牵引装置，所述牵引装置用于牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。

另一方面，本发明的实施例还提供了一种基板输送装置的控制方法，包括：

S1、启动悬浮组件，使得承载于输送平台上的基板悬浮于所述输送平台的上方；

S2、启动牵引装置，使得所述牵引装置牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。

本发明提供的一种基板输送装置及其控制方法，由于基板输送装置包括悬浮组件和牵引装置，悬浮组件用于向承载于输送平台上的基板作用一个向上的浮力，以使所述基板悬浮于输送平台的上方，牵引装置用于牵引基板悬浮移动，由此可知，基板在输送平台上沿预设路径移动的过程中，与输送平台的表面不接触，因此基板不会与输送平台之间产生摩擦，由此降低了基板产生摩擦磨损和划伤的可能性。而且，基板在移动的过程中，不会受到输送平台表面平整度的影响，由此提高了基板的输送平稳性，降低了基板在输送过程中产生变形的可能性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例基板输送装置的俯视图；

图2为图1所示基板输送装置的侧视图；

图3为本发明实施例基板输送装置中牵引装置的主视图；

图4为图3所示基板输送装置中牵引装置的侧视图；

图5为本发明实施例基板输送装置的控制方法的流程图。

附图标记：

1－输送平台；2－悬浮组件；100－基板；3－牵引装置；21－吹气孔组；22－供气装置；211－吹气孔；221－第一缓冲腔体；222－送气结构；2221－送气管道；31－滑轨；32－滑块；34－驱动件；341－直线马达的定子；342－直线马达的动子；311－第一滑轨；312－第二滑轨；321－第一滑块；322－第二滑块；33－安装板；4－真空吸附结构；41－真空吸附孔；42－第二缓冲腔体；43－抽真空装置；5－底座。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

参照图1，图1为本发明实施例基板输送装置的一个具体实施例，本实施例的基板输送装置包括：输送平台1；悬浮组件2，所述悬浮组件2用于向承载于所述输送平台1上的基板100作用一个向上的浮力，以使所述基板100悬浮于所述输送平台1的上方；牵引装置3，所述牵引装置3用于牵引所述基板100在所述输送平台1上沿预设路径N悬浮移动。

本发明提供的一种基板输送装置，由于基板输送装置包括悬浮组件2和牵引装置3，悬浮组件2用于向承载于输送平台1上的基板100作用一个向上的浮力，以使所述基板100悬浮于输送平台1的上方，牵引装置3用于牵引基板100悬浮移动，由此可知，基板100在输送平台1上沿预设路径N移动的过程中，与输送平台1的表面不接触，因此基板100不会与输送平台1之间产生摩擦，由此降低了基板100产生摩擦磨损和划伤的可能性。而且，基板100在移动的过程中，不会受到输送平台1表面平整度的影响，由此提高了基板100的输送平稳性，降低了基板100在输送过程中产生变形的可能性。

在上述实施例中，悬浮组件2可以为磁悬浮组件，也可以为气悬浮组件。当采用上述第一种方案时，悬浮组件2包括两个相互排斥的磁性件，其中一个磁性件与传送平台固定，另一个磁性件与待输送基板固定，此结构组成复杂，且磁性件通常为电磁铁，电磁铁的耗电量大，能耗较高。为了避免上述问题，优选采用上述第二种方案，即悬浮组件2为气悬浮组件，气悬浮组件所采用的气源可以为空气，且仅设置于输送平台1上即可，因此结构组成简单，成本较低。

具体的，当悬浮组件2为气悬浮组件时，悬浮组件2可以制作为如图2所示结构，即，悬浮组件2包括多个吹气孔组21、多个供气装置22以及检测控制单元(图中未示出)，多个吹气孔组21沿预设路径N的延伸方向均匀设置于输送平台1上，多个供气装置22与多个吹气孔组21连接，供气装置22用于向供气装置22连接的吹气孔组21提供气体，检测控制单元用于检测基板100的当前位置，并根据基板100的当前位置，控制多个供气装置22启动或关闭。由此，在基板100移动过程中，可以仅控制启动位于基板100下方的吹气孔组21所连接的供气装置22，即可将基板100悬浮于输送平台1的上方，从而避免一次性启动输送平台1上的所有吹气孔组21所连接的供气装置22，由此节省了气源，减小了悬浮组件2的能耗，降低了成本。

其中，吹气孔组21的数量可以为10个、20个、30个等等，在此不做具体限定。且一个供气装置22可以连接一个吹气孔组21，也可以连接多个吹气孔组21，在此不做具体限定。但是，为了减少悬浮组件2所包括的供气装置22的数量，降低悬浮组件2的结构复杂度，优选一个供气装置22连接多个吹气孔组21，此时多个吹气孔组21连接同一个供气装置22，从而减少了供气装置22的设置数量，降低了悬浮组件2的结构复杂度。

另外，优选，如图1所示，吹气孔组21包括多个吹气孔211，且多个吹气孔211沿垂直于预设路径N的方向均匀设置，由此在输送平台1上形成了多行多列的吹气孔211阵列，可提高基板100下表面的受力均匀性，以利于实现基板100的平稳传输。

为了使吹气孔组21所包括的多个吹气孔211内的气压稳定，同时使多个吹气孔211能够均匀出气，优选的，如图2所示，供气装置22包括第一缓冲腔体221和送气结构222，第一缓冲腔体221与吹气孔组21连通，送气结构222用于向第一缓冲腔体221内输送气体。由此可通过第一缓冲腔体221的缓冲作用，使吹气孔组21所包括的多个吹气孔211内的气压稳定，同时使多个吹气孔211能够均匀出气。

其中，送气结构222可以包括送气管道2221和压缩气源(图中未示出)，送气管道的一端与压缩气源连接，另一端与第一缓冲腔体221连接，且送气管道中串接有阀门(图中未示出)，当阀门开启时，压缩气源内的气体可沿送气管道进入第一缓冲腔体221内。

在图1所示的实施例中，具体的，牵引装置3可以制作为如图3所示结构，即，牵引装置3包括滑轨31、滑块32、安装板33以及驱动件34，滑轨31与输送平台1相对固定，滑轨31的延伸方向与预设路径的延伸方向一致，滑块32与滑轨31滑动连接，安装板33固定于滑块32上，且安装板33与基板100连接，驱动件34用于驱动滑块32沿滑轨31滑动，以带动基板100在输送平台1上沿预设路径移动。由此，通过包括滑轨31、滑块32、安装板33和驱动件34的牵引装置3牵引，即可使基板100在输送平台1上沿预设路径悬浮移动，其中采用滑轨31和滑块32的配合结构进行导向，使导向稳定，以利于提高基板100的输送方向的准确性。其中，基板输送装置还包括底座5，滑轨31以及输送平台1均可设置于底座5上。

其中，驱动件34可以为由丝杠以及连接于丝杠上的螺母组成的直线驱动结构，也可以直接为直线马达，在此不做具体限定。但是为了减少安装难度，降低基板输送装置的结构复杂度，优选的，如图3所示，驱动件34为直线马达，且直线马达的定子341与滑块32相对固定，直线马达的动子342与滑块32相对固定。且直线马达的牵引精度较高，有助于提高基板100的输送精度。

另外，为了提高滑轨31的导向准确性，优选的，如图3所示，滑轨31包括平行且间隔设置的第一滑轨311和第二滑轨312，滑块32包括第一滑块321和第二滑块322，第一滑块321滑动连接于第一滑轨311上，第二滑块322滑动连接于第二滑轨312上，安装板33固定于第一滑块321和第二滑块322上。由此，通过两个滑轨提高了导向的准确性。

在图3所示的实施例中，为了实现滑块32与基板100之间的连接，优选的，如图3所示，安装板33上设有真空吸附结构4，安装板33通过真空吸附结构4与基板100连接。由此，通过真空吸附结构4对基板100产生吸附力而将基板100吸附于安装板33上，基板100的表面通常平整光滑，通过真空吸附结构4能够将基板100稳定吸附于安装板33上，且不会对基板100造成损伤，因此安全性较高。

具体的，真空吸附结构4可以制作为如图4所示结构，即，真空吸附结构4包括真空吸附孔41、第二缓冲腔体42以及抽真空装置43，真空吸附孔41设置于安装板33上用于连接基板100的表面上，第二缓冲腔体42与真空吸附孔41连通，抽真空装置43用于抽取第二缓冲腔体42内的气体，以在安装板33上用于连接基板100的表面形成一定的负压，从而将基板100吸附于安装板33上用于连接基板100的表面。此结构简单，容易实现，且第二缓冲腔体42对抽气过程具有一定的缓冲作用，从而有利于形成均匀稳定的负压压力。

为了提高滑块32与基板100之间的连接稳定性，优选的，如图4所示，真空吸附孔41为多个，多个真空吸附孔41均匀设置于安装板33上用于连接基板100的表面，由此通过多个真空吸附孔41提高了滑块32与基板100之间的连接稳定性。

参见图5，本发明实施例还提供了一种基板输送装置的控制方法，所述方法包括：

S1、启动悬浮组件，使得承载于输送平台上的基板悬浮于所述输送平台的上方；

S2、启动牵引装置，使得所述牵引装置牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。

本发明提供的一种基板输送装置的控制方法，首先启动悬浮组件，以使承载于输送平台上的基板悬浮于输送平台上方，然后再启动牵引装置，以牵引基板在输送平台上沿预设路径悬浮移动，基板在移动过程中处于悬浮状态，因此与输送平台的表面不接触，由此不会与输送平台之间产生摩擦，从而降低了基板产生摩擦磨损和划伤的可能性。而且，基板在移动的过程中，不会受到输送平台表面平整度的影响，由此提高了基板的输送平稳性，降低了基板在输送过程中产生变形的可能性。

具体的，为了使基板在沿预设路径移动的过程中，始终悬浮于输送平台的上方，优选的，所述方法还包括：S3、检测控制单元检测基板的当前位置；S4、检测控制单元根据基板的当前位置，控制启动位于当前位置下方区域内的吹气孔组所连接的供气装置。由此，通过控制启动位于基板下方的吹气孔组所连接的供气装置，使基板在移动过程中，始终悬浮于输送平台的上方，从而避免一次性启动输送平台上的所有吹气孔组所连接的供气装置，由此节省了气源，减小了悬浮组件的能耗，降低了成本。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (11)

1.一种基板输送装置，其特征在于，包括：

输送平台；

悬浮组件，所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一个向上的浮力，以使所述基板悬浮于所述输送平台的上方；

牵引装置，所述牵引装置用于牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述悬浮组件包括多个吹气孔组、多个供气装置以及检测控制单元，多个所述吹气孔组沿所述预设路径的延伸方向均匀设置于所述输送平台上，多个所述供气装置与多个所述吹气孔组连接，所述供气装置用于向所述供气装置连接的所述吹气孔组提供气体，所述检测控制单元用于检测所述基板的当前位置，并根据所述基板的当前位置，控制多个所述供气装置启动或关闭。

3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，所述吹气孔组包括多个吹气孔，多个所述吹气孔沿垂直于所述预设路径的方向均匀设置。

4.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，所述供气装置包括第一缓冲腔体和送气结构，所述第一缓冲腔体与所述吹气孔组连通，所述送气结构用于向所述第一缓冲腔体内输送气体。

5.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述牵引装置包括滑轨、滑块、安装板以及驱动件，所述滑轨与所述输送平台相对固定，所述滑轨的延伸方向与所述预设路径的延伸方向一致，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述安装板固定于所述滑块上，且所述安装板与所述基板连接，所述驱动件用于驱动所述滑块沿所述滑轨滑动，以带动所述基板在所述输送平台上沿所述预设路径移动。

6.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于，所述驱动件为直线马达，所述直线马达的定子与所述滑轨相对固定，所述直线马达的动子与所述滑块相对固定。

7.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于，所述安装板上设有真空吸附结构，所述安装板通过所述真空吸附结构与所述基板连接。

8.根据权利要求7所述的基板输送装置，其特征在于，所述真空吸附结构包括真空吸附孔、第二缓冲腔体以及抽真空装置，所述真空吸附孔设置于所述安装板上用于连接所述基板的表面，所述第二缓冲腔体与所述真空吸附孔连通，所述抽真空装置用于抽取所述第二缓冲腔体内的气体。

9.根据权利要求8所述的基板输送装置，其特征在于，所述真空吸附孔为多个，多个所述真空吸附孔均匀设置于所述安装板上用于连接所述基板的表面。

10.一种基板输送装置的控制方法，其特征在于，包括：

S1、启动悬浮组件，使得承载于输送平台上的基板悬浮于所述输送平台的上方；

S2、启动牵引装置，使得所述牵引装置牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，在所述基板沿所述预设路径移动的过程中，所述方法还包括：

S3、检测控制单元检测所述基板的当前位置；

S4、所述检测控制单元根据所述基板的当前位置，控制启动位于所述当前位置下方区域内的吹气孔组所连接的供气装置。