TWI322478B - Substrate storage container and method for manufacturing the same - Google Patents

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TWI322478B
TWI322478B TW095115647A TW95115647A TWI322478B TW I322478 B TWI322478 B TW I322478B TW 095115647 A TW095115647 A TW 095115647A TW 95115647 A TW95115647 A TW 95115647A TW I322478 B TWI322478 B TW I322478B
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Akihiro Hasegawa
Hiroshi Mimura
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Shinetsu Polymer Co
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Description

九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及一種基板儲存容器，用於存儲由遮光破 璃、鋁片等製成的各種半導體晶片或基板。 【先前技術】 _ 傳統的基板儲存容器（圖中未繪示）包括：容器主體， 裏面排列並儲存有包括半導體晶圓在内的多個基板；蓋子 70件’可以自由連接和拆卸’並且打開或關閉構成容器主 體之開口部分的前表面；以及錨固機構，用於緊固蓋住容 °、體之前表面的蓋子元件。這種容器用作精密的基板儲 存谷器。在容器主體兩側壁的内表面上分別設置多個支擇 、Μ牛這些支撐部件具有沿基板周緣彎曲的形狀，用於水 平支標基板的側部。在蓋子元件的内表面上安裝前保持 器，用於保持基板的前部周緣。 這種基板儲存容器用於將基板從基板生産廠安全地 運輸到加工廠。在這些加工廠中，對基板進行各種加工以 生産半導體部件或用於半導體部件製程的部件（見日本專 利申請公開未決No. Hei. 10-101177和日本專利申請公開 未決 No. 2004-111830)。 傳統的基板儲存容器的構造如上所述，因此在裝載和 用卡車、空運、船運等運輸的過程中容易受到震動的影 .響。當這些容器受到震動時，基板和支撐部件之間的摩擦 會導致基板損壞，並生成附著到基板表面的微粒，這可能 TW3032PA/ FP06-0079-00TW-XX 6 1322478 造成嚴重㈣題，例如導致産品祕能 是由：近些年來半導體部件的電路 :了降： 粒污染已經成爲—個嚴重問題。 h更小’因此微 此外從基板的周緣部分沿彳里向向 ^ /直被當作排除區域，半導 咖的區域通书 碱。然而，近些年來H Λ作時不使用該區 更緊密的產σ 實現更小的間距並製造 加産率的需;=足區域變窄來增 緣部分和後表面=二:要’有必要防止基板的周 【發明内容】 考慮到上述事實，本發明的一個目的在於提供一種基 板儲存容器’可以防止基板受到到傷並防止 二
部:牛：間的摩擦而導致塵埃産生’因此可以抑；基板的周牙 緣部分和後表面受到污染和刮傷；本發明的另一個目的在 於提供一種製造這種基板儲存容器的方法。 爲了解決上述問題，根據本發明的基板儲存容器包 括：容器主體，包括後壁和一對側壁，用於將基板儲存在 側壁之間；相對設置在該對侧壁上的第一支撐部件，用於 支撐基板的周緣部分；以及相對設置在該對侧壁上的第二 支撐部件’用於支撐基板的周緣部分，並且位於後壁和第 一支撐部件之間’其中第一支撐部件和第二支撐部件覆蓋 有摩擦性質低於容器主體之摩擦性質的樹脂層。 1 此外’基板儲存容器可以還包括設置在容器主體後壁 TW3032PA/ FP06-0079-00TW-XX 7 上的彈性保持器，用於支撐基板的周緣部分。 此外，第-支撐料和第二切科可以 =的侧壁凸出，在該對侧壁上的第—支撐部件和第= 撐邛件之間形成間隙。 一支 此外’容器主體的側壁可以包括接觸部分，用於料 板的周緣部分接觸。當基板被支撐在第_支撐部件和第^ 支撐部件上時，該接觸部分位於一相交中心線的延長線 上，該相交中心線與通過基板的中心線中平 二许 =取出方向的中4垂直，並接觸部分^有樹脂 層0 此外，容器主體的侧壁可以包括接觸部分，用於與基 板的周緣部分接觸，並且該接觸部分可以覆蓋有樹脂層。 此外’容器主體可以由包含聚碳酸酯、聚對苯二曱酸 丁二醇酯、環烯聚合物、聚醚酰亞胺、聚醚醚酮和合金樹 脂之一的材料製成，而樹脂層可以由聚對笨二甲酸丁二醇 酯和聚醚醚酮中的一種製成。 此外’樹脂層可以包括形成在側壁内側的凸緣，該凸 緣具有在側壁之外表面附近的外部和在側壁之内表面附 近的内部’並且外部的尺寸可以大於内部的尺寸。 此外’爲了解決上述問題’根據本發明的方法用於製 造如下所述的基板儲存容器，該基板儲存容器包括：容器 主體’具有後壁和一對侧壁’用於將基板儲存在側壁之 間；相對設置在該對側壁上的第一支撐部件，用於支撐基 板的周緣部分；以及相對設置在每個該對側壁上的第二支 TW3032PAIFPG6-0079-00TW-XX 8 f 於支撐基板關緣部分，並且位於後壁和第一 一^部^間該方法包括·在容器主體的㈣上形成第 麼」皙的和第一支撐部件；用摩擦性質低於容器主體之 摩擦性:樹脂層覆蓋第—切料和第二支撐部件；以 及通過將側壁插人到用於形成容器主體之後壁的模呈 内，以形成容器主體。 此外，該方法可㈣包括：⑽脂層覆蓋容ϋ主體之 側壁上，與基板的周緣部分接觸的接觸部分。 此外，該方法可以還包括：在側壁上形紐孔，通孔 的形狀與凸緣的形狀對應’凸緣具有在側壁之外表面附近 的外部和在側壁之内表面附近的内部，其中凸緣的外部的 尺寸可以大於内部的尺寸；從側壁之外側經通孔注入樹脂 以形成樹脂層。 此外’本發明的基板儲存容器可以包括：儲存基板的 容器主體，打開或關閉容器主體之開口部分的蓋子；第一 支樓部件’分別設置在形成容器主體的一對側壁上，並且 位於容器主體的開口部分之一側’用於支撐基板的周緣部 分；以及第二支撐部件’分別設置在形成容器主體的該對 侧壁上’並且位於容器主體的内壁之一側’用於支撐基板 的周緣部分’其中在與基板的周緣部分接觸的第一支撐部 件、第二支撐部件和各側壁的接觸部分中，至少第一支撐 部件和第二支撐部件被覆蓋有摩擦性質低於容器主體之 摩擦性質的樹脂’並且在蓋子上設置支撐基板周緣部分的 彈性保持器。
TW3032PA / FP06-0079-00TW-XX 9 4/¾ 彈性/可以。在容器主體的内壁上設置支撐基板周緣部分的 有麾’並且至少該保持器的基板支撐部分可以覆蓋 2 低於容器主體之摩擦性質的樹脂層。可以在容 的透明β或周壁上選擇性地形成用於確定基板狀態 形成卜第二支撐部件可以整體形成，並且可以 使得中間邱杜弟二支撐部件的中間部件，其厚度較小， 樹接觸不到基板。此外，關於摩擦性質較低的 ==:::=，其相對鋼的摩擦係數 低於ϋ. 33，較佳地爲〇· 20，甚至更低。 第發Γ令’在有可能與基板接觸的各部分中，至少 撐部件藉由接合（啊、模-ί -上，也可以抑制因基板與第一和第二支 : 起的基板的到傷或塵埃的産生和附著縣板。摩*㈣ 為讓本發明之上述目的、特徵、和優 懂，下文特舉幾個較佳實施例，員易 說明如下： 配口所附圖式’作詳細 【實施方式】 下面將參照附圖說明本發明的較佳實施方式。 第1〜9圖展示了如本發明的第一實施方式所述 於裝運的精密的基板儲存容器。如第 乐1 y圖所不，基板 TW3032PA/ FP06-0079-00TW-XX 10 1322478 儲存容器100包括容器主體1、蓋子元件10、多個第一支 撐部件20和多個第二支撐部件24。 容器主體1包括開口部分1F、與開口部分1F相對的 後壁1B和兩對側壁4和側壁4U，容器主體1在侧壁4和 側壁4U之間儲存有多個基板W。蓋子元件10封閉容器主 體1的前側，即容器主體1的開口部分1F。 多個第一支撐部件20分別設置在形成容器主體1的 一部分的這對左、右侧壁4上，並且位於容器主體1的前 側。具體地說，一對第一支撐部件20相對設置在每個側 壁4上以支撐基板W的周緣部分，並且位於容器主體1的 開口部分1F之一側。 多個第二支撐部件24分別設置在形成容器主體1的 一部分的這對左、右側壁4上，並且位於容器主體1的後 側。具體地說，一對第二支撐部件24相對設置在每個側 壁4上以支撐基板W的周緣部分，並且位於容器主體1的 後壁1B之一侧。換句話說，第二支撐部件24位於後壁1B 和第一支撐部件20之間。 在各側壁4上形成接觸部分5，以便與基板W的周緣 部分接觸。舉例來說，當震動等作用在基板儲存容器100 上時，使得基板W與接觸部分5接觸。第一和第二支撐部 件20和24覆蓋有摩擦性質低於容器主體的摩擦性質的樹 脂層30。 如圖3所示，基板W爲薄的圓形半導體晶圓，其直徑 例如爲300mm。具體地說，基板W由矽晶圓製成，它的前、 TW3032PA/ FP06-0079-00TW-XX 11 1322478 後表面至少有一面進行了鏡面處理。在每個晶片的周緣部 分上有選擇性地形成定位平臺或一道槽，它們在平面圖中 看起來呈半橢圓形，並且都用於對齊，使得基板可以由專 門的機器人插入和取出。 容器主體1包括兩對凹槽1D，相對地形成在開口部 分1F的内周上（僅有下面的凹槽1D繪示在第2圖中）。 蓋子元件10包括鎖定機構（未繪示），用於將蓋子元件10 緊固到容器主體1上。鎖定機構被設置在蓋子元件10的 内側，並且包括從容器主體1的外周凸出的嚙合部分。藉 由操作通孔42操作固定機構，將固定機構安裝在容器主 體1上，或者從容器主體1上拆除。除了此固定機構，還 可以在蓋子元件10的兩側部上設置錨固機構，以便與從 容器主體1的侧壁4的前部凸出的錨固塊41嚙合。 如第1〜3圖所示，容器主體1藉由内嵌模（insert molding)形成前開口且透明的箱型容器主體，在内嵌模 中，一對側壁4被插入到專用模具中，模具中注有預定材 料。容器主體1如此起作用，即多個基板W (例如25或 26個基板）在垂直方向上排成一排並以特定的間距儲存。 對形成容器主體1的材料沒有特別限制。例如，可以 選擇使用諸如聚碳酸酯、聚對笨二曱酸丁二醇酯 (polybutylene terephthalate)、環烯聚合物、聚醚酿 亞胺、聚醚醚酮等樹脂。另外，藉由加入碳、碳纖維、奈 米碳管、金屬纖維、金屬氧化物、導電聚合物等或類似物 而製成的導電樹脂可以加入到這類樹脂或合金樹脂中。在 TW3032PA / FP06-0079-00TW-XX 12 這些材料中，較佳地係使用透明度較高的聚碳酸酯。 如第1〜3圖所示，在容器主體丨中，前部的周緣部 f向外彎曲，在剖視圖（見第3圖）中看基本上成l形， 從而形成邊緣部分2。用於定位的定位配件設置在底面的 前部兩側，和底面的後部中心。用以供自動運輸機支持的 .機器人凸緣（robotic flange) 3以可拆卸的方式安穿在 頂部的中部。 x 如第3、5圖等所示，容器主體丨的兩侧壁4分別形 f爲弯曲的形狀’以與基板w的形狀對應，從而形成多個 第二支撐部件20和第二支撐部件24。在製造容器主體工 之前先形成第一和第二支撐部件2〇、24。然後，在與基板 W的周緣部分接觸的接觸部分5以及第一和第二支撐$件 !°„和24由樹脂層30覆蓋之後，藉由將侧壁4插入到製造 容器主體1的模具内，形成容器主體1的一部分。 如第3圖所示，蓋子元件1〇包括殼體丨丨和蓋子a。 殼體11的橫截面基本上爲盤形，並以可拆卸的方式與容 器主體1前側的邊緣部分2嚙合。如上所述，用於將^子 兀件10緊固到容器主體丨上的鎖定機構設置在蓋子元件 10上蓋子元件10的鎖定機構藉由從外部操作與容器主 體1嗔合錢合。這種麵的鎖定機構的實例公開在美國 專利申請公報No. 2005/0230398和美國專利申請公報N〇. 2005/0274645。蓋子12安裝在殼體11的表面上。蓋子元 件10的彈性前保持器13保持著基板w的前部的周緣，並 且安裝在殼體11的與容器主體i的内側（即後壁）相對 TW3032PA / FP06-0079-00TW-XX ,, 1322478 = 外，環形的密封塾14與殼體11的周壁唾合。 在封墊14經受壓縮變形，用於密封容器主體工 蓋^件1G以樹減鑄形成，例如聚碳義、含氣 ===、聚„(p相hersulfQne)、聚醚酰亞胺、 ♦醚醚酮4或類似物。
24八二:！〜5圖所示’多個第-和第二支撐部件20和 4?從谷器主體！的兩侧壁（具體地說，兩側壁的内表 20凸Ί每個㈣上的這㈣—和第二支樓部件 和24之間形成間隙25 (見第3和5圖）。 如第3〜7圖所示’多個第一支撐部件2〇在形_ 體1的各側壁4的内表面上沿縱向以指定的間距平行排 /夕’第一支撐部件20排列在更靠近容器主體1前 :部的周緣。每個第—觸件2〇都覆蓋支 =且形成爲在平面圖（見第3和5圖）中看基本上 和厚區域22。薄區域21從相應側壁 表面向容器主體1的内側凸出，並藉由_層3〇以 :千文勢支撐考基板w的側部的周緣。厚區域22形成在 二區r的外側（即侧壁4 一側)’並防止基板彈出或移 動。由溥區域21和厚區域22形成與基板？厚度相當 卿）23,並將薄區域21形塑成在平面圖中看來 爲圓弧形。 如第3〜5、8 形成容器主體1一 和9圖所示，多個第二支撐部件％在 部分的各側壁4的内表面上沿縱向以指
TW3032PA / FP06-0079-OOTW-XX 14 1322478 « 定的間距排成-排。第二支揮部件24排列在更 — 主體1後壁1B的位置，並藉由樹脂層3〇以水平姿勢=裔 著基板W的側部周緣。每個第二支撐部件24都=蓋^ 脂層30,並且形成在剖視圖（見第8和9圖）中看來基士 上爲平面的形狀。薄區域21Α從側壁4的内表面向容^本 體1的内側凸出，並且每個薄區域21A藉由樹脂層卯主 ^平，安勢支撐著基板w的侧部的周緣。在該實施例中 • ‘:薄，’區域21A指比第-支撐部件20的厚區域薄的薄萨 域21A。每個薄區域21A的上表面形成在與第— : 的薄區域21之一的上表面在垂直方向上對應的=件 此外，每個第二支撐部件24形成爲在平面圖中 上爲梯形的形狀。 土本 樹脂層30用兩色澆鑄法由摩擦性質比容器主體 •材料摩擦性質低而抗磨損性質比後者之抗磨損性的 材料形成。具體而言’聚對苯二甲酸丁二醇酯、(pbt7的 • 聚醚醚嗣（PEEK)被用作樹脂層30材料。當根據AST或 國試驗和材料齡）D刪來測量樹脂層3〇相對鋼^ 係數時，獲得的測量值低於〇 33，較佳地爲〇 2〇甚摩擦 低。 至更 當滑動性質不佳的基板W與接觸部分5接觸時，*止 樹脂層30用於覆蓋各側壁4的接觸部分5。此外，才如乂些 述，樹脂層30還用於覆蓋第一支撐部件2〇的前、上所 以及第二支撐部件24的前、後表面。如第3〜;表面 在基片W由這對侧壁4上的第-和第二支撐部件
TW3032PA / FP06-0079-00TW-XX 1322478 支撐的情況下，當基板W支撐在第一支撐部件20和第二 支撐部件24上時，各側壁4的接觸部分5的一個例子是 位於下述相交中心線的延長線EL上的多個内表面部分6， 其中相交中心線與通過基板W的中心線中平行於基板W的 插入和取出方向的中心線CL垂直。此外，接觸部分5的 另一個例子是各側壁4的彎曲的後部的内表面7 (見第3 圖）。 φ 在按上述方法製造容器主體1的情況下，首先往側壁 4的模具中注入聚碳酸酯之類的材料，然後整體形成各側 壁4、第一支撐部件20和第二支撐部件24。同時，根據 侧壁4的模具的形狀，在容器主體1的側壁上形成與基板 的周緣部分接觸的接觸部分5。 此外，模具中注有摩擦性質較低而抗磨損性質較高的 ' 樹脂。然後，用樹脂層30覆蓋將要與基板W的周緣部分 接觸的第一支撐部件20、第二支撐部件24以及各側壁4 φ 的接觸部分5。因此，接觸部分5、第一支撐部件20和第 二支撐部件24都覆蓋有樹脂層30,且與樹脂層30形成一 體。 在澆鑄樹脂層30時，從側壁4的外側向模具中注入 摩擦性質較低而抗磨損性質較高的樹脂。如第7和9圖所 示，希望樹脂層3 0包括形成在側壁4上的凸緣8。在此情 況下，用於形成樹脂層30的樹脂從各側壁4的外側經形 狀與凸緣8的形狀對應的通孔注入。每個凸緣8具有在側 壁4的外表面附近的外部8a和在側壁4的内表面附近的 TW3032PA / FP06-0079-00TW-XX 16 内《Mb ’並且外部8a的尺寸可以大於内部8b的尺寸（見 第7和9圖）。由於有這些凸緣8,因此覆蓋部分（即樹脂 層30)不會滑出。具體地說如果首先形成尺寸較大的凸 緣8 \那麼即使在側壁4樹脂和樹脂層30樹脂之間的界面 的附著強度&低以致不可能指望有足夠附著強度的情況 下，也可s以抑制或防止樹脂覆蓋層30剝落或位置偏移。 在提供了凸緣8的情況下，在側壁4上形成形狀與凸 緣8的形狀對應的通孔，凸緣8在側壁外表面上的尺核 於在側壁内表面上的尺寸。然後從側壁的外側經通孔往模 具中注入用於形成樹脂層30的樹脂。 在各側壁4的接觸部分5以及第-和第二支撐部件 20和24由此而都覆蓋上樹脂層之後，將該對側壁4播 入到今器主體1的模具中。然後將聚碳酸_之類的樹脂注 入到模具巾’並使之冷卻和硬化，這樣就可以製造劈 4整體形成在其兩側上的容器主體1。 在上述構造中，接觸基板w的大部分容器主體 有獨立於容器主體i的樹脂層3〇，因此改善了相對基:盒 的滑動性能。因此，即使基板儲存容器受到震動， 防止因基板W的周緣部分或後表面與第—和第二支 20和24摩擦而導致基板w損壞。因此，可以顯著地 或防止産品的性能或産率下降。 制 此外’可以藉由使基板W的周緣部分上的排 (例如沿徑向向内3mm)變窄而提高産率。此外，由 統具有沿基板周緣彎曲的形狀的支撐部件被分成〜 ^ '〜和
TW3032PA/ FP06-0079-00TW-XX 1322478 第二支撐部件20和24，並且兩者分開凸出，因此在第一 和第二支撐部件20和24之間形成間隙25。因此，可以切 實減小與基板W的接觸區域，以致可以大大減少有機物的 污染。
接下來，第10圖展示了根據本發明的第二實施方式 的基板儲存容器200。在該例子中，一對有彈性的左和右 後保持器9支撐著位於後部的基板W的周緣部分，並且這 ^ 對保持器被設置於後壁1B上（具體地說，安裝在後壁1B 的内表面上），後壁1B是容器主體1的内壁。在基板儲存 容器200中，第一和第二支撐部件20、24由中間部件122 連接。因此，每套第一和第二支撐部件20和24都形成連 續的整體，而不是單獨形成。連接第一和第二支撐部件20 ' 和24的中間部件122的邊緣呈平面的弧形，並且中間部 件122的厚度小於第一和第二支撐部件20和24的厚度。 因此，中間部件122在垂直方向上與插入的基板W隔開， φ 並且被製成不與基板W之後表面的周緣部件接觸的形狀。 因此，即使基板儲存容器受到震動，也有可以像第一實施 方式一樣防止損壞基板W。 多對有彈性的後保持器9在垂直方向上排成一排。各 後保持器9在彈性、抗磨損能力和低摩擦性質方面都極 佳，並且形成基本上為U形或V形的橫截面。後保持器9 由不容易污染基板W的材料（例如聚對苯二曱酸丁二醇 酯、聚醚醚酮、聚酯型彈性體、聚烯烴型彈性體等或類似 物）形成。 TW3032PA/ FP06-0079-00TW-XX 18 1322478 像第一實施方式中的第一支撐部件20 —樣，這裏的 每個第一支撐部件20也有薄區域21和厚區域22。薄區域 21從相應側壁4的内表面向容器主體1的内側凸出，並通 過樹脂層30以水平姿勢支撐著基板W的侧部周緣。厚區 域22形成在薄區域21的外側，它可防止基板W彈出或移 動。在薄區域21和厚區域22之間形成與基板W的厚度對 應的突出部23。其餘部件與上述第一實施方式中的一樣， φ 因此這裏不再描述這些部件。 與第一實施方式基本相似的作用和效果也可預期出 現在這一第二實施方式中。此外，由於各基板W在前、後 方向上被後保持器9和具有減震效果的前保持器13夾住 並受到保護，顯然，即使基板儲存容器在運輸過程中受到 震動，基板W也不會咯咯作響，並且基板可以受到穩定的 ' 支撐。 此外，在上述各實施方式中，蓋子元件10包括鎖定 φ 機構，該鎖定機構可通過操作通孔42從外部操作。然而， 本發明並不局限於此。例如，代替或者除了鎖定機構之 外，還可以在蓋子元件10的側部上設置錨固機構，以便 與從容器主體1的側壁4的前部凸出的錨固塊41嚙合。 具體地說，錨固機構包括局部中空的錨固件，它們分別支 撐在蓋子元件10的兩侧部上，以便錨固件可以圍繞蓋子 元件10的侧部上的轴線旋轉，並且以可拆卸的方式與容 器主體1的錨固塊41嚙合。這種類型的錨固機構在例如 曰本專利申請公開未決No. 2004-1 11830中。此外，在基 TW3032PA/ FP06-0079-00TW-XX 19 丄抑478 板W由那對側壁4上的篦一 的情況下，與基板：的夂支撐部件20和24支撐 是除了内表面部分R 、則壁4的接觸部分5也可以 相交中心線的延長線:二其表面部分6位於 直。例如，接觸部分5可以θ夂取出方向的中心線CL垂 内表面7。 疋側壁4的多個彎曲的後部
此外，各侧壁4的彎曲 件24也可以由連續的樹脂層二支樓部 =和第二支擇部件24的層覆蓋。：由=各 ;區域22和突出部23氺 溥區域21、 形狀，而是由樹脂層3()覆蓋^疋由樹脂層30所形成的 狀來塑形。此外，包括第一二第；支撐部件20的原始形 的側壁4也可以藉由被插 =m和24在内 整體模鑄。 』合盗主體1的杈具内而進行 此外，側壁4和容器主體1也可以通過雷射焊接、熱 熔合或超音波熔合整體形成。在此情況下，可以將密封^ 件（例如填料等）玫置在各側壁4和容器主體丨的其餘部 件之間加以實現。此外，此密封元件也可以預先與側壁4 或容器主體1形成一體，或者可以形成分離的元件。 本發明能夠抑制因基板W和支撐部件摩擦而造成的 基板W的刮傷和塵埃的産生。此外，本發明還能夠抑制對 基板的周緣部分和後表面的污染和刮傷。 此外，如果在容器主體的内表面上設置支撐基板？周 TW3032PA/ FP06-0Q79-00TW-XX 20 緣部分的彈性保持器9、13， 在移動過程中受到震動，也可二即使基板儲存容器200 . . ν勒也了以抑制基板W鬆動。 哭主俨5顺第—和第二切部件2G和24從… 。。主體的兩侧壁分開凸出，並 24從谷 撐部件20釦？4 + p日 禾在i二第一和第二支 一 之間形成間隙25，那麼可以減少第一 二支撐部件20和24中材料的用量。此外，由於可以減土 與基板的接觸面積，那麼就可以減少因接觸造成的污染/。、 ，這裏，適用于本發明的基板包括各種單個或多個二^ 導體晶圓（例如200mm、300mm或450mm類型的晶圓）、液 晶玻璃、遮光玻璃和精密基板（例如鋁片）等或類似物。
容器主體1可以是前開口型、頂開口型、FOSB型或f〇UB 型’也可以是透明的、不透明的或半透明的，還可以是導 電的或絕緣的。 综上所述，雖然本發明已以幾個較佳實施例揭露如 上’然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具 有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍内，當可作 各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之 申請專利範圍所界定者為準。 TW3032PA/ FP06-0079-00TW-XX 21 1322478 【圖式簡單說明】 第1圖是總體的透視說明圖，展示了根據本發明的基 板儲存容器的第一實施方式； 第2圖是透視說明圖，展示了從第1圖所示的基板儲 存容器的容器主體上取下蓋子元件後的情形； 第3圖是平面剖視圖，展示了根據本發明的基板儲存 容器的第一實施方式； 第4圖是說明圖，展示了根據本發明的基板儲存容器 的第一實施方式中的側壁； 第5圖是平面說明圖，展示了根據本發明的基板儲存 容器的第一實施方式中的側壁； 第6圖是沿根據本發明的基板儲存容器及其製造方 法的第一實施方式中第5圖的VI-VI線得到的剖視圖； 第7圖是沿根據本發明的基板儲存容器及其製造方 法的第一實施方式中第5圖中的VII-VII線得到的剖視 圖， 第8圖是沿根據本發明的基板儲存容器及其製造方 法的第一實施方式中第5圖中的VIII-VIII線得到的剖視 圖； 第9圖是沿根據本發明的基板儲存容器及其製造方 法的第一實施方式中第5圖中的IX-IX線得到的剖視圖； 以及 第10圖是平面剖視圖，展示了根據本發明的基板儲 存容器的第二實施方式。 TW3032PA/ FP06-0079-00TW-XX 22 1322478 【主要元件符號說明】 I :容器主體 1B :後壁 1D :凹槽 1F :開口部分 2:邊緣部分 3 :凸緣 4、4U :側壁 5 :接觸部分 6 :内表面部分 7 :内表面 8 :凸緣 8a :外部 8b :内部 9 :後保持器 10 :蓋子元件 II :殼體 12 :蓋子 13 :前保持器 14 :密封墊 20 :第一支撐部件 21、21A :薄區域 22 ·厚區域 23 :突出部 TW3032PA / FP06-0079-00TW-XX 23 1322478 24 :第二支撐部件 25 :間隙 30 :樹脂層 41 .錯固塊 42 :操作通孔 100、200 :基板儲存容器 122 :中間部件 W :基板
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Claims (1)

1322478 • . 〇 ' ‘ 5 齡邮日修正替換頁 十、申請專利範圍： 一 1. 一種基板儲存容器，包括： 一容器主體，包括一開口、一後壁和一對側壁，並用 - 於將一基板儲存在該對側壁之間，其中該對側壁包括一接 . 觸部分，用以與該基板周緣部分接觸； 一蓋子元件，用以封閉該容器主體之該開口； 相對設置在該對側壁上的至少一第一支撐部件，用於 支撐該基板的周緣部分，以及 相對設置在每個該對側壁上的至少一第二支撐部 件，用於支撐該基板的周緣部分，並且位於該後壁和該些 第一支撐部件之間； . 其中該接觸部分、該第一支撐部件及該第二支撐部件 係與該容器主體具有相同材料，且該接觸部分、該第一支 撐部件和該第二支撐部件覆蓋有摩擦性質低於該容器主 體之摩擦性質的一樹脂層； 其中該樹脂層包括一薄區域及一厚區域，該薄區域係 用以支撐該基板保持水平，且該厚區域係覆蓋於該薄區域 外。 2. 如申請專利範圍第1項所述之基板儲存容器，更 包括： 設置在該容器主體之該後壁上的一彈性保持器，用於 支撐該基板的周緣部分。 3. 如申請專利範圍第1項所述之基板儲存容器，其 中該第一支撐部件和該第二支撐部件分別從該容器主體 25 ΙΟ 兮JΓ上凸出，亚且在每一該側壁上的該第一I·撑部件和 〜第二支撐部件之間形成間隙。 Φ杏5如申請專利範圍第1項所述之基板儲存容器，其 y玄基才反破支樓纟該第一支撐部件和該第i支撐部件 日:’該接觸部分位於—相交中心線的延長線上，該相交 :線與通過該基板的中^線中平行於該基板的插入和 方向的中心線垂直，並且該接觸部分覆蓋有該樹脂 由二i二如申請專利範圍第1項所述之基板儲存容器，其 /亥^主體由包括聚碳酸§旨、料苯二甲酸丁二醇醋、 衣烯聚σ物、聚鱗酰亞胺、聚___和合金樹脂中的一種 材料衣成’並且該樹脂層由聚對苯二曱酸丁 醚酮中的一種製成。 认 Α々申明專利範圍第1項所述之基板儲存容器，其 該樹脂層包括形成在該對侧壁内侧的一凸緣，該凸緣具 有在α亥對側壁之外表面附近的一外部和在該對側壁之内 表面附近的H並且該外部的尺寸大於該内部的尺 7.—種製造基板儲存容器的方法，該儲存容器包 括·一容器主體’該容器主體具有—後壁和—對側壁，用 於將-基板儲存在該對側壁之間，其中該對側壁包括一接 觸部分’用以與該基板周緣部分接觸；相對設置在該對側 土上的至；-第—支撐部件，用於支撐該基板的周緣部 分；以及相對設置在該對側壁上的至少一第二支撐部件， 26 1322478 1 曰修正替换頁 *· » 用於支撐該基板的周緣部分，並且位於該後壁和該第一支 撐部件之間，該方法包括： 將該接觸部分、該第一支撐部件和該第二支撐部件一 體成形於該容器主體的該對側壁上； ' 將一樹脂注入一模具，以形成具有摩擦性質低於該容 r 器主體之摩擦性質的一樹脂層，用以覆蓋該接觸部分、該 第一支撐部件和該第二支撐部件；以及 藉由將該側壁插入到一用於形成該容器主體之該後 壁的模具内，以形成該容器主體。 8.如申請專利範圍第7項所述之製造基板儲存容器· 的方法，還包括： 用該樹脂層覆蓋該容器主體之該對側壁上，與該基板 ' 的周緣部分接觸的一接觸部分。 - 9.如申請專利範圍第7項所述之製造基板儲存容器 的方法，還包括： 在該對側壁上形成一通孔，該通孔的形狀與一凸緣的 形狀對應，該凸緣具有在該對側壁之外表面附近的一外部 和在該對側壁之内表面附近的一内部，其中該凸緣之該外 部的尺寸大於該内部的尺寸；以及 從側壁外側經該通孔注入樹脂以形成該樹脂層。 27 A
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