1294522 九·、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 =發明侧於-種為了進行半導體積體電路等之預定 =構造的通電檢查而收料數個導電性接觸子之導電性 持器、及在該導電性接觸子支持器内㈣^ ， ^接觸子而形成之導電性接觸子單元。 【先前技術】 通雷於2作為進仃半導體龍電路等之預定電路構造的 所Γγ 術，為人周知者有關於—種對應該電路構造 觸；飪Γ外:ρ連接用電極而配設複數個導電性接觸子(接 =該=tr接觸t單元的技術(例如，參照專利文獻 將I接觸子單疋係具備··複數個導電性接觸子、 二數二導電性接觸子收容於預定位置之導電性接觸子 支持:、及與複數料錢接軒電性連接之檢查電路。 、士於如上述之導電性接觸子單元，P左基、4沐十 /積體電路之小型化或動作早70 ’者近年來半導體 _小型又可U你 ，已開始被要求一種既 -頻挛驅：之技術。尤其是，在實現一種對應以較 確度佳地進行使構純2性接觸子早π時，有必要精 特性阻ί 之—部分的導電性接觸子之 d路構造之特性阻抗相匹配的阻抗匹配。 (專利文獻1) B太轰名丨4士 【發明内容】 本專利特開娜聰 (备明所欲解決之問題） :、、而為了要貫現-種對應以較高頻率驅動之電路構 318167 5 1294522 造的導電性接觸子單元，就必須縮小用以進行電信號輸 導電性接觸子的直徑。因此，作為可適用細徑狀之導 . 接料的導電性接觸子支持器或導紐接觸子單元整 體，有其強度及耐久性發生問題的可能性。 提㈣於上述問題而開發完成者，其目的在於 查對象之電路構造即使在傳輸高頻信號時亦可 ^應’且具優越之強度及耐久性料紐接觸子 導電性接觸子單元。 W及 • ( %*決問題之手段） 導電::::2課題，並達成目的，本發明之-態樣的 ==接觸子支持器，係至少收容可對預定之電路構造進 ，號輸出人之錢科電性制子，其特徵在於 板，由導電性材料形成，且形成有用以收容上述 。旒用¥電性接觸子之第口部;及件” 緣性材料形成，且被插入於上述第Γ開口· 個上述信號用導電性接觸子；其中，將上述保持構 二之表面即與該導電性接觸子支持器之表面平行的表面之 最大外徑’設成為比被收容於該導電性接觸子支持器之上 述信號用導電性接觸子的軸線彼此間之最接近間隔^大。 再且，本發明之另—態樣的導電性接觸子支持哭，係 容可對歡電路構造進行信號輸出人之信號ς導電 =子、以及可對上述電路構造進行接地電位供給 ^導f性接觸子，其特徵在於具備：支持器基板，由導 电性材科形成，且形成有用以收容上述信號用導電性接觸 318167 1294522 子之第1開口部、以及在維持與上述接地用導電性 =電性連接的同時，收容上述接地用導電性 =:及保持構件，由絕緣性材料形成，且被插入二 二部内，用以保持至少一個上述信號用導電性接 支持哭i表面if面即_導電性接觸子 表面之最大外徑，設成為比被收容 ㈣ \ 支持器之上述信號用導電性接觸子的轴 線被此間之最接近間隔更大。 空部::緣:::籌Γ:持構件亦可為具有二個中 接觸且相互之軸線呈平行之方中空部係能以不相互 性接觸子。千仃之方式保持-對上述信號用導電 美;^ ^ ΐ述㈣中，上述支持器基板亦可具備：第1 二?:形成有分別對應上述第1開π部及上述第2開口部. 岸m;;及弟5開口部;及第2基板’形成有分別對 仏二第2開口部之㈣ 述第8開二ί: ΙΓ與上述第道_ 1 A板.而k /、弟5開口部連通之方式固定於上述第 述土第μ"!述絕:緣性眼鏡形狀構件係具有：被插入於上 鏡形狀^件/之弟1眼鏡形狀構件、以及形成與該第1眼 鏡形狀構件。目同形狀且被插人於上述第7開口部之第2眼 可於述發明中，上述第1及第2眼鏡形狀構件亦 ' 別形成有止脫凸緣，且錢上述止脫凸緣 318167 7 1294522 位於上述第〗基板與上 .插入於上述第4開口部丄=境界侧的方式分别被 再且，上述發明中，亦可更具 、由導電性材料形成，且被插入於上述第件，其係 -保持上述接地用導電性接觸子。 # 口。卩内，用以 • 再且，上述發明中，上述支持哭其缸★ 開口部’其係用以收容可對上述電;==備第3 _供電用導電性接觸子；在上述第3一_=^ = 性管構件。 電用¥電性接觸子之絕緣 再且，本發明之另一態樣的導電性。_ 徵在於具備:信號用導電性接觸子，可對預定;：構:: ^ 5虎之輪出入；接地用導電性接觸子，可對上述電^構 =行_電位之供給；導電性接觸子支持器，包含有^ 赤益基板及保持構件’該支持器基板係由導電性材料形 ，成’且㈣有用以收容上述信號用導電性接觸子之第1開 口部’以及在維持與上述接地用導電性接觸子之電性連^ 的同時，收容上述接地用導電性接觸子之第2開口部，而 該保持構件係由絕緣性材料形成且被插人於上述第】開口 部’用以保持至少—個上述信號用導電性接觸子，·及電路 基板’至少與上述信號用導電性接觸子電性連接，且具有 用以產生可對上述電路構造輪入之信號的電路，·其中，將 述保持構件之表面即與上述導電性接觸子支持器之表面 呈平行的表面之最大外輕，設成為比被收容於上述導電性 318167 8 1294522 增號用導電性接觸子的轴線彼此間之 二緣構;述:持 接觸且相互之軸線呈平行之：係能以不相互 性接觸子。方式保持一對上述信號用導電 田再且，上述發明令，上述電路基板亦可包含差動傳於 依據本發H藉由具備：支持顧板，由導電性材 :形成’且形成有用以收容可對預定電路構造進行 :入之信號用導電性接觸子的第1開口部;及保持構二’ :絕緣刪形成，且被插入於上述第！開口部，用以保 ，至>-個上述信號用導電性接觸子；將上述構之 =即與該導電性接觸子支持器之表面呈平行的表面之最 比被收容於該導電性接觸子支持器内之上述 U用V電性接觸子的軸線彼此間之最接近間隔更大，由 日'亦可作對應’且具優越之強度及耐久性的電觸子 支持器及導電性接觸子單元。 〒电您接觸子 【實施方式】 〆^，參照附圖說明用以實施本發明之最佳形態以後 稱為「實施形態」）。另外，圖式係為模式圖，應留意各部 /刀之厚度與寬度的關係、各自之部分的厚度比率等仍有與 318167 9 1294522 :況，當然在圖式之相互間亦有包含相互尺 寸關係或比率不同之部分的情況。 (實施形態1) 的槿：二顯示本發明實施形態1之導電性接觸子單元 以對㈣導電性接觸子單元1係用 拉子預疋之電路構造進行電信號之輸出入 供終、及 且收容複數個用以電性連接作:檢ί 電性接2 於該電路構造而設之檢查電路的導 具體言之’導電性接觸子單元1係具備··進行對作 體積體電請供給之電信號生成等的 電性進行該電路基板2與半導體積體電路_之 子3收容於預…= 將硬數個導電性接觸 導電性接觸子支持器4之外周，且用以在：杳時 >體積體電路侧之位置偏移的支持器構件5。 電路基板2係具備用以檢查半導體積體電路_之電 特性的檢查電路。在該電路基板2上，有以 杳雷玖姐憎；L,\ 另用以將刖述之檢 :電路對Μ性接觸子3電性連接的電極(第⑼中省略 不\適當地配置於與支持器構件5相對向之側的表^ 觸^圖係局部顯示裝設有導電性接觸子3之導電性接 “绫立持斋4之構成例的頂視圖。又，第3圖係第2圖之 、、=視圖。使用該等之第2圖及第3圖，說明導電性 接觸子3及導電性接觸子支持器4之構成。 318167 10 1294522 首先’說明導電性接觸子3之構成。導電性接觸子3 係相應於對半導體積體電路100供給之信號的種類等可大 致區分為三種類。亦即，導電性接觸子3可大致區分為對 半導體積體電路100輸出入電信號之信號用導電性接觸子 31、對半導體積體電路1〇〇供給接地電位之接地用導電性 接觸子32、以及對半導體積體電路1〇〇供給電力之供電用 導電性接觸子33。 信號用導電性接觸子31係具備與電路基板2之電極接 觸的針狀構件21、裝設半導體積體電路1〇〇時與半導體積 體電路100之連接用電極接觸的針狀構件22、以及設於針 狀構件21與22之間且伸縮自如地連結二個針狀構件21 及22的彈簧構件23。該等針狀構件21及22及彈菁構件 23係具有同一軸線’且在裝設半導體積體電路_時 在該軸線方向伸縮，即可緩和半導體積料 路100對連接用電極之衝擊。 .許Φ情構件21之太端部係以可確實保持設於半導體積 體電路100之連接用電極的 他 篮積 突出㈣壯玄士 式構成數爪朝尖端方向 二出的減。另—方面，在針狀構件21之基端部有 接於彈簧構件？ q夕㈣加^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 叹有抵 i # 、 而邛的凸緣部。該凸緣部21a係蕻 由，、用以保持信號用導電性 工 ’、择 =广狀構件6)::具^ 觸導電性接觸子支持器4脫落的功能。 端1才件22係具備抵接於電路基板2上之電極的小 知。該針狀構件22係可佑骚雄姐上 电松的大叙 了依弹耳構件23之伸縮作用而朝軸 318167 11 1294522 線方向移動，且可依彈簧構件23之彈力朝電極方向彈壓， 俾可在減低接觸電阻之狀態下與電路基板2之電極接觸。 在該針狀構件22上，亦設有具有與針狀構件21之凸緣部 21a相同止脫功能的凸緣部22a。 -接地用導電性接觸子32係具備針狀構件24及25、以 及伸縮自如地連結該等針狀構件24及25之彈簧構件％。 針狀構件24、針狀構件25及彈簧構件26之各個，係分別 具有與針狀構件21、針狀構件22及彈簧構件23相同的構 成。因此’在針狀構件24及25上’分別設有凸緣部物 及25a ’且該等之凸緣部係藉由與用以保持接地用導電性 :觸子32之導電性保持構件(導電性管構件7)接觸，而且 有防止接地用導電性接觸子32從導電性接觸持 脫落的功能。 付4 在第3圖所不之情況，接地用導電性接觸子犯之外今 係大於信號科電性躺子31及供電科電性接觸子33 =外徑4係因接地科電性接觸子％不需要進行特性^ 之阻抗匹酉& ’且在考慮強度或㈤久性、甚至電傳導性之 後，可以儘可能地加大其外徑之故。 電用導電性接觸子33係可適用構成與信號用導電 性接觸子31相同形狀之導電性接觸子。，供電^電 ，子33係具備分別構成與針狀構他^ _ 2237及^ ’該等針狀構件27及28係可依構成 針狀構件27設有構成分別與凸緣部⑴相同形狀=緣t 318167 12 1294522 相方自*針狀構件28設有構成分別與凸緣部22a -緣部28a’藉由該等凸緣部他及撕與用 ~管構件8)接觸觸子33之絕緣性保持構件(絕緣性 電摊 /、有防止供電用導電性接觸子33從導 來看亦右子客支持器4脫落的功能。另外，從耐電流之觀點 -2性供Γ導電性#觸子33之直徑設為比信號用 ¥電性接觸子31之直徑大的情況。 •子而斟之：之'月中’虽未區別上述三種類之導電性接觸 統稱時就簡單稱為「導電性接觸子3」，而當述及 各個¥電性接觸子時則使用各自的名稱。 構成接^說明本實施形態1之導電性接觸子支持器4的 構成。導電性接觸子支持 導電性接觸子3係將具有上述構成之複數個 容成矩陣狀兮、4 體積體電路100之構成而收 材接觸子支持器4係具備❹導電性 金屬或導電性樹脂等)而形成之支持器基板 _ 以及被覆該支持哭美；^ 7 r主工 4a及4b。又符基板71表面之預定區域的絕緣構件 觸早 ^電性接觸子支持器4係將用以保持導電性接 :子:之保持構件插入於設在支持器基板71之=: 成。该種保持構件择斟旛 丨而構 種類。亦即，爾、 導電性接觸子3之種類共有三 、 用以保持一對信號用導電性接觸子Μ之浐 性眼鏡形狀構件6、用以粗姓立乂 、"巴緣 電性管構#7 接地科電性接觸子&之導 緣性管構件^及用以保持供電用導電性接觸子％之絕 318167 13 1294522 構成導電性接觸子支持器4之母材的 係具有開口部，其係用 持益基板71 眼鏡形狀構件6、導電性n為保持構件之絕緣性 具體而古，用歸― 絕緣性管構件8。更 :體而。用以收容絕緣性眼鏡形狀構 • 51、用以收容導電性管構件7之第2 2弟：:: 上以貫穿支拉哭Γ p 53 ’係分別在預定位置 數百至數千支左右之導電性接觸 口部之形成位置觀— 成或Γ狀等而決定’第2圖所叫^ 不、疋&員不一例而已。 之構ί持：ί板71係具有重疊第1基板72與第2基板73 W在第1基板72，有個別形成第1開口部51、第2 f 口部52及第3開口部以之-部分… 開口部55及第6開口部56被設在預定位置。又，在第2 ►基板73,有個別形成第1開口部5卜第2開口部52及第 =部，-部分的第7開咖^ 弟"開q 59被設在預定位置。第丨基板72及第2基板 73係以第4開口部54與第7開口部57、第5開口部π 與第8開口部58、第6開口部5β與第9開口部“分别連 通成同軸狀之方式在相互接觸的狀態下固定。 斤第4開口。ρ 54至第9開口部59係藉由對第1基板π 及f 2基板73進行鑽孔（如11)加1、侧、衝孔成形， 或是進行利用雷射、電子束、離子束、線放電等之加工， 318167 14 1294522 即可分別形成在預定位置。 • …丨而’對於支持器基板71而言，由於各個導電性接觸 子3只具有可能忽略程度之大小，所以支捧器基板71之電 位成乎不會因導電性接觸子3所提供之電荷而變動。因 -此，即使在電荷從半導體積體電路100流入接地用導電性 ;接觸子32的情況，該流入之電荷亦可快速對支持器基板 71釋放、擴散，而接地用導電性接觸子32及支持器基板 71之電位可穩定地維持在接地電位。 • ^ 且’支持器基板71係具有防止電信號通過信號用導 電性接觸子31時所產生放射之電磁波、或從外部傳播而來 之電磁波到達其他信號用導電性接觸子31供 電 性接觸子㈣親魏。 、如此為了使支持益基板71可充分發揮維持接地電位 或遮蔽電磁波之功能，構成支持器基板71之導電性材料的 體積固有電阻係以較低者為佳，例如使用砲銅(卿_山 籲或鍵銅等為佳。又’支持器基板71在維持接地電位之方 面’係以第1基板72與第2基板73間之電性接觸電阻儘 量低為佳。因此，若平滑地加工第，基板72與第2基板 73之接觸面，或進行鍍鎳+鍍金等表面處理則更佳。 被覆以上說明之支持器基板71表面的絕緣構件乜及 4b，係對電路基板2及半導體積體電路1〇〇、與支持哭某 板71進行電性絕緣。該種絕緣構件土及仙，:可^ 乳光機（calender)加工、擠製（extrusi〇n)、浸潰、;霧、 散佈（spread)、電鑛等之塗敷而形成皮膜狀。又，絕緣構 318167 15 1294522 件4a及4b亦可使用化學氣相沉積法avD: — va_
Deposition)來形成，或藉由氧化銘處理ui⑽ite)等之氧 化膜來形成。 接著就各種保持構件之構成加以詳細說明。首先， .絕緣性眼鏡形狀構件6係具有以不相互接觸、且相互之轴 線呈平行的方式可保持一對信號用導電性接觸子31的二 個大略，柱狀之中空部，用以確保信號用導電性接觸子W I ?支持基板71 Μ之電絕緣性。該絕緣性眼鏡形狀構件& 係具有甩以各別插入並保持二個信號用導電性接觸子31 之二個中空部分，且包含該等之中空部分在内而構成對稱 的剖面形狀。絕緣性眼鏡形狀構件6係包含有：被插入於 第1基板72之第4開口部54的眼鏡形狀構件6a(第！眼 鏡形狀構件）’·及構成與該眼鏡形狀構件仏相同形狀，且 被插入於第2基板7 3之第7開口部5 7的眼鏡形狀構件6匕 (第2眼鏡形狀構件）。 絕緣性眼鏡形狀構件6係與導電性接觸子支持器4之 王平行的表面之最大夕卜徑，形成比導電性接觸子3 =間距見度r(導f性接觸子3之⑽彼關的最接近間隔）
㈣卿狀構件^及他之―端部，分別形成有具; 二他大之外控的止脫凸緣61及62。眼鏡形狀構名 ^係以止脱凸緣61位於第1基板72及第2基板73之残 =方式被插入於们基板72，W 件扑係以止脫凸緣62位於第！基板72及第2基板心 318167 16 1294522 境界侧的方式被插入於第2基板73。因而，眼鏡形 6a及眼鏡形狀構件6b係在第」開口部5ι之内部，互相抵 接於分別具有止脫凸緣61及62之端部彼此間。藉由設置 如上述的止脫凸緣61及62，即可使其具備防止^緣性又眼 —鏡形狀構件6從支持器基板71歸的功能，同時可使盆提 力信號用導電性接觸子31插入於絕緣性眼鏡形狀^ 之定位精確度。 形成於眼鏡形狀構件6a及眼鏡形狀構件肋之中* 在與分別形成有止脫凸緣61及62之端部相反：的 ^上’具有内徑縮窄的形狀。藉此，可防止被收容於各 件號用導電性接觸子31，從絕緣性眼鏡形狀構 件6之表面朝外部脫落。 具有以上構成之絕緣性眼鏡形狀構件6係具有用以校 Μ號^電性接觸子3丨之特性阻抗值的功能。更具體而 二^構成絕緣性眼鏡形狀構件6之絕緣性構件的 「貝/數值或形狀，即可使信號用導電性接觸子31之特性 2 ’與電路基板2之檢查f路或半導體龍電路〗 特性阻抗一致。 鏡形狀構件6係使用例如含有細氣泡之發 1 ~所形成。發泡聚乙缔係為人周知者，JL内部之空 =『質常數就越降低。為了要維持罐 γ 接觸子Μ之保持構件的機械強度，係以發泡度 與聚乙婦之體積比）為祖右，介質常數為U左 包聚乙烯為佳。又，同樣地亦可使用含有微小氣泡 318167 17 1294522 之PTFE等的氟樹脂來構成絕緣性眼鏡形狀構件6。 八接著，就導電性管構件7加以說明。導電性管構件7 係構成中空大略圓筒狀，可良好地保持接地轉電性 子32與支持器基板71之電性接觸。該導電性管構件7係 -7包含有被插入於第1基板72之第5開口部55的管狀構件 及構成與該管狀構件心同形狀，且被插入於第2 基板73之第8開口部58的管狀構件7b。在管狀構件以 及7b之-方端部，分卿成有具有比其他部分大之外 止脫凸緣63及64，久为丨拟#女L⑽n a 在第…Γ 脫凸緣之端部彼此間係 所直古 内部相抵接。又，管狀構件以及几 山:之中空部，係在與形成有止脫凸緣之端部相反侧的 、口P ’具有内徑縮窄的形狀，用 子32朝外部脫落。 心防止接地料電性接觸 ^成該種形狀之導電性管構件7係在由自銅、碟青 銅、頁銅、不錄鋼等所形成的管構造之内 全 接地用二==導電性管構件7，即可減低 诘柄拉仏 Μ之伸％動作中的動作電阻，同時可 嗜緣柯势德从 外周 的電性接觸電阻0 之絕緣性^ 係藉由與絕緣性眼鏡形狀構件6相同 電性接觸子H形成中空大略圓筒狀，用以確保供電用導 構件8係包含有.#1 之電絕緣性。該絕緣性管 的管狀構件8 入於第1基板72之第6開口部56 :狀構件8a，及構成與該管狀構件8“目同形狀，且祐 插入於第2基板73之筮Qp,, 々日丨』形狀，且被 9開口部59内的管狀構件处。在 318167 18 1294522 管狀構件8a及8b之一方娃# v 分大之外徑的止脫凸緣形成有具有比其他部 端部彼此間係在第3門口：：，各別形成有止脫凸緣之 件8a及8b所且有之53之内部相抵接。又’管狀構 部相反侧的端部，且有:部，係在與形成有止脫凸緣之端 導電性接觸早/、有内徑縮窄的形狀，用以防止供電用 >電丨生接觸子33朝外部脫落。 7a及另7^、ώ用以收容接地用導電性接觸子32之管狀構件 » 8a及8b #1^以收容供電用導電性接觸子33之管狀構件 产、兄其1播!^的外形°更具體言之’第3圖所示之 月况吕狀構件以及几之止脫凸緣 〇料h及心止脫凸緣65的外徑d3係滿足㈣二 ΓΓΛ’^構件化及71)之管部分的外徑&與管狀構 a 之官部分的外徑心係滿足（14>(12之關係。 备的奸‘ ^生s構件7係可只對第2開σ部52進行適 :本入H緣性官構件8係可只對第3開口部53進行 藝k田的插入。結果，可防止例如將供電用導電性接觸子犯 誤插入導電性管構件7，電路基板2或半導體積體電路刚 之供電用的輸出端子等則經由供電用導電性接觸子33直 接被接地，使電路基板2或半導體積體電路⑽因大電产 流動被破壞至無法使用的程度。 ’ 另外，在防止對導電性管構件7或絕緣性管構件8莩 插入之發生的意義中，亦可以形成於管狀構件7a及几之 止脫凸緣63及64的管插入方向長度、與形成於管狀構件 8a及8b之止脫凸緣65及66的管插入方向長度取得不同 318167 19 1294522 值之方式分別形成。 錄說明具有以上構成之導電性接觸子單元1的組裝方 ^百先’對形成於第1基板72及第2基板73之各開口 入刀別對應之保持構件。之後，在以半導體積體電 則成為垂直下側（亦即，與第2基板之境界面成 1垂直上側）之方式配置第1基板72的狀態下，收容與各 保持構件之中空部分對應之導電性接觸子3。接著，對第1 基板72以從垂直上側被覆之方式重疊第2基板73，並相 互固定第1基板72及第2基板73。此後，藉由進一步組 口電路基板2或支持n構件5之構件以完成導電性接 單元1 〇 如上所述，導電性接觸子單元1之組裝很容易，而且 在進行量產方面亦非常適合。又，由於具有利用各止脫凸 緣進行保持構件之錢的構成，所以藉由解除已固 土板72與第2基板73之狀態’即可輕易地自開口部拆下 保持構件。而且，亦可因藉由解除已固:定第1基板72與第 2基板73之狀態而輕易地拆下導電性接觸子3，所亦、 輕易進行保養。 / ^ ^ ^ ^ ^ 可 …在本實施形態i +，係將導電性接觸子單元丄應用於 進行作為高頻傳輸方式之一的差動傳輪（di f fea^ial 、 transmi ssion)的電路構造。差動傳輸係一種以串聯連摟— 對信號用導電性接觸子3!之電路傳遞信號的傳輸形態，— 作為其特性阻抗通常被要求1 〇 〇 Q。 而 第4圖係顯示將本實施形態1之導電性接觸 丁文得器 318167 20 1294522 4,裝設在依高頻信號進行差動傳輸之半導 時的狀況示意圖。第4圖所-夕道_ + 、-電路10 0 弟4圖所不之導電性接觸子 相•於第2圖之A -A’線剖面。該第4圖所示之情況’、 號用導電性接觸子31之針狀構件21及接地 性接二 .子32之針狀構件24的端部係抵接於形成在半導 路100之大略球狀的連接用電極（凸塊）1〇1。、- 相對於此，信號用導電性接觸子31之針狀構件以及 接地用導電性接觸子32之針狀構件25的尖銳端，係抵 在設於電路基板2之表面的預定電極。第4圖中，適用差 動傳輸用之共面型微帶線（CGplanar咖心咖啡 line)’以作為電路基板2之電路構造。該微帶線係在電路 基板2之兩面配置有信號電極仏及汕與接地電極％，並 中一面（第4圖中位於垂直刊之表面）於全面配設有接地 電極2G。二個信號用導電性接觸子31之針狀構件22的尖 銳端’係分別抵接在設於微帶線之表面的信號電極仏及 2b，以進行電信號之收送訊。又，接地用導電性接觸子犯 ^針狀構件25係分別抵接在設於電路基板2之表面中與信 號電極2a及2b相同表面的接地電極2G。 以在此之差動傳輸構成傳輸路徑的信號用導電性接觸 子31之特性阻抗值，係依存於用以保持信號用導電性接觸 子31之絕緣性眼鏡形狀構件6的介質常數、或該絕緣性眼 鏡形狀構件6的剖面積等。因此，當將導電性接觸子3之 間距寬度r設為固定，並使用介質常數取15左右之值的 系巴緣性材料（例如上面所述之發泡聚乙烯或pTFE等氟樹脂） 318167 21 1294522 以形成絕緣性眼鏡形狀構件6時，其與使用介質常數2 ι _之鐵氟龍（註冊商標）來構成絕緣性眼鏡形狀構件6之情況 相較，可將信號用導電性接觸子31之外徑加大1〇至2 、左右。 〇 •又，當與以習知型中空圓筒狀之絕緣性管構件個別保 持成對之信號用導電性接觸子31的情況相較時，在使甩相 同，I質常數之絕緣性構件，並將間距寬度r設為相同來比 鲁較。的情況，可將信號用導電性接觸子31之外徑加大30至 9 0%左1。另外，在此所謂習知型中空圓筒狀之絕緣性管構 件’係私其表面之圓直徑形成比導電性接觸子Μ 度r小的形狀之意。 ^ 一從以上之情形來看，本實施形態1之導電性接觸子單 几1係精由具備在差動傳輸中總括保持成對之信號用導電 性接觸子31的絕緣性眼鏡形狀構件6，即可將信號用導電 性接觸子f之直徑設成比習知物粗，以增加其強度。結 春可提高信號甩導電性接觸子31之高頻信號的傳輸特 ，亦可對應檢查對象之電路的更高速化。 萨 >另外’在將導電性接觸子支持器4應用於差動傳輸 就如第4圖所示不需要傳輸信號用之辞地電極％，且 半V體積體電路100之構造上，即使無法設置接地電極 b之情況亦可使之適用。 依據以上說明之本發明實施形態卜則其藉由具備： ^基板導電性材料形成，且形成有用以收容可對 、電路構以進行k號輸出入之信號用導電性接觸子的第 318167 22 1294522 1開口部；及保持構件，由絕緣性材料形成，且被插入於 上述第1開口部，用以保持至少一個上述信號用導電性接 觸子；其中，將上述保持構件之表面即與該導電性接觸子 支持器之表面呈平行的表面之最大外徑，設為比被收容於 •該導電性接觸子支持器之上述信號用導電性接觸子的軸線 彼此間之最接近間隔更大，即可提供一種檢查對象之電路 構造，即使在傳輸南頻信號時亦可作對應，且具優越之強 度及耐久性的導電性接觸子支持器及導電性接觸子單元。 ® (實施形態1之變形例） 對上述實施形態1，可思及各式各樣的變形例。第5 圖至第7圖係顯示本實施形態丨之變形例的導電性接觸子 支持器之局部構成的頂視圖。其中，第5圖所示之導電性 接觸子支持器41係具有絕緣性眼鏡形狀構件9為長方形狀 的剖面。除了此點以外的導電性接觸子支持器〇之 係與上述之導電性接觸子支持器4的構成相同。因而’ 線剖面與第3圖相同。又，絕緣性眼鏡形狀構 _/、V電性接觸子支持器41之表面呈平行的表面之士 外徑b，係大於導電性接觸子3之間距寬度r。 在第6圖所示之導電性接觸子支持器 電性接觸子/1外之導電性接觸子支持器42的構成係與導 與第3圖相5 的構成相同，第6圖之C'c線剖面亦 子支持器42夕本品g ，、七包性接觸 之表面呈平仃的表面之最大外徑Rg，亦大於 318167 23 1294522 導電性接觸子3之間距寬度r。 、 第7圖所示之導電性接觸子支持器㈣在對角線方向 .1 己置有絕緣性眼鏡形狀構件U，其剖面構成韻蘆型。該種 情況下，當假設其具有與第3圖相同之間距寬度r時，就 -可將絕緣性眼鏡形狀構件η之剖面積設為比其他的絕緣 性眼鏡形狀構件更大。另外，該導電性接觸子支持器^ 令，第7圖之D-D線剖面具有與第3圖所示者相同的構成。 此時，絕緣性眼鏡形狀構件u與導電性接觸子支持器铛 之表面呈平行的表面之最大外徑R4，亦大於導電性 3之間距寬度r 〇 、以上說明之導電性接觸子支持器41至43及使用該 之^電性接觸子支持H 41至43中任-個所構成的導電性 接觸子，當然可達成與上述之實施形態丨相同的效果。 (實施形態2) 第8®係局部顯示本發明實施形態2之導電性接觸子 #支持器之構成例的頂視圖。又，第9圖係第8圖之E— 剖視圖。該等圖所示之導電性接觸子支持器44，係將複數 個導電性接觸子3(包含信號用導電性接觸子31、接地 電性接觸子32及供電用導電性接觸子33)，對應於於 查對象之電路構造而收容成矩陣狀。 …該導電性接觸子支持器44係具備：使甩導電性材料所 形成之支持器基板74、以及被覆該支持器基板74之表面 區=的絕緣構件44a及44b。支持器基板74係與上述實施 形態1之支持器基板71相同，具有重疊第i基板Η與^ 318167 24 1294522 2基板76之構造。又，導電性 持導電性接觸子3之保持構件被插入^f器44係用以保 之開口部而構成。作為該種保持 ^^持器基板74 導電性接觸子31之絕緣性管 有用以保持信號用 -電性接觸子32之導電性管槎 、、用以保持接地甩導 電性接觸子33之π 、以及用以保持供電用導 •接觸子33之、％緣性管構件 百 =本實施形態2中， 之保持構件與上述之實施形態 觸子Μ 態2中，信號用導電性接觸子 ^心’在本貫施形 件12而個別被保持。子31之各個係藉由絕緣性管構 =官構件12係構成中空大略圓筒形狀，用以確保 :號用¥電性接觸子31與支持器基板74間之電絕緣性。 該絕緣性f構件12係包含有被插人於第丨基板75之第4 開口部82内的管狀構件12a;及構成與該管狀構件12a相 同形狀’且被插入於第2基板76之第7開口部Μ的管狀 構件12b。另外，當訪藉由該等第4開口部82與第7開 口部83連通，以構成用以收容信號用導電性接觸子31之 第1開口部81 〇 笞狀構件12a及i2b之表面中，與導電性接觸子支持 器44之表面呈平行的表面係構成正方形。因此，可具備比 $電性接觸子3之間距寬度r大的最大外徑R5，且可更大 幅修正特性阻抗。結果，，如後所述，可加粗信號用導電性 接觸子31之直徑。 在管狀構件12a及12b之一端部，分別形成有具有比 25 318167 1294522 其他部分大之外徑的止脫凸緣67及68。管狀構件12a係 以止脫凸緣67位於第丨基板75及第2基板76之境界侧的 方式被插入於第1基板75,另一方面，管狀構件12b係以 止脫凸緣68位於第1基板75及第2基板76之境界侧的方 被插入於第2基板76。因而，管狀構件12a及12b係在 -第1開口部81之内部，互相抵接於分別具有止脫凸緣67 及68之端部彼此間。該等止脫凸緣67及68係可達成設於 上述實施形態1之各種保持構件上的止脫凸緣相同的效 果。 形成於管狀構件12a及12b之中空部，係在與分別形 ，有止脫凸緣67及68之端部相反側的端部，構成内徑縮 乍的形狀，用以防止收容於中空部内之信號用導電性接觸 子31從絕緣性管構件12之表面朝外部脫落。 另外，用以收容接地用導電性接觸子32之管狀構件 7a及7b、與用以收容信號用導電性接觸子31之管狀構件 12a及12 b係具有不同的外形。第9圖所示之情況，管狀 構件7a及7b之止脫凸緣63的外徑凼、與管狀構件“a 及12b之止脫凸、緣65的外徑&係滿η%之關係。又， 管狀構件M7b之管部分的外徑心與管狀構件及 :《部分的外徑嶋足一之關係。 構牛L可了只對第2開口部52進行適#的插人，而絕緣性管 構件12可只對第1開口部81進行適當的插人。 芬用以保持接地用導電性接觸子32之導電性管構件7、 以保持供電用導電性接觸子33之絕緣性管構件8的構 318167 26 1294522 成及作用’與上述實施形態1相同。另外今 管構件緣性替顧件，料_邑緣性 可做持11基板74之開口部的形狀亦 本實施形態2之導電性接奋君工士』士 形態1相同，可對應由=::=係與上述實施 造。此時，在由帛9 _ Λ 動傳輸之電路構 ΛΑ、# 圖所不之導電性接觸子支持哭44槿忐 雷=電性接觸子單元農設半導體積體電路⑽時之狀況及 J基板2之構成（包含差動傳輸 / 第4圖所示者相同。 、面▼線），與 性接觸子支持器44亦可對應單端傳輸 電性接^^咖。11)。皁端傳輸係—種將信號用導 觸子31與接地之接地料電性接觸子32當作電路 來傳輸信號之傳輸形態，而作為其特性阻抗值通常被 弟1G®係顯示將本實施形態2之導電性接觸子 在由高頻信號進行單端傳輪之半導體侧 ! 4二狀二的**圖。第1G圖心之導電性接觸子支持 為4 4係相虽於第8圖之F _ F線剖面。如該μ 性接觸子31之針狀構件22的尖銳端係抵接於 早知傳輸用之共面型微帶線的信號電極2, a，以作為電路 基板2，，另-方面’接地用導電性接觸子犯之針狀構件 25的尖銳端係抵接於電路基板2，之接地電極2，g。 在該單端傳輸之情況，若將導電性接觸子3之間 度r設為固定，並使用介質常數為15之絕緣性材料的話， 318167 27 1294522 則與使用介質常數2 1 >鐵翁# + 19 . ·之鐵既旎（注冊商標）而構成絕緣性 1况相比較，可將信號用導電性接觸子31之 絕：：ΐΓ: 2°%左右。又’當與以習知型中空圓筒狀之 备目固別保持的情況相比較時’在使用相同介質 ;數=緣性構件並將間距寬度1為相同來比較的情況 .可將信號用導電性接觸子3!之外徑加大2G至谓左 石0 持本發明實_態2’則藉由將用以保 !子之絕緣性 象^電路構二貫施形態1相同，提供一種對應檢查對 頻信號之情況，且具有優越強度及耐 電接觸子支持器及導電性接觸子單元。 信號實施形態2,則由於使用-個-崎 號之僂輪n、 + 王5稱仵，所以有關輸出入信 況。傳輪方式’亦可適用於單端傳輸及差動傳輸之任一情 _ (貫施形態2之變形例） 式各樣Ρ:ί:Γ上說明之本發明實施形態2，亦可思及各 式备樣的交开>例。第彳 — 分 變形例的導電性接觸子^弟之1 片3圖係顯示本實施形態之 中，繁η θ _ 支持态之局部構成的頂視圖。其 圖所示之導電性接觸子 、田、 成嶋之大之絕緣性管構件13以頂角構 觸子支持器4 5的構m剖面。除了此點以外之導電性接 、冓成係與上述之導電性接觸子支持器44 318167 28 1294522 ^構^同。因而’第u圖之G_G線剖面係與第 ί行=管構件13與導電性接觸子支持器仏之表面呈 寬度r。之最大外徑Ke，係大於導電性接觸子3之間距 持作所示之導電性接觸子支持器46係具備用以保 剖面^觸子31之絕緣性管構件14呈橢圓狀之 可將A旦’因藉由使擴圓從間距方向傾斜預定角度，即 丨絕緣性管構件14與導電性接觸子支持器“ 王千订的表面之最大外徑）形成為比間距寬度『更 抗。斤Λ可更大幅修正信號用導電性接觸子31之特性阻 示了此點以外導電性接觸子支持器46之構成係盥 性接觸子切n 44之構成相m⑽構絲與¥電 亦與第8圖相同。 同且第12圖之Η線剖面 觸子之導電性接觸子支㈣47係在導電性接 絕绫『4之對角線方向，配置有構成中空圓筒形狀之 ;==4。在該種形狀之絕緣性管構件15的情況， 性接觸子31之特性阻抗z。的值，可使用構成 之邑==構件Η之絕緣性材料的介質常數h、圓筒形狀 [數：式、、广唬用導電性接觸子31之外* d，設定為 。此時，藉由使絕緣性管構件H东 / 铒仟15 β接對角線方向，即可將 ®间形狀之外徑D形成比間距寶声 £是度r大。因而，從數學式 318167 29 1294522 亦可侍知，當特性阻抗2()之值設為固定時，若加大圓 /筒形狀之外徑D，則亦可加大信號用導電性接觸子31之外 徑d。另外，在該導電性接觸子支持器47之情況，第η 圖之I-I線剖面係具有與第8圖同樣的構成。 以上說明之導電性接觸子支持器45至47、及使用該 電性接觸子支持器45至47中任—個而構成的導電性 接觸子單元，當然可達成與上述之實施形態2相同的效果。 (其他實施形態） ί此為止’作為實施本發明之最佳形態，雖已詳述實 1 :及2但疋本發明並非只被限定於該二個實施形 也。弟14圖係顯示使用内含彈簧構件等之桶形（barrel η電1?接觸τ作為信號用導電性接觸子時的構成模 I " 圖所不之信號用導電性接觸子34係具備··分 別^與上述信號用導電性接觸子31之針狀件 相同形狀的針狀構件91及 及22 92之基端側的一邻八β产—以及以覆盍針狀構件91及 之基、㈣部分與彈菁構件（未圖示）之方式所形 成’且其外面形狀形成圓筒狀的管體93。 :體93係藉由具有例如與針狀構件Μ·之外和 的⑽，即可維持與針狀構件9[及92電性接觸之 =’且在針狀構件91及92進行 =之 狀等不會發生蠻仆。 卜置或形 狀構…16b之口: ::广及16b之形狀及材料之選擇自:度。加:： 適用核號科電性接觸子34，以作為供電用導電性^ 318167 30 1294522 子0 第15圖係顯示將接地用導電性接 構成模式圈。第㈣所示之接地料_==；；的 1 :端：構:牛94及95 ;以及以覆蓋針狀構件94及95之 -基鈿側的一部分與彈簧構件（未圖示）之 外面形狀主形成圓筒狀的管體，在為該接I也用=性= 子35之情況，其與周圍之接觸士 細♦卩。m 貝自夂大，可減低電性接 構件來㈣而’接地用導電性接觸子Μ係無須依導電性管 構件末歸，可使之與構成支持器基 及第2基板79直接接觸。 ^1#78 另外，上述之導電性接觸子㈣狀畢竟僅為一例而 已，其亦可將本發日㈣时構成其他形狀之導電性接觸 子。又、’在以上之說明中’雖有假設將導t性接觸子軍元 用於半導體積體電路之檢查的情況，但是其他亦可將本發 明應用於檢測液晶面板等之電特性的裝置。 如此，本發明可涵蓋在此並未記載之各式各樣的實施 形態等，且在未脫料請專利範圍所界定之技術思想的範 圍内仍可施行各種的設計變更等。 (產業上之可利用性） 如上所述，本發明之導電性接觸子支持器及導電性接 觸子單元係適於進行半導體積體電路等之預定電路構造的 通電檢查。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明實施形態i之導電性接觸子單元 318167 31 1294522 的整體構成圖。 m _第、2圖係顯示構成本發明實施形態1之導電性接觸子 早疋的導電性接觸子支持器及導電性接觸子之構成的示意 圖0 第3圖係第2圖之A-A線剖視圖。 、 第4圖係顯示將本發明實施形態1之導電性接觸子單 几適用於差動傳輸之情況的半導體積體電路安裝時之狀況 ~ 的說明圖。 ' 、曾第5圖係顯示本發明實施形態丨之變形例（第1例）的 ¥電=接觸子支持器之局部構成的頂視圖。 、曾“弟6圖係顯示本發明實施形態丨之變形例（第2例〉的 電f生接觸子支持器之局部構成的頂視圖。 言第7圖係顯示本發明實施形態1之變形例（第3例）的 V電，接觸子支持器之局部構成的頂視圖。 抑一第8圖係顯示構成本發明實施形態2之導電性接觸子 ·=的導電性接觸子支持器及導電性接觸子之構成的示意 圃0 第9圖係第8圖之E—E線剖視圖。 第10圖係顯示將本發明實施形態2之導電性接觸子支 持器適用於嚴艘# — 早&傳輸之情況的半導體積體電路安裝時之狀 況的示意圖。 、第11圖係顯示本發明實施形態2之變形例（第丨） 的導電性接觸4 于支持裔之局部構成的頂視圖。 第12圖係is _ '、’、、、員示本發明實施形態2之變形例（第2例） 318167 32 1294522 、^眭接觸子支持器之局部構成的頂視圖。 的導顯示本發明實施形態2之變形例（第3例） 接觸子支㈣之局部構成的頂視圖。 示意圖係顯示信號用導電性接觸子之其他構成例的 示意=。15圖係顯示接地用導電性接觸子之其他構成例的 【主要元件符號說明】 2、2’電路基板 2G、2’ G接地電極 .1 冑電性接觸子單元 2a ' 2b、2’ a信號電極 3 導電性接觸子 4、41至47導電性接觸子支持器 4a、4b、44a、44b 絕緣構件 5 支持器構件 6a 7a 8、 21 9λ H 11絕緣性眼鏡形狀構件 、6b眼鏡形狀構件」 導電性管構件 7b 8a 8b、12a、12b、16a、㈣管狀構件 12、13、14、15絕緣性管構件 2:、24、25、27、28、9卜 92、94、95 針狀構件 21a、22a、23a、24a、25a、26a、27a、28a 凸緣 23、26、29彈菩槿株 01 、 口 31、34信號甩導電性接觸子 3 2、3 5接地用導電性接觸子 33 供電用導電性接觸子 51、81第1開口部 52第2開口部 318167 33 1294522 53 第3開口部 55 第5開口部 57、83第7開口部 59 第9開口部 71、74、77支持器基板 73、76、79第2基板 100 半導體積體電路 54、82第4開口部 56 第6開口部 58 第8開口部 61至68止脫凸緣 72、75、78第1基板 93、96管體 101連接用電極 34 318167