JP5781128B2 - 電流供給装置及び半導体素子製造方法 - Google Patents
電流供給装置及び半導体素子製造方法 Download PDFInfo
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- 複数の導体部材を配列してなる導体部材群を備え、該導体部材群を経て対象物に交流電流を供給する電流供給装置であって、
前記交流電流の供給に際して各導体部材を流れる電流が均一になるように、前記導体部材群において外部側に位置する導体部材のインピーダンスを、内側に位置する導体部材のインピーダンスよりも大きくしたことを特徴とする電流供給装置。 - 柱状の複数の導体部材を配列してなる導体部材群を備え、該導体部材群を経て対象物に交流電流を供給する電流供給装置であって、
前記交流電流の供給に際して各導体部材を流れる電流が均一になるように、前記導体部材群において外部側に位置する導体部材の横断面の面積を、内側に位置する導体部材の横断面の面積よりも大きくしたことを特徴とする電流供給装置。 - 形成された半導体素子のアクティブ領域に、請求項1又は2の電流供給装置により所定の電流を供給する電流供給工程と、
前記電流供給工程で供給された電流により前記半導体素子が破壊されたかどうかを判定する判定工程と、
前記判定工程により破壊されなかったと判定された半導体素子を、製造された半導体素子として選択する選別工程とを備えることを特徴とする半導体素子製造方法。
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