JP5898243B2 - 電流印加装置及び半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (4)
- 表面電極の少なくとも一部が電気的絶縁被膜で被覆された半導体素子に検査電流を印加する電流印加装置であって、
前記半導体素子に検査電流を印加するために前記被膜を貫通して前記表面電極に接触する複数の突起を有する接触部と、
前記突起が前記被膜を貫通して前記表面電極に接触するように前記接触部を前記半導体素子に押し当てる押当て部とを備え、
前記接触部は、湾曲形状に形成された面上に中心部と周縁部とに分布して前記複数の突起を備え、前記押当て部による押圧により前記湾曲形状の面が平面状に変形され、
前記接触部の前記複数の突起を備えた面は、前記中心部が前記半導体素子に対して反対側に突出すると共に前記周縁部が半導体素子側に突出するように湾曲し、
前記押当て部による押圧方向に対する傾きが、前記中心部の突起より前記周縁部の突起の方が大きいことを特徴とする電流印加装置。 - 前記接触部は、円盤状であることを特徴とする請求項1に記載の電流印加装置。
- 前記突起は、錐台状からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の電流印加装置。
- 表面電極の少なくとも一部が電気的絶縁被膜で被覆された半導体素子を形成する形成工程と、
前記形成工程で形成された半導体素子に、湾曲形状に形成された面上に中心部と周縁部とに分布して複数の突起を備える接触部を押当て部により押し当てることによって前記接触部の湾曲形状の面を平面状に変形させ、前記突起によって前記被膜を削りながら貫通させて前記表面電極に接触させて検査電流を印加する電流印加工程と、
前記電流印加工程で検査電流が印加される半導体素子が、該検査電流に基づき、所定の性能を満たすか否かを判定する判定工程とを備え、
前記接触部の前記複数の突起を備えた面は、前記中心部が前記半導体素子に対して反対側に突出すると共に前記周縁部が半導体素子側に突出するように湾曲し、
前記押当て部による押圧方向に対する傾きが、前記中心部の突起より前記周縁部の突起の方が大きくされて、前記電流印加工程において、前記周縁部の突起は前記中心部の突起より、前記被膜を削る距離が大きくなることを特徴とする半導体素子の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014002477A JP5898243B2 (ja) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | 電流印加装置及び半導体素子の製造方法 |
US14/589,190 US9417264B2 (en) | 2014-01-09 | 2015-01-05 | Current application device and manufacturing method of semiconductor element |
CN201510005076.8A CN104777335B (zh) | 2014-01-09 | 2015-01-06 | 电流施加装置以及半导体元件的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014002477A JP5898243B2 (ja) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | 電流印加装置及び半導体素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015132478A JP2015132478A (ja) | 2015-07-23 |
JP5898243B2 true JP5898243B2 (ja) | 2016-04-06 |
Family
ID=53495779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014002477A Active JP5898243B2 (ja) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | 電流印加装置及び半導体素子の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9417264B2 (ja) |
JP (1) | JP5898243B2 (ja) |
CN (1) | CN104777335B (ja) |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5629630A (en) * | 1995-02-27 | 1997-05-13 | Motorola, Inc. | Semiconductor wafer contact system and method for contacting a semiconductor wafer |
JP2001124799A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Micronics Japan Co Ltd | プローブシート及びその製造方法並びにプローブカード |
JP4592885B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2010-12-08 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体基板試験装置 |
US6940176B2 (en) * | 2002-05-21 | 2005-09-06 | United Microelectronics Corp. | Solder pads for improving reliability of a package |
KR101067010B1 (ko) * | 2002-11-19 | 2011-09-22 | 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 | 전기적 프로브시스템 |
JP4056983B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2008-03-05 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
CH697200A5 (de) * | 2004-10-01 | 2008-06-25 | Oerlikon Assembly Equipment Ag | Klemmvorrichtung und Transportvorrichtung zum Transportieren von Substraten. |
JP4145293B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2008-09-03 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体検査装置および半導体装置の製造方法 |
JP2007218675A (ja) | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Fujitsu Ltd | プローブ及びプローブの製造方法 |
JP2008070271A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Jsr Corp | シート状プローブおよびその製造方法ならびにその応用 |
JP5021519B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2012-09-12 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
JP2011064664A (ja) * | 2009-09-16 | 2011-03-31 | Isao Kimoto | コンタクトプローブ |
US8686560B2 (en) * | 2010-04-07 | 2014-04-01 | Maxim Integrated Products, Inc. | Wafer-level chip-scale package device having bump assemblies configured to mitigate failures due to stress |
KR20130136794A (ko) * | 2012-06-05 | 2013-12-13 | 삼성전자주식회사 | 반도체 테스트 장비 및 이를 이용한 반도체 소자 테스트 방법 |
JP5782498B2 (ja) * | 2013-01-08 | 2015-09-24 | 本田技研工業株式会社 | 電流印加装置及び半導体素子の製造方法 |
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2014
- 2014-01-09 JP JP2014002477A patent/JP5898243B2/ja active Active
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- 2015-01-05 US US14/589,190 patent/US9417264B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150194353A1 (en) | 2015-07-09 |
JP2015132478A (ja) | 2015-07-23 |
CN104777335A (zh) | 2015-07-15 |
US9417264B2 (en) | 2016-08-16 |
CN104777335B (zh) | 2017-10-13 |
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