JP2023003466A - ソケット - Google Patents

Abstract

【課題】プランジャの先端の位置精度を良好にする。【解決手段】ソケット１０は、第１テーパ部１０２を有するプローブ１００と、第１テーパ部１０２を受ける第２テーパ部２０２を有する貫通孔２３０が設けられた絶縁支持体２００と、を備えている。第１テーパ部１０２の第１テーパ角度αは、第２テーパ部２０２の第２テーパ角度β未満となっている。【選択図】図１

Description

本発明は、ソケットに関する。

集積回路等の検査対象物を検査するため、ソケットを介して検査対象物を検査基板に電気的に接続することがある。例えば、特許文献１に記載されているように、ソケットは、プローブと、プローブが貫通して配置される貫通孔が設けられた絶縁支持体と、を備えている。プローブは、検査対象物の第１電極に接触する第１プランジャと、検査基板の第２電極に接触する第２プランジャと、スプリングと、を有している。検査対象物の検査では、第２プランジャを検査基板の第２電極に接触させて、スプリングによって第１プランジャを上方に向けて付勢させた後、第１プランジャを検査対象物の第１電極に接触させている。

特開２００６－３０８４８６号公報

プローブを絶縁支持体の貫通孔内で摺動させるため、プローブの外側面と、貫通孔の内側面と、の間には隙間が設けられている。検査対象物の検査においては、第２プランジャを検査基板の第２電極に接触させた後、第１プランジャの先端が開放された状態（すなわち、第１プランジャの先端から第１プランジャの基端（第１プランジャの先端の反対側）へ向かう方向の外力が第１プランジャの先端に加わらない状態）で、第１プランジャが上方に向けて付勢されることがある。しかしながら、この場合、プローブの外側面と貫通孔の内側面との間の隙間によって、第１プランジャが傾いて、第１プランジャの先端の位置精度が悪化し得る。

本発明の目的の一例は、プランジャの先端の位置精度を良好にすることにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。

本発明の一態様は、
第１テーパ部を有するプローブと、
前記第１テーパ部を受ける第２テーパ部を有する貫通孔が設けられた絶縁支持体と、
を備え、
前記第１テーパ部のテーパ角度が前記第２テーパ部のテーパ角度未満である、ソケットである。

本発明の上記態様によれば、プランジャの先端の位置精度を良好にすることができる。

実施形態に係るソケットの断面図である。 実施形態に係るソケットにおいて、第１接触部が開放された状態で第１プランジャが貫通孔の上方に向けて押された状態を説明するための図である。 図２の一部分の拡大図である。 比較形態に係るソケットにおいて、第１接触部が開放された状態で第１プランジャが貫通孔の上方に向けて押された状態を説明するための図である。 図４の一部分の拡大図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

本明細書において、「第１」、「第２」、「第３」等の序数詞は、特に断りのない限り、同様の名称が付された構成を単に区別するために付されたものであり、構成の特定の特徴（例えば、順番又は重要度）を意味するものではない。

図１は、実施形態に係るソケット１０の断面図である。

図１において、「＋Ｚ」が付された矢印は、鉛直方向の上方向を示しており、「－Ｚ」が付された矢印は、鉛直方向の下方向を示している。以下、必要に応じて、鉛直方向に直交する方向を水平方向という。図２以降においても同様である。

ソケット１０は、鉛直方向において検査対象物２０と検査基板３０との間に位置している。検査対象物２０は、ソケット１０の上方に位置している。検査基板３０は、ソケット１０の下方に位置している。検査対象物２０は、例えば集積回路である。

ソケット１０は、プローブ１００及び絶縁支持体２００を備えている。プローブ１００を介して、検査対象物２０の下面に設けられた第１電極２２と、検査基板３０の上面に設けられた第２電極３２と、が電気的に互いに接続されている。本実施形態において、第１電極２２はバンプであり、第２電極３２はパッドである。プローブ１００は、チューブ１１０、スプリング１１２、第１プランジャ１２０、第２プランジャ１３０を有している。第１プランジャ１２０は、フランジ１２２、第１柱部１２４及び第１接触部１２６を含んでいる。第２プランジャ１３０は、第２柱部１３４及び第２接触部１３６を含んでいる。絶縁支持体２００は、第１絶縁支持体２１０及び第２絶縁支持体２２０を有している。

チューブ１１０は、鉛直方向に平行に延伸している。チューブ１１０の上端には、第１プランジャ１２０が設けられている。チューブ１１０の下端には、第２プランジャ１３０が設けられている。スプリング１１２は、チューブ１１０の内部に設けられている。スプリング１１２は、第１プランジャ１２０及び第２プランジャ１３０を鉛直方向に互いに離れる方向に付勢している。本実施形態と異なる他の例において、チューブ１１０が設けられずにスプリング１１２が鉛直方向において第１プランジャ１２０と第２プランジャ１３０との間に設けられていてもよい。

フランジ１２２は、チューブ１１０の上端よりも上方に位置している。フランジ１２２の水平方向の直径の値は、チューブ１１０の水平方向の外径の値と略等しくなっている。第１柱部１２４は、フランジ１２２の上端から上方に向けて鉛直方向に延伸している。第１柱部１２４の水平方向の直径の値は、フランジ１２２の水平方向の直径の値より小さくなっている。第１接触部１２６は、第１柱部１２４の先端、すなわち、第１柱部１２４の上端に設けられている。検査対象物２０の検査では、スプリング１１２によってチューブ１１０及び第１プランジャ１２０が一体となって検査対象物２０に向けて付勢された状態で、第１接触部１２６は、第１電極２２に接触している。

第２柱部１３４は、鉛直方向に延伸している。第２柱部１３４の水平方向の直径の値は、チューブ１１０の水平方向の内径の値より小さくなっている。第２柱部１３４の少なくとも一部分がチューブ１１０の下端に設けられた孔に挿通された状態で、第２柱部１３４は、チューブ１１０に対して、鉛直方向に移動可能に取り付けられている。第２接触部１３６は、第２柱部１３４の先端、すなわち、第２柱部１３４の下端に設けられている。検査対象物２０の検査では、スプリング１１２によって第２プランジャ１３０が検査基板３０に向けて付勢された状態で、第２接触部１３６は、第２電極３２に接触している。

第１絶縁支持体２１０及び第２絶縁支持体２２０は、鉛直方向に重なっている。第１絶縁支持体２１０は、第２絶縁支持体２２０の上方に位置している。第２絶縁支持体２２０は、第１絶縁支持体２１０の下方に位置している。第１絶縁支持体２１０は、例えば、ピンブロックであり、第２絶縁支持体２２０は、例えば、ピンプレートである。

絶縁支持体２００には、貫通孔２３０が設けられている。貫通孔２３０は、絶縁支持体２００を鉛直方向に貫通している。貫通孔２３０は、第１孔２３２、第２孔２３４及び第３孔２３６を含んでいる。貫通孔２３０には、プローブ１００の少なくとも一部分が鉛直方向に貫通して配置されている。

第１孔２３２は、第１絶縁支持体２１０のうち第１絶縁支持体２１０の下端及び鉛直方向の中央部を含む一部分と、第２絶縁支持体２２０のうち第２絶縁支持体２２０の上端及び鉛直方向の中央部を含む一部分と、を鉛直方向に貫通している。第１孔２３２のうち第１絶縁支持体２１０の下端を貫通する部分と、第１孔２３２のうち第２絶縁支持体２２０の上端を貫通する部分と、は鉛直方向に互いに連通している。第１孔２３２には、チューブ１１０の少なくとも一部分と、フランジ１２２の少なくとも一部分と、が鉛直方向に貫通して配置されている。第１絶縁支持体２１０の第１孔２３２の水平方向の直径の値は、チューブ１１０のうち第１絶縁支持体２１０の第１孔２３２に貫通して配置されている部分の水平方向の外径の値と、フランジ１２２の水平方向の直径の値と、のいずれよりも大きくなっている。また、第２絶縁支持体２２０の第１孔２３２の水平方向の直径の値は、チューブ１１０のうち第２絶縁支持体２２０の第１孔２３２に貫通して配置されている部分の水平方向の外径の値よりも大きくなっている。したがって、チューブ１１０のうち第１絶縁支持体２１０の第１孔２３２に貫通して配置されている部分の外側面と、第１絶縁支持体２１０の第１孔２３２の内側面と、の間と、フランジ１２２の外側面と、第１絶縁支持体２１０の第１孔２３２の内側面と、の間と、には隙間が設けられている。また、チューブ１１０のうち第２絶縁支持体２２０の第１孔２３２に貫通して配置されている部分の外側面と、第２絶縁支持体２２０の第１孔２３２の内側面と、の間には隙間が設けられている。このため、チューブ１１０及びフランジ１２２は、第１孔２３２内において鉛直方向に摺動可能になっている。

第２孔２３４は、第１絶縁支持体２１０のうち第１絶縁支持体２１０の上端を含む一部分を鉛直方向に貫通している。第２孔２３４の下端は、第１孔２３２の上端と鉛直方向に連通している。第２孔２３４には、第１柱部１２４の少なくとも一部分が貫通して配置されている。第２孔２３４の水平方向の直径の値は、第１孔２３２の水平方向の直径の値未満となっている。また、第２孔２３４の水平方向の直径の値は、チューブ１１０の水平方向の外径の値以下、かつフランジ１２２の水平方向の直径の値以下となっており、第１柱部１２４の水平方向の直径の値より大きくなっている。したがって、チューブ１１０及びフランジ１２２が第２孔２３４を通して上方に抜けることが抑制されている。また、第１柱部１２４の外側面と第２孔２３４の内側面との間には隙間が設けられている。このため、第１柱部１２４は、第２孔２３４内において鉛直方向に摺動可能になっている。

第３孔２３６は、第２絶縁支持体２２０のうち第２絶縁支持体２２０の下端を含む一部分を鉛直方向に貫通している。第３孔２３６の上端は、第１孔２３２の下端と鉛直方向に連通している。第３孔２３６には、第２柱部１３４の少なくとも一部分が鉛直方向に貫通して配置されている。第３孔２３６の水平方向の直径の値は、第１孔２３２の水平方向の直径の値未満となっている。また、第３孔２３６の水平方向の直径の値は、チューブ１１０の水平方向の外径の値以下となっており、第２柱部１３４の水平方向の直径の値より大きくなっている。したがって、チューブ１１０が第３孔２３６を通して下方に抜けることが抑制されている。また、第２柱部１３４の外側面と第３孔２３６の内側面との間には隙間が設けられている。このため、第２柱部１３４は、第３孔２３６内において鉛直方向に摺動可能になっている。

第１プランジャ１２０は、第１テーパ部１０２を有している。第１テーパ部１０２は、鉛直方向においてフランジ１２２の上端と第１柱部１２４の下端との間に位置している。第１テーパ部１０２における第１プランジャ１２０の水平方向の直径の値は、フランジ１２２の上端から第１柱部１２４の下端に向かうにつれて減少している。第１テーパ部１０２のテーパ角度である第１テーパ角度αは、貫通孔２３０の水平方向の中心を貫通孔２３０の延伸方向に平行に通過する仮想線ＩＬに対して、第１テーパ部１０２における第１プランジャ１２０の水平方向の両側の外側面がなす角度の合計である。また、第１テーパ角度αは、第１テーパ部１０２における第１プランジャ１２０の水平方向の両側の外側面の接線がなす角度ともなっている。

貫通孔２３０は、第２テーパ部２０２を有している。第２テーパ部２０２は、鉛直方向において第１孔２３２の上端と第２孔２３４の下端との間に位置している。第２テーパ部２０２における貫通孔２３０の水平方向の直径の値は、第１孔２３２の上端から第２孔２３４の下端に向かうにつれて減少している。第２テーパ部２０２のテーパ角度である第２テーパ角度βは、貫通孔２３０の水平方向の中心を貫通孔２３０の延伸方向に平行に通過する仮想線ＩＬに対して、第２テーパ部２０２における貫通孔２３０の水平方向の両側の内側面がなす角度の合計である。また、第２テーパ角度βは、第２テーパ部２０２における貫通孔２３０の水平方向の両側の内側面の接線がなす角度ともなっている。

実施形態において、第１テーパ部１０２の第１テーパ角度αは、第２テーパ部２０２の第２テーパ角度β未満となっている。

第２テーパ角度βに対する第１テーパ角度αの比は、以下に限定されないが、例えば、３／５以上（すなわち、２／３の９０％以上）３３／４０以下（すなわち、３／４の１１０％以下）にしてもよい。

第１テーパ角度αは、以下に限定されないが、例えば、５５．０°以上９５．０°以下、５７．５°以上９２．５°以下又は６０．０°以上９０．０°以下にしてもよい。

第２テーパ角度βは、以下に限定されないが、例えば、８５．０°以上１２５．０°以下、８７．５°以上１２２．５°以下又は９０．０°以上１２０．０°以下にしてもよい。

図２は、実施形態に係るソケット１０において、第１接触部１２６が開放された状態で第１プランジャ１２０が貫通孔２３０の上方に向けて押された状態を説明するための図である。図３は、図２の一部分の拡大図である。図４は、比較形態に係るソケット１０Ｋにおいて、第１接触部１２６Ｋが開放された状態で第１プランジャ１２０Ｋが貫通孔２３０Ｋの上方に向けて押された状態を説明するための図である。図５は、図４の一部分の拡大図である。

図１を参照しながら、図２及び図３に示す実施形態について説明する。

図２及び図３に示す実施形態においては、第１接触部１２６が開放された状態で、すなわち、第１接触部１２６が第１電極２２等の物体に接触しないことで下方向の外力が第１接触部１２６に加わらない状態で、第２接触部１３６が第２電極３２に接触している。スプリング１１２によってチューブ１１０及び第１プランジャ１２０が一体となって上方に向けて付勢されて、第１プランジャ１２０が貫通孔２３０の上方に向けて押されている。

図２及び図３に示す実施形態においては、第１柱部１２４の外側面と第２孔２３４の内側面との間の隙間によって、第１プランジャ１２０は、図２及び図３の紙面に垂直な方向から見て、鉛直方向から左側に傾いている。これによって、第１接触部１２６は、図２の紙面に垂直な方向から見て、貫通孔２３０の水平方向の中心を鉛直方向に平行に通過する仮想線ＩＬから左側に向けて第１距離Δ１ずれている。第１プランジャ１２０の鉛直方向からの傾きは、図２及び図３に示す実施形態に限定されない。例えば、第１プランジャ１２０は、図２及び図３の紙面に垂直な方向から見て、鉛直方向から右側に傾くこともある。

図３に示すように、貫通孔２３０のうち第２テーパ部２０２の内側面の上端と第２孔２３４の内側面の下端との間の角が第１テーパ部１０２を受けている。第１プランジャ１２０がスプリング１１２によって貫通孔２３０の上方に向けて押されることで、第１テーパ部１０２が第２テーパ部２０２に向けて押されて、第１テーパ部１０２と第２テーパ部２０２との接触部分において第１テーパ部１０２にプリロード荷重Ｆがかかっている。

実施形態におけるプリロード荷重Ｆは、Ｆｓｉｎθで示される第１分力Ｆ１と、Ｆｃｏｓθで示される第２分力Ｆ２と、に分解される。角度θは、鉛直方向に平行に下方から上方に向かう方向と、第１テーパ部１０２の外側面の法線に平行な方向に第１テーパ部１０２が位置する側から第２テーパ部２０２が位置する側に向かう方向と、がなす角度である。第１分力Ｆ１は、第１プランジャ１２０を貫通孔２３０の水平方向の中心に寄せる力である。第２分力Ｆ２は、第１プランジャ１２０が貫通孔２３０の水平方向の中心に向けて第１テーパ部１０２の外側面の接線方向に移動することを妨げる摩擦力に寄与する力である。

図２及び図３に示す状態後、第１電極２２を第１接触部１２６に接触させて、スプリング１１２を鉛直方向に圧縮させる。これによって、図１に示したように、チューブ１１０及び第１プランジャ１２０が一体となって上方に向けて付勢された状態で、第１接触部１２６が第１電極２２に接触する。

次に、図４及び図５に示す比較形態について説明する。比較形態に係るソケット１０Ｋは、以下の点を除いて、実施形態に係るソケット１０と同様である。

第１プランジャ１２０Ｋは、チューブ１１０Ｋの内部に設けられたスプリング１１２Ｋによって上方に向けて付勢されている。第１プランジャ１２０Ｋは、第１テーパ部１０２Ｋを有している。第１テーパ部１０２Ｋは、鉛直方向においてフランジ１２２Ｋの上端と第１柱部１２４Ｋの下端との間に位置している。第１テーパ部１０２Ｋにおける第１プランジャ１２０Ｋの水平方向の直径の値は、フランジ１２２Ｋの上端から第１柱部１２４Ｋの下端に向かうにつれて減少している。

絶縁支持体２００Ｋ（第１絶縁支持体２１０Ｋ）の貫通孔２３０Ｋは、第２テーパ部２０２Ｋを有している。第２テーパ部２０２Ｋは、鉛直方向において第１孔２３２Ｋの上端と第２孔２３４Ｋの下端との間に位置している。第２テーパ部２０２Ｋにおける貫通孔２３０Ｋの水平方向の直径の値は、第１孔２３２Ｋの上端から第２孔２３４Ｋの下端に向かうにつれて減少している。

比較形態において、第１テーパ部１０２Ｋの第１テーパ角度αは、第２テーパ部２０２Ｋの第２テーパ角度β以上となっている。

図４及び図５に示す実施形態においては、第１柱部１２４Ｋの外側面と第２孔２３４Ｋの内側面との間の隙間によって、第１プランジャ１２０Ｋは、図４及び図５の紙面に垂直な方向から見て、鉛直方向から左側に傾いている。これによって、第１接触部１２６Ｋは、図４の紙面に垂直な方向から見て、貫通孔２３０Ｋの水平方向の中心を鉛直方向に平行に通過する仮想線ＩＬから左側に向けて第２距離Δ２ずれている。

図５に示すように、第２テーパ部２０２Ｋが第１プランジャ１２０Ｋのうち第１テーパ部１０２Ｋの外側面の下端とフランジ１２２Ｋの外側面の上端との間の角を受けている。第１プランジャ１２０Ｋがスプリング１１２Ｋによって貫通孔２３０Ｋの上方に向けて押されることで、第１テーパ部１０２Ｋが第２テーパ部２０２Ｋに向けて押されて、第１テーパ部１０２Ｋと第２テーパ部２０２Ｋとの接触部分において第１プランジャ１２０Ｋにプリロード荷重Ｆがかかっている。

比較形態におけるプリロード荷重Ｆは、Ｆｓｉｎθで示される第１分力Ｆ１と、Ｆｃｏｓθで示される第２分力Ｆ２と、に分解される。角度θは、鉛直方向に平行に下方から上方に向かう方向と、第２テーパ部２０２Ｋの内側面の法線に平行な方向に第１テーパ部１０２Ｋが位置する側から第２テーパ部２０２Ｋが位置する側に向かう方向と、がなす角度を示している。第１分力Ｆ１は、フランジ１２２Ｋを貫通孔２３０Ｋの水平方向の中心に寄せる力である。第２分力Ｆ２は、フランジ１２２Ｋが貫通孔２３０Ｋの中心に向けて第２テーパ部２０２Ｋの内側面の接線方向に移動することを妨げる摩擦力に寄与する力である。

実施形態における第１接触部１２６の仮想線ＩＬからの水平方向のずれの第１距離Δ１は、比較形態における第１接触部１２６Ｋの仮想線ＩＬからの水平方向のずれの第２距離Δ２よりも小さくすることができる。理由は、次のとおりである。すなわち、実施形態では、プリロード荷重Ｆによって、図３の紙面に垂直な方向から見て、第１プランジャ１２０を反時計回りに回転させるトルクが発生し得る。比較形態でも、プリロード荷重Ｆによって、図５の紙面に垂直な方向から見て、第１プランジャ１２０Ｋを反時計回りに回転させるトルクが発生し得る。しかしながら、実施形態において第１プランジャ１２０の水平方向の中心からプリロード荷重Ｆがかかる位置までの距離は、比較形態において第１プランジャ１２０Ｋの水平方向の中心からプリロード荷重Ｆがかかる位置までの距離より短くなっている。したがって、実施形態においてプリロード荷重Ｆによって発生する上記トルクは、比較形態においてプリロード荷重Ｆによって発生する上記トルクより小さくすることができる。このため、実施形態における第１接触部１２６の仮想線ＩＬからの水平方向のずれの第１距離Δ１は、比較形態における第１接触部１２６Ｋの仮想線ＩＬからの水平方向のずれの第２距離Δ２よりも小さくすることができる。

実施形態における第１距離Δ１と、比較形態における第２距離Δ２と、の上述した関係より、実施形態における第１プランジャ１２０の先端の位置精度は、比較形態における第１プランジャ１２０Ｋの先端の位置精度より良好にすることができる。すなわち、実施形態における第１接触部１２６の水平方向の位置精度は、比較形態における第１接触部１２６Ｋの水平方向の位置精度より良好にすることができる。

また、実施形態における第１距離Δ１と、比較形態における第２距離Δ２と、の上述した関係より、実施形態においては、比較形態と比較して、第１プランジャ１２０が貫通孔２３０の上方に向けて押された際に、第１柱部１２４の外側面と第２孔２３４の内側面とが接触しにくくなっている。このため、実施形態においての第１柱部１２４の外側面と第２孔２３４の内側面との間の隙間の水平方向の幅は、比較形態においての第１柱部１２４Ｋの外側面と第２孔２３４Ｋの内側面との間の隙間の水平方向の幅より狭くすることができる。

実施形態において、第１テーパ角度αは、鋭角にしてもよい。第１テーパ角度αが鋭角である場合、第１テーパ角度αが直角又は鈍角である場合と比較して、第１テーパ部１０２の外側面を貫通孔２３０のうち第２テーパ部２０２の内側面の上端と第２孔２３４の内側面の下端との間の角に対して滑りやすくすることができ、第１プランジャ１２０を貫通孔２３０の水平方向の中心に寄せやすくすることができる。

実施形態において、第１テーパ部１０２の外側面と、貫通孔２３０のうち第２テーパ部２０２の上端と第２孔２３４の下端との間の角と、の間の静止摩擦係数及び動的摩擦係数は、所定値以下にしてもよい。当該静止摩擦係数及び当該動的摩擦係数が所定値以下である場合、当該静止摩擦係数及び当該動的摩擦係数が所定値より大きい場合と比較して、第１テーパ部１０２の外側面を貫通孔２３０のうち第２テーパ部２０２の上端と第２孔２３４の下端との間の角に対して滑りやすくすることができ、第１プランジャ１２０を貫通孔２３０の水平方向の中心に寄せやすくすることができる。

表１は、実施例１、実施例２、比較例１及び比較例２の各々に係るソケットのシミュレーションにおける、第１テーパ角度α、第２角度テーパ角度β、距離Δ、角度θ、比Ｆ１／Ｆ、比Ｆ２／Ｆ及び比Ｆ１／Ｆ２の関係を示す表である。

表１における「α（°）」の行の各数値は、第１テーパ角度α（単位：°）を示している。実施例１及び実施例２に係る第１テーパ角度αは、実施形態において説明した第１テーパ部１０２の第１テーパ角度αに対応している。比較例１及び比較例２に係る第１テーパ角度αは、比較形態において説明した第１テーパ部１０２Ｋの第１テーパ角度αに対応している。

表１における「β（°）」の行の各数値は、第２テーパ角度β（単位：°）を示している。実施例１及び実施例２に係る第２テーパ角度βは、実施形態において説明した第２テーパ部２０２の第２テーパ角度βに対応している。比較例１及び比較例２に係る第２テーパ角度βは、比較形態において説明した第２テーパ部２０２Ｋの第２テーパ角度βに対応している。

表１における「Δ（μｍ）」の行の各数値は、距離Δ（単位：μｍ）を示している。実施例１及び実施例２における距離Δは、実施形態において説明した第１接触部１２６の仮想線ＩＬからの水平方向のずれの第１距離Δ１に対応している。比較例１及び比較例２における距離Δは、比較形態において説明した第１接触部１２６Ｋの仮想線ＩＬからの水平方向のずれの第２距離Δ２に対応している。

表１における「Ｆ１／Ｆ」の行の各数値は、プリロード荷重Ｆに対する第１分力Ｆ１の比を示している。表１における「Ｆ２／Ｆ」の行の各数値は、プリロード荷重Ｆに対する第２分力Ｆ２の比を示している。表１における「Ｆ１／Ｆ２」の行の各数値は、第２分力Ｆ２に対する第１分力Ｆ１の比を示している。実施例１及び実施例２におけるプリロード荷重Ｆ、第１分力Ｆ１及び第２分力Ｆ２は、実施形態において説明したプリロード荷重Ｆ、第１分力Ｆ１及び第２分力Ｆ２にそれぞれ対応している。比較例１及び比較例２におけるプリロード荷重Ｆ、第１分力Ｆ１及び第２分力Ｆ２は、比較形態において説明したプリロード荷重Ｆ、第１分力Ｆ１及び第２分力Ｆ２にそれぞれ対応している。

実施例１、実施例２、比較例１及び比較例２のシミュレーションにおいて、第１テーパ角度α及び第２テーパ角度βは、表１に示すようにした。このシミュレーションにおいて、距離Δ、角度θ、比Ｆ１／Ｆ、比Ｆ２／Ｆ及び比Ｆ１／Ｆ２は、表１に示すようになった。

実施例１及び実施例２と、比較例１及び比較例２と、の比較より、第１テーパ角度αが第２角度β未満の場合の距離Δは、第１テーパ角度αが第２テーパ角度β以上である場合の距離Δより小さくすることができるといえる。

実施例１と、実施例２と、の比較より、第１テーパ角度αが第２角度β未満である場合においては、比Ｆ１／Ｆ２が大きいほど、距離Δは小さくすることができるといえる。また、実施例１と、実施例２と、の比較より、第１テーパ角度αが鋭角である場合の距離Δは、第１テーパ角度αが直角である場合の距離Δより小さくすることができるといえる。

実施例１及び実施例２より、第２テーパ角度βに対する第１テーパ角度αの比は、例えば、３／５以上３３／４０以下にしてもよい。この数値範囲の下限３／５は、実施例１においての第２テーパ角度βに対する第１テーパ角度αの比２／３の９０％を示している。この数値範囲の上限３３／４０は、実施例２においての第２テーパ角度βに対する第１テーパ角度αの比３／４の１１０％を示している。

実施例１より、第１テーパ角度αは、５８．０°以上６２．０°以下、５８．５°以上６１．５°以下、又は５９．０°以上６１．０°以下にし、第２テーパ角度βは、８８．０°以上９２．０°以下、８８．５以上９１．５°以下、又は８９．０°以上９１．０°以下にしてもよい。第１テーパ角度αの上記数値範囲は、実施例１における第１テーパ角度αの６０°及びその公差から見積もられている。第２テーパ角度βの上記数値範囲は、実施例１における第２テーパ角度βの９０°及びその公差から見積もられている。

以上、図面を参照して本発明の実施形態及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

例えば、プローブ１００の外側面のうち鉛直方向にチューブ１１０と第２プランジャ１３０との間に位置する部分に、上方から下方に向かうにつれてプローブ１００の水平方向の直径の値が減少する第３テーパ部が設けられていてもよい。また、貫通孔２３０の内側面のうち鉛直方向に第１孔２３２と第３孔２３６との間に位置する部分に、上方から下方に向かうにつれて貫通孔２３０の水平方向の直径の値が減少する第４テーパ部が設けられていてもよい。第２プランジャ１３０が下方に向けて押された際に、第４テーパ部は第３テーパ部を受ける。第３テーパ部の第３テーパ角度は、第４テーパ部の第４テーパ角度未満となっている。第３テーパ角度が第４テーパ角度未満である場合の第２プランジャ１３０の先端の位置精度、すなわち、第２接触部１３６の水平方向の位置精度は、第３テーパ角度が第４テーパ角度以上である場合の第２プランジャ１３０の先端の位置精度、すなわち、第２接触部１３６の水平方向の位置精度よりも良好となる。

本明細書によれば、以下の態様が提供される。
（態様１）
態様１は、
第１テーパ部を有するプローブと、
前記第１テーパ部を受ける第２テーパ部を有する貫通孔が設けられた絶縁支持体と、
を備え、
前記第１テーパ部のテーパ角度が前記第２テーパ部のテーパ角度未満である、ソケットである。
態様１によれば、第１テーパ部のテーパ角度が第２テーパ部のテーパ角度以上である場合と比較して、第１テーパ部が第２テーパ部に向けて押されている状態において、第１テーパ部が設けられたプランジャの傾きを小さくすることができる。このため、態様１におけるプランジャの先端の位置精度は、第１テーパ部のテーパ角度が第２テーパ部のテーパ角度以上である場合のプランジャの先端の位置精度より良好にすることができる。第１テーパ部のテーパ角度とは、貫通孔の中心を貫通孔の延伸方向に平行に通過する仮想線に対して、第１テーパ部におけるプローブの両側の外側面がなす角度の合計である。第２テーパ部のテーパ角度とは、貫通孔の中心を貫通孔の延伸方向に平行に通過する仮想線に対して、第２テーパ部における貫通孔の両側の内側面がなす角度の合計である。
（態様２）
態様２は、
前記第１テーパ部の前記テーパ角度が鋭角である、態様１に記載のソケットである。
態様２によれば、第１テーパ部のテーパ角度が直角又は鈍角である場合と比較して、第１テーパ部の外側面を貫通孔に対して滑りやすくすることができ、第１テーパ部が設けられたプランジャを貫通孔の中心に寄せやすくすることができる。

１０ ソケット
１０Ｋ ソケット
２０ 検査対象物
２２ 第１電極
３０ 検査基板
３２ 第２電極
１００ プローブ
１０２ 第１テーパ部
１０２Ｋ 第１テーパ部
１１０ チューブ
１１０Ｋ チューブ
１１２ スプリング
１１２Ｋ スプリング
１２０ 第１プランジャ
１２０Ｋ 第１プランジャ
１２２ フランジ
１２２Ｋ フランジ
１２４ 第１柱部
１２４Ｋ 第１柱部
１２６ 第１接触部
１２６Ｋ 第１接触部
１３０ 第２プランジャ
１３４ 第２柱部
１３６ 第２接触部
２００ 絶縁支持体
２００Ｋ 絶縁支持体
２０２ 第２テーパ部
２０２Ｋ 第２テーパ部
２１０ 第１絶縁支持体
２１０Ｋ 第１絶縁支持体
２２０ 第２絶縁支持体
２３０ 貫通孔
２３０Ｋ 貫通孔
２３２ 第１孔
２３２Ｋ 第１孔
２３４ 第２孔
２３４Ｋ 第２孔
２３６ 第３孔
ＩＬ 仮想線

Claims (2)

1. 第１テーパ部を有するプローブと、
   前記第１テーパ部を受ける第２テーパ部を有する貫通孔が設けられた絶縁支持体と、
   を備え、
   前記第１テーパ部のテーパ角度が前記第２テーパ部のテーパ角度未満である、ソケット。
2. 前記第１テーパ部の前記テーパ角度が鋭角である、請求項１に記載のソケット。

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