TWI252872B - Thin film-forming apparatus - Google Patents

Description

1252872 玫、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於薄膜形成裝置之技術，特別是有關於使 用万'在真空相罜内藉由和載送氣體同時供應原料氣體於基 板表面而形成有機薄膜之有機氣相堆積法之薄膜形成裝 置。 &有機el顯示元件、有機半導體雷射等的低分子系有機虹 發光兀件用之有機薄膜，_般係以真空縫法而成膜。 4圖7所tf ,使用於真2蒸鍍法之真空蒸鍍裝置係備有： 真二相至5 1、设置於真空箱室5丨内的底部之蒸鍍源'以 及相對向配且鍍源52的上方之基板保持構件^。 使用如此义裝置在基板s表面形成有機薄膜時，係在基板 保持構件加表面朝下方之狀態而裝設純s，並以遮罩 (未圖示）覆蓋基板s表面，且自蒸鍵源52在1〇-3〜ι〇4的高 真”使有機原料加熱蒸鍍於真空箱室”内，如箭頭D所 在真玉相至5 1内，以充分擴散原料氣體之狀態而蒸鍍 有機原料於基板S表面。 ^方面，作為形成有機薄膜之裝置，近年來提案有依 據氣態堆積法（〇rganic Vap〇r phase Dep〇siti〇n(〇vpD》之有 機氣態堆積裝置（特表2〇〇丨_523768號公報）。 调機氣’禮堆積裝置係備有：真空箱室、設置於真空箱室 内《基板保持構件、以及為能供應氣體於真空箱室内而配 之^把供應手段，其係在減壓環境氣息下的真空箱室 内藉由和載运氣體同時供應原料氣體於裝設於基板保持 85013 Ϊ252872 構件的基板表面而形成有機薄膜。 、在使用如上逑足真空蒸鍍裝置及有機氣態堆積裝置而形 成有機薄膜時，係由於當使基板呈靜止狀態而形成有機薄 膜時，則無法均勻地堆積原料氣體於基板表面，且被形成 的有機薄膜的膜厚為形成不均勻，故藉由在基板保持構件 設置㈣機構或滑動機構之措施，而婦膜厚的分佈。 <疋真工蒸鍍裝置當中，在真空箱室内經蒸鑛源氣化 的原:乱體，因係以朝向配置於蒸鍵源上方的基板而擴散 、 '供尤故即使在基板保持構件設置旋轉機構或滑 動機構，亦具有原料氣體為較基板的端部而易於供應於中 央部的方向之傾向。 此外，有機《、堆積裝置當中，因在真空箱室内以 狀態而供應原料氣體，故自氣體供應口所供應的原料氣體 係易於以最短路徑而朝向排 徘巩口而流動。是故，均勻地供 = 氣體於基板表面，係必須仔細考量原料氣體的流動 万向而相對於供應口使基板安裝面產生可動狀態。因此， 裝置構成即變得複雜，且亦有成本方面的問題。 因此，能均勻地供應原料氣體 表面進行均勾的膜厚形成之有機2板表面，且能在基板 置，係被深切期盼。#機相㈣成之薄膜形成裝 【發明内容】 於為解決上述之課題’本發明之薄膜形成裝置，其特徵在 具備： 85013 1252872 真空箱室； 基板保持構件，其係設置於真空箱室内；以及 面而供 氣體供應端，其係朝向基板保持構件的基板安裝 應氣體； 氣體於基板安裝面之狀 且氣體供應端係以能長型地供應 態而形成。

根據如此之薄膜形成裝置，由於氣體供應端係以能長型 地供應氣體於基板安裝面之狀態而形成，故能對於安裝於 基板安裝面的基板表面長型地供應氣體。 I 而且，右基板保持構件為具備滑動機構，其係使基板安 裝面可移動於長型的氣體的供應範圍中的短邊方向，則因 在氣體供應時使基板安裝面滑動於該短邊方向，而能在基 板表面中將長型地供應之氣體，掃描於該短邊方向並施以 供應。因此，能均勻地堆積由成膜成份所構成的氣體於基 板的表面區域，而進行均勻的膜厚之薄膜的形成。 此外’在氣體供應端為複數排列於長型之氣體的供應範 圍中的短邊方向之情形時，係能將自各氣體供應口長型地籲 供應於基板表面的氣體，傳送於短邊方向而供應。因此， 即使是在使基板靜止之狀態下，亦能均勻地堆積由成膜成 ’ 伤所構成的氣體於基板的表面區域，而進行均勻的膜厚的 · 薄膜之形成。 【實施方式】 以下依據圖面詳細說明本發明之薄膜形成裝置之實施形 態0 85013 1252872 (第1實施形態） 圖1係用以說明本發明之薄膜形成裝置之有機氣態堆積 裝置之一實施形態之構要構成圖。 咸圖所7F <有機氣態堆積裝置，係在維持於減壓環境氣 息下的真2箱1： 11内’配置遮罩（未圖示）以覆蓋基板s，並 中介该遮罩而在基板s上進行特定圖案的有機薄膜的形成。 有機氣態堆積裝置係備有：真空箱室丨丨、設置於真空箱 至11内的基板保持構件12、以及朝向基板保持構件12的基 板安裝面12a而供應氣體的氣體供應端22。 真玄箱1： 11係自用以排出多餘的原料氣體之排氣口 14藉 由未圖示之真空泵，而控制其内部環境（例如，減壓狀態） 的同時，亦藉由壓力計15而管理真空箱室丨丨内部的壓力。 此外’真空箱室11係例如設置有加熱器（未圖示），以能在 真空箱室11内維持原料氣體的氣態狀態而構成。 此外’叹置於真空相室11内的基板保持構件12，係相對 於水平狀態而設置基板安裝面12a成略垂直之狀態，基板安 裝面12a係安裝有以遮罩覆蓋狀態的基板s而構成。 而且，在基板保持構件12，係在其面内設置可滑動基板 安裝面12a的滑動機構（未圖示）。此處，則係藉由滑動機構 而基板安裝面12 a則在圖面之縱深方向和正前方向往復運 動於水平方向而構成。 此外，在基板保持構件12係設置有用以冷卻安裝的基板s 之冷卻機構16。 繼之，說明有關本實施形態之氣體供應手段13。 85013 -9 - 1252872 、氣體供應手段13係由原料氣體供應源41、其-端為連接 於原料氣體供應源的氣體供給管23、以及連接於該氣體 供應管23的另一端之氣體供應端22所構成。 在原料氣體供應源41係例如貯存有用以形成有機薄膜於 基板S表面的有細’而在爾體供應㈣的外側係投 置有用以使有機原料氣化的電熱器17。此外，在原料氣^ 供應源41係設置有壓力計15 ’而管理内部的壓力。 在該原料供應源41餘人有連接於載送氣體供應源训 配管18，而在載送氣體供應源42係辟存有構成載送氣體的 不活性氣體。 此處例如在載送氣體使用Na、He、Ar等不活性氣體，但 本發明並不自限於此，只要不與原料氣體產生反應者均 可，例如可為Η2等。 繼而，自該配管18導入載送氣體至原料氣體供應源41， 並和原料氣體相混合。 而且，配管18的週圍係以電熱器17包覆，而經加熱的載 送氣體係能供應於原料氣體供應源41而構成。 進而，在配管18係設置有氣體流量控制手段19，而能調 整載送氣體的流量。 此外，在原料氣體供應源41係連接著氣體供應管23的一 端。氣體供應管23的週圍係以電熱器17包覆，自原料氣體 供應源41其和載送氣體相混合的原料氣體係維持氣態狀態 並供應至真空箱室11内而構成。 在氣體供應管23亦設置有流量控制手段丨9，而能調整和 85013 -10- 1252872 載送氣體相混合的原料氣體的流量。 於疋，氣體供應管23係保持相同的供應截面形狀（例如圓 形或略正方形）之狀態，自原料氣體供應源41插入至真空箱 至11，並在真空箱室11内連接於使供應截面形狀變形的氣 體供應端22。 又，此處氣體供應端22係設置於真空箱室u内而構成， 但只要形成該吹出口的氣體供應口 2丨為和真空箱室丨丨内相 連通，則氣體供應端22為設置於真空箱室丨丨外亦可。 該情形時係氣體供應端2 2的週圍示以電熱器1 7包覆。 該氣體供應端22係作成能朝向基板保持構件丨2的基板安 裝面12a而一起供應載送氣體和原料氣體之構成，此處，係 形成能長型地供應氣體至基板安裝面12a之狀態。 此處特別係如圖1 (b)所示，氣體供應端22的氣體供應口 21 係將開口形狀作成矩形狀’且長邊方向的開口寬幅L1係形 成較短邊方向的開口寬幅W1更寬，同時亦形成較以特定狀 態安裝於基板安裝面12a的基板S的寬幅L2更寬。 而且’氣體供應端2 2係朝向如此之形狀的氣體供應口 21 而變形其開口形狀。 此外，該氣體供應端22，例如其氣體供應口 21的開口面 積C 1係能形成和氣體供應管23的供應截面積C2略相同較 佳。此處供應截面積C2係表示氣體供應管23的内周壁侧之 截面積。 是故，例如圖示所示，氣體供應端22係具有朝向該氣體 供應口 21中的長邊方向的開口寬幅L1而逐漸擴大，同時亦 85013 -11 - 1252872 朝向短邊方向的開口寬幅W1而逐漸縮小之形狀。 藉由如此之構成，原料廣_伯^ I、、， 竹乳to係和載迗氣體一起自氣體供 應管23，以均等之壓力流重力$盏歸 力至乳m供應端22中的氣體供應 口 21。 ’ 如此形成之氣體供應端22係配置成能朝向基板安裝面 12a而供應氣體於相同方向之狀態，例如，配置成能朝向基 板安裝面12a而供應原料氣體於略垂直方向之狀態。 又’此處係作成朝向基板安裝面12a而供應原料氣體於略 垂直方向’但亦可自傾斜方向供應原料氣體至基板安裝面 12a而配置氣體供應端22。 甚至，作成氣體供應口 21的長邊方向為對基板安裝面12& 的滑動方向成略垂直而配置。 此處因係作成如前述之基板安裝面12a為滑動於圖面上 深度方向之構成，故氣體供應口21的長邊方向（寬口方向） 係形成圖面上的上下方向。此外，氣體供應口21的短邊方 向係形成和滑動方向相同方向之圖面上的深度方向。 此外，如上述，由於氣體供應端22係形成朝向氣體供應 口 21的長邊方向的開口寬幅^而逐漸擴大，故由氣體由供 口 21的短邊方向所視的側面形狀係形成為以氣體供應口 21 的長邊作為底邊之三角形狀。 使用如此之有機氣態堆積裝置而形成有機薄膜於基板s 表面時，首先如圖l(a)所示，安裝由遮罩（未圖示）所覆蓋的 基板S於被保持的基板保持構件丨2。 此時，係使基板S的寬幅L2方向對應於氣體供應口 21的長 85013 -12- 1252872 邊方向而安裝於基板安裝面12a。 繼而’藉由基板保持構件12的滑動機構，使基板安裝面 m滑動至氣體供應口21的短邊方向，亦即圖面上之深度方 向0 另一方面，自連接於載送氣體供應源42的配管18，導入 作f載送氣體之例如不活性氣體於原料氣體供應源41，並 和藉由電熱器17而氣化之原料氣體相混合。 繼足，如圖1(b)所示，和載送氣體相混合的原料氣體，係 通過氣體供應管23而自氣體供應端22供應於真空箱室u 内，並朝向安裝於基板安裝面12a的基板3表面而供應於箭 頭A所示之方向。 另一方面，由於基板安裝面12a係滑動於圖面上之深度方 向’故長型地供應於基板S的圖面上之上下方向的原料氣 體’則堆積於安裝於基板安裝面12a的基板3表面全域，而 形成有機薄膜。 又’本貫施形態係以遮罩覆蓋基板S為例而作說明，但本 發明亦可適用於不安裝遮罩而在基板3表面全域形成有機 薄膜之情形。 根據如此之有機氣態堆積裝置，氣體供應端22係形成長 型地供應氣體於基板安裝面12 a之狀態，且將開口形狀作成 矩形狀的氣體供應口 21的長邊方向的開口寬幅L1，係形成 較以特定狀態安裝於基板安裝面12a的基板s的寬幅L2更 寬’故因應於氣體供應口 21的形狀而能遍及基板s的寬幅而 長型地供應原料氣體。 85013 -13- 1252872 龜而，基板保持構件12係具有使基板安裝面12a滑動於氣 體供應口 21的短邊方向之滑動機構，因此而能將遍及基板s 的寬幅L2而長型地供應之原料氣體，予以供應於基板s表面 全域，故能均勻地堆積原料氣體於基板s表面，且能形成均 勻的膜厚之有機薄膜。 因此，能形成更均勻之膜厚的有機薄膜，亦能形成大畫 面之無輝度不均之有機發光元件層。 而且，根據本實施形態之有機氣態堆積裝置，氣體供應 端22係配置成朝向基板安裝面12a而供應原料氣體於垂直 方向之狀態，故在使用遮罩而形成有機薄膜的情形時，因 係能防止關閉效應，而能防止成膜圖案的位置偏離。 進而，藉由將氣體供應口 21的開口面積C1形成和氣體供 應管23的供應截面積C2大致相同之措施，原料氣體即能和 載运氣體一起自氣體供應管23，保持均等之壓力而流動於 氣體供應端22内，故能自氣體供應口 21的各部份，朝向基 板安裝面12a而供應更均勻的原料氣體。 而且，本實施形態中，雖設置有滑動機構於基板保持構 件12，但亦可設置以基板安裝面i2a*中心的旋轉軸之旋轉 機構。 其中，如上述，根據本實施形態的有機氣態堆積裝置由 於能遍及基板S寬幅之長型地供應原料氣體，故滑動機構之 此方因说更均勻地供應氣體於基板s表面全域而較理想。 此外，本實施形態中，係作成以氣體供應口 2 i的長邊方 向為圖面上之上下方向、以短邊方向為圖面上之深度方向 85013 -14- 1252872 而配置氣體供應口 21之狀態，但亦能以長邊方向為圖面上 之深度方向、短邊方向為圖面上之上下方向而設置氣體供 應口 21。此情形時係藉由滑動機構而使基板安裝面可移 動於該短邊方向’亦即在其面内當中可移動於圖面上之上 下方向之構成。 此外，氣體供應口 2 1的長邊方向的開口寬幅L丨係作成較 以特定狀fe而安裝於基板安裝面12a的基板S的寬幅L2更 寬，但開口寬幅L1和寬幅L2為略相同之長度亦可，此情形 時’因原料氣體係謹供應於基板S表面，故能均勻且有效地 堆積原料氣體於基板s表面。 此外，本實施形態中，氣體供應口21的開口形狀保作成 矩形狀’但本發明並不自限於此，只要能形成長型地供應 氣體於基板安裝面12a，例如橢圓形亦可。其中，在確實地 使供應於基板S表面的原料氣體達成均勻性上，係矩形狀之 此方因能均勻地供應原料氣體於基板的端部故較為理想。 此外，本實施形態中，氣體供應端22係作成朝向氣體供 應口 21的長邊方向的開口寬幅乙丨而逐漸擴大之側面三角形 狀，但本發明並不自限於此，只要能長型地供應氣體於基 板安裝面12a而形成氣體供應端22，則如圖2(a)〜(c)所示之 氣體供應端22的形狀亦可。 具體而言，如圖2(a)所示，氣體供應端22其自氣體供應口 21的短邊方向所見的側面形狀，係朝向氣體供應口 2丨而在 /、長邊方向以乙個階段而擴大的矩形狀亦可，如圖2(七）所 示，朝向氣體供應口 21而在其長邊方向階段地擴大而形成 85013 -15- 1252872 的段差形狀亦可。 此外，如圖2(c)所示，朝向氣體供應口 21而在其長邊。 擴大而形成的側面半圓形狀亦可。 方向 在氣體供應端22的側面形狀為如圖2(a)〜（c)所示之 狀、段差形狀、半圓狀的情形時，因構成氣體供應端U中 的氣體供應口 2 1的短邊側之側壁係呈略平行狀，匕、 吝文说防止 自氣體供應口 21所供應的原料氣體為擴散於長邊方向，且 更能導正原料氣體的進行方向於相同方向。因此，能在其 板S表面的中央和端部均勾地供應原料氣體。 特別是若氣體供應端22的側面形狀為形成半圓狀時，相 較於形成矩形狀或段差形狀的情形，則因無氣體易滞留的 邊角部份，故更為理想。 此外，如本實施形態，在側面三角形狀時，例如設置維 持氣體供應口 21並延伸的筒狀之頭部，並使氣體供應端22 中的氣體供應口 2 1的短邊側的側壁呈略平行狀，則因更能 控制氣體的進行方向不致朝向基板S而擴散，故較為理想。 據此，而能達成和上述之氣體供應端22為半圓狀的情形相 同之功效。 (第2實施形態） 本實施形態係對於第1實施形態所說明之氣體供應端22 中的氣體的供應方向，能自略垂直方向供應氣體於氣體供 應端22而在氣體供應端22連托氣體供應管23之例子作說 明。 如圖3(a)所示，氣體供應管23係作成能連通於該氣體供應 85013 -16- 1252872 端22的内部’而對構成氣體供應端22中的氣體供應口 2 1的 長邊側之側壁35呈略垂直地連接，同時亦連接於該側壁35 中的氣體供應端2 2的基端部側。 此處’側壁35係形成以氣體供應口 21的長邊作為底邊之 略三角形狀’而基端部側係表示其三角形狀之頂點附近。 藉由作成如此之構成，在第丨實施形態中，連接於氣體供 應管23的氣體供應端22的基端部側係呈閉塞狀。 又’此處係作成氣體供應管23為對氣體供應端22中的氣 體供應口 21的長邊側的側壁35呈略垂直地連接，但本發明 並不自限於此，只要對來自氣體供應端22的氣體的供應方 向，能自略垂直方向供應氣體於氣體供應端22而連接著氣 體供應管23即可，或亦可連接於構成氣體供應口 21的短邊 4則之^(則壁3 6。 此外，此處係作成氣體供應管23為連接於側壁35中的氣 體供應端22的基端部側，但本發明並不自限於此，亦可為 側壁35的中央部。 其中，為了在氣體供應端22的内部使原料氣體作有效的 擴散，氣體供應管23係對供應口的長邊側的側壁35呈略垂 直地配置較佳，且配置於側壁35的氣體供應端22的基端部 側較佳。 依據如此之構成，如圖3(b)之氣體供應端22及氣體供應管 23的上視要部擴大圖之箭頭B所示，原料氣體係通過氣體供 應管23而導入於氣體供應端22的内部，並衝撞於側壁35之 相對向的内側壁之後，在氣體供應端22的内部擴散之狀態 85013 -17- !252872 下，自氣體供應口 21朝向基板安裝面12a(參閱前述圖 3(a))，而供應原料於略垂直方向（箭頭A)。 根據如此之有機氣態堆積裝置，由於具有和第丨實施形態 相同的功效之外，相對於來自氣體供應端22的原料氣體的 供應方向，而能自略垂直方向供應氣體於氣體供應端。而 連接氣體供應管23於氣體供應端22，㈣料氣體為自氣體 供應管23衝撞於氣體供應端22的内側壁。據此，在氣體供 應端22的内部當中，原料氣體係能在充分擴散之狀態下， 朝向基板安裝面12a而長型地均勻的供應原料氣體。因此， 月匕形成更均勻的膜厚之有機薄膜，亦能形成大畫面之無輝 度不均之有機發光元件層。 此外，根據本實施形態，由於氣體供應管23係對構成氣 也供應知22中的氣體供應口的長邊側之側壁3 5呈略垂直地 連接，同時亦連接於側壁35中的氣體供應端22的基端部 側，故能在氣體供應端22的内部有效地擴散原料氣體，且 自氣體供應口 21供應原料氣體。 又，此處係說明氣體供應端22的側面形狀為三角形狀之 例子，但本發明並不自限於此，例如即使圖2(a)〜(c)所示之 側面形狀亦可適用。 (第3實施形態） 本貫施形悲係說明第1實施形態中的氣體供應端22為分 割成複數的氣體流路3 1之例子。 如圖4所示，本實施形態中的供應端22係作成在其内部朝 向氣體的供應方向而分割，同時設置有達於氣體供應口21 85013 -18- 1252872 之例如6個的氣體流路31。 而且此類之氣體流路3 1係作成配設於供應口 2 1的長邊 方向。 此處，6個氣體流路31所到達的氣體供應口 ，係作成例 如其開口面積為均等地分割而形成各個相等之狀態。 根據如此之構成，原料氣體係通過氣體供應管23而分配 於6個氣體流路31，且自分割的氣體供應口 21朝向基板安裝 面12a而供應原料氣體於略垂直方向。 根據如此之有機氣態堆積裝置，具有和第丨實施形態相同 的功效之外，因氣體供應端22係在其内部朝向氣體的供應 方向而被分割，同時亦將到達氣體供應口 2丨的複數氣體流 路31刀配於氣體供應口 21的長邊方向，故到達氣體供應端 22的氣體即藉由氣體流路31而被分配於該長邊方向。 因此，自被分割的氣體供應口 21係不使原料氣體產生亂 流，且能作成維持沿著氣體流路31的方向性之均勻的層流 而長型地供應於基板安裝面丨2a。據此，即能更均勻地控制 供應至基板S表面的原料氣體的分佈。 因此，能形成更均勻膜厚的有機薄膜，亦能形成大畫面 之無輝度不均之有機發光元件層。 又’此處係說明氣體供應端22的側面形狀為三角形狀之 情形時，但本發明並不自限於此，即使例如圖2(a)〜(c)所示 之側面形狀亦可適用。 此外，根據本實施形態，係說明在氣體供應端22的内部 設置複數的氣體流路3 1，但本發明並不自限於此，只要能 85013 -19- J252872 勺也供庑乳验於基板安裝面12a， 22的内部施以分判之㈣_ 而在孔把供應⑼ 應端22的形狀亦可„ 虱恤供 例如’如圖5⑷所示，藉由在氣體供應端2 2的内部例如配 g :角㈣的擴散壁32 ’而在氣體供應端22的内部當中， P月匕均等地分g己氣體於氣體供應口 21的長邊方向，且 型地均勻地供應氣體於基板S表面。 落擴散壁32係、不限於三角柱狀，只要能在氣體供應端^ 的内邵均等地分配氣體於氣體供應口 21的長邊方向，即使 是圓柱狀、橢圓柱狀、四角柱狀亦可。 甚而，該擴散壁的配置圖案，係能長型地均勻地供應原 料氣體於基板S表面而形成最佳之配置圖案則更理想。 例如，預先在基板s表面形成有機薄膜時的膜厚分佈中， 在基板的中央部此處為較端部更薄時，則如圖5(b)所示，使 氣體供應端22的内部中的擴散壁32的配置圖案集中於氣體 供應端22的端部而配置，而作成更能供應氣體於中央部之 配置圖案亦可。 此外’如圖5(c)所示，氣體供應端22為具備朝向氣體的供 應方向而階段地分割成圖面上之上下方向的複數之氣體流 路33 ’而氣體流路33係具備用以使氣體擴散的複數之擴散 室34亦可。此處係自配設於最終段的擴散室34之圖面上之 上下方向之例如6個氣體供應口 21供應氣體。即使為如此之 形狀’亦能長型地供應氣體於基板S表面，同時在氣體供應 端22的内部亦能以充份擴散之狀態均勻地供應氣體。 85013 -20- 1252872 (第4實施形態） 本實施形態係說明關於具備複數之第1實施形態所說明 之氣體供應端22之例子。 如圖6所示’本實施形態之有機氣態堆積裝置係例如具有 3個的氣體供應管23a〜23c，此類之氣體供應管23a〜23c係分 別插入於真空箱室11内，並連接於各個所對應的供應端 22a〜22c 〇 此外’氣體供應端2 2 a〜2 2 c係以相對向於基板安裝面12 a 而配置之狀態而朝向氣體供應口 21的短邊方向，亦即朝向 圖面上之深度方向而排列。 此外’氣體供應管23a〜23c係作成分別連接於原料氣體供 應源41(參閱前述圖丨（4)之狀態。 此處雖作成複數之氣體供應管23a〜23c為分別連接於原 料氣體供應源41，但亦可對應於各個氣體供應管23a〜23c* 設置複數個原料氣體供應源41。 在氣體供應管23a〜23c係設置有各個獨立的氣體流量控 制手段（未圖示），並藉由作動氣體流量控制手段，而不僅調 整氣體的流量，亦能將流量作成零。 因此’在導入相異之原料氣體於氣體供應管23a〜23c時， 亦能切換原料氣體的種類。 根據如此之有機氣態堆積裝置，除了具有和第1實施形態 相同之功效之外，氣體供應端22a〜22(：係排列於氣體供應口 21的短邊方向，因能自各個的氣體供應端22而遍及基板s 寬幅的長型地供應氣體，故能供應原料氣體於氣體基板s 85013 -21 - 1252872 表面之全域。 成的；^由於分別具備氣體流量控制手段，而因應於所形 成的有機薄膣 > 胳Μ & _ 、 叱、佳一 予，並耩由調整氣體流量控制手段，而 -進订具有均勾膜厚之有機薄膜的形成。 裝時，在絲保持構件12，即使未設置使基板安 a可移動於氣體供應口 21的短邊方向之滑動機構，亦 月匕句勻地堆積原料氣體 機薄膜的形成。 ㈣表面，且能進均勾膜厚之有 因此，亦可不設置滑動機構於基板保持構件12’而能形 低成本且品質佳的有機薄膜，並能形成大畫面之無輝度 不均的有機發光元件層。 此外，本實施形態中雖係說明自氣體供應端22a〜22c供應 相同的原料乳體〈例子’但亦可作成自氣體供應端仏〜22c 供應相異的原料氣體之構成。 於此十月开〉時，氣體供應管23a〜23c係分別連接於相異的原 料氣體供應源4卜故而，藉由滑動機構而使基板安裝面⑵ ^移動於深度方向，即能在基板s表面形成有依次堆積來自 氣體供應端22a〜22c所供應的原料氣體之有機薄膜的積層 膜，且能以更均勾的膜厚形成各層。此外，亦能在基板: 表面以更均勻的膜厚形成參雜有異種原料的有機薄膜。 又，此處係說明氣體供應端22的侧面形狀為三角形狀時 的例子’但本發明並不自限於此，例如圖2(a)〜（c)所:之側 面形狀亦可適用。 根據如此之薄膜形成裝置，由於氣體供應端形成長型地 85013 -22- 1252872 故能對安裝於基板安裝面 供應氣體於基板安裝面之狀態 的基板表面長型地供應氣體。 此外’只要具備使基板保持構件4可移動於長型的氣μ 供應範圍中的短邊方向之滑動機構，即能在氣體供應時= 基板安裝面㈣於短邊方向，據此，即能將長型地所供鹿 的氣體予以掃描絲板表面中的短邊方向並進行供應，^ 能將由成膜成份所組成的氣體均勾地堆積於基板的表面區 域’且能進行均勻的膜厚之薄膜形成。 此外纟排列複數〈氣體供應口於氣體的供應範圍中的 短邊方向時’因係能將來自各氣體供應口長型地所供應之 氣體’遍及該短邊方向進行供應，故即使基板為靜止狀賤， 亦能將由成膜成份所组成的氣體均勻地堆積於基板的表面 區域，並能進行均勻的膜厚之薄膜的形成。 、因此，藉由使用孩薄膜形成裝置於有機EL顯示元件的形 成’即能形成大畫面之無輝度不均之有機發光元件層。 【圖式簡單說明】 圖1用以說明第1實施形態之薄膜形成裝置之概略構成圖 ⑷、及要部擴大圖（b)。 圖2(a)、（b)、（c)表示第1實施形態之氣體供應端之例子之 立體圖。 圖3(a)、（b)用以說明第2實施形態之薄膜形成裝置之要部 擴大圖（a)、及上視要部擴大圖（b)。 圖4用以說明第3實施形態之薄膜形成裝置之要部擴大 圖0 85013 -23- 1252872 圖5(a)、（b)、（c)表示第3實施形態之氣體供應端之例子之 立體圖。 圖6用以說明第4實施形態之薄膜形成裝置之要部擴大圖。 圖7用以說明習知技術之真空蒸鍍裝置之概略構成圖。 【圖式代表符號說明】 11 真空箱室 12 基板保持構件 12a 基板安裝面 13 氣體供應手段 14 排氣口 15 壓力計 16 冷卻機構 17 電熱器 18 配管 19 流量控制手段 21 氣體供應口 22 氣體供應端 23 氣體供應管 31 氣體流路 41 原料氣體供應源 42 載送氣體供應源 S 基板 Cl 開口面積 C2 供應截面積 85013 -24 -

Claims (1)

1. 9月） η 其特徵在於：

   15972號專利申請案 中文申請專利範圍替換本年 拾、申請專利範園： 1 · 一種薄膜形成裝置， 具備： 具雙箱室 基板保持構件，其係設置於前述真空箱室内·、 氣體供應端，其係朝向前述基板保持構件之基^及 面而供應氣體； 土极女系 則逐耽體供應端具有導 由具長邊及短邊之矩形氣體供應口所構成； 前述氣體供應端’係以前述長邊方向之開口寬幅自 述導入口朝前述排出口擴大之方式形成。 2. 如申請專利範圍第1項之薄膜形成裝置，其中 则述氣月且供應端為以遍及安裝於前述基板安裝面之 基板的寬幅之長型地供應氣體之狀態而形成。 3. 如申請專利範園第1項之薄膜形成裝置，其中 士前述基板保持構件係具備滑動機構，其係使該基板安 裝面可私動於前述長型之氣體的供應範圍中之短邊方 向。 4·如申明專利範圍第i項之薄膜形成裝置，其中 則述氣體供應端為複數並列於前述長型之氣體的供 應範圍中之短邊方向。 、 5·如申巧專利範圍第】项之薄膜形成裝置，其中 *則述氣fa供應端係具備複數之氣體流路，其係在該氣 ’、底、的内4朝向氣体的供應方向而被分割，同時到 85013-940902.doc 1252872 達於前述氣體供應端的氣體供應口。.—— 6·如申請專利範園第1項之薄膜形成裝置，其中 直Li:體供應端係以朝向前述基板安裝面氣體略垂 直地供應之狀態而形成。 龙 7.如申叫專利摩巳圍第！項之薄膜形成裝置，其中 前述氣體供應端中的氣體供應口的開口面積 供應氣體於前述氣體供應端的氣體 8. 積略相同或較小於該供應截面積之狀態㈣^應截面 如申^專利範圍第丨項之薄膜形成裝置，其中 相對於來自前述氣體供應端的氣體的供應方向， 向供應氣體於該當氣體供應端之方式，連接氣 月1供應&於孩氣體供應端。 、 9·如申匕專利範圍第4項之薄膜形成裝置，其中 自前述複數之氣體供應端供應相異之氣俨。 1〇.如申請义專利範園第4項之薄膜形成裝置，其； 自前述複數之氣體供應端供應單_之氣體。 85013-940902.doc