JP5795028B2 - 薄膜蒸着装置 - Google Patents
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Description
本発明において、前記間隔制御部材は、前記基板に対する前記第2ノズルの位置を測定するセンサと、前記基板に対して前記第2ノズルを移動させるための駆動力を提供するアクチュエータとを含むことができる。
ここで、前記基板上には、オープンマスクが配され、前記オープンマスクは、前記ポジショニング・マークと重畳されないように配されうる。
ここで、前記薄膜蒸着装置は、ベースフレームと、前記ベースフレーム上に配され、内部に前記第2ノズルが収容されるトレイとをさらに含むことができる。
ここで、前記間隔制御部材は、前記第2ノズルの一端部と前記トレイとの間に配され、前記第2ノズルの一端部を前記トレイに対して移動させる第1アクチュエータと、前記一端部と対向する前記第2ノズルの他端部と前記トレイとの間に配され、前記第2ノズルの前記他端部を前記トレイに対して移動させる第2アクチュエータと、前記第2ノズルを前記第1方向を軸にして回転させる第3アクチュエータとを含むことができる。
ここで、前記アクチュエータと前記センサは、前記第2ノズルと前記基板との間隔をリアルタイムでフィードバック制御できる。
本発明において、前記間隔制御部材は、前記第2ノズルの両端部に配され、前記基板と接するように配されるローラまたはボールでありうる。
ここで、前記アライン制御部材は、前記基板に対する前記第2ノズルの位置を測定するセンサと、前記基板に対して前記第2ノズルを移動させるための駆動力を提供するアクチュエータとを含むことができる。
ここで、前記基板上には、ポジショニング・マークが形成され、前記センサは、前記ポジショニング・マークを基準に、前記基板に対する前記第2ノズルの相対的の位置を測定できる。
ここで、前記薄膜蒸着装置は、ベースフレームと、前記ベースフレーム上に配され、内部に前記第2ノズルが収容されるトレイとをさらに含むことができる。
ここで、前記アクチュエータは、前記ベースフレームに対して前記トレイを移動させることによって、前記第2ノズルと前記基板との間のアラインを調節できる。
ここで、前記アクチュエータと前記センサは、前記第2ノズルと前記基板との間のアラインを、リアルタイムでフィードバック制御できる。
本発明において、前記複数個の遮断壁は、等間隔に配されうる。
本発明において、前記遮断壁と前記第2ノズルは、所定間隔をおいて離隔されるように形成されうる。
本発明において、前記遮断壁アセンブリは、複数個の第1遮断壁を具備する第1遮断壁アセンブリと、複数個の第2遮断壁を具備する第2遮断壁アセンブリとを含むことができる。
ここで、前記複数個の第1遮断壁及び前記複数個の第2遮断壁それぞれは、前記第1方向と実質的に垂直な第2方向に形成され、前記第1ノズルと前記第2ノズルとの間の空間を区画できる。
ここで、前記互いに対応する第1遮断壁及び第2遮断壁は、実質的に同じ平面上に位置するように配されうる。
本発明において、前記蒸着源で気化された蒸着物質は、前記第1ノズル及び前記第2ノズルを通過して前記基板に蒸着されうる。
本発明において、前記第2ノズルは、前記基板から所定間隔をおいて離隔されるように形成されうる。
ここで、前記蒸着源、前記第1ノズル、前記第2ノズル及び前記遮断壁アセンブリは、前記基板に対して相対的に移動しつつ、前記基板に蒸着物質を蒸着させることができる。
ここで、前記蒸着源、前記第1ノズル、前記第2ノズル及び前記遮断壁アセンブリは、前記基板と平行した面に沿って相対的に移動できる。
本発明において、前記間隔制御部材は、前記基板に対する前記第2ノズルの位置を測定するセンサと、前記基板に対して前記第2ノズルを移動させるための駆動力を提供するアクチュエータとを含むことができる。
ここで、前記基板上には、オープンマスクが配され、前記オープンマスクは、前記ポジショニング・マークと重畳されないように配されうる。
ここで、前記薄膜蒸着装置は、ベースフレームと、前記ベースフレーム上に配され、内部に前記第2ノズルが収容されるトレイとをさらに含むことができる。
ここで、前記アクチュエータは、前記トレイに対して前記第2ノズルを移動させることによって、前記第2ノズルと前記基板との間隔を制御できる。
ここで、前記アクチュエータは、ピエゾモータでありうる。
本発明において、前記間隔制御部材は、前記第2ノズルの両端部に配され、前記基板と接するように配されるローラまたはボールでありうる。
本発明において、前記アライン制御部材は、前記基板に対する前記第2ノズルの相対的の位置が一定に維持されるように制御できる。
ここで、前記アライン制御部材は、前記基板に対する前記第2ノズルの位置を測定するセンサと、前記基板に対して前記第2ノズルを移動させるための駆動力を提供するアクチュエータとを含むことができる。
ここで、前記基板上には、オープンマスクが配され、前記オープンマスクは、前記ポジショニング・マークと重畳されないように配されうる。
ここで、前記アクチュエータは、前記ベースフレームに対して前記トレイを移動させることによって、前記第2ノズルと前記基板との間のアラインを調節できる。
ここで、前記アクチュエータと前記センサは、前記第2ノズルと前記基板との間のアラインを、リアルタイムでフィードバック制御できる。
本発明において、前記蒸着源、前記第1ノズル及び前記第2ノズルは、連結部材によって結合され、一体に形成されうる。
ここで、前記連結部材は、前記蒸着源、前記第1ノズル及び前記第2ノズル間の空間を外部から密閉するように形成されうる。
本発明において、前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して、前記第1方向に沿って移動しつつ、前記基板上に前記蒸着物質が連続的に蒸着されうる。
本発明において、前記薄膜蒸着装置の前記第2ノズルは、前記基板より小さく形成されうる。
ここで、前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、前記2列の蒸着源ノズルは、互いに対向する方向にチルトされうる。
ここで、前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、前記2列の蒸着源ノズルのうち、第1側に配された蒸着源ノズルは、第2ノズルの第2側の端部を向くように配され、前記2列の蒸着源ノズルのうち、第2側に配された蒸着源ノズルは、第2ノズルの第1側の端部を向くように配されうる。
図1は、本発明の第1実施形態による薄膜蒸着装置を概略的に図示した斜視図であり、図2は、図1の薄膜蒸着装置の概略的な側断面図であり、図3は、図1の薄膜蒸着装置の概略的な平断面図である。
チャンバ内で、前記基板160と対向する側には、蒸着物質115が収容及び加熱される蒸着源110が配される。前記蒸着源110内に収容されている蒸着物質115が気化されることによって、基板160に蒸着がなされる。詳細には、蒸着源110は、その内部に蒸着物質115が充填されるルツボ111と、ルツボ111を加熱させ、ルツボ111内部に充填された蒸着物質115をルツボ111の一側、詳細には、第1ノズル120側に蒸発させるためのヒータ112とを含む。
一方、前記遮断壁アセンブリ130は、薄膜蒸着装置100から分離自在に形成されうる。詳細には、従来のFMM蒸着方法は、蒸着効率が低いちう問題点が存在した。ここで、蒸着効率というのは、蒸着源で気化された材料のうち、実際に基板に蒸着された材料の比率を意味するものであり、従来のFMM蒸着方法での蒸着効率は、32%ほどである。しかも、従来のFMM蒸着方法では、蒸着に使われなかった68%ほどの有機物が、蒸着器内部の各所に蒸着されるために、そのリサイクルが容易ではないという問題点が存在した。
図4を参照すれば、第2ノズルフレーム155は、ほぼ窓枠のような格子状に形成され、その内側に、複数個の第2スリット151が形成された第2ノズル150が結合される。ここで、本発明の第1実施形態に係わる薄膜蒸着装置100では、第2ノズル150と第2ノズルフレーム155とが結合するとき、第2ノズルフレーム155が、第2ノズル150に所定の引張力(tensile force)を付与できるように、第2ノズル150と第2ノズルフレーム155とが結合されることを一特徴とする。
図5Aを参照すれば、蒸着源110で気化された蒸着物質は、第1ノズル120及び第2ノズル150を通過して基板160に蒸着される。このとき、第1ノズル120と第2ノズル150との間の空間は、遮断壁131によって区画されているので、第1ノズル120のそれぞれの第1スリット121から出てきた蒸着物質は、遮断壁131によって他の第1スリットから出てきた蒸着物質と混合されない。
SH1=s*ds/h
ここで、sは、第2ノズルと基板との間の距離であり、dsは、第1スリットの幅であり、hは、第1ノズルから第2ノズルまでの距離である。
SH2=s*2d/h
詳細には、本発明の第1実施形態に係わる薄膜蒸着装置100では、第2ノズル150は、基板160から一定程度離隔させて形成される。換言すれば、従来のFMM蒸着方法では、基板に陰影を生じさせないようにするために、基板にマスクを密着させて蒸着工程を進めた。しかし、このように基板にマスクを密着させる場合、基板とマスクとの接触による不良問題が発生するという問題点が存在した。かような問題点を解決するために、本発明の第1実施形態に係わる薄膜蒸着装置100では、第2ノズル150が被蒸着体である基板160と所定間隔をおいて離隔されるように配する。これは、遮断壁131を具備することによって、基板160に生成される陰影を小さくすることによって実現可能になる。
以下、本発明の第1実施形態に係わる薄膜蒸着装置100の、第2ノズル150と基板160とのアライン精度及び間隔精度を満足させるためのアライン制御部材及び間隔制御部材について詳細に説明する。
基板160上には、蒸着物質が蒸着される蒸着領域161と、蒸着物質が蒸着されない非蒸着領域162とが存在する。また、基板160上には、第2ノズル150と基板160との一定の間隔維持、及び第2ノズル150と基板160との精密アラインの基準になるポジショニング・マーク(positioning mark)163が形成されている。図面には、ポジショニング・マーク163が、基板160上の左端部、中央部、羽緞部の三ヵ所に形成されていると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されるものではない。
レール177には、ベースフレーム171が挟まれる。ベースフレーム171は、モータ(図示せず)が提供する駆動力によって、レール177に沿ってZ軸方向に上下動するようになる。かようなベースフレーム171上に、第2ノズル150と基板160との一定間隔維持、及び第2ノズル150と基板160との精密アラインと関連した全ての構成要素、すなわち、第2ノズル150、第2ノズルフレーム155、トレイ173、間隔制御部材及びアライン制御部材が配される。換言すれば、ベースフレーム171上にトレイ173が設けられ、トレイ173内に第2ノズルフレーム155が設けられる。また、トレイ173と第2ノズルフレーム155との間には、間隔制御部材が配され、ベースフレーム171とトレイ173との間には、アライン制御部材が配される。
詳細には、トレイ173は、第2ノズルフレーム155が装着された場合、第2ノズルフレーム155がY軸方向及びZ軸方向に動かないように固定する役割を行う。一方、トレイ173は、第2ノズルフレーム155が装着された場合、第2ノズルフレーム155が、トレイ173内でX軸方向には、一定程度移動自在に形成される。すなわち、X軸方向での、基板160と第2ノズル150との間隔制御は、トレイ173を基準に、第2ノズルフレーム155を移動させることによって行われるのである。
本発明で、第1間隔調節アクチュエータ181は、トレイ173の一側端、図面で見たときは、トレイ173の左側端と第2ノズルフレーム155との間に配され、第2ノズルフレーム155及び第2ノズルフレーム155に配された第2ノズル150と、基板160との間隔を制御する役割を行う。第2間隔調節アクチュエータ182は、トレイ173の他側端、図面で見たときは、トレイ173の右側端と第2ノズルフレーム155との間に配され、第2ノズルフレーム155及び第2ノズルフレーム155に配された第2ノズル150と、基板160との間隔を制御する役割を行う。第3間隔調節アクチュエータ183は、トレイ173の一端部、図面で見たときは、トレイ173の下端中央に配され、第2ノズルフレーム155及び第2ノズルフレーム155に配された第2ノズル150と、基板160との間隔を制御する役割を行う。
一方、間隔調節センサ185a,185b,185c,185dは、第2ノズルフレーム155の4つのコーナー部分に設けられうる。間隔調節センサ185a,185b,185c,185dは、第2ノズルフレーム155と基板160との間隔を測定する役割を行う。かような間隔調節センサ185a,185b,185c,185dは、レーザを利用し、第2ノズルフレーム155と基板160との間隔を測定できる。ここで、間隔調節センサ185a,185b,185c,185dは、基板160上のポジショニング・マーク163を利用し、第2ノズルフレーム155と基板160との間隔を測定できる。かような間隔制御部材が、第2ノズル150と基板160との間隔を調節する方法については、図8で詳細に説明する。
一方、第2アライン調節アクチュエータ192は、図面で見たとき、ベースフレーム171の下端とトレイ173の下端との間、詳細には、ベースフレーム171の右側下端とトレイ173の右側下端との間に配され、基板160に対するトレイ173(及びトレイ173に配された第2ノズル150)の回転角を調節することによって、第2ノズル150と基板160とのアラインを制御する役割を行う。
まず、第1間隔調節アクチュエータ181を駆動し、第2ノズルフレーム155を、トレイ173に対してX軸方向に、一定程度移動させることによって、第1間隔調節センサ185aと第3間隔調節センサ185cとで測定された第2ノズル150と基板160との間隔の平均値を、所望の値(例えば、100μm)にする。例えば、第1間隔調節センサ185aと第3間隔調節センサ185cとで測定した第2ノズル150と基板160との間隔の平均値が、所望の値より大きい場合、第1間隔調節アクチュエータ181は、第2ノズルフレーム155の第1間隔調節アクチュエータ181が設けられた部分が、基板160と近づくように、第2ノズルフレーム155を、トレイ173に対して移動させる。反対に、第1間隔調節センサ185aと第3間隔調節センサ185cとで測定した第2ノズル150と基板160との間隔の平均値が、所望の値より小さい場合、第1間隔調節アクチュエータ181は、第2ノズルフレーム155の第1間隔調節アクチュエータ181が設けられた部分が、基板160から遠ざかるように、第2ノズルフレーム155をトレイ173に対して移動させる。
このように、3個の間隔調節アクチュエータと、4個の間隔調節センサとを使用し、第2ノズル150と基板160との間隔を精密に制御することによって、パターン位置が一定に維持され、製品信頼性が向上する効果を得ることができる。
以下、アライン制御部材が、第2ノズル150と基板160とをアラインするための方法について詳細に説明する。
図9A及び図9Bを参照すれば、前述のように、第2ノズル150と基板160とを精密にアラインさせるためには、基本的に2個のアクチュエータが必要である。図9A及び図9Bでは、説明の便宜のために、第2ノズル150(図7)とオープンマスク175(図7)とを省略している。
一方、第2ノズル150が基板160に対して一定程度回転されているために、第2ノズル150と基板160とのアラインが合わない場合も存在しうる。この場合、第2ノズル150と基板160とのアラインを合せるために、第2ノズル150を一定程度回転させることも可能である。
このように、2つのアライン調節アクチュエータと、4個のアライン調節センサとを使用し、第2ノズル150と基板160とのアラインを精密に制御することによって、第2ノズル150が移動しつつも、基板160上に精密な薄膜をパターニングできるようになるという効果を得ることができる。
図10は、本発明の第2実施形態に係わる薄膜蒸着装置を示す側断面図である。そして、図11は、本発明の第2実施形態に係わる薄膜蒸着装置の、間隔制御部材とアライン制御部材とを概略的に示す正面図である。説明の便宜のために、図11には、図10に図示された薄膜蒸着装置の構成要素のうち、第2ノズル、第2ノズルフレーム及び基板を除外した残りの構成要素は省略してある。
図12Aに図示されているように、本発明の第2実施形態に係わる薄膜蒸着装置100の間隔制御部材280は、第2ノズルフレーム155の4つのコーナー部に付着されたローラ280aの形態で備わりうる。または、図12Bに図示されているように、本発明の第2実施形態に係わる薄膜蒸着装置100の間隔制御部材280は、第2ノズルフレーム155の4つのコーナー部に付着されたボール280bの形態で備わりもする。この場合、ローラ280a形態またはボール280b形態の間隔制御部材280の半径、軸(図示せず)の半径などは、非常に精密に加工されなければならない。また、ボール280b形態の間隔制御部材280を具備する場合、ボール280bと接触する部分もまた、非常に精密に加工されなければならない。
図13は、本発明の第3実施形態による蒸着装置を概略的に図示した斜視図である。
図13を参照すれば、本発明の第3実施形態に係わる薄膜蒸着装置300は、蒸着源310、第1ノズル320、第1遮断壁アセンブリ330、第2遮断壁アセンブリ340、第2ノズル350、第2ノズルフレーム355及び基板360を含む。
このようなチャンバ(図示せず)内には、被蒸着体である基板360が配される。そして、チャンバ(図示せず)内で、基板360と対向する側には、蒸着物質315が収容及び加熱される蒸着源310が配される。蒸着源310は、ルツボ311とヒータ312とを含む。
第1ノズル320の一側には、第1遮断壁アセンブリ330が備わる。前記第1遮断壁アセンブリ330は、複数個の第1遮断壁331と、第1遮断壁331の外側に備わる第1遮断壁フレーム332とを含む。
そして、蒸着源310と基板360との間には、第2ノズル350及び第2ノズルフレーム355がさらに備わる。第2ノズルフレーム355は、ほぼ窓枠と同じ格子状に形成され、その内側に、第2ノズル350が結合される。そして、第2ノズル350には、Y軸方向に沿って複数個の第2スリット351が形成される。
詳細には、前記複数個の第1遮断壁331は、Y軸方向に沿って互いに平行に備わりうる。そして、前記複数個の第1遮断壁331は、等間隔に形成されうる。また、それぞれの第1遮断壁331は、図面で見たとき、XZ平面と平行に、換言すれば、Y軸方向に垂直になるように形成される。
このように配された複数個の第1遮断壁331及び第2遮断壁341は、第1ノズル320と第2ノズル350との間の空間を区画する役割を行う。ここで、本発明の第3実施形態に係わる薄膜蒸着装置300は、前記第1遮断壁331及び第2遮断壁341によって、蒸着物質が噴射されるそれぞれの第1スリット321別に蒸着空間が分離されることを一特徴とする。
以下、本発明に係わる薄膜蒸着装置の第4実施形態について説明する。本発明の第4実施形態は、遮断壁アセンブリを具備しないという点で、第1実施形態と特徴的に区別される。
ここで、図14、図15及び図16には説明の便宜のためにチャンバを図示していないが、図14ないし図16の全ての構成は、適切な真空度が維持されるチャンバ内に配されることが望ましい。これは、蒸着物質の直進性を確保するためである。
ここで、本発明の第4実施形態では、基板400が薄膜蒸着装置900に対して、相対的に移動しつつ蒸着が進められることを一特徴とする。
詳細には、既存FMM蒸着方法では、FMMサイズが基板サイズと同一に形成されなければならない。従って、基板サイズが増大するほど、FMMも大型化されなければならず、これによって、FMM製作が容易ではなく、FMMを引き伸ばして精密なパターンにアラインするのも容易ではないという問題点が存在した。
一方、チャンバ内で、前記基板400と対向する側には、蒸着物質915が収容及び加熱される蒸着源910が配される。前記蒸着源910内に収容されている蒸着物質915が気化されることによって、基板400に蒸着がなされる。
詳細には、蒸着源910は、その内部に蒸着物質915が充填されるルツボ911と、ルツボ911を加熱させ、ルツボ911内部に充填された蒸着物質915をルツボ911の一側、詳細には第1ノズル920側に蒸発させるためのヒータ912とを含む。
詳細には、従来のFMM蒸着方法では、基板に陰影を生じさせないようにするために、基板にマスクを密着させて蒸着工程を進めた。しかし、このように、基板にマスクを密着させる場合、基板とマスクとの接触による不良問題が発生するという問題点が存在した。また、マスクを基板に対して移動させられないために、マスクが基板と同じサイズに形成されなければならない。従って、ディスプレイ装置が大型化されることによって、マスクのサイズも大きくならなければならないが、かような大型マスクを形成するのが容易ではないという問題点が存在した。
かような本発明によって、マスクを基板より小さく形成した後、マスクを基板に対して移動させつつ蒸着を行うようにすることにより、マスク製作が容易になるという効果を得ることができる。また、基板とマスクとの接触による不良を防止する効果を得ることができる。また、工程で、基板とマスクとを密着させる時間が不要であるために、製造速度が向上するという効果を得ることができる。
本実施形態では、第1ノズル920に形成された複数個の第1スリット921が、所定角度チルトされて配されるという点で、前述の第4実施形態と区別される。詳細には、第1スリット921は、2列の第1スリット921a,921bからなり、前記2列の第1スリット921a,921bは、互いに交互に配される。このとき、第1スリット921a,921bは、XZ平面上で所定角度傾くようにチルトされて形成されうる。
ここで、本発明の第5実施形態による薄膜蒸着装置900は、間隔制御部材とアライン制御部材とを具備し、第2ノズル950と基板400との間隔を一定に維持するとともに、第2ノズル950と基板400とが精密にアラインされるようにすることを一特徴とする。これについては、第1実施形態で詳細に説明したので、本実施形態では、その詳細な説明は省略する。
110 蒸着源
111 ルツボ
112 ヒータ
115 蒸着物質
120 第1ノズル
121 第1スリット
130 遮断壁アセンブリ
131 遮断壁
132 遮断壁フレーム
150 第2ノズル
151 第2スリット
155 第2ノズルフレーム
160 基板
161 蒸着領域
162 非蒸着領域
163 ポジショニング・マーク
171 ベースフレーム
173 トレイ
175 オープンマスク
177 レール
181 第1間隙調節アクチュエータ
182 第2間隙調節アクチュエータ
183 第3間隙調節アクチュエータ
185a,185b,185c,185d 間隙調節センサ
191 第1アライン調節アクチュエータ
192 第2アライン間隙調節アクチュエータ
195a,195b,195c,195d アライン調節センサ
280 間隙制御部材
280a ローラ
280b ボール
Claims (29)
- 基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、
蒸着物質を放射する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、前記蒸着源の長手方向である第1方向に沿って複数個の第1スリットが形成される第1ノズルと、
前記第1ノズルと対向するように配され、前記第1方向に対して垂直な第2方向に沿って複数個の第2スリットが形成される第2ノズルと、
前記第2ノズルと前記基板との間隔を制御する間隔制御部材と、前記第2ノズルと前記基板との間のアラインを調節するアライン制御部材とのうち、少なくとも一つとを含み、
前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して、前記第1方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、
前記蒸着源、前記第1ノズル及び前記第2ノズルを含む前記薄膜蒸着装置は、前記基板から所定間隔をおいて離隔されるように形成され、前記薄膜蒸着装置が前記基板に対して相対的に移動自在に形成され、前記蒸着源から発散された蒸着物質は前記第2ノズルにより前記基板上にパターニングされる薄膜蒸着装置。 - 前記間隔制御部材は、前記第2ノズルと前記基板との間隔が一定に維持されるように制御することを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記間隔制御部材は、
前記基板に対する前記第2ノズルの位置を測定するセンサと、
前記基板に対して前記第2ノズルを移動させるための駆動力を提供するアクチュエータとを含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記基板上には、ポジショニング・マークが形成され、前記センサは、前記ポジショニング・マークを基準に、前記基板に対する前記第2ノズルの位置を測定することを特徴とする請求項3に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記基板上には、オープンマスクが配され、前記オープンマスクは、前記ポジショニング・マークと重畳されないように配されることを特徴とする請求項4に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記薄膜蒸着装置は、
ベースフレームと、
前記ベースフレーム上に配され、内部に前記第2ノズルが収容されるトレイをさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記アクチュエータは、前記トレイに対して前記第2ノズルを移動させることによって、前記第2ノズルと前記基板との間隔を制御することを特徴とする請求項6に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記間隔制御部材は、
前記第2ノズルの一端部と前記トレイとの間に配され、前記第2ノズルの一端部を前記トレイに対して移動させる第1アクチュエータと、
前記一端部と対向する前記第2ノズルの他端部と前記トレイとの間に配され、前記第2ノズルの前記他端部を前記トレイに対して移動させる第2アクチュエータと、
前記第2ノズルを前記第1方向を軸にして回転させる第3アクチュエータとを含むことを特徴とする請求項6に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記アクチュエータは、ピエゾモータであることを特徴とする請求項3に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記アクチュエータと前記センサは、前記第2ノズルと前記基板との間隔をリアルタイムでフィードバック制御することを特徴とする請求項3に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記間隔制御部材は、前記第2ノズルの両端部に配され、前記基板と接するように配されるローラまたはボールであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記アライン制御部材は、前記基板に対する前記第2ノズルの相対的な位置が一定に維持されるように制御することを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記アライン制御部材は、
前記基板に対する前記第2ノズルの位置を測定するセンサと、
前記基板に対して前記第2ノズルを移動させるための駆動力を提供するアクチュエータとを含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記基板上には、ポジショニング・マークが形成され、前記センサは、前記ポジショニング・マークを基準に、前記基板に対する前記第2ノズルの相対的な位置を測定することを特徴とする請求項13に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記基板上には、オープンマスクが配され、前記オープンマスクは、前記ポジショニング・マークと重畳されないように配されることを特徴とする請求項14に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記薄膜蒸着装置は、
ベースフレームと、
前記ベースフレーム上に配され、内部に前記第2ノズルが収容されるトレイとをさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記アクチュエータは、前記ベースフレームに対して前記トレイを移動させることによって、前記第2ノズルと前記基板との間のアラインを調節することを特徴とする請求項16に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記アライン制御部材は、
前記トレイの一端部と前記ベースフレームとの間に配され、前記トレイを前記ベースフレームに対して直線移動させる第1アクチュエータと、
前記一端部と当接する前記トレイの他端部と前記ベースフレームとの間に配され、前記トレイを前記ベースフレームに対して回転移動させる第2アクチュエータとを含むことを特徴とする請求項16に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記アクチュエータは、ピエゾモータであることを特徴とする請求項13に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記アクチュエータと前記センサは、前記第2ノズルと前記基板との間のアラインを、リアルタイムでフィードバック制御することを特徴とする請求項13に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記蒸着源、前記第1ノズル及び前記第2ノズルは、連結部材によって結合され、一体に形成されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記連結部材は、前記蒸着物質の移動経路をガイドすることを特徴とする請求項21に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記連結部材は、前記蒸着源、前記第1ノズル及び前記第2ノズルとの間の空間を外部から密閉するように形成されることを特徴とする請求項21に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定程度離隔されるように形成されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して、前記第1方向に沿って移動しつつ、前記基板上に前記蒸着物質が連続的に蒸着されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記薄膜蒸着装置の前記第2ノズルは、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の第1スリットは、所定角度傾けられるように形成されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の第1スリットは、前記第1方向に沿って形成された2列の第1スリットを含み、前記2列の第1スリットは、互いに対向する方向に傾けられていることを特徴とする請求項27に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の第1スリットは、前記第1方向に沿って形成された2列の第1スリットを含み、
前記2列の第1スリットのうち、第1側に配された第1スリットは、第2ノズルの第2側端部を向くように配され、
前記2列の第1スリットのうち、第2側に配された第1スリットは、第2ノズルの第1側端部を向くように配されることを特徴とする請求項27に記載の薄膜蒸着装置。
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