KR20100126125A - 박막 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 일 방향을 따라 복수 개의 제1 슬릿들이 형성되는 제1 노즐; 상기 증착원과 대향되게 배치되고, 상기 일 방향을 따라 복수 개의 제2 슬릿들이 형성되는 제2 노즐; 및 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획하도록 상기 일 방향을 따라 배치된 복수 개의 차단벽들을 구비하는 차단벽 어셈블리;를 포함하는 박막 증착 장치를 제공한다.

Description

박막 증착 장치{Apparatus for thin layer deposition}
본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치들 중, 유기 발광 디스플레이 장치는 시야각이 넓고 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다.
일반적으로, 유기 발광 디스플레이 장치는 애노드와 캐소드에서 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 색상을 구현할 수 있도록, 애노드와 캐소드 사이에 발광층을 삽입한 적층형 구조를 가지고 있다. 그러나, 이러한 구조로는 고효율 발광을 얻기 어렵기 때문에, 각각의 전극과 발광층 사이에 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층 및 정공 주입층 등의 중간층을 선택적으로 추가 삽입하여 사용하고 있다.
그러나, 발광층 및 중간층 등의 유기 박막의 미세 패턴을 형성하는 것이 실질적으로 매우 어렵고, 상기 층에 따라 적색, 녹색 및 청색의 발광 효율이 달라지기 때문에, 종래의 박막 증착 장치로는 대면적(5G 이상의 마더 글래스(mother- glass))에 대한 패터닝이 불가능하여 만족할 만한 수준의 구동 전압, 전류 밀도, 휘도, 색순도, 발광 효율 및 수명 등을 가지는 대형 유기 발광 디스플레이 장치를 제조할 수 없는 바, 이의 개선이 시급하다.
한편, 유기 발광 디스플레이 장치는 서로 대향된 제1 전극 및 제2 전극 사이에 발광층 및 이를 포함하는 중간층을 구비한다. 이때 상기 전극들 및 중간층은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 증착이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 디스플레이 장치를 제작하기 위해서는, 박막 등이 형성될 기판 면에, 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask: FMM)를 밀착시키고 박막 등의 재료를 증착하여 소정 패턴의 박막을 형성한다.
본 발명은 제조가 용이하고, 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있으며, 제조 수율 및 증착 효율이 향상되고, 증착 물질의 재활용이 용이한 박막 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 일 방향을 따라 복수 개의 제1 슬릿들이 형성되는 제1 노즐; 상기 증착원과 대향되게 배치되고, 상기 일 방향을 따라 복수 개의 제2 슬릿들이 형성되는 제2 노즐; 및 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획하도록 상기 일 방향을 따라 배치된 복수 개의 차단벽들을 구비하는 차단벽 어셈블리;를 포함하는 박막 증착 장치를 제공한다.
본 발명에 있어서, 상기 복수 개의 차단벽들 각각은 상기 일 방향과 실질적으로 수직인 방향으로 형성되어, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에는 하나 이상의 상기 제1 슬릿이 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에는 복수 개의 상기 제2 슬릿이 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에 배치된 상기 제1 슬릿들의 개수보다 상기 제2 슬릿들의 개수가 더 많을 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 슬릿들의 총 개수보다 상기 제2 슬릿들의 총 개수가 더 많을 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 다수 개의 차단벽들은 등간격으로 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 차단벽들과 상기 제2 노즐은 소정 간격을 두고 이격되도록 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 차단벽 어셈블리에는 냉각 부재가 더 구비될 수 있다.
여기서, 상기 냉각 부재는 상기 차단벽 어셈블리의 외주면으로부터 돌출 형성된 냉각 핀일 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 박막 증착 장치는 상기 제2 노즐과 결합하여 상기 제2 노즐을 지지하는 제2 노즐 프레임을 더 구비할 수 있다.
여기서, 상기 제2 노즐 프레임은 상기 제2 노즐에 소정의 인장력을 부여할 수 있다.
여기서, 상기 제2 노즐에는 인장력이 가하여지고, 상기 제2 노즐 프레임에는 상기 인장력에 대응하는 압축력이 가하여진 상태에서, 상기 제2 노즐과 상기 제2 노즐 프레임이 결합된 후, 상기 제2 노즐과 상기 제2 노즐 프레임에 평형을 이루도록 작용하는 상기 인장력과 상기 압축력을 제거하여, 상기 제2 노즐에 인장력이 가하여질 수 있다.
여기서, 상기 제2 노즐 프레임의 온도는 증착 과정 동안 실질적으로 균일하 게 유지될 수 있다.
여기서, 상기 제2 노즐 프레임에는 방열 핀이 더 구비될 수 있다.
여기서, 상기 증착원과 상기 제2 노즐 프레임 사이에는 열 차폐판이 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 차단벽 어셈블리는 상기 박막 증착 장치로부터 분리 가능하도록 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 박막 증착 장치는 진공 챔버 내에 구비될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제2 노즐은, 상기 증착원에서 기화된 증착 물질이 증착되는 피 증착체로부터 소정 간격을 두고 이격되도록 형성될 수 있다.
다른 측면에 관한 본 발명은, 피 증착체 상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서, 증착원; 상기 증착원의 일 측에 구비되며, 서로 대향되게 배치되는 제1 노즐과 제2 노즐; 및 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이에 배치되는 복수 개의 차단벽들을 구비하는 차단벽 어셈블리;를 포함하고, 상기 제2 노즐은 상기 피 증착체와 소정 간격을 두고 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치를 제공한다.
본 발명에 있어서, 상기 증착원에서 기화된 증착 물질은 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 통과하여 상기 피 증착체에 증착될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 복수 개의 차단벽들 각각은 상기 제1 노즐 및 제2 노즐과 실질적으로 수직인 방향으로 형성되어, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 다수 개의 차단벽들은 등간격으로 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 차단벽들과 상기 제2 노즐은 소정 간격을 두고 이격되도록 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 차단벽 어셈블리에는 냉각 부재가 더 구비될 수 있다.
여기서, 상기 냉각 부재는 상기 차단벽 어셈블리의 외주면으로부터 돌출 형성된 냉각 핀일 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 박막 증착 장치는 상기 제2 노즐과 결합하여 상기 제2 노즐을 지지하는 제2 노즐 프레임을 더 구비할 수 있다.
여기서, 상기 제2 노즐 프레임은 상기 제2 노즐에 소정의 인장력을 부여할 수 있다.
여기서, 상기 제2 노즐에는 인장력이 가하여지고, 상기 제2 노즐 프레임에는 상기 인장력에 대응하는 압축력이 가하여진 상태에서, 상기 제2 노즐과 상기 제2 노즐 프레임이 결합된 후, 상기 제2 노즐과 상기 제2 노즐 프레임에 평형을 이루도록 작용하는 상기 인장력과 상기 압축력을 제거하여, 상기 제2 노즐에 인장력이 가하여질 수 있다.
여기서, 상기 제2 노즐 프레임의 온도는 증착 과정 동안 실질적으로 균일하게 유지될 수 있다.
여기서, 상기 제2 노즐 프레임에는 방열 핀이 더 구비될 수 있다.
여기서, 상기 증착원과 상기 제2 노즐 프레임 사이에는 열 차폐판이 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 차단벽 어셈블리는 상기 박막 증착 장치로부터 분리 가능하도록 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 노즐에는 일 방향을 따라 복수 개의 제1 슬릿들이 형성되고, 상기 제2 노즐에는 상기 일 방향을 따라 복수 개의 제2 슬릿들이 형성될 수 있다.
여기서, 상기 복수 개의 차단벽들은 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획하도록 상기 일 방향을 따라 배치될 수 있다.
여기서, 상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에는 하나 이상의 상기 제1 슬릿이 배치될 수 있다.
여기서, 상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에는 복수 개의 상기 제2 슬릿이 배치될 수 있다.
여기서, 상기 제2 노즐의 상기 일 방향으로의 폭과 상기 피 증착체의 상기 일 방향으로의 폭은 실질적으로 동일하도록 형성될 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 박막 증착 장치에 따르면, 제조가 용이하고, 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있으며, 제조 수율 및 증착 효율이 향상되고, 증착 물질의 재활용이 용이해지는 효과를 얻을 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 증착 장치의 개략적인 측면도이고, 도 3은 도 1의 증착 장치의 개략적인 평면도이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(100)는 증착원(110), 제1 노즐(120), 차단벽 어셈블리(130), 제2 노즐(150), 제2 노즐 프레임(155) 및 기판(160)을 포함한다.
여기서, 도 1, 도 2 및 도 3에는 설명의 편의를 위해 챔버를 도시하지 않았지만, 도 1 내지 도 3의 모든 구성은 적절한 진공도가 유지되는 챔버 내에 배치되는 것이 바람직하다. 이는 증착 물질의 직진성을 확보하기 위함이다.
상세히, 증착원(110)에서 방출된 증착 물질(115)이 제1 노즐(120) 및 제2 노즐(150)을 통과하여 기판(160)에 원하는 패턴으로 증착되게 하려면, 기본적으로 챔버(미도시) 내부는 FMM 증착 방법과 동일한 고진공 상태를 유지해야 한다. 또한 차단벽(131) 및 제2 노즐(150)의 온도가 증착원(110) 온도보다 충분히 낮아야(약 100°이하) 제1 노즐(120)과 제2 노즐(150) 사이의 공간을 고진공 상태로 유지할 수 있다. 이와 같이, 차단벽 어셈블리(130)와 제2 노즐(150)의 온도가 충분히 낮으면, 원하지 않는 방향으로 방사되는 증착 물질(115)은 모두 차단벽 어셈블리(130) 면에 흡착되어서 고진공을 유지할 수 있기 때문에, 증착 물질 간의 충돌이 발생하지 않아서 증착 물질의 직진성을 확보할 수 있게 되는 것이다. 이때 차단벽 어셈블리(130)는 고온의 증착원(110)을 향하고 있고, 증착원(110)과 가까운 곳은 최대 167° 가량 온도가 상승하기 때문에, 필요할 경우 부분 냉각 장치가 더 구비될 수 있다. 이를 위하여, 차단벽 어셈블리(130)에는 냉각 부재가 형성될 수 있다. 이에 대하여는 뒤에서 다시 설명한다.
이러한 챔버(미도시) 내에는 피 증착체인 기판(160)이 배치된다. 상기 기판(160)은 평판 표시장치용 기판이 될 수 있는 데, 다수의 평판 표시장치를 형성할 수 있는 마더 글라스(mother glass)와 같은 대면적 기판이 적용될 수 있다.
챔버 내에서 상기 기판(160)과 대향하는 측에는, 증착 물질(115)이 수납 및 가열되는 증착원(110)이 배치된다. 상기 증착원(110) 내에 수납되어 있는 증착 물질(115)이 기화됨에 따라 기판(160)에 증착이 이루어진다. 상세히, 증착원(110)은 그 내부에 증착 물질(115)이 채워지는 도가니(111)와, 도가니(111)를 가열시켜 도가니(111) 내부에 채워진 증착 물질(115)을 도가니(111)의 일 측, 상세하게는 제1 노즐(120) 측으로 증발시키기 위한 히터(112)를 포함한다.
증착원(110)의 일 측, 상세하게는 증착원(110)에서 기판(160)을 향하는 측에는 제1 노즐(120)이 배치된다. 그리고, 제1 노즐(120)에는, Y축 방향을 따라서 복수 개의 제1 슬릿(121)들이 형성된다. 여기서, 상기 복수 개의 제1 슬릿들(121)은 등 간격으로 형성될 수 있다. 증착원(110) 내에서 기화된 증착 물질(115)은 이와 같은 제1 노즐(120)을 통과하여 피 증착체인 기판(160) 쪽으로 향하게 되는 것이다.
제1 노즐(120)의 일 측에는 차단벽 어셈블리(130)가 구비된다. 상기 차단벽 어셈블리(130)는 복수 개의 차단벽(131)들과, 차단벽(131)들 외측에 구비되는 차단 벽 프레임(132)을 포함한다. 여기서, 상기 복수 개의 차단벽(131)들은 Y축 방향을 따라서 서로 나란하게 구비될 수 있다. 그리고, 상기 복수 개의 차단벽(131)들은 등 간격으로 형성될 수 있다. 또한, 각각의 차단벽(131)은 도면에서 보았을 때 XZ평면과 나란하도록, 다시 말하면 Y축 방향에 수직이 되도록 형성된다. 이와 같이 배치된 복수 개의 차단벽(131)들은 제1 노즐(120)과 후술할 제2 노즐(150) 사이의 공간을 구획하는 역할을 수행한다. 여기서, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(100)는 상기 차단벽(131)에 의하여, 증착 물질이 분사되는 각각의 제1 슬릿(121) 별로 증착 공간이 분리되는 것을 일 특징으로 한다.
여기서, 각각의 차단벽(131)들은 서로 이웃하고 있는 제1 슬릿(121)들 사이에 배치될 수 있다. 이는 다시 말하면, 서로 이웃하고 있는 차단벽(131)들 사이에 하나의 제1 슬릿(121)이 배치된다고 볼 수도 있다. 바람직하게, 제1 슬릿(121)은 서로 이웃하고 있는 차단벽(131) 사이의 정 중앙에 위치할 수 있다. 이와 같이, 차단벽(131)이 제1 노즐(120)과 후술할 제2 노즐(150) 사이의 공간을 구획함으로써, 하나의 제1 슬릿(121)으로 배출되는 증착 물질은 다른 제1 슬릿(121)에서 배출된 증착 물질들과 혼합되지 않고, 제2 슬릿(151)을 통과하여 기판(160)에 증착되는 것이다. 다시 말하면, 차단벽(131)들은 제1 슬릿(121)을 통해 배출되는 증착 물질이 분산되지 않도록 증착 물질의 Y축 방향의 이동 경로를 가이드 하는 역할을 수행한다.
한편, 상기 복수 개의 차단벽(131)들의 외측으로는 차단벽 프레임(132)이 더 구비될 수 있다. 차단벽 프레임(132)은, 복수 개의 차단벽(131)들의 상하면에 각각 구비되어, 복수 개의 차단벽(131)들의 위치를 지지하는 동시에, 제1 슬릿(121)을 통해 배출되는 증착 물질이 분산되지 않도록 증착 물질의 Z축 방향의 이동 경로를 가이드 하는 역할을 수행한다.
한편, 상기 차단벽 어셈블리(130)는 박막 증착 장치(100)로부터 분리 가능하도록 형성될 수 있다. 상세히, 종래의 FMM 증착 방법은 증착 효율이 낮다는 문제점이 존재하였다. 여기서 증착 효율이란 증착원에서 기화된 재료 중 실제로 기판에 증착된 재료의 비율을 의미하는 것으로, 종래의 FMM 증착 방법에서의 증착 효율은 대략 32% 정도이다. 더구나 종래의 FMM 증착 방법에서는 증착에 사용되지 아니한 대략 68% 정도의 유기물이 증착기 내부의 여기저기에 증착되기 때문에, 그 재활용이 용이하지 아니하다는 문제점이 존재하였다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(100)에서는 차단벽 어셈블리(130)를 이용하여 증착 공간을 외부 공간과 분리하였기 때문에, 기판(160)에 증착되지 않은 증착 물질은 대부분 차단벽 어셈블리(130) 내에 증착된다. 따라서, 장시간 증착 후, 차단벽 어셈블리(130)에 증착 물질이 많이 쌓이게 되면, 차단벽 어셈블리(130)를 박막 증착 장치(100)로부터 분리한 후, 별도의 증착 물질 재활용 장치에 넣어서 증착 물질을 회수할 수 있다. 이와 같은 구성을 통하여, 증착 물질 재활용률을 높임으로써 증착 효율이 향상되고 제조 비용이 절감되는 효과를 얻을 수 있다.
증착원(110)과 기판(160) 사이에는 제2 노즐(150) 및 제2 노즐 프레임(155)이 더 구비된다. 제2 노즐 프레임(155)은 대략 창문 틀과 같은 격자 형태로 형성되 며, 그 내측에 제2 노즐(150)이 결합된다. 그리고, 제2 노즐(150)에는 Y축 방향을 따라서 복수 개의 제2 슬릿(151)들이 형성된다. 여기서, 상기 복수 개의 제2 슬릿(151)들은 등 간격으로 형성될 수 있다. 증착원(110) 내에서 기화된 증착 물질(115)은 제1 노즐(120) 및 제2 노즐(150)을 통과하여 피 증착체인 기판(160) 쪽으로 향하게 되는 것이다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(100)는 제1 슬릿(121)들의 총 개수보다 제2 슬릿(151)들의 총 개수가 더 많은 것을 일 특징으로 한다. 또한, 서로 이웃하고 있는 두 개의 차단벽(131) 사이에 배치된 제1 슬릿(121)의 개수보다 제2 슬릿(151)들의 개수가 더 많은 것을 일 특징으로 한다.
즉, 서로 이웃하고 있는 두 개의 차단벽(131) 사이에는 하나 또는 그 이상의 제1 슬릿(121)이 배치된다. 동시에, 서로 이웃하고 있는 두 개의 차단벽(131) 사이에는 복수 개의 제2 슬릿(151)들이 배치된다. 그리고, 서로 이웃하고 있는 두 개의 차단벽(131)에 의해서 제1 노즐(120)과 제2 노즐(150) 사이의 공간이 구획되어서, 각각의 제1 슬릿(121) 별로 증착 공간이 분리된다. 따라서, 하나의 제1 슬릿(121)에서 방사된 증착 물질은 대부분 동일한 증착 공간에 있는 제2 슬릿(151)들을 통과하여 기판(160)에 증착되게 되는 것이다.
한편, 상기 제2 노즐(150)은 종래의 파인 메탈 마스크(FMM) 특히 스트라이프 타입(stripe type)의 마스크의 제조 방법과 동일한 방법인 에칭을 통해 제작될 수 있다. 이 경우, 기존 FMM 증착 방법에서는 FMM 크기가 기판 크기와 동일하게 형성되어야 한다. 따라서, 기판 사이즈가 증가할수록 FMM도 대형화되어야 하며, 따라서 FMM 제작이 용이하지 않고, FMM을 인장하여 정밀한 패턴으로 얼라인(align) 하기도 용이하지 않다는 문제점이 존재하였다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(100)의 경우, 박막 증착 장치(100)가 챔버(미도시)내에서 Z축 방향으로 이동하면서 증착이 이루어진다. 다시 말하면, 박막 증착 장치(100)가 현재 위치에서 증착을 완료하였을 경우, 박막 증착 장치(100) 혹은 기판(160)을 Z축 방향으로 상대적으로 이동시켜서 연속적으로 증착을 수행하게 된다. 따라서, 본 발명의 박막 증착 장치(100)에서는 종래의 FMM에 비하여 훨씬 작게 제2 노즐(150)을 만들 수 있다. 즉, 본 발명의 박막 증착 장치(100)의 경우, 제2 노즐(150)의 Y축 방향으로의 폭과 기판(160)의 Y축 방향으로의 폭만 동일하게 형성되면, 제2 노즐(150)의 Z축 방향의 길이는 기판(160)의 길이보다 작게 형성될 수 있는 것이다. 이와 같이, 종래의 FMM에 비하여 훨씬 작게 제2 노즐(150)을 만들 수 있기 때문에, 본 발명의 제2 노즐(150)은 그 제조가 용이하다. 즉, 제2 노즐(150)의 에칭 작업이나, 그 이후의 정밀 인장 및 용접 작업, 이동 및 세정 작업 등 모든 공정에서, 작은 크기의 제2 노즐(150)이 FMM 증착 방법에 비해 유리하다. 또한, 이는 디스플레이 장치가 대형화될수록 더욱 유리하게 된다.
한편, 상술한 차단벽 어셈블리(130)와 제2 노즐(150)은 서로 일정 정도 이격되도록 형성될 수 있다. 이와 같이 차단벽 어셈블리(130)와 제2 노즐(150)을 서로 이격시키는 이유는 다음과 같다.
먼저, 제2 노즐(150)과 제2 노즐 프레임(155)은 기판(160) 위에서 정밀한 위치와 갭(Gap)을 가지고 얼라인(align) 되어야 하는, 즉 고정밀 제어가 필요한 부분 이다. 따라서, 고정밀도가 요구되는 부분의 무게를 가볍게 하여 제어가 용이하도록 하기 위하여, 정밀도 제어가 불필요하고 무게가 많이 나가는 증착원(110), 제1 노즐(120) 및 차단벽 어셈블리(130)를 제2 노즐(150) 및 제2 노즐 프레임(155)으로부터 분리하는 것이다. 다음으로, 고온 상태의 증착원(110)에 의해 차단벽 어셈블리(130)의 온도는 최대 100도 이상 상승하기 때문에, 상승된 차단벽 어셈블리(130)의 온도가 제2 노즐(150)로 전도되지 않도록 차단벽 어셈블리(130)와 제2 노즐(150)을 분리하는 것이다. 다음으로, 본 발명의 박막 증착 장치(100)에서는 차단벽 어셈블리(130)에 붙은 증착 물질을 주로 재활용하고, 제2 노즐(150)에 붙은 증착 물질은 재활용을 하지 않을 수 있다. 따라서, 차단벽 어셈블리(130)가 제2 노즐(150)과 분리되면 증착 물질의 재활용 작업이 용이해지는 효과도 얻을 수 있다. 더불어, 기판(160) 전체의 막 균일도를 확보하기 위해서 보정판(미도시)을 더 구비할 수 있는데, 차단벽(131)이 제2 노즐(150)과 분리되면 보정판(미도시)을 설치하기가 매우 용이하게 된다. 마지막으로, 하나의 기판을 증착하고 다음 기판을 증착하기 전 상태에서 증착 물질이 제2 노즐(150)에 증착되는 것을 방지하여 노즐 교체주기를 증가시키기 위해서는 칸막이(미도시)가 더 구비될 수 있다. 이때 칸막이(미도시)는 차단벽(131)과 제2 노즐(150) 사이에 설치하는 것이 용이하다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 관한 제2 노즐과 제2 노즐 프레임 간의 결합관계를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 제2 노즐 프레임(155)은 대략 창문 틀과 같은 격자 형태로 형성되며, 그 내측에 복수 개의 제2 슬릿(151)들이 형성된 제2 노즐(150)이 결합된다. 여기서, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(100)에서는, 제2 노즐(150)과 제2 노즐 프레임(155)이 결합할 때, 제2 노즐 프레임(155)이 제2 노즐(150)에 소정의 인장력을 부여할 수 있도록 제2 노즐(150)과 제2 노즐 프레임(155)이 결합하는 것을 일 특징으로 한다.
상세히, 제2 노즐(150)의 정밀도는 제2 노즐(150)의 제작 오차와, 증착 중 제2 노즐(150)의 열팽창에 의한 오차로 나눌 수 있다. 여기서, 제2 노즐(150)의 제작 오차를 최소화하기 위해, 파인 메탈 마스크를 프레임에 정밀 인장/용접할 때 사용하는 카운터 포스(Counter Force) 기술을 적용할 수 있다. 이를 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다. 먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 노즐(150)을 내측에서 외측으로 가압하여 제2 노즐(150)을 인장시킨다. 다음으로, 상기 제2 노즐(150)에 가하여지는 가압력과 대응되는 방향, 즉 반대 방향으로 제2 노즐 프레임(155)에 압축력을 가하여, 제2 노즐(150)에 가하여지는 외력과 평형을 이루도록 한다. 다음으로, 제2 노즐 프레임(155)에 제2 노즐(150)의 가장자리를 용접하는 등의 방법으로, 제2 노즐 프레임(155)에 제2 노즐(150)을 결합한다. 마지막으로, 제2 노즐(150)과 제2 노즐 프레임(155)에 평형을 이루도록 작용하는 외력을 제거하면, 제2 노즐 프레임(155)에 의해 제2 노즐(150)에 인장력이 가하여지게 된다. 이와 같은 정밀 인장/압축/용접 기술을 이용하면, 에칭 산포가 있더라도 제2 노즐(150) 제작 오차는 2um 이하로 제작이 가능하다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(100)에서는, 제2 노즐 프 레임(155)의 온도가 일정하게 유지되도록 하는 것을 일 특징으로 한다. 상세히, 본 발명에서 제2 노즐(150)은 고온의 증착원(110)을 계속 바라보고 있으므로, 항상 복사열을 받으므로 온도가 어느 정도(대략 5~15° 정도) 상승하게 된다. 이와 같이 제2 노즐(150) 온도가 상승하면, 제2 노즐(150)이 팽창하여 패턴 정밀도를 떨어뜨릴 수 있다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에서는 스트라이프 타입(Stripe Type)의 제2 노즐(150)을 사용하는 동시에, 제2 노즐(150)을 인장 상태로 붙잡고 있는 제2 노즐 프레임(155)의 온도를 균일하게 함으로써, 제2 노즐(150) 온도 상승에 의한 패턴 오차를 방지한다.
이렇게 하면, 제2 노즐(150)의 수평 방향(Y축 방향)의 열팽창(패턴 오차)은 제2 노즐 프레임(155)의 온도에 의해 결정되기 때문에, 제2 노즐 프레임(155) 온도만 일정하면 제2 노즐(150)의 온도가 올라가더라도 열팽창에 의한 패턴 오차 문제는 발생하지 않는다. 한편, 제2 노즐(150)의 길이 방향(Z축 방향)으로의 열팽창은 존재하지만, 이는 스캔 방향이므로 패턴 정밀도와는 관계가 없다.
이때, 제2 노즐 프레임(155)은 진공 상태에서 증착원(110)을 직접 바라보지 않기 때문에 복사열을 받지 않으며, 증착원(110)과 연결돼 있지도 않기 때문에 열전도도 없어서 제2 노즐 프레임(155)의 온도가 상승할 여지는 거의 없다. 만약, 약간(1~3°)의 온도 상승 문제가 있다 하더라도, 열 차폐판(Thermal Shield) 또는 방열핀(Radiation Pin) 등을 사용하면 쉽게 일정한 온도를 유지할 수 있다. 이에 대하여는 뒤에서 다시 설명한다.
이와 같이, 제2 노즐 프레임(155)이 제2 노즐(150)에 소정의 인장력을 부여 하는 동시에, 제2 노즐 프레임(155)의 온도가 일정하게 유지되도록 함으로써, 제2 노즐(150)의 열팽창 문제와 제2 노즐(150)의 패턴 정밀도 문제가 분리되어, 제2 노즐(150)의 패턴 정밀도가 향상되는 효과를 얻을 수 있다. 즉, 상술한 바와 같이, 정밀 인장/압축/용접 기술을 이용하면, 에칭 산포가 있더라도 제2 노즐(150)의 제작 오차는 2um 이하일 수 있다. 또한, 제2 노즐(150)의 온도 상승에 의한 열팽창에 의한 오차는, 스트라이프 타입(Stripe Type)의 제2 노즐(150)에 인장력을 부여하고 제2 노즐 프레임(155)의 온도를 일정하게 함으로써 발생하지 않는다. 따라서 제2 노즐(150)의 정밀도는, {제2 노즐 제작 오차(<2) + 제2 노즐 열팽창 오차(~0) < 2 um}로 제작 가능함을 알 수 있다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치에서 증착 물질이 증착되고 있는 상태를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 5b는 도 5a와 같이 차단벽에 의해 증착 공간이 분리된 상태에서 발생하는 음영(shadow)을 나타내는 도면이며, 도 5c는 증착 공간이 분리되지 아니한 상태에서 발생하는 음영(shadow)을 나타내는 도면이다.
도 5a를 참조하면, 증착원(110)에서 기화된 증착 물질은 제1 노즐(120) 및 제2 노즐(150)을 통과하여 기판(160)에 증착된다. 이때, 제1 노즐(120)과 제2 노즐(150) 사이의 공간은 차단벽(131)들에 의하여 구획되어 있으므로, 제1 노즐(120)의 각각의 제1 슬릿(121)들에서 나온 증착 물질은 차단벽(131)에 의해서 다른 제1 슬릿에서 나온 증착 물질과 혼합되지 않는다.
제1 노즐(120)과 제2 노즐(150) 사이의 공간이 차단벽(131)들에 의하여 구획되어 있을 경우, 도 5b에 도시된 바와 같이, 증착 물질들은 거의 수직에 가까운 각도로 제2 노즐(150)을 통과하여 기판(160)에 증착된다. 이때, 기판(160)에 생성되는 음영 영역의 폭(SH1)은 다음의 수학식 1에 의하여 결정된다.
SH1 = s * ds / h
한편, 제1 노즐과 제2 노즐 사이의 공간이 차단벽들에 의하여 구획되어 있지 않을 경우, 도 5c에 도시된 바와 같이, 증착 물질들은 도 5b에서보다 넓은 범위의 다양한 각도로 제2 노즐을 통과하게 된다. 즉, 이 경우 제2 슬릿의 직상방에 있는 제1 슬릿에서 방사된 증착 물질뿐아니라, 다른 제1 슬릿으로부터 방사된 증착 물질들까지 제2 슬릿(151)을 통해 기판(160)에 증착되므로, 기판(160)에 형성된 음영 영역(SH2)의 폭은 차단판을 구비한 경우에 비하여 매우 크게 된다. 이때, 기판(160)에 생성되는 음영 영역의 폭(SH2)은 다음의 수학식 2에 의하여 결정된다.
SH2 = s * 2d / h
상기 수학식 1과 수학식 2를 비교하여 보았을 때, ds(제1 슬릿의 폭)보다 d(이웃한 차단벽 간의 간격)가 수~수십 배 이상 월등히 크게 형성되므로, 제1 노즐(120)과 제2 노즐(150) 사이의 공간이 차단벽(131)들에 의하여 구획되어 있을 경 우, 음영이 훨씬 작게 형성됨을 알 수 있다. 여기서, 기판(160)에 생성되는 음영 영역의 폭(SH2)을 줄이기 위해서는, (1) 차단벽(131)이 설치되는 간격을 줄이거나(d 감소), (2) 제2 노즐(140)과 기판(160) 사이의 간격을 줄이거나(s 감소), (3) 차단벽(131)의 높이를 높여야 한다(h 증가).
이와 같이, 차단벽(131)을 구비함으로써, 기판(160)에 생성되는 음영(shadow)이 작아지게 되었고, 따라서 제2 노즐(150)을 기판(160)으로부터 이격시킬 수 있게 된 것이다.
상세히, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(100)에서는, 제2 노즐(150)은 기판(160)으로부터 일정 정도 이격되도록 형성된다. 다시 말하면, 종래의 FMM 증착 방법에서는 기판에 음영(shadow)이 생기지 않도록 하기 위하여 기판에 마스크를 밀착시켜서 증착 공정을 진행하였다. 그러나, 이와 같이 기판에 마스크를 밀착시킬 경우, 기판과 마스크 간의 접촉에 의한 불량 문제가 발생한다는 문제점이 존재하였다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(100)에서는 제2 노즐(150)이 피 증착체인 기판(160)과 소정 간격을 두고 이격되도록 배치되도록 한다. 이것은 차단벽(131)을 구비함으로써, 기판(160)에 생성되는 음영(shadow)이 작아지게 됨으로써 실현 가능해진다.
이와 같은 본 발명에 의해서 기판과 마스크 간의 접촉에 의한 불량을 방지하는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 공정에서 기판과 마스크를 밀착시키는 시간이 불필요해지기 때문에, 제조 속도가 향상되는 효과를 얻을 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치에 냉각 부재 등이 더 구비되어 있는 모습을 나타내는 도면이다.
상술한 바와 같이, 차단벽 어셈블리(130)에는 냉각 부재(133)가 더 구비될 수 있다. 상세히, 차단벽 어셈블리(130)는 증착원(110)보다 상당히 낮은 온도를 유지하여야 한다. 따라서, 차단벽 어셈블리(130)를 냉각시키기 위하여 냉각 부재가 더 구비될 수 있는 것이다. 냉각 부재의 일 예로써, 차단벽 프레임(132)에는 냉각 핀(133)이 구비될 수 있다. 냉각 핀(133)은 차단벽 프레임(132)의 외주면으로부터 돌출 형성되어, 차단벽 어셈블리(130)의 열을 복사 냉각시키는 역할을 수행할 수 있다. 또는, 도면에는 도시되지 않았지만 차단벽 어셈블리(130)에 파이프 등을 설치하고 파이프를 통하여 냉매를 유동시키는 수냉 방법도 활용할 수 있을 것이다.
한편, 제2 노즐 프레임(155)에도 방열 핀(Radiation Pin)(153)이 더 구비될 수 있다. 또한, 증착원(110)과 제2 노즐 프레임(155) 사이에는 열 차폐판(Thermal Shield)(190)이 더 구비될 수 있다.
상세히, 제2 노즐 프레임(155)은 진공 상태에서 증착원(110)을 직접 바라보지 않기 때문에 복사열을 받지 않으며, 증착원(110)과 연결되어 있지도 않기 때문에 열전도 또한 없어서 제2 노즐 프레임(155)의 온도가 상승할 여지는 거의 없다. 다만, 약간(1~3°)의 온도 상승이 발생할 수 있는 여지는 존재하므로, 이와 같은 온도 상승을 미연에 방지하기 위하여 방열 핀(153)을 더 구비함으로써, 제2 노즐 프레임(155)의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 방열 핀(153)은 제2 노즐 프레 임(155)의 외주면으로부터 돌출 형성되어, 제2 노즐 프레임(155)의 열을 복사 냉각시키는 역할을 수행할 수 있다. 또는, 증착원(110)과 제2 노즐 프레임(155) 사이에 열 차폐판(Thermal Shield)(190)을 구비하여, 증착원(110)으로부터 제2 노즐 프레임(155)으로 복사되는 열을 차단함으로써, 제2 노즐 프레임(155)의 온도를 일정하게 유지할 수도 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 증착 장치의 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1의 증착 장치의 개략적인 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 관한 제2 노즐과 제2 노즐 프레임 간의 결합관계를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치에서 증착 물질이 증착되고 있는 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5b는 도 5a와 같이 차단벽에 의해 증착 공간이 분리된 상태에서 발생하는 음영(shadow)을 나타내는 도면이다.
도 5c는 증착 공간이 분리되지 아니한 상태에서 발생하는 음영(shadow)을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치에 냉각 부재 등이 더 구비되어 있는 모습을 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 박막 증착 장치 110: 증착원
120: 제1 노즐 130: 차단벽 어셈블리
131: 차단벽 132: 차단벽 프레임
150: 제2 노즐 155: 제2 노즐 프레임
160: 기판

Claims (38)

  1. 증착원;
    상기 증착원의 일 측에 배치되며, 일 방향을 따라 복수 개의 제1 슬릿들이 형성되는 제1 노즐;
    상기 증착원과 대향되게 배치되고, 상기 일 방향을 따라 복수 개의 제2 슬릿들이 형성되는 제2 노즐; 및
    상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획하도록 상기 일 방향을 따라 배치된 복수 개의 차단벽들을 구비하는 차단벽 어셈블리;를 포함하는 박막 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 차단벽들 각각은 상기 일 방향과 실질적으로 수직인 방향으로 형성되어, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에는 하나 이상의 상기 제1 슬릿이 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에는 복수 개의 상기 제2 슬릿이 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에 배치된 상기 제1 슬릿들의 개수보다 상기 제2 슬릿들의 개수가 더 많은 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 슬릿들의 총 개수보다 상기 제2 슬릿들의 총 개수가 더 많은 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수 개의 차단벽들은 등간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 차단벽들과 상기 제2 노즐은 소정 간격을 두고 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 차단벽 어셈블리에는 냉각 부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 냉각 부재는 상기 차단벽 어셈블리의 외주면으로부터 돌출 형성된 냉각 핀인 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 박막 증착 장치는 상기 제2 노즐과 결합하여 상기 제2 노즐을 지지하는 제2 노즐 프레임을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2 노즐 프레임은 상기 제2 노즐에 소정의 인장력을 부여하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제2 노즐에는 인장력이 가하여지고, 상기 제2 노즐 프레임에는 상기 인장력에 대응하는 압축력이 가하여진 상태에서, 상기 제2 노즐과 상기 제2 노즐 프 레임이 결합된 후, 상기 제2 노즐과 상기 제2 노즐 프레임에 평형을 이루도록 작용하는 상기 인장력과 상기 압축력을 제거하여, 상기 제2 노즐에 인장력이 가하여지는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2 노즐 프레임의 온도는 증착 과정 동안 실질적으로 균일하게 유지되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2 노즐 프레임에는 방열 핀이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 증착원과 상기 제2 노즐 프레임 사이에는 열 차폐판이 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 차단벽 어셈블리는 상기 박막 증착 장치로부터 분리 가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 박막 증착 장치는 진공 챔버 내에 구비되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  19. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 노즐은, 상기 증착원에서 기화된 증착 물질이 증착되는 피 증착체로부터 소정 간격을 두고 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  20. 피 증착체 상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서,
    증착원;
    상기 증착원의 일 측에 구비되며, 서로 대향되게 배치되는 제1 노즐과 제2 노즐; 및
    상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이에 배치되는 복수 개의 차단벽들을 구비하는 차단벽 어셈블리;를 포함하고,
    상기 제2 노즐은 상기 피 증착체와 소정 간격을 두고 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 증착원에서 기화된 증착 물질은 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 통 과하여 상기 피 증착체에 증착되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 복수 개의 차단벽들 각각은 상기 제1 노즐 및 제2 노즐과 실질적으로 수직인 방향으로 형성되어, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  23. 제 20 항에 있어서,
    상기 다수 개의 차단벽들은 등간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  24. 제 20 항에 있어서,
    상기 차단벽들과 상기 제2 노즐은 소정 간격을 두고 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  25. 제 20 항에 있어서,
    상기 차단벽 어셈블리에는 냉각 부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 냉각 부재는 상기 차단벽 어셈블리의 외주면으로부터 돌출 형성된 냉각 핀인 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  27. 제 20 항에 있어서,
    상기 박막 증착 장치는 상기 제2 노즐과 결합하여 상기 제2 노즐을 지지하는 제2 노즐 프레임을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 제2 노즐 프레임은 상기 제2 노즐에 소정의 인장력을 부여하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 제2 노즐에는 인장력이 가하여지고, 상기 제2 노즐 프레임에는 상기 인장력에 대응하는 압축력이 가하여진 상태에서, 상기 제2 노즐과 상기 제2 노즐 프레임이 결합된 후, 상기 제2 노즐과 상기 제2 노즐 프레임에 평형을 이루도록 작용하는 상기 인장력과 상기 압축력을 제거하여, 상기 제2 노즐에 인장력이 가하여지는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  30. 제 27 항에 있어서,
    상기 제2 노즐 프레임의 온도는 증착 과정 동안 실질적으로 균일하게 유지되 는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  31. 제 27 항에 있어서,
    상기 제2 노즐 프레임에는 방열 핀이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  32. 제 27 항에 있어서,
    상기 증착원과 상기 제2 노즐 프레임 사이에는 열 차폐판이 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  33. 제 20 항에 있어서,
    상기 차단벽 어셈블리는 상기 박막 증착 장치로부터 분리 가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  34. 제 20 항에 있어서,
    상기 제1 노즐에는 일 방향을 따라 복수 개의 제1 슬릿들이 형성되고,
    상기 제2 노즐에는 상기 일 방향을 따라 복수 개의 제2 슬릿들이 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  35. 제 34 항에 있어서,
    상기 복수 개의 차단벽들은 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획하도록 상기 일 방향을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  36. 제 34 항에 있어서,
    상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에는 하나 이상의 상기 제1 슬릿이 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  37. 제 34 항에 있어서,
    상기 복수 개의 차단벽들 중 서로 이웃한 두 개의 차단벽들 사이에는 복수 개의 상기 제2 슬릿이 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  38. 제 34 항에 있어서,
    상기 제2 노즐의 상기 일 방향으로의 폭과 상기 피 증착체의 상기 일 방향으로의 폭은 실질적으로 동일하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
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