TW568874B - Fast swap dual substrate transport for load lock - Google Patents

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568874 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 發明領域 本發明之發明領域係有關於經由一負載鎖定器蓮送基 板，其中該負載鎖定器形成一半導體處理系統的一部份。 該負載鎖定器服務一各別的處理室。 發明背景 半導體的處理通常包含多個處理步驟，如♦在一基板上 * K化蒸汽沉積光蝕刻，加熱*冷卻及潔淨的方式沉積一 薄膜。 一般在真空下，Μ特殊的處理室執行該處理操作。因 為需要極高的清潔度且各程序的微细的特性，一般由各別 的基板處理取代半導體基板的整批處理程序。此允許對於 各基板的處理進行更多的控制，但是限制糸統的整個產出 ，因為對於各處理步驟，處理室必需洩壓，負載基板，且 密封該處理室並抽真空。在處理之後，反序進行這些步驟。 為了改進處理量，在一基板的蓮送埠處配置多個處理 室，架構處理室Κ維持該處理室的真空。經由至蓮送埠的 •狹鏠閥，將一或多個負載鎖定器室連接到運送埠。 負載鎖定器適應將處理的基板卡匣。由該糸統的前端 蓮送機構，而將該基板卡匣蓮送到負載鎖定器中。架構一 負載鎖定器Κ適應此基板卡匣，如在本案申請人所提出的 美國專利5 ，66 4，925中所提出者。該篇文章在此 列為本文之參考文件。 依據此方式，如循環時間減少，而使得糸統的產量大 增。持續維持該處理及蓮送璋的真空度，而通過該負載鎖 -4- (請先閱讀背面之注意事項冷填寫本頁) S· :裝 訂--------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 568874 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 定器進行循環。在從蓮送璋密封且洩壓後，該負載鎖定器 接收該將處理的基板。然後密封該前端部位，而將負載鎖 定器抽真空，使符合該蓮送埠及處理埠的真空度。 在蓮送埠内安裝一機械手臂的蓮送機構，且操作該機 構K從負載鎖定器中拿起該基板。在.處理後，由機械手臂 拿起該基板，且運送到下一處理室，或蓮送到一負載鎖定 器中，以從蓮送室中去除。在某些例子中，為了時間的考 量，這些系統可Μ使用緩衝架，在經該糸統蓮送基板期間 ，或負載之後，這些糸統可以使用適應儲存基板的緩衝架。 此類似的系統可Κ參見美國專利5，882，4 1 3 ，美國專利5，647，724。該篇文章在此列為本文 之參考文件。 已發現直徑到2 0 Omm的基板可Κ在一群聚型的系 統中進行有效的處理。但是，存在一趨勢，即直徑一直增 加，且當處理基板的直徑為3 0 0mm或更大時，該群聚 型系統變得過大，可Μ應用在一空間之小包封內的側邊對 側逄的關係而安装該系統。另外，必要一糸統模組必需適 應多種不同的處理室及前端運送機構。 本發明的目的為提供一負載鎖定器室，架構此負載鎖 定器室’ Κ直接服務一各別的處理室*而不必使用蓮送及 蓮送用機槭手臂。本發明的第二目的為架構一具有自身蓮 送機構的負載鎖定器。本發明的另一目的為提供一蓮送機 構’此機構至少適應兩基板卡匣，Μ允許在處理循環期間 從該前端蓮送機構進行卸載及裝載操作。 -5- ·(請先K讀背面之注意事

項P 寫本頁) 裝 訂· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 568874 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（） 發明概述 一半導體處理系統的負載鎖定器室提供一主動蓮送機 構，以從一由糸統的前端所提供的緩衝架或其他的蓮送機 構中拿起蓮送。該負載鎖定器蓮送機構尚可將該基板直接 蓮送到該系統的處理室中。因此該氧載鎖定器室成為用於 該系統的主動蓮送機械手臂中，而與習知技術系統的被動 蓮送不同。此允許在多種不同的應用及系統形態中使用本 發明的負載鎖定器。該主動運送機構提供至少一端效應器 ，κ拿起及固定蓮送用的基板。提供一第一緩衝架於負載 鎖定器内，Μ儲存處理過的基板，而為該未負載的機構所 拿起，且提供第二緩衝架Κ接收中儲存未處理的基板。 在處理側及負載鎖定器的前端蓮送側提供可密封的埠 口 * Κ在處理循環需要時依序操作。將一前端傳送模組鎖 該運送埠中，且運送將處理的基板。在關閉處理埠且對負 載鎖定器洩壓時@適當此動作。 在負載鎖定器内由一前端蓮送機構於一緩衝架中儲存 .一基板，且由一負載鎖定器從該運送模組内拿起該基板， 而將該基板移動到該負載鎖定器内。在關閉及密封該蓮送 埠後，將該負載鎖定器抽真空到該真空度為處理室的操作 真空度為止。然後打開處理埠，且將基板運送到該操作室 中〇 在基板的處理循環期間，關閉該負載鎖定器處理埠， 且對負載鎖定器洩壓。打開該處理埠，且將另一基板插入 一負載鎖定器緩衝架進行處理。該系統的管線，即負載鎖 -6- 紙張;^度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱1 ' -ϋ n -ϋ n n n *1^OJ« I fl— ϋ 1 ϋ —i I 請先"阶讀背面之注意事項 1¾•寫本頁) 裝 568874 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 定器，被充氣，且在循環至真空情況。一當適當該處理循 環時，從處理室中移除處理的基板，而將該基板移入負載 鎖定器中，且儲存在一空的緩衝架內。將未處理的基板蓮 送到該處理室中且取出效應器。在負載鎖定器中儲存處理 基板，而負載鎖定器洩壓，蓮送到前端蓮送機構。將新基 板載入負載鎖定器室K進行處理。作用使得效率達到最大 ，負載鎖定器的循環，包含在進行基板時進行洩壓，卸載 ，裝載，密封及抽真空。限制了循環時間的減少的其中之 一因素為抽真空。因為真空的程序視負載鎖定器的體積而 定。本發明之負載鎖定器的内部空間必需達到最小。設計 依據該蓮送機構的移動負載鎖定器室的內部形狀而使得負 載鎖定条統的延伸速率達到最小。 習知技術的糸統及設計強調在分開的蓮送璋及前端中 共同機構，K裝載及下載基板。該負載鎖定器只連續一卡 匣，且在將裝及卸載媛衝架上架構該緩衝架。習知技術的 負載鎖定器執行導管的功能使得該基板達到真空。在本發 .明的負載鎖定器中，在負載鎖定器中提供一主動的機械手 臂蓮送機構，K適當基板蓮送到處理室及從處理室中取出 基板的功能。 對前端蓮送系統提供一可將基板蓮送到負載鎖定器室 的前端運送。此時，在負載鎖定器内的基板架提供一暫時 的緩衝，Μ從前端運送機構中接收這些基板。因此該端效 應器必需延伸到蓮送埠之外，但是必需從媛衝架中裝及下 載基板。 (請老閱讀背面之注意事_填寫本頁) »i -裝 # 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 568874 A7 B7 五、發明說明（） 架構運送機構如一修改過的臂部’其中包含一下臂及 一延伸的端效應器。下臂的一端連接到一驅動器，以繞著 一主軸轉動。該端效應器樞接到該下臂的自由端。由一同 驅動器的第一馬達直接驅動該下臂。由一同軸驅動器的第 二馬達經由在下臂包封内的帶子或濟軸驅動該端效應器。 用於該驅動馬達的控制演算法提供一拿起·的移動，其 中該端效應器移入緩衝架中，K得到一將處理的基板，進 行一放下的動作，其中移動該端效應器以使其從處理埠向 外延伸，且蓮送該基板到處理璋中。在拿起動作期間’控 制該驅動馬達，K使其轉動，因此該第二馬達對第一驅動 馬達的角移動比率為2:1。此使得端效應器的基板平台 直線移動，且徑向通過該主軸。在放下動作期間，該演算 法使得該控制器轉動該下臂，而允許該端效應器清除該負 載鎖定器的內臂，且進入該處理埠中。為了延伸效應器到 處理室内，控制驅動馬達使得基板平台直線移動向該下臂 的主軸。在取出處理中的基板動作中，執行反向的動作。 在負載鎖定器可以由蓮送機構提供z釉方向的移動（ 即上下移動），而在緩衝架及處理架上提供必需要的拿起 及放下的動作。 當端效應器在下臂上於樞動時，轉動該下臂K允許端 效應器清除負載鎖定器之處理之内臂。持續樞撐該端效應 器，直到基板與負載鎖定器的蓮送璋對齊為止。此時下臂 的前向移動使得端效應器延伸過蓮送埠，以將一基板放在 處理室架上。依據此方式，在拿起模式中，基板平台的直 ~ 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） /請先阶讀背面之注意事項 寫本 ------訂---------J 本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 568874 Α7 Β7 五、發明說明（） 線路徑從放下模式中基板平台的直線路徑偏移出來。由驅 動控制演算法調整基板的軌跡線K調整下臂的位置，如上 所述者，Μ提供該偏移。 在本發明的另一實施例中，在上述說明的下臂中安裝 另一第二延伸的端效應器。由一三軸,驅動系統的第三驅動 馬達驅動該第二端效應器且控制該第二端效應器Κ交替使 用該第一端效應器。經由類似的軌跡線驅動該第二效應器 。當使用一端效應器時，將另一端效應器抽出到負載鎖定 器室的後方。由於使用該視臂，不再需要該緩衝架。 應用顯示的蓮送機構，此機構的負載鎖定器允許使用 一處理埠，其中該處理埠與該蓮送埠有偏移。當在一線上 設定處理站時，此尤其是有用，如同存在最小維度Κ分開 處理站。當現存的前端在允許的包封內使用時，可Κ不對 齊該璋口。運送機構可適應偏移關係，而使得反復適應之 設計上的考量達到最小。 由下文的說明可更進一步瞭解本發明的特徵及其優點 .，関讀時並請參考附圖。 較佳實施例之詳细說明 在本說明書中，基板指平面基板，如矽基板及平面玻 璃基板。Κ最廣義的意思解釋該項目。 圖1中顯示半導體處理系統蓮送，且及於該技術的最 廣意義。該系統包含與一多個叢集的處理室24，其聯通 一封閉的蓮送室26。在各個處理室24的操作範圍中， 該蓮送室26包含機械臂28。該處理室24及蓮送室2 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項#|填寫本頁) I.----訂---------^9— 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 568874 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 6形成一封閉的圍籬，而此圍籬可以抽真空，且維持該真 空度。一前端蓮送機構2 9提供堆疊將處理之基板的卡匣 27。一開門機構25可以經由運送埠近接負載鎖定器2 2。依據周遭的條件，將基板的卡匣鎖入負載鎖定器。經 由操作閥體23而在蓮送埠口關閉負.載鎖定器22 ,使得 該負載鎖定器可抽真空到所需要的真空度。經庙打開閥體 23，K使得機械手臂2 8可K依序拿出處理用的基板。 已證明此類型的處理糸統相當有用，使得可ΚΜ可靠的方 式處理大量的基板。當基板直徑增加時，如處理糸統2 1 的系統需要變得較大Κ使得基板可Κ拿出來，因此可以在 此条統的生產線中使用。 本發明的處理模組1如圖2所示，且可Κ架構一負載 鎖定器2，此負載鎖定器2 2用於單一處理室4。負載鎖 定器室有一處理埠6及一基板埠7，以運送將處理的基板 ，且將庳理過的基板卸載。由閥體9及1 0分別控制埠口 6及7。蓮送之間經由出口 8结合閥體1 0。該處理室經 .由入口5連接閥體蓮送。如圖6a—d所示，由機械臂3 0基板而在周邊條件下由前端運送器3運送到負載鎖定器 2中。關閉該負載鎖定器，抽真空，且經由操作狹縫閥（ slit valve) 9而向處理室4開口。依據此方式，使用一 更精緻的糸統，而對處理室提供基板。 如圖3所示，可Μ依據對齊多個處理模組。依據工業 標準，處理室4中處理隔離出一最小的空隙以與相鄰的處 理室間隙7 5 0 m m，琨有之適應雙處理室的前端蓮送系 -10- (請t盱讀背面之注意事 寫本頁) 裝

n 1 ϋ I *•^7 1111111·· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 568874 Α7 Β7 五、發明說明（） 統的操作路徑間隔為5 0 5 m m。設計本發明的負載鎖定 器K適應操作路徑的偏移。 前端蓮送条統有開門器1 5，1 6，Μ適當置於基板 卡匣1 7，1 8。蓮送糸統包含一機械臂1 9，依據作用 之置於埠數，將機械臂固定或安裝在一軌道2 0上。此類 型的運送機構必需可Κ參見美國專利6，002，840 。該篇文章在此列為本文之參考文件。 圖5中顯示本發明中的兩種負載鎖定器。蓮送機構3 〇安裝該負載鎖定器2的空腔3 1中，且包含一安裝在一 適當的驅動器（圖中沒有顯示）Κ繞著一主軸3 3轉動的 下臂32。形成一如延伸臂的效應器34，且樞接到該臂 32的末端Κ繞該末端軸35轉動。設計該負載鎖定器2 中可操作的空腔3 1 Κ允許存在足夠的空間，所Κ可Κ自 由操作該蓮送機構30，經由將板面38上以提供足夠的 操作間隙，且塑形該内壁面，負載鎖定器的體積可Κ達到 最小。因此可Κ將達到真空的循環時間減少，而提供與處 .理循環時間相符的循環時間。 負載鎖定器2配置處理埠6及蓮送埠7，其中該處理 埠及蓮送埠可Κ由狹鏠閥9及1 0分別操作。由一處理控 制系統42操作該閥體，如圖7中所示者。蓮送埠7允許 近接用於前端傳送模組3的室31。前端傳送模組3使用 一機械手臂1 9Κ負載該基板，由控制系統42移動該端 效應器而使得該媛衝架40對齊，而將基板舉起，如參考 數字37中所示者。提供第二緩衝架4 1Μ適應處理中的 -1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） - ---------裝--- /(請先*閲讀背面之注意事寫本頁) 訂： •丨線. 568874 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 基板直到由該前端傳送模組3移除為止。 圖7中顯示處理控制系統4 2 ，且顯示一代表性的系 @ ’此系統可K基於本發明的基板處理糸統進行在負載鎖 定器中需要的多種不同的功能。對各前端傳送模組提供感 ί則元件K將資訊回授到控制處理器而.監視處理的程度及操 作步驟的序列時間。 主要的循環時間為Κ真空泵4 0將負載鎖定器抽到真 空所需要的操作。也操作該真空泵44Κ在操作室4中維 持真空度。壓力監視器感測在負載鎖定器內3 1中的壓力 ’且提供具有負載鎖定器壓力指示的系統控制處理器45 °由一用於全部程序演算法控制該控制處理器45。如上 文中所說明，將負載鎖定器抽真空所需要的時間視負載鎖 定器室31的體積而定。為了使得該負載鎖定器室的體積 達到最小，該負載鎖定器室3 1的範圍上，下及側壁的形 態’而充填負載鎖定器室3 1内的空間，此動作不需要緩 衝架40及41 ，且移動蓮送機構。此使得負載鎖定器的 ，污染達到最小。 圖6 a — 6 d中顯示負載鎖定器2内運送機構30的 移動情況。由連續的箭號顯示基板固定器3 6的全部軌跡 線。須瞭解箭號4 3顯示處理負載方向且假設在緩衝架4 0上已處理已儲存有基板37。在圖6a中蓮送機構的位 置為了方便起見直到開始位置。在此位置上，效應器34 在整個下臂3 2上均對齊。為了將固定器3 6移動到緩衝 架40處的拾起位置，移動下臂32 — Θ角度，而將效應 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項^寫本頁) 3· 裝 I----訂---------線 «. 568874 A7 B7 五、發明說明（） 器34轉過中角度，如圖6b中所示者。驅動器46依據 由控制演算法間隔的方向移動該下臂。在此移動期間，K 二比一的比例維持該效應器3 4對該下臂3 2的相對移動 ，因此，如箭號43，43a所示，產生直線軌跡線。將 該下臂32轉動過一 0 b角度，且將.效應器轉動過Φ b角 度，而適當此移動操作。該控制演算法調整該下臂32及 效應器34的相對移動，而提供沿著軌跡線部位43b的 移動空間。經由相對移動而延伸這些蓮送元件，因此達到 一直線延伸的軌跡線43c。 開始時*將負載鎖定器放氣，且打開該蓮送埠7。前 端蓮送機構1 9動作，運送基板37到緩衝架40K予以 處理。密封蓮送璋閥體*且將該負載鎖定器室3 1抽真空 。當得到處理所需要的真空度時，經由狹鏠閥9而打開該 處理室6。在此一點上，該處理室4內並無一物，且該蓮 送機構3 0在開始位置上。蓮送機構3 0從媛衝架4 0上 得到基板37，且經過考量蓮送軌跡線43，而此軌跡線 .上，該基板37被放下來K進行處理。蓮送機構30回到 開始位置，且該處理閥體9關閉並加以密封住。在此，該 基板3 7接室在室4内的處理循環。同時負載鎖定器2排 氣，打開而接收來自蓮送機械手臂1 9的新基板。當負載 新的基板時，關閉蓮送閥體1 0，且循環該負載鎖定器而 得到所需要的真空度。當打開該運送埠時，該蓮送機構3 0伸出來，且舉起處理的基板3 7，而將該基板負載到緩 衝架4 1上。在此時结束該糸統的循環，且開始新的循環 -1 3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請先閲讀背面之注意事 · 11 寫本頁)

•薦線L 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 568874 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（） 以處理新的基板。 在圖8所示的本發明的另一實施例中’顯示在該端效 應器34上安裝一第二延伸端效應器5 0。該端效應器5 〇的外端有一軛部，或簡稱為突端部，以接收來自蓮送機 構的基板。驅動各個端效應器K交替.使用該效應器，而在 處理過程中將基板舉起或放下。此類型的驅動機構需要有 一個三軸的驅動器K使得各臂在下臂3 2的作用下分別控 制。將第二端致動器5 0如圖6 a中所示者，通過一類似 的軌跡線43。此額外的端效應器允許儲存基板，而不需 要使用緩衝架。 操作時，各個端致動器在開始時固定處理用的基板。 在打負載鎖定器抽真空且一端效應器從一儲存位置被釋放 後，負載一處理用於基板。在適當該處理循環後，由從該 處理室中退出的空端效應器拿起該處理基板。固定該處理 基板的端致動器進入該儲存位置，而固定未處理基板的端 效應器向前移動。應用處理過而與下臂3 2解聯的效應器 .負載該未處理的基板K進行處理。在處理期間*如上所逑 將負載鎖定器排氣，且打氣K结合由媛衝架3負載新基板 。應用該第二端效應器，有可能在一效應器的臂部向外延 伸過負載鎖定器之外，以從一更前端糸統中拿起一基板。 應用上述說明的方式，架構出一高韌度的負載鎖定器 ，而處理一各別的處理室。整個蓮送機構提供一機構Μ將 蓮送基板蓮送過處理室中，且再循環該機構，而在處理期 間由下一個處理循環所使用。此方式提供一能力，Κ安裝 -1 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事$填寫本頁) -裝 L---•訂--------- 568874 A7 B7 五、發明說明（） 一完整的處理模組到現存的前端条統中’而允許該處理模 組存在邊對邊的配置方式’所以可以遊免基板直徑的増加。 圖示之簡單說明 圖1為習知技術之轉動處理糸統.的上視圖； 圖2為本發明之半導體處理系統的透視圖； 圖3為本發明中使用該負載鎖定系統之雙模組處理糸 統的上視圖； 圖4為本發明處理程序的流程圖； 圖5為本發明之負載鎖定器內部的打開之視圖； 圖6 a至6 d為本發明負載鎖定器的上視圖，其中顯 示蓮送機構的移動情況； 圖7為本發明之控制系統的方塊圖；K及 圖8為本發明之負載鎖定器的開口視圖，其中顯示蓮 送機構的另一實施例。 符號說明 ------— II-----裝--- (請先閱讀背面之注意事一^填寫本頁) #_ 4____單一處理室 6____處理璋 8____出口 1 5，1 6 · . ·開門器 1 9 ...機械臂 2 2 ...負載鎖定器 2 4 .…處理室 5----入口 7——基板璋 9，1 0 ...閥體 17，18·.·基板卡匣 2 1 · · ·處理系統 2 3 · . ·閥體 2 5 ...開門機構 - 1 5 - ί適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 568874 2 6 ...運送室 2 8 ·..機械‘臂 3 0 ·..機械臂 3 4 ...效應器 4〇..·真空泵 A7 B7 五、發明說明（） 2 7 . ·.卡匣 2 9 ...前端蓮送機構 3 2 · . ·下臂 3 6 ...基板固定器 4 1，..第二前端 4 2 ...處理控制糸統 4 3 .,.蓮送軌·跡線 4 5 ...系統控制處理器 〆請先阶讀背面之注意事項寫本頁) 裝 1 f I I 訂-1111111.1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一 16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 748, 8 6 5 公 一六 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 告本 A8 Βδ C8 D8 申請蓴利 範圍 1 一 種 負 載 鎖 定 系 統 ， 架 構 此 系 統 K依據預 定的 序 列 9 供 應 半 導 體 基 板 予 一 處 理 室 9 該 處 理 室在一處 理循 環 中 處 理 該 基 板 > 該 負 載 鎖 定 系 統 包 含 • 一 殻 體 此 殻 體 有 一 架 構 在 其 內 的 負 載鎖定器 室， 由 處 理 埠 將 該 負 載 鎖 定 器 室連 接 到 該 處 理 室中*且 經由 一 蓮 送 埠 將 該 負 載 鎖 定 器 室 連 接 到 一 前 端 傳 送模組中 1 一 第 一 閥 體 9 依 據 該 預 定 的 序 列 該 第一閥體 打開 及 關 閉 該 處 理 埠 1 一 第 二 閥 體 依 據 該 預 定 的 序 列 9 該 第二閥體 打開 及 關 閉 該 蓮 送 埠 \ 一 真 空 泵 $ 當 該 第 一 及 第 二 閥 體 被 關 閉時，該 真空 泵 將 該 負 載 鎖 定 器 室 抽 真 空 1 一 安 裝 在 該 負 載 鎖 定 器 室 中 的 蓮 送 機 構，架構 此蓮 送 機 構 Μ 將 該 基 板 移 入 該 處 理 室 中 進 行 處 理 ，，該運送 機構 尚 包 含 ： 一 下 臂 > 在 下 臂 的 近 端 處 在 該 負 載 鎖 定器室中 ,Μ 繞 著 ~* 第 一 軸 樞 動 1 該 下 臂 連 接 到 一 驅 動 機 構的第一 驅動 元 件 處 f 而 使 得 該 下 臂 可 繞 該 第 一 軸 進 行 可 控制式的 轉動 $ 安 裝 在 該 下 臂 之 末 端 要 的 至 少 一 效 應 器臂部， 以繞 著 平 行 該 第 一 軸 的 第 二 軸 樞 動 > 該 效 trtp 懕 器 臂 部有一接 收端 % 以 連 结 該 基 板 > 且 連 接 到 該 驅 動 機 構 的 第 二驅動器 處， 而 可 繞 著 該 第 二 軸 進 行 可 控 制 式 的 轉 動 9 一 處 理 控 制 器 ， 此 處 理 控 制 器 連 接 該 處理室， 第一 及 第 二 閥 體. 及 雙 軸 驅 動 器 > Μ 依 據 該 預 定 的 序列控制 其操 作 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17- S IK---訂---------線j 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 568874 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 ，其中對該預定的序列計時，Μ在該處理室的處理循環內 循環該負載鎖定器室。 2 ·如申請專利範圍第1項所逑之負載鎖定系統，架 構此系統Κ依據預定的序列，供應半導體基板予一處理室 ，該處，理室在一處理循環中處理該基板，其中·該驅動機構 包含一同軸驅動器。 3 · 如申請專利範圍第1項所逑之負載鎖定系統，架 構此系統Κ依據預定的序列，供應半導體基板予一處理室 ，該處理室在一處理循環中處理該基板，其中控制該驅動 機構Κ依據一舉起及放下的軌跡線移動該接收端，其中該 軌跡線因基板不同而異。 4. 如申請專利範圍第1項所述之負載鎖定系統，架 構此系統Κ依據預定的序列，供應半導體基板予一處理室 ，該處理室在一處理循環中處理該基板，其中該處理埠沒 有對齊該蓮送埠，且調整該軌跡線，而操作該蓮送機構抽 出，且操作該處理埠及運送埠。 5 . 如申請專利範圍第1項所述之負載鎖定系統，架 構此系統Κ依據預定的序列，供應半導體基板予一處理室 ，該處理室在一處理循環中處理該基板，其中尚包含一前 端模組*架構此前端模組以從該負載鎖定器中蓮送及移除 一 1 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） !! 裝 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) tr----------線' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 568874 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 未處理及處理過的基板。 6·如申請專利範圍第5項所述之負載鎖定糸統，架 構此糸統K依據預定的序列，供應半導體基板予一處理室 ，該處理室在一處理循環中處理該塞板，其中在與該蓮送 埠相鄰處，在該負載鎖定器室中架構至少一媛衝架，且架 構該前端模組Μ將基板從緩衝架上拿起來或將基板放在緩 衝架上。 7 ·如申請專利範圍第6項所逑之負載鎖定系統，架 構此系統Κ依據預定的序列，供應半導體基板予一處理室 ，該處理室在一處理循環中處理該基板，其中在拿起該基 板的軌跡線中，移動該接收端到其中之一緩衝架上，而得 到將進行處理的基板。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 · 如申請專利範圍第6項所述之負載鎖定系統，架 構此系統以依據預定的序列，供應半導體基板予一處理室 ，該處理室在一處理循環中處理該基板，其中在適當該項 處理後，由該控制器將該接收端沿放下的軌跡線置於該處 理室中，而得到該處理基板，在此該基板反向通過該軌跡 線，而在一媛衝架中儲存該基板。 9 . 如申請專利範圍第1項所逑之負載鎖定系統，架 構此系統以依據預定的序列，供應半導體基板予一處理室 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 568874 Α8 Β8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 ，該處理室在一處理循環中處理該基板，其中架構該負載 鎖定器室Μ定義出一大小足夠的空間，而允許該蓮送機構 及基板經過該軌跡線，因此使得該負載鎖定器室的體積達 到最小。 1 0 ·如申請專利範圍第1項所逑之一種負載鎖定糸統 ，架構此糸統Κ依據預定的序列，供應半導體基板予一處 理室，該處理室在一處理循環中處理該基板，其中尚包含： 一安裝在該下臂上，而在該至少一效應器臂部上的一 第二端效應器，以繞著該第二軸樞動，該第二效應器臂部 有一第二接收端，Κ嚙合該基板，且連接到該驅動機構的 第三驅動器上，而提供繞著該第二軸之可控制式的移動； Μ及 其中連接該處理控制器到該驅動機構中，Κ依據預定 的序列，控制該第二效應器臂部的操作，其中.對該預定的 序列定時Μ在該處理室的處理循環内循環該負載鎖定器室。 11· 一種在一半導體基板處理糸統中蓮送一基板的方 法，其中該半導體基板處理糸統有一處理室，此處理室的 操作與一負載鎖定器室及一前端模組有關，該方法包含下 列步驟： 經由一運送埠載入一基板，Κ在該負載鎖定器室的運 送機構上進行處理； 關閉該負載鎖定器室的運送埠，且打該負載鎖定器室 _ 2 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 568874 A8 B8 C8 D8 夂、申請專利範圍 抽氣以達到該處理室所需要的操作壓力； -----------I I « ^--- ‘(請先10:讀背面之注意事項1¾寫本頁) 在該負載鎖定器室達到該操作壓力後’打開該負載鎖 定器室的處理埠，K近接該處理室； 移動該基板到該處理室中，Μ經該負載鎖定器室的處 理埠將該前端傳送模組置於該處理室中；Κ及 在上述各步驟中，打開該處理埠的步驟係在處理基板 期間進行。 12. 如申請專利範圍第1 1項所逑之在一半導體基板 處理糸統中蓮送一基板的方法，其中該半導體基板處理系 統有一處理室，此處理室的操作與一負載鎖定器室及一前 端模組有關，其中將基板移入該處理室的步驟，尚包含： 經由移動在該負載鎖定器室内安裝的蓮送機構，而從 一緩衝架上得到該基板； --線“ 將在該蓮送機構上的基板沿著一第一軌跡線，而從該 媛衝架蓮送到一開始位置上； 調整該蓮送機構的位置，以允許經由從該第一軌跡線 位移的第二軌跡線，而將該緩衝架向該處理室移動。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 13. 如申請專利範圍第1 1項所逑之在一半導體基板 處理糸統中蓮送一基板的方法，其中該半導體基板處理系 統有一處理室，此處理室的操作與一負載鎖定器室及一前 端模組有關，其中尚包含步驟為··在該負載鎖定器室內定 義一空間，其大小足Μ允許該運送機構及基板經由該軌跡 -2 1- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 568874 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 線移動，而使得該負載鎖定器室的體積達到最小。 14. 一種蓮送機構，架構此蓮送機構以將基板送入一 半導體基板處理系統的處理室中，其中該處理室與一負載 鎖定器室存在相關性；該蓮送機構包含： 一下臂，該下臂的近端安裝在該負載鎖定.器室內，K 繞著的第一軸樞動； 安裝在該下臂之末端的至少一效應器臂部，一繞著平 行該第一軸的第二軸樞動，該效應器臂部有一接收端，K 嚙合該基板；Μ及 一多軸驅動器，此驅動器安裝在該下臂處，且具有一 連接到該下臂的第一驅動元件，Κ使得該下臂提供繞著該 第一軸之可控制式的移動，且具有一第二驅動元件，此第 二驅動元件連接到該效應器臂部以對該效應器臂部提供一 可控制式的轉動；Κ及 一處理控制器，用於控制該同軸驅動器的操作，使得 該效應器臂部的接收端依據一預定的序列移動，其中包含 一拿起操作及一放下操作，其中對該預定的序列定時，Μ 在需要處理一基板的時段內循環該負載鎖定器室。 15·如申請專利範圍第1 4項之蓮送機構，架構此運 送機構以將基板送入一半導體基板處理系統的處理室中， 其中該處理室與一負載鎖定器室存在相關性，該拿起及放 下操作包含在獨立的軌跡線中移動該效應器臂部，不同的 一 11 一 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項β寫本頁) 裝 訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 568874 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 軌跡線彼此之間存在位移。 16·如申請專利範圍第1 5項之蓮送機構，架構此蓮 送機構Μ將基板送入一半導體基板處理系統的處理室中， 其中該處理室與一負載鎖定器室存在相關性，尚包含： 一安裝在該下臂的末端上，而在該至少一效應器臂部 上的一第二端效應器，Κ繞著該第二軸樞動，該第二效應 器臂部有一第二接收端，以嚙合該基板，且連接到該驅動 機構的第三驅動器上，而提供繞著該第二軸之可控制式的 移動；Κ及 其中連接該處理控制器到該驅動機構中，Κ依據預定 的序列，控制該第二效應器臂部的操作，其中對該預定的 序列定時Κ在該處理室的處理循環内循環該負載鎖定器室。 17·如申請專利範圍第1 5項之蓮送機構.，架構此蓮 送機構Κ將基板送入一半導體基板處理糸統的處理室中， 其中該多軸驅動器包含一三軸驅動器。 (請先既讀背面之注意事項m 寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）