TW509615B - Resin molding machine and resin tablet feeding machine - Google Patents

Description

509615

<發明之背景> 本發明係關I : -種樹脂模塑裝置， 一工件自餵送單元輸送至一壓機i ς 表載機將 品自此壓機單元輸送至一 f 及卸载機將-模塑製 送裝置，《中藉由振動一樹脂片容器送出樹脂：。曰片之饒 用以模塑半導體裝置的傳統樹脂模 仙圖說明之。在第2〇圖中，傳統樹脂 +^弟20 ，機單元20 2,其具有一模細；一工件银；=2:， 用以將收容在餵送倉匣20 3内之工件’如導 儀送至-館送台2G4 ;—館存單元m，用以儲存樹土脂片· 二樹脂片餵送單元210，其具有一钵狀餵送機20 7及一 Ϊ線 餵送機20 8，將樹脂片排列成直線，在預定方向餵進，及’ 餵送之樹脂片保持器2 0 9將樹脂片分別因分別固定至 台匕2〇4 去逢口單元211，用以自模具2G1取出之模塑樹 脂製品移去不用之樹脂；製品收容單元21 3，其具有收容 倉匣2 1 2，將已移去不用樹脂之模塑製品予以收容之；: 一控制單元2 1 4，用以控制整台裝置。 ，

當工作及樹脂片被供應至餵送台2〇4上時，它們由一 裝載機215保持著及輸送至已打開之模具2〇1。另一方面 當：塑製品自模具201挺出時’它們由二卸載機216保持著 被輸运至去澆口單元211。在此時，卸載單元216清潔模呈 201之交界面。卸載機216保持及壓迫模塑製品之基板，、^ 由空氣將它們予以冷却以便防止基板在去澆口單^處變 形。在去澆口單元211，基板被扭轉以去除不用之樹脂，

五、發明說明（2) 如此，卸載機2 1 6使模塑製品離開，不用之樹脂自此被除 去’並回來以取出下一製品。裝載機2丨5及卸載機2 1 6沿著 一共用之導軌217移動，其中導軌217係設在壓機單元2 02 的上方。即言，裝載機215係在餵送台2〇4及模具2〇ι之間 f復移動；卸載機21 6在模具2 01及去澆口單元211間往復 移動。此種傳統樹脂模塑單元在日本專利公報第3 — 2 8 6 8 i 7 號已有揭示。 在第21圖中 ，， 傳統樹脂模塑裝置具有複數壓機單元 222a〜222d，各有模具221a〜221d，及它們可分開地連接 至基礎單元之223之各自的連接部224，以便改變製品數_ 目及種類。此基礎單元233包括：一工件餵送單元227，用 以餵送工件，例如收容在餵送倉匣203内的導線架、基 至方疋轉台2 2 6 , —樹脂在银送單元2 3 〇，自樹脂片倉 8健；^樹脂片及在一樹脂片保持器22 9固定樹脂片，·一 制釔口早兀232，用以自模塑製品移去不用之樹脂，直中 自壓機單元222a〜222d取出者及由—拾取部23;: 已除去不製品收容單元234，其具有—收容倉昆233， 除=不用樹脂之模塑製品即收容在其内。 由一==:及樹脂片被供應入模具221&〜22]^内.時，它們邊 門之i if早·元235的裝載機236予以把持位及輪送至已打着 開之模具221a〜991 Η ^ + 刊』k主匕打 〜221d被挺中^ 面，當模塑製品自模具22la 把持住及輸送至去：：d機單元23:的卸載機237予以 了模㈣a,d：：交咖清潔 m 敎載機236及卸載機237裝載

五、發明說明（3) 機單元2 3 5内成垂直排列及沿著基礎單元2 2 3的共用導軌 238移動。裝載機236及卸載機237可獨立移動。 裝載機236在位置、處轉動，自旋轉台226拾取工 $及自樹脂片保持器229拾取樹脂片。裝載機23 6被轉動朝 f Ϊϋ&〜221(1，然後裝載機23 6沿著導軌238被移動至 M_或'’’ ，以便餵送工件及樹脂片至指定的壓 ，。另一方面，卸载機237在位置、"或、々等待，然 後卸載機237取出從壓機單元222a〜222d已打開之模具〃、 之製品，進—步，卸載機237沿著導軌238 f \位置〇 "。然後卸載機2 3 7被轉動朝向一去澆口單 兀亦又如而要），以輸送此製品。在卸載2 3 7自壓機單元 在模且3 進入已打開之模具22U〜221d，以便固定 ί i單:2_内的下…^ 月拉早兀揭不於日本專利公報第1 0-58457號。 近來，半導體裝置作成更緊湊及以細線結 :。此外，在某些半導體裝置，_線架自封裝；J集 出，用以連接端末如突塊焊接球之連接部， :收模具之交界面被覆以-由薄膜單以應. 參照第m3圖單元之傳統樹脂棋塑裝置將 如弟22圖所示’此傳統樹脂模塑裝置包括： 以42，其具有模具241 ; 一工件银送單元“：械早 例如收容在飯送倉£ 243内的導線架、基板，至—心 五、發明說明（4) 2^25〇儲存單兀246，用於儲存樹脂片；一樹脂片餵送單 :’其具有一钵狀餵送機247及一直線餵送機248，將 9片排成直線及在預定方向予以餵進，及樹脂片保持器 249將樹脂片分別置放於餵送台244，·一去澆口單元251， 用除自模具241取出之模塑製品不用之樹脂；一製品 收了單兀253，其具有一收容倉匣252，用於收容已除去不 同树月曰的模塑製品，及一控制單元2 5 4，用以控制整台裝 置。 备工件及樹脂片被供應至餛送台244時，它們被裝載 機255保持著及被輸送至已打開之模具241。另一方面，當 模塑製品内模具241被挺出時，它們由卸載機256把持著並 被輸至去九口單元2 5 1。在此時，此卸載機2 5 6清潔模具 1之又界面。此卸載機2 5 β將模塑製品之基板把持及壓觸 著，及由空氣予以冷却以便防止基板在去澆口單元251變 形。在去澆口單元25 1 ’基板被扭轉以除去不用樹脂，如 此，卸載機2 56遺留已除去不用樹脂的模塑製品，及回復 f取出下一製品。裝載機255及卸載機256沿著—位在壓機 二=42上=的共用導軌257移動。即言，裝載機255在儀 达口 244及模具241間往復移動，卸載機256 澆口單元251之間來回移動。 玄 在第23圖’釋放膜259由膜單元25δ供應以覆 241之頂模241a。膜單元258由固定平板26〇予以把著、， 頂模241a為固定於此平板2 6 0上者。膜單元託^包 一 顧送部261 ’其設在壓機單元242的—側；及一膜收集' 509615 五、發明說明（5) 262，其設在壓機242的另一側（參照第以圖）。 餵送部261及膜收集部262的滾輪，自㈣曰—由：、轉膜 預定長度的釋放膜259至另一側。釋放膜2 5 9的 直於裝载機255及卸放機256的移動方向。 V方向垂 在此傳統樹脂模塑裝置中，工件^步 :元至？機：塑製品由屋機輸送至製品SI送 送倉嶋基送:藉桿自， 餵达部，其送出樹脂保持部至餵送△， 牲 树月曰片 於熱遞清之保持孔及樹脂片被置放；。在匕對' 及樹脂片由在餵送台上方等待的裝載機 ：：：： ::及：脂片輸送環，而壓機的模具已經打:;載 夾住工件及以樹脂模塑工件（參照第20圖及第22圖） 幾 例:;，：螺旋振動元件餵送器被用作樹脂片餵送部， :禝數之树脂片被儲存在一缽形容器内，由振動六 j部，沿著螺旋路徑並朝向相同方向被移動。ς:的 盆中： = ::t 本專利公報第5~138⑻號， 持著及放置在一模具内。 月排歹丨線的頭端由手把 另—種類型的樹脂片餵送部揭在 < ^關9及心5994號，在每—案二 〃一螺旋振動元件餵送器結合在_起。 & k為 QFNs^^/ 1 ^ ^ - ^ ^ ^ ^ 故偏+無接腳（Quad Flat N〇n-leaded)]中，接腳 五、發明說明（6) 自封j部（其被連接至如突塊、錫球）露出。此外，在某些 例子中，複數之半導體晶片一次予 ”一 .^ , 人卞以杈塑。較佳地，在這 些例子中，壓機模具的交界面由釋放媒予以覆蓋。 =某j製品，為了有效率地散熱，散熱底與晶片模塑 在一起。在凹穴下降型封裝（caving dQwn_type ，欲連接至端子之連接面環繞在基板表面上的凹 ;，，如&，樹脂流路在基板上不能形成。在此情 :脂；：間模具可拆卸地連接在-頂模及下模之間以便與 夕Ϊ而，在第2〇圖所示傳統樹脂模塑裝置具有模具2 01 之£機早元2〇2由裝載機215、卸載機216、工件餵送單元 2〇5、樹脂片餵送單元21〇、去澆口單元2ιι 測所包圍，及一工作空間及一額外空間為：；者收：早 ^，困難改變各單元的安排以作廣泛應用。特別地，裝載 機=5及卸載機2丨6的共同導執217位在模具2〇ι上，故困難 在’又有干擾導軌21 7的情況下增加其他功能部分。 在第2 1圖所示傳統樹脂模塑機提供有複數壓機單元， 特別地胃屋機單元22ia&22i(i由基礎單元223、共用導軌 238及壓機單元221^221(1所包圍，故如第2〇圖所示之裝 置一樣」困難修改以作廣泛範圍應用。 抑在第2 2圖所示傳統樹脂模塑裝置，具有模具2 4 1之壓 ti^^242内工件儀送單元245、樹脂片银送單元250、去 =口單凡251、製品收容單元253及控制單元254所包圍。 ^同此種結構，困難處理位在壓機另一側的膜收集部 509615 五、發明說明（7) ---- 2 62。此外’用於連接及拆卸膜收集部2 62滾 相關的維護空間為小者。因為釋放膜2 5 9係 工間及其 機255及卸載機256的移動方向，機械高 „载

23圖所示，以便避免干擾及保持一維護空間。又问如弟 即使裝載機25 5及卸紫擔4 &人π A 餵送工件、樹脂片的輸逆：早兀242的工作空間’因此 W伽月们輪运路徑及輸送模塑製品十 的，故困難修改裝置以作廣泛應用。 疋疋複雜 為了以少量構件數調整, 旦 卜生 品，樹脂模塑壓機單元形成里衣二夕種之製 改善。為了增加生產製品;為；；機元數得以 及樹脂片至壓機單元。 裝載機必須以尚速運送工件 機。因此’工件及樹脂片必須在短時間内被傳遞至裝載 在僅以螺凝振動零件儀 樹脂片沿-長螺旋路徑被移送機，健送樹脂片的情況中， 樹脂片.。因為樹脂片儲存力鉍，/如此困難於短時間内餵送 安歡子在绰形容器内，容哭需要一 4r AA 女裝空間。因為一樹脂 Η “而要大的 樹脂片接觸容器的内表面螺凝路徑被移動時被振動， 裂、樹脂片的產率低、樹脂^的樹脂片，故樹·脂片斷< 境。' f月曰塵杈散因而惡劣地影響工作環 在將直線振動零件餵读避^ 合在—起之情況，由於動旋形振動零件餵送機結 餵送機的飴样42 初乃向各為不同，故困難將零件 运速度予以配合。假如兩零件鞭送機之速度沒

$ 12頁 ⑽615 —- 五、發明說明（8) _ 有配合，樹脂片將擠，一 ^ 樹脂片的内表面，士在起，故樹脂片接觸在谷為及另— 零件振動餵2機佔ΐ，片斷裂、及樹脂塵飛散。此外’兩 〈發明概述 > 用大空間而增加了製造費用。 本發明第一目的Α 傳統裝置的問題，：ί，—種樹脂模塑裝置，其能解決 構。 巩订很多功能及容易擴充及修改一結 夠的：；：：：=—種緊凑之樹脂模塑裝置’其具有足 繁一二、可拆卸地連接至一壓機單元的膜單元。 、 1牛低生產成本及設備空間。 括：為達成第-目#，樹脂模塑裝置的第—種基本結構包 一工作餵送單元； 一製品收容單元； 一用以模塑工件的壓機單元； 元；-裝載機，用於將工件自工件餵送單元輸送至壓機單 一卸載機，用於自壓機單元取出模塑製品，·. 共用導執部，裝載機及卸載機在其上^ ^動 < 件及經模塑的製品；及 饭私動以輸运工 η ΪΓ導軌部外之導軌單元，裝載機及卻載機在 其上可被移動，此額外之導軌單元在工件餵送單元及f σ 收容單元之間可拆卸地連接著’其中共用導軌部及額ϋ 509615 五、發明說明（9) 軌單元之導軌部為可脫離地連接。 m:裝置中，工件餵送單元及 母一者，可有共用導軌部及基礎部。 兀的 在樹脂模塑裝置中，卸載機、" 容單元各有吸收管；及栻作釦廷早兀及製品收 額外導軌單元的導軌部有一吸收管， 機的吸收管及連通至工件鋩误 甚此連接至卸載 管。 件餵达早兀及製品收容單元的吸收 m塑裝置中’此額外的導軌單元有 ” 1持導軌的導軌基礎及一支持功能部的。 在樹:旨模塑裳置中，工件娘送單】，礎及 額外之導軌單元中至少一者可包括壓機。文合早兀及 在樹脂模塑裝置中’至少一壓機單元有一 _ 在樹㈣塑裝置中一與模塑功能不同n ° 設在壓機之一位置。 刀月匕部，可 在樹脂模塑裝置中，—樹脂餵送部，i餵 的樹脂片經壓機單元，可提供至一工件餵^ 、用於模塑 容單元及額外之導軌單元中之一者。、、兀，製品收 在樹脂模塑裝置中，中間模具餵送部，其將 具連接至壓機的上模具及下模具間之—位 中間杈 !開.，可提供至工件饒送單元、製品收容單元；； 早元中之一者。 久領外導軌 在樹脂模塑裝置中，—散熱座餵送部，其將, 银送至壓機單ϋ提供至卫㈣送單元、製品；^^

509615 五、發明說明（ίο) 及額外之導軌單元令之一者。 括為完成第二目的，樹脂模塑裝置的第二基本結構包 一工件餵送單元； 一製品收容單元； 一用以模塑工件的壓機單元； 一裝載機，用以將工件及用於模塑的樹脂 送單元輸送至壓機； & 一卸載機，用以將模塑製品自壓機單元輸送至製品收 容單元； 一膜餵送部，用於將離型膜餵送至壓機單元之交界 面，此膜餵送部設在壓機單元之一側；及 …收集使用後之離㈣，此膜收集部 〇又在反4為早7L的另一侧； 其中膜餵送部及膜收集部之一可自壓機移離。 在樹脂模塑裝置中，裝載機及卸載機 之一侧移動，及 Τ 膜餵送部及膜收集部中之一可自壓機離開及拉出。 在樹脂模塑裝置中，膜餵送部及膜收集部之.一者可相 對壓機單元作轉動。 在樹脂模塑裝置中，臈银送部可包括之一膜 輪，離型膜繞在其上； 力，=一拉力滾輪，能夠給自膜餵送滾輪拉出之離型膜拉 第15頁 509615 五、發明說明（11) 膜收集部，可包括：一膜收集滾輪，其卷繞所用之離 型膜；及一拉力滾輪，其能給予由膜收集滚輪所收集之離 型膜拉力。 在樹脂模塑裝置中，膜餵送部及膜收集部的拉力滾輪 分別有感測器，分別感知拉力滾輪的轉數，及驅動源（其 分別轉動拉力滾輪）的轉數可基於感測器的輸出信號予以 控制。隨同此種結構，一段餵送離型膜及離型膜的拉力得 以調整，如此，離型膜可穩定出餵送出。 在樹脂模塑裝置中，膜餵送部及膜收集部可分別具有 導引滚輪，用以移動離型膜自壓機單元的交界面離開。隨· 同此種構造，離型膜可平順地餵送，及離型膜不被交界面 傷害，如此，離型膜可重複使用。 為完成第三目的，一種樹脂餵送裝置的基本構造包 括： 一樹脂片送出部，其包括：一第一樹脂片容器，其形 成成排的樹脂片並於送出方向予以導引；及一第一振動 部，其振動第一樹脂片容器以便送出樹脂片；及 一樹脂片循環部，其包括：一第二樹脂容器，其收容 自第一樹脂片容器遺漏送出而收集之樹脂片；及二第二振_ 動部，其振動第二樹脂片容器以將樹脂片送至第一樹脂片 容器- 在樹脂片餵送裝置中，第一樹脂片容器的第一輸送面 (樹脂片在其上被送出），及第二樹脂片容器的第二輸送面 (樹脂片在其上予以循環）可以交叉。

第16頁 509615 五、發明說明（12) 在樹脂片餵送裝置中，第一振動部及第二振動部可八 別包括線性館送器，它們的振動方向彼此相交。 σ刀 在樹脂片餘送裝置中，在第一樹脂片容器及第二匕 片容器之間可形成一空間，及 —树脂 一灰塵收集部可設在此空間下。 在具有第一基本結構的樹脂模塑裝置中，額外的曾 單元連接在工件餵送單元及製品收容單元之間，及I導執 軌部及額外導軌單元之導軌部可脫離地連接著。^用導 設計的裝置可容易地擴張及修改以得到其他功能。’所 載機二工件餵送單元及製品收容單元之分別有又σ卸 :2導軌單元的導軌部具有吸管(其能夠連 y及額 吸官丨此額外的導軌單元可容易地被增加之。p载機之 道站ί如工件餵送單元及製品收容單元中每一者I古4 邛及基礎部，功能部可被改變及 /、，/、用 ::間’报多功能可被執行，裝置的佈：°可形成卫 應廣泛用途。假如額外的里置=局可谷易設計以適 導軌基礎及支持功能部的 ^ =括支持導軌部的 小可基於功能部而嗖 、土楚之基礎部，基礎部的大 在具有第二基本L槿沾f此裝置可應用於廣泛用途。 收集部中的-者可自；以脂模製裝置，膜银.送部及膜4 送部或膜收集部的膜、Ϊ:開。隨同此構造，用於交 犋滾輪可容易地予以交換、滾輪之空間可被形成，如此， 一側移動及膜餵送部或=如裝載機及卸載機在壓機單 拉出’臊餵送部或膜收集2、、:收集部可自壓機單元移開及 Α有干涉導軌部地在裝载機及 川外丄：) 五、發明說明（13) 卸栽機被移動的空間内，及— 假如膜餘送部或膜收集部可相裝置可以實現。 空間可祐报士、 ,, ; 1機單元轉動，一工作 ]7破形成，如此，模滾輪可^ 作 假如膜餵送部及膜收集部 乂易。 驅動源的轉數（夂驅動源爲八〃滾輪具有感測器，及 的信號而被杵別旋轉拉力滾輪）基於感測器 及釋放膜可穩定地被銀送。、及料的拉力可被調整 饭如膜银送部及膜收部 放膜離開壓機單元的交界面：：放滾輪用以移動釋 犋不破父界面損傷，故釋放膜可再利用。 枰又 脂片ί=:樹_裝置，在第-樹脂片容器内的樹 直線及在送出部被導引，及自第-樹脂片容 ; = 的樹脂片在第二樹脂片容器收集之面再回到 ,，i屮曰ΐ t為。由於此種構造，樹脂片可在短時間内排 =!;片的速度可被加速及可防止形成樹脂塵。 屮^月10_弟±—樹脂容器的第一輸送面（樹脂片在其上被送 s=一树脂片容器的第二輸送面（樹脂片在其上被循 :目又又，則好樹脂片（可用以作模塑）及壞樹脂片（不可 用以作模塑）可適當地予以分類。 · —=如第一振動部及第二振動部分別包括直線餵送機， 二=、振動方向互為相反，第一樹脂片容器及第二樹脂片 合=的振動可容易地互為匹配，故樹脂片可快速及平順地 循裒此外女1空間及製造成本可以降低。 假如在第一樹脂片容器及第二樹脂片容器之間形成的 第18頁 U4j 工間及灰塵收集部設在此空形成的樹 可有效地予以收集之。 由振動 本發明的各種實施例將參考附範例說明 <較佳具體實施例之詳細描述> ，W| 、'叫1田心夕 本發明的較倍眚# & μ ^ 仏貝轭例將參照附圖詳述 一 & 协· ΙΖ ,〜 r i 苴中裝 * 、 八〜ΡΊ 食斯、附圖詳述如下 σ在本务月 此一或 裁播：裝載機及—卸载機在-共用導軌部上移動’…一 多數：:至—或多數之壓機單元，而卸載機自 〈第-實：：？送模塑的製品至-製品收容單元。 =實！例！，加入額外之導軌單元。 圖予以π H日弟斗貫施例之樹脂模塑裝置之輪廓將參照第υ

及β分離。工件餵Y DD間。此頜外的導軌單元C可與單元A -c ^ ^ ^ ^ ^ ； I ^ ^ ^ ^ 部、轉送部、拾取部 夕種功月b 口p，例如餵送 元可設在該等基礎部上去〜°部、收容部、壓機部、膜單 單元/排人列:二單工元:= 在工件餵送部！的塑豚“收：在餵送倉®2内的.導線架位 基板的加熱器提：於至。—轉送部^ (未；脂片保持器6處固由-線性心 于月曰片及將樹脂保持器6輸送至轉送部。的 509615 五、發明說明（15) 一慶機單元7包括一模具8，一夾緊媸 ^具8，-轉送機構用以送出炫融樹^及關 具凹穴，等等。壓機7安置在基礎部9上。一 之拉 送離型膜10並被連接至模具8。請注咅早凡可餵 於製品收容單元B及額外導軌單：主；= f供 額外的壓機單元。 、早兀F可連接至 ⑽在：ΐ 括一二在壓機▼元7 一側的膜儀送部11及- 二ίΐί早70另一侧的膜收集部12、離型膜10由膜飯送部 11以垂直於導軌部丨3、26、28的方 、邛 ^ ^ ^ ^BGAs ^^ ^ 而路出來）。離型膜10能抵抗模具8的熱，容易自模且8 離1具有足夠柔軟性及伸長性。離型膜10由例如ΡΤΥΕ / rrFE、PET、FEP，包含ι的玻璃在、聚丙烯 製成。離型膜1藉由通過作在模具8交界面上的吸孔之办 氣，，=固定在模具8交界面上。應予注意者，其他功能^ 可代：壓機單元7作在基礎部9上。工件餵送單元八的^ 料j者而壓機單元7可省略。在自外部儀送工件^情 沉，、胃件餵送單元Α的餵送部及排列部可省略。· 禮 达用導鈾1 ，及卸載機1 5，其自壓機單元7取出塑品，在 5卜銘說邻1 3上移動。裝載機14及卸載機1 5在共用導軌部 13 =而可移入或移出壓機單元7等等。為連接另一導 軌告，一延伸部13a在共用導軌部13的一端（在第Μ圖之右

第20頁 509615

- I MUM 五、發明說明（16) 1:)::=)载切部13b在共用導軌部Ub的另-端形成(第 管;㈣13^夠連接至卸載機之吸 在吸其1吕6的另—立而連接至一真空早兀17 ;—連接器16a設 接哭ie6a Λ—端。額外導軌單元°的吸管30可連接至連 ίΐ查1。§卸載機15自壓機單元7取出製品，卸載機15的 =入及移離模具8(此時間打開)，卸(二 勺又界面，及樹脂塵由真空單元丨7吸取並收隹之咬 =型=除器15e，其接近離型膜10’可被移動WV擾丨 製品收容單元13將予以說明。在第1A圖中， 表衣品取出部。在此製品取出， " 被轉送至-移動台-，其位在製Π:;::; 下— ： 送至移動台19 ’卸載機15移動以取出 去-:二？ 持及輸送製品至一去淹口部2〇，此

广邛20壓位及冷却已由移動台Η輸送之梦。，及蕪A 料箱(未示)收集之。移動台19 ==不用之樹脂在廢 再輸送至一收容部21。☆收容=已=用樹.脂之製品· $丄 队谷部21，在移動台iq匕的制。 嫌起二然後，移動台19回到製品取出二； 澆口機進入收容倉£23，卸載機15沒有斷 出㈣轉送製品後取出下-製品。因此，製品可ί:時=

第21 五、發明說明（17) 内被取出及傳送。 一塵機單元24被設在基礎部25上。此壓機單元7 :模具8 ’ -用以打開及關閉此模具δ的夾緊機構，括 機構用以送出熔融樹脂至具有壓力之模且， ，^ F可連接至壓機單元24。請注意，其他功能部可提至早凡 礎部25，而不是壓機單元24，製品收容單-的基礎= 為窄者及壓機單元2 4可省略。在將制〇 &冰仏 下，去洗口部及製品的收容單L將的= 機6 =導執Γ ’裳載機14，其將工件及樹脂 ί: 載機15，，自壓機單元24取出1 二/Λ/ 上移動。為連接到另-導執，延伸 = 26a形成在共用導軌部26的一端（第丨4圖之右端） 申

Wb形成在共用導軌部26的另一端（第之左端）。 導軌：吸Γ7設ΐ共用導軌26。吸管27的一端連接至額外 -—連接器3〇a ;吸管27的另一端有 裁德/ΐι;。虽卸載機15自壓機單元24取出製品時’卸 載機1 5的吸管被連接至π及管27的連接器27a之連接孔（未 在卸載機]_5移入及移出已打開之模具 二青：模界面：而樹脂塵由真空單元17予.以 …工早元17係設在工件餵送單元者。 i r其夂，額外之導軌單元C將予以說明。該等額外導軌 拆抑地連接在工件饒送單元A及製品收容單= 暮勒f數之導軌部2 8分別提供額外的多數之導軌單元c。 邻28連接至導軌部13及26。裝載機14及卸載機15也可

第22頁 509615 五、發明說明（18) 在導軌部13及26上移動。即言，裝載機14及卸載機a 續地在導執部13、26及28(參照第1B圖）上移動。延伸部 28a在，一導軌28的一端形成（第1B圖之右端），而裁切部 2 6B在每一導軌部28及共用導軌部13及2 6的另一端（第 之左端）形成。 ·圖 每一基礎部2 9支持導軌部28及其他種類之功能部， 如壓機單元3 1、膜單元F，此額外導軌部c設在工件餵送」 及製品收容單元13之間，及導軌部13、26及以被連接界 著。基礎部9及29，基礎部29及29，及基礎部29及25由螺 栓互，連接著。注意，額外導軌部c可被互換至其他額外 ‘軌單元，但額外導軌單元c的額外功能部可被互換至复 他功能部。 、 ^ 每一額外導軌單元C具有一吸管30，其一端具有一連 接器30a能夠連接至卸載機15的吸管，當額外導軌單元c連 接在工件餵送單元A及製品收容單元B之間時，吸管3 〇藉由 連接器16a及3 0a被連接之吸管16及27(它們分別提供與曰導 軌部13及26)，如此，吸管30被連接至真空單元17( u 圖）。 在本實施例中，如第丨A圖所示，一條額外導.軌c加到 工件餵送單元A及製品收容單之間，延伸部Ua及裁切 部28被配設著以便導軌部丨3及28可被連接著。又，吸管u 的連接器16a被連接至吸管30之一端，以便工件餵送單元a 及額外的導軌單元C被連接著。延伸部2 8 a及裁切部2 6被配 設著，以便導軌部26及28可被連接著。又，吸管3〇的連接

第23頁 >丄：>

509615 五、發明說明（20) 可有集成或分開的導執基礎及支持基礎。 兩軸3 9及兩軸4 0提供給工件餵送單元a、製品收容單 元β或額外導軌單元C的導執支持件32。一變動滑輪及被動 滑輪分別提供給軸3 9 ;另外的主動滑輪及另外的被動滑輪 分別提供給軸4 0。時序帶與軸3 9的滑輪嗔合；另一時序帶 與軸40的滑輪嚙合。裝載機4〇由一連結接件Uc固定至時 序帶；卸載機1 5由一連接件1 5 c固定至另一時序帶。裝載 機1 4由主動滑輪的旋轉軸3 9予以驅動；卸載機丨5内主動滑 輪的旋轉軸4 0移動。裝載機1 4及卸載機1 5在導軌部1 3、 2 6、2 8上在單兀間移動。裝載機丨4及卸載機的機構1 4 &及 1 一5a各有導引滾輪14b及15b。導引41被固定以壓迫壓機單 凡31的柱子。導引滾輪1 4b及15b可旋轉地被安裝在導引41 的的槽内，以便機構14a及15a能夠移至模具8及自其離 開。導引41及導引滾輪14b及15b能夠相關於壓機單元 3 1 (參」照第2A圖）作垂直移動。 ^機單元31被安裝在支持基礎29b上。壓機單元31包 才…、8、—夾緊機構用以打開及關閉模具δ，及一轉送機 構用以=熔融樹脂送至具有壓力之凹穴。 .轉ι機 單μ主圖内，工件银送單元八的壓機單元7的膜 ΓΓΛΛ 線予以表示。膜健送部11設在模且8的上模 ”收集部12則設在另一側：在膜银送 繞軸m轉動收集部 。 膜，袞輪可拆卸地連接著。 ，單凡F亦可提供給膜具8的下才莫。在此情況下，用以 第25頁 509615 五、發明說明（21) 交換膜滾輪之空間其窄，妓A > 能夠在垂直方向移動。隨同2具8打開時，膜餵送部11 蓋1 1 a在由導軌部所形成 種構造，膜滚輪可由轉動膜 此等額外的導轨部連接或解離。 製品收容單元B之間’及導連接在工件餵送單元A及 著。單元A、Bg的基礎部、2、;=連續地被連接 計。伴隨此種結才冓，樹脂膜事、依::裝之功能部而設 =改。樹脂模塑裝置= 接至卸載機15的吸管之吸；I；% Π及卸載機15在其上移導軌部28，裝載機 地連接及拆卸。 士此，頜外的導軌部C可容易 單元B在Λ壓鮮产7及24提供給工件银送單元A及製品收容 ==的十月、况’早元的數目可減少。即，樹脂模塑裝置可 制元Μ接至製品收"元β而構成。圖為 只> ^圪早兀Α及衣品收容單元B的壓機單元7及24能拆卸 父換，樹脂模塑裝置的功能能予擴充及可形成一工件空 =叙如支持基礎29b (功能部安裝在其上）可與導軌基礎 開，基礎部29的大小可基於欲安裝的功能部隨意設 计及樹脂模塑裝置的功能能進一步擴充。 . 备如壓機單元31安裝在額外導軌單元c的支持基礎29b { 上 則生產量可增加及裝置可被修改以生產多種之製品。 在k供複數壓機在樹脂模塑裝置之情況下，壓機中之 一可用作一逐漸冷却製品的單元。近來，基板的一面被模 塑以便同時可模塑複數之晶月，則經模塑的基板被分割出

第26頁 509615

塑的面積寬廣，故經 部彎* 了，則困難以 冷却，以便不彎曲或 以逐漸冷却製品，代 五、發明說明（22) 複數的半導體裝置 模塑之部收縮而易 切刀正確切割。因 變形製品。可提供 替以壓機單元冷却 (第二實施例） 。在此情況下，模 於％曲。假如模塑 此，製品逐漸予以 一另外的冷却部用 製品。 第一貫施例將參照第3圖予以說明。注土 卜 實施例中已說明的元件將賦予相同記號但說日/'予在弟— .在本實施例中，兩額外導軌單元C1 (每一者且壓 早元30設在工隸送單元八及製品收容單元有，機 —額外的導軌單元C2(其沒有功能部或單 /。又’ 導轨單如之間，以便形成一空間。機 == 工件餵送單元A及製品收容單元b以便形 "、··° 送單元A及額外導軌單元C，製品收容單元^。此工件儀 3 ’及額外導軌單元Π及(；2彼此連接著，正如卜^^早 例丨月況，導軌部及吸管亦彼此連接著。 弟Λ ^ 在工件银送單元Α的基礎部9、fi 口价6 一 =別提供給各壓機單元31及離型膜在平行二二 =破银送。即，膜Μ送部U提供給基礎部9 ;膜收隹α =傲送部U提供給額外導軌單元C2的基礎部：； 別银送之離型膜1〇的厚度可為相同者。 製品而定。 1離型膜10的厚度依

509615

、、當在垂直於導軌部的方向餵送離型膜的情況不同，用 以連接及拆卸餵送膜滚輪及收集膜滾輪的空間在第二實施 例^可形成。因此，膜可容易及有效率地被交換。 、 (弟二^貫施例） 弟二貫施例將參照第4圖予以說明。 注意，在第一實施例中說明之元件將賦與相同的記號 及省略其說明。

在本貫施例中，額外導軌C具有壓機3丨及一額外導軌 =具有能餵送包裹樹脂片及液體樹脂等等的樹脂餵送部36 提^在工件餵送單元A及製品收容單元b間。一樹脂餵送部 7提供給基礎部9。壓機單元24提供給製品收容單元B的基 ，部2 5。樹脂餵送部3 6及3 ?的活塞分別於 壓機單元的活塞。 J =件餵送部1(餵送倉匣2被收容在其内）可提供給工件 民送單兀A，但工件由一工件製造機直接餵到旋轉台3。拾 ，4 22及收容倉匣23可提供給製品收容單元6的製品收容 ，但製品可為了接下來的步驟，例如切割，彎曲，直 廷至一機器。在此情況，一包括樹脂模塑裝置的線上型 的糸統可被利用。

忭做迗早〜…八π 7丨'的等軌旱元C，製品收容單^ 及頜外導軌單元D，及額外的導軌單元C&D互相連接著 導轨部及吸管如第一實施例方式而連接著。 在本實施例中，包裹樹脂片、液狀樹脂等等，可辜 載機14由樹脂餵送部36或37供應至壓機單元24及31。相

第28頁 509615 五、發明說明（24) 可甴樹脂餵送部37供應至壓機單31，及樹脂可由樹脂餵送 部36供應至壓機單元24。 在模塑凹穴型包裝的情況（其中連接面在基板之端面 上環繞凹穴，樹脂通路在基板上不能形成，故一中間板模 具設在上模具及下模具之間。故，一中間模具餵送部，其 將中間模具從在壓機單元3丨的上模具及下模具間的一位置 連接至此中間模具及拆卸；及另一中間模具，其將中心另 一中間模具從在壓機單元24的上模具及下模具間的一位置 連接至^一中間模具及拆卸，可被提供至該等單元。 在第三實施例的樹脂模塑裝置中，包裹之樹脂片、液 :樹脂等等可基於製品而使用。此外，中間模具可被使 用，故具有甚多功能的樹脂模塑機可容易地予以。 (第四實施例） 、 第四實施例將參照第5圖予以說 :拖例^說明的元件將賦與相同的代號，/省略其說 明。 單元ί)本實兩條額外導軌單元c(每一者具有壓機 部38用以顧送散熱座至壓機單(元有：：熱座顧送 萝口 #交罝& R,機早兀）被扠在工件載送單元A及 ^ 間。料導軌單元E分収在額外導軌里 之兩側。壓機單元7提供給工件餵 $早 壓機單以4被提，給製品收容單元B的基二二礎㈣。 一名員〜的導軌早4 ’額外的導軌單元c及£， 早几A及額外的導執單元E，及製品收容單元B及額=;

第29頁 509615 五、發明說明（25) 軌平兀E彼此連接。莫絲立g 总 接。 V軌邻及及g白如第一實施例彼此連 為了有效地自半導封裝散熱，例如 體晶片上及予以槿朔 .,_ ^ 狀…、压女装在午¥ 14，自一 4埶亦加f。在此種情散熱座藉由裝載機 月二埤民廷部38供應至壓機單元7、24及31。及 政…座可自一政熱座餵送部38供應至 熱座可自其他散熱座=械早兀7及31，政 …、厓餱迗。卩38被供至壓機單元24及31。 ^ ^ ^ 树脂模塑裝置具有將散埶座盥半導體封 裝模塑的功能，的功能可容易地擴充:、座”〜封 為了擴充第至四貫施例樹脂模塑裝置的功能，J:他 種類的功能部或單★，例如模具清潔單元、'台集部 :提供給工件餵送單元、製品收容單元及额外的導軌單 (第五實施例） 樹脂巧塑裝置的第五實施例將參照第卜i3B圖予以說 明。此樹脂極：塑|詈且右暖留-p 除了模單元F外與\述實有施=。W .Pt is PI ΛΑ 、 才冋，故在先前實施例解說 之7G件賦與相同的代號而其說明從略。 、'，产Γ排圖Λ示Λ翠。元F的排列。三台壓機單元卜· 24及3 i 工月 者臈早兀F分別可拆卸地連接至壓機單 24及31，在某些情況中，膜單元連接至至少二機早二 膜單元具有膜银送部U，其位在壓機單 ^ ?部^其位在壓機的另一侧。如第7β圖二‘= 母一膜早兀F的膜饒送部u能夠在導軌部13、28及“上

第30頁 五、發明說明（26) t固定^台8a離開。因此，膜餵送部u能夠向外被拉出。 , 膜單元F的膜收集部1 2能夠相關於上固定板8 a繞軸丨2 c 方疋轉 。 膜單元F的細節將參照第7A及7B圖予以說明。 膜餵送部11包括：一膜餵送滾輪Uc，在其上 2膜1〇 ; 一拉力滾輪Ud，能給予自膜餵送滾輪llc拉出 賴-固定拉力。另一方面，膜收集部12包括：一 、收本滾輪12c，其捲繞使用過的離型膜1 〇 ;及一拉力滾 2d，其能給予由膜收集滾輪12c所收集的離型膜一固 定拉力。 11二力乂及12d具有感測器’分別感測拉力滾輪 的數（旋轉速度）。分別旋轉拉力滾輪lid及 於ί立Ϊ數，基於感測器lleA12e的輸出信號予 方、良d。>主思，感測器lle&12e中之一者可以 . ，既使膜滚輪的半徑改變，離型膜ig可以固 度及固疋拉力穩定地被餵送出。 膜儀送部1 1有二只導引滾輪4 4 ;膜收集2二口 :4。5 移動離型膜10自模具的交界：離’ 動，使得；；，可：直2被移 預定長度，離型膜10内：=二; 已使：：型Ϊ10可平順地餵進不會損傷離型膜10。因此， 已使用過之離型膜10可再使用。 假如膜银送部u位在内側，一用以交換膜滾輪之工作 509615 五、發明說明（27) 空間為窄者。為解決此問題，膜 部U、26及28上方的空的空間：：：部11可經由-在導軌 〜U圖予以說明。t間向外拉。此結構將參照第8 土 =圖，膜餵送部Η可拆卸地與連接板 =平台8a。各導軌桿49的—端分別固定至連接，夂 導轨桿48的另一端固定至一提也口 連接至各導軌桿48，；ί連= = 滑動地 二心圖所不，一膜保持板53連接至連接轴52。 輪Uc及馬達42連接至膜保持板53(參照第7人圖）。 士曰4在第9圖中，一桿板54連接至連接輪52。一桿55穿過| 2板54，及桿55的螺紋部與桿板54旋接在一起。桿π之炉 =部之端亦與連接板48旋接著。桿55的另一端 尔 接至桿55的另一端。藉由旋轉手柄⑼， =5的m連接板48連接或自其上脫離。如第9圖， 動桿55，由板54及軸52所連接的板51及53在 夫轨杯49上Μ動，如此，膜餵送部丨丨被拉動超過導軌部。 备—部分的板53接觸板50時，板51的移動範圍被限定。 在第10及第11圖，板51由鍵57固定至轴52，而不能旋 轉。可動板58跨在板51的之端之間。缸單元“固定至可動 反58的:心部位；導桿59分別固定至可動板58的兩端。 缸單元46的缸桿之前端連接至—水平板6〇，藉由作動 早兀46，水平板60在水平方向移動。螺栓61的一端固定 至可動板58，螺栓61的另-端穿出水平板60。水平板60的 移動範圍可由改變與螺栓61旋在一起之停止器螺帽“間的

第32頁 五、發明說明（28) 距離而調整之。在垂直方向延伸的滾輪板63分別框接水平 板的兩端。導引滾輪64可移動地跨在滾輪板63間。離子滾 輪64用以吸出離子以便自離型膜1〇除去靜電，其設在滾輪 ，63 。因此，離型膜10由靜電所發生的問題可以防止。在 弟11圖，金屬線導引65設在可動板58 ,可引導金屬線及管 而不會彼此扭轉，其接續地，膜收集部丨2將參照第1 3 A及 13B圖予以說明。在第13A圖中，膜收集部12可拆卸地盥一 f接謂連接至上固定平台83。板67分別自連接板6〇的兩 编延伸出。轴12b跨在板67間。如第13β圖所示，一模板“ 連接至，12b。膜收集滾輪12c及馬達43連接至膜板69。 在第13B圖，固定板70分別連接至軸m的兩端且鄰近 於板67。固定板70内鍵71固定於軸12b以便不轉動，一板 72跨在固定板70的下端間。缸單元47固定至板的中心部 分，·導桿73分別固定至板72的兩端。 一缸單元47的缸桿之前端連接至水平板74，藉由作動缸 皁元47，水平板74在水平方向移動。螺栓75的_端固定至 板72，·螺栓75的另一端穿過水平板74。水平板^的移動範 圍可由改變與螺栓75旋接在一起之停止器螺帽間的距離而 改$。在垂直向延伸之滾輪板77，分別樞軸至水平板74的 兩端。導引滾輪45可轉動地跨在滾輪板77之間。 螺絲78穿過板67及固定板70而旋接著，如此，連接至 軸12b的固定板7〇分別固定至板π。膜板㈢及固定板7〇藉 由脱離螺絲78可繞軸12b作90度轉動，如第13A圖兩點鏈曰線 所示。膜餛送部12可藉由將螺絲78旋接至板67而固定在已 509615 五、發明說明（29) 轉動的位置上。當膜餵送部25位在已轉動位置上時，膜收 集滾輪12c(已使用過的離型膜10可收集在其上）能有效地 在一寬工作空間交換。 假如膜收集部1 2或膜银送部11能關於壓機轉動，模具 8的框架8b (參照第2圖）可容易地向外拉出，但不會干擾^ 他構件。 如上所述’膜银送部11能被移離壓機及向外拉出，故 用於交換膜餵送滾輪Π 〇的空間得以形成，及膜银送滾輪 11C能在其内有效地交換。膜餵送部11可經由此空間拉出 但不干擾導軌部，其中裝載機14及卸載機被移離，故樹脂_ 膜塑裝置尺寸甚為緊湊，因為膜收集部12可繞轴i2b轉 動’工作空間可形成及膜收集滾輪12c(己用過之離型膜iq 已收集在其上）可在其内容易地交換。 膜餵送部11及膜收集部12的拉力滾輪Uci及1 2d分別具 有感測器1 le及12e以便感測拉力滾輪1 id及1 2d的轉數及馬 達42及43的速度可基於感測器lie及12e的輸出信號而受控 制，因此，離型膜1 〇可以固定餵送長度及固定拉力穩定地 供應。請注意，此控制可由感測器丨le及12e中之一予以執 行。 ， 、、， ❿ 膜傻送部11及膜收集部12具有導引滾輪44、45可用以 洋夕動離型膜1 〇至交界面或自其離開，如此離型膜1 〇可平順 地链進而沒有損傷到離型膜1 0。因此，使用過之離型膜1 〇 可再度使用。 ' 膜傲送部11及膜收集部1 2相對於壓機單元相對而設。

第34頁 )⑽ 615 五、發明說明（30) 在此情況下，膜收集部12可移動超過導軌 1 1可繞一軸轉動。 及膜餘廷部 鉸鏈設置於連接板48或66，代替了軸12b , 部11或膜收集部12可繞鉸鏈轉動。在第7A 犋餵& 數鉸鏈設置於連接板66的一端或兩端。由二=如if複 滾輪12c可轉動90度。 冓 收集 ?可被拉出及轉動。在本實施例中，拉出 W，但其可對角地模過導軌部。 、&軌 —膜單元F可使用在樹脂模塑裝置中，其中 元A及製品收容單元b整合在一起。 、、早 (第六實施例） ’ 第六實施例將參照第14〜19圖予以說明。第六實施 ^特徵樹脂片餵送裝置’其是連接到樹脂模塑裝置 脂模塑裝置的結構相似於前述各實 貫施例已解說之^件標記以相同代號及其說明從略。 -«Τ，，，樹脂银送部5的構成將予以說明。樹脂片儀送 丄运出來1樹脂片容器的樹脂片1。樹脂片1有 片保二ΐβ向樹脂保持器6之固定孔。樹脂片士被固定在樹脂 ^ ^ ，由—固定位置21被轉送至一轉送區21，在 立立 树月曰片七被傳送至裝載機1 4 (參照第1 5圖）。注 Γ么用複數之樹脂片保持器6及交替地且往復地在位 置21及22之間移動。 'μ 第35頁 509615 五、發明說明（31) 其次，樹脂片餵送單元81的細 以解說。複數之樹脂片t自一料f >以弟1 4〜1 6圖予 弓182a引入漏斗82。漏斗82讯於曰子料器83經由漏斗導 桿85設在基礎84上。漏斗;;^，85的頂端，而支持 供應-固定量之樹W t至自漏斗82 86包括一第一樹脂片容器87及—一树月曰片送出部 猶環部89包括一第二樹脂容哭9〇及—二動部88 ; 一樹脂片 月送出部86接近樹脂片循環部89。弟一振動部91。樹脂 一第一導引部（下導引部）92，其斷 形成於第一樹脂片容器87的底部。—^ 一半圓， 應於下導引部92。*第17圖所示，上導二::=對 —檢查板98及一第二檢查板99，用以引導;落下；^ ^ 1方向走的樹脂片t進入第二樹脂片容器9〇。即言又，由、 斗82所供應及沿著下導引部92的第—輸送面被引 樹· 片t排成隊及在箭號X方向送出。 、对月曰 、，第一振動部88振動第一樹脂容器87以便沿著下 运出樹脂片t向箭號X的方向前進（參照第15圖）。 而片容器9〇收容很多自第一樹脂片，，送出 YC其舁在弟18圖所示送出方向相反）引導樹 第二，脂片容器9〇的底部。 ^又在 ^ f =振動部91振動第二樹脂片容器90以便在方向γ沿 =輸送面93(參照第19圖)送出樹驗至第一樹脂 509615 五、發明說明（32) 在第15及16圖，第一振動部88及第二振動部91為線性 餵送器’它們的擺動方向彼此垂直。線性餵送器8 8及9丨包 括板狀彈簧及樁元件以便振動第一及第二樹脂片容器8 7及 9 0 ’藉由組合振動方向彼此相反的線性餵送器8 8及9丨，第 一及第二樹脂片容器87及90可容易地同步振動，如此，樹 脂片ΐ在一短時間内平順地循環。 第一樹脂片容器8 7的第一輸送面9 2 (樹脂片士在其上被 送出）水平地裝設。第二樹脂容器9〇的第二輸送面93(樹脂 片在其上被循環著）被安置成與第一輸送面垂直（參照第 1 9圖）。利用此種構造，自漏斗8 2供應及將被送至樹脂模_ 塑裝置的樹脂片t，及在樹脂片容器之間循環的樹脂片t可 有效地予以分類。 空間9 4在第一樹脂片容器8 7及第 樹脂片容器 90(參照第17圖）之間形成，及一灰塵收集部95設在空間“ 下方。樹脂片t在第一樹脂片容器87内及第二樹脂片容器 90内被振動，如此，它們彼此間互為碰撞及鱼容哭内表面 =鹿土碰撞所形成的樹脂塵落入灰塵收集部95:被收集 内（參照第16圖）。注意，如第1〜5圖所示，樹 早元8:及真空單元17可由—收集管105而非灰塵 ’及洛入灰塵收集箱95内的樹脂塵可由真空單元 第一樹脂片容器8 7及第 第1 7 — 1 9圖清楚地予以說明 a〜h指定於第一樹脂容器8 7 ，樹脂片容器90的細節將參照 f工清楚說明S的，以代號 及第一樹脂片纟器9 0的部分， 509615 五、發明說明（33) 兩容器有不同的高度（參照第1 7圖）。 第一樹脂容器87的高度及部分將參照第1 7圖予以說 明。樹脂片t供給部a〜c。第一導引部92在a部分形成。b 及c部分與a部分傾斜。即言，a部分之高度較b部分低，及 a部分的高度較c部分低，接近第一檢查板98的4部分的高 度较a部分低。接近第二檢查板9 9的c部分之高度較部分d 為低。 如第17圖所示，空間94在第一樹脂片容器87及第 脂片容器9 7之間形成。第二樹脂片容器9 〇的高度及各部分 將予以說明。f部分連接至連接部c，其為最低部分。連接 至#又邠刀e的h部分為最高部分。樹脂片t在方向γ被引 ^二樹脂片ΐ經由h部分被送至c部分（h部分的高度等於或 =刀）士然後落入a部分。落入a部分的樹脂片t被循 二t /对月曰片士的行走將在第17圖中予以說明，樹脂 一对脂片容器87的c部分經由漏斗82被供應。樹脂 ^向ΓΓ出ί藉由第—振動部88沿著第—導引部92在χ 脂片t，由第一及二方二，上有被第-導引部92所引導之樹 樹脂片六哭Qn如，一檢查板9 8及98，經由e部分被引入第二 示，樹ί it由-參照第16及18圖）。然後，如第19圖所 向導引，曰如 弟^二振動部91振動及由第二導引部93在Y方 分落入a部八（失匕們回到h部分。此外，樹脂片t經由c部 送出刀Λ第18圖），然後，它們被第-導引部92 Κι:片容參4第16圖)。注意，在第-樹脂片請7及 πα所形成之樹脂灰塵藉由容器8 7及9 0的振

第38頁 509615 五、發明說明（34) 動’經由e部分及h部分被導引進入空間94内。e及h部分與 水平面成0角（參照第丨6圖）。故樹脂灰塵落入灰塵收集部 95的灰塵箱96内。因此，樹脂灰塵不會在容器87及9〇内飛 揚° 經由漏斗8 2而供應之樹脂片t在第一樹脂片容器§ 了内 f列及線性地送出。沒有送出之樹脂片t在第二樹脂片容 器90内成直線移動至第一樹脂片容器9〇。以此構造，樹脂 片t可在一短範圍内被供應及排列，如此餵送樹脂片土的速 度可以加速度進行。又可減少形成樹脂灰塵。 假如送出樹脂片ΐ的第一樹脂片容器8 7的第一導引部 92、’及循環樹脂片t的第二樹脂片容器9〇的第二導引部93 互為垂直相交，則被送至樹脂模塑裝置的樹脂片t及必須 被循環的樹脂片t可有效地予以分類。 在本實施例，第一振動部88及第二振動部91的振動方 :互為相對，故第一及第二樹脂片容器87及90能夠容易地 =步振動。由此構造，樹脂片t可在短時間内平順地循 =此外，樹脂餵送裝置的安裝面積及因而製造成本可減 空間94在第一樹脂片容器”及第二樹脂片容·器9〇之間 ‘产冉5二塵收集部9 5設在空間94之下方。因此，由用於 ^ 2 ^七的振動所形成的灰塵有效地予以收集之。 #牲〜^ ^ ^在不背離發明精神或基本特徵的情況下以其 示性而非用以限定者ί ^本發明各種實施例被認定為揭 丨民疋者，本發明範圍内申請專利範圍予以限

第39頁 509615

第40頁 圖式簡單說明 第1A圖為本發明第一實施例樹脂模塑裝置 第1 B圖為第一實施例之額外導軌單元之平视图面圖 第2 A圖為第1 a圖樹脂模塑裝置的右侧視圖；回， 第2 B圖為軌道部說明圖； ’ 第2 C圖為軌道部說明圖； 第3圖為第二實施例之樹脂模塑裝置之平 第4圖為第三實施例之樹脂模塑裝置之平二 第5圖為第四實施例之樹脂模塑裝置之 θ ， 其中 第6圖為第五實施例之樹脂模塑裝置之圖， 膜單元被裝設至壓機單元； 面圖 第7Α圖為膜單元之平面圖； 第7Β圖為膜單元之前面圖； 第8圖為膜餵送部之放大圖； 第9圖為沿第8圖卜ρ線所作之斷面圖； 第10圖為膜餵送部之放大前視圖； 圖 之側視 第11圖為由第10圖箭號Q之方向所視膜餘送部 H Α 圖闽為沿第1 0圖線R — R所作之斷面圖· 弟13A圖為膜收集部之前視圖； ’ = 13B圖為膜收集部之右側視圖； · 笫14圖為第六實施例樹脂模塑裝 爭面圖； 树脂片送出部的 第15圖為由第14圖所示箭號S方向 部的側視圖； T視之樹脂片送出

第41頁 509615 案號 90109113 年月日 修正 圖式簡單說明 第1 6圖為由第1 4圖所示箭號T方向所視之樹脂片送出 部的側視圖； 第17圖為第一及第二樹脂片容器之平面圖； 第1 8圖為第一及第二樹脂片容器之平面圖，其中樹脂 片被送出； 第1 9圖為第一及第二樹脂片容器之斷面圖，其中樹脂 片被送出。 第2 0圖為一傳統樹脂模塑裝置的平面圖； 第2 1圖為另一傳統樹脂模塑裝置的平面圖； 第2 2圖為另一具有膜尼餵送單元之傳統樹脂模塑裝置 的平面圖； 第2 3圖為第2 2圖所示之另一傳統樹脂模塑裝置的正面 圖。 <圖式中元件名稱與符號對照表> 1艮送倉匣 轉送部 樹脂片保持器 模具 :離型膜 膜收集部 1 :工件餵送部 2 3 :旋轉台 4 5 :樹脂傲送部 6 7、24、31:壓機單元 8 9、2 5、2 9 :基礎部 10 1 1 :膜餵送部 12 1 3、2 6、2 8 :導轨部 14 :裝載機 15 :卸載機

第42頁 509615 圖式簡單說明 1 3 a、2 6 a :延伸部 1 3b、26b :裁切部 1 6、2 7、3 0 ··吸管 1 7 :真空單元 1 6a、30a ··連接器 1 5 e :清除器 1 8 :製品取出部 19 :移動台 2 0 :去洗口部 21 :收容部 2 2 :拾取部 2 3 :收容倉匣 25 :基礎部 3 0 :吸管 3 2 :導軌支持件 3 3 :導軌塊 3 3 a : L型部 3 5 :控制單元 3 9、4 0 :轴 41 :導引 Ha、15a ：機構 14b、15b :導引滾輪 11a、 12a:膜蓋 52 :軸

第43頁 509615 圖式簡單說明 3 6、3 7 :樹脂餵送部 38 散熱座餵送部 8a 固定平台 8b 框架 11c :膜餵送滾輪 1 Id、12d :拉力滾輪 1 1 e、1 2 e :感測器 4 2、4 3 :馬達 44、45 :導引滾輪 46、47 :缸單元 4 8、6 6 :連接板 4 9 :導軌桿 50、54 :桿板 5 1 :保持器板 5 2 :連接軸 5 3 :膜保持板 55 :桿 5 6 :手柄 5 7、71 :鍵 5 8 :可動板 5 9、7 3 :導桿 6 0、7 4 :水平板 61、7 5 :螺栓 6 2、7 6 :停止器螺帽

第44頁 509615

第45頁 509615

第46頁

Claims (1)

1. 申睛專利範圍 1 · 一種樹脂模塑裝置，复 一工件餵送單元； /、L括 一製品收容單元· —壓機單元1 _ 一裝載機，用以將工二：：；、、,… 餵运單兀輪送至壓機單 元 ::載機，用以自壓機單元你 梗數共用導軌部，裝 =取出一模塑品； 上移動：輪送工件及已模塑的制t載機在該等共用導軌部 u:i有導轨部之额夕卜導軌Γ:;及. 其二動，此額外導軌單元：：二裝載機及卸載機可在 兀間可拆卸地連接著，” 餵送單元及製品收容單 几之導軌部不可拆卸地連接著。、用導軌部及額外導執單 工件2顧請範圍第1項之樹脂模塑f罝，A 工1卞m迗早兀及製品如犋塑衮且，其中每一 部。 早70 /、有共用導軌部及一基礎 3 ·如申睛專利範 機、工件饒送單元及f，項上樹脂模塑裝罝，其中卸載 導轨單元的導軌部具有x二收=早70分別具有吸管、及額外 及工件餵送單元及制σ吸官，其能連接至卸載機的吸管 4. 如申靖專收容單元連通。 導轨單元具Si:第^脂模塑裝置，其中額外 及一支持—功能部的支持基^ 支持導軌部的導軌基礎 5. 如申請專利範圍第1項之樹脂模塑裝罝，其中至少

   第47頁 509615 六、申請專利範圍 有一工件餵送單元，製品收容單元及額外導軌單元包括壓 機單元。 6. 如申請專利範圍第5項之樹脂模塑裝罝’其中至少 一壓機單元具有一膜單元。 7. 如申請專利範圍第1項之樹脂模塑裝罝，其中一可 執行不同於模塑功能的功能部提供於壓機單元的一位置。 8. 如申請專利範圍第1項之樹脂模塑裝罝，其中將用 於模塑之樹脂餵送給壓機單元的樹脂餵送部提供給工件餵 送單元、製品收容單元及額外導軌單元之一。 9. 如申請專利範圍第1項之樹脂模塑裝罝，其中一中春 間模具餵送部將一中間模具連接至壓機單元之上模具及下 模具之間的一位置及自此位置解離，其係農供至工件餵送 單元，製品收容單元及額外導軌單元中之一者。 1 0.如申請專利範圍第1項之樹脂模塑裝罝，其中一散 熱座餵送部將一散熱座餵送至壓機單元，其係被提供給工 件餵送單元、製品收容單元及額外導軌單元中之一者。 11. 一種樹脂模塑裝置，其包括： 一工件餵送單元； 一製品收容單元； 修 一壓機單元，用於模塑工件； 一裝載機，用於將工件及用於模塑的樹脂自工件餵送 單元輸送至壓機單元； 一卸載機，用於將一已模塑的製品自壓機單元輸送至 製品收容單元；及

   第48頁 申請專利範圍 面，此膜:β ^ 用於將離型膜餵送到壓機單元的交易 -::二部設在a機單元m 設在屡機單=另$於㈣己用過的離型冑，此膜收集部 自此屡機單：：： 其令膜艘送部及膜收集部之-可 膜心运部及膜收集部 13.如申嘖衷剎二^丨之了自壓機早兀移開及接出。 儀送部及膜收H视圍弟12項之樹脂模塑裝置，其中膜 i 4 4 $木邛之一可相對於壓機單元轉動。 儀送名·包括請專利範圍第11項之樹脂模塑裳置，其中膜 滾产，it，—膜M送滾輪，離型膜繞在其上，·及Λ 展輪，其能給予自… ％ -上，及一拉力 集部包括：—膜隹、=滾輪拉出的離型膜拉力，及膜收 拉力滾輪，μ 輪，其捲繞使用過的離型模；及- 15•如申嘖專:由膜收集滾輪的收集之離型膜拉力。 ^ ^^ Λ /Λ ® ^11 ^ ^ ^ ^ ^ 4 力乎趴认絲★ F的拉力滾輪分別有感測器，分別代、 力濃輪的轉數，及分 月 刀別感測拉 於嘎測哭$仏^ 別轉動拉力滾輪之驅動源的## # Λ冽姦之輸出信號被控制。 J柊數係基 餵送部及膜申專利乾園第11項之樹脂模塑裝罝，复击 《 壓機i元的二集部分別具有導引滾輪，用於移動離铟中暝 &械早70的交界面離開。 砂助雔型祺自 1 7 · —種樹脂g -樹脂片送出部，：运裝置’其包括： F 其含有：一第一樹脂片容器， 具將 第49頁 509615 六、申請專利範圍 樹脂片排列及在送出方向引導它們；及一第一振動部，其 振動第一樹脂片容器以便送出樹脂片；及 一樹脂片循環部，其包括：一第二樹脂片容器，其收 容由第一樹脂片容器送出而迷失之樹脂片及收集之；及一 第二振動部，以振動第二樹脂片容器以便將樹脂片送到第 一樹脂片容器。 1 8.如申請專利範圍第1 7項之樹脂片之餵送裝罝，其 中第一樹脂片容器的第一輸送面，樹脂片在其上被送出； 及一第二樹脂片容器的第二輸送面，樹脂片在其上被循環 相交。 1 9.如申請專利範圍第1 7項之樹脂片之餵送裝罝，其 中第一振動部及第二振動部分別包括線性y餵送器，它們的 振動方向彼此相對。 2 0.如申請專利範圍第1 7項之樹脂片之餵送裝罝，其 中一空間在第一樹脂片容器及第二樹脂片容器間形成，及 一灰塵收集部設在此空間下方。

   第50頁