JP4347991B2 - 樹脂封止装置 - Google Patents
樹脂封止装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4347991B2 JP4347991B2 JP2000120997A JP2000120997A JP4347991B2 JP 4347991 B2 JP4347991 B2 JP 4347991B2 JP 2000120997 A JP2000120997 A JP 2000120997A JP 2000120997 A JP2000120997 A JP 2000120997A JP 4347991 B2 JP4347991 B2 JP 4347991B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- unit
- supply
- press
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Description
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明はリリースフィルムを金型面に張設するフィルムユニットのフィルム供給部及びフィルム巻取り部が、プレス部手前側と奥側とに設けられた樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、実装基板の微細配線化、高集積化に伴い、半導体パッケージも小型化して高密度実装化しており、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ・Ｆｌａｔ・Ｎｏｎ−ｌｅａｄｅｄ）タイプのパッケージ、ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）タイプのパッケージ、ＣＳＰ（チップサイズパッケージ）などが実用化されている。例えば、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止したいという要請がある。この場合、樹脂封止装置のプレス部の金型面にリリースフィルムを張設するフィルムユニットが装備される。このフィルムムユニットを備えた樹脂封止装置の構成について、図１１及び図１２を参照して説明する。
【０００３】
図１１において、樹脂封止装置は、モールド金型１０１を備えたプレス部１０２を中心にしてその周囲に供給マガジン１０３に収納したリードフレーム、樹脂基板などの被成形品を供給テーブル１０４へ供給する被成形品供給部１０５、樹脂タブレットを貯蔵する保管部１０６、樹脂タブレットを整列供給するボウルフィーダ１０７及びリニアフィーダ１０８、及び樹脂タブレットを装填されて供給テーブル１０４へ供給するタブレットホルダー１０９を備えた樹脂タブレット供給部１１０、モールド金型１０１より取り出された成形品をゲートブレイクして不要樹脂を分離するディゲート部１１１、不要樹脂を分離した成形品を収納する収納マガジン１１２を備えた成形品収納部１１３、装置全体の動作を制御する制御部１１４などが設けられている。
【０００４】
被成形品及び樹脂タブレットは供給テーブル１０４へ供給されると、ローダー１１５に保持されて型開きしたモールド金型１０１へ搬入される。また、成形品はモールド金型１０１より離型されるとアンローダー１１６に保持され、アンローダ１１６は金型面をクリーニングしながら成形品をディゲート部１１１へ搬出する。アンローダー１１６は、ディゲート部１１１において基板の反りを防止するため成形品を押さえたまま保持し、成形品にエアーが吹き付けられて冷却される。そして、基板がツイストされて成形品と不要樹脂とが分離され、アンローダー１１６は成形品のみをディゲート部１１１に受け渡してから次の成形品を取り出すため移動する。上記ローダー１１５及びアンローダー１１６は、プレス部１０２の上方に架設されたガイドレール１１７を共用して移動するようになっており、ローダー１１５は供給テーブル１０４とモールド金型１０１との間、アンローダー１１６はモールド金型１０１とディゲート部１１１との間を各々往復移動するようになっている。
【０００５】
図１２において、１１８はフィルムユニットであり、モールド金型１０１のうち上型１０１ａにリリースフィルム１１９が張設されている。フィルムユニット１１８は上型１０１ａを支持固定する固定プラテン１２０に支持されている。フィルムユニット１１８は、プレス部１０２の手前側にフィルム供給部１２１が設けられ、奥側にフィルム巻取り部１２２が設けられており、フィルム供給ローラ及びフィルム巻取りローラを回転駆動することにより、リリースフィルム１１９をプレス部１０２の手前側から奥側へ（ローダー１１５及びアンローダー１１６の進退方向と直交する方向へ）に所定長さずつ搬送される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、モールド金型１０１を備えたプレス部１０２を中心にしてその周囲に被成形品供給部１０５、樹脂タブレット供給部１１０、ディゲート部１１１、成形品収納部１１３、制御部１１４などが設けられており、プレス部奥側に設けられたフィルムローラ（図１１ではフィルム巻取りローラ）に手が届き難いうえに該フィルムローラの着脱やメンテナンス作業を行う作業スペースに乏しい。また、リリースフィルム１１９は、ローダー１１５及びアンローダー１１６の進退方向と直交する方向に搬送されるためこれらとの干渉を回避し、しかもプレス部奥側に設けられたフィルムローラの着脱やメンテナンス作業を行う作業スペースを確保するため、図１２に示すように装置外形が高さ方向に大型化し易く、スペース効率が低下する。
また、ローダー１１５及びアンローダー１１６を共用してプレス部１０２に一方側から進退するようにしてプレス部１０２の周囲に作業スペースを設けるとしても、被成形品や樹脂タブレットの搬入経路や成形品の搬出経路が複雑になるため、プレス部の増設などの装置の拡張改変は困難になる。
【０００７】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、装置を大型化することなく、しかも十分な作業スペースを確保して、プレス部にフィルムユニットを着脱可能な樹脂封止装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
即ち、被成形品供給部より被成形品及び封止樹脂がローダーに保持されてプレス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダーに保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行われる樹脂封止装置であって、前記プレス部手前側及び奥側の一方側にフィルム供給部が配設され、他方側にフィルム巻取り部が配設され、前記フィルム供給部より繰り出されたリリースフィルムが前記フィルム巻取り部に巻き取られることで当該リリースフィルムを金型面に張設するフィルムユニットの前記プレス部奥側に配設された前記フィルム供給部又はフィルム巻取り部が、前記プレス部より離反する向きにスライド可能に設けられ、前記プレス部手前側に配設された前記フィルム巻取り部又はフィルム供給部が、前記プレス部に対して支点を中心に回動可能に設けられていることを特徴とする。
【０００９】
また、ローダー及びアンローダーがプレス部奥側で移動レール部に沿って移動し、該プレス部奥側に配設されたフィルム供給部又はフィルム巻取り部が、プレス部より離反して前記移動レール部の上方に引出し可能に設けられていることを特徴とする。
また、フィルム供給部には、リリースフィルムを巻回したフィルム供給ローラと該フィルム供給ローラより繰出されるリリースフィルムに一定のテンションを付与する供給側補助ローラとを備え、フィルム巻取り部には、リリースフィルムを巻き取るフィルム巻取りローラと該フィルム巻取りローラに巻き取られるリースフィルムに一定のテンションを付与する巻取り側補助ローラとを備えているのが望ましい。
この場合、供給側又は巻取り側の補助ローラには回転数検出部を備え、該回転数検出部の検出信号に応じてフィルム供給ローラ及びフィルム巻取りローラを回転駆動する駆動源の回転数を制御すると、リリースフィルムの送り量、テンションの調整が行え、フィルム搬送動作を安定させる上で望ましい。
また、フィルム供給部及びフィルム巻取り部には、リリースフィルムを金型面より離反させるよう移動可能なガイドローラが各々設けられていると、リリースフィルムの送り動作がスムーズに行え、該リリースフィルムが金型面と摺接して傷付かないため再利用が可能になる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。本実施例においては、樹脂封止装置は、被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を成形品取出部へ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して樹脂封止するように構成されており、増設レールユニットにプレス部を搭載して増設した装置構成を示す。
図１は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図、図２は図１の樹脂封止装置の右側面図、図３はプレス部へのフィルムユニットの装着例を示す平面図、図４は（ａ）（ｂ）はフィルムユニットの構成を示す平面図及び正面図、図５はフィルム供給部の拡大平面図、図６は図５の矢印Ｐ−Ｐ方向の断面図、図７はフィルム供給部の拡大正面図、図８は図７の矢印Ｑ方向から見た側面図、図９は図７の矢印Ｒ−Ｒ方向の断面図、図１０（ａ）（ｂ）はフィルム巻取り部の正面図及び右側面図である。
【００１１】
先ず、樹脂封止装置の概略構成について図１及び図２を参照して説明する。樹脂封止装置は被成形品部である被成形品供給ユニットＡと成形品収納部である成形品収納ユニットＢとの間に各種機能を備えた増設レールユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。以下、各ユニットの構成について説明する。
【００１２】
［被成形品供給ユニットＡ］
図１において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。
５は樹脂タブレット供給部であり、樹脂タブレットを送り出すリニアフィーダ（図示せず）から樹脂タブレットをタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を供給位置まで移動して供給する。
【００１３】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けられており、モールド金型８にリリースフィルム１０を張設するフィルムユニットＦが取付け可能になっている。尚、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにプレス部を備えた場合にも、フィルムユニットＦを同様に取付可能になっている（図示せず）。
【００１４】
フィルムユニットＦは、プレス部７の奥側にフィルム供給部１１、手前側にフィルム巻取り部１２が各々設けられている。本実施例ではプレス部奥側に設けられたフィルム供給部１１は、プレス部７より離反して引出し可能に設けられている。また、プレス部手前側に設けられたフィルム巻取り部１２は、プレス部７に固定されており、支点軸３７を中心に回動可能に設けられている（図２参照）。リリースフィルム１０は、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止したり、複数チップを一括成形する場合などに好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の加熱温度に耐えられる耐熱性を有するもので、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。リリースフィルム１０は、上型８ａのパーティング面に形成された吸着穴よりエアーを吸引することで、金型面に密着して張設される。尚、プレス部７は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部７の代わりに必要に応じて供給側台座部９に他の機能部を搭載しても良い。被成形品供給ユニットＡの台座幅を狭くしてプレス部７を省略しても良い。また、インラインのように外部から被成形品が供給される場合には、被成形品供給ユニットＡに設けられた供給部、整列部等は省略しても良い。
【００１５】
１３は供給側移動レール部であり、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、プレス部奥側側に設けられた供給側移動レール部１３を含む移動レール部を所要位置へ移動してプレス部７含む所要のプレス部に一方向（プレス部奥側）から進退移動するようになっている。供給側移動レール部１３は、他のユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１の右側）に延出部１３ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部１３ｂが設けられている。
【００１６】
１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レールユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になっている。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００１７】
[成形品収納ユニットＢ]
図１において、１８は成形品取出部であり、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品を下方に待機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダ１５は、成形品を移動テーブル１９へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル１９は成形品を載置してディゲート部２０へ搬送する。ディゲート部２０は、移動テーブル１９へ載置されて搬送された成形品を押えて冷却すると共に基板をツイストすることによりゲートブレイクし不要樹脂を分離する。不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。移動テーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ搬送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１９に搬送された成形品を成形品ピックアップ２２により一端保持する。そして、移動テーブル１９が成形品取出部１８へ向かって移動すると、下方に設けられた収納マガジン２３へ必要に応じて旋回して向きを揃えて収納する。
【００１８】
２４はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部２４は、収納側台座部２５に設けられており、フィルムユニットＦなどを設けることも可能である。尚、プレス部２４は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部２４の代わりに必要に応じて収納側台座部２５に他の機能部を搭載しても良い。また、成形品収納ユニットＢの台座幅を狭くしてプレス部２４を省略しても良い。また、インラインのように外部へ成形品が搬出される場合には、成形品収納ユニットＢに設けられたディゲート部、収納部等は省略しても良い。
【００１９】
２６は収納側移動レール部であり、プレス部２４へ被成形品及び樹脂タブレットを搬入するローダー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。収納側移動レール部２６は、他の増設レールユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１の右側）に延出部２６ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部２６ｂが設けられている。
【００２０】
２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダクト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結しており、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。アンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す際に、ローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設けられた集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００２１】
[増設レールユニットＣ]
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。図１は増設レールユニットＣに機能部としてプレス部が搭載されている状態を示す。２８は増設側移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可能になっている（図１参照）。増設側移動レール部２８は、他の増設レールユニットＣや被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢとの接続用に一方側端（図１の右側）に延出部２８ａが設けられ、他方側端（図１の左側）に空隙部２８ｂが設けられている。
【００２２】
図２において、２９は増設側台座部であり、増設側移動レール部２８を支持すると共にプレス部３１やフィルムユニット１０などの様々な機能を有する機能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。尚、増設レールユニットＣごと他の増設レールユニットＣに変更することは可能であるが、各種機能部の大きさを考慮しておけば、該機能部だけの交換も可能である。
【００２３】
また、増設側移動レール部２８には増設側吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンローダー１５のローダー側吸引ダクトに接続可能なダクト連結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３０は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側移動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設けられた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２７間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介して各々連結して集塵機１７へ連通するようになっている（図１参照）。
【００２４】
図２において、増設側台座部２９は、レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとを備えており、ベース台座部２９ｂには、プレス部３１が搭載されている。レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとは一体に形成されていても或いは分離可能に構成されていても良い。分離可能にした場合には、機能部の大きさによってはベース台座部２９ｂの長さＬを変更すればよいという利点がある。尚、ここでは、長さＬは機能部であるフィルムユニットＦの大きさに合わせて設定されている。
【００２５】
レール台座部２９ａには、増設側移動レール部２８が搭載されている。増設側移動レール部２８には、レール支持部３２の上にレールブロック３３が固定されている。レールブロック３３の幅方向（図２の左右方向）両側には、移動レール３４が位置決め固定されている。また、レール支持部３２には、ダクト保持部３２ａが設けられており、増設側吸引ダクト３０が移動レール３４に沿って保持されている。移動レール３４の高さ位置は、ローダー１４及びアンローダー１５に備えた進退機構のモールド金型８への進退位置に合わせて設けられており、レール台座２９ａ上にスペーサーなどを介在させてレール支持部３２の高さを調節できるようになっている。また、レール台座部２９ａには、ベース台座部２９ｂに搭載される機能部の制御ユニット（本実施例ではプレス部及びフィルムユニットの制御ユニット）３５が設けられている。
【００２６】
ローダー１４及びアンローダー１５は、被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのいずれかのレール支持部３２に設けられた駆動軸に回転駆動される駆動側プーリと従動側プーリとの間に掛け渡されたタイミングベルトに各々連繋しており、図示しない駆動源により各駆動軸を所定方向に回転駆動させることにより移動レール３４上を各ユニット間にわたって移動するようになっている。
また、ベース台座部２９ｂには、プレス部３１が搭載されている。プレス部３１には、モールド金型８を開閉する公知の型開閉機構や、キャビティへ封止樹脂に樹脂圧を加えながら送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。
【００２７】
本実施例では、図１に示すように、プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣを被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に２台分増設してスペースを形成している。増設レールユニットＣと被成形品供給ユニットＡとは、増設側移動レール部２８と供給側移動レール部１３とが、空隙部２８ｂに延出部１３ａが嵌め込まれて連結しており、供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。また、増設レールユニットＣと成形品収納ユニットＢとは、延出部２８ａが空隙部２６ｂに嵌め込まれて連結しており、増設側吸引ダクト３０のダクト連結部３０ａに収納側吸引ダクト２７の一端が連結している。また、増設レールユニットＣどうしは、一方（図１の左側）の延出部２８ａが他方の空隙部２８ｂに嵌め込まれて連結しており、一方のダクト連結部３０ａに他方の増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。
【００２８】
ここで、各プレス部に装着可能なフィルムユニットＦの構成について図３〜図１０を参照して説明する。
先ず、フィルムユニットＦの配置構成の一例を図３に示す。図３ではプレス部が３台並んで併設されている。フィルムユニットＦは、プレス部７、プレス部２４、プレス部３１のいずれか又は全てのプレス部に着脱自在に装着される。各プレス部には、プレス部奥側にフィルム供給部１１、プレス部手前側にフィルム巻取り部１２が各々設けられている。フィルム供給部１１は、図４（ｂ）の２点鎖線に示すように、上型固定プラテン３６より離反して移動レール部１３、２８、２６上を引出し可能に設けられている。また、フィルム巻取り部１２は、上型固定プラテン３６に支点軸３７を中心に回動可能に設けられている。
【００２９】
次に各部の構成について具体的に説明する。
図４（ａ）（ｂ）において、フィルム供給部１１は、リリースフィルムＦを巻回したフィルム供給ローラ３８と該フィルム供給ローラ３８より繰出されるリリースフィルムＦに一定のテンションを付与する供給側補助ローラ３９が設けられている。また、フィルム巻取り部１２には、リリースフィルムＦを巻き取るフィルム巻取りローラ４０と該フィルム巻取りローラ４０に巻き取られるリリースフィルムＦに一定のテンションを付与する巻取り側補助ローラ４１とを備えている。
【００３０】
供給側補助ローラ３９又は巻取り側の補助ローラ４１には、エンコーダなどの回転数検出部（図示せず）を各々備えており、該回転数検出部の検出信号に応じてフィルム供給ローラ３８又はフィルム巻取りローラ４０を回転駆動する供給側モータ４２又は巻取り側モータ４３の回転数を制御するようになっている。これにより、ロール径が変化してもリリースフィルムＦの送り量、テンションの調整が行え、フィルム搬送動作を安定させる上で望ましい。
【００３１】
また、フィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２には、リリースフィルムＦを金型面（上型面）より離反させるよう上下動可能な供給側ガイドローラ４４及び巻取り側ガイドローラ４５が２個ずつ設けられている。供給側ガイドローラ４４及び巻取り側ガイドローラ４５は、上下動シリンダ４６、４７により上下動してリリースフィルム１０が上型面と接離するようになっている。リリースフィルム１０を所定量送る場合、上下動シリンダ４６、４７を作動させて上型面より離間させて行うことにより、リリースフィルム１０の送り動作がスムーズに行え、リリースフィルム１０が傷付かないため再利用が可能になる。
【００３２】
フィルム供給部１１は、プレス部奥側に装備されるため、新たなフィルムロールを装着（又は交換）する場合には、手が届き難く作業スペースに乏しい。そこで、本実施例ではフィルム供給部１１は、移動レール部１３、２８、２６の上方の空きスペースを利用して、装置奥側へ引き出せるようになっている。以下、その構成について具体的に説明する。
【００３３】
図５において、フィルム供給部１１は、供給側取付プレート４８を介して上型固定プラテン３６に着脱自在に装着されている。供給側取付プレート４８の両側にはレールロッド４９の一端が各々固定されており、他端はロッド固定板５０に各々連結されている。両側レールロッド４９には、可動支持板５１が軸方向にスライド可能に各々連繋しており、可動支持板５１間には連結軸５２が架設されている。
この連結軸５２には、図７に示すようにフィルム支持板５３が連繋しており、該フィルム支持板５３にフィルム供給ローラ３８や供給側モータ４２が取付けられている（図４（ａ）参照）。
【００３４】
また、図６に示すように、連結軸５２にはロッド引出し板５４が連繋しており、ロッド引出し板５４には引出し用ロッド５５が挿通してその一端側のねじ部分がねじ嵌合により連繋している（図９参照）。引出し用ロッド５５の一端は、供給側取付けプレート４８にねじ嵌合により固定されている。また、引出し用ロッド５５の他端側はロッド固定板５０を挿通して設けられ、他端にはハンドル５６が設けられている。このハンドル５６を回すことにより、引出し用ロッド５５の一端側を供給側取付けプレート４８に対して固定／固定解除するようになっている。引出しロッド５５を図７の右側に引き出すことにより、ロッド引出し板５４、連結軸５２を介して連繋した可動支持板５１及びフィルム支持板５３が両側レールロッド４９に沿ってスライドし、フィルム供給部１１が移動レール部を超えて装置奥側に引き出される。この可動支持板５１の移動範囲は、フィルム支持板５３の一部がロッド固定板５０に突き当たることで規定される。
【００３５】
図７及び図８において、両側可動支持板５１は、連結軸５２に固定キー５７により回り止めして固定されている。また、両側可動支持板５１の下端部には可動取付板５８が架設されており、該可動取付板５８の長手方向中央部には上下動シリンダ４６が両端側にはガイドロッド５９が各々固定されている。
上下動シリンダ４６のシリンダロッド先端は水平支持板６０に連繋しており、上下動シリンダ４６を作動させると、水平支持板６０が上下動するようになっている。また、可動取付板５８には調整ボルト６１の一端側が固定されており、他端側は水平支持板６０を挿通して設けられている。調整ボルト６１の上下に螺合するストッパーねじ６２の間隔を調整することで、水平支持板６０の可動範囲を調整できるようになっている。水平支持板６０の両側にはローラ取付板６３が垂設されており、ローラ取付板６３間に供給側ガイドローラ４４が回動自在に取り付けられている。また、ローラ取付板６３には、リリースフィルム１０にイオン風を吹き付けて静電気を解消するイオン噴射部６４が取付けられている。これにより、リリースリスフィルム１０が帯電して静電気障害が生ずるのを防止している。また、図８において、可動支持板５１には電装ワイヤやエアチューブなどの配線群が交錯しないように引き出すため、配線ガイド部６５が設けられている。
【００３６】
次にフィルム巻取り部１２の構成について図１０（ａ）（ｂ）を参照して説明する。図１０（ａ）において、フィルム巻取り部１２は、巻取り側取付プレート６６を介して上型固定プラテン３６に着脱自在に装着されている。巻取り側取付プレート６６の両側には支点軸プレート６７が延設されており、該支点軸プレート６７間には支点軸３７が架設されている。この支点軸３７には、図１０（ｂ）に示すようにフィルム支持板６９が連繋しており、該フィルム支持板６９にフィルム巻取りローラ４０や巻取り側モータ４３が取付けられている。
【００３７】
また、図１０（ｂ）において、支点軸３７の両端側には固定支持板７０が支点軸プレート６７に近接して連繋している。固定支持板７０は、支点軸３７に対して固定キー７１により回り止めして固定されている。また、両側固定支持板７０の下端部には固定取付板７２が架設されており、該固定取付板７２の長手方向中央部には上下動シリンダ４７が固定されており、両端側にはガイドロッド７３が各々固定されている。
上下動シリンダ４７のシリンダロッド先端は水平支持板７４に連繋しており、上下動シリンダ４７を作動させると、水平支持板７４が上下動するようになっている。また、固定取付板７２には調整ボルト７５の一端側が固定されており、他端側は水平支持板７４を挿通して設けられている。調整ボルト７５の上下に螺合するストッパーねじ７６の間隔を調整することで、水平支持板７４の可動範囲を調整できるようになっている。水平支持板７４の両側にはローラ取付板７７が垂設されており、ローラ取付板７７間に巻取り側ガイドローラ４５が回動自在に取り付けられている。
【００３８】
支点軸３７に連繋する固定支持板７０は、支点軸プレート６７の両側から固定ねじ７８を固定支持板７０にねじ嵌合することで、支点軸プレート６７に対して固定されている。固定ねじ７８を取り外すことにより、フィルム支持板６９や固定支持板７０を図１０（ａ）の２点鎖線に示すように支点軸３７を中心に略９０度回転することができる。この回転位置で、再び固定ねじ７８を支点軸プレート６７の両側から取り付けることにより、フィルム巻取り部１２を回転位置で固定して、リリースフィルム１０を巻き取ったフィルム巻取りローラ４０を交換することができる。よって、装置外壁や隣接する装置によりフィルム巻取りローラ４０を交換作業が妨げられることがなく作業性が良い。
また、プレス部手前側のフィルム巻取り部１２（或いはフィルム供給部１１）をプレス部に対して回動可能に設けると、チェイス交換タイプのモールド金型８の場合、金型チェイス８ｂを引き出す際に邪魔にならず好都合である（図２参照）。
【００３９】
上記構成によれば、プレス部奥側に設けられたフィルム供給部１１を、プレス部より離反して引出し可能に設けられているので、フィルム供給ローラ３８の着脱スペースが確保できて作業性が良い。また、フィルム供給部１１は、ローダー１４及びアンローダー１５が通過する空きスペースを利用して移動レール部と干渉しない高さで装置奥側に引き出せるので、装置が必要以上に大型化することもない。また、プレス手前側に設けられたフィルム巻取り部１２を、支点軸３７を中心に回動可能に設けられているので、装置外壁や隣接する装置により作業空間が失われることがなく、リリースフィルム１０が巻き取られたフィルム巻取りローラ４０の交換作業がやり易い。
また、供給側補助ローラ３９又は巻取り側補助ローラ４１には回転数検出部を各々備え、該回転数検出部の検出信号に応じてフィルム供給ローラ３８又はフィルム巻取りローラ４０を回転駆動する供給側モータ４２又は巻取り側モータ４３の回転数を制御すると、リリースフィルム１０の送り量、テンションの調整が行え、フィルム搬送動作を安定させる上で望ましい。尚、回転数検出部は、供給側補助ローラ３９及び巻取り側補助ローラ４１の両方に設けてあっても良い。
また、フィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２には、リリースフィルム１０を金型面より離反させるよう移動可能な供給可動ガイドローラが各々設けられていると、リリースフィルムの送り動作がスムーズに行え、該リリースフィルムが金型面と摺接して傷付かないため再利用が可能になる。
【００４０】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、プレス部の手前側にフィルム供給部１１を奥側にフィルム巻取り部１２を各々設けて、該フィルム巻取り部１２が移動レール部を超えて移動可能に設け、フィルム供給部１１を支点軸を中心に回動可能に設けても良い。
また、支点軸３７に替えて巻取り側取付プレート６６又は供給側取付プレート４８にヒンジを設け、該ヒンジを支点としてフィルム巻取りローラ４０又はフィルム供給ローラ３８を回動可能に取付けても良い。例えば、図４（ａ）の巻取り側取付プレート６６の両端に支点ヒンジを設け、フィルム巻取りローラ４０を９０度回動可能に取付けても良い。
また、フィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２は、引出し又は回動のいずれかの移動動作に限定されるものではなく、これらの組み合わせでも良い。また、プレス部の手前側及び奥側のいずれを引出し或いは回動可能にしても良い。更には、引出し方向は、移動レール部に直交する方向に限らず斜め方向などでも良く、回動動作も９０度に限らず任意の角度範囲であっても良い。
また、フィルムユニットＦが装備される樹脂封止装置は、被成形品供給ユニットＡと成形品供給ユニットＢとが分離するように構成されているが、これらを一体に備えた樹脂封止装置であっても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００４１】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂封止装置を用いると、プレス部奥側に配設されたフィルム供給部又はフィルム巻取り部が、プレス部より離反可能に設けられているので、フィルムローラの着脱スペースが確保できて作業性が良い。また、プレス部奥側のフィルム供給部又はフィルム巻取り部は、ローダー及びアンローダーが通過する空きスペースを利用して移動レール部と干渉しない高さで装置奥側に引き出せるので、装置が必要以上に大型化することもない。また、プレス手前側に設けられたフィルム供給部又はフィルム巻取り部のうち固定側を、支点を中心に回動可能に設けたので、装置外壁や隣接する装置により作業空間が失われることがなく、フィルムローラの交換作業がやり易い。
また、供給側補助ローラ又は巻取り側補助ローラには回転数検出部を各々備え、該回転数検出部の検出信号に応じてフィルム供給ローラ又はフィルム巻取りローラを回転駆動する駆動源の回転数を制御すると、リリースフィルムの送り量、テンションの調整が行え、フィルム搬送動作を安定させる上で望ましい。
また、フィルム供給部及びフィルム巻取り部には、リリースフィルムを金型面より離反させるよう移動可能なガイドローラが各々設けられていると、リリースフィルムの送り動作がスムーズに行え、該リリースフィルムが金型面と摺接して傷付かないため再利用が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図２】図１の樹脂封止装置の右側面図である。
【図３】プレス部へのフィルムユニットの装着例を示す平面図である。
【図４】フィルムユニットの構成を示す平面図及び正面図である。
【図５】フィルム供給部の拡大平面図である。
【図６】図５の矢印Ｐ−Ｐ方向の断面図である。
【図７】フィルム供給部の拡大正面図である。
【図８】図７の矢印Ｑ方向から見た側面図である。
【図９】図７の矢印Ｒ−Ｒ方向の断面図である。
【図１０】フィルム巻取り部の正面図及び右側面図である。
【図１１】従来のフィルムユニットを備えた樹脂封止装置の平面図である。
【図１２】図１１の樹脂封止装置の右側面である。
【符号の説明】
Ａ 被成形品供給ユニット
Ｂ 成形品収納ユニット
Ｃ 増設レールユニット
Ｆ フィルムユニット
１ 基板供給部
２ 供給マガジン
３ ターンテーブル
４ 供給位置
５ 樹脂タブレット供給部
６ タブレットホルダー
７、２４、３１ プレス部
８ モールド金型
９ 供給側台座部
１０ リリースフィルム
１１ フィルム供給部
１２ フィルム巻取り部
１３ 供給側移動レール部
１４ ローダー
１５ アンローダー
１６ 供給側吸引ダクト
１７ 集塵機
１８ 成形品取出部
１９ 移動テーブル
２０ ディゲート部
２１ 成形品収納部
２２ 成形品ピックアップ
２３ 収納マガジン
２５ 収納側台座部
２６ 収納側移動レール部
２７ 収納側吸引ダクト
２８ 増設側移動レール部
２９ 増設側台座部
２９ａ レール台座部
２９ｂ ベース台座部
３０ 増設側吸引ダクト
３２ レール支持部
３３ レールブロック
３４ 移動レール
３５ 制御ユニット
３６ 上型固定プラテン
３７ 支点軸
３８ フィルム供給ローラ
３９ 供給側補助ローラ
４０ フィルム巻取りローラ
４１ 巻取り側補助ローラ
４２ 供給側モータ
４３ 巻取り側モータ
４４ 供給側ガイドローラ
４５ 巻取り側ガイドローラ
４６、４７ 上下動シリンダ
４８ 供給側取付プレート
４９ レールロッド
５０ ロッド固定板
５１ 可動支持板
５２ 連結軸
５３、６９ フィルム支持板
５４ ロッド引出し板
５５ 引出し用ロッド
５６ ハンドル
５７、７１ 固定キー
５８ 可動取付板
５９、７３ ガイドロッド
６０、７４ 水平支持板
６１、７５ 調整ボルト
６２、７６ ストッパーねじ
６３、７７ ローラ取付板
６４ イオン噴射部
６５ 配線ガイド部
６６ 巻取り側取付プレート
６７ 支点軸プレート
７０ 固定支持板
７２ 固定取付板
７８ 固定ねじ
【発明の属する利用分野】
本発明はリリースフィルムを金型面に張設するフィルムユニットのフィルム供給部及びフィルム巻取り部が、プレス部手前側と奥側とに設けられた樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、実装基板の微細配線化、高集積化に伴い、半導体パッケージも小型化して高密度実装化しており、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ・Ｆｌａｔ・Ｎｏｎ−ｌｅａｄｅｄ）タイプのパッケージ、ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）タイプのパッケージ、ＣＳＰ（チップサイズパッケージ）などが実用化されている。例えば、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止したいという要請がある。この場合、樹脂封止装置のプレス部の金型面にリリースフィルムを張設するフィルムユニットが装備される。このフィルムムユニットを備えた樹脂封止装置の構成について、図１１及び図１２を参照して説明する。
【０００３】
図１１において、樹脂封止装置は、モールド金型１０１を備えたプレス部１０２を中心にしてその周囲に供給マガジン１０３に収納したリードフレーム、樹脂基板などの被成形品を供給テーブル１０４へ供給する被成形品供給部１０５、樹脂タブレットを貯蔵する保管部１０６、樹脂タブレットを整列供給するボウルフィーダ１０７及びリニアフィーダ１０８、及び樹脂タブレットを装填されて供給テーブル１０４へ供給するタブレットホルダー１０９を備えた樹脂タブレット供給部１１０、モールド金型１０１より取り出された成形品をゲートブレイクして不要樹脂を分離するディゲート部１１１、不要樹脂を分離した成形品を収納する収納マガジン１１２を備えた成形品収納部１１３、装置全体の動作を制御する制御部１１４などが設けられている。
【０００４】
被成形品及び樹脂タブレットは供給テーブル１０４へ供給されると、ローダー１１５に保持されて型開きしたモールド金型１０１へ搬入される。また、成形品はモールド金型１０１より離型されるとアンローダー１１６に保持され、アンローダ１１６は金型面をクリーニングしながら成形品をディゲート部１１１へ搬出する。アンローダー１１６は、ディゲート部１１１において基板の反りを防止するため成形品を押さえたまま保持し、成形品にエアーが吹き付けられて冷却される。そして、基板がツイストされて成形品と不要樹脂とが分離され、アンローダー１１６は成形品のみをディゲート部１１１に受け渡してから次の成形品を取り出すため移動する。上記ローダー１１５及びアンローダー１１６は、プレス部１０２の上方に架設されたガイドレール１１７を共用して移動するようになっており、ローダー１１５は供給テーブル１０４とモールド金型１０１との間、アンローダー１１６はモールド金型１０１とディゲート部１１１との間を各々往復移動するようになっている。
【０００５】
図１２において、１１８はフィルムユニットであり、モールド金型１０１のうち上型１０１ａにリリースフィルム１１９が張設されている。フィルムユニット１１８は上型１０１ａを支持固定する固定プラテン１２０に支持されている。フィルムユニット１１８は、プレス部１０２の手前側にフィルム供給部１２１が設けられ、奥側にフィルム巻取り部１２２が設けられており、フィルム供給ローラ及びフィルム巻取りローラを回転駆動することにより、リリースフィルム１１９をプレス部１０２の手前側から奥側へ（ローダー１１５及びアンローダー１１６の進退方向と直交する方向へ）に所定長さずつ搬送される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、モールド金型１０１を備えたプレス部１０２を中心にしてその周囲に被成形品供給部１０５、樹脂タブレット供給部１１０、ディゲート部１１１、成形品収納部１１３、制御部１１４などが設けられており、プレス部奥側に設けられたフィルムローラ（図１１ではフィルム巻取りローラ）に手が届き難いうえに該フィルムローラの着脱やメンテナンス作業を行う作業スペースに乏しい。また、リリースフィルム１１９は、ローダー１１５及びアンローダー１１６の進退方向と直交する方向に搬送されるためこれらとの干渉を回避し、しかもプレス部奥側に設けられたフィルムローラの着脱やメンテナンス作業を行う作業スペースを確保するため、図１２に示すように装置外形が高さ方向に大型化し易く、スペース効率が低下する。
また、ローダー１１５及びアンローダー１１６を共用してプレス部１０２に一方側から進退するようにしてプレス部１０２の周囲に作業スペースを設けるとしても、被成形品や樹脂タブレットの搬入経路や成形品の搬出経路が複雑になるため、プレス部の増設などの装置の拡張改変は困難になる。
【０００７】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、装置を大型化することなく、しかも十分な作業スペースを確保して、プレス部にフィルムユニットを着脱可能な樹脂封止装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
即ち、被成形品供給部より被成形品及び封止樹脂がローダーに保持されてプレス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダーに保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行われる樹脂封止装置であって、前記プレス部手前側及び奥側の一方側にフィルム供給部が配設され、他方側にフィルム巻取り部が配設され、前記フィルム供給部より繰り出されたリリースフィルムが前記フィルム巻取り部に巻き取られることで当該リリースフィルムを金型面に張設するフィルムユニットの前記プレス部奥側に配設された前記フィルム供給部又はフィルム巻取り部が、前記プレス部より離反する向きにスライド可能に設けられ、前記プレス部手前側に配設された前記フィルム巻取り部又はフィルム供給部が、前記プレス部に対して支点を中心に回動可能に設けられていることを特徴とする。
【０００９】
また、ローダー及びアンローダーがプレス部奥側で移動レール部に沿って移動し、該プレス部奥側に配設されたフィルム供給部又はフィルム巻取り部が、プレス部より離反して前記移動レール部の上方に引出し可能に設けられていることを特徴とする。
また、フィルム供給部には、リリースフィルムを巻回したフィルム供給ローラと該フィルム供給ローラより繰出されるリリースフィルムに一定のテンションを付与する供給側補助ローラとを備え、フィルム巻取り部には、リリースフィルムを巻き取るフィルム巻取りローラと該フィルム巻取りローラに巻き取られるリースフィルムに一定のテンションを付与する巻取り側補助ローラとを備えているのが望ましい。
この場合、供給側又は巻取り側の補助ローラには回転数検出部を備え、該回転数検出部の検出信号に応じてフィルム供給ローラ及びフィルム巻取りローラを回転駆動する駆動源の回転数を制御すると、リリースフィルムの送り量、テンションの調整が行え、フィルム搬送動作を安定させる上で望ましい。
また、フィルム供給部及びフィルム巻取り部には、リリースフィルムを金型面より離反させるよう移動可能なガイドローラが各々設けられていると、リリースフィルムの送り動作がスムーズに行え、該リリースフィルムが金型面と摺接して傷付かないため再利用が可能になる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。本実施例においては、樹脂封止装置は、被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を成形品取出部へ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して樹脂封止するように構成されており、増設レールユニットにプレス部を搭載して増設した装置構成を示す。
図１は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図、図２は図１の樹脂封止装置の右側面図、図３はプレス部へのフィルムユニットの装着例を示す平面図、図４は（ａ）（ｂ）はフィルムユニットの構成を示す平面図及び正面図、図５はフィルム供給部の拡大平面図、図６は図５の矢印Ｐ−Ｐ方向の断面図、図７はフィルム供給部の拡大正面図、図８は図７の矢印Ｑ方向から見た側面図、図９は図７の矢印Ｒ−Ｒ方向の断面図、図１０（ａ）（ｂ）はフィルム巻取り部の正面図及び右側面図である。
【００１１】
先ず、樹脂封止装置の概略構成について図１及び図２を参照して説明する。樹脂封止装置は被成形品部である被成形品供給ユニットＡと成形品収納部である成形品収納ユニットＢとの間に各種機能を備えた増設レールユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。以下、各ユニットの構成について説明する。
【００１２】
［被成形品供給ユニットＡ］
図１において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。
５は樹脂タブレット供給部であり、樹脂タブレットを送り出すリニアフィーダ（図示せず）から樹脂タブレットをタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を供給位置まで移動して供給する。
【００１３】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けられており、モールド金型８にリリースフィルム１０を張設するフィルムユニットＦが取付け可能になっている。尚、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにプレス部を備えた場合にも、フィルムユニットＦを同様に取付可能になっている（図示せず）。
【００１４】
フィルムユニットＦは、プレス部７の奥側にフィルム供給部１１、手前側にフィルム巻取り部１２が各々設けられている。本実施例ではプレス部奥側に設けられたフィルム供給部１１は、プレス部７より離反して引出し可能に設けられている。また、プレス部手前側に設けられたフィルム巻取り部１２は、プレス部７に固定されており、支点軸３７を中心に回動可能に設けられている（図２参照）。リリースフィルム１０は、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止したり、複数チップを一括成形する場合などに好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の加熱温度に耐えられる耐熱性を有するもので、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。リリースフィルム１０は、上型８ａのパーティング面に形成された吸着穴よりエアーを吸引することで、金型面に密着して張設される。尚、プレス部７は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部７の代わりに必要に応じて供給側台座部９に他の機能部を搭載しても良い。被成形品供給ユニットＡの台座幅を狭くしてプレス部７を省略しても良い。また、インラインのように外部から被成形品が供給される場合には、被成形品供給ユニットＡに設けられた供給部、整列部等は省略しても良い。
【００１５】
１３は供給側移動レール部であり、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、プレス部奥側側に設けられた供給側移動レール部１３を含む移動レール部を所要位置へ移動してプレス部７含む所要のプレス部に一方向（プレス部奥側）から進退移動するようになっている。供給側移動レール部１３は、他のユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１の右側）に延出部１３ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部１３ｂが設けられている。
【００１６】
１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レールユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になっている。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００１７】
[成形品収納ユニットＢ]
図１において、１８は成形品取出部であり、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品を下方に待機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダ１５は、成形品を移動テーブル１９へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル１９は成形品を載置してディゲート部２０へ搬送する。ディゲート部２０は、移動テーブル１９へ載置されて搬送された成形品を押えて冷却すると共に基板をツイストすることによりゲートブレイクし不要樹脂を分離する。不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。移動テーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ搬送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１９に搬送された成形品を成形品ピックアップ２２により一端保持する。そして、移動テーブル１９が成形品取出部１８へ向かって移動すると、下方に設けられた収納マガジン２３へ必要に応じて旋回して向きを揃えて収納する。
【００１８】
２４はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部２４は、収納側台座部２５に設けられており、フィルムユニットＦなどを設けることも可能である。尚、プレス部２４は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部２４の代わりに必要に応じて収納側台座部２５に他の機能部を搭載しても良い。また、成形品収納ユニットＢの台座幅を狭くしてプレス部２４を省略しても良い。また、インラインのように外部へ成形品が搬出される場合には、成形品収納ユニットＢに設けられたディゲート部、収納部等は省略しても良い。
【００１９】
２６は収納側移動レール部であり、プレス部２４へ被成形品及び樹脂タブレットを搬入するローダー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。収納側移動レール部２６は、他の増設レールユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１の右側）に延出部２６ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部２６ｂが設けられている。
【００２０】
２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダクト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結しており、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。アンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す際に、ローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設けられた集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００２１】
[増設レールユニットＣ]
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。図１は増設レールユニットＣに機能部としてプレス部が搭載されている状態を示す。２８は増設側移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可能になっている（図１参照）。増設側移動レール部２８は、他の増設レールユニットＣや被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢとの接続用に一方側端（図１の右側）に延出部２８ａが設けられ、他方側端（図１の左側）に空隙部２８ｂが設けられている。
【００２２】
図２において、２９は増設側台座部であり、増設側移動レール部２８を支持すると共にプレス部３１やフィルムユニット１０などの様々な機能を有する機能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。尚、増設レールユニットＣごと他の増設レールユニットＣに変更することは可能であるが、各種機能部の大きさを考慮しておけば、該機能部だけの交換も可能である。
【００２３】
また、増設側移動レール部２８には増設側吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンローダー１５のローダー側吸引ダクトに接続可能なダクト連結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３０は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側移動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設けられた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２７間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介して各々連結して集塵機１７へ連通するようになっている（図１参照）。
【００２４】
図２において、増設側台座部２９は、レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとを備えており、ベース台座部２９ｂには、プレス部３１が搭載されている。レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとは一体に形成されていても或いは分離可能に構成されていても良い。分離可能にした場合には、機能部の大きさによってはベース台座部２９ｂの長さＬを変更すればよいという利点がある。尚、ここでは、長さＬは機能部であるフィルムユニットＦの大きさに合わせて設定されている。
【００２５】
レール台座部２９ａには、増設側移動レール部２８が搭載されている。増設側移動レール部２８には、レール支持部３２の上にレールブロック３３が固定されている。レールブロック３３の幅方向（図２の左右方向）両側には、移動レール３４が位置決め固定されている。また、レール支持部３２には、ダクト保持部３２ａが設けられており、増設側吸引ダクト３０が移動レール３４に沿って保持されている。移動レール３４の高さ位置は、ローダー１４及びアンローダー１５に備えた進退機構のモールド金型８への進退位置に合わせて設けられており、レール台座２９ａ上にスペーサーなどを介在させてレール支持部３２の高さを調節できるようになっている。また、レール台座部２９ａには、ベース台座部２９ｂに搭載される機能部の制御ユニット（本実施例ではプレス部及びフィルムユニットの制御ユニット）３５が設けられている。
【００２６】
ローダー１４及びアンローダー１５は、被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのいずれかのレール支持部３２に設けられた駆動軸に回転駆動される駆動側プーリと従動側プーリとの間に掛け渡されたタイミングベルトに各々連繋しており、図示しない駆動源により各駆動軸を所定方向に回転駆動させることにより移動レール３４上を各ユニット間にわたって移動するようになっている。
また、ベース台座部２９ｂには、プレス部３１が搭載されている。プレス部３１には、モールド金型８を開閉する公知の型開閉機構や、キャビティへ封止樹脂に樹脂圧を加えながら送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。
【００２７】
本実施例では、図１に示すように、プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣを被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に２台分増設してスペースを形成している。増設レールユニットＣと被成形品供給ユニットＡとは、増設側移動レール部２８と供給側移動レール部１３とが、空隙部２８ｂに延出部１３ａが嵌め込まれて連結しており、供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。また、増設レールユニットＣと成形品収納ユニットＢとは、延出部２８ａが空隙部２６ｂに嵌め込まれて連結しており、増設側吸引ダクト３０のダクト連結部３０ａに収納側吸引ダクト２７の一端が連結している。また、増設レールユニットＣどうしは、一方（図１の左側）の延出部２８ａが他方の空隙部２８ｂに嵌め込まれて連結しており、一方のダクト連結部３０ａに他方の増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。
【００２８】
ここで、各プレス部に装着可能なフィルムユニットＦの構成について図３〜図１０を参照して説明する。
先ず、フィルムユニットＦの配置構成の一例を図３に示す。図３ではプレス部が３台並んで併設されている。フィルムユニットＦは、プレス部７、プレス部２４、プレス部３１のいずれか又は全てのプレス部に着脱自在に装着される。各プレス部には、プレス部奥側にフィルム供給部１１、プレス部手前側にフィルム巻取り部１２が各々設けられている。フィルム供給部１１は、図４（ｂ）の２点鎖線に示すように、上型固定プラテン３６より離反して移動レール部１３、２８、２６上を引出し可能に設けられている。また、フィルム巻取り部１２は、上型固定プラテン３６に支点軸３７を中心に回動可能に設けられている。
【００２９】
次に各部の構成について具体的に説明する。
図４（ａ）（ｂ）において、フィルム供給部１１は、リリースフィルムＦを巻回したフィルム供給ローラ３８と該フィルム供給ローラ３８より繰出されるリリースフィルムＦに一定のテンションを付与する供給側補助ローラ３９が設けられている。また、フィルム巻取り部１２には、リリースフィルムＦを巻き取るフィルム巻取りローラ４０と該フィルム巻取りローラ４０に巻き取られるリリースフィルムＦに一定のテンションを付与する巻取り側補助ローラ４１とを備えている。
【００３０】
供給側補助ローラ３９又は巻取り側の補助ローラ４１には、エンコーダなどの回転数検出部（図示せず）を各々備えており、該回転数検出部の検出信号に応じてフィルム供給ローラ３８又はフィルム巻取りローラ４０を回転駆動する供給側モータ４２又は巻取り側モータ４３の回転数を制御するようになっている。これにより、ロール径が変化してもリリースフィルムＦの送り量、テンションの調整が行え、フィルム搬送動作を安定させる上で望ましい。
【００３１】
また、フィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２には、リリースフィルムＦを金型面（上型面）より離反させるよう上下動可能な供給側ガイドローラ４４及び巻取り側ガイドローラ４５が２個ずつ設けられている。供給側ガイドローラ４４及び巻取り側ガイドローラ４５は、上下動シリンダ４６、４７により上下動してリリースフィルム１０が上型面と接離するようになっている。リリースフィルム１０を所定量送る場合、上下動シリンダ４６、４７を作動させて上型面より離間させて行うことにより、リリースフィルム１０の送り動作がスムーズに行え、リリースフィルム１０が傷付かないため再利用が可能になる。
【００３２】
フィルム供給部１１は、プレス部奥側に装備されるため、新たなフィルムロールを装着（又は交換）する場合には、手が届き難く作業スペースに乏しい。そこで、本実施例ではフィルム供給部１１は、移動レール部１３、２８、２６の上方の空きスペースを利用して、装置奥側へ引き出せるようになっている。以下、その構成について具体的に説明する。
【００３３】
図５において、フィルム供給部１１は、供給側取付プレート４８を介して上型固定プラテン３６に着脱自在に装着されている。供給側取付プレート４８の両側にはレールロッド４９の一端が各々固定されており、他端はロッド固定板５０に各々連結されている。両側レールロッド４９には、可動支持板５１が軸方向にスライド可能に各々連繋しており、可動支持板５１間には連結軸５２が架設されている。
この連結軸５２には、図７に示すようにフィルム支持板５３が連繋しており、該フィルム支持板５３にフィルム供給ローラ３８や供給側モータ４２が取付けられている（図４（ａ）参照）。
【００３４】
また、図６に示すように、連結軸５２にはロッド引出し板５４が連繋しており、ロッド引出し板５４には引出し用ロッド５５が挿通してその一端側のねじ部分がねじ嵌合により連繋している（図９参照）。引出し用ロッド５５の一端は、供給側取付けプレート４８にねじ嵌合により固定されている。また、引出し用ロッド５５の他端側はロッド固定板５０を挿通して設けられ、他端にはハンドル５６が設けられている。このハンドル５６を回すことにより、引出し用ロッド５５の一端側を供給側取付けプレート４８に対して固定／固定解除するようになっている。引出しロッド５５を図７の右側に引き出すことにより、ロッド引出し板５４、連結軸５２を介して連繋した可動支持板５１及びフィルム支持板５３が両側レールロッド４９に沿ってスライドし、フィルム供給部１１が移動レール部を超えて装置奥側に引き出される。この可動支持板５１の移動範囲は、フィルム支持板５３の一部がロッド固定板５０に突き当たることで規定される。
【００３５】
図７及び図８において、両側可動支持板５１は、連結軸５２に固定キー５７により回り止めして固定されている。また、両側可動支持板５１の下端部には可動取付板５８が架設されており、該可動取付板５８の長手方向中央部には上下動シリンダ４６が両端側にはガイドロッド５９が各々固定されている。
上下動シリンダ４６のシリンダロッド先端は水平支持板６０に連繋しており、上下動シリンダ４６を作動させると、水平支持板６０が上下動するようになっている。また、可動取付板５８には調整ボルト６１の一端側が固定されており、他端側は水平支持板６０を挿通して設けられている。調整ボルト６１の上下に螺合するストッパーねじ６２の間隔を調整することで、水平支持板６０の可動範囲を調整できるようになっている。水平支持板６０の両側にはローラ取付板６３が垂設されており、ローラ取付板６３間に供給側ガイドローラ４４が回動自在に取り付けられている。また、ローラ取付板６３には、リリースフィルム１０にイオン風を吹き付けて静電気を解消するイオン噴射部６４が取付けられている。これにより、リリースリスフィルム１０が帯電して静電気障害が生ずるのを防止している。また、図８において、可動支持板５１には電装ワイヤやエアチューブなどの配線群が交錯しないように引き出すため、配線ガイド部６５が設けられている。
【００３６】
次にフィルム巻取り部１２の構成について図１０（ａ）（ｂ）を参照して説明する。図１０（ａ）において、フィルム巻取り部１２は、巻取り側取付プレート６６を介して上型固定プラテン３６に着脱自在に装着されている。巻取り側取付プレート６６の両側には支点軸プレート６７が延設されており、該支点軸プレート６７間には支点軸３７が架設されている。この支点軸３７には、図１０（ｂ）に示すようにフィルム支持板６９が連繋しており、該フィルム支持板６９にフィルム巻取りローラ４０や巻取り側モータ４３が取付けられている。
【００３７】
また、図１０（ｂ）において、支点軸３７の両端側には固定支持板７０が支点軸プレート６７に近接して連繋している。固定支持板７０は、支点軸３７に対して固定キー７１により回り止めして固定されている。また、両側固定支持板７０の下端部には固定取付板７２が架設されており、該固定取付板７２の長手方向中央部には上下動シリンダ４７が固定されており、両端側にはガイドロッド７３が各々固定されている。
上下動シリンダ４７のシリンダロッド先端は水平支持板７４に連繋しており、上下動シリンダ４７を作動させると、水平支持板７４が上下動するようになっている。また、固定取付板７２には調整ボルト７５の一端側が固定されており、他端側は水平支持板７４を挿通して設けられている。調整ボルト７５の上下に螺合するストッパーねじ７６の間隔を調整することで、水平支持板７４の可動範囲を調整できるようになっている。水平支持板７４の両側にはローラ取付板７７が垂設されており、ローラ取付板７７間に巻取り側ガイドローラ４５が回動自在に取り付けられている。
【００３８】
支点軸３７に連繋する固定支持板７０は、支点軸プレート６７の両側から固定ねじ７８を固定支持板７０にねじ嵌合することで、支点軸プレート６７に対して固定されている。固定ねじ７８を取り外すことにより、フィルム支持板６９や固定支持板７０を図１０（ａ）の２点鎖線に示すように支点軸３７を中心に略９０度回転することができる。この回転位置で、再び固定ねじ７８を支点軸プレート６７の両側から取り付けることにより、フィルム巻取り部１２を回転位置で固定して、リリースフィルム１０を巻き取ったフィルム巻取りローラ４０を交換することができる。よって、装置外壁や隣接する装置によりフィルム巻取りローラ４０を交換作業が妨げられることがなく作業性が良い。
また、プレス部手前側のフィルム巻取り部１２（或いはフィルム供給部１１）をプレス部に対して回動可能に設けると、チェイス交換タイプのモールド金型８の場合、金型チェイス８ｂを引き出す際に邪魔にならず好都合である（図２参照）。
【００３９】
上記構成によれば、プレス部奥側に設けられたフィルム供給部１１を、プレス部より離反して引出し可能に設けられているので、フィルム供給ローラ３８の着脱スペースが確保できて作業性が良い。また、フィルム供給部１１は、ローダー１４及びアンローダー１５が通過する空きスペースを利用して移動レール部と干渉しない高さで装置奥側に引き出せるので、装置が必要以上に大型化することもない。また、プレス手前側に設けられたフィルム巻取り部１２を、支点軸３７を中心に回動可能に設けられているので、装置外壁や隣接する装置により作業空間が失われることがなく、リリースフィルム１０が巻き取られたフィルム巻取りローラ４０の交換作業がやり易い。
また、供給側補助ローラ３９又は巻取り側補助ローラ４１には回転数検出部を各々備え、該回転数検出部の検出信号に応じてフィルム供給ローラ３８又はフィルム巻取りローラ４０を回転駆動する供給側モータ４２又は巻取り側モータ４３の回転数を制御すると、リリースフィルム１０の送り量、テンションの調整が行え、フィルム搬送動作を安定させる上で望ましい。尚、回転数検出部は、供給側補助ローラ３９及び巻取り側補助ローラ４１の両方に設けてあっても良い。
また、フィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２には、リリースフィルム１０を金型面より離反させるよう移動可能な供給可動ガイドローラが各々設けられていると、リリースフィルムの送り動作がスムーズに行え、該リリースフィルムが金型面と摺接して傷付かないため再利用が可能になる。
【００４０】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、プレス部の手前側にフィルム供給部１１を奥側にフィルム巻取り部１２を各々設けて、該フィルム巻取り部１２が移動レール部を超えて移動可能に設け、フィルム供給部１１を支点軸を中心に回動可能に設けても良い。
また、支点軸３７に替えて巻取り側取付プレート６６又は供給側取付プレート４８にヒンジを設け、該ヒンジを支点としてフィルム巻取りローラ４０又はフィルム供給ローラ３８を回動可能に取付けても良い。例えば、図４（ａ）の巻取り側取付プレート６６の両端に支点ヒンジを設け、フィルム巻取りローラ４０を９０度回動可能に取付けても良い。
また、フィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２は、引出し又は回動のいずれかの移動動作に限定されるものではなく、これらの組み合わせでも良い。また、プレス部の手前側及び奥側のいずれを引出し或いは回動可能にしても良い。更には、引出し方向は、移動レール部に直交する方向に限らず斜め方向などでも良く、回動動作も９０度に限らず任意の角度範囲であっても良い。
また、フィルムユニットＦが装備される樹脂封止装置は、被成形品供給ユニットＡと成形品供給ユニットＢとが分離するように構成されているが、これらを一体に備えた樹脂封止装置であっても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００４１】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂封止装置を用いると、プレス部奥側に配設されたフィルム供給部又はフィルム巻取り部が、プレス部より離反可能に設けられているので、フィルムローラの着脱スペースが確保できて作業性が良い。また、プレス部奥側のフィルム供給部又はフィルム巻取り部は、ローダー及びアンローダーが通過する空きスペースを利用して移動レール部と干渉しない高さで装置奥側に引き出せるので、装置が必要以上に大型化することもない。また、プレス手前側に設けられたフィルム供給部又はフィルム巻取り部のうち固定側を、支点を中心に回動可能に設けたので、装置外壁や隣接する装置により作業空間が失われることがなく、フィルムローラの交換作業がやり易い。
また、供給側補助ローラ又は巻取り側補助ローラには回転数検出部を各々備え、該回転数検出部の検出信号に応じてフィルム供給ローラ又はフィルム巻取りローラを回転駆動する駆動源の回転数を制御すると、リリースフィルムの送り量、テンションの調整が行え、フィルム搬送動作を安定させる上で望ましい。
また、フィルム供給部及びフィルム巻取り部には、リリースフィルムを金型面より離反させるよう移動可能なガイドローラが各々設けられていると、リリースフィルムの送り動作がスムーズに行え、該リリースフィルムが金型面と摺接して傷付かないため再利用が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図２】図１の樹脂封止装置の右側面図である。
【図３】プレス部へのフィルムユニットの装着例を示す平面図である。
【図４】フィルムユニットの構成を示す平面図及び正面図である。
【図５】フィルム供給部の拡大平面図である。
【図６】図５の矢印Ｐ−Ｐ方向の断面図である。
【図７】フィルム供給部の拡大正面図である。
【図８】図７の矢印Ｑ方向から見た側面図である。
【図９】図７の矢印Ｒ−Ｒ方向の断面図である。
【図１０】フィルム巻取り部の正面図及び右側面図である。
【図１１】従来のフィルムユニットを備えた樹脂封止装置の平面図である。
【図１２】図１１の樹脂封止装置の右側面である。
【符号の説明】
Ａ 被成形品供給ユニット
Ｂ 成形品収納ユニット
Ｃ 増設レールユニット
Ｆ フィルムユニット
１ 基板供給部
２ 供給マガジン
３ ターンテーブル
４ 供給位置
５ 樹脂タブレット供給部
６ タブレットホルダー
７、２４、３１ プレス部
８ モールド金型
９ 供給側台座部
１０ リリースフィルム
１１ フィルム供給部
１２ フィルム巻取り部
１３ 供給側移動レール部
１４ ローダー
１５ アンローダー
１６ 供給側吸引ダクト
１７ 集塵機
１８ 成形品取出部
１９ 移動テーブル
２０ ディゲート部
２１ 成形品収納部
２２ 成形品ピックアップ
２３ 収納マガジン
２５ 収納側台座部
２６ 収納側移動レール部
２７ 収納側吸引ダクト
２８ 増設側移動レール部
２９ 増設側台座部
２９ａ レール台座部
２９ｂ ベース台座部
３０ 増設側吸引ダクト
３２ レール支持部
３３ レールブロック
３４ 移動レール
３５ 制御ユニット
３６ 上型固定プラテン
３７ 支点軸
３８ フィルム供給ローラ
３９ 供給側補助ローラ
４０ フィルム巻取りローラ
４１ 巻取り側補助ローラ
４２ 供給側モータ
４３ 巻取り側モータ
４４ 供給側ガイドローラ
４５ 巻取り側ガイドローラ
４６、４７ 上下動シリンダ
４８ 供給側取付プレート
４９ レールロッド
５０ ロッド固定板
５１ 可動支持板
５２ 連結軸
５３、６９ フィルム支持板
５４ ロッド引出し板
５５ 引出し用ロッド
５６ ハンドル
５７、７１ 固定キー
５８ 可動取付板
５９、７３ ガイドロッド
６０、７４ 水平支持板
６１、７５ 調整ボルト
６２、７６ ストッパーねじ
６３、７７ ローラ取付板
６４ イオン噴射部
６５ 配線ガイド部
６６ 巻取り側取付プレート
６７ 支点軸プレート
７０ 固定支持板
７２ 固定取付板
７８ 固定ねじ
Claims (5)
- 被成形品供給部より被成形品及び封止樹脂がローダーに保持されてプレス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダーに保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行われる樹脂封止装置であって、
前記プレス部手前側及び奥側の一方側にフィルム供給部が配設され、他方側にフィルム巻取り部が配設され、前記フィルム供給部より繰り出されたリリースフィルムが前記フィルム巻取り部に巻き取られることで当該リリースフィルムを金型面に張設するフィルムユニットの前記プレス部奥側に配設された前記フィルム供給部又はフィルム巻取り部が、前記プレス部より離反する向きにスライド可能に設けられ、前記プレス部手前側に配設された前記フィルム巻取り部又はフィルム供給部が、前記プレス部に対して支点を中心に回動可能に設けられていることを特徴とする樹脂封止装置。 - 前記ローダー及びアンローダーが前記プレス部奥側で移動レール部に沿って移動し、該プレス部奥側に配設された前記フィルム供給部又はフィルム巻取り部が、前記プレス部より離反して前記移動レール部の上方に引出し可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。
- 前記フィルム供給部には、前記リリースフィルムを巻回したフィルム供給ローラと該フィルム供給ローラより繰出されるリリースフィルムに一定のテンションを付与する供給側補助ローラとを備え、前記フィルム巻取り部には、前記リリースフィルムを巻き取るフィルム巻取りローラと該フィルム巻取りローラに巻き取られるリリースフィルムに一定のテンションを付与する巻取り側補助ローラとを備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の樹脂封止装置。
- 前記供給側補助ローラ又は巻取り側補助ローラには回転数検出部を備え、該回転数検出部の検出信号に応じて前記フィルム供給ローラ及びフィルム巻取りローラを回転駆動する駆動源の回転数を制御することを特徴とする請求項３記載の樹脂封止装置。
- 前記フィルム供給部及びフィルム巻取り部には、リリースフィルムを金型面より離反させるよう移動可能なガイドローラが各々設けられていることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の樹脂封止装置。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000120997A JP4347991B2 (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 樹脂封止装置 |
| TW090109113A TW509615B (en) | 2000-04-21 | 2001-04-17 | Resin molding machine and resin tablet feeding machine |
| EP01303591A EP1147870B1 (en) | 2000-04-21 | 2001-04-19 | Resin molding machine |
| DE60144161T DE60144161D1 (de) | 2000-04-21 | 2001-04-19 | Harzformmaschine |
| EP04029271A EP1514662B1 (en) | 2000-04-21 | 2001-04-19 | Resin molding machine |
| DE60132127T DE60132127D1 (de) | 2000-04-21 | 2001-04-19 | Harzformmaschine |
| US09/838,240 US6814556B2 (en) | 2000-04-21 | 2001-04-20 | Resin molding machine and resin tablet feeding machine |
| KR10-2001-0021377A KR100427519B1 (ko) | 2000-04-21 | 2001-04-20 | 수지 몰딩 장치 및 수지 타블렛 이송 장치 |
| CNB2004100956825A CN100363166C (zh) | 2000-04-21 | 2001-04-20 | 树脂注塑机 |
| SG200102217A SG89391A1 (en) | 2000-04-21 | 2001-04-20 | Resin molding machine and resin tablet feeding machine |
| CNB011214287A CN1199776C (zh) | 2000-04-21 | 2001-04-20 | 树脂注塑机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000120997A JP4347991B2 (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 樹脂封止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001300974A JP2001300974A (ja) | 2001-10-30 |
| JP4347991B2 true JP4347991B2 (ja) | 2009-10-21 |
Family
ID=18631717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000120997A Expired - Lifetime JP4347991B2 (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 樹脂封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4347991B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5342576B2 (ja) * | 2011-02-18 | 2013-11-13 | 株式会社日本製鋼所 | 旋回可能な下ユニットを備えた転写フィルム送り装置 |
| JP6158142B2 (ja) * | 2014-07-17 | 2017-07-05 | 株式会社日本製鋼所 | 旋回可能な上ユニットを備えた転写フィルム送り装置 |
-
2000
- 2000-04-21 JP JP2000120997A patent/JP4347991B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001300974A (ja) | 2001-10-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW528711B (en) | Transfer for tray feeder | |
| EP1514662B1 (en) | Resin molding machine | |
| JPH0821790B2 (ja) | ロータリーヘッド式電子部品実装装置 | |
| JP4347991B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
| JP2012020446A (ja) | 樹脂モールド装置 | |
| JP4327986B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
| JP4017265B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
| JP5274849B2 (ja) | 樹脂成形装置 | |
| JP4327985B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
| CN113478960B (zh) | 一种可90°旋转的烫金设备 | |
| JP3519463B2 (ja) | 被プレス材の搬送供給機構 | |
| JPS6283964A (ja) | テ−ピング部品の自動補充装置 | |
| JP4362296B2 (ja) | ワーク搬入装置及び樹脂封止装置 | |
| CN209955488U (zh) | 一种丝网印刷机的快速出料结构 | |
| CN109094919A (zh) | 标签进出料装置和集成电路用晶圆贴标签设备 | |
| CN218360375U (zh) | 一种便捷调节式电子产品贴片机 | |
| JP4078231B2 (ja) | 成形品収納装置及び樹脂封止装置 | |
| US20230113479A1 (en) | Injection Molding System | |
| KR19980019658A (ko) | 성형 프레스의 타블렛 이송장치 | |
| JP6412776B2 (ja) | 樹脂モールド装置 | |
| WO2022172518A1 (ja) | 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 | |
| JP2000164612A (ja) | 樹脂封止装置 | |
| JP3699801B2 (ja) | 半導体製造部品供給機構 | |
| KR100380837B1 (ko) | 반도체 제조용 커버레이 제거장치 | |
| JP4366796B2 (ja) | 部品装着装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070215 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090407 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090512 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090617 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090714 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090717 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4347991 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130724 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130724 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |