JP4327986B2 - 樹脂封止装置 - Google Patents
樹脂封止装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4327986B2 JP4327986B2 JP2000121022A JP2000121022A JP4327986B2 JP 4327986 B2 JP4327986 B2 JP 4327986B2 JP 2000121022 A JP2000121022 A JP 2000121022A JP 2000121022 A JP2000121022 A JP 2000121022A JP 4327986 B2 JP4327986 B2 JP 4327986B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molded product
- unit
- press
- gate break
- storage unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Description
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明は被成形品供給部より被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を成形品収納部へ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して移動することにより樹脂封止する樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置として用いられる樹脂封止装置には、被成形品供給部よりローダーにより被成形品がプレス部に搬入され、アンローダーにより成形品がプレス部より取出されて成形品収納部へ収納されるようになっている。
【０００３】
この成形品収納部の構成について、図５を参照して説明すると、アンローダー１０１には成形品１０７を保持するチャック機構１０２のほかに、ゲートブレイク機構や成形品を冷却するため圧縮空気を噴出する冷却機構（図示せず）などが装備されている。アンローダー１０１はプレス部１０３より成形品１０７を保持してディゲート部１０４に搬送して公知のバタフライ機構を有するフレーム保持パレットに載置する（特開平３−２９０２１８号参照）。フレーム保持パレットは、移動テーブル（図示せず）上に載置されている。
【０００４】
アンローダー１０１は成形品１０７を保持したままフレーム保持パレット上に押さえて基板の反りを押えつつ冷却機構により冷却した後、該フレーム保持パレットの両側を上方に押しあげられて、成形品ゲート部分に応力を集中させてゲートブレイクが行われる。ゲートブレイクが行われると、成形品ゲート・ランナなどの不要樹脂は下方に落下してスクラップボックスへ回収され、成形品１０７のみがアンローダー１０１のチャック機構１０２より移動プレートに受け渡される。アンローダー１０１は成形品を受け渡すと、上昇して次の成形品取出し動作に備える。
【０００５】
移動テーブルは、成形品１０７を載置したまま成形品収納部１０５へ搬送し、一旦成形品ピックアップ（図示せず）により保持された後、移動テーブルがディゲート部１０４へ移動すると、成形品ピックアップより成形品１０７を必要に応じて回転して収納マガジン１０６へ向きを揃えて収納していた（実開平２−８５１１４号公報、特開平６−１４３３２７号公報参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体パッケージの生産調整や多品種少量生産の要請に伴い、プレス部をモジュール化して増減可能な樹脂封止装置が開発され実用化されている。このため、半導体パッケージの生産量を増やす場合には、プレス部から取出された成形品の迅速な収納動作が求められている。
【０００７】
図５に示す樹脂封止装置の場合、アンローダー１０１がチャック機構１０２のほかに、ゲートブレイク機構や冷却機構を備えているため、ゲートブレイク動作を行うために時間がかかり、プレス部１０３を増設する場合には、樹脂封止動作にアンローダー１０１の成形品取出動作が追従できないという不具合が生ずる。
また、アンローダー１０１は、チャック機構１０２、ゲートブレイク機構及び冷却機構をなどを備え重量が増大しているうえに、プレス部１０３の増加に伴って移動量が増えるとサイクルタイムが遅延するうえに故障が発生し易い。
また、実装基板の微細配線化、高集積化に伴い、半導体パッケージも小型化して高密度実装化しており、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ・Ｆｌａｔ・Ｎｏｎ−ｌｅａｄｅｄ）のようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）タイプ、フリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止するため、プレス部１０３にリリースフィルムを張設するフィルムユニットを装着する場合がある。この場合、アンローダー１０１が重量化して複雑化した構成であると、このフィルムユニットとの干渉を避けて型開きしたプレス部１０３に進入する必要があり、移動量が増えるうえに故障も発生し易い。
また、成形品ピックアップがディゲート部１０４に移動してゲートブレイク後の成形品を取出すようにしても、成形品ピックアップのディゲート位置と成形品収納位置との間を移動させる移動機構がコストアップの要因となる。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、成形品の取出し収納動作を高速に処理して、プレス部の増設に伴う成形品の増産に対応可能にした樹脂封止装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
即ち、被成形品供給部から被成形品及び樹脂タブレットを保持してプレス部へ搬入するローダーと、プレス部から成形品を保持して成形品収納部へ取り出すアンローダーとが、移動レール部を共用して移動し所要のプレス部に一方向から進退動することにより樹脂封止が行われ、前記被成形品供給部と前記成形品収納部との間に増設レールユニットを増設してプレス部を増設可能な樹脂封止装置であって、前記成形品収納部は、前記プレス部より取出された前記成形品の受け渡しのみを行う前記アンローダーから該成形品を受け渡される成形品取出部と、前記成形品取出部から移送された前記成形品のゲートブレイクが行われるディゲート部と、前記ディゲート部から移送された前記成形品を揃えて収納する成形品収納部と、前記成形品取出部から前記ディゲート部を経て前記成形品収納部までの間を直線的に設けられたガイドレールに沿って往復移動する移送手段とを備え、前記移送手段は、前記成形品取出部において前記アンローダーから成形品を受け渡されるとバタフライ機構を備えたゲートブレイクトレイに載置したまま移動テーブルが、前記成形品取出部から前記ディゲート部を経て前記成形品収納部へ移動し、前記ディゲート部において、成形品カルが上下クランプ機構によりクランプされて冷却されるとともに、前記ゲートブレイクトレイを成形品カル側近傍の支点を中心に両側へ各々回動させてゲートブレイクが行なわれて不要樹脂が除去され、成形品のみが前記ゲートブレイクトレイに載置されたまま前記成形品収納部へ移送されることを特徴とする。
また、前記移動テーブルは、不要樹脂を回収するゲートブレイクボックスの上に前記ゲートブレイクトレイが幅方向中央部に設けられた支点を中心に両側へ各々回動可能に軸支されていることを特徴とする。
また、前記成形品収納部には、前記ゲートブレイクトレイに載置されたまま移送された成形品をピックアップして保持し、収納マガジンに収納可能な成形品ピックアップが上下動可能かつ旋回可能に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。樹脂封止装置は、被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を成形品取出部へ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して樹脂封止するように構成されている。
図１は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図、図２は成形品収納ユニットの部分平面図、図３は図２の成形品収納ユニットの左側面図、図４は図２の成形品収納ユニットの正面図である。
【００１１】
図１において、先ず樹脂封止装置の概略構成について説明する。樹脂封止装置は被成形品供給部である被成形品供給ユニットＡと成形品収納部である成形品収納ユニットＢとの間に各種機能を備えた増設レールユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、該台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。以下各部の構成について説明する。
【００１２】
［被成形品供給ユニットＡ］
図１において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。
５は樹脂タブレット供給部であり、樹脂タブレットを送り出すリニアフィーダ（図示せず）から樹脂タブレットをタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を供給位置まで移動して供給する。
【００１３】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けられており、モールド金型８にリリースフィルム１０を張設するフィルムユニットＦが取付け可能になっている。尚、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにプレス部を備えた場合にも、フィルムユニットＦを同様に取付可能になっている（図示せず）。
【００１４】
フィルムユニットＦは、プレス部７の奥側にフィルム供給部１１、手前側にフィルム巻取り部１２を備えており、リリースフィルム１０は移動レール部と直交する方向に張設されている。リリースフィルム１０は、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止したり、複数チップを一括成形する場合などに好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の加熱温度に耐えられる耐熱性を有するもので、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８のパーティング面に形成された吸着穴よりエアーを吸引することで、金型面に密着して張設される。尚、プレス部７は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部７の代わりに必要に応じて供給側台座部９に他の機能部を搭載しても良い。被成形品供給ユニットＡの台座幅を狭くしてプレス部７を省略しても良い。また、インラインのように外部から被成形品が供給される場合には、被成形品供給ユニットＡに設けられた供給部、整列部等は省略しても良い。
【００１５】
１３は供給側移動レール部であり、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、供給側移動レール部１３を含む移動レール部を所要位置へ移動してプレス部７含む所要のプレス部に一方向から進退移動するようになっている。供給側移動レール部１３は、他のユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１の右側）に延出部１３ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部１３ｂが設けられている。
【００１６】
１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レールユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になっている。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００１７】
[成形品収納ユニットＢ]
図１において、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品は、成形品取出部１８に待機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダー１５は、チャック機構やクリーニング機構及び吸引機構などが設けられているが、ゲートブレイク機構や冷却機構などは省略され、軽量化が図られている。よって、アンローダー１５は成形品を移送手段として設けた移動テーブル１９へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル１９は、アンローダー１５より成形品が受け渡されると、成形品取出部１８から成形品のゲートブレイクが行われるディゲート部２０を経て、成形品が収納される成形品収納部２１までの間を往復移動する。ディゲート部２０において、移動テーブル１９のゲートブレイクトレイ３９上に載置されて移送された成形品は、成形品クランプ機構によりクランプされて冷却されると共に、ゲートブレイクトレイ３９（図３参照）と共に基板両側を回動させることによりゲートブレイクが行われ不要樹脂が分離される。分離された不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。次いで、移動テーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ移送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１９により移送された成形品は、成形品ピックアップ２２により一旦保持される。そして、移動テーブル１９が成形品取出部１８へ向かって移動すると、成形品ピックアップ２２は必要に応じて旋回して、下方に設けられた収納マガジン２３へ下動して向きを揃えて成形品を収納する。
【００１８】
２４はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部２４は、収納側台座部２５に設けられており、フィルムユニットＦなどを設けることも可能である。尚、プレス部２４は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部２４の代わりに必要に応じて収納側台座部２５に他の機能部を搭載しても良い。また、成形品収納ユニットＢの台座幅を狭くしてプレス部２４を省略しても良い。また、インラインのように外部へ成形品が搬出される場合には、成形品収納ユニットＢに設けられたディゲート部、収納部等は省略しても良い。
【００１９】
２６は収納側移動レール部であり、プレス部２４へ基板及び樹脂タブレットを搬入するローダー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。収納側移動レール部２６は、他のユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１の右側）に延出部２６ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部２６ｂが設けられている。
【００２０】
２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダクト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結しており、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。アンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設けられた集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００２１】
[増設レールユニットＣ]
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。２８は増設側移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可能になっている（図１参照）。増設側移動レール部２８は、他の増設レールユニットＣや被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢとの接続用に一方側端（図１の右側）に延出部２８ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部２８ｂが設けられている。
【００２２】
２９は増設側台座部であり、増設側移動レール部２８を支持すると共にプレス部３１やフィルムユニット１０などの様々な機能を有する機能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。尚、増設レールユニットＣごと他の増設レールユニットＣに変更することは可能であるが、各種機能部の大きさを考慮しておけば、該機能部だけの交換も可能である。
また、増設側台座部２９には、レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとを備えており、レール台座部２９ａは増設側移動レール部２８を支持しており、ベース台座部２９ｂは、プレス部３１を支持している。レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとは一体に形成されていても或いは分離可能に構成されていても良い。
【００２３】
また、増設側移動レール部２８には増設側吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンローダー１５のアンローダー側吸引ダクトに接続可能なダクト連結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３０は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側移動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設けられた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２７間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介して各々連結して集塵機１７へ連通するようになっている（図１参照）。
【００２４】
本実施例では、図１に示すように、プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣを被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に２台分増設してスペースを形成している。増設レールユニットＣと被成形品供給ユニットＡとは、増設側移動レール部２８と供給側移動レール部１３とが、空隙部２８ｂに延出部１３ａが嵌め込まれて連結しており、供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。また、増設レールユニットＣと成形品収納ユニットＢとは、延出部２８ａが空隙部２６ｂに嵌め込まれて連結しており、増設側吸引ダクト３０のダクト連結部３０ａに収納側吸引ダクト２７の一端が連結している。また、増設レールユニットＣどうしは、一方（図１の左側）の延出部２８ａが他方の空隙部２８ｂに嵌め込まれて連結しており、一方のダクト連結部３０ａに他方の増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。
【００２５】
［成形品収納ユニットＢの詳細説明］
ここで、成形品収納ユニットＢの各部の構成について図２〜図４を参照して説明する。図２において、収納側台座部２５には、成形品取出部１８、ディゲート部２０及び成形品収納部２１は、直線的に配置されている。成形品は、移動テーブル１９に載置されて、成形品取出部１８からディゲート部２０を経て成形品収納部２１にわたって両側に直線状に設けられたガイドレール３２に沿ってテーブル移動用シリンダ３３により往復移動するようになっている。ガイドレール３２には、成形品取出位置及び成形品収納位置に対応した端部ストッパー３４ａ、３４ｂ、ディゲート位置に対応した中間ストッパー３５が設けられており、各位置で移動テーブル１９が突き当たって停止するようになっている。中間ストッパー３５はストッパー上下シリンダ３６に連繋しており、必要に応じて移動テーブル１９の通過位置に進退するようになっている。ストッパー上下シリンダ３６は、サイドフレーム３７に取付けられている。
【００２６】
図３において、移動テーブル１９にはゲートブレイクボックス３８が搭載されており、該ゲートブレイクボックス３８上にはゲートブレイクトレイ３９が搭載されている。このゲートブレイクトレイ３９に成形品が搭載されてディゲート部２０へ移送される。ゲートブレイクトレイ３９は幅方向中央部側（成形品カル側）に設けられた支点を中心に回動可能に軸支されたバタフライ機構を備えている。ゲートブレイクトレイ３９の回動によりゲートブレイクされた成形品カル及び成形品ランナゲートを含む不要樹脂は、ゲートブレイクボックス３８を経て下方のスクラップボックスへ落下して回収される。
【００２７】
図４において、ディゲート部２０には、ゲートブレイクトレイ３９に載置されてゲートブレイク位置に移送された成形品の成形品カルをクランプする成形品クランプ機構が上下に設けられている。４０は上クランプ機構であり、カル押え上プレート４１を含む上可動部４２を上下動可能に具備している。上可動部４２は、上フレーム４３に設けられた上可動部作動シリンダ４４に連繋している。該上可動部作動シリンダ４４を作動させると、上可動部本体４６に上フレーム４３を挿通して設けられたガイドロッド４５に案内されて上可動部４２は上下動する。また上可動部本体４６にはカル押え上シリンダ４７が設けられており、該カル押え上シリンダ４７のシリンダロッドはカル押え上プレート４１に連繋している。カル押え上シリンダ４７を作動するとカル押え上プレート４１が上下動するようになっている。カル押え上プレート４１には、成形品を冷却するための圧縮空気を噴出するエアーノズル（図示せず）が設けられている。
【００２８】
図４において、ガイドレール３２の下方には下クランプ機構４８が設けられている。下クランプ機構４８には、ベースプレート４９上にレール方向両側にカル押え下シリンダ５０が設けられている。カル押え下シリンダ５０のシリンダロッドには、カル押え下プレート５１が連繋支持されている。また、カル押え下プレート５１には、トレイ押動シリンダ５２が設けられており、該トレイ押動シリンダ５２のシリンダロッド先端には押当ローラ５３が回動自在に取付けられている。トレイ押動シリンダ５２を作動させると、シリンダロッドが上動して押当ローラ５３がゲートブレイクトレイ３９に突き当たって押動し、該ゲートブレイクトレイ３９が成形品カル側近傍の支点を中心に回動するようになっている。
【００２９】
ゲートブレイク位置に移送された成形品は、上下クランプ機構４０、４８により、成形品カルがカル押え上下プレート４１、５１によりクランプされた状態で、トレイ押動シリンダ５２を作動させて押当ローラ５３によりゲートブレイクトレイ３９の両側を押動して回動させてゲートブレイクが行われる。そして、ゲートブレイクトレイ３９の押動を解除し、カル押え上下プレート４１、５１を上下に離間させると成形品カルなどの不要樹脂は下方に落下して回収される。
【００３０】
図３において、成形品収納部２１には成形品ピックアップ２２が設けられている。成形品ピックアップ２２には以下に述べるように上下動機構と旋回機構が一体に装備されている。上フレーム４３には支持プレート５４が水平方向に吊下げ支持されている。この支持プレート５４には、上下動用のチャック用シリンダ５５及び収納用シリンダ５６が取付支持されている。これらチャック用シリンダ５５及び収納用シリンダ５６のシリンダロッドは、ピックアップ本体５７に連繋している。また収納用シリンダ５６のシリンダロッドはスプリング５６ａにより常時上方に付勢されている。ピックアップ本体５７の本体プレート５８には、ガイドロッド５９が支持プレート５４及び上フレーム４３を挿通して設けられている。また、本体プレート５８には、旋回用の回動アクチュエータ６０が一体に設けられている。また、回動アクチュエータ６０の下方には成形品押さえ板６１及び該押さえ板６１より下方に突出して成形品をチャックする開閉チャック爪６２が２個併設されている。ピックアップ本体５７は、チャック用シリンダ５５又は収納用シリンダ５６を作動させるとガイドロッド５９にガイドされて上下動し、回動アクチュエータ６０を作動させると押さえ板６１及び開閉チャック爪６２が１８０度ずつ回動可能になっている。図３及び図４において、収納マガジン２３はエレベーション機構６３により、下方のマガジンより順次上方のマガジンへ収納するよう高さ位置が可変に支持されている。
【００３１】
成形品は移動プレート１９のゲートブレイクトレイ３９に搭載されたまま収納位置に移送されると、チャック用シリンダ５５を作動しピックアップ本体５７をゲートブレイクトレイ３９の上まで下動させて、開閉チャック爪６２によりチャックされてピックアップ本体５７を一旦上動して待機させる。そして、移動プレート１９が再度収納位置より成形品取出位置に向かって退避すると、収納用シリンダ５６を作動させてピックアップ本体５７を収納マガジン２３の上まで下動させて、開閉チャック爪６２に保持した成形品のうち一方を開放して収納する。そして、ピックアップ本体５７を上動させて回動アクチュエータ６０により１８０度回転させてから、収納用シリンダ５６を作動させてピックアップ本体５７を同一の収納マガジン２３の上まで下動させて開閉チャック爪６２に保持した残りの成形品を開放して収納する。尚、２つの収納マガジン２３に同時に収納する場合には、回動アクチュエータ６０の回動動作は省略できる。
【００３２】
上記構成によれば、アンローダー１５がプレス部より成形品を取出して成形品取出部１８に待機する移動テーブル１９に該成形品の受け渡しのみを行うため、従来アンローダー１５に一体に装備されていたゲートブレイク機構や冷却機構などを省略できるので、軽量化が実現でき、高速移動が可能になった。また、アンローダー１５が成形品を移動テーブル１９に受け渡すだけで次の成形品の取出し動作に移行できるので、マシンサイクルを高速化できるうえに、増設レールユニットＣを増設してプレス部の数を増やしても、成形品収納動作が追従できるため、半導体パッケージの増産にも対応可能となる。
また、移動テーブル１９が成形品取出部１８に待機してアンローダー１５より成形品を受け渡され、該成形品取出部１８からディゲート部２０を経て、成形品が収納される成形品収納部２１までの間を往復移動する構成のほうが、成形品ピックアップなどを移動させる構造より簡素化でき、安価に製造可能である。
また、増設レールユニットＣにはプレス部に限らず他の機能部を搭載できるので、装置の拡張性（多機能化）や汎用性を高めることができる。
【００３３】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、増設レールユニットに搭載される機能部の種類は例示したものに限定されず他の機能部でも良い。また、移動テーブル１９に設けられたゲートブレイクトレイ３９や成形品ピックアップ２２は２個どり用のものを例示したが、モールド金型８の交換に合わせて適宜交換可能である。
また、フィルムユニットＦが装備される樹脂封止装置は、被成形品供給ユニットＡと成形品供給ユニットＢとが分離するように構成されているが、これらを一体に備えた樹脂封止装置であっても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００３４】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂封止装置を用いると、アンローダーがプレス部より成形品を取出して成形品取出部に待機する移送手段に受け渡しのみを行うため、従来アンローダーに一体に装備されていたゲートブレイク機構や冷却機構などを省略できるので、軽量化が実現でき高速移動が可能になった。また、アンローダーが成形品を成形品取出部に受け渡すだけで次の成形品の取出し動作に移行できるので、マシンサイクルを高速化できるうえに、プレス部の数を増やしても成形品収納動作が追従できるため、半導体パッケージの増産にも対応可能となる。
また、移送手段がアンローダーより成形品を受け渡され、成形品取出部からディゲート部を経て、成形品が収納される成形品収納部までの間を往復移動する構成のほうが、成形品ピックアップなどを移動させる構造より簡素化でき、安価に製造可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図２】成形品収納ユニットの部分平面図である。
【図３】図２の成形品収納ユニットの左側面図である。
【図４】図２の成形品収納ユニットの正面図である。
【図５】従来の樹脂封止装置の平面図である。
【符号の説明】
Ａ 被成形品供給ユニット
Ｂ 成形品収納ユニット
Ｃ 増設レールユニット
Ｆ フィルムユニット
１ 基板供給部
２ 供給マガジン
３ ターンテーブル
４ 供給位置
５ 樹脂タブレット供給部
６ タブレットホルダー
７、１４、２４ プレス部
８ モールド金型
９ 供給側台座部
１０ リリースフィルム
１１ フィルム供給部
１２ フィルム巻取り部
１３ 供給側移動レール部
１４ ローダー
１５ アンローダー
１６ 供給側吸引ダクト
１７ 集塵機
１８ 成形品取出部
１９ 移動テーブル
２０ ディゲート部
２１ 成形品収納部
２２ 成形品ピックアップ
２３ 収納マガジン
２４ プレス部
２５ 収納側台座部
２６ 収納側移動レール部
２７ 収納側吸引ダクト
２８ 増設側移動レール部
２９ 増設側台座部
２９ａ レール台座部
２９ｂ ベース台座部
３０ 増設側吸引ダクト
３１ プレス部
３２ ガイドレール
３３ テーブル移動用シリンダ
３４ａ、３４ｂ 端部ストッパー
３５ 中間ストッパー
３６ ストッパー上下シリンダ
３７ サイドフレーム
３８ ゲートブレイクボックス
３９ ゲートブレイクトレイ
４０ 上クランプ機構
４１ カル押え上プレート
４２ 上可動部
４３ 上フレーム
４４ 上可動部作動シリンダ
４５、５９ ガイドロッド
４６ 上可動部本体
４７ カル押え上シリンダ
４８ 下クランプ機構
４９ ベースプレート
５０ カル押え下シリンダ
５１ カル押え下プレート
５２ トレイ押動シリンダ
５３ 押当ローラ
５４ 支持プレート
５５ チャック用シリンダ
５６ 収納用シリンダ
５７ ピックアップ本体
５８ 本体プレート
６０ 回動アクチュエータ
６１ 押さえ板
６２ 開閉チャック爪
６３ エレベーション機構
【発明の属する利用分野】
本発明は被成形品供給部より被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を成形品収納部へ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して移動することにより樹脂封止する樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置として用いられる樹脂封止装置には、被成形品供給部よりローダーにより被成形品がプレス部に搬入され、アンローダーにより成形品がプレス部より取出されて成形品収納部へ収納されるようになっている。
【０００３】
この成形品収納部の構成について、図５を参照して説明すると、アンローダー１０１には成形品１０７を保持するチャック機構１０２のほかに、ゲートブレイク機構や成形品を冷却するため圧縮空気を噴出する冷却機構（図示せず）などが装備されている。アンローダー１０１はプレス部１０３より成形品１０７を保持してディゲート部１０４に搬送して公知のバタフライ機構を有するフレーム保持パレットに載置する（特開平３−２９０２１８号参照）。フレーム保持パレットは、移動テーブル（図示せず）上に載置されている。
【０００４】
アンローダー１０１は成形品１０７を保持したままフレーム保持パレット上に押さえて基板の反りを押えつつ冷却機構により冷却した後、該フレーム保持パレットの両側を上方に押しあげられて、成形品ゲート部分に応力を集中させてゲートブレイクが行われる。ゲートブレイクが行われると、成形品ゲート・ランナなどの不要樹脂は下方に落下してスクラップボックスへ回収され、成形品１０７のみがアンローダー１０１のチャック機構１０２より移動プレートに受け渡される。アンローダー１０１は成形品を受け渡すと、上昇して次の成形品取出し動作に備える。
【０００５】
移動テーブルは、成形品１０７を載置したまま成形品収納部１０５へ搬送し、一旦成形品ピックアップ（図示せず）により保持された後、移動テーブルがディゲート部１０４へ移動すると、成形品ピックアップより成形品１０７を必要に応じて回転して収納マガジン１０６へ向きを揃えて収納していた（実開平２−８５１１４号公報、特開平６−１４３３２７号公報参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体パッケージの生産調整や多品種少量生産の要請に伴い、プレス部をモジュール化して増減可能な樹脂封止装置が開発され実用化されている。このため、半導体パッケージの生産量を増やす場合には、プレス部から取出された成形品の迅速な収納動作が求められている。
【０００７】
図５に示す樹脂封止装置の場合、アンローダー１０１がチャック機構１０２のほかに、ゲートブレイク機構や冷却機構を備えているため、ゲートブレイク動作を行うために時間がかかり、プレス部１０３を増設する場合には、樹脂封止動作にアンローダー１０１の成形品取出動作が追従できないという不具合が生ずる。
また、アンローダー１０１は、チャック機構１０２、ゲートブレイク機構及び冷却機構をなどを備え重量が増大しているうえに、プレス部１０３の増加に伴って移動量が増えるとサイクルタイムが遅延するうえに故障が発生し易い。
また、実装基板の微細配線化、高集積化に伴い、半導体パッケージも小型化して高密度実装化しており、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ・Ｆｌａｔ・Ｎｏｎ−ｌｅａｄｅｄ）のようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）タイプ、フリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止するため、プレス部１０３にリリースフィルムを張設するフィルムユニットを装着する場合がある。この場合、アンローダー１０１が重量化して複雑化した構成であると、このフィルムユニットとの干渉を避けて型開きしたプレス部１０３に進入する必要があり、移動量が増えるうえに故障も発生し易い。
また、成形品ピックアップがディゲート部１０４に移動してゲートブレイク後の成形品を取出すようにしても、成形品ピックアップのディゲート位置と成形品収納位置との間を移動させる移動機構がコストアップの要因となる。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、成形品の取出し収納動作を高速に処理して、プレス部の増設に伴う成形品の増産に対応可能にした樹脂封止装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
即ち、被成形品供給部から被成形品及び樹脂タブレットを保持してプレス部へ搬入するローダーと、プレス部から成形品を保持して成形品収納部へ取り出すアンローダーとが、移動レール部を共用して移動し所要のプレス部に一方向から進退動することにより樹脂封止が行われ、前記被成形品供給部と前記成形品収納部との間に増設レールユニットを増設してプレス部を増設可能な樹脂封止装置であって、前記成形品収納部は、前記プレス部より取出された前記成形品の受け渡しのみを行う前記アンローダーから該成形品を受け渡される成形品取出部と、前記成形品取出部から移送された前記成形品のゲートブレイクが行われるディゲート部と、前記ディゲート部から移送された前記成形品を揃えて収納する成形品収納部と、前記成形品取出部から前記ディゲート部を経て前記成形品収納部までの間を直線的に設けられたガイドレールに沿って往復移動する移送手段とを備え、前記移送手段は、前記成形品取出部において前記アンローダーから成形品を受け渡されるとバタフライ機構を備えたゲートブレイクトレイに載置したまま移動テーブルが、前記成形品取出部から前記ディゲート部を経て前記成形品収納部へ移動し、前記ディゲート部において、成形品カルが上下クランプ機構によりクランプされて冷却されるとともに、前記ゲートブレイクトレイを成形品カル側近傍の支点を中心に両側へ各々回動させてゲートブレイクが行なわれて不要樹脂が除去され、成形品のみが前記ゲートブレイクトレイに載置されたまま前記成形品収納部へ移送されることを特徴とする。
また、前記移動テーブルは、不要樹脂を回収するゲートブレイクボックスの上に前記ゲートブレイクトレイが幅方向中央部に設けられた支点を中心に両側へ各々回動可能に軸支されていることを特徴とする。
また、前記成形品収納部には、前記ゲートブレイクトレイに載置されたまま移送された成形品をピックアップして保持し、収納マガジンに収納可能な成形品ピックアップが上下動可能かつ旋回可能に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。樹脂封止装置は、被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を成形品取出部へ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して樹脂封止するように構成されている。
図１は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図、図２は成形品収納ユニットの部分平面図、図３は図２の成形品収納ユニットの左側面図、図４は図２の成形品収納ユニットの正面図である。
【００１１】
図１において、先ず樹脂封止装置の概略構成について説明する。樹脂封止装置は被成形品供給部である被成形品供給ユニットＡと成形品収納部である成形品収納ユニットＢとの間に各種機能を備えた増設レールユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、該台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。以下各部の構成について説明する。
【００１２】
［被成形品供給ユニットＡ］
図１において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。
５は樹脂タブレット供給部であり、樹脂タブレットを送り出すリニアフィーダ（図示せず）から樹脂タブレットをタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を供給位置まで移動して供給する。
【００１３】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けられており、モールド金型８にリリースフィルム１０を張設するフィルムユニットＦが取付け可能になっている。尚、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにプレス部を備えた場合にも、フィルムユニットＦを同様に取付可能になっている（図示せず）。
【００１４】
フィルムユニットＦは、プレス部７の奥側にフィルム供給部１１、手前側にフィルム巻取り部１２を備えており、リリースフィルム１０は移動レール部と直交する方向に張設されている。リリースフィルム１０は、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止したり、複数チップを一括成形する場合などに好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の加熱温度に耐えられる耐熱性を有するもので、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８のパーティング面に形成された吸着穴よりエアーを吸引することで、金型面に密着して張設される。尚、プレス部７は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部７の代わりに必要に応じて供給側台座部９に他の機能部を搭載しても良い。被成形品供給ユニットＡの台座幅を狭くしてプレス部７を省略しても良い。また、インラインのように外部から被成形品が供給される場合には、被成形品供給ユニットＡに設けられた供給部、整列部等は省略しても良い。
【００１５】
１３は供給側移動レール部であり、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、供給側移動レール部１３を含む移動レール部を所要位置へ移動してプレス部７含む所要のプレス部に一方向から進退移動するようになっている。供給側移動レール部１３は、他のユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１の右側）に延出部１３ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部１３ｂが設けられている。
【００１６】
１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レールユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になっている。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００１７】
[成形品収納ユニットＢ]
図１において、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品は、成形品取出部１８に待機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダー１５は、チャック機構やクリーニング機構及び吸引機構などが設けられているが、ゲートブレイク機構や冷却機構などは省略され、軽量化が図られている。よって、アンローダー１５は成形品を移送手段として設けた移動テーブル１９へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル１９は、アンローダー１５より成形品が受け渡されると、成形品取出部１８から成形品のゲートブレイクが行われるディゲート部２０を経て、成形品が収納される成形品収納部２１までの間を往復移動する。ディゲート部２０において、移動テーブル１９のゲートブレイクトレイ３９上に載置されて移送された成形品は、成形品クランプ機構によりクランプされて冷却されると共に、ゲートブレイクトレイ３９（図３参照）と共に基板両側を回動させることによりゲートブレイクが行われ不要樹脂が分離される。分離された不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。次いで、移動テーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ移送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１９により移送された成形品は、成形品ピックアップ２２により一旦保持される。そして、移動テーブル１９が成形品取出部１８へ向かって移動すると、成形品ピックアップ２２は必要に応じて旋回して、下方に設けられた収納マガジン２３へ下動して向きを揃えて成形品を収納する。
【００１８】
２４はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部２４は、収納側台座部２５に設けられており、フィルムユニットＦなどを設けることも可能である。尚、プレス部２４は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部２４の代わりに必要に応じて収納側台座部２５に他の機能部を搭載しても良い。また、成形品収納ユニットＢの台座幅を狭くしてプレス部２４を省略しても良い。また、インラインのように外部へ成形品が搬出される場合には、成形品収納ユニットＢに設けられたディゲート部、収納部等は省略しても良い。
【００１９】
２６は収納側移動レール部であり、プレス部２４へ基板及び樹脂タブレットを搬入するローダー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。収納側移動レール部２６は、他のユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１の右側）に延出部２６ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部２６ｂが設けられている。
【００２０】
２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダクト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結しており、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。アンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設けられた集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００２１】
[増設レールユニットＣ]
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。２８は増設側移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可能になっている（図１参照）。増設側移動レール部２８は、他の増設レールユニットＣや被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢとの接続用に一方側端（図１の右側）に延出部２８ａが設けられ、他方側端（図１の左側）にレールの長さを短くして生じた空隙部２８ｂが設けられている。
【００２２】
２９は増設側台座部であり、増設側移動レール部２８を支持すると共にプレス部３１やフィルムユニット１０などの様々な機能を有する機能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。尚、増設レールユニットＣごと他の増設レールユニットＣに変更することは可能であるが、各種機能部の大きさを考慮しておけば、該機能部だけの交換も可能である。
また、増設側台座部２９には、レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとを備えており、レール台座部２９ａは増設側移動レール部２８を支持しており、ベース台座部２９ｂは、プレス部３１を支持している。レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとは一体に形成されていても或いは分離可能に構成されていても良い。
【００２３】
また、増設側移動レール部２８には増設側吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンローダー１５のアンローダー側吸引ダクトに接続可能なダクト連結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３０は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側移動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設けられた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２７間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介して各々連結して集塵機１７へ連通するようになっている（図１参照）。
【００２４】
本実施例では、図１に示すように、プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣを被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に２台分増設してスペースを形成している。増設レールユニットＣと被成形品供給ユニットＡとは、増設側移動レール部２８と供給側移動レール部１３とが、空隙部２８ｂに延出部１３ａが嵌め込まれて連結しており、供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。また、増設レールユニットＣと成形品収納ユニットＢとは、延出部２８ａが空隙部２６ｂに嵌め込まれて連結しており、増設側吸引ダクト３０のダクト連結部３０ａに収納側吸引ダクト２７の一端が連結している。また、増設レールユニットＣどうしは、一方（図１の左側）の延出部２８ａが他方の空隙部２８ｂに嵌め込まれて連結しており、一方のダクト連結部３０ａに他方の増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。
【００２５】
［成形品収納ユニットＢの詳細説明］
ここで、成形品収納ユニットＢの各部の構成について図２〜図４を参照して説明する。図２において、収納側台座部２５には、成形品取出部１８、ディゲート部２０及び成形品収納部２１は、直線的に配置されている。成形品は、移動テーブル１９に載置されて、成形品取出部１８からディゲート部２０を経て成形品収納部２１にわたって両側に直線状に設けられたガイドレール３２に沿ってテーブル移動用シリンダ３３により往復移動するようになっている。ガイドレール３２には、成形品取出位置及び成形品収納位置に対応した端部ストッパー３４ａ、３４ｂ、ディゲート位置に対応した中間ストッパー３５が設けられており、各位置で移動テーブル１９が突き当たって停止するようになっている。中間ストッパー３５はストッパー上下シリンダ３６に連繋しており、必要に応じて移動テーブル１９の通過位置に進退するようになっている。ストッパー上下シリンダ３６は、サイドフレーム３７に取付けられている。
【００２６】
図３において、移動テーブル１９にはゲートブレイクボックス３８が搭載されており、該ゲートブレイクボックス３８上にはゲートブレイクトレイ３９が搭載されている。このゲートブレイクトレイ３９に成形品が搭載されてディゲート部２０へ移送される。ゲートブレイクトレイ３９は幅方向中央部側（成形品カル側）に設けられた支点を中心に回動可能に軸支されたバタフライ機構を備えている。ゲートブレイクトレイ３９の回動によりゲートブレイクされた成形品カル及び成形品ランナゲートを含む不要樹脂は、ゲートブレイクボックス３８を経て下方のスクラップボックスへ落下して回収される。
【００２７】
図４において、ディゲート部２０には、ゲートブレイクトレイ３９に載置されてゲートブレイク位置に移送された成形品の成形品カルをクランプする成形品クランプ機構が上下に設けられている。４０は上クランプ機構であり、カル押え上プレート４１を含む上可動部４２を上下動可能に具備している。上可動部４２は、上フレーム４３に設けられた上可動部作動シリンダ４４に連繋している。該上可動部作動シリンダ４４を作動させると、上可動部本体４６に上フレーム４３を挿通して設けられたガイドロッド４５に案内されて上可動部４２は上下動する。また上可動部本体４６にはカル押え上シリンダ４７が設けられており、該カル押え上シリンダ４７のシリンダロッドはカル押え上プレート４１に連繋している。カル押え上シリンダ４７を作動するとカル押え上プレート４１が上下動するようになっている。カル押え上プレート４１には、成形品を冷却するための圧縮空気を噴出するエアーノズル（図示せず）が設けられている。
【００２８】
図４において、ガイドレール３２の下方には下クランプ機構４８が設けられている。下クランプ機構４８には、ベースプレート４９上にレール方向両側にカル押え下シリンダ５０が設けられている。カル押え下シリンダ５０のシリンダロッドには、カル押え下プレート５１が連繋支持されている。また、カル押え下プレート５１には、トレイ押動シリンダ５２が設けられており、該トレイ押動シリンダ５２のシリンダロッド先端には押当ローラ５３が回動自在に取付けられている。トレイ押動シリンダ５２を作動させると、シリンダロッドが上動して押当ローラ５３がゲートブレイクトレイ３９に突き当たって押動し、該ゲートブレイクトレイ３９が成形品カル側近傍の支点を中心に回動するようになっている。
【００２９】
ゲートブレイク位置に移送された成形品は、上下クランプ機構４０、４８により、成形品カルがカル押え上下プレート４１、５１によりクランプされた状態で、トレイ押動シリンダ５２を作動させて押当ローラ５３によりゲートブレイクトレイ３９の両側を押動して回動させてゲートブレイクが行われる。そして、ゲートブレイクトレイ３９の押動を解除し、カル押え上下プレート４１、５１を上下に離間させると成形品カルなどの不要樹脂は下方に落下して回収される。
【００３０】
図３において、成形品収納部２１には成形品ピックアップ２２が設けられている。成形品ピックアップ２２には以下に述べるように上下動機構と旋回機構が一体に装備されている。上フレーム４３には支持プレート５４が水平方向に吊下げ支持されている。この支持プレート５４には、上下動用のチャック用シリンダ５５及び収納用シリンダ５６が取付支持されている。これらチャック用シリンダ５５及び収納用シリンダ５６のシリンダロッドは、ピックアップ本体５７に連繋している。また収納用シリンダ５６のシリンダロッドはスプリング５６ａにより常時上方に付勢されている。ピックアップ本体５７の本体プレート５８には、ガイドロッド５９が支持プレート５４及び上フレーム４３を挿通して設けられている。また、本体プレート５８には、旋回用の回動アクチュエータ６０が一体に設けられている。また、回動アクチュエータ６０の下方には成形品押さえ板６１及び該押さえ板６１より下方に突出して成形品をチャックする開閉チャック爪６２が２個併設されている。ピックアップ本体５７は、チャック用シリンダ５５又は収納用シリンダ５６を作動させるとガイドロッド５９にガイドされて上下動し、回動アクチュエータ６０を作動させると押さえ板６１及び開閉チャック爪６２が１８０度ずつ回動可能になっている。図３及び図４において、収納マガジン２３はエレベーション機構６３により、下方のマガジンより順次上方のマガジンへ収納するよう高さ位置が可変に支持されている。
【００３１】
成形品は移動プレート１９のゲートブレイクトレイ３９に搭載されたまま収納位置に移送されると、チャック用シリンダ５５を作動しピックアップ本体５７をゲートブレイクトレイ３９の上まで下動させて、開閉チャック爪６２によりチャックされてピックアップ本体５７を一旦上動して待機させる。そして、移動プレート１９が再度収納位置より成形品取出位置に向かって退避すると、収納用シリンダ５６を作動させてピックアップ本体５７を収納マガジン２３の上まで下動させて、開閉チャック爪６２に保持した成形品のうち一方を開放して収納する。そして、ピックアップ本体５７を上動させて回動アクチュエータ６０により１８０度回転させてから、収納用シリンダ５６を作動させてピックアップ本体５７を同一の収納マガジン２３の上まで下動させて開閉チャック爪６２に保持した残りの成形品を開放して収納する。尚、２つの収納マガジン２３に同時に収納する場合には、回動アクチュエータ６０の回動動作は省略できる。
【００３２】
上記構成によれば、アンローダー１５がプレス部より成形品を取出して成形品取出部１８に待機する移動テーブル１９に該成形品の受け渡しのみを行うため、従来アンローダー１５に一体に装備されていたゲートブレイク機構や冷却機構などを省略できるので、軽量化が実現でき、高速移動が可能になった。また、アンローダー１５が成形品を移動テーブル１９に受け渡すだけで次の成形品の取出し動作に移行できるので、マシンサイクルを高速化できるうえに、増設レールユニットＣを増設してプレス部の数を増やしても、成形品収納動作が追従できるため、半導体パッケージの増産にも対応可能となる。
また、移動テーブル１９が成形品取出部１８に待機してアンローダー１５より成形品を受け渡され、該成形品取出部１８からディゲート部２０を経て、成形品が収納される成形品収納部２１までの間を往復移動する構成のほうが、成形品ピックアップなどを移動させる構造より簡素化でき、安価に製造可能である。
また、増設レールユニットＣにはプレス部に限らず他の機能部を搭載できるので、装置の拡張性（多機能化）や汎用性を高めることができる。
【００３３】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、増設レールユニットに搭載される機能部の種類は例示したものに限定されず他の機能部でも良い。また、移動テーブル１９に設けられたゲートブレイクトレイ３９や成形品ピックアップ２２は２個どり用のものを例示したが、モールド金型８の交換に合わせて適宜交換可能である。
また、フィルムユニットＦが装備される樹脂封止装置は、被成形品供給ユニットＡと成形品供給ユニットＢとが分離するように構成されているが、これらを一体に備えた樹脂封止装置であっても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００３４】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂封止装置を用いると、アンローダーがプレス部より成形品を取出して成形品取出部に待機する移送手段に受け渡しのみを行うため、従来アンローダーに一体に装備されていたゲートブレイク機構や冷却機構などを省略できるので、軽量化が実現でき高速移動が可能になった。また、アンローダーが成形品を成形品取出部に受け渡すだけで次の成形品の取出し動作に移行できるので、マシンサイクルを高速化できるうえに、プレス部の数を増やしても成形品収納動作が追従できるため、半導体パッケージの増産にも対応可能となる。
また、移送手段がアンローダーより成形品を受け渡され、成形品取出部からディゲート部を経て、成形品が収納される成形品収納部までの間を往復移動する構成のほうが、成形品ピックアップなどを移動させる構造より簡素化でき、安価に製造可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図２】成形品収納ユニットの部分平面図である。
【図３】図２の成形品収納ユニットの左側面図である。
【図４】図２の成形品収納ユニットの正面図である。
【図５】従来の樹脂封止装置の平面図である。
【符号の説明】
Ａ 被成形品供給ユニット
Ｂ 成形品収納ユニット
Ｃ 増設レールユニット
Ｆ フィルムユニット
１ 基板供給部
２ 供給マガジン
３ ターンテーブル
４ 供給位置
５ 樹脂タブレット供給部
６ タブレットホルダー
７、１４、２４ プレス部
８ モールド金型
９ 供給側台座部
１０ リリースフィルム
１１ フィルム供給部
１２ フィルム巻取り部
１３ 供給側移動レール部
１４ ローダー
１５ アンローダー
１６ 供給側吸引ダクト
１７ 集塵機
１８ 成形品取出部
１９ 移動テーブル
２０ ディゲート部
２１ 成形品収納部
２２ 成形品ピックアップ
２３ 収納マガジン
２４ プレス部
２５ 収納側台座部
２６ 収納側移動レール部
２７ 収納側吸引ダクト
２８ 増設側移動レール部
２９ 増設側台座部
２９ａ レール台座部
２９ｂ ベース台座部
３０ 増設側吸引ダクト
３１ プレス部
３２ ガイドレール
３３ テーブル移動用シリンダ
３４ａ、３４ｂ 端部ストッパー
３５ 中間ストッパー
３６ ストッパー上下シリンダ
３７ サイドフレーム
３８ ゲートブレイクボックス
３９ ゲートブレイクトレイ
４０ 上クランプ機構
４１ カル押え上プレート
４２ 上可動部
４３ 上フレーム
４４ 上可動部作動シリンダ
４５、５９ ガイドロッド
４６ 上可動部本体
４７ カル押え上シリンダ
４８ 下クランプ機構
４９ ベースプレート
５０ カル押え下シリンダ
５１ カル押え下プレート
５２ トレイ押動シリンダ
５３ 押当ローラ
５４ 支持プレート
５５ チャック用シリンダ
５６ 収納用シリンダ
５７ ピックアップ本体
５８ 本体プレート
６０ 回動アクチュエータ
６１ 押さえ板
６２ 開閉チャック爪
６３ エレベーション機構
Claims (3)
- 被成形品供給部から被成形品及び樹脂タブレットを保持してプレス部へ搬入するローダーと、プレス部から成形品を保持して成形品収納部へ取り出すアンローダーとが、移動レール部を共用して移動し所要のプレス部に一方向から進退動することにより樹脂封止が行われ、前記被成形品供給部と前記成形品収納部との間に増設レールユニットを増設してプレス部を増設可能な樹脂封止装置であって、
前記成形品収納部は、前記プレス部より取出された前記成形品の受け渡しのみを行う前記アンローダーから該成形品を受け渡される成形品取出部と、前記成形品取出部から移送された前記成形品のゲートブレイクが行われるディゲート部と、前記ディゲート部から移送された前記成形品を揃えて収納する成形品収納部と、前記成形品取出部から前記ディゲート部を経て前記成形品収納部までの間を直線的に設けられたガイドレールに沿って往復移動する移送手段とを備え、
前記移送手段は、前記成形品取出部において前記アンローダーから成形品を受け渡されるとバタフライ機構を備えたゲートブレイクトレイに載置したまま移動テーブルが、前記成形品取出部から前記ディゲート部を経て前記成形品収納部へ移動し、
前記ディゲート部において、成形品カルが上下クランプ機構によりクランプされて冷却されるとともに、前記ゲートブレイクトレイを成形品カル側近傍の支点を中心に両側へ各々回動させてゲートブレイクが行なわれて不要樹脂が除去され、成形品のみが前記ゲートブレイクトレイに載置されたまま前記成形品収納部へ移送されることを特徴とする樹脂封止装置。 - 前記移動テーブルは、不要樹脂を回収するゲートブレイクボックスの上に前記ゲートブレイクトレイが幅方向中央部に設けられた支点を中心に両側へ各々回動可能に軸支されていることを特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。
- 前記成形品収納部には、前記ゲートブレイクトレイに載置されたまま移送された成形品をピックアップして保持し、収納マガジンに収納可能な成形品ピックアップが上下動可能かつ旋回可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の樹脂封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000121022A JP4327986B2 (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 樹脂封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000121022A JP4327986B2 (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 樹脂封止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001300976A JP2001300976A (ja) | 2001-10-30 |
| JP4327986B2 true JP4327986B2 (ja) | 2009-09-09 |
Family
ID=18631738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000121022A Expired - Lifetime JP4327986B2 (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 樹脂封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4327986B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3609824B1 (ja) * | 2003-10-30 | 2005-01-12 | 第一精工株式会社 | 樹脂封止成形装置 |
| JP4791851B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2011-10-12 | Ｔｏｗａ株式会社 | 電子部品の樹脂封止成形装置 |
| JP4916810B2 (ja) * | 2006-08-07 | 2012-04-18 | 住友重機械工業株式会社 | 樹脂封止装置 |
| JP5359779B2 (ja) * | 2009-10-26 | 2013-12-04 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂タブレット供給装置及び樹脂封止装置 |
| JP5732669B2 (ja) * | 2010-08-12 | 2015-06-10 | アピックヤマダ株式会社 | ディゲート装置及びそれを備えた樹脂モールド装置 |
| JP5285737B2 (ja) * | 2011-04-15 | 2013-09-11 | Ｔｏｗａ株式会社 | 電子部品の樹脂封止成形方法及び樹脂封止成形装置 |
| JP2012044199A (ja) * | 2011-10-04 | 2012-03-01 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 樹脂封止装置 |
| JP7445974B2 (ja) * | 2020-10-20 | 2024-03-08 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂封止装置 |
| JP7430149B2 (ja) * | 2021-02-25 | 2024-02-09 | Ｔｏｗａ株式会社 | 樹脂成形装置および樹脂成形品の製造方法 |
-
2000
- 2000-04-21 JP JP2000121022A patent/JP4327986B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001300976A (ja) | 2001-10-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100221110B1 (ko) | 릴리스필름을 사용하는 자동몰드장치 | |
| US7153116B2 (en) | Resin molding machine | |
| JP4327986B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
| EP1514662B1 (en) | Resin molding machine | |
| JP7203414B2 (ja) | 樹脂供給取出装置、ワーク搬送装置及び樹脂モールド装置 | |
| KR101236878B1 (ko) | 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 및 취출하는 방법 및 장치 | |
| KR100675466B1 (ko) | 수지봉지 성형장치 | |
| JP4370041B2 (ja) | 樹脂タブレット供給装置及び樹脂封止装置 | |
| JP2000108159A (ja) | 樹脂封止装置 | |
| JP4037564B2 (ja) | 半導体装置封止装置 | |
| JP4327985B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
| JP3911402B2 (ja) | 半導体封止装置 | |
| JP5274849B2 (ja) | 樹脂成形装置 | |
| JP4362296B2 (ja) | ワーク搬入装置及び樹脂封止装置 | |
| JP4347932B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
| JPH07241874A (ja) | 電子部品の樹脂封止装置 | |
| KR102494911B1 (ko) | 수지 밀봉 장치 및 워크 반송 방법 | |
| JP4078231B2 (ja) | 成形品収納装置及び樹脂封止装置 | |
| JP4167049B2 (ja) | 半導体装置封止装置のキャリア駆動機構 | |
| JP4347991B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
| JP3699801B2 (ja) | 半導体製造部品供給機構 | |
| JP4058357B2 (ja) | ヒートスプレッダー搬送装置及び樹脂封止装置 | |
| KR20040056040A (ko) | 반도체 리드프레임 피커이송장치 | |
| KR0182077B1 (ko) | 반도체패키지 제조용 자동몰딩프레스에서 인풋 그립퍼의 펠렛 안착장치 | |
| JP2023106682A (ja) | 樹脂封止装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070215 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090210 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090318 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090609 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090612 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4327986 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130619 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130619 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130619 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |