JPH06166049A - 樹脂タブレットの供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 樹脂タブレットの供給部を装置内でコンパク
トに配置し、装置のクリーン化を図る。 【構成】 モールド金型１２に樹脂タブレットを供給す
るローダー１６にモールド金型１２のポット配置にあわ
せて樹脂タブレットを保持する樹脂タブレットホルダ２
６を設ける。樹脂タブレットを積み重ねるようにして一
定の列配置で収納したタブレットマガジン３２を利用し
て、タブレットマガジン３２から樹脂タブレット供給ホ
ルダ３４に樹脂タブレットを移載し、樹脂タブレット供
給ホルダ３４を樹脂タブレットホルダ２６位置まで移動
させて、樹脂タブレットホルダ２６に樹脂タブレットを
移載する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は樹脂封止装置に用いる樹
脂タブレットの供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】トランスファモールド装置は樹脂封止タ
イプの半導体装置の製造に多用されているが、この樹脂
封止装置では１回の樹脂モールドごと小円柱状に固めた
樹脂タブレットをモールド金型に供給して樹脂モールド
する。この場合、モールド金型が複数個のポットを有す
るものである場合は、樹脂タブレットを供給するローダ
ーであらかじめポット配置に合わせて樹脂タブレットを
チャック支持しておき、ローダーをモールド金型の上方
まで進入させ各々のポットに一度に樹脂タブレットを供
給するようにしている。

【０００３】このような樹脂封止装置では樹脂タブレッ
トを自動で供給するから、樹脂タブレットを整列させて
順に並べかえができるようにしている。図８は従来の樹
脂封止装置で樹脂タブレットを整列して供給する方法を
示す。この方法はタンク２からホッパ３に一定量の樹脂
タブレット４を供給し、ボールフィーダー５から整列さ
せてパーツフィーダ６に樹脂タブレット４を送り出し、
パーツフィーダ６から樹脂タブレットホルダ７に樹脂タ
ブレット４を整列して移載するものである。

【０００４】樹脂タブレットホルダ７にはモールド金型
のポット配置に合わせて樹脂タブレットを収納する収納
穴が設けられており、各々の収納穴に収納された樹脂タ
ブレットをそのままの配置でローダーに受け渡すことに
よって、ポット配置に合わせてローダーで樹脂タブレッ
トを保持することができる。なお、実際にパーツフィー
ダから樹脂タブレットホルダに樹脂タブレットを移載す
る場合や樹脂タブレットホルダからローダーに樹脂タブ
レットを移載する場合にはローダーからモールド金型へ
樹脂タブレットを供給したりリードフレームを供給した
りする方法に合わせて種々の方法がなされている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の整列
装置で樹脂タブレットを整列させる場合はボールフィー
ダ５を振動させて樹脂タブレットが順に１列に並ぶよう
にするが、このように振動させて整列する方法の場合は
樹脂タブレットが擦れることによって樹脂粉が発生し、
粉塵が装置内を汚すという問題点がある。半導体封止装
置では半導体チップといった高度の清浄度が要求される
製品を扱っている関係上、最近は装置のクリーン度が強
く要求されるようになってきた。本発明はこれら問題点
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは
樹脂タブレットの供給を効率的に行うことができ、かつ
装置の清浄度を高めることができる樹脂タブレットの供
給装置を提供しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、モールド金型に
樹脂タブレットを供給するローダーに前記モールド金型
のポット配置にあわせて樹脂タブレットを保持する樹脂
タブレットホルダを設けることにより、モールド金型の
各々のポットに一度に樹脂タブレットを供給する樹脂タ
ブレットの供給装置において、前記樹脂タブレットを積
み重ねるようにして一定の列配置で収納したタブレット
マガジンを設け、該タブレットマガジンから前記モール
ド金型のポット配置に合わせて樹脂タブレットを収納す
る収納穴を設けた樹脂タブレット供給ホルダに樹脂タブ
レットを移載する移載機構を設け、前記樹脂タブレット
供給ホルダを前記ローダーの樹脂タブレットホルダまで
移動して、移動位置で前記樹脂タブレットホルダに樹脂
タブレットを移載する移載機構を設けたことを特徴とす
る。また、前記タブレットマガジンに平面配置でジグザ
グ状に２列に樹脂タブレットを配置したことを特徴とす
る。また、前記移載機構は、樹脂タブレットの外面をチ
ャックする等間隔で配置した３つのチャック爪を有する
ことを特徴とする。

【０００７】

【作用】樹脂タブレットの供給にあたっては、タブレッ
トマガジンから樹脂タブレット供給ホルダに移載機構を
利用して樹脂タブレットを移載する。樹脂タブレットの
移載が終了した後、樹脂タブレット供給ホルダをローダ
ー位置まで移動させ、移動位置で樹脂タブレット供給ホ
ルダから樹脂タブレットホルダに樹脂タブレットを移載
する。樹脂タブレットホルダに移載された樹脂タブレッ
トはローダーをモールド金型位置まで移動して各ポット
に投入される。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る樹脂タブレ
ットの供給装置を適用した樹脂封止装置の全体構成を示
す。はじめに樹脂封止装置の全体構成と全体装置におけ
るタブレット供給装置の配置位置について説明する。実
施例の樹脂封止装置はダイスライド方式によるもので、
装置の中央部にモールド金型１２をセットするプレス成
形部１０を配置し、モールド金型１２をプレス成形部１
０の側方までスライド移動させて引き出した位置に合わ
せて、リードフレームを供給するインローダーハンド１
４と、樹脂モールド後の成形品を取り出すとともに樹脂
タブレットを供給するアウトローダーハンド１６を配置
する。

【０００９】１２ａはモールド位置から側方に引き出し
たモールド金型の下型である。この樹脂封止装置ではこ
の引き出し位置のモールド金型１２ａから樹脂モールド
品を取り出し、樹脂タブレットおよびリードフレームを
供給する。１８はインローダーハンド１４にリードフレ
ームを移載するリードフレーム整列部、２０はリードフ
レーム整列部１８にリードフレームを供給するリードフ
レーム供給部である。アウトローダーハンド１６には成
形後のリードフレームからゲート等の不要樹脂を除去す
るディゲート部２２と、モールド金型１２の金型面をク
リーニングするためのダイクリーナー２４と、樹脂タブ
レットをモールド金型に供給するための樹脂タブレット
ホルダ２６を設けている。２８はディゲート後のリード
フレームをマガジンに収納するためのピックアップ部、
３０は収納マガジンである。

【００１０】３２はモールド金型に供給する樹脂タブレ
ットを収納するタブレットマガジンである。タブレット
マガジン３２は図のようにプレス成形部１０の横位置に
列状に４つ配置する。３４はタブレットマガジン３２か
ら樹脂タブレットを移載するとともにアウトローダーハ
ンド１６の樹脂タブレットホルダ２６に樹脂タブレット
を受け渡すための樹脂タブレット供給ホルダである。樹
脂タブレット供給ホルダ３４はしたがって、タブレット
マガジン３２の横位置とアウトローダーハンド１６との
位置間を往復動する。樹脂タブレット供給ホルダ３４に
は従来例と同様にモールド金型１２のポット配置に合わ
せて樹脂タブレットを収納するための収納穴を設ける。

【００１１】図２(a) はタブレットマガジン３２の平面
図である。タブレットマガジン３２には平面配置で２列
に樹脂タブレットを収納するが、収納スペースを有効利
用するためジグザグ状に樹脂タブレットを配置する。タ
ブレットマガジン３２内には樹脂タブレットのジグザグ
配置に合わせて各々鉛直方向に仕切り板３２ａを設け
る。各仕切り板３２ａ内には樹脂タブレット４を多数個
積み重ねるようにして収納する。図２(b) はタブレット
マガジン３２内に配置するリフトプレート３６の平面図
を示す。リフトプレート３６はタブレットマガジン３２
内で樹脂タブレット４を押し上げ、上から順に樹脂タブ
レットをチャックできるようにするためのものである。
図のようにリフトプレート３６は仕切り板３２ａの配置
にあわせて四角形をジクザグ配置で連設した形状になっ
ている。

【００１２】リフトプレート３６はタブレットマガジン
３２の下方に配置したエレベータによって昇降駆動され
る。マガジンの下面の対角線位置のコーナー部にはエレ
ベータに取り付けた押し上げロッドを挿通させる穴が設
けられ、この穴内に押し上げロッドが挿入されてリフト
プレートを押し上げる。図２(a) に押し上げロッド３３
の位置を示す。リフトプレート３６が押し上げられるこ
とによってリフトプレート３６に積み上げられた樹脂タ
ブレットが持ち上げられる。タブレットマガジン３２の
底面には押し上げロッド３３を挿通させる穴のみを設け
るが、これはタブレットマガジン３２を搬送等する際に
エレベータ穴から樹脂粉が落下することを防止して装置
のクリーン性を高める効果がある。図３は押し上げられ
た樹脂タブレットをタブレットマガジン３２でチャック
する方法を示す。実施例では３つのチャック爪４０ａ、
４０ｂ、４０ｃを用いて樹脂タブレットをチャックする
ように構成した。これによって樹脂タブレット４を正確
にセンター出ししてチャックすることができる。

【００１３】このように樹脂タブレット４をセンター出
ししてチャックできるようにすることは、タブレットマ
ガジン３２を異種製品に対してある程度汎用的に利用で
きるという利点がある。タブレットマガジン３２では仕
切り板３２ａ内に収納できる樹脂タブレットであればあ
る程度大きさの異なる樹脂タブレットを使用してもチャ
ック位置を正確に位置出しして樹脂タブレット供給ホル
ダ３４に移載することができる。なお、実施例のタブレ
ットマガジン３２の天板には仕切り板３２ａの仕切りサ
イズの最大径に合わせた丸穴をあけている。

【００１４】次に、タブレットマガジン３２から樹脂タ
ブレット供給ホルダ３４に移載する移載機構について図
４及び図５にしたがって説明する。図４は樹脂タブレッ
トのチャック機構をタブレットマガジン３２の側面方向
から見た状態、図５は正面方向から見た状態を示す。樹
脂タブレットのチャック機構はタブレットマガジン３２
から樹脂タブレットをチャック支持した後、タブレット
マガジン３２の横位置にある樹脂タブレット供給ホルダ
３４に樹脂タブレットを移載するが、実施例では樹脂タ
ブレットの移載時には樹脂タブレット供給ホルダ３４の
位置を固定し、樹脂タブレットのチャック部をＸＹ方向
に移動制御することによって樹脂タブレット供給ホルダ
３４の収納穴に合わせて樹脂タブレットを移載するよう
に構成している。

【００１５】図４に示すように樹脂タブレットのチャッ
ク機構はタブレットマガジン３２の上方に位置し、樹脂
タブレット４をチャックするためのチャック爪とチャッ
ク爪を開閉駆動するための駆動部と、チャック機構をタ
ブレットマガジン３２の横方向（Ｘ方向）に移動させる
Ｘ方向移動機構と、チャック機構をタブレットマガジン
３２の長手方向（Ｙ方向）に移動させるＹ方向移動機構
と、チャック爪を上下動させる上下動機構とを有する。
前記駆動部４２はチャック爪４０を中心から放射状にス
ライド移動可能に支持するとともに、図５に示すように
軸４３で回動可能に支持したカム板４４に各々のチャッ
ク爪４０の上部を係合させ、カム板４４をチャック駆動
アクチュエータ４６によってベルト駆動することによっ
て開閉操作する。

【００１６】前記上下動機構は図５で駆動部４２を支持
する上下動シリンダ４８およびガイド５０によって構成
される。前記Ｘ方向移動機構は図４に示すように支持板
５２の側面にＸ方向駆動モータ５４を取り付け、Ｘ方向
駆動モータ５４の出力軸にプーリ５６を取り付けるとと
もに前記チャック機構がＸ方向に移動するに十分な間隔
をもって支持板５２の側面にプーリ５８を取り付けてい
る。プーリ５６、５８間にはベルト６０をかけわたし、
ベルト６０に前記上下動シリンダ４８を固定している。
６２はチャック機構をＸ方向にガイド移動させるための
直動ガイドである。

【００１７】Ｘ方向駆動モータ５４を作動させることに
よってベルト６０が移動し、これにともない直動ガイド
６２にガイドされて上下動シリンダ４８と上下動シリン
ダ４８で支持されているチャック爪４０等のチャック機
構がＸ方向に移動する。上下動シリンダ４８はタブレッ
トマガジン３２をセットした位置および樹脂タブレット
供給ホルダ３４をセットした位置でチャック機構を上下
移動させて樹脂タブレットの取り出しと樹脂タブレット
供給ホルダ３４への移載操作を行う。

【００１８】前記Ｙ方向移動機構は図５に示すように本
体のＹ方向、すなわちＸ方向と直交する方向にボールね
じ６４を取り付け、ボールナット６６をＹ方向駆動モー
タ６８によってベルト駆動するように構成している。Ｙ
方向駆動モータ６８はボールねじ側の一体ブロック６７
に取り付け、支持板５２は直動ガイド７０にガイド支持
するスライドブロック７２に取り付ける。Ｙ方向駆動モ
ータ６８を駆動することによりＸ方向移動機構および上
下動機構およびチャック機構の全体が移動し、チャック
爪４０部分についてＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向（上下方
向）の移動制御がなされる。こうして、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向
の移動制御とチャック爪４０ａ、４０ｂ、４０ｃの開閉
制御を適宜行うことにより、タブレットマガジン３２か
ら樹脂タブレット供給ホルダ３４への樹脂タブレットの
自動移載がなされる。

【００１９】図６および図７は樹脂タブレット供給ホル
ダ３４の移動機構を示す。図６は移動機構の平面図、図
７は側面図である。樹脂タブレット供給ホルダ３４はタ
ブレットマガジン３２の側方とアウトローダーハンド１
６の下方位置との間を往復動する。図ではタブレットマ
ガジン３２の横位置を図の右側位置に、アウトローダー
ハンド１６まで進んだ位置を図の左側位置に示してい
る。図６に示すように樹脂タブレット供給ホルダ３４に
は樹脂タブレットを収納するための収納穴８０を金型の
ポット配置にあわせた所定間隔で設ける。収納穴８０は
ホルダの上下方向に貫通させて設けるとともに、収納穴
８０間をスリット穴８２で連通させるように設ける。こ
のスリット穴８２はアウトローダーハンド１６の樹脂タ
ブレットホルダ２６に樹脂タブレット供給ホルダ３４か
ら樹脂タブレットを渡す際にプッシャ板８４が進入でき
るようにするためのものである。なお、収納穴８０の内
部には樹脂タブレットが落下しないように保持する引っ
掛け部がある。

【００２０】樹脂タブレット供給ホルダ３４は製品によ
って樹脂タブレットの配置位置が異なるから、製品によ
って交換可能としている。このため、樹脂タブレット供
給ホルダ３４をホルダ枠８６に装着するよう構成してい
る。図７に示すようにホルダ枠８６は樹脂タブレット供
給ホルダ３４の下側に設置し、ベルト駆動によって水平
方向に移動する。ベルト８８は樹脂タブレット供給ホル
ダ３４の移動位置の両端に設置したプーリ９０、９２間
にかけ渡し、プーリ９２は図６に示すように駆動モータ
９４によって回動駆動する。実際の装置では図７に示す
ように鉛直に設置した駆動ロッド９６の上部にプーリ９
２を固定し、駆動ロッド９６の下端部を駆動モータ９４
でベルト駆動している。

【００２１】図７で９８はホルダ枠８６をベルト８８に
固定するクランパである。クランパ９８はホルダ枠８６
に下部を固定するとともにホルダ枠８６の側面との間で
ベルト８８を挟圧してベルト８８とホルダ枠８６が一体
で移動するよう構成している。ホルダ枠８６はその外側
面で直動ガイド（不図示）に係合し、水平方向に移動ガ
イドされている。ホルダ枠８６は枠状に形成した部品で
あり、品種交換時の共通部品である。すなわち、異種製
品をかける場合には樹脂タブレット供給ホルダ３４を交
換してセットする。１００は樹脂タブレット供給ホルダ
３４をホルダ枠８６に取り付け固定するボールプランジ
ャーである。１０２はプッシャ板８４を押動するプッシ
ャ駆動シリンダである。

【００２２】樹脂タブレット供給ホルダ３４はタブレッ
トマガジン３２の横位置で前述した樹脂タブレットの移
載機構によって収納穴８０に樹脂タブレットが移載され
た後、駆動モータ９４によってベルト８８が駆動される
ことによりアウトローダーハンド１６の下位置まで移動
する。移動位置ではプッシャ駆動シリンダ１０２によっ
てプッシャ板８４が押し上げられ、収納穴８０に収納さ
れていた樹脂タブレットがアウトローダーハンド１６の
樹脂タブレットホルダ２６に渡される。樹脂タブレット
を受け渡しした後、樹脂タブレット供給ホルダ３４はタ
ブレットマガジン３２の横位置まで戻り、次回の樹脂タ
ブレットの供給のための移載操作がなされる。

【００２３】以上のようにして、タブレットマガジン３
２に収納された樹脂タブレットは順次樹脂タブレット供
給ホルダ３４に移載され、樹脂タブレット供給ホルダ３
４から樹脂タブレットホルダ２６に移される。樹脂タブ
レットホルダ２６ではモールド金型１２のポット配置に
合わせて樹脂タブレットが支持されるから、アウトロー
ダーハンド１６がモールド金型１２ａの上まで移動した
際にポット位置に合わせて樹脂タブレットが投入され
る。なお、実施例ではタブレットマガジン３２を２列配
置しているが、このように２列で配置すると、１列目の
マガジンについて移載が終了して２列目の移載に移った
ら１列目の空きマガジンを交換することができ、取扱い
が効率的になるという利点がある。上記の樹脂タブレッ
トの供給装置は、上述したようにタブレットマガジンの
配置とチャック機構および移載機構をローダー等との関
係でコンパクトに設置することによって装置の各部を有
機的に配置して全体として装置のコンパクト化を図るこ
とが可能になったものである。

【００２４】

【発明の効果】本発明に係る樹脂タブレットの供給装置
によれば、上述したように、タブレットマガジンを利用
することによって装置内に樹脂タブレットの供給部をコ
ンパクトに設置することが可能になった。また、樹脂タ
ブレットをあらかじめタブレットマガジンに収納して供
給することによって樹脂タブレットを整列したりする際
に樹脂粉が生じることを防止でき装置の清浄度を高める
ことができて不良発生を抑えることができる等の著効を
奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】樹脂モールド装置の全体構成を示す説明図であ
る。

【図２】タブレットマガジンの構成を示す説明図であ
る。

【図３】タブレットマガジンから樹脂タブレットをチャ
ックする方法を示す説明図である。

【図４】樹脂タブレットのチャック機構の側面図であ
る。

【図５】樹脂タブレットのチャック機構の正面図であ
る。

【図６】樹脂タブレットの供給ホルダの移動機構の平面
図である。

【図７】樹脂タブレットの供給ホルダの移動機構の側面
図である。

【図８】樹脂タブレットを供給する従来方法を示す説明
図である。

【符号の説明】

４ 樹脂タブレット １０ プレス成形部 １２、１２ａ モールド金型 １４ インローダーハンド １６ アウトローダーハンド ２０ リードフレームの供給部 ２６ 樹脂タブレットホルダ ３０ 収納マガジン ３２ タブレットマガジン ３４ 樹脂タブレット供給ホルダ ４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ チャック爪 ４４ カム板 ４６ チャック駆動アクチュエータ ４８ 上下シリンダ ５０ ガイド ５２ 支持板 ５４ Ｘ方向駆動モータ ６０ ベルト ６２ 直動ガイド ６４ ボールねじ ６８ Ｙ方向駆動モータ ７０ 直動ガイド ８０ 収納穴 ８４ プッシャ板 ８６ ホルダ枠 ８８ ベルト ９８ クランパ １０２ プッシャ駆動シリンダ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 モールド金型に樹脂タブレットを供給す
   るローダーに前記モールド金型のポット配置にあわせて
   樹脂タブレットを保持する樹脂タブレットホルダを設け
   ることにより、モールド金型の各々のポットに一度に樹
   脂タブレットを供給する樹脂タブレットの供給装置にお
   いて、 前記樹脂タブレットを積み重ねるようにして一定の列配
   置で収納したタブレットマガジンを設け、 該タブレットマガジンから前記モールド金型のポット配
   置に合わせて樹脂タブレットを収納する収納穴を設けた
   樹脂タブレット供給ホルダに樹脂タブレットを移載する
   移載機構を設け、 前記樹脂タブレット供給ホルダを前記ローダーの樹脂タ
   ブレットホルダまで移動して、移動位置で前記樹脂タブ
   レットホルダに樹脂タブレットを移載する移載機構を設
   けたことを特徴とする樹脂タブレットの供給装置。
2. 【請求項２】 タブレットマガジンに平面配置でジグザ
   グ状に２列に樹脂タブレットを配置したことを特徴とす
   る請求項１記載の樹脂タブレットの供給装置。
3. 【請求項３】 移載機構は、樹脂タブレットの外面をチ
   ャックする等間隔で配置した３つのチャック爪を有する
   ことを特徴とする請求項１または２記載の樹脂タブレッ
   トの供給装置。