JP4327988B2 - 樹脂タブレット送り装置及び樹脂封止装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明はホッパーより投入された樹脂タブレットをタブレット収容器を振動させて投入側より整列して送り出す樹脂タブレット送り装置及び該樹脂タブレット送り装置を備えた樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置として用いられる樹脂封止装置には、被成形品供給部よりローダーにより被成形品がプレス部に搬入され、アンローダーにより成形品がプレス部より取出されて成形品収納部へ収納されるようになっている。被成形品供給部は、リードフレーム、樹脂基板などの基板を収納する供給マガジンよりプッシャーなどにより供給テーブルに送出する基板供給部や、ポットピッチに応じて保持穴が形成されたタブレットホルダーに樹脂タブレットを保持して供給テーブル上に供給する樹脂タブレット供給部とを備えている。基板供給部及び樹脂タブレット供給部より供給テーブルに供給された基板及び樹脂タブレットは、上方に待機しているローダーに受け渡される。ローダーは、基板及び樹脂タブレットを保持して型開きしたいずれかのプレス部に搬入し、該プレス部はこれらをクランプして樹脂封止が行われる。
【０００３】
この樹脂タブレット供給部は、多数の樹脂タブレットをボウル状の容器に収容して底部を振動させることにより一定の姿勢を保った樹脂タブレットを螺旋状の通路を移動させる螺旋振動式パーツフィーダーが用いられている。例えば特開平５−１３８６８１号公報等においては、螺旋振動式パーツフィーダーより樹脂タブレットを送り出し、送り出された樹脂タブレットは先頭側より送りハンドにより保持してモールド金型に装填される。
【０００４】
また、特開平６−１６６０４９号公報、特開平１０−１５９９４号公報等には、螺旋振動式パーツフィーダーとリニア振動式パーツフィーダーとを組みあわせて樹脂タブレットを送り出す装置も提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体パッケージの生産調整や多品種少量生産の要請に伴い、プレス部をモジュール化して増減可能な樹脂封止装置が開発され実用化されている。このため、半導体パッケージの生産量を増やす場合には、被成形品供給部からローダーにより基板や樹脂タブレットをプレス部へ高速に搬入する搬入動作が求められている。よって、ローダーに受け渡される基板や樹脂タブレットの供給動作が迅速に行われる必要がある。
【０００６】
螺旋振動式パーツフィーダーのみにより樹脂タブレットの送り出しを行う場合は、樹脂タブレットが螺旋状の通路を移動するため移送距離が長く、樹脂タブレットの送り出し動作を高速化し難い。また、樹脂タブレットを収容する容器はボウル形状をしており、設置スペースを要する。また、樹脂タブレットは螺旋状通路を移送中は常に振動しているため、樹脂タブレットどうしが接触したり、樹脂タブレットが容器にぶつかったりして砕け歩留まりが低下するうえに、粉塵が周囲に飛散して環境を汚染し易い。
【０００７】
また、螺旋振動式パーツフィーダーにリニア振動式パーツフィーダーを組合わせた場合には、螺旋振動式とリニア振動式とで振動方向が異なるため、パーツフィーダー間のタブレット移送速度を整合させる（マッチングをとる）のが困難であった。即ち、振動方向のマッチングがとれない場合には、樹脂タブレットが滞留したり、樹脂タブレットどうしの接触や樹脂タブレットと容器との接触頻度が高まって砕けたり、粉塵が周囲に飛散し易い。また、異なる振動方式のパーツフィーダーを併設しているため、設置面積も要するうえに、製造コストも増加する。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、樹脂タブレットの送り出し動作を高速化すると共に製造コストや設置スペースを低減した樹脂タブレット送り装置及び該樹脂タブレット送り装置を備えて、プレス部の増設に伴う成形品の増産に対応可能にした樹脂封止装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
即ち、ホッパーより投入された樹脂タブレットを収容して投入側より整列して送り出し方向に案内する第１のタブレット収容器と、該第１のタブレット収容器を振動させて前記樹脂タブレットを第１の搬送面に倣うように送り出す第１の振動部と、を備えた樹脂タブレット送出し部と、前記第１のタブレット収容器より送り出されなかった樹脂タブレットを回収して収容する第２のタブレット収容器と、該第２のタブレット収容器を前記第１の振動部と振動方向が逆向きに振動させて、投入側が高くなるように傾斜して前記第１の搬送面と交差する第２の搬送面に沿って前記樹脂タブレットを案内して前記第１のタブレット収容器の投入側に循環させる第２の振動部と、を備えた樹脂タブレット循環部が設けられており、前記樹脂タブレット送出し部と樹脂タブレット循環部とは、前記第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器が隙間部を隔てて併設されかつ該隙間部の下方に粉塵回収部が設けられており、前記ホッパーから前記第１のタブレット収容器に投入された樹脂タブレットのうち第１の搬送面に倣うもののみが直線的に送り出され、前記第１のタブレット収容器より送り出されずに前記隙間部を介して前記第２のタブレット収容器へ回収された樹脂タブレットを、前記第２の搬送面に沿って前記第１のタブレット収容器の投入側へ前記隙間部を介して戻して循環させることを特徴とする。
また、前記第１の振動部と第２の振動部とは、振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーが用いられていることを特徴とする。
【００１０】
また、樹脂封止装置においては、前述した樹脂タブレット送り装置を有する被成形品供給部より被成形品及び樹脂タブレットがローダーに保持されてプレス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダーに保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行われることを特徴とする。
また、被成形品供給部と成形品収納部との間に、ローダー及びアンローダーが共用して移動可能な移動レール部と該移動レール部を支持する台座部とを備えた増設レールユニットが、移動レール部どうしが連続するように挿脱可能に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。樹脂封止装置は、被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して樹脂封止するように構成されている。
図１は樹脂タブレット送り装置の上視図、図２は図１の矢印Ｐ方向から見た側面図、図３は図１の矢印Ｑ方向から見た側面図、図４は第１、第２のタブレット収容器の平面説明図、図５は第１、第２のタブレット収容器のタブレット搬送動作を示す模式平面図、図６は第１、第２のタブレット収容器の断面説明図、図７は第１、第２のタブレット収容器の底部の傾斜状態を示す説明図、図８（ａ）（ｂ）は樹脂タブレット送出し部と樹脂タブレット循環部の流れを示す説明図、図９は第１のタブレット収容器に設けられた整列板の取付位置を示す説明図、図１０は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【００１２】
図１０において、先ず樹脂封止装置の概略構成について説明する。樹脂封止装置は被成形品供給部である被成形品供給ユニットＡと成形品収納部である成形品収納ユニットＢとの間に各種機能を備えた増設レールユニットＣを挿脱可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、該台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。以下各部の構成について説明する。
【００１３】
［被成形品供給ユニットＡ］
図１０において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。
５は樹脂タブレット供給部であり、後述する樹脂タブレットを多数収容した樹脂タブレット送り装置から樹脂タブレットを整列送りしてタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を受渡し位置まで移動させて供給する。
【００１４】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けられている。
【００１５】
１３は供給側移動レール部であり、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、供給側移動レール部１３を含む移動レール部を所要位置へ移動してプレス部７含む所要のプレス部に一方向から進退移動するようになっている。
【００１６】
１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レールユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になっている。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００１７】
[成形品収納ユニットＢ]
図１０において、１８は成形品取出部であり、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品を下方に待機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダー１５は、チャック機構やクリーニング機構及び吸引機構などが設けられている。アンローダー１５は成形品を移送手段として設けた移動テーブル１９へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。
【００１８】
移動テーブル１９は、アンローダー１５より成形品が受け渡される成形品取出部１８から、成形品のゲートブレイクが行われるディゲート部２０を経て、成形品が収納される成形品収納部２１までの間を往復移動する。ディゲート部２０において、移動テーブル１９のゲートブレイクトレイ３２へ載置されて移送された成形品は、成形品クランプ機構によりクランプされて冷却されると共に、ゲートブレイクトレイ３２と共に基板両側を回動させることによりゲートブレイクが行われ不要樹脂が分離される。分離された不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。次いで、移動テーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ移送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１９により移送された成形品は、成形品ピックアップ２２により一旦保持される。そして、移動テーブル１９が成形品取出部１８へ向かって移動すると、成形品ピックアップ２２は必要に応じて旋回して、下方に設けられた収納マガジン２３へ下動して向きを揃えて成形品を収納する。
【００１９】
２４はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。
【００２０】
２６は収納側移動レール部であり、プレス部２４へ被成形品及び樹脂タブレットを搬入するローダー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。
【００２１】
２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダクト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結しており、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。アンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設けられた集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００２２】
[増設レールユニットＣ]
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。２８は増設側移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可能になっている（図１０参照）。
２９は増設側台座部であり、増設側移動レール部２８を支持すると共にプレス部３１やフィルムユニットなどの様々な機能を有する機能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。
【００２３】
また、増設側移動レール部２８には増設側吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンローダー１５のローダー側吸引ダクトに接続可能なダクト連結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３０は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側移動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設けられた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２７間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介して各々連結して集塵機１７へ連通するようになっている（図１０参照）。
【００２４】
［樹脂タブレット送り装置の詳細説明］
ここで、樹脂タブレット送り装置の構成について図１〜図９を参照して説明する。 先ず、樹脂タブレット供給部５の概略構成について説明する。樹脂タブレット送り装置３３は、樹脂タブレットｔをタブレット収容器より整列して送り出す。送り出された先頭側の樹脂タブレットｔは図示しないタブレット装填部によりブレットホルダー６の保持穴に順次装填される。樹脂タブレットｔが装填されたタブレットホルダー６は図示しないタブレット受渡し機構により装填位置からローダー１４と対峙した受渡し位置へ移動させて保持穴に保持した樹脂タブレットｔを受渡すようになっている。
【００２５】
次に、樹脂タブレット送り装置３３の各部の構成について説明する。３４はホッパーであり、樹脂タブレットｔを保管するタブレット保管容器３５より多数の樹脂タブレットｔが投入される。ホッパー３４はベース３６に立設された支持ロッド３７の上端側に支持されている。ホッパー３４に投入された樹脂タブレットｔは、ホッパー３４を一定時間振動させて定量ずつタブレット収容器へ投入するようになっている。３８は樹脂タブレット送出し部であり、第１のタブレット収容器３９及び第１の振動部４０を具備している。４１は樹脂タブレット循環部であり、第２のタブレット収容器４２及び第２の振動部４３を具備している。樹脂タブレット送出し部３８と樹脂タブレット循環部４１とは、近接して併設されている。
【００２６】
第１のタブレット収容器３９は、底部に断面半円状の第１のガイド部（下ガイド）４４が形成されている。また、第１のガイド部４４に対向した位置には上ガイド４９が設けられている。この上ガイド４９には、図４及び図９に示すように、第１の整流板５０及び第２の整流板５１が設けられており、これらは、第１のガイド部４４に倣わずに起立したり横向きになって搬送された樹脂タブレットｔを第２のタブレット収容器４２に向かって落下させる。ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔのうち、第１のガイド部（第１の搬送面）４４に倣うもののみを矢印Ｘ方向に整列して案内する。
第１の振動部４０は、第１のタブレット収容器３９を振動させて樹脂タブレットｔを第１のガイド部４４に沿って図２の矢印Ｘ方向に送り出す。
【００２７】
第２のタブレット収容器４２は、第１のタブレット収容器３９より送り出されずに回収された樹脂タブレットｔを含む多数の樹脂タブレットｔを収容し、底部に送り方向（図２の矢印Ｘ方向）と逆方向（矢印Ｙ方向）へ案内する第２のガイド部（凹溝）４５が形成されている。
第２の振動部４３は、第２のタブレット収容器４２を振動させて樹脂タブレットｔを第２のガイド部（第２の搬送面）４５に沿って矢印Ｙ方向へ案内して第１のタブレット収容器３９の樹脂タブレットｔの投入側に循環させる。
【００２８】
第１の振動部４０と第２の振動部４３とは振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーが用いられている。リニアフィーダーは公知の圧電素子と板ばねを組合わせて第１、第２のタブレット収容器３９、４２を振動させる。このように、振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーを組合わせることで、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とを容易に同期取りを行って振動させることができ、樹脂タブレットｔを迅速かつスムーズに送りながら容器内を循環させることができる。
【００２９】
また、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とは、樹脂タブレットｔを送り出す第１のガイド部（第１の搬送面）４４を水平面に平行に配置して、樹脂タブレットｔを循環させる第２のガイド部（第２の搬送面）４５は第１のガイド部４４と交差するように併設されている（図６参照）。これにより、ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔを送り出し可能なものと循環させる必要があるものとで仕分けが整然と行える。
【００３０】
また、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とは隙間部４６を介して併設されており（図４参照）、隙間部４６の下方には粉塵回収部４７が設けられている（図７参照）。樹脂タブレットｔが第１のタブレット収容器３９や第２のタブレット収容器４２に収容されて振動させることにより、タブレットどうしの接触やタブレットと容器との接触により生じた樹脂粉を、隙間部４６より粉塵回収部４７に落下させる。そして、粉塵回収部４７に落下した樹脂粉は集塵箱４８へ回収されるようになっている（図１参照）。また、集塵箱４８を設ける代わりに、図１０に示すように、樹脂タブレット送り装置３３と集塵機１７とを集塵ダクト５２により連結して、粉塵回収部４７に落下した樹脂粉を集塵機１７へ集塵するようにしても良い。上記隙間４６の近傍に集塵ダクト５２を設けることにより、樹脂タブレットｔの循環搬送時に振動により発生した樹脂粉を効率良く吸引できる。
【００３１】
ここで、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２の構成について、図４〜図６を参照して具体的に説明する。尚、説明をし易くするため、図４において、第１のタブレット収容器３９及び第２のタブレット収容器４２の底部のうち高さが異なるエリアにａ〜ｈの符号を付して説明する。
図４において、第１のタブレット収容器３９における各エリアの高さ関係について説明する。樹脂タブレットｔが投入されるエリアａ〜エリアｃにおいて、エリアａに第１のガイド部４４が形成されており、該エリアａに向かってエリアｂ及びエリアｃが傾斜して設けられている（ａ＜ｂ、ａ＜ｃ）。また、第１の整流板５０近傍のエリアｄはエリアａより下方に傾斜しており（ｄ＜ａ）、さらに第２の整流板５１の近傍のエリアｅはエリアｄより更に低くなるように傾斜している（ｅ＜ｄ）。
【００３２】
図４において、第２のタブレット収容器４２は、第１のタブレット収容器３９に対して、隙間部４６を形成して併設されている。第２のタブレット収容器４２における各エリアの高さ関係について説明する。タブレット回収側に相当するエリアｅに隣接するエリアｆが最も低く、タブレット投入側に相当する段差ｇ及びこれに連なるエリアｈが最も高くなるように傾斜している（ｆ＜ｇ）。また、第２のガイド部４５は、エリアｆからエリアｈにわたって形成されており、樹脂タブレットｔを回収側から矢印Ｙ方向に投入側へ案内し、エリアｈよりエリアｃを経て（ｈ≧ｃ）、エリアａに落下して再度循環するようになっている。
【００３３】
樹脂タブレットｔの流れについて説明すると、図５において、ホッパー３４より第１のタブレット収容器３９のエリアｃ付近に供給された樹脂タブレットｔは、エリアａに落ち込んで第１の振動部４０の振動によって、第１のガイド部４４に沿って矢印Ｘ方向に送り出される。また、第１のガイド部４４に倣わずに送り出された樹脂タブレットｔは第１の整流板５０及び第２の整流板５１によりエリアｅを介して第２のタブレット収容器４２のエリアｆに収容される（図８（ｂ）参照）。そして、図６に示すように、第２の振動部４３の振動によって第２のガイド部４５に案内されて矢印Ｙ方向にエリアｈへ戻され、樹脂タブレットｔは図５に示すようにエリアｃを経てエリアａへ落ち込んで再度第１のガイド部４４に沿って送り出される（図８（ａ）参照）。尚、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２に生じた樹脂粉は、各容器の振動によって図７に示すエリアｅ及びエリアｈの傾斜（水平方向に対する傾斜角θ）に沿って隙間部４６に導かれて粉塵回収部４７に落下して集塵箱４８に回収されるので、容器内で樹脂粉が飛散することはない。
【００３４】
このようにホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔが第１のタブレット収容器３９内を投入側より直線的に送り出され、送り出されずに回収された樹脂タブレットｔを第２のタブレット収容器４２内を第１のタブレット収容器３９の投入側へ直線的に戻されて循環するため、タブレットの供給から整列までの距離を短くすることができ、樹脂タブレットｔの送り速度を速めることができ、しかも粉塵の発生を可能な限り抑えることができる。
第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とは、樹脂タブレットｔを送り出す第１の搬送面４４と樹脂タブレットｔを循環させる第２の搬送面４５とが交差するように併設されている場合には、ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔを送り出し可能なものと循環させる必要があるものとで仕分けが整然と行える。
また、第１の振動部４０と第２の振動部４３とは振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーを組合わせることで、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とを容易に同期取りを行って振動させることができ、樹脂タブレットｔを迅速かつスムーズに送りながら容器内を循環させることができ、しかも設置面積や製造コストを削減することも可能である。
また、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とは隙間部４６を介して併設されており、隙間部４６の下方には粉塵回収部４７が設けられているので、樹脂タブレットｔの循環搬送時に振動により発生した樹脂粉を効率良く回収できる。
また、増設レールユニットＣを増設してプレス部の数を増やしても、樹脂タブレット送り動作が高速であるため、半導体パッケージの増産にも対応可能となる。また、増設レールユニットＣにはプレス部に限らず他の機能部を搭載できるので、装置の拡張性（多機能化）や汎用性を高めることもできる。
【００３５】
上記実施例では、第１のタブレット収容器３９の第１の搬送面（第１のガイド部）４４を水平基準として第２のタブレット収容器４２の第２の搬送面（第２のガイド部）４５を交差して併設されていた。即ち、図１１に示すように、第１の搬送面（送り出し側）４４が水平面とほぼ平行に設けられ、第２の搬送面（循環側）４５が右斜め上方に傾斜して設けられていたが、必ずしもこの態様に限定されるものではない。
例えば、図１２、図１３に示すように、第１のタブレット収容器３９の第１の搬送面４４と第２のタブレット収容器４２の第２の搬送面４５を水平面に対して傾斜するように交差して併設しても良い。即ち、図１２において、第１の搬送面（送り出し側）４４が水平面に対して左斜め上方に傾斜して設けられ、第２の搬送面（循環側）４５が右斜め上方に傾斜して設けられていても良い。この場合には、ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔをより多く投入側に収容して送り出すことができる。
また、図１３において、第１の搬送面（送り出し側）４４及び第２の搬送面（循環側）４５が右斜め上方に傾斜して設けられていても良い。この場合には、樹脂タブレットｔを第１の搬送面４４に沿って第１の振動部４０の振動及び自重によりスムーズに送り出すことができる。
【００３６】
また、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２との間に形成される隙間４６は、単に収容器どうしを並べて形成される空隙に限らず、収容器どうしを部分的にオーバーラップさせて形成される隙間であっても良い。具体的には、図１４〜図１６において、例えば、第２のタブレット収容器４２の一部にスリット５３を形成して、第１のタブレット収容器３９の重畳部５４と第２のタブレット収容器４２の重畳部５５を互いにオーバーラップ（重ね合わせて）させてを併設しても良い。この場合には、スリット５３及び重畳部５４と重畳部５５との隙間４６より樹脂粉が下方に設けられた粉塵回収部４７に落下して回収される。
【００３７】
また、図１７において、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とを間隙を形成して併設すると共に、これらの間隙に網材或いは孔開き材等の隙間材５６を設けて隙間を形成しても良い。この場合には、隙間材５６の孔より樹脂粉が下方に設けられた粉塵回収部４７に落下して回収される。
【００３８】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、樹脂封止装置は、被成形品供給ユニットＡと成形品供給ユニットＢとが分離するように構成されているが、これらを一体に備えた樹脂封止装置であっても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００３９】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂タブレット送り装置を用いると、ホッパーより投入された樹脂タブレットが第１のタブレット収容器内を投入側よりガイド部に案内されて直線的に送り出され、送り出されずに回収された樹脂タブレットを第２のタブレット収容器内を第１のタブレット収容器の投入側へ直線的に戻されて循環するため、タブレットの供給から整列までの距離を短くすることができ、樹脂タブレットの送り速度を速めることができ、しかも粉塵の発生を可能な限り抑えることができる。
第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器とは、樹脂タブレットを送り出す第１の搬送面と樹脂タブレットを循環させる第２の搬送面とが交差するように併設されている場合には、ホッパーより投入された樹脂タブレットを送り出し可能なものと循環させる必要があるものとで仕分けが整然と行える。
第１の振動部と第２の振動部とは振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーを組合わせることで、第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器とを容易に同期取りを行って振動させることができ、樹脂タブレットを迅速かつスムーズに送りながら容器内を循環させることができ、しかも設置面積や製造コストを削減することも可能である。
また、第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器とは隙間部を介して併設されており、隙間部の下方には粉塵回収部が設けられているので、樹脂タブレットの循環搬送時に振動により発生した樹脂粉を効率良く回収できる。
また、樹脂封止装置においては、プレス部の数を増やしても、樹脂タブレット送り動作が高速であるため、半導体パッケージの増産にも対応可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】樹脂タブレット送り装置の上視図である。
【図２】図１の矢印Ｐ方向から見た側面図である。
【図３】図１の矢印Ｑ方向から見た側面図である。
【図４】第１、第２のタブレット収容器の平面説明図である。
【図５】第１、第２のタブレット収容器のタブレット搬送動作を示す模式平面図である。
【図６】第１、第２のタブレット収容器の断面説明図である。
【図７】第１、第２のタブレット収容器の底部の傾斜状態を示す説明図である。
【図８】樹脂タブレット送出し部と樹脂タブレット循環部の流れを示す説明図である。
【図９】第１のタブレット収容器に設けられた整列板の取付位置を示す説明図である。
【図１０】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図１１】第１、第２のタブレット収容器の配置形態を示す模式説明図である。
【図１２】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の配置形態を示す模式説明図である。
【図１３】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の配置形態を示す模式説明図である。
【図１４】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の模式平面図である。
【図１５】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の断面説明図である。
【図１６】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の底部を示す模式説明図である。
【図１７】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の模式平面図である。
【符号の説明】
Ａ 被成形品供給ユニット
Ｂ 成形品収納ユニット
Ｃ 増設レールユニット
１ 基板供給部
２ 供給マガジン
３ ターンテーブル
４ 供給位置
５ 樹脂タブレット供給部
６ タブレットホルダー
７、２４、３１ プレス部
８ モールド金型
９ 供給側台座部
１３ 供給側移動レール部
１４ ローダー
１５ アンローダー
１６ 供給側吸引ダクト
１７ 集塵機
１８ 成形品取出部
１９ 移動テーブル
２０ ディゲート部
２１ 成形品収納部
２２ 成形品ピックアップ
２３ 収納マガジン
２５ 収納側台座部
２６ 収納側移動レール部
２７ 収納側吸引ダクト
２８ 増設側移動レール部
２９ 増設側台座部
３０ 増設側吸引ダクト
３２ ゲートブレイクトレイ
３３ 樹脂タブレット送り装置
３４ ホッパー
３５ タブレット保管容器
３６ ベース
３７ 支持ロッド
３８ 樹脂タブレット送出し部
３９ 第１のタブレット収容器
４０ 第１の振動部
４１ 樹脂タブレット循環部
４２ 第２のタブレット収容器
４３ 第２の振動部
４４ 第１のガイド部
４５ 第２のガイド部
４６ 隙間部
４７ 粉塵回収部
４８ 集塵箱
４９ 上ガイド
５０ 第１の整流板
５１ 第２の整流板
５２ 集塵ダクト
５３ スリット
５４、５５ 重畳部
５６ 隙間材
【発明の属する利用分野】
本発明はホッパーより投入された樹脂タブレットをタブレット収容器を振動させて投入側より整列して送り出す樹脂タブレット送り装置及び該樹脂タブレット送り装置を備えた樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置として用いられる樹脂封止装置には、被成形品供給部よりローダーにより被成形品がプレス部に搬入され、アンローダーにより成形品がプレス部より取出されて成形品収納部へ収納されるようになっている。被成形品供給部は、リードフレーム、樹脂基板などの基板を収納する供給マガジンよりプッシャーなどにより供給テーブルに送出する基板供給部や、ポットピッチに応じて保持穴が形成されたタブレットホルダーに樹脂タブレットを保持して供給テーブル上に供給する樹脂タブレット供給部とを備えている。基板供給部及び樹脂タブレット供給部より供給テーブルに供給された基板及び樹脂タブレットは、上方に待機しているローダーに受け渡される。ローダーは、基板及び樹脂タブレットを保持して型開きしたいずれかのプレス部に搬入し、該プレス部はこれらをクランプして樹脂封止が行われる。
【０００３】
この樹脂タブレット供給部は、多数の樹脂タブレットをボウル状の容器に収容して底部を振動させることにより一定の姿勢を保った樹脂タブレットを螺旋状の通路を移動させる螺旋振動式パーツフィーダーが用いられている。例えば特開平５−１３８６８１号公報等においては、螺旋振動式パーツフィーダーより樹脂タブレットを送り出し、送り出された樹脂タブレットは先頭側より送りハンドにより保持してモールド金型に装填される。
【０００４】
また、特開平６−１６６０４９号公報、特開平１０−１５９９４号公報等には、螺旋振動式パーツフィーダーとリニア振動式パーツフィーダーとを組みあわせて樹脂タブレットを送り出す装置も提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体パッケージの生産調整や多品種少量生産の要請に伴い、プレス部をモジュール化して増減可能な樹脂封止装置が開発され実用化されている。このため、半導体パッケージの生産量を増やす場合には、被成形品供給部からローダーにより基板や樹脂タブレットをプレス部へ高速に搬入する搬入動作が求められている。よって、ローダーに受け渡される基板や樹脂タブレットの供給動作が迅速に行われる必要がある。
【０００６】
螺旋振動式パーツフィーダーのみにより樹脂タブレットの送り出しを行う場合は、樹脂タブレットが螺旋状の通路を移動するため移送距離が長く、樹脂タブレットの送り出し動作を高速化し難い。また、樹脂タブレットを収容する容器はボウル形状をしており、設置スペースを要する。また、樹脂タブレットは螺旋状通路を移送中は常に振動しているため、樹脂タブレットどうしが接触したり、樹脂タブレットが容器にぶつかったりして砕け歩留まりが低下するうえに、粉塵が周囲に飛散して環境を汚染し易い。
【０００７】
また、螺旋振動式パーツフィーダーにリニア振動式パーツフィーダーを組合わせた場合には、螺旋振動式とリニア振動式とで振動方向が異なるため、パーツフィーダー間のタブレット移送速度を整合させる（マッチングをとる）のが困難であった。即ち、振動方向のマッチングがとれない場合には、樹脂タブレットが滞留したり、樹脂タブレットどうしの接触や樹脂タブレットと容器との接触頻度が高まって砕けたり、粉塵が周囲に飛散し易い。また、異なる振動方式のパーツフィーダーを併設しているため、設置面積も要するうえに、製造コストも増加する。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、樹脂タブレットの送り出し動作を高速化すると共に製造コストや設置スペースを低減した樹脂タブレット送り装置及び該樹脂タブレット送り装置を備えて、プレス部の増設に伴う成形品の増産に対応可能にした樹脂封止装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
即ち、ホッパーより投入された樹脂タブレットを収容して投入側より整列して送り出し方向に案内する第１のタブレット収容器と、該第１のタブレット収容器を振動させて前記樹脂タブレットを第１の搬送面に倣うように送り出す第１の振動部と、を備えた樹脂タブレット送出し部と、前記第１のタブレット収容器より送り出されなかった樹脂タブレットを回収して収容する第２のタブレット収容器と、該第２のタブレット収容器を前記第１の振動部と振動方向が逆向きに振動させて、投入側が高くなるように傾斜して前記第１の搬送面と交差する第２の搬送面に沿って前記樹脂タブレットを案内して前記第１のタブレット収容器の投入側に循環させる第２の振動部と、を備えた樹脂タブレット循環部が設けられており、前記樹脂タブレット送出し部と樹脂タブレット循環部とは、前記第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器が隙間部を隔てて併設されかつ該隙間部の下方に粉塵回収部が設けられており、前記ホッパーから前記第１のタブレット収容器に投入された樹脂タブレットのうち第１の搬送面に倣うもののみが直線的に送り出され、前記第１のタブレット収容器より送り出されずに前記隙間部を介して前記第２のタブレット収容器へ回収された樹脂タブレットを、前記第２の搬送面に沿って前記第１のタブレット収容器の投入側へ前記隙間部を介して戻して循環させることを特徴とする。
また、前記第１の振動部と第２の振動部とは、振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーが用いられていることを特徴とする。
【００１０】
また、樹脂封止装置においては、前述した樹脂タブレット送り装置を有する被成形品供給部より被成形品及び樹脂タブレットがローダーに保持されてプレス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダーに保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行われることを特徴とする。
また、被成形品供給部と成形品収納部との間に、ローダー及びアンローダーが共用して移動可能な移動レール部と該移動レール部を支持する台座部とを備えた増設レールユニットが、移動レール部どうしが連続するように挿脱可能に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。樹脂封止装置は、被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して樹脂封止するように構成されている。
図１は樹脂タブレット送り装置の上視図、図２は図１の矢印Ｐ方向から見た側面図、図３は図１の矢印Ｑ方向から見た側面図、図４は第１、第２のタブレット収容器の平面説明図、図５は第１、第２のタブレット収容器のタブレット搬送動作を示す模式平面図、図６は第１、第２のタブレット収容器の断面説明図、図７は第１、第２のタブレット収容器の底部の傾斜状態を示す説明図、図８（ａ）（ｂ）は樹脂タブレット送出し部と樹脂タブレット循環部の流れを示す説明図、図９は第１のタブレット収容器に設けられた整列板の取付位置を示す説明図、図１０は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【００１２】
図１０において、先ず樹脂封止装置の概略構成について説明する。樹脂封止装置は被成形品供給部である被成形品供給ユニットＡと成形品収納部である成形品収納ユニットＢとの間に各種機能を備えた増設レールユニットＣを挿脱可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、該台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。以下各部の構成について説明する。
【００１３】
［被成形品供給ユニットＡ］
図１０において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。
５は樹脂タブレット供給部であり、後述する樹脂タブレットを多数収容した樹脂タブレット送り装置から樹脂タブレットを整列送りしてタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を受渡し位置まで移動させて供給する。
【００１４】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けられている。
【００１５】
１３は供給側移動レール部であり、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、供給側移動レール部１３を含む移動レール部を所要位置へ移動してプレス部７含む所要のプレス部に一方向から進退移動するようになっている。
【００１６】
１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レールユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になっている。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００１７】
[成形品収納ユニットＢ]
図１０において、１８は成形品取出部であり、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品を下方に待機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダー１５は、チャック機構やクリーニング機構及び吸引機構などが設けられている。アンローダー１５は成形品を移送手段として設けた移動テーブル１９へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。
【００１８】
移動テーブル１９は、アンローダー１５より成形品が受け渡される成形品取出部１８から、成形品のゲートブレイクが行われるディゲート部２０を経て、成形品が収納される成形品収納部２１までの間を往復移動する。ディゲート部２０において、移動テーブル１９のゲートブレイクトレイ３２へ載置されて移送された成形品は、成形品クランプ機構によりクランプされて冷却されると共に、ゲートブレイクトレイ３２と共に基板両側を回動させることによりゲートブレイクが行われ不要樹脂が分離される。分離された不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。次いで、移動テーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ移送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１９により移送された成形品は、成形品ピックアップ２２により一旦保持される。そして、移動テーブル１９が成形品取出部１８へ向かって移動すると、成形品ピックアップ２２は必要に応じて旋回して、下方に設けられた収納マガジン２３へ下動して向きを揃えて成形品を収納する。
【００１９】
２４はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。
【００２０】
２６は収納側移動レール部であり、プレス部２４へ被成形品及び樹脂タブレットを搬入するローダー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。
【００２１】
２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダクト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結しており、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。アンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設けられた集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００２２】
[増設レールユニットＣ]
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。２８は増設側移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可能になっている（図１０参照）。
２９は増設側台座部であり、増設側移動レール部２８を支持すると共にプレス部３１やフィルムユニットなどの様々な機能を有する機能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。
【００２３】
また、増設側移動レール部２８には増設側吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンローダー１５のローダー側吸引ダクトに接続可能なダクト連結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３０は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側移動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設けられた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２７間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介して各々連結して集塵機１７へ連通するようになっている（図１０参照）。
【００２４】
［樹脂タブレット送り装置の詳細説明］
ここで、樹脂タブレット送り装置の構成について図１〜図９を参照して説明する。 先ず、樹脂タブレット供給部５の概略構成について説明する。樹脂タブレット送り装置３３は、樹脂タブレットｔをタブレット収容器より整列して送り出す。送り出された先頭側の樹脂タブレットｔは図示しないタブレット装填部によりブレットホルダー６の保持穴に順次装填される。樹脂タブレットｔが装填されたタブレットホルダー６は図示しないタブレット受渡し機構により装填位置からローダー１４と対峙した受渡し位置へ移動させて保持穴に保持した樹脂タブレットｔを受渡すようになっている。
【００２５】
次に、樹脂タブレット送り装置３３の各部の構成について説明する。３４はホッパーであり、樹脂タブレットｔを保管するタブレット保管容器３５より多数の樹脂タブレットｔが投入される。ホッパー３４はベース３６に立設された支持ロッド３７の上端側に支持されている。ホッパー３４に投入された樹脂タブレットｔは、ホッパー３４を一定時間振動させて定量ずつタブレット収容器へ投入するようになっている。３８は樹脂タブレット送出し部であり、第１のタブレット収容器３９及び第１の振動部４０を具備している。４１は樹脂タブレット循環部であり、第２のタブレット収容器４２及び第２の振動部４３を具備している。樹脂タブレット送出し部３８と樹脂タブレット循環部４１とは、近接して併設されている。
【００２６】
第１のタブレット収容器３９は、底部に断面半円状の第１のガイド部（下ガイド）４４が形成されている。また、第１のガイド部４４に対向した位置には上ガイド４９が設けられている。この上ガイド４９には、図４及び図９に示すように、第１の整流板５０及び第２の整流板５１が設けられており、これらは、第１のガイド部４４に倣わずに起立したり横向きになって搬送された樹脂タブレットｔを第２のタブレット収容器４２に向かって落下させる。ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔのうち、第１のガイド部（第１の搬送面）４４に倣うもののみを矢印Ｘ方向に整列して案内する。
第１の振動部４０は、第１のタブレット収容器３９を振動させて樹脂タブレットｔを第１のガイド部４４に沿って図２の矢印Ｘ方向に送り出す。
【００２７】
第２のタブレット収容器４２は、第１のタブレット収容器３９より送り出されずに回収された樹脂タブレットｔを含む多数の樹脂タブレットｔを収容し、底部に送り方向（図２の矢印Ｘ方向）と逆方向（矢印Ｙ方向）へ案内する第２のガイド部（凹溝）４５が形成されている。
第２の振動部４３は、第２のタブレット収容器４２を振動させて樹脂タブレットｔを第２のガイド部（第２の搬送面）４５に沿って矢印Ｙ方向へ案内して第１のタブレット収容器３９の樹脂タブレットｔの投入側に循環させる。
【００２８】
第１の振動部４０と第２の振動部４３とは振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーが用いられている。リニアフィーダーは公知の圧電素子と板ばねを組合わせて第１、第２のタブレット収容器３９、４２を振動させる。このように、振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーを組合わせることで、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とを容易に同期取りを行って振動させることができ、樹脂タブレットｔを迅速かつスムーズに送りながら容器内を循環させることができる。
【００２９】
また、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とは、樹脂タブレットｔを送り出す第１のガイド部（第１の搬送面）４４を水平面に平行に配置して、樹脂タブレットｔを循環させる第２のガイド部（第２の搬送面）４５は第１のガイド部４４と交差するように併設されている（図６参照）。これにより、ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔを送り出し可能なものと循環させる必要があるものとで仕分けが整然と行える。
【００３０】
また、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とは隙間部４６を介して併設されており（図４参照）、隙間部４６の下方には粉塵回収部４７が設けられている（図７参照）。樹脂タブレットｔが第１のタブレット収容器３９や第２のタブレット収容器４２に収容されて振動させることにより、タブレットどうしの接触やタブレットと容器との接触により生じた樹脂粉を、隙間部４６より粉塵回収部４７に落下させる。そして、粉塵回収部４７に落下した樹脂粉は集塵箱４８へ回収されるようになっている（図１参照）。また、集塵箱４８を設ける代わりに、図１０に示すように、樹脂タブレット送り装置３３と集塵機１７とを集塵ダクト５２により連結して、粉塵回収部４７に落下した樹脂粉を集塵機１７へ集塵するようにしても良い。上記隙間４６の近傍に集塵ダクト５２を設けることにより、樹脂タブレットｔの循環搬送時に振動により発生した樹脂粉を効率良く吸引できる。
【００３１】
ここで、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２の構成について、図４〜図６を参照して具体的に説明する。尚、説明をし易くするため、図４において、第１のタブレット収容器３９及び第２のタブレット収容器４２の底部のうち高さが異なるエリアにａ〜ｈの符号を付して説明する。
図４において、第１のタブレット収容器３９における各エリアの高さ関係について説明する。樹脂タブレットｔが投入されるエリアａ〜エリアｃにおいて、エリアａに第１のガイド部４４が形成されており、該エリアａに向かってエリアｂ及びエリアｃが傾斜して設けられている（ａ＜ｂ、ａ＜ｃ）。また、第１の整流板５０近傍のエリアｄはエリアａより下方に傾斜しており（ｄ＜ａ）、さらに第２の整流板５１の近傍のエリアｅはエリアｄより更に低くなるように傾斜している（ｅ＜ｄ）。
【００３２】
図４において、第２のタブレット収容器４２は、第１のタブレット収容器３９に対して、隙間部４６を形成して併設されている。第２のタブレット収容器４２における各エリアの高さ関係について説明する。タブレット回収側に相当するエリアｅに隣接するエリアｆが最も低く、タブレット投入側に相当する段差ｇ及びこれに連なるエリアｈが最も高くなるように傾斜している（ｆ＜ｇ）。また、第２のガイド部４５は、エリアｆからエリアｈにわたって形成されており、樹脂タブレットｔを回収側から矢印Ｙ方向に投入側へ案内し、エリアｈよりエリアｃを経て（ｈ≧ｃ）、エリアａに落下して再度循環するようになっている。
【００３３】
樹脂タブレットｔの流れについて説明すると、図５において、ホッパー３４より第１のタブレット収容器３９のエリアｃ付近に供給された樹脂タブレットｔは、エリアａに落ち込んで第１の振動部４０の振動によって、第１のガイド部４４に沿って矢印Ｘ方向に送り出される。また、第１のガイド部４４に倣わずに送り出された樹脂タブレットｔは第１の整流板５０及び第２の整流板５１によりエリアｅを介して第２のタブレット収容器４２のエリアｆに収容される（図８（ｂ）参照）。そして、図６に示すように、第２の振動部４３の振動によって第２のガイド部４５に案内されて矢印Ｙ方向にエリアｈへ戻され、樹脂タブレットｔは図５に示すようにエリアｃを経てエリアａへ落ち込んで再度第１のガイド部４４に沿って送り出される（図８（ａ）参照）。尚、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２に生じた樹脂粉は、各容器の振動によって図７に示すエリアｅ及びエリアｈの傾斜（水平方向に対する傾斜角θ）に沿って隙間部４６に導かれて粉塵回収部４７に落下して集塵箱４８に回収されるので、容器内で樹脂粉が飛散することはない。
【００３４】
このようにホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔが第１のタブレット収容器３９内を投入側より直線的に送り出され、送り出されずに回収された樹脂タブレットｔを第２のタブレット収容器４２内を第１のタブレット収容器３９の投入側へ直線的に戻されて循環するため、タブレットの供給から整列までの距離を短くすることができ、樹脂タブレットｔの送り速度を速めることができ、しかも粉塵の発生を可能な限り抑えることができる。
第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とは、樹脂タブレットｔを送り出す第１の搬送面４４と樹脂タブレットｔを循環させる第２の搬送面４５とが交差するように併設されている場合には、ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔを送り出し可能なものと循環させる必要があるものとで仕分けが整然と行える。
また、第１の振動部４０と第２の振動部４３とは振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーを組合わせることで、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とを容易に同期取りを行って振動させることができ、樹脂タブレットｔを迅速かつスムーズに送りながら容器内を循環させることができ、しかも設置面積や製造コストを削減することも可能である。
また、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とは隙間部４６を介して併設されており、隙間部４６の下方には粉塵回収部４７が設けられているので、樹脂タブレットｔの循環搬送時に振動により発生した樹脂粉を効率良く回収できる。
また、増設レールユニットＣを増設してプレス部の数を増やしても、樹脂タブレット送り動作が高速であるため、半導体パッケージの増産にも対応可能となる。また、増設レールユニットＣにはプレス部に限らず他の機能部を搭載できるので、装置の拡張性（多機能化）や汎用性を高めることもできる。
【００３５】
上記実施例では、第１のタブレット収容器３９の第１の搬送面（第１のガイド部）４４を水平基準として第２のタブレット収容器４２の第２の搬送面（第２のガイド部）４５を交差して併設されていた。即ち、図１１に示すように、第１の搬送面（送り出し側）４４が水平面とほぼ平行に設けられ、第２の搬送面（循環側）４５が右斜め上方に傾斜して設けられていたが、必ずしもこの態様に限定されるものではない。
例えば、図１２、図１３に示すように、第１のタブレット収容器３９の第１の搬送面４４と第２のタブレット収容器４２の第２の搬送面４５を水平面に対して傾斜するように交差して併設しても良い。即ち、図１２において、第１の搬送面（送り出し側）４４が水平面に対して左斜め上方に傾斜して設けられ、第２の搬送面（循環側）４５が右斜め上方に傾斜して設けられていても良い。この場合には、ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔをより多く投入側に収容して送り出すことができる。
また、図１３において、第１の搬送面（送り出し側）４４及び第２の搬送面（循環側）４５が右斜め上方に傾斜して設けられていても良い。この場合には、樹脂タブレットｔを第１の搬送面４４に沿って第１の振動部４０の振動及び自重によりスムーズに送り出すことができる。
【００３６】
また、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２との間に形成される隙間４６は、単に収容器どうしを並べて形成される空隙に限らず、収容器どうしを部分的にオーバーラップさせて形成される隙間であっても良い。具体的には、図１４〜図１６において、例えば、第２のタブレット収容器４２の一部にスリット５３を形成して、第１のタブレット収容器３９の重畳部５４と第２のタブレット収容器４２の重畳部５５を互いにオーバーラップ（重ね合わせて）させてを併設しても良い。この場合には、スリット５３及び重畳部５４と重畳部５５との隙間４６より樹脂粉が下方に設けられた粉塵回収部４７に落下して回収される。
【００３７】
また、図１７において、第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とを間隙を形成して併設すると共に、これらの間隙に網材或いは孔開き材等の隙間材５６を設けて隙間を形成しても良い。この場合には、隙間材５６の孔より樹脂粉が下方に設けられた粉塵回収部４７に落下して回収される。
【００３８】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、樹脂封止装置は、被成形品供給ユニットＡと成形品供給ユニットＢとが分離するように構成されているが、これらを一体に備えた樹脂封止装置であっても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００３９】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂タブレット送り装置を用いると、ホッパーより投入された樹脂タブレットが第１のタブレット収容器内を投入側よりガイド部に案内されて直線的に送り出され、送り出されずに回収された樹脂タブレットを第２のタブレット収容器内を第１のタブレット収容器の投入側へ直線的に戻されて循環するため、タブレットの供給から整列までの距離を短くすることができ、樹脂タブレットの送り速度を速めることができ、しかも粉塵の発生を可能な限り抑えることができる。
第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器とは、樹脂タブレットを送り出す第１の搬送面と樹脂タブレットを循環させる第２の搬送面とが交差するように併設されている場合には、ホッパーより投入された樹脂タブレットを送り出し可能なものと循環させる必要があるものとで仕分けが整然と行える。
第１の振動部と第２の振動部とは振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーを組合わせることで、第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器とを容易に同期取りを行って振動させることができ、樹脂タブレットを迅速かつスムーズに送りながら容器内を循環させることができ、しかも設置面積や製造コストを削減することも可能である。
また、第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器とは隙間部を介して併設されており、隙間部の下方には粉塵回収部が設けられているので、樹脂タブレットの循環搬送時に振動により発生した樹脂粉を効率良く回収できる。
また、樹脂封止装置においては、プレス部の数を増やしても、樹脂タブレット送り動作が高速であるため、半導体パッケージの増産にも対応可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】樹脂タブレット送り装置の上視図である。
【図２】図１の矢印Ｐ方向から見た側面図である。
【図３】図１の矢印Ｑ方向から見た側面図である。
【図４】第１、第２のタブレット収容器の平面説明図である。
【図５】第１、第２のタブレット収容器のタブレット搬送動作を示す模式平面図である。
【図６】第１、第２のタブレット収容器の断面説明図である。
【図７】第１、第２のタブレット収容器の底部の傾斜状態を示す説明図である。
【図８】樹脂タブレット送出し部と樹脂タブレット循環部の流れを示す説明図である。
【図９】第１のタブレット収容器に設けられた整列板の取付位置を示す説明図である。
【図１０】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図１１】第１、第２のタブレット収容器の配置形態を示す模式説明図である。
【図１２】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の配置形態を示す模式説明図である。
【図１３】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の配置形態を示す模式説明図である。
【図１４】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の模式平面図である。
【図１５】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の断面説明図である。
【図１６】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の底部を示す模式説明図である。
【図１７】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の模式平面図である。
【符号の説明】
Ａ 被成形品供給ユニット
Ｂ 成形品収納ユニット
Ｃ 増設レールユニット
１ 基板供給部
２ 供給マガジン
３ ターンテーブル
４ 供給位置
５ 樹脂タブレット供給部
６ タブレットホルダー
７、２４、３１ プレス部
８ モールド金型
９ 供給側台座部
１３ 供給側移動レール部
１４ ローダー
１５ アンローダー
１６ 供給側吸引ダクト
１７ 集塵機
１８ 成形品取出部
１９ 移動テーブル
２０ ディゲート部
２１ 成形品収納部
２２ 成形品ピックアップ
２３ 収納マガジン
２５ 収納側台座部
２６ 収納側移動レール部
２７ 収納側吸引ダクト
２８ 増設側移動レール部
２９ 増設側台座部
３０ 増設側吸引ダクト
３２ ゲートブレイクトレイ
３３ 樹脂タブレット送り装置
３４ ホッパー
３５ タブレット保管容器
３６ ベース
３７ 支持ロッド
３８ 樹脂タブレット送出し部
３９ 第１のタブレット収容器
４０ 第１の振動部
４１ 樹脂タブレット循環部
４２ 第２のタブレット収容器
４３ 第２の振動部
４４ 第１のガイド部
４５ 第２のガイド部
４６ 隙間部
４７ 粉塵回収部
４８ 集塵箱
４９ 上ガイド
５０ 第１の整流板
５１ 第２の整流板
５２ 集塵ダクト
５３ スリット
５４、５５ 重畳部
５６ 隙間材
Claims (4)
- ホッパーより投入された樹脂タブレットを収容して投入側より整列して送り出し方向に案内する第１のタブレット収容器と、該第１のタブレット収容器を振動させて前記樹脂タブレットを第１の搬送面に倣うように送り出す第１の振動部と、を備えた樹脂タブレット送出し部と、
前記第１のタブレット収容器より送り出されなかった樹脂タブレットを回収して収容する第２のタブレット収容器と、該第２のタブレット収容器を前記第１の振動部と振動方向が逆向きに振動させて、投入側が高くなるように傾斜して前記第１の搬送面と交差する第２の搬送面に沿って前記樹脂タブレットを案内して前記第１のタブレット収容器の投入側に循環させる第２の振動部と、を備えた樹脂タブレット循環部が設けられており、
前記樹脂タブレット送出し部と樹脂タブレット循環部とは、前記第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器が隙間部を隔てて併設されかつ該隙間部の下方に粉塵回収部が設けられており、前記ホッパーから前記第１のタブレット収容器に投入された樹脂タブレットのうち第１の搬送面に倣うもののみが直線的に送り出され、前記第１のタブレット収容器より送り出されずに前記隙間部を介して前記第２のタブレット収容器へ回収された樹脂タブレットを、前記第２の搬送面に沿って前記第１のタブレット収容器の投入側へ前記隙間部を介して戻して循環させることを特徴とする樹脂タブレット送り装置。 - 前記第１の振動部と第２の振動部とは、振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーが用いられていることを特徴とする請求項１記載の樹脂タブレット送り装置。
- 請求項１又は２記載の樹脂タブレット送り装置を有する被成形品供給部より被成形品及び樹脂タブレットがローダーに保持されてプレス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダーに保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行われることを特徴とする樹脂封止装置。
- 前記被成形品供給部と前記成形品収納部との間に、前記ローダー及びアンローダーが共用して移動可能な移動レール部と該移動レール部を支持する台座部とを備えた増設レールユニットが、移動レール部どうしが連続するように挿脱可能に設けられていることを特徴とする請求項３記載の樹脂封止装置。
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