JP2001300978A

JP2001300978A - 樹脂タブレット送り装置及び樹脂封止装置

Info

Publication number: JP2001300978A
Application number: JP2000122911A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiko Miyashita; 保彦宮下
Original assignee: Apic Yamada Corp
Current assignee: Apic Yamada Corp
Priority date: 2000-04-24
Filing date: 2000-04-24
Publication date: 2001-10-30
Anticipated expiration: 2020-04-24
Also published as: JP4327988B2

Abstract

(57)【要約】【課題】樹脂タブレットの送り動作を高速化すると共
に製造コストや設置スペースを低減した樹脂タブレット
送り装置を提供する。【解決手段】ホッパー３４より投入された樹脂タブレ
ットｔを収容して投入側より整列して送り出し方向に案
内する第１のタブレット収容器３９と、該第１のタブレ
ット収容器３９を振動させて樹脂タブレットｔを送り出
す第１の振動部４０とを備えた樹脂タブレット送出し部
３８と、第１のタブレット収容器３９より送り出されず
に回収された樹脂タブレットｔを収容する第２のタブレ
ット収容器４２と、該第２のタブレット収容器４２を振
動させて樹脂タブレットｔを第１のタブレット収容器３
９の投入側に循環させる第２の振動部４３とを備えた樹
脂タブレット循環部４１を併設した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する利用分野】本発明はホッパーより投入さ
れた樹脂タブレットをタブレット収容器を振動させて投
入側より整列して送り出す樹脂タブレット送り装置及び
該樹脂タブレット送り装置を備えた樹脂封止装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置として用いられる樹脂封
止装置には、被成形品供給部よりローダーにより被成形
品がプレス部に搬入され、アンローダーにより成形品が
プレス部より取出されて成形品収納部へ収納されるよう
になっている。被成形品供給部は、リードフレーム、樹
脂基板などの基板を収納する供給マガジンよりプッシャ
ーなどにより供給テーブルに送出する基板供給部や、ポ
ットピッチに応じて保持穴が形成されたタブレットホル
ダーに樹脂タブレットを保持して供給テーブル上に供給
する樹脂タブレット供給部とを備えている。基板供給部
及び樹脂タブレット供給部より供給テーブルに供給され
た基板及び樹脂タブレットは、上方に待機しているロー
ダーに受け渡される。ローダーは、基板及び樹脂タブレ
ットを保持して型開きしたいずれかのプレス部に搬入
し、該プレス部はこれらをクランプして樹脂封止が行わ
れる。

【０００３】この樹脂タブレット供給部は、多数の樹脂
タブレットをボウル状の容器に収容して底部を振動させ
ることにより一定の姿勢を保った樹脂タブレットを螺旋
状の通路を移動させる螺旋振動式パーツフィーダーが用
いられている。例えば特開平５−１３８６８１号公報等
においては、螺旋振動式パーツフィーダーより樹脂タブ
レットを送り出し、送り出された樹脂タブレットは先頭
側より送りハンドにより保持してモールド金型に装填さ
れる。

【０００４】また、特開平６−１６６０４９号公報、特
開平１０−１５９９４号公報等には、螺旋振動式パーツ
フィーダーとリニア振動式パーツフィーダーとを組みあ
わせて樹脂タブレットを送り出す装置も提案されてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年、半導体パッケー
ジの生産調整や多品種少量生産の要請に伴い、プレス部
をモジュール化して増減可能な樹脂封止装置が開発され
実用化されている。このため、半導体パッケージの生産
量を増やす場合には、被成形品供給部からローダーによ
り基板や樹脂タブレットをプレス部へ高速に搬入する搬
入動作が求められている。よって、ローダーに受け渡さ
れる基板や樹脂タブレットの供給動作が迅速に行われる
必要がある。

【０００６】螺旋振動式パーツフィーダーのみにより樹
脂タブレットの送り出しを行う場合は、樹脂タブレット
が螺旋状の通路を移動するため移送距離が長く、樹脂タ
ブレットの送り出し動作を高速化し難い。また、樹脂タ
ブレットを収容する容器はボウル形状をしており、設置
スペースを要する。また、樹脂タブレットは螺旋状通路
を移送中は常に振動しているため、樹脂タブレットどう
しが接触したり、樹脂タブレットが容器にぶつかったり
して砕け歩留まりが低下するうえに、粉塵が周囲に飛散
して環境を汚染し易い。

【０００７】また、螺旋振動式パーツフィーダーにリニ
ア振動式パーツフィーダーを組合わせた場合には、螺旋
振動式とリニア振動式とで振動方向が異なるため、パー
ツフィーダー間のタブレット移送速度を整合させる（マ
ッチングをとる）のが困難であった。即ち、振動方向の
マッチングがとれない場合には、樹脂タブレットが滞留
したり、樹脂タブレットどうしの接触や樹脂タブレット
と容器との接触頻度が高まって砕けたり、粉塵が周囲に
飛散し易い。また、異なる振動方式のパーツフィーダー
を併設しているため、設置面積も要するうえに、製造コ
ストも増加する。

【０００８】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、樹脂タブレットの送り出し動作を高速化すると共
に製造コストや設置スペースを低減した樹脂タブレット
送り装置及び該樹脂タブレット送り装置を備えて、プレ
ス部の増設に伴う成形品の増産に対応可能にした樹脂封
止装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。即ち、樹脂タブレット
送り装置においては、ホッパーより投入された樹脂タブ
レットを収容して投入側より整列して送り出し方向に案
内する第１のタブレット収容器と、該第１のタブレット
収容器を振動させて樹脂タブレットを送り出す第１の振
動部とを備えた樹脂タブレット送出し部と、第１のタブ
レット収容器より送り出されずに回収された樹脂タブレ
ットを収容する第２のタブレット収容器と、該第２のタ
ブレット収容器を振動させて樹脂タブレットを第１のタ
ブレット収容器の投入側に循環させる第２の振動部とを
備えた樹脂タブレット循環部を併設したことを特徴とす
る。また、第１のタブレット収容器と第２のタブレット
収容器とは、樹脂タブレットを送り出す第１の搬送面と
樹脂タブレットを循環させる第２の搬送面とが交差する
ように併設されていることを特徴とする。また、第１の
振動部と第２の振動部とは振動方向が互いに逆向きとな
るリニアフィーダーが用いられていることを特徴とす
る。また、第１のタブレット収容器と第２のタブレット
収容器とは隙間部を介して併設されており、隙間部の下
方には粉塵回収部が設けられていることを特徴とする。

【００１０】また、樹脂封止装置においては、前述した
樹脂タブレット送り装置を有する被成形品供給部より被
成形品及び樹脂タブレットがローダーに保持されてプレ
ス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダー
に保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行わ
れることを特徴とする。また、被成形品供給部と成形品
収納部との間に、ローダー及びアンローダーが共用して
移動可能な移動レール部と該移動レール部を支持する台
座部とを備えた増設レールユニットが、移動レール部ど
うしが連続するように挿脱可能に設けられていることを
特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について添付図面と共に詳述する。樹脂封止装置は、被
成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より
成形品を取り出すアンローダーとが移動レール部を共用
して樹脂封止するように構成されている。図１は樹脂タ
ブレット送り装置の上視図、図２は図１の矢印Ｐ方向か
ら見た側面図、図３は図１の矢印Ｑ方向から見た側面
図、図４は第１、第２のタブレット収容器の平面説明
図、図５は第１、第２のタブレット収容器のタブレット
搬送動作を示す模式平面図、図６は第１、第２のタブレ
ット収容器の断面説明図、図７は第１、第２のタブレッ
ト収容器の底部の傾斜状態を示す説明図、図８（ａ）
（ｂ）は樹脂タブレット送出し部と樹脂タブレット循環
部の流れを示す説明図、図９は第１のタブレット収容器
に設けられた整列板の取付位置を示す説明図、図１０は
樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。

【００１２】図１０において、先ず樹脂封止装置の概略
構成について説明する。樹脂封止装置は被成形品供給部
である被成形品供給ユニットＡと成形品収納部である成
形品収納ユニットＢとの間に各種機能を備えた増設レー
ルユニットＣを挿脱可能に備えている。被成形品供給ユ
ニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニッ
トＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、
該台座部には各種機能部を備えることが可能である。各
種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、デ
ィゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が
適宜設置されている。以下各部の構成について説明す
る。

【００１３】［被成形品供給ユニットＡ］図１０におい
て、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納した
リードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるタ
ーンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブ
ル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出
し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加
熱手段を設けても良い。５は樹脂タブレット供給部であ
り、後述する樹脂タブレットを多数収容した樹脂タブレ
ット送り装置から樹脂タブレットを整列送りしてタブレ
ットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を受
渡し位置まで移動させて供給する。

【００１４】７はプレス部であり、モールド金型８及び
該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構
及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しなが
ら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装
備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けら
れている。

【００１５】１３は供給側移動レール部であり、供給位
置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６
より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４
やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５
が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びア
ンローダー１５は、供給側移動レール部１３を含む移動
レール部を所要位置へ移動してプレス部７含む所要のプ
レス部に一方向から進退移動するようになっている。

【００１６】１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接
続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部
１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は
集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６
ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レー
ルユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になってい
る。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り
出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダク
ト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示
せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移
動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作
を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するよう
になっている。

【００１７】[成形品収納ユニットＢ]図１０において、
１８は成形品取出部であり、いずれかのプレス部よりア
ンローダー１５により取出された成形品を下方に待機し
ている移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダー
１５は、チャック機構やクリーニング機構及び吸引機構
などが設けられている。アンローダー１５は成形品を移
送手段として設けた移動テーブル１９へ受け渡すと次の
成形品の取出し動作に移行する。

【００１８】移動テーブル１９は、アンローダー１５よ
り成形品が受け渡される成形品取出部１８から、成形品
のゲートブレイクが行われるディゲート部２０を経て、
成形品が収納される成形品収納部２１までの間を往復移
動する。ディゲート部２０において、移動テーブル１９
のゲートブレイクトレイ３２へ載置されて移送された成
形品は、成形品クランプ機構によりクランプされて冷却
されると共に、ゲートブレイクトレイ３２と共に基板両
側を回動させることによりゲートブレイクが行われ不要
樹脂が分離される。分離された不要樹脂は図示しないス
クラップボックスへ回収される。次いで、移動テーブル
１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ移送す
る。成形品収納部２１において、移動テーブル１９によ
り移送された成形品は、成形品ピックアップ２２により
一旦保持される。そして、移動テーブル１９が成形品取
出部１８へ向かって移動すると、成形品ピックアップ２
２は必要に応じて旋回して、下方に設けられた収納マガ
ジン２３へ下動して向きを揃えて成形品を収納する。

【００１９】２４はプレス部であり、モールド金型８及
び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機
構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しな
がら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが
装備されている。

【００２０】２６は収納側移動レール部であり、プレス
部２４へ被成形品及び樹脂タブレットを搬入するローダ
ー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンロー
ダー１５が共用して移動可能になっている。

【００２１】２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移
動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２
７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダク
ト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結してお
り、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。ア
ンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す
際に、アンローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２
７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せ
ず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動
する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行
い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設け
られた集塵機１７へ集塵するようになっている。

【００２２】[増設レールユニットＣ]増設レールユニッ
トＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニット
Ｂとの間に挿脱可能に設けられている。２８は増設側移
動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収
納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した
際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動
可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供
給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間
を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可
能になっている（図１０参照）。２９は増設側台座部で
あり、増設側移動レール部２８を支持すると共にプレス
部３１やフィルムユニットなどの様々な機能を有する機
能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣ
は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢと
の間に移動レール部どうしが連続するように挿入された
後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側
台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２
９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。

【００２３】また、増設側移動レール部２８には増設側
吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンロー
ダー１５のローダー側吸引ダクトに接続可能なダクト連
結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３０
は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢと
の間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側移
動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設け
られた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２７
間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介し
て各々連結して集塵機１７へ連通するようになっている
（図１０参照）。

【００２４】［樹脂タブレット送り装置の詳細説明］こ
こで、樹脂タブレット送り装置の構成について図１〜図
９を参照して説明する。先ず、樹脂タブレット供給部
５の概略構成について説明する。樹脂タブレット送り装
置３３は、樹脂タブレットｔをタブレット収容器より整
列して送り出す。送り出された先頭側の樹脂タブレット
ｔは図示しないタブレット装填部によりブレットホルダ
ー６の保持穴に順次装填される。樹脂タブレットｔが装
填されたタブレットホルダー６は図示しないタブレット
受渡し機構により装填位置からローダー１４と対峙した
受渡し位置へ移動させて保持穴に保持した樹脂タブレッ
トｔを受渡すようになっている。

【００２５】次に、樹脂タブレット送り装置３３の各部
の構成について説明する。３４はホッパーであり、樹脂
タブレットｔを保管するタブレット保管容器３５より多
数の樹脂タブレットｔが投入される。ホッパー３４はベ
ース３６に立設された支持ロッド３７の上端側に支持さ
れている。ホッパー３４に投入された樹脂タブレットｔ
は、ホッパー３４を一定時間振動させて定量ずつタブレ
ット収容器へ投入するようになっている。３８は樹脂タ
ブレット送出し部であり、第１のタブレット収容器３９
及び第１の振動部４０を具備している。４１は樹脂タブ
レット循環部であり、第２のタブレット収容器４２及び
第２の振動部４３を具備している。樹脂タブレット送出
し部３８と樹脂タブレット循環部４１とは、近接して併
設されている。

【００２６】第１のタブレット収容器３９は、底部に断
面半円状の第１のガイド部（下ガイド）４４が形成され
ている。また、第１のガイド部４４に対向した位置には
上ガイド４９が設けられている。この上ガイド４９に
は、図４及び図９に示すように、第１の整流板５０及び
第２の整流板５１が設けられており、これらは、第１の
ガイド部４４に倣わずに起立したり横向きになって搬送
された樹脂タブレットｔを第２のタブレット収容器４２
に向かって落下させる。ホッパー３４より投入された樹
脂タブレットｔのうち、第１のガイド部（第１の搬送
面）４４に倣うもののみを矢印Ｘ方向に整列して案内す
る。第１の振動部４０は、第１のタブレット収容器３９
を振動させて樹脂タブレットｔを第１のガイド部４４に
沿って図２の矢印Ｘ方向に送り出す。

【００２７】第２のタブレット収容器４２は、第１のタ
ブレット収容器３９より送り出されずに回収された樹脂
タブレットｔを含む多数の樹脂タブレットｔを収容し、
底部に送り方向（図２の矢印Ｘ方向）と逆方向（矢印Ｙ
方向）へ案内する第２のガイド部（凹溝）４５が形成さ
れている。第２の振動部４３は、第２のタブレット収容
器４２を振動させて樹脂タブレットｔを第２のガイド部
（第２の搬送面）４５に沿って矢印Ｙ方向へ案内して第
１のタブレット収容器３９の樹脂タブレットｔの投入側
に循環させる。

【００２８】第１の振動部４０と第２の振動部４３とは
振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーが用い
られている。リニアフィーダーは公知の圧電素子と板ば
ねを組合わせて第１、第２のタブレット収容器３９、４
２を振動させる。このように、振動方向が互いに逆向き
となるリニアフィーダーを組合わせることで、第１のタ
ブレット収容器３９と第２のタブレット収容器４２とを
容易に同期取りを行って振動させることができ、樹脂タ
ブレットｔを迅速かつスムーズに送りながら容器内を循
環させることができる。

【００２９】また、第１のタブレット収容器３９と第２
のタブレット収容器４２とは、樹脂タブレットｔを送り
出す第１のガイド部（第１の搬送面）４４を水平面に平
行に配置して、樹脂タブレットｔを循環させる第２のガ
イド部（第２の搬送面）４５は第１のガイド部４４と交
差するように併設されている（図６参照）。これによ
り、ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔを送
り出し可能なものと循環させる必要があるものとで仕分
けが整然と行える。

【００３０】また、第１のタブレット収容器３９と第２
のタブレット収容器４２とは隙間部４６を介して併設さ
れており（図４参照）、隙間部４６の下方には粉塵回収
部４７が設けられている（図７参照）。樹脂タブレット
ｔが第１のタブレット収容器３９や第２のタブレット収
容器４２に収容されて振動させることにより、タブレッ
トどうしの接触やタブレットと容器との接触により生じ
た樹脂粉を、隙間部４６より粉塵回収部４７に落下させ
る。そして、粉塵回収部４７に落下した樹脂粉は集塵箱
４８へ回収されるようになっている（図１参照）。ま
た、集塵箱４８を設ける代わりに、図１０に示すよう
に、樹脂タブレット送り装置３３と集塵機１７とを集塵
ダクト５２により連結して、粉塵回収部４７に落下した
樹脂粉を集塵機１７へ集塵するようにしても良い。上記
隙間４６の近傍に集塵ダクト５２を設けることにより、
樹脂タブレットｔの循環搬送時に振動により発生した樹
脂粉を効率良く吸引できる。

【００３１】ここで、第１のタブレット収容器３９と第
２のタブレット収容器４２の構成について、図４〜図６
を参照して具体的に説明する。尚、説明をし易くするた
め、図４において、第１のタブレット収容器３９及び第
２のタブレット収容器４２の底部のうち高さが異なるエ
リアにａ〜ｈの符号を付して説明する。図４において、
第１のタブレット収容器３９における各エリアの高さ関
係について説明する。樹脂タブレットｔが投入されるエ
リアａ〜エリアｃにおいて、エリアａに第１のガイド部
４４が形成されており、該エリアａに向かってエリアｂ
及びエリアｃが傾斜して設けられている（ａ＜ｂ、ａ＜
ｃ）。また、第１の整流板５０近傍のエリアｄはエリア
ａより下方に傾斜しており（ｄ＜ａ）、さらに第２の整
流板５１の近傍のエリアｅはエリアｄより更に低くなる
ように傾斜している（ｅ＜ｄ）。

【００３２】図４において、第２のタブレット収容器４
２は、第１のタブレット収容器３９に対して、隙間部４
６を形成して併設されている。第２のタブレット収容器
４２における各エリアの高さ関係について説明する。タ
ブレット回収側に相当するエリアｅに隣接するエリアｆ
が最も低く、タブレット投入側に相当する段差ｇ及びこ
れに連なるエリアｈが最も高くなるように傾斜している
（ｆ＜ｇ）。また、第２のガイド部４５は、エリアｆか
らエリアｈにわたって形成されており、樹脂タブレット
ｔを回収側から矢印Ｙ方向に投入側へ案内し、エリアｈ
よりエリアｃを経て（ｈ≧ｃ）、エリアａに落下して再
度循環するようになっている。

【００３３】樹脂タブレットｔの流れについて説明する
と、図５において、ホッパー３４より第１のタブレット
収容器３９のエリアｃ付近に供給された樹脂タブレット
ｔは、エリアａに落ち込んで第１の振動部４０の振動に
よって、第１のガイド部４４に沿って矢印Ｘ方向に送り
出される。また、第１のガイド部４４に倣わずに送り出
された樹脂タブレットｔは第１の整流板５０及び第２の
整流板５１によりエリアｅを介して第２のタブレット収
容器４２のエリアｆに収容される（図８（ｂ）参照）。
そして、図６に示すように、第２の振動部４３の振動に
よって第２のガイド部４５に案内されて矢印Ｙ方向にエ
リアｈへ戻され、樹脂タブレットｔは図５に示すように
エリアｃを経てエリアａへ落ち込んで再度第１のガイド
部４４に沿って送り出される（図８（ａ）参照）。尚、
第１のタブレット収容器３９と第２のタブレット収容器
４２に生じた樹脂粉は、各容器の振動によって図７に示
すエリアｅ及びエリアｈの傾斜（水平方向に対する傾斜
角θ）に沿って隙間部４６に導かれて粉塵回収部４７に
落下して集塵箱４８に回収されるので、容器内で樹脂粉
が飛散することはない。

【００３４】このようにホッパー３４より投入された樹
脂タブレットｔが第１のタブレット収容器３９内を投入
側より直線的に送り出され、送り出されずに回収された
樹脂タブレットｔを第２のタブレット収容器４２内を第
１のタブレット収容器３９の投入側へ直線的に戻されて
循環するため、タブレットの供給から整列までの距離を
短くすることができ、樹脂タブレットｔの送り速度を速
めることができ、しかも粉塵の発生を可能な限り抑える
ことができる。第１のタブレット収容器３９と第２のタ
ブレット収容器４２とは、樹脂タブレットｔを送り出す
第１の搬送面４４と樹脂タブレットｔを循環させる第２
の搬送面４５とが交差するように併設されている場合に
は、ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔを送
り出し可能なものと循環させる必要があるものとで仕分
けが整然と行える。また、第１の振動部４０と第２の振
動部４３とは振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィ
ーダーを組合わせることで、第１のタブレット収容器３
９と第２のタブレット収容器４２とを容易に同期取りを
行って振動させることができ、樹脂タブレットｔを迅速
かつスムーズに送りながら容器内を循環させることがで
き、しかも設置面積や製造コストを削減することも可能
である。また、第１のタブレット収容器３９と第２のタ
ブレット収容器４２とは隙間部４６を介して併設されて
おり、隙間部４６の下方には粉塵回収部４７が設けられ
ているので、樹脂タブレットｔの循環搬送時に振動によ
り発生した樹脂粉を効率良く回収できる。また、増設レ
ールユニットＣを増設してプレス部の数を増やしても、
樹脂タブレット送り動作が高速であるため、半導体パッ
ケージの増産にも対応可能となる。また、増設レールユ
ニットＣにはプレス部に限らず他の機能部を搭載できる
ので、装置の拡張性（多機能化）や汎用性を高めること
もできる。

【００３５】上記実施例では、第１のタブレット収容器
３９の第１の搬送面（第１のガイド部）４４を水平基準
として第２のタブレット収容器４２の第２の搬送面（第
２のガイド部）４５を交差して併設されていた。即ち、
図１１に示すように、第１の搬送面（送り出し側）４４
が水平面とほぼ平行に設けられ、第２の搬送面（循環
側）４５が右斜め上方に傾斜して設けられていたが、必
ずしもこの態様に限定されるものではない。例えば、図
１２、図１３に示すように、第１のタブレット収容器３
９の第１の搬送面４４と第２のタブレット収容器４２の
第２の搬送面４５を水平面に対して傾斜するように交差
して併設しても良い。即ち、図１２において、第１の搬
送面（送り出し側）４４が水平面に対して左斜め上方に
傾斜して設けられ、第２の搬送面（循環側）４５が右斜
め上方に傾斜して設けられていても良い。この場合に
は、ホッパー３４より投入された樹脂タブレットｔをよ
り多く投入側に収容して送り出すことができる。また、
図１３において、第１の搬送面（送り出し側）４４及び
第２の搬送面（循環側）４５が右斜め上方に傾斜して設
けられていても良い。この場合には、樹脂タブレットｔ
を第１の搬送面４４に沿って第１の振動部４０の振動及
び自重によりスムーズに送り出すことができる。

【００３６】また、第１のタブレット収容器３９と第２
のタブレット収容器４２との間に形成される隙間４６
は、単に収容器どうしを並べて形成される空隙に限ら
ず、収容器どうしを部分的にオーバーラップさせて形成
される隙間であっても良い。具体的には、図１４〜図１
６において、例えば、第２のタブレット収容器４２の一
部にスリット５３を形成して、第１のタブレット収容器
３９の重畳部５４と第２のタブレット収容器４２の重畳
部５５を互いにオーバーラップ（重ね合わせて）させて
を併設しても良い。この場合には、スリット５３及び重
畳部５４と重畳部５５との隙間４６より樹脂粉が下方に
設けられた粉塵回収部４７に落下して回収される。

【００３７】また、図１７において、第１のタブレット
収容器３９と第２のタブレット収容器４２とを間隙を形
成して併設すると共に、これらの間隙に網材或いは孔開
き材等の隙間材５６を設けて隙間を形成しても良い。こ
の場合には、隙間材５６の孔より樹脂粉が下方に設けら
れた粉塵回収部４７に落下して回収される。

【００３８】以上、本発明の好適な実施例について種々
述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるので
はなく、樹脂封止装置は、被成形品供給ユニットＡと成
形品供給ユニットＢとが分離するように構成されている
が、これらを一体に備えた樹脂封止装置であっても良い
等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得
るのはもちろんである。

【００３９】

【発明の効果】本発明に係る樹脂タブレット送り装置を
用いると、ホッパーより投入された樹脂タブレットが第
１のタブレット収容器内を投入側よりガイド部に案内さ
れて直線的に送り出され、送り出されずに回収された樹
脂タブレットを第２のタブレット収容器内を第１のタブ
レット収容器の投入側へ直線的に戻されて循環するた
め、タブレットの供給から整列までの距離を短くするこ
とができ、樹脂タブレットの送り速度を速めることがで
き、しかも粉塵の発生を可能な限り抑えることができ
る。第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器
とは、樹脂タブレットを送り出す第１の搬送面と樹脂タ
ブレットを循環させる第２の搬送面とが交差するように
併設されている場合には、ホッパーより投入された樹脂
タブレットを送り出し可能なものと循環させる必要があ
るものとで仕分けが整然と行える。第１の振動部と第２
の振動部とは振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィ
ーダーを組合わせることで、第１のタブレット収容器と
第２のタブレット収容器とを容易に同期取りを行って振
動させることができ、樹脂タブレットを迅速かつスムー
ズに送りながら容器内を循環させることができ、しかも
設置面積や製造コストを削減することも可能である。ま
た、第１のタブレット収容器と第２のタブレット収容器
とは隙間部を介して併設されており、隙間部の下方には
粉塵回収部が設けられているので、樹脂タブレットの循
環搬送時に振動により発生した樹脂粉を効率良く回収で
きる。また、樹脂封止装置においては、プレス部の数を
増やしても、樹脂タブレット送り動作が高速であるた
め、半導体パッケージの増産にも対応可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】樹脂タブレット送り装置の上視図である。

【図２】図１の矢印Ｐ方向から見た側面図である。

【図３】図１の矢印Ｑ方向から見た側面図である。

【図４】第１、第２のタブレット収容器の平面説明図で
ある。

【図５】第１、第２のタブレット収容器のタブレット搬
送動作を示す模式平面図である。

【図６】第１、第２のタブレット収容器の断面説明図で
ある。

【図７】第１、第２のタブレット収容器の底部の傾斜状
態を示す説明図である。

【図８】樹脂タブレット送出し部と樹脂タブレット循環
部の流れを示す説明図である。

【図９】第１のタブレット収容器に設けられた整列板の
取付位置を示す説明図である。

【図１０】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図
である。

【図１１】第１、第２のタブレット収容器の配置形態を
示す模式説明図である。

【図１２】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の
配置形態を示す模式説明図である。

【図１３】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の
配置形態を示す模式説明図である。

【図１４】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の
模式平面図である。

【図１５】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の
断面説明図である。

【図１６】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の
底部を示す模式説明図である。

【図１７】他例に係る第１、第２のタブレット収容器の
模式平面図である。

【符号の説明】

Ａ被成形品供給ユニットＢ成形品収納ユニットＣ増設レールユニット１基板供給部２供給マガジン３ターンテーブル４供給位置５樹脂タブレット供給部６タブレットホルダー７、２４、３１プレス部８モールド金型９供給側台座部１３供給側移動レール部１４ローダー１５アンローダー１６供給側吸引ダクト１７集塵機１８成形品取出部１９移動テーブル２０ディゲート部２１成形品収納部２２成形品ピックアップ２３収納マガジン２５収納側台座部２６収納側移動レール部２７収納側吸引ダクト２８増設側移動レール部２９増設側台座部３０増設側吸引ダクト３２ゲートブレイクトレイ３３樹脂タブレット送り装置３４ホッパー３５タブレット保管容器３６ベース３７支持ロッド３８樹脂タブレット送出し部３９第１のタブレット収容器４０第１の振動部４１樹脂タブレット循環部４２第２のタブレット収容器４３第２の振動部４４第１のガイド部４５第２のガイド部４６隙間部４７粉塵回収部４８集塵箱４９上ガイド５０第１の整流板５１第２の整流板５２集塵ダクト５３スリット５４、５５重畳部５６隙間材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ２９Ｋ 105:22 Ｂ２９Ｋ 105:22 Ｂ２９Ｌ 31:34 Ｂ２９Ｌ 31:34

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ホッパーより投入された樹脂タブレット
を収容して投入側より整列して送り出し方向に案内する
第１のタブレット収容器と、該第１のタブレット収容器
を振動させて前記樹脂タブレットを送り出す第１の振動
部とを備えた樹脂タブレット送出し部と、前記第１のタブレット収容器より送り出されずに回収さ
れた樹脂タブレットを収容する第２のタブレット収容器
と、該第２のタブレット収容器を振動させて前記樹脂タ
ブレットを前記第１のタブレット収容器の投入側に循環
させる第２の振動部とを備えた樹脂タブレット循環部を
併設したことを特徴とする樹脂タブレット送り装置。
【請求項２】前記第１のタブレット収容器と第２のタ
ブレット収容器とは、前記樹脂タブレットを送り出す第
１の搬送面と前記樹脂タブレットを循環させる第２の搬
送面とが交差するように併設されていることを特徴とす
る請求項１記載の樹脂タブレット送り装置。
【請求項３】前記第１の振動部と第２の振動部とは、
振動方向が互いに逆向きとなるリニアフィーダーが用い
られていることを特徴とする請求項１又は２記載の樹脂
タブレット送り装置。
【請求項４】前記第１のタブレット収容器と第２のタ
ブレット収容器とは隙間部を介して併設されており、前
記隙間部の下方には粉塵回収部が設けられていることを
特徴とする請求項１、２又は３記載の樹脂タブレット送
り装置。
【請求項５】請求項１〜４のうちいずれか１項記載の
樹脂タブレット送り装置を有する被成形品供給部より被
成形品及び樹脂タブレットがローダーに保持されてプレ
ス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダー
に保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行わ
れることを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項６】前記被成形品供給部と前記成形品収納部
との間に、前記ローダー及びアンローダーが共用して移
動可能な移動レール部と該移動レール部を支持する台座
部とを備えた増設レールユニットが、移動レール部どう
しが連続するように挿脱可能に設けられていることを特
徴とする請求項５記載の樹脂封止装置。