TW495825B - Holding system for object to be processed - Google Patents

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TW495825B TW090118182A TW90118182A TW495825B TW 495825 B TW495825 B TW 495825B TW 090118182 A TW090118182 A TW 090118182A TW 90118182 A TW90118182 A TW 90118182A TW 495825 B TW495825 B TW 495825B
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lower electrode
detection circuit
processed
power supply
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TW090118182A
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Eiji Hirose
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
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Description

495825 A7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1 ) 本發明關於一種被處理體之保持機構，其係用以保持 被處理體且搭載於電漿處理裝置等之處理室内。 一般而言，於電漿處理裝置中之半導體晶圓等被處理 體之保持機構上，使用利用靜電吸著之靜電夾盤，以對被 靜電吸著之被處理體施以預定之電漿處理。 該被處理體之保持構件之例有兩種形式，係如第5囷 所示之於靜電夾盤内所設之電極板施加直流高電壓，以及 如第6圖所示之於用以支持靜電夾盤之電漿發生用電極施 加直流高電壓。在此，將前者之靜電夾盤稱為分離型，而 後者稱為結合型。 該分離型之被處理之保持機構如第5囷所示包含有靜 電夾盤21及下部電極22,該靜電夾盤21係用以靜電吸著被 處理體（例如，半導體晶圓）者，該下部電極22係用以支持 該靜電夾盤21且在表面以耐酸鋁加工或陶瓷等絕緣體施 以塗料層之鋁所構成者。在該下部電極22之上方，空出預 定間並平行相對配置有上部電極23。 又，下部電極22係透過匹配電路24與高頻電源25連 接’並由高頻電源25對下部電極22施加高頻電力，且在下 部電極22及上部電極23間產生電漿P。該電漿P係透過配置 於下部電極22外周緣部之聚焦線圈22a，匯集於半導體晶 圓上，且對半導體晶圓W施以蝕刻等之電將處理。 上述靜電夾盤21係由聚醯亞胺系樹脂及陶瓷等之絕 緣性材料所形成，且在其内部設有電極板21a。在電極板 21 a上連接透過濾波器線路26而施加直流電壓之高電壓電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ϋ ·.1 1· ϋ n ϋ I- ϋ n ·1 ·1 I · n I 1 ϋ «I ϋ ϋ 一 φ- β (i先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -4- 495825
•五、發明說明（2) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 源27 ’由高電壓電源27對電極板213施加直流高電壓，以 在靜電夾盤21之表面上靜電吸著半導體晶圓。 遽波器線路26係具有線圈26a、電阻26b及電容器 26c ’且過濾自高頻電源25之高頻電流，以致高頻電流不 流入高電壓電源27側。 又’在下部電極上連接檢測電路28。該檢測電路28 係用以測量施加有高頻電力之下部電極22所產生之直流 (DC)成分〇例如，如第5圖所示具有線圈28a、電阻28b及 電容器28d，以測量a點之直流成分。進行該測量時，切 斷自高頻電源25之高頻電流，以致高頻電流不流入A點。 另一方面，如第6圖所示結合型之被處理體之保持機 構’除下部電極22兼作靜電夾盤21之電極板外，亦為以前 述分離型之被處理體之保持機構為基準之構造。即，在下 部電極22上連接高頻電源25及高電壓電源27兩者，且由高 頻電源25朝下部電極22施加高頻電力以致在上部電極23 間產生電漿P。又，由高電壓電源27朝下部電極22施加直 流高電壓，而使靜電夾盤21上帶有靜電以進行靜電吸著半 導體晶圓。 而，該檢測電路28除具有當作電將處理時之下部電極 22中之直流成分之檢測電路之機能外，亦具有當作除電電 路之機能，而該除電電路係將殘留於下部電極22及匹配電 路24内之電容器成分之電荷加以除去者。利用該除電電路 之特性，分離型之被處理體之保持機構係使用檢測電路28 以當作下部電極22之壽命管理機構。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀 背 面 之 注 項 再 填·至裝 頁 訂 線 495825 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（3 ) 即，進行電漿處理期間下部電極22之表面接受濺鍍且 耐酸鋁加工被削取而剝離，且藉該剝離之部分而在下部電 極22及上部電極23間形成閉合電路，且電流由下部電極22 流向檢測電路28側。 以檢測電路28測量該電流時，可依其測量值之大小而 把握下部電極22之濺链所致之剝離程度（消耗度），且可進 行管理下部電極22之壽命。檢測電路28係用以測量下部電 極22中之直流成分者，但直流成分除將高頻電力設為 ΟΝ/OFF時及將高電壓設為ΟΝ/OFF時外，理想之狀態為 0V。因此，電將處理時流過下部電極22之電流係可透過 耐酸鋁加工之剥離部分當作流過下部電極22之電流而把 握。 然而，第5圖所示之分離型之被處理體之保持機構， 係依處理條件對半導體晶園施以電漿處理期間，檢測電路 28當作除電電路，且電流il由下部電極22流入檢測電路 28。因此，由於下部電極22之電壓下降而在下部電極22 及聚焦線圈22a間產生電位差，且由於該電位差而在下部 t極22及聚焦線圈22a間產生異常放電。 為避免上述問題而卸下檢測電路28時，將可防止電衆 處理時之異常放電，但有在下部電極22上殘留電荷之缺 點，又，產生以下問題，係於維修時若藉下部電極22内之 冷媒流路使冷媒循環，則冷媒及冷媒流路之邊擦將產生靜 電且藉下部電極22進行帶電及感電。 又，第6圖所示之結合型之被處理體之保持機構，係 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Μ-------€·ίι!訂-----——線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -6 - 495825 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製
五、發明說明（4 ) 以高電壓電源27及檢測電路28形成閉合電路，因此如同一 圖所示產生電流i2由高電壓電源27流入檢測電路28，且由 高電壓電源27朝下部電極22之外加電壓降低，而使靜電夾 盤21之靜電吸著機熊降低之間題。又，為避免上述問題若 將檢測電路28卸下，則產生如分離型般藉下部電極22而帶 靜電之問題。 本發明之目的在提供一種被處理體之保持機構，羞係 可防止電極重壓下降同废i 卿 .------------，、|V.〜 本發明提供一種被處理體之保持機構，係用以使該 被處理體搭載於一電漿處理裝置内，該電漿處理裝置可由 高頻電源於用以產生電漿放電且呈相對向之兩電極中之 一方施加高頻電力，以對該被處理體施行電漿處理者，該 保持機構具有： 一靜電夾盤，係用以靜電吸著該被處理體者，且安裝於 連接有上述高頻電源之電極上； 一高電壓電源，係用以於該靜電夾盤供予直流電壓，以 發生靜電吸著力者； 一^^ΐϋ，係用以於上述電極施加高頻電力以對上述 被處理體施以預定電漿處理時，檢測該電極上發生之直流 成分；及 一切換開關，係可於上述被處理體進行處理時，將上述 —-------------— 檢測電路與上述電振之連接做電性切斷，而在測出上述直 流成分時或上述被處理體處於非處理狀態時，則可將上述 生測電路與上述電極做電性連接者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填· 寫裝 本. 頁 訂 線 ^^825 ^^825 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 i、發明說明（5) 又’ k供一種被處理體之保持機構’係用以使該被 處理體搭載於一電漿處理裝置内，該電漿處理裝置可由高 頻電源於用以產生電漿放電且呈相對向之兩電極中之一 方施加高頻電力，以對該被處理體施行電漿處理者，該保 持機構具有： 一靜電夾盤，係用以靜電吸著該被處理體者，且安裝於 連接有上述南頻電源之電極上；一高電壓電源，係用以於 該靜電夾盤供予直流電壓，以發生靜電吸著力者； 一檢測電路，係用以於上述電極施加高頻電力以對上述 被處理體施以預定電漿處理時，檢測該電極上發生之直流 成分；及 一切換開關，係可於上述被處理體進行處理時，將上述 檢測電路與上述電極之連接做電性切斷，而在測出上述直 流成分時或上述被處理體處於非處理狀態時，則可將上述 檢測電路與上述電極做電性連接者。 (簡單之圖示說明） 第1圖係顯示本發明被處理體之保持機構之第1實施 態樣之分離型構造。 第2圖係顯示本發明被處理體之保持機構之第2實施 態樣之結合型構造。 第3A、3B、3C圓係顯示第2囷所示結合型之被處理體 之保持機構中高電壓電源之電流及下部電極之偏壓電位 之關係。 第4圖係顯示第2圖所示之第2實施態樣之變形例。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ΙΓΙΓ! 螓·！訂-------線蟀 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 495825 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（6) 第5圖係例示一習知之分離型被處理體之保持機構之 構造。 第6圖係例示一習知之結合型被處理體之保持機構之 • 構造。 以下，參照圖示以詳細說明本發明之實施態樣。 第1圖係顯示本發明被處理體之保持機構之第丨實施 態樣之分離型構造。 該被處理體之保持機構10係包含有用以與上部電極7 相對而產生電装·之下部電極2'設於該下部電極2上且靜電 吸著半導體晶圓W之靜電夾盤1、施加在靜電夾盤1上用以 產生靜電吸著力之直流電壓之高電壓電源6、用以防止高 頻電流向高電壓電源6側繞入之濾波器線路5、用以於對半 導體晶圓W施以電漿處理時檢測在下部電極2產生之直流 成分之檢測電路8，並設有施加用以產生電漿之高頻電力 之高頻電源4、使自下部電極之反射電流消失之匹配電路 丨 3。 上述下部電極2之表面係由鋁所形成，而該鋁係施有 耐酸鋁加工或已鍍敷有成為陶瓷等之保護膜之絕緣體 -者，並在外周緣部上設有聚焦線圈9。又，在下部電極2 上方配置上部電極7，下部電極2極上部電極7係在囷中未 示之處理室内空出預定間隔而相互平行配置。 上述靜電夾盤1，由聚醯亞胺系樹脂、陶瓷等絕緣材 料所構成之夾盤本體部la、設於夾盤本體部la内且施加自 高電壓電源6之直流電壓之電極板lb所構成。濾波器線路5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------裝 • n Βϋ ϋ ϋ ϋ ϋ 訂--------線 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -9- 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 495825 A7 B7 五、發明說明（7 ) 在高電壓電源6極下部電極2間串聯有線圈5a及電阻5b，且 電容器5c將自高頻電源4之高頻電流加以過濾，而不使高 頻電流繞入高電壓電源側6。 上述檢測電路8係在下部電極2及接地間，藉串聯之線 圈8a、繼電器開關8b、電阻8c及電阻8b所構成。進而，在 線圈8a及繼電器開關8b間連接有接地之電容器8e。該繼電 器開關8b係常開接點，且根據圖中未示之用以控制整個裝 置之控制部之指示，開關駆動部10得以進行ON(導通）· OFF(非導通）之切換。 在上述構造中，由高電壓電源6透過濾波器線路5對電 極板lb施加高電壓，且將半導體晶圓w靜電吸著於靜電夾 盤1之狀態下，由囷中未示之氣體供給系統向處理室内供 給預定之處理氣體以保持預定之真空度，並由高頻電源4 透過匹配電路3對下部電極2施加高頻電力，以在下部電極 2及上部電極7間產生電漿，而對半導體晶圓w施以預定之 電漿處理。 然後，在下部電極2及聚焦線圈9等零件間，易產生異 常放電之處理條件下之電漿處理中，使繼電器開關8b呈開 狀態（非導通狀態），以阻斷直流電流向檢測電路8内流 入。又，停止電漿處理以維修電漿處理裝置時，使繼電器 開關8b呈關閉狀態（導通狀態），以使電流流入檢測電路8 内。 如上述在易產生異常放電之處理條件下進行電漿處 理時，檢測電路8之繼電器開關8b呈開放狀態，因此檢測 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --Γ — — — — — — — — · I I < i先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----- 線· -10- 495825 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（8 ) 電路8由下部電極2進行電性分離以阻斷輸入，而可防止下 部電極2之電壓下降且可防止下部電極2及聚焦線圈9等零 件間之異常放電。又，在不易產生異常放電之電漿處理中 欲檢測下部電極2之耐酸鋁加工之剝離程度時，係將繼電 器開關8b關閉並將檢測電路8電性連接於下部電極2。 假設下部電極2接受濺鍍而耐酸鋁加工之一部分被削 掉’則在藉下部電極2耐酸鋁加工所剝離之部分及上部電 極7間形成閉合電路，且電流i3由下部電極2流入檢測電路 8内，而在測量點A上可決定其電壓值。 依該電壓值之增加程度把握下部電極2之耐酸鋁加工 部分之剝離程度，進而把握下部電極2之壽命，以可進行 管理。又，維修電漿處理裝置時關閉繼電器開關8b並將檢 測電路8與下部電極2連接，以使檢測電路8當作除電電 路。因此，維修時冷媒於下部電極2内循環時，縱然在下 部電極2中產生靜電而不藉除電電路帶靜電亦可除去。 接著，在第2及第4圖中顯示第2實施態樣之結合型被 處理體之保持機構之構造並加以說明。在此，於本實施態 樣之構造部位與前述第1圖所示之構造部位相同之部位上 附相同之參照符號，並在此省略其說明。 在前述之第1實施態樣中，係構造成在夾盤本體1&内 設電極板lb，且由高壓電源6施加直流電壓，但本實施態 樣之被處理體之保持機構20係構造成不設電極板lb，且將 下部電極2當作電極板lb加以利用。 第2圖所示之被處理體之保持機構20係包含有用以與 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ϋ ϋ ϋ n Ale ft— mmt t§ n I · ·ϋ ϋ §mmm §^w an mmt mmm9 0 ϋ ·1 1· · _1 1·.· I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11· 495825 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（9 ) .上部電極7相對而產生電漿之下部電極2、設於該下部電極 2上且靜電吸著半導體晶圓w之靜電夹盤11、施加在靜電 夾盤11上用以產生靜電吸著力之直流電壓之高電壓電源 6、用以防止高頻電流向高電壓電源6側繞入之濾波器線路 5、用以於對半導體晶圓W施以電漿處理時檢測在下部電 極2產生之直流成分之檢測電路8,並設有施加用以產生電 漿之高頻電力之高頻電源4、取得高頻電源4之輸出中之整 合性且使自下部電極之反射電流消失之匹配電路3。 上述靜電夾盤11，由聚醯亞胺系樹脂、陶瓷等絕緣材 料所形成。與前述第1實施態樣之靜電夾盤1相異處為不具 有電極板《因此，配置於成為電極板之下部電極2上，且 透過下部電極由高電壓電源6施加直流電壓。 本實施態樣所使用之述檢測電路1 2，係與前述第1實 施態樣之檢測電路8幾乎為相同之構造，在下部電極2及接 地間，藉串聯之線圈12a、繼電器開關12b、電阻12c及電 阻12b所構成，並在線圈12a及繼電器開關12b間連接有接 地之電容器12e。該繼電器開關12b係常開接點，且根據圖 中未示之用以控制整個裝置之控制部之指示，開關驅動部 10得以進行ON(導通）· OFF(非導通）之切換。 如上述般構造係相同，但關於作用效果亦有相異點。 首先，共同點係維修時關閉繼電器開關12b並將檢測 電路12與下部電極2連接，以將檢測電路12當作除電電路 使用，而可防止下部電極2中之帶電。 接著，說明相異點。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I !-------嗓 — !訂-----！線_ f靖先閱tt·背面之注4事項再填寫本頁) •12- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（10) 本實施態樣中，電漿處理時將繼電器開關12b打開而 解除檢測電路12及下部電極2之連接，同時解除檢測電路 12及两電壓電源6之連接，以停止當作除電電路之機能。 藉此防止下部電極2上之高電壓之電壓下降而可保持靜電 夾盤11之靜電吸著機能。 但，將檢測電路當作下部電極2之壽命管理而作用 時，透過繼電器開關12b將檢測電路12及下部電極2連接， 則如習之技術所說明般在檢測電路12及高電壓電源6形成 閉合電路，而測量自高電壓電源6之高輸出電壓以代替測 量下部電極2之直流成分，如此無法使用於下部電極2之壽 命管理。本發明者發現高電壓電源6之電流及下部電極2 之偏壓電位Vdc間緊密地連結。 例如，第3圖（a)、（b)、（c)所示高電壓電源6之電流hv[A] 及下部電極2之偏壓電位Vdc係相互同期變化，且施加高電 壓電源6或，則可知高電壓電流hv[A]及偏壓電位vdc分別 產生變化。 藉此，透過下部電極2之耐酸鋁加工之剝離部分並藉 下部電極2及上部電極7形成閉合電路，如第2圓所示電流 i4由下部電極2流入高電壓電源6，則高電壓電源6之電流 HV[A]將產生變化。在此，該第2實施態樣中由於在檢測 電路12監測高電壓電源6之電流HV[A]，而間接把握自耐 酸鋁加工之剝離部分流入之電流，且可依其電流之大小而 把握及管理下部電極2之壽命。 又，第1圖所示之分離型保持機構中，在易產生異常 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — — — — — 1 — — — — — · — —.1 ^ ·111)111 1^^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •13- 495825 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（11) 放電之處理條件下進行處理時進行管理下部電極2之壽 命，可藉該電流HV[A]進行監測。 又’另一方面透過下部電極2之耐酸鋁加工部分之剝 離部分，在下部電極2及上部電極7間形成閉合電路，則造 成施加於下部電極2之高電壓之電壓下降，且亦有靜電夾 盤11變得無法發揮功能之可能性。而且，當耐酸链加工部 分剝離時，亦有藉施加於下部電極2之高電壓而產生直流 放電之可能性。 在此，如第4囷所示在高電壓電源6之電源線路上設過 電流保護電路13。該過電流保護電路13形成超出預定值以 上之直流放電之過電流時，將使高電壓電源6之輸出停 止。該用以進行測量過電流之測量電路係内藏於高電壓電 源6内者。當然，亦可裝置於外側。進而，依該過電流保 護電路13中之過電流檢測信號而發出警報，同時使高頻電 源4之輸出停止。 藉此，進行電漿處理時事先使檢測電路12之繼電器開 關12b呈開之狀態，且檢測電路12及下部電極2並非呈連接 狀態，因此可防止下部電極2之高電壓之電壓下降，且可 防止自靜電夾盤11之半導體晶圓W之剝離。 又，可防止下部電極2及聚焦線圈9等零件間之異常放 電。欲知下部電極2之耐酸銘加工之剝離程度時，將繼電 器開關12b關閉並將檢測電路12與下部電極2連接。 此時’假設下部電極2接受減链而耐酸銘加工之一部 分被削取時，則在下部電極2及上部電極7間形成閉合電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公« ) *1! — — — — ^!^· — l·!r 訂---------線-0- (ii先閲讀背面之注专？事項再填寫本頁} •14- 495825 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（12) 路，以監測高電壓電源6之電流HV[A]，並在測量點A上測 量其電流HV[A]，且依該電流HV[A]之大小而把握下部電 極2之壽命，進而把握下部電極2之壽命，以進行管理。 又，進行維修電漿處理裝置時將繼電器開關12b關閉 並將檢測電路12及下部電極2加以連接，並將檢測電路12 當作除電電路。藉此，縱然產生靜電亦可藉除電電路進行 除電。又，縱然在下部電極2之耐酸鋁加工之剝離部分藉 下部電極2之高電壓而產生直流放電，亦可藉過電流保護 電路13進行檢測高電壓電源6之過電流，使高電壓電源6 及高頻電源4之駆動停止，並發出警報。 依以上所說明之第1、2實施態樣，易產生異常放電之 處理中由下部電極2分別電性阻斷檢測電路8、12，另一方 於面檢測直流成分時及不處理半導體晶圓W時設有將檢 測電路8、12及下部電極2加以電性連接之繼電器開關 12b，因此可獲得以下之作用效果。 (1)第1實施態樣之效果 分離式之被處理體之保持機構1〇中，在易產生異常放 電之處理條件下進行電漿處理時，檢測電路8之繼電器開 關8b呈開放之狀態且切斷檢測電路8及下部電極2之電性 連接，因此可防止下部電極2之電壓下降，並可防止下部 電極2及聚焦線圈9等零件間之異常放電。 又，不產生異常放電之處理條件下電漿處理中欲知下 部電極2之耐酸鋁加工之剝離程度時，將繼電器開關扑關 閉並使檢測電路8及下部電極2電性連接，因此依測量點a -------------裝-----r--1訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
495825 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（13) 中之電壓值大小，以把握下部電極2之耐酸鋁加工部分之 剝離程度並把握下部電極2之壽命，且可進行管理。又， 易產生異常放電之處理條件下之下部電極2之壽命管理， 係精監視直流高電壓電源6之電流HV[A]而可進行。進 而，進行維修電漿處理裝置時，將繼電器開關扑關閉並將 檢測電路8與下部電極2電性連接，而可將檢測電路8當作 除電電路加以利用，因此進行維修時去除下部電極2上之 帶電將可防止作業者之短路狀況發生。 (2)第2實施態樣之效果 結合型之被處理體之保持機構20中，進行電漿處理時 檢測電路12之繼電器開關12b呈開放狀態，並切斷檢測電 路12及下部電極2之電性連接，以防止下部電極2之高電屋 之電壓下降，且可防止自靜電夾盤Π之半導體晶圓W之剝 離，進而可防止下部電極2及聚焦線圈9等零件間之異常放 電。 又’得知電漿處理中下部電極2之耐酸鋁加工之剝離 程度，則藉監測高電壓電源6之電流HV[A]而把握下部電 極2之壽命，並把握下部電極2之壽命且可進行管理。進行 維修電漿處理裝置時，將繼電器開關12b關閉並將檢測電 路12及下部電極2電性連接，而可將檢測電路12當作除電 電路，且可防止下部電極2上之帶電。 又’依本實施態樣在分離式之被處理體之保持機構20 之高電壓電源6上設有過電流保護電路13，因此縱然在下 部電極2之耐酸鋁加工之剝離部分藉下部電極2之高電壓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I ff— mm— tmm ft— I ·1 I ϋ ϋ n · ·1 ϋ I ml· I ϋ ϋ t I ϋ ϋ ϋ ϋ I . (屯先閲讀•背面之注意事項再填寫本頁) •16· 495825 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（14) 而產生直流放電，亦可藉過電流保護電路13檢測高電壓電 源6之過電流，而可使高電壓電源6及高頻電源4停止且發 ’ 出警報。 • 且，本發明並不限於上述各實施態樣，且依需要可適 當地設計變更各構成要素。 元件標號對照表 W 半導體晶圓 7 上部電極 P 電漿 8 檢測電路 i2 電流 8a 線圈 i3 電流 8b 繼電器開關 i4 電流 8c 電阻 1 靜電夾盤 8d 電阻 la 夾盤本體 8e 電容器 lb 電極板 9 聚焦線圈 2 下部電極 10 開關驅動部 3 匹配電路 12 檢測電路 4 高頻電源 12a 線圈 5 渡波器線路 12b 繼電器開關 5a 線圈 12c 電阻 5b 電阻 12d 電阻 5c 電容器 12e 電容器 6 高電壓電源 21 靜電夾盤 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------裝 • ·1 1 ml· β— 1 mm— 如0，t ϋ ϋ· I ϋ ϋ 1 1 I 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17- 495825 A7 五、發明說明（15) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 21a 電極板 22 下部電極 22a 聚焦線圈 23 上部電極 24 匹配電路 25 高頻電源 26 濾波器線路 26a 線圈 26b 電阻 26c 電容器 27 高電壓電源 28 檢測電路 28a 線圈 28b 電阻 28d 電容器 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -18-

Claims (1)

  1. 495825 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 ι· 一種被處理體之兔持機構，係用以使該被處理體搭載於 一電漿處理裝置内，該電漿處理裝置可由高頻電源於用 以產生電漿放電且呈相對向之兩電極中之一方施加高 頻電力，以對該被處理體施行電漿處理者，該保持機構 具有： 一靜電夾盤，係用以靜電吸著該被處理體者，且安 裝於連接有上述高頻電源之電極上； 一高電壓電源，係用以於該靜電夾盤供予直流電 壓，以發生靜電吸著力者； 一橡J8U；路，係用以於上述電極施加高頻電力以對 上述被處理體施以預定電漿處理時，檢測該電極上發 生之直流成分；及 一;[關，係可於上述被處理體進行處理時，將 上述Hf：路與上產重座之接續做電巷切離，而在測 出上述直流成分時或上述被處理體處於非處理狀態 時，則可將上述檢測電路與上述電極做電性接續者。 2·如申請專利範圍第1項之被處理體之保持機構，其中該 切換開關係具有一開關驅動部， 使於以易起異常放電之處理條件下進行電漿處理 時，將上述檢測電路與上述電極之接續作電性切離； 而在依不起異常放電之處理條件下之電漿處理 中，檢測上述下部電極保護膜之剝離狀態時，則將上 述檢測電路與上述電極之接續做電性連接，以開始上 述檢測電路之檢測動作者。 請， 先 W 讀· 背 面 之 注 意 事 I 1 頁I I I I I I訂 ▲ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •19· 495825 A8 B8 C8 D8 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 六、申請專利範圍 3. 如申請專利範圍第1項之被處理體之保持機構，其中該 切換開關係具有一開關驅動部，以使於未產生電漿之狀 態下，將上述檢測電路與上述電極做電性接續，且使朝 上述電極帶電之電荷往接地流動者。 4. 如申請專利範圍第1項之被處理體之保持機構，其中該 靜電夾盤係以夾盤本體部及電極板所構造成者，該夾盤 本體部係由聚醯亞胺系樹脂或陶瓷之絕緣材料所形 成，該電極板係設於該夾盤本體内； 而，藉於由上述高電壓電源朝上述電極板施加直流 電壓時所產生之靜電吸著力而將該被處理體保持者。 5. 一種被處理體之保持機構，係用以使該被處理體搭載於 一電漿處理裝置内，該電漿處理裝置可由高頻電源於用 以產生電漿放電且呈相對向之兩電極中之一方施加高 頻電力，以對該被處理體施行電漿處理者，該保持機構 具有： 一靜電夾盤，係用以靜電吸著該被處理體者，且安 裝於連接有上述高頻電源之電極上； 一高電壓電源，係用以於該電極供予直流電壓’以 使該靜電夾盤發生靜電吸著力者； 一檢測電路，係用以於上述電極施加高頻電力以對 上述被處理體施以預定電漿處理時，檢測該電極上發 生之直流成分者； 一切換開關，係可於上述被處理體進行處理時，將 上述檢測電路與上述電極之接續做電性切離，而在測 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -20- I · ^ · 1 1-----I I I I I I I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 六、申請專利範圍 出上述直流成分時或上述被處理體處於非處理狀態 時’則可將上述檢測電路與上述電極做電性接續者。 6·如申請專利範圍第5項之被處理體之保持機構，其更具 有： 一測量電路，係用以測量由上述電極朝上述高電壓 電源之直流放電所產生之過電流者； 一過電流保護電路，係用以於測出超出預定值以上 之上述過電流時，進行停止高電壓電源及高頻電源輸 出及發出警告者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
    訂---------線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐 -21 -
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