JPH077071A - 静電チャック - Google Patents
静電チャックInfo
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- JPH077071A JPH077071A JP14317093A JP14317093A JPH077071A JP H077071 A JPH077071 A JP H077071A JP 14317093 A JP14317093 A JP 14317093A JP 14317093 A JP14317093 A JP 14317093A JP H077071 A JPH077071 A JP H077071A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸着用電源の電圧降下や停電によらず吸着力
が低下することのない静電チャックを提供する。 【構成】 絶縁層１２を介して電極１３上に置かれたウ
ェハ１１を常用電源１４により静電吸着する静電チャッ
クにおいて、電流計１８により絶縁層１２の漏洩電流を
監視し、常用電源１４の電圧降下や停電等によりこの漏
洩電流が低下した場合に非常用スイッチ１７を非常用電
源１５側に切りかえる。また、非常用電源１５を予め常
用電源１４の電圧に充電したコンデンサ１９に切りかえ
る。また、常用電源１４をダイオ−ドを介して電極１３
に接続し、このダイオ−ドの先に接地したコンデンサを
接続する。
が低下することのない静電チャックを提供する。 【構成】 絶縁層１２を介して電極１３上に置かれたウ
ェハ１１を常用電源１４により静電吸着する静電チャッ
クにおいて、電流計１８により絶縁層１２の漏洩電流を
監視し、常用電源１４の電圧降下や停電等によりこの漏
洩電流が低下した場合に非常用スイッチ１７を非常用電
源１５側に切りかえる。また、非常用電源１５を予め常
用電源１４の電圧に充電したコンデンサ１９に切りかえ
る。また、常用電源１４をダイオ−ドを介して電極１３
に接続し、このダイオ−ドの先に接地したコンデンサを
接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は静電チャックに係り、と
くに電圧降下や停電による静電吸着力の低下を防止する
ことのできる静電チャックに関する。
くに電圧降下や停電による静電吸着力の低下を防止する
ことのできる静電チャックに関する。
【０００２】
【従来の技術】最近の半導体製造装置ではウェハ保持に
クーロン力を利用する静電チャックが広く使われてい
る。静電チャックは真空吸着ができない真空中のウェハ
搬送やウェハ保持に好適であり、摺動機構がないため発
塵の心配が無いのでドライエッチング装置やイオン打込
装置に利用されている。
クーロン力を利用する静電チャックが広く使われてい
る。静電チャックは真空吸着ができない真空中のウェハ
搬送やウェハ保持に好適であり、摺動機構がないため発
塵の心配が無いのでドライエッチング装置やイオン打込
装置に利用されている。
【０００３】特開昭５９−７９５４５号公報には、誘電
層を介してウェハを電極に静電吸着する静電チャックに
おいて、誘電層の絶縁抵抗を介して流れる微小電流検出
によりウエハと誘電層間の接触状態を検出する方法が開
示されている。また、特開平１−３２１１３６号公報に
は、誘電層を介してウェハを電極に静電吸着する静電チ
ャックにおいて、ウェハと電極間に印加する静電吸着用
の直流電圧に交流電圧を重畳し、静電チャックの静電容
量を介する交流電流を検出してこれが所定値以下になっ
た場合に吸着力劣化と判定することが開示されている。
層を介してウェハを電極に静電吸着する静電チャックに
おいて、誘電層の絶縁抵抗を介して流れる微小電流検出
によりウエハと誘電層間の接触状態を検出する方法が開
示されている。また、特開平１−３２１１３６号公報に
は、誘電層を介してウェハを電極に静電吸着する静電チ
ャックにおいて、ウェハと電極間に印加する静電吸着用
の直流電圧に交流電圧を重畳し、静電チャックの静電容
量を介する交流電流を検出してこれが所定値以下になっ
た場合に吸着力劣化と判定することが開示されている。
【０００４】また、特開平４−３４８５４３号公報に
は、上部電極を接地し、ウェハを載置した下部電極に直
流電圧を印加してウエハを吸着し、さらに下部電極上に
高周波電圧を印加してウエハをプラズマエッチングする
装置において、ウエハの直流電圧を一定に制御すること
によりウエハの吸着力を一定化して下部電極とウエハ間
の熱伝導率を安定化することが開示されている。
は、上部電極を接地し、ウェハを載置した下部電極に直
流電圧を印加してウエハを吸着し、さらに下部電極上に
高周波電圧を印加してウエハをプラズマエッチングする
装置において、ウエハの直流電圧を一定に制御すること
によりウエハの吸着力を一定化して下部電極とウエハ間
の熱伝導率を安定化することが開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記静電吸着装置にお
いては、ウエハ処理中や搬送中はウェハを安定に保持す
る必要があるものの、停電や断線時にウエハが落下して
破損するという問題があった。本発明の目的は、停電や
断線時にもウエハを安定に保持することのできる静電チ
ャックを提供することにある。
いては、ウエハ処理中や搬送中はウェハを安定に保持す
る必要があるものの、停電や断線時にウエハが落下して
破損するという問題があった。本発明の目的は、停電や
断線時にもウエハを安定に保持することのできる静電チ
ャックを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、接地したウエハ等の試料を絶縁層を介して電極上に
載置し、上記電極に常用電源の電圧を印加して試料を静
電吸着する静電チャックにおいて、電圧低下や停電時の
上記絶縁層の漏洩電流低下を検知して常用電源を非常用
電源に切り替えるようにする。また、上記絶縁層の漏洩
電流低下により常用電源を予め常用電源電圧に充電した
コンデンサに切り替えるようにする。また、常用電源を
ダイオ−ドを介して上記電極に接続し、このダイオ−ド
を介して常用電源の電圧に充電されるコンデンサを設け
るようにする。
に、接地したウエハ等の試料を絶縁層を介して電極上に
載置し、上記電極に常用電源の電圧を印加して試料を静
電吸着する静電チャックにおいて、電圧低下や停電時の
上記絶縁層の漏洩電流低下を検知して常用電源を非常用
電源に切り替えるようにする。また、上記絶縁層の漏洩
電流低下により常用電源を予め常用電源電圧に充電した
コンデンサに切り替えるようにする。また、常用電源を
ダイオ−ドを介して上記電極に接続し、このダイオ−ド
を介して常用電源の電圧に充電されるコンデンサを設け
るようにする。
【０００７】
【作用】常用電源の電圧低下や停電時における上記絶縁
層の漏洩電流低下検知により、常用電源が非常用電源に
自動的に切り替えられる。また、上記非常用電源の代わ
りに予め常用電源電圧に充電されたコンデンサが用いら
れる。また、コンデンサをダイオ−ドを介して常用電源
電圧に充電することにより、常用電源の電圧低下や停電
時にコンデンサ電圧が上記電極に自動的に印加される。
層の漏洩電流低下検知により、常用電源が非常用電源に
自動的に切り替えられる。また、上記非常用電源の代わ
りに予め常用電源電圧に充電されたコンデンサが用いら
れる。また、コンデンサをダイオ−ドを介して常用電源
電圧に充電することにより、常用電源の電圧低下や停電
時にコンデンサ電圧が上記電極に自動的に印加される。
【０００８】
【実施例】〔実施例 １〕図１は静電チャックを備えた
イオン打込装置実施例の構成図である。イオン源１から
発生したイオンビ−ム８の中から分離磁石２により所望
のイオン種のイオンのみを分離し、後段加速管３にて加
速後、偏向磁石４により中性粒子やエネルギ−コンタミ
ネ−ションの除去を行う。このようにして得られたイオ
ンビ−ム８は打込室５内のウェハ（吸着物）１１に打込
まれる。また、ウエハ１１は搬送ア−ムによりウェハ交
換を行う搬送室６ウエハを一時的に保管するロ−ドロッ
ク室７に搬送される。
イオン打込装置実施例の構成図である。イオン源１から
発生したイオンビ−ム８の中から分離磁石２により所望
のイオン種のイオンのみを分離し、後段加速管３にて加
速後、偏向磁石４により中性粒子やエネルギ−コンタミ
ネ−ションの除去を行う。このようにして得られたイオ
ンビ−ム８は打込室５内のウェハ（吸着物）１１に打込
まれる。また、ウエハ１１は搬送ア−ムによりウェハ交
換を行う搬送室６ウエハを一時的に保管するロ−ドロッ
ク室７に搬送される。
【０００９】図２は図１における搬送室６の内部状態図
である。打込室５にてイオン打ち込みを完了したウェハ
１１は搬送ア−ム９により搬送室６からロ−ドロック室
７に搬送される。上記ウエハ１１の搬送時においては供
給系の異常や停電等によりウェハ１１が搬送ア−ム９か
ら落下して破損する場合がある。
である。打込室５にてイオン打ち込みを完了したウェハ
１１は搬送ア−ム９により搬送室６からロ−ドロック室
７に搬送される。上記ウエハ１１の搬送時においては供
給系の異常や停電等によりウェハ１１が搬送ア−ム９か
ら落下して破損する場合がある。
【００１０】図３は上記ウエハの落下を防止することの
できる本発明による静電チャックの回路図である。図３
において、ウェハ１１を接地し、通常時には吸着用スイ
ッチ１６により電極１３に常用電源１４の電圧を印加し
てウェハ１１を絶縁層１２を介して電極１３に吸着す
る。このため非常用スイッチ１７は常用電源１４側に接
続される。
できる本発明による静電チャックの回路図である。図３
において、ウェハ１１を接地し、通常時には吸着用スイ
ッチ１６により電極１３に常用電源１４の電圧を印加し
てウェハ１１を絶縁層１２を介して電極１３に吸着す
る。このため非常用スイッチ１７は常用電源１４側に接
続される。
【００１１】このとき、電流計１８は絶縁層１２のリ−
ク電流を常時監視する。常用電源１４の電圧が低下した
り停電した場合には上記リ−ク電流が低下するので、電
流計１８によりこの電流低下を自動的に検知して非常用
スイッチ１７を非常用電源１５側に切り替えるようにす
る。この結果、電極１３には常用電源１４の電圧低下や
停電等にかかわりなくウエハ１１を十分に吸着すること
のできる電圧が印加されるので吸着物１１の落下を防止
することができる。
ク電流を常時監視する。常用電源１４の電圧が低下した
り停電した場合には上記リ−ク電流が低下するので、電
流計１８によりこの電流低下を自動的に検知して非常用
スイッチ１７を非常用電源１５側に切り替えるようにす
る。この結果、電極１３には常用電源１４の電圧低下や
停電等にかかわりなくウエハ１１を十分に吸着すること
のできる電圧が印加されるので吸着物１１の落下を防止
することができる。
【００１２】〔実施例 ２〕図４は本発明による他の静
電チャックの回路図である。図４では図３における非常
用電源１５の代わりにコンデンサ１９を用いる。充電用
スイッチ２０は非常用スイッチ１７と連動し、非常用ス
イッチ１７が常用電源１４側に接続されているときには
閉じてコンデンサ１９を充電している。
電チャックの回路図である。図４では図３における非常
用電源１５の代わりにコンデンサ１９を用いる。充電用
スイッチ２０は非常用スイッチ１７と連動し、非常用ス
イッチ１７が常用電源１４側に接続されているときには
閉じてコンデンサ１９を充電している。
【００１３】図３の場合と同様に、電流計１８は絶縁層
１２のリ−ク電流を常時監視し、常用電源１４の電圧低
下や停電等により上記リ−ク電流が低下した場合には、
電流計１８の電流低下検知に応じて非常用スイッチ１７
をコンデンサ１９側に切り替え、同時に充電用スイッチ
２０を開放する。
１２のリ−ク電流を常時監視し、常用電源１４の電圧低
下や停電等により上記リ−ク電流が低下した場合には、
電流計１８の電流低下検知に応じて非常用スイッチ１７
をコンデンサ１９側に切り替え、同時に充電用スイッチ
２０を開放する。
【００１４】通常、絶縁層１２のリ−ク電流は１０~12
〜１０~13Ａ、常用電源１４の電圧は１５０Ｖ程度であ
るから、コンデンサ１９の容量値を０．０１μＦ、とし
ても、コンデンサ１９の端子電圧は上記リ−ク電流によ
り１時間当り、略０．２％以下に過ぎないから、停電
後、数時間はコンデンサ１９によりウエハ１１を十分に
吸着することができるのである。
〜１０~13Ａ、常用電源１４の電圧は１５０Ｖ程度であ
るから、コンデンサ１９の容量値を０．０１μＦ、とし
ても、コンデンサ１９の端子電圧は上記リ−ク電流によ
り１時間当り、略０．２％以下に過ぎないから、停電
後、数時間はコンデンサ１９によりウエハ１１を十分に
吸着することができるのである。
【００１５】〔実施例 ３〕図５は本発明による他の静
電チャックの回路図である。図３および図４に示した実
施例では、電流計１８の応答が遅れる懸念がある。すな
わち、絶縁層１２のリ−ク電流のような微小電流の計測
には応答が遅れが通常伴うので、常用電源１４の停電
後、非常用スイッチ１７が非常用電源１５側に直ちに切
り替わらず、この間にウエハ１１が位置ずれしたり最悪
の場合には脱落するという懸念がある。
電チャックの回路図である。図３および図４に示した実
施例では、電流計１８の応答が遅れる懸念がある。すな
わち、絶縁層１２のリ−ク電流のような微小電流の計測
には応答が遅れが通常伴うので、常用電源１４の停電
後、非常用スイッチ１７が非常用電源１５側に直ちに切
り替わらず、この間にウエハ１１が位置ずれしたり最悪
の場合には脱落するという懸念がある。
【００１６】したがって本実施例では図５に示すよう
に、ダイオ−ド２２を介して常用電源１４により接地し
たコンデンサ２１を充電するようにし、常用電源１４の
電圧が低下したり停電した場合にはダイオ−ド２２によ
り常用電源１４を電極１３より切り離すようにする。こ
の結果、電極１３は電圧低下や停電後、コンデンサ２１
より給電され、実施例２で述べたようにコンデンサ２１
の容量値を０．１μＦレベルに設定すれば数時間以上に
わたって電圧低下や停電をバックアップすることができ
るのである。
に、ダイオ−ド２２を介して常用電源１４により接地し
たコンデンサ２１を充電するようにし、常用電源１４の
電圧が低下したり停電した場合にはダイオ−ド２２によ
り常用電源１４を電極１３より切り離すようにする。こ
の結果、電極１３は電圧低下や停電後、コンデンサ２１
より給電され、実施例２で述べたようにコンデンサ２１
の容量値を０．１μＦレベルに設定すれば数時間以上に
わたって電圧低下や停電をバックアップすることができ
るのである。
【００１７】また、図５においては非常用スイッチ１７
と電流計１８は不要である。また、ダイオ−ド２２の代
わりに、抵抗値が絶縁層１２のリ−ク抵抗より低めの抵
抗を用いてもよく、この抵抗によりコンデンサ２１の電
圧降下が若干早まるものの、実用上十分な電圧低下や停
電のバックアップ時間を確保することができる。また、
図５のダイオ−ド２２とコンデンサ２１を図３、および
図４の回路に同様に接続しても、上記電流計１８の応答
遅れによる問題点をカバ−することができる。
と電流計１８は不要である。また、ダイオ−ド２２の代
わりに、抵抗値が絶縁層１２のリ−ク抵抗より低めの抵
抗を用いてもよく、この抵抗によりコンデンサ２１の電
圧降下が若干早まるものの、実用上十分な電圧低下や停
電のバックアップ時間を確保することができる。また、
図５のダイオ−ド２２とコンデンサ２１を図３、および
図４の回路に同様に接続しても、上記電流計１８の応答
遅れによる問題点をカバ−することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明により、吸着用電源の電圧低下や
停電時における吸着力低下を防止した静電チャックを提
供することができる。また、本発明の静電チャックをウ
エハ吸着用に用いることにより、電源異常時にウエハの
位置ずれや脱落等の事故を発生することのない半導体製
造装置を提供することができる。
停電時における吸着力低下を防止した静電チャックを提
供することができる。また、本発明の静電チャックをウ
エハ吸着用に用いることにより、電源異常時にウエハの
位置ずれや脱落等の事故を発生することのない半導体製
造装置を提供することができる。
【図１】イオン打込装置の構成図である。
【図２】図１の搬送室の内部状況を示す配置図である。
【図３】本発明による静電チャックの実施例回路図であ
る。
る。
【図４】本発明による静電チャックの他の実施例の回路
図である。
図である。
【図５】本発明による静電チャックの他の実施例の回路
図である。
図である。
１１…ウエハ（吸着物）、１２…絶縁層、１３…電極、
１４…常用電源、１５…非常用電源、１６…吸着用スイ
ッチ、１７…非常用スイッチ、１８…電流計、１９、２
１…コンデンサ、２０…充電用スイッチ、２２…ダイオ
−ド。
１４…常用電源、１５…非常用電源、１６…吸着用スイ
ッチ、１７…非常用スイッチ、１８…電流計、１９、２
１…コンデンサ、２０…充電用スイッチ、２２…ダイオ
−ド。
Claims (3)
- 【請求項１】 接地したウエハ等の試料を絶縁層を介し
て電極上に載置し、上記電極に常用電源の電圧を印加し
て試料を静電吸着する静電チャックにおいて、上記絶縁
層の漏洩電流を検知する手段と、上記漏洩電流の低下に
より常用電源を非常用電源に切り替える手段とを備えた
ことを特徴とする静電チャック。 - 【請求項２】 接地したウエハ等の試料を絶縁層を介し
て電極上に載置し、上記電極に常用電源の電圧を印加し
て試料を静電吸着する静電チャックにおいて、コンデン
サとこのコンデンサを常用電源の電圧に予め充電する手
段と、上記絶縁層の漏洩電流を検知する手段と、上記漏
洩電流の低下により常用電源を上記常用電源の電圧に充
電したコンデンサに切り替える手段とを備えたことを特
徴とする静電チャック。 - 【請求項３】 接地したウエハ等の試料を絶縁層を介し
て電極上に載置し、上記電極に常用電源の電圧を印加し
て試料を静電吸着する静電チャックにおいて、常用電源
と上記電極間に接続するダイオ−ドと、さらに、このダ
イオ−ドを介して常用電源の電圧に充電されるコンデン
サとを設けたことを特徴とする静電チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14317093A JPH077071A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 静電チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14317093A JPH077071A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 静電チャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH077071A true JPH077071A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15332548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14317093A Pending JPH077071A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 静電チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077071A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010021317A1 (ja) * | 2008-08-20 | 2010-02-25 | 株式会社アルバック | 静電チャックの使用限界判別方法 |
| US20120171467A1 (en) * | 2009-09-15 | 2012-07-05 | Kazutoshi Takeda | Electrical steel sheet and method for manufacturing the same |
| WO2019007515A1 (en) * | 2017-07-06 | 2019-01-10 | Applied Materials, Inc. | APPARATUS AND METHOD FOR RETAINING A SUBSTRATE |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP14317093A patent/JPH077071A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010021317A1 (ja) * | 2008-08-20 | 2010-02-25 | 株式会社アルバック | 静電チャックの使用限界判別方法 |
| JPWO2010021317A1 (ja) * | 2008-08-20 | 2012-01-26 | 株式会社アルバック | 静電チャックの使用限界判別方法 |
| US20120171467A1 (en) * | 2009-09-15 | 2012-07-05 | Kazutoshi Takeda | Electrical steel sheet and method for manufacturing the same |
| US10340065B2 (en) | 2009-09-15 | 2019-07-02 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Method for manufacturing electrical steel sheet |
| WO2019007515A1 (en) * | 2017-07-06 | 2019-01-10 | Applied Materials, Inc. | APPARATUS AND METHOD FOR RETAINING A SUBSTRATE |
| CN109477201A (zh) * | 2017-07-06 | 2019-03-15 | 应用材料公司 | 用于保持在真空沉积工艺中使用的基板的设备、用于基板上的层沉积的系统、以及用于保持基板的方法 |
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