JPH06155214A - 静電保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明の目的は、長時間にわたり被吸着物
を吸着する場合の吸引力の低下を防止し得て、被吸着物
を長時間にわたり安定して保持し得る静電吸着装置を実
現することにある。 【構成】 この目的を達成するために、この発明は、絶
縁基層と導通により夫々正負の電荷を付与される一組の
電極とこの一組の電極により誘電されて静電的な吸引力
により被吸着物を吸着する吸着層とを順次に積層した吸
着板を設け、前記一組の電極に直流電源を供給して前記
吸着層に静電的な吸引力を生じさせる電源部を設けた静
電保持装置において、前記一組の電極に直流電源を供給
して前記吸着層に静電的な吸引力を生じさせている際に
切換条件が成立する場合には一旦非導通状態を経て前記
一組の電極に夫々正負逆の電荷を付与する導通状態とす
べく直流電源を切換える切換手段を設けたことを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は静電保持装置に係り、
特に長時間にわたり被吸着物を吸着する場合の吸引力の
低下を防止し得て、被吸着物を長時間にわたり安定して
保持し得る静電保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】静電気のクーロン力を利用して被吸着物
を吸着保持する静電保持装置は、絶縁基層と一組の電極
と吸着層とを順次に積層した吸着板を設け、前記一組の
電極に直流電源を供給して前記吸着層に静電的な吸引力
を生じさせる電源部を設けている。静電保持装置は、電
源部により吸着板の一組の電極に直流電源を供給し、こ
の導通により前記一組の電極に夫々正負の電荷を付与し
てし吸着板を誘電し、この吸着板の静電的な吸引力によ
り被吸着物を吸着して保持する。

【０００３】このような静電保持装置としては、特公昭
４７−３９３９２号公報や、特開昭６２−１５３０３４
号公報に開示されるものがある。

【０００４】特公昭４７−３９３９２号公報に開示の静
電保持装置は、ロータリースイッチによって、紙を吸着
する際には一時的に逆の極性とした後に吸着時の極性の
導通状態なるように切換え、紙を剥脱する際には一時的
に逆の極性とした後に非導通状態となるように切換える
ものである。

【０００５】特開昭６２−１５３０３４号公報に開示の
静電保持装置は、切換スイッチによって、紙等のシート
を吸着する際には一時的に交流電圧を印可した後に吸着
時の極性の導通状態なるように切換え、シートを剥脱す
る際には一時的に交流電圧を印可した後に非導通状態と
なるように切換えるものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の静電
保持装置には、長時間にわたり被吸着物を吸着して保持
するものがある。このような場合に、静電保持装置は、
一組の電極に直流電源を継続して供給している。

【０００７】ところが、静電保持装置は、長時間にわた
り被吸着物を吸着保持すべく一組の電極に直流電源を供
給すると、吸着板に吸着保持された被吸着物が帯電して
しまい、吸着板による静電的な吸引力を低下させる問題
がある。

【０００８】このため、従来の静電保持装置は、長時間
にわたり被吸着物を吸着する場合に、吸引力が低下して
被吸着物を保持し得なくなり、被吸着物を長時間にわた
り安定して保持し得ない不都合があった。

【０００９】

【課題を解決するための手段】そこで、このような不都
合を解消すべく、この発明は、絶縁基層と導通により夫
々正負の電荷を付与される一組の電極とこの一組の電極
により誘電されて静電的な吸引力により被吸着物を吸着
する吸着層とを順次に積層した吸着板を設け、前記一組
の電極に直流電源を供給して前記吸着層に静電的な吸引
力を生じさせる電源部を設けた静電保持装置において、
前記一組の電極に直流電源を供給して前記吸着層に静電
的な吸引力を生じさせている際に切換条件が成立する場
合には一旦非導通状態を経て前記一組の電極に夫々正負
逆の電荷を付与する導通状態とすべく直流電源を切換え
る切換手段を設けたことを特徴とする。

【００１０】

【作用】この発明の構成によれば、切換手段は、吸着板
の一組の電極に直流電源を供給して吸着層に静電的な吸
引力を生じさせている際に、切換条件が成立する場合に
は、一旦非導通状態を経て前記一組の電極に夫々正負逆
の電荷を付与する導通状態とすべく直流電源を切換え
る。

【００１１】これにより、静電保持装置は、一旦非導通
状態を経て前記一組の電極に夫々正負逆の電荷を付与す
ることにより、長時間にわたり被吸着物を吸着保持すべ
く一組の電極に直流電源を供給する場合に、吸着板に吸
着保持された被吸着物の電荷を打ち消して帯電を防止す
ることができる。また、静電保持装置は、直流電源の切
換えにより各電極と被吸着物との間に新たに静電的な吸
引力を作用させ、この新たに生じた吸引力により被吸着
物を吸着層に吸着して保持することができる。

【００１２】

【実施例】以下図面に基づいてこの発明の実施例を説明
する。

【００１３】図１〜図３は、この発明を第１実施例を示
すものである。図１・図２において、２は静電保持装置
である。静電保持装置２は、図２に示す如く、絶縁基層
４と、導通により夫々正負の電荷を付与される一組の電
極６・８と、この一組の電極６・８により誘電されて静
電的な吸引力により被吸着物１８を吸着する吸着層１０
と、を順次に積層した吸着板１２を設けている。また、
静電保持装置２は、前記一組の電極６・８に直流電源を
供給して前記吸着層１０に静電的な吸引力を生じさせる
電源部１４を設けている。電源部１４は、電路１６によ
り一組の電極６・８に接続されている。

【００１４】前記静電保持装置２は、電源部１４から吸
着板１２の一組の電極６・８に直流電源を供給して導通
し、夫々正負の電荷を付与すると、吸着板１２の吸着層
１０が誘電される。静電保持装置２は、図１に示す如
く、被吸着物１８を吸着層１０に接触させると、この被
吸着物１８の各電極６・８と対向する部位に、夫々静電
誘導により各電極６・８の電荷の極性と異なる極性の電
荷が生じる。

【００１５】これにより、静電保持装置２は、各電極６
・８の電荷と被吸着物１８に生じた電荷との間に静電的
な吸引力が作用し、被吸着物１８を吸着層１０の表面に
吸着して保持する。

【００１６】このような静電保持装置２において、電極
６・８と電源部１４との間の電路１６には、切換手段と
して切換回路２０を設けている。切換回路２０は、一組
の電極６・８に直流電源を供給して吸着層１０に静電的
な吸引力を生じさせている際に、切換条件が成立する場
合には、一旦非導通状態を経て一組の電極６・８に夫々
正負逆の電荷を付与する導通状態とすべく電源部１４の
供給する直流電源を切換える。

【００１７】この第１実施例においては、タイマ部２２
と判断部２４と切換部２６とから構成される切換回路２
０を設けている。

【００１８】切換回路２０のタイマ部２２は、図３に示
す如く、電源部１４の直流電源の供給による導通開始か
らの時間ｔを計時する。前記判断部２４は、タイマ部２
２の計時する時間ｔが所定時間ｔ１を越えたこと、の切
換条件が成立する否かを判断し、切換条件が成立する場
合に切換部２６を切換動作させる。

【００１９】前記切換部２６は、判断部２４により切換
動作され、一組の電極６・８への直流電源の供給を停止
して一旦非導通状態とすべく電路１６を遮断し、直流電
源の極性を反転して一組の電極６・８に夫々正負逆の電
荷を付与する導通状態とすべく電路１６を切換える。

【００２０】次に第１実施例の作用を説明する。

【００２１】静電保持装置２は、電源部１４から吸着板
１２の一組の電極６・８に直流電源を供給して導通し、
夫々正負の電荷を付与することにより、吸着板１２の吸
着層１０を誘電する。静電保持装置２は、誘電された吸
着層１０に被吸着物１８を接触させると、各電極６・８
の電荷と被吸着物１８に生じた異なる極性の電荷との間
に静電的な吸引力が作用し、被吸着物１８を吸着層１０
に吸着して保持する。

【００２２】前記電源部１４により供給される直流電源
の電流値は、図３に示す如く、導通開始直後に最高値ま
で立ち上がった後に所定値まで下がり、その後に漸次減
少する。切換回路２０は、直流電源を供給して吸着層１
０に静電的な吸引力を生じさせている際に、導通開始時
からの時間ｔを計時して導通状態を切換える。

【００２３】切換回路２０は、一組の電極６・８に直流
電源を供給して吸着層１０に静電的な吸引力を生じさせ
て被吸着物１８を保持している際に、タイマ部２２によ
り直流電源の供給による導通開始からの時間ｔを計時す
る。

【００２４】判断部２４は、タイマ部２２の計時する時
間ｔが所定時間ｔ１を越えたこと、の切換条件が成立す
る場合に、切換部２６を切換動作させる。切換部２６
は、タイマ部２２の計時する時間ｔが所定時間ｔ１を越
えると、一組の電極６・８への直流電源の供給を停止し
て一旦非導通状態とすべく電路１６を遮断してから、一
組の電極６・８に夫々正負逆の電荷を付与する導通状態
とすべく電路１６を切換える。

【００２５】これにより、静電保持装置２は、電極６・
８に供給される直流電源の極性を反転して導通し、各電
極６・８の電荷と被吸着物１８の電荷との間に新たに静
電的な吸引力を作用させる。被吸着物１８は、この新に
生じた吸引力により吸着層１０に吸着して保持される。

【００２６】その後に、切換回路２０は、逆の極性の直
流電源を供給して吸着層１０に新たに静電的な吸引力を
生じさせて被吸着物１８を保持している際に、タイマ部
２２により直流電源の供給による導通開始からの時間ｔ
を計時し、判断部２４により前記切換条件が成立する場
合に、切換部２６により電極６・８への直流電源の供給
を停止して一旦非導通状態とすべく電路１６を遮断して
から、電極６・８に夫々正負逆の電荷を付与する導通状
態とすべく電路１６を切換える。

【００２７】このように、静電保持装置２は、所定時間
ｔ１毎に一旦非導通状態を経て直流電源の極性を反転し
て一組の電極６・８に夫々正負逆の極性の電荷を付与す
る導通状態とすることにより、長時間にわたり被吸着物
１８を吸着保持すべく一組の電極６・８に直流電源を供
給する場合に、吸着板１２に吸着保持された被吸着物１
８の電荷を打ち消して帯電を防止することができる。

【００２８】また、静電保持装置２は、所定時間ｔ１毎
の直流電源の極性の切換えにより各電極６・８と被吸着
物１８との間に新たに静電的な吸引力を作用させ、この
新たに生じた吸引力により被吸着物１８を吸着層１０に
吸着して保持することができる。

【００２９】このため、静電保持装置２は、長時間にわ
たり被吸着物１８を吸着保持する場合に、被吸着物１８
の帯電による吸引力の低下を防止することができ、しか
も、静電保持装置２は、新たに生じた吸引力により被吸
着物１８を長時間にわたり安定して保持することができ
る。

【００３０】図４は、この発明の第２実施例を示すもの
である。

【００３１】第２実施例において、タイマ部２２と判断
部２４と切換部２６とから構成される切換回路２０のタ
イマ部２２は、電源部１４の直流電源の供給による導通
開始からの時間ｔを計時する。前記判断部２４は、タイ
マ部２２の計時する時間ｔが所定時間ｔ１を越えたこ
と、の切換条件が成立するか否かを判断し、切換条件が
成立する場合に切換部２６を切換動作させる。

【００３２】前記切換部２６は、判断部２４により切換
動作され、一組の電極６・８への直流電源の供給を停止
して一旦非導通状態とすべく電路１６を遮断してから、
直流電源の極性を反転して一組の電極６・８に夫々正負
逆の電荷を付与する導通状態とすべく電路１６を切換え
る。次いで、切換部２６は、一組の電極６・８への直流
電源の供給を停止して一旦非導通状態とすべく電路１６
を遮断してから、直流電源の極性を反転して一組の電極
６・８に夫々正負逆の電荷を付与する導通状態とすべく
電路１６を切換える。

【００３３】その後に、切換回路２０は、直流電源を供
給して吸着層１０に新たに静電的な吸引力を生じさせて
被吸着物１８を保持している際に、タイマ部２２により
直流電源の供給による導通開始からの時間ｔを計時し、
判断部２４により前記切換条件が成立する場合に、一旦
非導通状態とすべく電路１６を遮断してから直流電源の
極性を反転して正負逆の電荷を付与する導通状態とすべ
く電路１６を切換え、次いで、一旦非導通状態とすべく
電路１６を遮断してから直流電源の極性を反転して正負
逆の電荷を付与する導通状態とすべく電路１６を切換え
る。

【００３４】したがって、静電保持装置２は、所定時間
ｔ１毎に一旦非導通状態を経て直流電源の極性を一時的
に反転して一組の電極６・８に夫々正負逆の極性の電荷
を付与した後に、一旦非導通状態を経て直流電源の極性
をさらに反転して一組の電極６・８に夫々正負逆の極性
の電荷を付与する導通状態とすることにより、長時間に
わたり被吸着物１８を吸着保持すべく一組の電極６・８
に直流電源を供給する場合に、吸着板１２に吸着保持さ
れた被吸着物１８の電荷を打ち消して帯電を防止するこ
とができる。

【００３５】また、静電保持装置２は、所定時間ｔ１毎
の直流電源の極性の切換えにより各電極６・８と被吸着
物１８との間に新たに静電的な吸引力を作用させ、この
新たに生じた吸引力により被吸着物１８を吸着層１０に
吸着して保持することができる。

【００３６】これにより、第２実施例によれば、静電保
持装置２は、長時間にわたり被吸着物１８を吸着保持す
る場合に、被吸着物１８の帯電による吸引力の低下を防
止することができ、しかも、静電保持装置２は、新たに
生じた吸引力により被吸着物１８を長時間にわたり安定
して保持することができる。

【００３７】図５・図６は、この発明の第３実施例を示
すものである。

【００３８】図において、１０２は静電保持装置、１０
４は絶縁基層、１０６・１０８は一組の電極、１１０は
吸着層、１１２は吸着板、１１４は電源部、１１６は電
路、１１８は被吸着物である。静電保持装置１０２は、
電源部１１４から吸着板１１２の一組の電極１０６・１
０８に直流電源を供給して導通し、夫々正負の電荷を付
与して吸着板１１２の吸着層１１０を誘電し、各電極１
０６・１０８の電荷と被吸着物１１８に生じた逆の極性
の電荷との間に静電的な吸引力を作用させ、被吸着物１
１８を吸着層１１０の表面に吸着して保持する。

【００３９】このような静電保持装置１０２において、
電極１０６・１０８と電源部１１４との間の電路１１６
には、切換手段として切換回路１２０を設けている。切
換回路１２０は、一組の電極１０６・１０８に直流電源
を供給して吸着層１１０に静電的な吸引力を生じさせて
いる際に、切換条件が成立する場合には、一旦非導通状
態を経て一組の電極１０６・１０８に夫々正負逆の電荷
を付与する導通状態とすべく電源部１１４の供給する直
流電源を切換える。

【００４０】第３実施例においては、検出部１２２とタ
イマ部１２４と判断部１２６と切換部１２８とから構成
される切換回路１２０を設けている。

【００４１】切換回路１２０の検出部１２２は、電源部
１１４の供給する直流電源の電流値Ａを検出する。タイ
マ部１２４は、検出部１２２の検出する電流値Ａが所定
電流値Ａ１未満に低下してからの時間ｔを計時する。判
断部１２６は、検出部１２２の検出する電流値Ａが所定
電流値Ａ１未満に低下したこと、電流値Ａが所定電流値
Ａ１未満に低下してからのタイマ部１２４により計時さ
れる時間ｔが所定時間ｔ１を越えていること、の切換条
件が成立するか否かを判断し、切換条件が成立する場合
に切換部１２８を切換動作させる。

【００４２】前記切換部１２８は、判断部１２６により
切換動作され、一組の電極１０６・１０８への直流電源
の供給を停止して一旦非導通状態とすべく電路１１６を
遮断し、電極１０６・１０８に供給される直流電源の極
性を反転して夫々正負逆の電荷を付与する導通状態とす
べく電路１１６を切換える。

【００４３】次に第３実施例の作用を説明する。

【００４４】静電保持装置１０２は、電源部１１４から
吸着板１１２の一組の電極１０６・１０８に直流電源を
供給し、夫々正負の電荷を付与することにより、吸着板
１１２の吸着層１１０を誘電する。静電保持装置１０２
は、被吸着物１０８を吸着層１１０に接触させると、各
電極１０６・１０８の電荷と被吸着物１１８に生じた異
なる極性の電荷との間に静電的な吸引力が作用し、被吸
着物１１８を吸着層１１０に吸着して保持する。

【００４５】前記電源部１１４により供給される直流電
源の電流値Ａは、図６に示す如く、導通開始直後に最高
値まで立ち上がった後に所定電流値Ａ１まで下がり、そ
の後に漸次減少する。切換回路１２０は、直流電源を供
給して吸着層１１０に静電的な吸引力を生じさせている
際に、電源部１１４の供給する直流電源の電流値Ａが所
定電流値Ａ１未満に低下してからの時間ｔを計時して導
通状態を切換える。

【００４６】切換回路１２０は、一組の電極１０６・１
０８に直流電源を供給して吸着層１１０に静電的な吸引
力を生じさせて被吸着物１１８を保持している際に、検
出部１２２により電源部１１４の供給する直流電源の電
流値Ａを検出する。

【００４７】判断部１２６は、直流電源の電流値Ａが所
定電流値Ａ１未満に低下したこと、電流値Ａが所定電流
値Ａ１未満に低下してからのタイマ部１２４の計時する
時間ｔが所定時間ｔ１を越えたこと、の切換条件が成立
する場合に、切換部１２８を切換動作させる。切換部１
２６は、一組の電極１０６・１０８への直流電源の供給
を停止して一旦非導通状態とすべく電路１１６を遮断し
てから、一組の電極１０６・１０８に夫々正負逆の電荷
を付与する導通状態とすべく電路１１６を切換える。

【００４８】これにより、静電保持装置１０２は、電極
１０６・１０８に供給される直流電源の極性を反転して
導通し、各電極１０６・１０８と被吸着物１１８との間
に新たに静電的な吸引力を作用させる。被吸着物１１８
は、この新たに生じた吸引力により吸着層１１０に吸着
して保持される。

【００４９】その後に、切換回路１２０は、逆の極性の
直流電源を供給して吸着層１１０に新たに静電的な吸引
力を生じさせて被吸着物１１８を保持している際に、検
出部１２２により直流電源の電流値Ａを検出し、タイマ
部１２４により電流値Ａが所定電流値Ａ１未満に低下し
てからの時間ｔを計時し、判断部１２６により前記切換
条件が成立する場合に、切換部１２８により電極１０６
・１０８への直流電源の供給を停止して一旦非導通状態
とすべく電路１１６を遮断してから、電極１０６・１０
８に夫々正負逆の電荷を付与する導通状態とすべく電路
１１６を切換える。

【００５０】このように、静電保持装置１０２は、電流
値Ａが所定電流値Ａ１未満に低下してから所定時間ｔ１
を越えると一旦非導通状態を経て直流電源の極性を反転
して一組の電極１０６・１０８に夫々正負逆の極性の電
荷を付与する導通状態とすることにより、長時間にわた
り被吸着物１１８を吸着保持すべく一組の電極１０６・
１０８に直流電源を供給する場合に、吸着板１１２に吸
着保持された被吸着物１１８の電荷を打ち消して帯電を
防止することができる。

【００５１】また、静電保持装置１０２は、電流値Ａが
所定電流値Ａ１未満に低下してから所定時間ｔ１を越え
る場合の直流電源の極性の切換えにより、各電極１０６
・１０８と被吸着物１１８との間に新たに静電的な吸引
力を作用させ、この新たに生じた吸引力により被吸着物
１１８を吸着層１１０に吸着して保持することができ
る。

【００５２】このため、静電保持装置１０２は、長時間
にわたり被吸着物１１８を吸着保持する場合に、被吸着
物１１８の帯電による吸引力の低下を防止することがで
き、しかも、静電保持装置１０２は、新たに生じた吸引
力により被吸着物１１８を長時間にわたり安定して保持
することができる。

【００５３】さらに、この第３実施例によれば、切換回
路１２０は、検出部１２２により直流電源の電流値Ａを
検出し、タイマ部１２４により電流値Ａが所定電流値Ａ
１未満に低下してからの時間ｔを計時し、判断部１２６
により切換条件が成立する場合に、切換部１２８により
一旦非導通状態を経て直流電源の極性を反転して一組の
電極１０６・１０８に夫々正負逆の極性の電荷を付与す
る導通状態とすべく切換えることにより、確実に被吸着
物１１８の帯電を防止することができる。

【００５４】図７は、この発明の第４実施例を示すもの
である。

【００５５】第４実施例において、検出部１２２とタイ
マ部１２４と判断部１２６と切換部１２８とから構成さ
れる切換回路１２０の検出部１２２は、電源部１１４の
供給する直流電源の電流値Ａを検出する。タイマ部１２
４は、検出部１２２の検出する電流値Ａが所定電流値Ａ
１未満に低下してからの時間ｔを計時する。判断部１２
６は、検出部１２２の検出する電流値Ａが所定電流値Ａ
１未満に低下したこと、電流値Ａが所定電流値Ａ１未満
に低下してからのタイマ部１２４の計時する時間ｔが所
定時間ｔ１を越えていること、の切換条件が成立するか
否かを判断し、切換条件が成立する場合に切換部１２８
を切換動作させる。

【００５６】前記切換部１２８は、判断部２４により切
換動作され、一組の電極１０６・１０８への直流電源の
供給を停止して一旦非導通状態とすべく電路１１６を遮
断してから、直流電源の極性を反転して一組の電極１０
６・１０８に夫々正負逆の電荷を付与する導通状態とす
べく電路１１６を切換える。次いで、切換部１２６は、
一組の電極１０６・１０８への直流電源の供給を停止し
て一旦非導通状態とすべく電路１１６を遮断してから、
直流電源の極性を反転して一組の電極１０６・１０８に
夫々正負逆の電荷を付与する導通状態とすべく電路１１
６を切換える。

【００５７】その後に、切換回路１２０は、直流電源を
供給して吸着層１１０に新たに静電的な吸引力を生じさ
せて被吸着物１１８を保持している際に、検出部１２２
により直流電源の電流値Ａを検出し、タイマ部１２４に
より電流値Ａが所定電流値Ａ１未満に低下してからの時
間ｔを計時し、判断部１２６により前記切換条件が成立
する場合に、一旦非導通状態とすべく電路１１６を遮断
してから直流電源の極性を反転して正負逆の電荷を付与
する導通状態とすべく電路１１６を切換え、次いで、一
旦非導通状態とすべく電路１１６を遮断してから直流電
源の極性を反転して正負逆の電荷を付与する導通状態と
すべく電路１１６を切換える。

【００５８】したがって、静電保持装置１０２は、電流
値Ａが所定電流値Ａ１未満に低下してから所定時間ｔ１
を越えると一旦非導通状態を経て直流電源の極性を一時
的に反転して一組の電極１０６・１０８に夫々正負逆の
極性の電荷を付与した後に、一旦非導通状態を経て直流
電源の極性をさらに反転して一組の電極１０６・１０８
に夫々正負逆の極性の電荷を付与する導通状態とするこ
とにより、長時間にわたり被吸着物１１８を吸着保持す
べく一組の電極１０６・１０８に直流電源を供給する場
合に、吸着板１１２に吸着保持された被吸着物１１８の
電荷を打ち消して帯電を防止することができる。

【００５９】また、静電保持装置１０２は、電流値Ａが
所定電流値Ａ１未満に低下してから所定時間ｔ１を越え
る場合の直流電源の極性の切換えにより、各電極１０６
・１０８と被吸着物１１８との間に新たに静電的な吸引
力を作用させ、この新たに生じた吸引力により被吸着物
１１８を吸着層１１０に吸着して保持することができ
る。

【００６０】これにより、第４実施例によれば、静電保
持装置１０２は、長時間にわたり被吸着物１１８を吸着
保持する場合に、被吸着物１１８の帯電による吸引力の
低下を防止することができ、しかも、静電保持装置１０
２は、新たに生じた吸引力により被吸着物１１８を長時
間にわたり安定して保持することができる。

【００６１】さらに、この第４実施例によれば、切換回
路１２０は、検出部１２２により直流電源の電流値Ａを
検出し、タイマ部１２４により電流値Ａが所定電流値Ａ
１未満に低下してからの時間ｔを計時し、判断部１２６
により切換条件が成立する場合に、切換部１２８により
一旦非導通状態を経て直流電源の極性を反転して一組の
電極１０６・１０８に夫々正負逆の極性の電荷を付与す
る導通状態とすべく切換えることにより、確実に被吸着
物１１８の帯電を防止することができる。

【００６２】なお、この発明は、上述実施例に限定され
るものではない。例えば、上述実施例においては、切換
回路を電源部と各電極との間、つまり電源部の出力側に
設けたが、電源部の入力側に切換回路を設け、入力電流
の変化により切換えることもできる。また、切換回路と
しては、吸着板の静電容量を検出する検出部を設け、こ
の検出部の検出する静電容量が所定値以下に低下したか
否を判断する判断部を設け、静電容量が所定値以下に低
下した場合に一旦非導通状態を経て直流電源の極性を反
転して一組の電極に夫々正負逆の極性の電荷を付与する
導通状態とすべく切換える切換部を設けることもでき
る。

【００６３】

【発明の効果】このように、この発明によれば、静電保
持装置は、一旦非導通状態を経て一組の電極に夫々正負
逆の電荷を付与することにより、長時間にわたり被吸着
物を吸着保持すべく一組の電極に直流電源を供給する場
合に、吸着板に吸着保持された被吸着物の電荷を打ち消
して帯電を防止することができる。また、静電保持装置
は、直流電源の切換えにより各電極と被吸着物との間に
新たに静電的な吸引力を作用させ、この新たに生じた吸
引力により被吸着物を吸着層に吸着して保持することが
できる。

【００６４】このため、静電保持装置は、長時間にわた
り被吸着物を吸着保持する場合に、被吸着物の帯電によ
る吸引力の低下を防止することができ、しかも、静電保
持装置は、新たに生じた吸引力により被吸着物を長時間
にわたり安定して保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例を示す静電保持装置の断
面図である。

【図２】静電保持装置の分解斜視図である。

【図３】第１実施例による電流値のタイミングチャート
である。

【図４】第２実施例による電流値のタイミングチャート
である。

【図５】この発明の第３実施例を示す静電保持装置の断
面図である。

【図６】第３実施例による電流値のタイミングチャート
である。

【図７】第４実施例による電流値のタイミングチャート
である。

【符号の説明】

２ 静電保持装置 ４ 絶縁基層 ６ 電極 ８ 電極 １０ 吸着層 １２ 吸着板 １４ 電源部 １６ 電路 １８ 被吸着物 ２０ 切換回路 ２２ タイマ部 ２４ 判断部 ２６ 切換部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 絶縁基層と導通により夫々正負の電荷を
   付与される一組の電極とこの一組の電極により誘電され
   て静電的な吸引力により被吸着物を吸着する吸着層とを
   順次に積層した吸着板を設け、前記一組の電極に直流電
   源を供給して前記吸着層に静電的な吸引力を生じさせる
   電源部を設けた静電保持装置において、前記一組の電極
   に直流電源を供給して前記吸着層に静電的な吸引力を生
   じさせている際に切換条件が成立する場合には一旦非導
   通状態を経て前記一組の電極に夫々正負逆の電荷を付与
   する導通状態とすべく直流電源を切換える切換手段を設
   けたことを特徴とする静電保持装置。