CN114347457A - 贴附系统及贴附方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种贴附系统及贴附方法，所述贴附系统包括：静电吸附膜，包括至少一个电极组，所述电极组包括间隔设置的第一电极和第二电极；电压控制组件，与所述第一电极和所述第二电极电连接，用于向所述第一电极和所述第二电极提供电压，以使得所述静电吸附膜产生静电吸附力；其中，在相邻两次所述静电吸附膜产生静电吸附力时，所述电压控制组件控制同一所述电极组内的所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系相反。通过上述设计方式，本申请能够提高贴附效果。

Description

贴附系统及贴附方法

技术领域

本申请属于静电吸附技术领域，具体涉及一种贴附系统及贴附方法。

背景技术

目前，中小显示屏模组行业广泛采用离子吸附膜作为偏光片POL、光学胶OCA等贴附的载体。但离子吸附膜价格相对昂贵，使用寿命为数万到十数万次不等，耗材使用成本较高；且当离子吸附膜吸附力下降时，容易出现贴合不良的情况。

发明内容

本申请提供一种贴附系统及贴附方法，以提高贴附效果。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种贴附系统，包括：静电吸附膜，包括至少一个电极组，所述电极组包括间隔设置的第一电极和第二电极；电压控制组件，与所述第一电极和所述第二电极电连接，用于向所述第一电极和所述第二电极提供电压，以使得所述静电吸附膜产生静电吸附力；其中，在相邻两次所述静电吸附膜产生静电吸附力时，所述电压控制组件控制同一所述电极组内的所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系相反。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种贴附方法，包括：电压控制组件向静电吸附膜中的电极组内的第一电极和第二电极施加电压，以使得所述静电吸附膜产生静电吸附力；其中，在相邻两次所述静电吸附膜产生静电吸附力时，所述电压控制组件控制同一所述电极组内的所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系相反。

区别于现有技术情况，本申请的有益效果是：本申请所提供的贴附系统基于静电吸附膜，其成本较低；且电压控制组件通过向静电吸附膜中的第一电极和第二电极施加电压，以使得静电吸附膜产生静电吸附力。一方面，电压控制组件可以通过改变施加的电压的大小以改变静电吸附膜所产生的静电吸附力的大小，以提高贴附系统应用的灵活性；另一方面，在相邻两次静电吸附膜产生静电吸附力时，电压控制组件控制同一电极组内的第一电极和第二电极之间的极性关系相反。该设计方式可以降低上一次静电吸附膜中电荷局部聚集对下一次静电吸附膜所产生的吸附力的影响，以清除上一次使用静电吸附膜所产生的静电残留，提高下一次使用静电吸附膜的静电吸附效果，降低贴附不良。

此外，每次静电吸附膜产生静电吸附力时包括吸附过程和贴附过程，且电压控制组件控制贴附过程中的静电吸附力小于吸附过程中的静电吸附力。在贴附过程中静电吸附膜的吸附区具有一定的分离角，且贴附过程中静电吸附力越小，分离角越小，静电吸附膜被活动件下压所产生的拉伸应力减小，静电吸附膜形变收缩量降低，贴附过程中所产生的贴附不良的概率降低。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1为本申请贴附系统一实施方式的结构示意图；

图2为图1中静电吸附膜一实施方式的剖面示意图；

图3为图2中电极组一实施方式的俯视示意图；

图4为图1中沿B-B剖线一实施方式的剖面示意图；

图5为吸附系统吸附待吸附件一实施方式的结构示意图；

图6为吸附系统将待吸附件转移至贴合目标一实施方式的结构示意图；

图7为电压控制组件控制第一电极和第二电极一实施方式的时序控制图；

图8为电压控制组件控制第一电极和第二电极另一实施方式的时序控制图；

图9为电压控制组件控制第一电极和第二电极另一实施方式的时序控制图；

图10为图1中静电吸附膜中电极组排布另一实施方式的结构示意图；

图11为本申请贴附方法一实施方式的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

请参阅图1和图2，图1为本申请贴附系统一实施方式的结构示意图，图2为图1中静电吸附膜一实施方式的剖面示意图。该贴附系统1包括静电吸附膜12和电压控制组件13。

其中，如图2所示，静电吸附膜12包括至少一个电极组120，电极组120包括间隔设置的第一电极1200和第二电极1202。电压控制组件13与第一电极1200和第二电极1202电连接，用于向第一电极1200和第二电极1202提供电压，第一电极1200和第二电极1202通电后能够改变静电吸附膜12材料表面的电荷分布，以使得静电吸附膜12产生静电吸附力。其中，在相邻两次静电吸附膜12产生静电吸附力时，电压控制组件13控制同一电极组120内的第一电极1200和第二电极1202之间的极性关系相反。例如，在当前次静电吸附膜12产生静电吸附力时，电压控制组件13向第一电极1200施加正电压，向第二电极1202施加负电压；此时第一电极1200为正极，第二电极1202为负极。而在下一次静电吸附膜12产生静电吸附力时，电压控制组件13向第一电极1200施加负电压，向第二电极1202施加正电压；此时第一电极1200为负极，第二电极1202为正极。

本申请所提供的贴附系统1基于静电吸附膜12，其成本较低；且电压控制组件13通过向静电吸附膜12中的第一电极1200和第二电极1202施加电压，以使得静电吸附膜12产生静电吸附力。一方面，电压控制组件13可以通过改变施加的电压的大小以改变静电吸附膜12所产生的静电吸附力的大小，以提高贴附系统1应用的灵活性；另一方面，在相邻两次静电吸附膜12产生静电吸附力时，电压控制组件13控制同一电极组120内的第一电极1200和第二电极1202之间的极性关系相反。该设计方式可以降低上一次静电吸附膜12中电荷局部聚集对下一次静电吸附膜12所产生的吸附力的影响，以清除上一次使用静电吸附膜12所产生的静电残留，提高下一次使用静电吸附膜12的静电吸附效果，降低贴附不良。

在一个实施方式中，上述电压控制组件13可以包括多个电极引线以及高压控制器130；其中，电极引线的个数与第一电极1200和第二电极1202的总个数相同，且第一电极1200通过一个电极引线与高压控制器130电连接，第二电极1202通过另一个电极引线与高压控制器130电连接。

在另一个实施方式中，如图2所示，静电吸附膜12包括层叠设置的第一绝缘层122、第二绝缘层124和支撑层126；且电极组120位于第一绝缘层122和第二绝缘层124之间。上述静电吸附膜12的结构设计较为简单，且易于工艺制备获得。可选地，在本实施例中，第一绝缘层122或第二绝缘层124可以填充电极组120中的间隔，以更好地保护电极组120。另一可选地，第一绝缘层122背离支撑层126一侧表面用于与待吸附件接触，第一绝缘层122和第二绝缘层124的材质可以相同，例如，可以为聚酰亚胺等；支撑层126的材质可以为金属，例如，SUS不锈钢等，其可对第一绝缘层122和第二绝缘层124起到较好的支撑作用。

此外，如图3所示，图3为图2中电极组一实施方式的俯视示意图，图3中电极组120沿A-A剖线的剖视示意图可以如图2中结构所示。虽然图2和图3中仅示意画出一个电极组120，但在其他实施例中，静电吸附膜12中也可包含至少两个电极组120，本申请对此不作限定。上述第一电极1200和第二电极1202的材质可以金、银、铜等韧性较好的金属或其它高韧性合金。

进一步，如图3所示，第一电极1200呈梳子状，第一电极1200包括第一连接子电极12002以及并排设置的多个第一延伸子电极12000，且多个第一延伸子电极12000通过第一连接子电极12002电连接。第二电极1202呈梳子状，第二电极1202包括第二连接子电极12022以及并排设置的多个第二延伸子电极12020，且多个第二延伸子电极12020通过第二连接子电极12022电连接。其中，多个第二延伸子电极12020和多个第一延伸子电极12000依次间隔交替排布，相邻两个第一延伸子电极12000之间的间隙内设置有一个第二延伸子电极12020，相邻两个第二延伸子电极12020之间的间隙内设置有一个第一延伸子电极12000。且第一连接子电极12002可以与多个第一延伸子电极12000位于同侧的第一端部(未标示)电连接，第二连接子电极12022可以与多个第二延伸子电极12020位于同侧的第二端部(未标示)电连接，且第一延伸子电极12000的第一端部与第二延伸子电极12020的第二端部相对设置，第一端部和第二端部分别位于第一延伸子电极12000和第二延伸子电极12020长度延伸方向上的两侧。上述第一电极1200和第二电极1202的结构设计较为简单，且在相同输入电压的情况下，该设计方式可以提高静电吸附力的值。

请再次参阅图1，本申请所提供的贴附系统1还可以包括：至少两个固定件14、至少两个支撑件16和活动件18。

其中，至少两个固定件14用于固定静电吸附膜12长度方向上的两端。例如，图1中仅示意画出两个固定件14，静电吸附膜12长度方向上的两端处分别设置有一个固定件14。可选地，如图4所示，图4为图1中沿B-B剖线一实施方式的剖面示意图。固定件14包括相对设置的第一部140和第二部142，第一部140和第二部142用于夹持并固定静电吸附膜12的端部。该设计方式可以降低固定件14固定静电吸附膜12的难度。例如，如图4中所示，可以通过螺钉等方式使得第一部140和第二部142可拆卸固定连接。且第二部142上可以设置有过孔，电压控制组件13中的电极引线(未标示)可以通过该过孔与对应位置处的第一电极1200或第二电极1202电连接。

此外，如图1中所示，静电吸附膜12长度方向上的两端之间的最小直线距离小于静电吸附膜12在长度方向上自然伸长时的长度。此时，至少两个固定件14之间设置有至少两个支撑件16，用于支撑位于至少两个固定件14之间的静电吸附膜12，且位于相邻两个支撑件16之间的静电吸附膜12形成吸附区128。可选地，支撑件16可以为固定轮等，此时位于两个固定件14之间的静电吸附膜12沿支撑件16的外侧呈略微松弛状态设置。其中，至少一个支撑件16在垂直方向上的高度可调，以使得吸附区128与水平面之间的夹角可调。

活动件18用于在吸附区128的非吸附面一侧下压并移动，以使得吸附区128的吸附面接触并吸附待吸附件、或使得待吸附件与贴合目标贴合，待吸附件从吸附区脱离。可选地，活动件18可以为滚轮，下压时相邻固定件14之间的静电吸附膜12可以处于张紧状态。当静电吸附膜12的结构如图2中所示时，活动件18与支撑层126接触；且在静电吸附膜12的宽度方向上(即图1中垂直于纸面方向)，活动件18在静电吸附膜12上的正投影超出静电吸附膜12，以提高静电吸附膜12吸附待吸附件或将待吸附件转移的效果。

上述贴附系统1的整体结构设计较为简单，且灵活性较高、成本较低。

在一个实施方式中，请一并参阅图5、图6和图7，图5为吸附系统吸附待吸附件一实施方式的结构示意图，图6为吸附系统将待吸附件转移至贴合目标一实施方式的结构示意图，图7为电压控制组件控制第一电极和第二电极一实施方式的时序控制图。每次静电吸附膜12产生静电吸附力时包括将待吸附件11吸附至静电吸附膜12上的吸附过程(如图5所示)、以及将待吸附件11从静电吸附膜12转移至贴合目标15上的贴附过程(如图6所示)。

在一个应用场景中，如图5所示，待吸附件11可以为偏光片POL或设置有离型膜的光学胶OCA等。待吸附件11可以设置于一水平平台上，吸附区128可以与该水平平台呈倾斜设置。活动件18可以使得其下压位置处的静电吸附膜12与待吸附件11接触；当活动件18从吸附区128最接近待吸附件11的一端(即吸附起始端180)依次移动至最远离待吸附件11的一端(即吸附末端182)时，静电吸附膜12的静电吸附力可以将平台上的待吸附件11吸附至吸附区128。需要说明的是，此时待吸附件11与静电吸附膜12之间仅存在静电吸附力而不存在其余作用力。

在另一个应用场景中，如图6所示，贴合目标15可以设置于一水平平台上，吸附有待吸附件11的吸附区128可以与该水平平台呈倾斜设置。活动件18可以使得其下压位置处的待吸附件11与贴合目标15接触，相互接触的贴合目标15与待吸附件11之间的作用力大于待吸附件11与静电吸附膜12之间的作用力。可选地，贴合目标15与待吸附件11之间可以通过粘性力连接。当活动件18从吸附区128最接近贴合目标15的一端(即贴附起始端184)依次移动至最远离贴合目标15的一端(即贴附末端186)时，静电吸附膜12上的待吸附件11可以转移至贴合目标15上。

其中，如图7所示，电压控制组件13用于控制当前次静电吸附膜12产生静电吸附力时的吸附过程和贴附过程中第一电极和第二电极之间的极性关系相同，相邻两次静电吸附膜12产生静电吸附力时的吸附过程中第一电极和第二电极之间的极性关系相反，相邻两次静电吸附膜12产生静电吸附力时的贴附过程中第一电极和第二电极之间的极性关系相反。该设计方式可以降低上一次静电吸附膜12中电荷局部聚集对下一次静电吸附膜12所产生的吸附力的影响，以清除上一次静电吸附膜12中静电残留，提高静电吸附效果，降低贴附不良。

例如，图7中示意画出时序上相邻的两次静电吸附膜12产生静电吸附力的过程。在前一次静电吸附膜12产生静电吸附力时，不管是吸附过程还是贴附过程，第一电极具有正电压，第二电极具有负电压；而在下一次静电吸附膜12产生静电吸附力时，不管是吸附过程还是贴附过程，第一电极具有负电压，第二电极具有正电压。

在一个实施方式中，电压控制组件13还用于在响应于当前静电吸附膜12产生静电吸附力的次数超过第一阈值(例如，十万次等)时，电压控制组件13改变向第一电极1200和第二电极1202提供的电压，以使得第一电极1200和第二电极1202之间的电压差相比未超过第一阈值时增大，以保证吸附效果，降低由于静电吸附膜12形变收缩而导致的贴附不良的概率；且该方式可以延长静电吸附膜12的使用寿命，降低成本。

在另一个实施方式中，电压控制组件13还用于在相邻两次静电吸附膜12产生静电吸附力之间，控制所有第一电极1200和第二电极1202的电压为0。该设计方式可以减少上一次静电吸附膜12残留的静电，以保证下一次静电吸附膜12产生静电吸附力时的静电吸附效果。例如，如图7所示，当每次静电吸附膜12产生静电吸附力时包括时序上依次进行的吸附过程和贴附过程中，上一次贴附过程与下一次吸附过程之间设置有暂停过程，在该暂停过程中第一电极1200和第二电极1202的电压为0。

请继续参阅图7，电压控制组件13用于在当前次静电吸附膜12产生静电吸附力时的吸附过程中控制的第一电极1200和第二电极1202之间具有第一平均电压差、以及在当前次静电吸附膜12产生静电吸附力时的贴附过程中控制第一电极1200和第二电极1202之间具有第二平均电压差；其中，同一电极组120对应的第一平均电压差大于第二平均电压差。如图6所示，在贴附过程中静电吸附膜12的吸附区128具有一定的分离角θ，其中，位于活动件18与其中一个支撑件16之间的静电吸附膜12位于第一平面，位于活动件18与另一支撑件16之间的静电吸附膜12位于第二平面，第一平面与第二平面之间的夹角定义为分离角θ。上述设计方式中电压控制组件13控制贴附过程中的静电吸附力小于吸附过程中的静电吸附力，越小的静电吸附力所对应的分离角θ越小。此时静电吸附膜12被活动件18下压所产生的拉伸应力减小，静电吸附膜12形变收缩量降低，贴附过程中所产生的贴附不良的概率降低。

可选地，分离角θ的大小可以通过改变支撑件16垂直高度来实现。一般而言，分离角θ可以设置为5°-10°；当待吸附件11中的自由电子较多，在同等电压差的情况下，待吸附件11与静电吸附膜12之间的结合力较强时，分离角θ可以进一步降低，以提高静电吸附膜12的使用寿命。

在一个实施例中，如图7中所示，电压控制组件13用于在每次吸附过程中控制第一电极的电压值不变，第二电极的电压值不变；以及电压控制组件13用于在每次贴附过程中控制第一电极的电压值不变，第二电极的电压值不变。且针对当前次静电吸附膜12产生静电吸附力时，吸附过程中第一电极的电压的绝对值大于贴附过程中第一电极的电压的绝对值，吸附过程中第二电极的电压的绝对值大于贴附过程中第二电极的电压的绝对值。该电压控制方式较为简单，且易于实现。

在又一个实施例中，如图8所示，图8为电压控制组件控制第一电极和第二电极另一实施方式的时序控制图。电压控制组件13用于在贴附过程中控制同一电极组内的第一电极和第二电极之间的电压差随时间逐渐降低。或者，如图9所示，图9为电压控制组件控制第一电极和第二电极另一实施方式的时序控制图。电压控制组件13用于在贴附过程中控制同一电极组内的第一电极和第二电极之间的电压差随时间阶梯降低。如图6所示，在贴附过程中由于已经有部分待吸附件11贴附至贴合目标15上，故逐渐降低电压差或阶梯降低电压差的过程不仅可以降低耗能成本，而且可以更容易使待吸附件11贴附至贴合目标15上。

与之类似地，如图8所示，电压控制组件13也可用于在吸附过程中控制同一电极组内的第一电极和第二电极之间的电压差随时间逐渐降低。或者，如图9中所示，电压控制组件13也可用于在吸附过程中控制同一电极组内的第一电极和第二电极之间的电压差随时间阶梯降低。如图5所示，在吸附过程中由于已经有部分待吸附件11吸附至静电吸附膜12上，故逐渐降低电压差或阶梯降低电压差的过程并不会对吸附过程有影响，上述逐渐降低电压差或阶梯降低电压差的过程可以降低耗能成本。此外，如图8或图9所示，上述逐渐降低电压差或阶梯降低电压的方式可以使得下一次吸附过程的起始电压差与相邻的上一次贴附过程的终止电压差之间的差距较大，且由于下一次吸附过程中第一电极和第二电极之间的极性关系与上一次贴附过程中第一电极和第二电极之间的极性关系相反，故该设计方式可以更好的清除上一次贴附过程中静电吸附膜12中残留的静电，进一步降低静电吸附膜12中电荷局部聚集的概率，以提高下一次吸附过程的吸附效果。

此外，如图8中所示，逐渐降低电压差可以通过逐渐降低第一电极电压和/或第二电极电压的电压绝对值的方式实现，吸附过程和贴附过程中电压差可以呈线性或曲线逐渐降低，且吸附过程和贴附过程逐渐降低的斜率可以相同或者不同。逐渐降低电压差或阶梯降低电压差时，贴附过程的起始电压差与吸附过程的终止电压差可以相同或不同。

在又一个实施方式中，请参阅图10，图10为图1中静电吸附膜中电极组排布另一实施方式的结构示意图。静电吸附膜12包括间隔设置的多个电极组120；如图6所示，电压控制组件13用于在贴附过程中控制在贴附起始端184至贴附末端186方向上间隔排布的多个电极组120内的第一电极1200和第二电极1202之间的电压差依次降低；此时在贴附起始端184至贴附末端186方向上，静电吸附膜12的静电吸附力依次降低。在贴附过程中由于贴附起始端184先于贴附末端186与贴合目标贴合，故上述方式不仅可以降低耗能成本，而且可以更容易使待吸附件11贴附至贴合目标15上。

与之类似的，请再次参阅图10，静电吸附膜12包括间隔设置的多个电极组120；如图5所示，电压控制组件13用于在吸附过程中，控制在吸附起始端180至吸附末端182方向上的间隔排布的多个电极组120内的第一电极1200和第二电极1202之间的电压差依次降低；此时在吸附起始端180至吸附末端182方向上，静电吸附膜12的静电吸附力依次降低。在贴附过程中由于吸附起始端180先于吸附末端182与待吸附件11接触，故上述方式并不会影响吸附过程，且可以降低耗能成本。

请参阅图11，图11为本申请贴附方法一实施方式的流程示意图，该贴附方法具体包括：

S101：电压控制组件向静电吸附膜中的电极组内的第一电极和第二电极施加电压，以使得静电吸附膜产生静电吸附力；其中，在相邻两次静电吸附膜产生静电吸附力时，电压控制组件控制同一电极组内的第一电极和第二电极之间的极性关系相反。

具体地，上述步骤S101的具体实现过程可以为：

A：使静电吸附膜朝向待吸附件。

B：使电压控制组件向第一电极和第二电极施加电压，静电吸附膜吸附待吸附件；其中，当前第一电极和第二电极之间的极性关系与上一次静电吸附膜吸附待吸附件时第一电极和第二电极之间的极性关系相反。具体地，此时电压控制组件向第一电极和第二电极施加电压的形式可参见图7或图8或图9中吸附过程。

C：使吸附有待吸附件的静电吸附膜朝向贴合目标。具体地，此时电压控制组件控制第一电极和第二电极的电压保持为与步骤B中相同。

D：降低电压控制组件向第一电极和第二电极施加的电压，使待吸附件与贴合目标贴合。具体地，此时电压控制组件向第一电极和第二电极施加电压的形式可参见图7或图8或图9中贴附过程。

此外，在上述步骤D将待吸附件与贴合目标贴合完成后，电压控制组件还可控制第一电极和第二电极的电压为0。

以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种贴附系统，其特征在于，包括：

静电吸附膜，包括至少一个电极组，所述电极组包括间隔设置的第一电极和第二电极；

电压控制组件，与所述第一电极和所述第二电极电连接，用于向所述第一电极和所述第二电极提供电压，以使得所述静电吸附膜产生静电吸附力；其中，在相邻两次所述静电吸附膜产生静电吸附力时，所述电压控制组件控制同一所述电极组内的所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系相反。

2.根据权利要求1所述的贴附系统，其特征在于，

所述电压控制组件还用于在相邻两次所述静电吸附膜产生静电吸附力之间，控制所有所述第一电极和所述第二电极的电压为0。

3.根据权利要求1或2所述的贴附系统，其特征在于，

每次所述静电吸附膜产生静电吸附力时包括将待吸附件吸附至所述静电吸附膜上的吸附过程、以及将所述待吸附件从所述静电吸附膜转移至贴合目标上的贴附过程；

其中，所述电压控制组件用于控制当前次所述静电吸附膜产生静电吸附力时的所述吸附过程和所述贴附过程中所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系相同，相邻两次所述静电吸附膜产生静电吸附力时的所述吸附过程中所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系相反，相邻两次所述静电吸附膜产生静电吸附力时的所述贴附过程中所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系相反。

4.根据权利要求3所述的贴附系统，其特征在于，

所述电压控制组件用于在当前次所述静电吸附膜产生静电吸附力时的所述吸附过程中控制的所述第一电极和所述第二电极之间具有第一平均电压差、以及在所述贴附过程中控制所述第一电极和所述第二电极之间具有第二平均电压差；其中，同一所述电极组对应的所述第一平均电压差大于所述第二平均电压差。

5.根据权利要求3所述的贴附系统，其特征在于，

所述电压控制组件用于在所述贴附过程中控制同一所述电极组内的所述第一电极和所述第二电极之间的电压差随时间逐渐降低或阶梯降低；和/或，

所述电压控制组件用于在所述吸附过程中控制同一所述电极组内的所述第一电极和所述第二电极之间的电压差随时间逐渐降低或阶梯降低。

6.根据权利要求3所述的贴附系统，其特征在于，

所述静电吸附膜包括间隔设置的多个电极组；所述电压控制组件用于在所述贴附过程中，控制在贴附起始端至贴附末端方向上间隔排布的多个所述电极组内的所述第一电极和所述第二电极之间的电压差依次降低；和/或，

所述静电吸附膜包括间隔设置的多个电极组；所述电压控制组件用于在所述吸附过程中，控制在吸附起始端至吸附末端方向上的间隔排布的多个所述电极组内的所述第一电极和所述第二电极之间的电压差依次降低。

7.根据权利要求1所述的贴附系统，其特征在于，还包括：

至少两个固定件，分别固定所述静电吸附膜长度方向上的两端；

至少两个支撑件，用于支撑位于所述至少两个固定件之间的所述静电吸附膜，且位于相邻两个所述支撑件之间的所述静电吸附膜形成吸附区；其中，至少一个支撑件在垂直方向上的高度可调，以使得所述吸附区与水平面之间的夹角可调；

活动件，用于在所述吸附区的非吸附面一侧下压并移动，以使得所述吸附区的吸附面接触并吸附待吸附件、或使得所述待吸附件与贴合目标贴合，所述待吸附件从所述吸附区脱离；

优选地，所述固定件包括相对设置的第一部和第二部，所述第一部和所述第二部用于夹持并固定所述静电吸附膜的端部。

8.根据权利要求1所述的贴附系统，其特征在于，所述静电吸附膜包括：

层叠设置的第一绝缘层、第二绝缘层和支撑层；且所述电极组位于所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间；

优选地，所述支撑层的材质为金属。

9.一种贴附方法，其特征在于，包括：

电压控制组件向静电吸附膜中的电极组内的第一电极和第二电极施加电压，以使得所述静电吸附膜产生静电吸附力；其中，在相邻两次所述静电吸附膜产生静电吸附力时，所述电压控制组件控制同一所述电极组内的所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系相反。

10.根据权利要求9所述的贴附方法，其特征在于，包括：所述电压控制组件向静电吸附膜中的电极组内的第一电极和第二电极施加电压，以使得所述静电吸附膜产生静电吸附力的步骤，包括：

使所述静电吸附膜朝向待吸附件；

使所述电压控制组件向所述第一电极和所述第二电极施加电压，所述静电吸附膜吸附所述待吸附件；其中，当前所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系与上一次所述静电吸附膜吸附所述待吸附件时所述第一电极和所述第二电极之间的极性关系相反；

使吸附有所述待吸附件的所述静电吸附膜朝向贴合目标；

降低所述电压控制组件向所述第一电极和所述第二电极施加的电压，使所述待吸附件与所述贴合目标贴合。

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