TWI591755B - 靜電夾盤及供電系統 - Google Patents

Description

靜電夾盤及供電系統

本發明係有關於一種靜電夾盤及供電系統，其係用以吸附玻璃基板等被加工板體者。

如第8圖所示，靜電夾盤100一般係固定於處理裝置之真空室200內的底部。並且，由真空室200外之電源210，將驅動用之電源電壓及電氣訊號供電至靜電夾盤100，使被加工板體W吸附在靜電夾盤100(例如，參照專利文獻1)。

然而，在如前述之靜電夾盤100固定於裝置200的系統中，並無法在裝置200內使被加工板體W移動至預定部位、或使被加工板體W翻轉，對於處理作業的靈活性較差。

因此，近年來設計出一種將靜電夾盤100設置成能夠在處理裝置的真空室200內移動的系統。

如第9圖所示，該靜電夾盤100係滑動自如地配置在載台150上。藉此，靜電夾盤100係在吸附被加工板體W之狀態下搬運至真空室200內之預定部位，使被加工板體W配置在該部位。

一般在如前述的系統中，電源210係配置在真空室200的外部，並通過電壓電纜220、220而連接該電源210與由吸附電極130延伸出的供電銷131、131。

然而，近年來從顯示器之大型化及作業時間之縮短化的觀點來看，產生了利用靜電性夾盤100吸附搬運玻璃基板等大型且具重量的被加工板體W之必要性。

為了如前所述將大型且具重量的被加工板體W予以吸附，必須將供應給靜電夾盤100之吸附電極130的電壓設為高電壓，而提升靜電夾盤100的吸附力。尤其，如在蒸鍍裝置所使用的靜電夾盤100，在必須將沉重的被加工板體W朝下側並予以吸附的夾盤中，必須形成非常高的吸附力。

然而，真空室200內係在真空環境下，在電壓電纜220、220間會產生放電之疑慮很高。

因此，就電壓電纜220、220而言，係採用高耐壓纜線，並且考慮帕申(paschen)之易放電區域，來防止裝置200內之電纜部分的放電。這是利用聚矽氧(silicone)或環氧橡膠系之樹脂將導體部分容易露出的部位予以密封而達成。具體而言，利用密封材231、231密封電壓電纜220、220之裝置內電纜部分221、221與供電銷131、131的連接部分，並且利用密封材232、232來密封裝置內電纜部分221、221與裝置外電纜部分222、222的連接部分。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本特開2011-238934號公報。

然而，在前述之習知的技術中，會有如下述的問題點。

亦即，藉由長年反覆進行靜電夾盤100的移動，使負載施加在裝置內電纜部分221、221與供電銷131、131的連接部分及裝置內電纜部分221、221與裝置外電纜部分222、222的連接部分，而會有使密封材231、232劣化的疑慮。結果，因該等之接觸部分的露出，而會有產生放電的疑慮。

再者，因必須將較長之電纜部分221、221配置於真空室200內，或設置電纜用之配管，或設置密封材231、232，故會使對靜電夾盤之供電系統的構造變得複雜。

本發明係有鑑於前述之問題點所開發者，其目的在於提供一種靜電夾盤及供電系統，其係即使在真空環境下亦不會產生放電，並能夠進行高電壓驅動，並且能夠謀求對靜電夾盤之供電系統之構造的簡單化。

為了解決前述課題，申請專利範圍第1項之發明係一種靜電夾盤，其具備有靜電吸附層、基材、及升壓電路，該靜電吸附層係具有將表面設為被加工板體之吸附面的介電體及配置於該介電體內部的吸附電極，該基材係 於其上表面配設有該靜電吸附層，而該升壓電路係具有用以輸入來自外部電源之低電壓的低電壓用輸入端子及用以將該低電壓予以升壓而獲得之高電壓供應給吸附電極的高電壓用輸出端子；其中，將升壓電路安裝於基材，且將從吸附電極通過介電體內及基材內而以非露出狀態之方式拉出之配線的端部與高電壓用輸出端子的電性連接部分，收納於基材內而呈非露出狀態。

根據這樣的構成，將靜電夾盤配置於真空室內，當將低電壓由真空室外之外部電源送至靜電夾盤側時，使該低電壓通過低電壓用輸入端子而輸入至升壓電路。於是，該低電壓係以升壓電路而升壓成高電壓，且高電壓從高電壓用輸出端子被輸出至吸附電極，使靜電力產生在被加工板體與靜電吸附層表面。藉此，以靜電力而將被加工板體吸附在靜電吸附層表面。在前述狀態下，能夠將被加工板體在真空室內與靜電夾盤一同進行搬運。

然而，來自外部電源的低電壓係由外部電源通過導入至真空室內之電纜而輸入至升壓電路的低電壓用輸入端子。因此，由於在從電纜至升壓電路為止之間，供應有低電壓，故不會產生在電纜本身之放電。此外，即使電纜與低電壓用輸入端子的連接部分露出時，亦不會產生放電。

然而，由於在升壓電路之高電壓用輸出端子與吸附電極之間，供應有高電壓，故會有放電產生在升壓電路與吸附電極之間的配線本身及/或高電壓用輸出端子與配線端部的連接部分之疑慮。

然而，由於在本發明之靜電夾盤中，配線係從吸附電極通過介電體內及基材內，且使其配線的端部與高電壓用輸出端子的電性連接部分收納在基材內而呈非露出狀態，故即使高電壓供應至升壓電路之高電壓用輸出端子與吸附電極之間，亦不會有放電產生在配線本身及/或高電壓用輸出端子與配線端部的連接部分之疑慮。

申請專利範圍第2項之發明係在申請專利範圍第1項所述之靜電夾盤中，升壓電路之低電壓用輸入端子係輸入5伏特至100伏特之範圍內的電壓，而高電壓用輸出端子係輸出300伏特至10000伏特之範圍內的電壓者。

申請專利範圍第3項之發明之供電系統係構成為具備：申請專利範圍第1項或第2項所述之靜電夾盤，藉由真空室內之搬運機構進行搬運；以及電性接觸機構，使固定於真空室內之固定電極連接於外部電源，並且使與靜電夾盤一同移動之可動電極連接於升壓電路之低電壓用輸入端子，並藉由該等固定電極與可動電極的接觸，將來自外部電源的低電壓輸入至升壓電路之低電壓用輸入端子。

根據這樣的構成，在藉由搬運機構使靜電夾盤於真空室內進行搬運時，來自真空室外之外部電源的低電壓會被供應至固定在真空室內之固定電極。此時，由於與靜電夾盤一同移動之可動電極與固定電極接觸，故來自外部電源的低電壓係通過固定電極及可動電極，而輸入至升壓電路 之低電壓用輸入端子。並且，以升壓電路所升壓之高電壓係通過高電壓用輸出端子及配線而供應至吸附電極。

換言之，靜電夾盤之搬運中，使來自外部電源之低電壓通過電性接觸機構，而持續供應至升壓電路之低電壓用輸入端子。

一般而言，在供電至進行搬運之靜電夾盤時，必須加長由外部電源至靜電夾盤為止之電纜。

然而，由於在本發明之供電系統中係將來自外部電源之電纜連接於固定在真空室內之固定電極的構成，故能夠使電纜長度以至固定電極為止之長度即足夠，且可縮短成非常短。此外，由於將低電壓供應至電纜，故亦無須密封電纜與固定電極的連接部分。

申請專利範圍第4項之發明係在申請專利範圍第3項所述之供電系統中，電性接觸機構的固定電極係由在接近於靜電夾盤之狀態下朝搬運方向平行地配設之導電性的軌條所形成；可動電極係由以接觸該軌條之狀態安裝於靜電夾盤之導體性的可撓性接觸件所形成。

根據這樣的構成，由於安裝於靜電夾盤之導體性之可撓性接觸件與軌條接觸，故來自外部電源的低電壓係通過該等軌條及可撓性接觸件，而輸入至升壓電路之低電壓用輸入端子。並且，以升壓電路所升壓之高電壓係通過高電壓用輸出端子及配線而供應至吸附電極。因此，來自外部電源之電纜長度係至軌條為止之長度即足夠，並且亦無需密封。

申請專利範圍第5項之發明係在申請專利範圍第3項所述之供電系統中，搬運機構係由朝搬運方向排列之複數根導電性之滾輪、及能夠轉動地支持該等滾輪之平行的1對機架排(lane)所構成；電性接觸機構之固定電極係由複數根導電性之滾輪所形成，而可動電極係由在與滾輪接觸之狀態下與靜電夾盤一同移動的電極板所形成。

根據這樣的構成，由於與靜電夾盤一同移動之電極板會與複數根導電性之滾輪接觸，故來自外部電源的低電壓係通過該等滾輪及電極板，而輸入至升壓電路之低電壓用輸入端子。並且，以升壓電路所升壓之高電壓係通過高電壓用輸出端子及配線而供應至吸附電極。因此，來自外部電源之電纜長度係至滾輪為此之長度即足夠，此外，亦無需密封。

申請專利範圍第6項之發明之供電系統係構成為具備：申請專利範圍第1項或第2項所述之靜電夾盤，係藉由真空室內之搬運機構進行搬運；以及電磁感應裝置，係使固定於真空室內之固定線圈與外部電源連接，並且使與在與該固定線圈非接觸之狀態下與靜電夾盤一同移動之可動線圈連接於升壓電路之低電壓用輸入端子，並藉由從固定線圈對可動線圈的電磁感應，將來自外部電源的低電壓輸入至升壓電路之低電壓用輸入端子。

根據這樣的構成，在藉由搬運機構使靜電夾盤於真空室內進行搬運時，使來自真空室外之外部電源的低電壓供應至固定在真空室內之電磁感應裝置之固定線圈。藉此， 藉由從固定線圈對可動線圈之電磁感應，使低電壓產生於可動線圈，並輸入至升壓電路之低電壓用輸入端子。並且，使以升壓電路所升壓之高電壓通過高電壓用輸出端子及配線而供應至吸附電極。

換言之，靜電夾盤之搬運中係使來自外部電源之低電壓通過無電性接觸之電磁感應裝置，而持續供應至升壓電路之低電壓用輸入端子。

申請專利範圍第7項之發明係在申請專利範圍第6項所述之供電系統中，將電磁感應裝置之固定線圈固定於真空室內，並且將可動線圈安裝在靜電夾盤。

申請專利範圍第8項之發明之供電系統係構成為具備：申請專利範圍第1項或第2項所述之靜電夾盤，係藉由真空室內之搬運機構進行搬運；透明頂板，係設置於真空室之至少上表面，將來自外部光源之光導入至真空室內；以及太陽電池裝置，將通過透明頂板導入至真空室內之光轉換成低電壓之電力而輸入至靜電夾盤之升壓電路之低電壓用輸入端子。

根據這樣的構成，在使靜電夾盤於真空室內藉由搬運機構進行搬運時，使來自外部光源的光通過透明頂板而導入至真空室內，且該等之光係藉由太陽電池裝置來轉換成低電壓之電力。並且，使經轉換之低電壓輸入至升壓電路之低電壓用輸入端子，且使經升壓電路所升壓之高電壓通過高電壓用輸出端子及配線而供應至吸附電極。

換言之，靜電夾盤之搬運中，藉由來自外部光源的光， 使靜電夾盤持續驅動。

申請專利範圍第9項之發明係在如申請專利範圍第8項所述之供電系統中，將太陽電池裝置安裝於靜電夾盤。

如以上詳細地說明，根據申請專利範圍第1項及申請專利範圍第2項之發明之靜電夾盤，由於在真空室內，設為僅使自外部電源至升壓電路為止之間之低電壓供給部分露出之狀態，且升壓電路與吸附電極之間之配線本身、及高電壓用輸出端子與配線端部之連接部分等之高電壓供給部分係採用呈非露出狀態之構成，故能夠抑制高電壓供給部分之電性損壞模式(電弧)，且可避免因驅動所造成之絕緣部之損壞。換言之，根據本發明，會有即使在真空環境空間內亦不使放電產生，並能夠進行高電壓驅動之優異效果。

此外，根據申請專利範圍第3項至申請專利範圍第5項之發明之供電系統，由於為將來自外部電源之電纜連接於固定在真空室內之固定電極之構成，故能夠使電纜長度以至固定電極為止之長度即足夠，且可縮短成非常短。此外，由於低電壓被供應至電纜，故亦無需密封電纜與固定電極的連接部分。因此，會有能夠減少對真空環境不利之電纜、電纜用之配管、及密封機構等，且能夠謀求對靜電夾盤之供電系統之構造的簡化之優異效果。

此外，根據申請專利範圍第6項及申請專利 範圍第7項之發明之供電系統，由於靜電夾盤之搬運中，係使來自外部電源之低電壓通過無電性接觸之電磁感應裝置，而持續供應至升壓電路之低電壓用輸入端子，故會有能夠更提升在真空環境下之放電的防止效果之優異效果。

特別是，根據申請專利範圍第8項及申請專利範圍第9項之發明之供電系統，由於靜電夾盤之搬運中，係藉由來自外部光源之光，使靜電夾盤持續驅動，故能夠完全去除從外部電源往靜電夾盤之電纜及配管等，結果，會有能夠謀求供電系統之構造的更簡化之優異效果。

1-1至1-4‧‧‧供電系統

2、100‧‧‧靜電夾盤

3‧‧‧升壓電路

4、6‧‧‧電性接觸機構

5‧‧‧遮罩

7‧‧‧電磁誘導裝置

20‧‧‧基材

21‧‧‧靜電吸附層

21a‧‧‧表面

22‧‧‧介電體

23‧‧‧吸附電極

24、25‧‧‧配線

31a、32a‧‧‧低電壓用輸入端子

31b、32b‧‧‧高電壓用輸出端子

40‧‧‧外部電源

41、42‧‧‧軌條

41a、42a、45a、46a‧‧‧電纜

43、44‧‧‧可撓性接觸件

45、46‧‧‧導電板

49‧‧‧開關

61、62‧‧‧滾輪

61a至64a、71a、71b‧‧‧電纜

63、64‧‧‧電極板

6a-1至6a-10‧‧‧滾軸

71‧‧‧固定線圈

72‧‧‧可動線圈

81‧‧‧玻璃頂板

82‧‧‧太陽電池裝置

82a、82b‧‧‧輸出端

130‧‧‧吸附電極

131‧‧‧供電銷

150‧‧‧載台

200‧‧‧真空室

201‧‧‧上表面

210‧‧‧電源

220‧‧‧電壓電纜

221‧‧‧裝置內電纜部分

222‧‧‧裝置外電纜部分

230‧‧‧蒸鍍源

230a‧‧‧蒸鍍材料

231、232‧‧‧密封材

300‧‧‧搬運機構

301、302‧‧‧機架排

311、312‧‧‧滾輪

L‧‧‧光

P1至P4‧‧‧電性連接部分

W‧‧‧被加工板體

第1圖係顯示本發明第1實施例之靜電夾盤及供電系統的概略剖面圖。

第2圖係顯示靜電夾盤的剖面圖。

第3圖係顯示供電系統的概略俯視圖。

第4圖係顯示本發明第2實施例之供電系統的剖面圖。

第5圖係顯示第2實施例之供電系統的概略俯視圖。

第6圖係顯示本發明第3實施例之供電系統的概略俯視圖。

第7圖係顯示本發明第4實施例之供電系統的剖面圖。

第8圖係顯示習知技術之一例的剖面圖。

第9圖係顯示習知技術之其他例的剖面圖。

以下，參照圖式針對本發明之最佳實施形 態加以說明。

(第1實施例)

第1圖係顯示本發明第1實施例之靜電夾盤及供電系統的概略剖面圖。

如第1圖所示，在本實施例中所例示之供電系統1-1係為用以將外部電源供電至蒸鍍裝置之真空室200內之靜電夾盤2的系統，並具備有靜電夾盤2、以及電性接觸機構4，該靜電夾盤2係藉由搬運機構300進行搬運。

第2圖係顯示靜電夾盤2的剖面圖。

如第2圖所示，靜電夾盤2係具有基材20、靜電吸附層21、以及升壓電路3。

基材20係以鋁、SUS(steel use stainless，不鏽鋼)、鐵、銅、鈦、陶瓷(包含ALN、SiC、AL2O3、SiN、氧化鋯(zirconia)、BN、TiC、TiN)等形成，而靜電吸附層21係黏貼在該基材20上。

靜電吸附層21係由介電體22、以及吸附電極23所形成，並將其表面21a作為玻璃基板等被加工板體W的吸附面。

介電體22係由聚醯亞胺薄膜(polyimide film)或陶瓷所形成。

吸附電極23係以碳印墨(carbon ink)、Cu、SUS、鐵、鎳、銀、白金等為主成分或者混合之導電性物質(箔體或膏體)等形成，且通過配線24、25與升壓電路3電性連接。

升壓電路3係為將自低電壓用輸入端子 31a、32a輸入之低電壓升壓成高電壓而從高電壓用輸出端子31b、32b輸出之裝置，例如，DC-DC轉換器、AC-DC轉換器或AC-AC轉換器。

前述之升壓電路3係以嵌入於基材20之狀態安裝。

具體而言，低電壓用輸入端子31a、32a係露出於外部，而高電壓用輸出端子31b、32b係收納在基材20內。並且，使高電壓用輸出端子31b、32b連接在自吸附電極23通過介電體22及基材20內而拉出之配線24、25的端部，且該等之電性連接部分P1、P2係呈非露出狀態。

如第1圖所示，如同上述具有升壓電路3的靜電夾盤2係載設在真空室200內的搬運機構300上。

第3圖係顯示供電系統1-1之概略俯視圖。

如第1圖及第3圖所示，搬運機構300係具備有1對的機架排301、302、複數對的滾輪311、312、及未圖示之驅動機構，該複數對的滾輪311、312係藉由該等機架排301、302而轉動自如地支持，而該驅動機構係用以使滾輪311、312驅動轉動。

在蒸鍍裝置中，必須將蒸鍍材料230a從真空室200之底板上的蒸鍍源230朝上方之被加工板體W噴射，並使被加工板體W蒸鍍。因此，如第1圖所示，靜電夾盤2係以朝下側之狀態，載設於搬運機構300之滾輪311、312上。

具體而言，遮罩5係載設在滾輪311、312上，而吸附被加工板體W之靜電夾盤2係使被加工板體W朝下側而安裝在遮罩5上。藉此，從下方之蒸鍍源230所噴射之蒸 鍍材料230a係以與遮罩5之花紋相對應之形狀，蒸鍍於被加工板體W之表面。

電性接觸機構4係用以使來自外部電源40之低電壓輸入至升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a的機構。

電性接觸機構4係以作為固定電極之導電性的軌條41、42、及作為可動電極之導電性的可撓性接觸件43、44所構成。

具體而言，軌條41、42係在與靜電夾盤2接近之狀態下，朝搬運方向(第1圖之紙面正反面方向、第3圖之上下方向)平行地配設，並固定在真空室200內。並且，軌條41係通過電纜41a而連接於外部電源40的一方端子，而軌條42係通過電纜42a而連接於外部電源40的另一方端子。

此外，如第3圖所示，導電板45係經介絕緣膜(圖式省略)而安裝於靜電夾盤2之基材20的左側面，而可撓性接觸件43係植設複數個於該導電板45。並且，導電板46係經介絕緣膜(圖式省略)而安裝於基材20的右側面，而可撓性接觸件44係植設複數個於該導電板46。

亦如第1圖所示，該等可撓性接觸件43、44之前端部係分別壓接於軌條41、42，且可撓性接觸件43、44係以與軌條41、42接觸之狀態，與靜電夾盤2一同朝搬運方向移動。

此外，植設有可撓性接觸件43的導電板45係通過電 纜45a而連接於升壓電路3之低電壓用輸入端子31a，而植設有可撓性接觸件44的導電板46係通過電纜46a而連接於升壓電路3之低電壓用輸入端子32a。

如以上所述，外部電源40係通過軌條41、42與可撓性接觸件43、44之接觸，連接在升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a，而升壓電路3之高電壓用輸出端子31b、32b係通過配線24、25，連接於吸附電極23。

藉此，形成外部電源40之低電壓係通過電性接觸機構4輸入至升壓電路3，而來自升壓電路3的高電壓係通過配線24、25而供應至吸附電極23。

來自外部電源40的低電壓係能夠設定為5伏特至100伏特之範圍的電壓，而來自升壓電路3的高電壓係能夠設定為300伏特至10000伏特之範圍的電壓。

在本實施例中，將+24伏特施加至升壓電路3之低電壓用輸入端子31a，且將低電壓用輸入端子32a予以接地。並且設定成：分別使自高電壓用輸出端子31b、32b輸出+2000伏特、-2000伏特，且將4000伏特之高電壓施加至吸附電極23。

接著，針對本實施例之靜電夾盤及供電系統所示的作用及效果加以說明。

在第1圖中，當關閉開關49時，來自外部電源40之低電壓+24伏特係通過電纜41a、42a、電性接觸機構4及電纜45a、46a而輸入至升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a。於是，使高電壓+2000伏特、-2000伏特由升 壓電路3的高電壓用輸出端子31b、32b輸出，且使4000伏特之高電壓通過配線24、25而施加至吸附電極23。

藉此，強力的靜電力即產生在被加工板體W與靜電吸附層表面21a，而被加工板體W係藉由強大靜電力而吸附在靜電吸附層表面21a。

然而，由於在自電纜41a、42a至升壓電路3為止之間，供應有來自外部電源40之低電壓+24伏特，故不會在電纜41a、42a本身產生放電。此外，即使電纜41a、42a與低電壓用輸入端子31a、32a的連接部分P3、P4露出時，亦不會產生放電。

然而，由於在升壓電路3之高電壓用輸出端子31b、32b與吸附電極23之間，供應有4000伏特之高電壓，故會有放電產生在升壓電路3與吸附電極23之間的配線24、25本身及/或高電壓用輸出端子31b、32b與配線24、25端部的連接部分P1、P2之疑慮。

然而，在本實施例之靜電夾盤2中，係將配線24、25予以自吸附電極23通過介電體22內及基材20內以非露出狀態拉出，且將該配線24、25之端部與高電壓用輸出端子31b、32b的電性連接部分P1、P2，收納在基材20內而呈非露出狀態。因此，即使高電壓供應至升壓電路3之高電壓用輸出端子31b、32b與吸附電極23之間，亦不會有放電產生在配線24、25本身及/或高電壓用輸出端子31b、32b與配線24、25端部的連接部分P1、P2之疑慮。

當以靜電夾盤2吸附被加工板體W，且藉 由搬運機構300而對該靜電夾盤2進行搬運時，在被加工板體W通過蒸鍍源230之正上方之時，蒸鍍材料230a被噴射，而執行對被加工板體W的蒸鍍處理。

如此，由於在搬運靜電夾盤2時，亦使電性接觸機構4的可撓性接觸件43、44持續與軌條41、42接觸，故使來自外部電源40的低電壓+24通過軌條41、42及可撓性接觸件43、44持續輸入至升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a。結果，使來自升壓電路3的高電壓+2000伏特、-2000伏特通過配線24、25而持續供應至吸附電極23。

如前所述，一般而言，因在以搬運機構300搬運靜電夾盤2時，係採用將來自外部電源40的電纜41a、42a連接於靜電夾盤2之構成，故必須將電纜41a加長成非常長。

然而，因在本實施例的供電系統1-1中係將軌條41、42固定在真空室200內，且將來自外部電源40之電纜41a、42a連接於該等軌條41、42之構成，故電纜長度係以至軌條41、42為止之長度即足夠，並能夠將電纜長度縮短成非常短。此外，因使+24伏特之低電壓供應至電纜41a、42a，故亦無須密封電纜41a、42a與軌條41、42的連接部分。

(第2實施例)

以下，針對本發明第2實施例加以說明。

第4圖係顯示本發明第2實施例之供電系統的剖面圖，而第5圖係顯示供電系統之概略俯視圖。

在本實施例之供電系統1-2中，電性接觸機構之構造係與前述第1實施例之供電系統1-1之電性接觸機構4 不同。

在第4圖中，符號6係電性接觸機構，且該電性接觸機構6係形成利用搬運機構300之滾輪的構造。

具體而言，以導電性之滾輪61、62形成前述第1實施例之搬運機構300之複數對的滾輪311、312(參照第1圖)，且將該等滾輪61、62設為電性接觸機構6的固定電極。並且，使滾輪61、62通過電纜61a、62a而分別連接於外部電源40的兩端子。

如第5圖所示，該等滾輪61、62係安裝於各滾軸6a-1(6a-2至6a-10)的兩端部，且複數根滾軸6a-1至6a-10係轉動自如地安裝於機架排301、302。

在本實施例中係構成為將外部電源40的兩端子連接於全部的滾軸6a-1至6a-10之滾輪61、62。惟，亦可例如僅對一定之區域的滾軸6a-1至6a-6之滾輪61、62，供應外部電源40之低電壓，或例如僅對每隔3根之滾軸6a-1、6a-4、6a-7、6a-10之滾輪61、62，供應低電壓。

另一方面，如第5圖所示，電性接觸機構6的可動電極係以安裝於遮罩5之電極板63、64所形成。並且，使該等電極板63、64接觸於滾輪61、62，並且通過電纜63a、64a連接於升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a。

根據這樣的構成，在靜電夾盤2之搬運時，安裝於遮罩5之電極板63、64係與靜電夾盤2一同移動。此時，因使電極板63、64接觸於滾軸6a-1至6a-10中 的任一根滾軸的滾輪61、62，故來自外部電源40之低電壓+24伏特係通過電性接觸機構6，而輸入至升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a。於是，以升壓電路3所升壓之高電壓+2000伏特、-2000伏特係通過配線24、25而供應至吸附電極23。

其他之構成、作用及效果，由於與前述第1實施例相同，故省略前述之記載。

(第3實施例)

以下，針對本發明之第3實施例加以說明。

第6圖係顯示本發明第3實施例之供電系統之概略俯視圖。

在本實施例之供電系統1-3中具備有電磁感應裝置，以取代前述實施例的電性接觸機構之點，與前述第1及第2實施例之供電系統不同。

在第6圖中，符號7係電磁感應裝置。

該電磁感應裝置7係以固定在真空室200內之固定線圈71、及安裝於靜電夾盤2之可動線圈72所構成。

固定線圈71之長度係設定為大致相等於靜電夾盤2的搬運範圍，且固定線圈71的兩端係通過電纜71a、71b而連接於外部電源40之兩端子。在本實施例中，外部電源40係將交流之低電壓輸入至固定線圈71。

另一方面，可動線圈72係在接近於固定線圈71之狀態下安裝於靜電夾盤2之基材20上，且可動線圈的兩端係連接於升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a。

藉此，在靜電夾盤2之搬運時，可動線圈72係在與固定線圈71非接觸之狀態下與靜電夾盤2一同移動。並且，當低電壓之交流由外部電源40輸入至固定線圈71時，藉由自固定線圈71對可動線圈72之電磁感應所感應的電壓係從可動線圈72輸出至升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a。結果，使以升壓電路3所升壓之高電壓為通過配線24、25(參照第1圖)而持續供應至吸附電極23(參照第1圖)。

其他之構成、作用及效果，由於與前述第1及第2實施例相同，故省略前述之記載。

(第4實施例)

最後，針對本發明之第4實施例加以說明。

第7圖係顯示本發明第4實施例之供電系統之剖面圖。

本實施例之供電系統1-4係在利用光而供電至靜電夾盤之點與前述第1至第3實施例之供電系統不同。

如第7圖所示，本實施例之供電系統1-4係具備有作為透明頂板之玻璃頂板81、及太陽電池裝置82。

玻璃頂板81係安裝於真空室200之上表面201之大致前面，且能夠將來自太陽或電燈等之外部光源之光L，導入至真空室200內。

太陽電池裝置82係藉由多數個太陽電池元件(省略圖示)將所受光之光轉換成預定電壓之電力並予以輸出之習知的裝置，並安裝於靜電夾盤2之基材20上。該太陽電池 裝置82之輸出端82a、82b係電性連接於升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a。另外，在本實施例中，將太陽電池裝置82之輸出電壓設定為+24伏特之低電壓。

根據這樣的構成，於靜電夾盤2在真空室200內藉由搬運機構300而進行搬運時，當來自外部光源之光L通過玻璃頂板81而導入至真空室200內時，光L係藉由安裝於靜電夾盤2之太陽電池裝置82，而轉換成低電壓之電力。於是，被轉換之低電壓係輸入至升壓電路3之低電壓用輸入端子31a、32a，且經升壓電路3所升壓之高電壓係通過高電壓用輸出端子31b、32b及配線24、25而供應至吸附電極23。

換言之，在靜電夾盤2的搬運中，係藉由來自外部光源之光L而持續驅動靜電夾盤2。

因此，藉由採用本實施例之供電系統1-4，能夠完全地去除由外部電源40往靜電夾盤2之電纜及配管等。此外，由於無需如適用於前述第1及第2實施例之電性接觸機構4、6之大型的機構，故能夠將供電系統整體之構造予以極為簡化。

其他之構成、作用及效果，由於與前述第1至第3實施例相同，故省略前述之記載。

另外，本發明並不受前述實施例所限定，在發明之要旨的範圍內能夠各種的變形及變更。

例如，在前述實施例中，如第1圖等所示，為由於供電系統1-1至1-4為用以將電源供電至在蒸鍍裝置之真 空室200內被搬運之靜電夾盤2之系統，而針對將靜電夾盤2朝向下側，並載設於搬運機構300之滾輪311、312上之例加以說明。惟在蒸鍍裝置以外之裝置中，會有將靜電夾盤2朝向上側，並載設於搬運機構300之滾輪311、312上之情形。在前述情形之供電系統當然亦包含在本發明之範圍者。

此外，在上述實施例中，雖針對將升壓電路3嵌入於基材20，且僅將低電壓用輸入端子31a、32a朝外部露出之例加以說明，惟使低電壓用輸入端子31a、32a與升壓電路3本體露出，且僅將高電壓用輸出端子31b、32b嵌入於基材20內者，亦包含於本發明之範圍。然而，在該情形下最好密封高電壓用輸出端子31b、32b與配線24、25之端部的電性連接部分P1、P2。

1-1‧‧‧供電系統

2‧‧‧靜電夾盤

3‧‧‧升壓電路

4‧‧‧電性接觸機構

5‧‧‧遮罩

7‧‧‧電磁誘導裝置

20‧‧‧基材

21‧‧‧靜電吸附層

22‧‧‧介電體

23‧‧‧吸附電極

24、25‧‧‧配線

31a、32a‧‧‧低電壓用輸入端子

31b、32b‧‧‧高電壓用輸出端子

40‧‧‧外部電源

41、42‧‧‧軌條

41a、42a、45a、46a‧‧‧電纜

43、44‧‧‧可撓性接觸件

45、46‧‧‧導電板

49‧‧‧開關

200‧‧‧真空室

201‧‧‧上表面

230‧‧‧蒸鍍源

230a‧‧‧蒸鍍材料

300‧‧‧搬運機構

301、302‧‧‧機架排

311、312‧‧‧滾輪

P1至P4‧‧‧電性連接部分

W‧‧‧被加工板體

Claims (9)

1. 一種靜電夾盤，係具備有靜電吸附層、基材、及升壓電路，該靜電吸附層係具有將表面設為被加工板體之吸附面的介電體及配置於該介電體內部的吸附電極，該基材係於其上表面配設有該靜電吸附層，而該升壓電路係具有用以輸入來自外部電源之低電壓的低電壓用輸入端子及用以將該低電壓升壓而獲得之高電壓供應至前述吸附電極的高電壓用輸出端子；其中前述升壓電路的本體與前述低電壓用輸入端子係以露出於前述基材的下表面之方式安裝，從前述吸附電極通過前述介電體內及前述基材內而以非露出狀態之方式拉出之配線的端部與前述高電壓用輸出端子的電性連接部分，係收納於前述基材內而呈非露出狀態。
2. 如申請專利範圍第1項所述之靜電夾盤，其中，前述升壓電路之低電壓用輸入端子係輸入5伏特至100伏特之範圍內的電壓，而高電壓用輸出端子係輸出300伏特至10000伏特之範圍內的電壓。
3. 一種供電系統，係具備：申請專利範圍第1項或第2項所述之靜電夾盤，係藉由真空室內之搬運機構進行搬運；以及電性接觸機構，係使固定於真空室內之固定電極連接於前述外部電源，並且使與靜電夾盤一同移動之可動電極連接於前述升壓電路之低電壓用輸入端子， 並藉由該等固定電極與可動電極的接觸，將來自前述外部電源的低電壓輸入至前述升壓電路之低電壓用輸入端子。
4. 如申請專利範圍第3項所述之供電系統，其中前述電性接觸機構的固定電極係由在接近於靜電夾盤之狀態下朝搬運方向平行地配設之導電性的軌條所形成；前述電性接觸機構的可動電極係由在接觸該軌條之狀態下安裝於靜電夾盤之導體性的可撓性接觸件所形成。
5. 如申請專利範圍第3項所述之供電系統，其中前述搬運機構係由朝搬運方向排列之複數根導電性之滾輪、及能夠轉動地支持該等滾輪之平行的1對機架排所構成；前述電性接觸機構之固定電極係由前述複數根導電性之滾輪所形成，而可動電極係由在與滾輪接觸之狀態下與靜電夾盤一同移動的電極板所形成。
6. 一種供電系統，係具備：申請專利範圍第1項或第2項所述之靜電夾盤，係藉由真空室內之搬運機構進行搬運；以及電磁感應裝置，使固定於真空室內之固定線圈與前述外部電源連接，並且使在與該固定線圈非接觸之狀態下與靜電夾盤一同移動之可動線圈連接於前述升壓電路之低電壓用輸入端子，並藉由從固定線圈對可動線圈的電磁感應，將來自外部電源的低電壓輸入至 前述升壓電路之低電壓用輸入端子。
7. 如申請專利範圍第6項所述之供電系統，其中前述電磁感應裝置之固定線圈係固定於前述真空室內，並且可動線圈係安裝在前述靜電夾盤。
8. 一種供電系統，係具備：申請專利範圍第1項或第2項所述之靜電夾盤，係藉由真空室內之搬運機構進行搬運；透明頂板，設置於真空室之至少上表面，且將來自外部光源之光導入至真空室內；以及太陽電池裝置，將通過前述透明頂板導入至真空室內之光轉換成低電壓之電力而輸入至前述靜電夾盤之升壓電路之低電壓用輸入端子。
9. 如申請專利範圍第8項所述之供電系統，其中前述太陽能電池裝置係安裝於前述靜電夾盤。