CN104838484B

CN104838484B - 供电系统

Info

Publication number: CN104838484B
Application number: CN201380059697.3A
Authority: CN
Inventors: 辰巳良昭; 菅原利文
Original assignee: Co Ltd's Intention Science And Technology
Current assignee: Co Ltd's Intention Science And Technology
Priority date: 2012-11-22
Filing date: 2013-09-24
Publication date: 2019-04-16
Anticipated expiration: 2033-09-24
Also published as: KR20150087216A; US20150295521A1; CN104838484A; JPWO2014080688A1; WO2014080688A1; TWI591755B; JP6425184B2; TW201430991A

Abstract

本发明提供一种静电夹盘及供电系统，即使在真空环境内也不会产生放电，而能够进行高电压驱动，并且能够谋求对静电夹盘的供电系统的构造的简化。供电系统具备静电夹盘(2)、及电性接触机构(4)，该静电夹盘(2)具有升压电路(3)。仅将升压电路(3)的端子(31a、32a)露出于外部。端子(31b、32b)连接在吸附电极(23)。电性接触机构(4)为以轨条(41、42)、及与这些轨条(41、42)接触的可挠性接触件(43、44)所构成。轨条(41、42)连接在外部电源(40)，而可挠性接触件(43、44)设置于静电夹盘(2)的导电板(45、46)。导电板(45、46)连接于升压电路(3)的端子(31a、32a)。

Description

供电系统

技术领域

本发明有关于一种静电夹盘及供电系统，其用以吸附玻璃基板等被加工板体。

背景技术

如图8所示，静电夹盘100一般为固定于处理装置的真空室200内的底部。并且，由真空室200外的电源210，将驱动用的电源电压及电气信号供电至静电夹盘100，使被加工板体W吸附在静电夹盘100(例如，参照专利文献1)。

然而，在如前述的静电夹盘100固定于真空室200的系统中，并无法在真空室200内使被加工板体W移动至预定部位、或使被加工板体W翻转，对于处理作业的灵活性较差。

因此，近年来设计出一种将静电夹盘100设置成能够在处理装置的真空室200内移动的系统。

如图9所示，该静电夹盘100为滑动自如地配置在载台150上。借此，静电夹盘100为在吸附被加工板体W的状态下搬运至真空室200内的预定部位，使被加工板体W配置在该部位。

一般在如前述的系统中，电源210配置在真空室200的外部，并通过电压电缆220、220而连接该电源210与由吸附电极130延伸出的供电销131、131。

然而，近年来从显示器的大型化及作业时间的缩短化的观点来看，产生了利用静电性夹盘100吸附搬运玻璃基板等大型且具重量的被加工板体W的必要性。

为了如前所述将大型且具重量的被加工板体W予以吸附，必须将供应给静电夹盘100的吸附电极130的电压设为高电压，而提升静电夹盘100的吸附力。尤其，如在蒸镀装置所使用的静电夹盘100，在必须将沉重的被加工板体W朝下侧并予以吸附的夹盘中，必须形成非常高的吸附力。

然而，真空室200内于真空环境下，在电压电缆220、220间会产生放电的疑虑很高。

因此，就电压电缆220、220而言，为采用高耐压电缆，并且考虑帕邢(paschen)的易放电区域，来防止真空室200内的电缆部分的放电。这是利用聚硅氧(silicone)或环氧橡胶系的树脂将导体部分容易露出的部位予以密封而达成。具体而言，利用密封材231、231密封电压电缆220、220的装置内电缆部分221、221与供电销131、131的连接部分，并且利用密封材232、232来密封装置内电缆部分221、221与装置外电缆部分222、222的连接部分。

(先前技术文献)

(专利文献)

专利文献1：日本特开2011－238934号公报。

发明内容

(发明所欲解决的课题)

然而，在前述的现有的技术中，会有如下述的问题点。

也就是，因为长年反复进行静电夹盘100的移动，使负载施加在装置内电缆部分221、221与供电销131、131的连接部分及装置内电缆部分221、221与装置外电缆部分222、222的连接部分，而会有使密封材231、232劣化的疑虑。结果，因这些接触部分的露出，而会有产生放电的疑虑。

此外，因必须将较长的电缆部分221、221配置于真空室200内，或设置电缆用的配管，或设置密封材231、232，所以会使对静电夹盘的供电系统的构造变得复杂。

本发明是为了解决前述的课题所开发，其目的在于提供一种静电夹盘及供电系统，即使在真空环境内也不会产生放电，而能够进行高电压驱动，并且能够谋求对静电夹盘的供电系统的构造的简单化。

(解决课题的手段)

为了解决前述课题，本发明第一方式的发明为一种静电夹盘，其具备有静电吸附层、基材、及升压电路，该静电吸附层具有将表面设为被加工板体的吸附面的介电体及配置于该介电体内部的吸附电极，该基材的上表面配设有该静电吸附层，而该升压电路具有用以输入来自外部电源的低电压的低电压用输入端子及用以将使该低电压升压而获得的高电压供应至吸附电极的高电压用输出端子；其中，使升压电路的本体与低电压用输入端子露出于基材的下表面而安装，且将从吸附电极通过介电体内及基材内而以非露出状态拉出的配线的端部与高电压用输出端子的电性连接部分，收纳于基材内而呈现非露出状态。

根据这样的构成，当将静电夹盘配置于真空室内，且将低电压由真空室外的外部电源送至静电夹盘侧时，会使该低电压通过低电压用输入端子而输入至升压电路。于是，该低电压会在升压电路升压成高电压，且高电压从高电压用输出端子被输出至吸附电极，而使静电力产生在被加工板体与静电吸附层表面。借此，以静电力而将被加工板体吸附在静电吸附层表面。在此状态下，能够将被加工板体在真空室内与静电夹盘一同进行搬运。

另外，来自外部电源的低电压为由外部电源通过导入至真空室内的电缆而输入至升压电路的低电压用输入端子。因此，由于在从电缆至升压电路为止之间供应有低电压，所以不会在电缆本身产生放电。此外，即使电缆与低电压用输入端子的连接部分露出时，也不会产生放电。

但是，由于在升压电路的高电压用输出端子与吸附电极之间供应有高电压，所以会有放电产生在升压电路与吸附电极之间的配线本身或高电压用输出端子与配线端部的连接部分的疑虑。

然而，由于在本发明的静电夹盘中，配线是从吸附电极通过介电体内及基材内，且使该配线的端部与高电压用输出端子的电性连接部分收纳在基材内而呈现非露出状态，所以即使高电压供应至升压电路的高电压用输出端子与吸附电极之间，也不会有放电产生在配线本身或高电压用输出端子与配线端部的连接部分的疑虑。

本发明第二方式的发明的构成，是在第一方式所述的静电夹盘中，升压电路的低电压用输入端子为输入5伏特至100伏特的范围内的电压，而高电压用输出端子为输出300伏特至10000伏特的范围内的电压。

本发明第三方式的发明的供电系统的构成具备：第一方式或第二方式所述的静电夹盘，其通过真空室内的搬运机构进行搬运；以及电性接触机构，是使固定于真空室内的固定电极连接于外部电源，并且使与静电夹盘一同移动的可动电极连接于升压电路的低电压用输入端子，并通过这些固定电极与可动电极的接触，将来自外部电源的低电压输入至升压电路的低电压用输入端子。

根据这样的构成，在通过搬运机构于真空室内对静电夹盘进行搬运时，来自真空室外的外部电源的低电压会被供应至固定在真空室内的固定电极。此时，由于与静电夹盘一同移动的可动电极是与固定电极接触，所以来自外部电源的低电压会通过固定电极及可动电极而输入至升压电路的低电压用输入端子。并且，以升压电路所升压的高电压会通过高电压用输出端子及配线而供应至吸附电极。

换言之，在静电夹盘的搬运中，来自外部电源的低电压是通过电性接触机构而持续供应至升压电路的低电压用输入端子。

一般而言，在供电至进行所搬运的静电夹盘时，必须将由外部电源至静电夹盘为止的电缆加长。

然而，由于在本发明的供电系统中为将来自外部电源的电缆连接于固定在真空室内的固定电极的构成，所以电缆长度是以至固定电极为止的长度即足够，且可缩短成非常短。此外，由于将低电压供应至电缆，所以也无需密封电缆与固定电极的连接部分。

本发明第四方式的发明的构成，是在第三方式所述的供电系统中，电性接触机构的固定电极为由在接近于静电夹盘的状态下朝搬运方向平行地配设的导电性的轨条所形成；可动电极为由以在与该轨条接触的状态安装于静电夹盘的导体性的可挠性接触件所形成。

根据这样的构成，由于安装于静电夹盘的导体性的可挠性接触件与轨条接触，所以来自外部电源的低电压是通过这些轨条及可挠性接触件，而输入至升压电路的低电压用输入端子。并且，以升压电路所升压的高电压是通过高电压用输出端子及配线而供应至吸附电极。因此，来自外部电源的电缆长度为至轨条为止的长度即足够，并且也无需密封。

本发明第五方式的发明的构成，是在第三方式所述的供电系统中，搬运机构是由朝搬运方向排列的多个导电性的滚轮、及以能够转动的方式支持这些滚轮的平行的一对机架排(lane)所构成；电性接触机构的固定电极为由多个导电性的滚轮所形成，而可动电极为由在和滚轮接触的状态下与静电夹盘一同移动的电极板所形成。

根据这样的构成，由于与静电夹盘一同移动的电极板是与多个导电性的滚轮接触，所以来自外部电源的低电压会通过这些滚轮及电极板，而输入至升压电路的低电压用输入端子。并且，以升压电路所升压的高电压是通过高电压用输出端子及配线而供应至吸附电极。因此，来自外部电源的电缆长度为至滚轮为止的长度即足够，此外，也无需密封。

本发明第六方式的发明的供电系统的构成具备：第一方式或第二方式所述的静电夹盘，其通过真空室内的搬运机构进行搬运；以及电磁感应装置，使固定于真空室内的固定线圈与外部电源连接，并且使在和该固定线圈成非接触状态下与静电夹盘一同移动的可动线圈连接于升压电路的低电压用输入端子，并通过从固定线圈对可动线圈的电磁感应，将来自外部电源的低电压输入至升压电路的低电压用输入端子。

根据这样的构成，在通过搬运机构于真空室内对静电夹盘进行搬运时，来自真空室外的外部电源的低电压会被供应至固定在真空室内的电磁感应装置的固定线圈。借此，通过从固定线圈对可动线圈的电磁感应，使低电压产生于可动线圈，并输入至升压电路的低电压用输入端子。并且，使以升压电路所升压的高电压通过高电压用输出端子及配线而供应至吸附电极。

换言之，在静电夹盘的搬运中，是使来自外部电源的低电压通过无电性接触的电磁感应装置，而持续供应至升压电路的低电压用输入端子。

本发明第七方式的发明的构成，是在根据第六方式所述的供电系统中，将电磁感应装置的固定线圈固定于真空室内，并且将电磁感应装置的可动线圈安装在静电夹盘。

本发明第八方式的发明的供电系统的构成具备：第一方式或第二方式所述的静电夹盘，其通过真空室内的搬运机构进行搬运；透明顶板，设置于真空室的至少上表面，将来自外部光源的光导入至真空室内；以及太阳电池装置，将通过透明顶板导入至真空室内的光转换成低电压的电力而输入至静电夹盘的升压电路的低电压用输入端子。

根据这样的构成，在通过搬运机构于真空室内对静电夹盘进行搬运时，使来自外部光源的光通过透明顶板而导入至真空室内，且这些光为通过太阳电池装置来转换成低电压的电力。并且，使所转换的低电压输入至升压电路的低电压用输入端子，且使以升压电路所升压的高电压通过高电压用输出端子及配线而供应至吸附电极。

换言之，在静电夹盘的搬运中，通过来自外部光源的光，使静电夹盘持续驱动。

本发明第九方式的发明的构成，是在第八方式所述的供电系统中，将太阳电池装置安装于静电夹盘。

(发明的效果)

如以上详细地说明，根据本发明第一方式及本发明第二方式的发明的静电夹盘，由于采用在真空室内设为仅使自外部电源至升压电路为止之间的低电压供给部分露出的状态，且升压电路与吸附电极之间的配线本身、及高电压用输出端子与配线端部的连接部分等的高电压供给部分为呈现非露出状态的构成，所以能够抑制高电压供给部分的电性损坏模式(电弧)，且可避免因驱动所造成的绝缘部的损坏。换言之，根据本发明，会有即使在真空环境空间内也不使放电产生，并能够进行高电压驱动的优异效果。

此外，根据本发明第三方式至本发明第五方式的发明的供电系统，由于为将来自外部电源的电缆连接于固定在真空室内的固定电极的构成，所以电缆长度以至固定电极为止的长度即足够，且可缩短成非常短。此外，由于低电压被供应至电缆，所以也无需密封电缆与固定电极的连接部分。因此，能够减少对真空环境不利的电缆、电缆用的配管、及密封机构等，结果，会有能够谋求对静电夹盘的供电系统的构造的简化的优异效果。

此外，根据本发明第六方式及本发明第七方式的发明的供电系统，由于在静电夹盘的搬运中，是使来自外部电源的低电压通过无电性接触的电磁感应装置，而持续供应至升压电路的低电压用输入端子，所以会有能够将在真空环境下防止放电的效果更提升的优异效果。

特别是，根据本发明第八方式及本发明第九方式的发明的供电系统，由于在静电夹盘的搬运中，是通过来自外部光源的光，使静电夹盘持续驱动，所以能够完全去除从外部电源往静电夹盘的电缆及配管等，结果，会有能够谋求供电系统的构造的更简化的优异效果。

附图说明

图1为显示本发明第一实施例的静电夹盘及供电系统的概略剖面图。

图2为显示静电夹盘的剖面图。

图3为显示供电系统的概略俯视图。

图4为显示本发明第二实施例的供电系统的剖面图。

图5为显示第二实施例的供电系统的概略俯视图。

图6为显示本发明第三实施例的供电系统的概略俯视图。

图7为显示本发明第四实施例的供电系统的剖面图。

图8为显示现有技术的一例的剖面图。

图9为显示现有技术的其它例的剖面图。

主要组件符号说明

1－1至1－4 供电系统

2 静电夹盘

3 升压电路

4、6 电性接触机构

5 屏蔽

6a－1至6a－10 滚轴

7 电磁诱导装置

20 基材

21 静电吸附层

21a 表面

22 介电体

23 吸附电极

24、25 配线

31a、32a 低电压用输入端子

31b、32b 高电压用输出端子

40 外部电源

41、42 轨条

41a、42a、45a、46a、61a至64a、71a、71b 电缆

43、44 可挠性接触件

45、46 导电板

49 开关

61、62 滚轮

63、64 电极板

71 固定线圈

72 可动线圈

81 玻璃顶板

82 太阳电池装置

82a、82b 输出端

200 真空室

201 上表面

230 蒸镀源

230a 蒸镀材料

L 光

P1至P4 电性连接部分

W 被加工板体。

具体实施方式

以下，参照图面针对本发明的最佳实施例加以说明。

(第一实施例)

如图1所示，在本实施例中所例示的供电系统1－1为用以将外部电源供电至蒸镀装置的真空室200内的静电夹盘2的系统，并具备有静电夹盘2、以及电性接触机构4，该静电夹盘2为通过搬运机构300进行搬运。

图2为显示静电夹盘2的剖面图。

如图2所示，静电夹盘2具有基材20、静电吸附层21、以及升压电路3。

基材20是以铝、SUS(Steel Use Stainless，不锈钢)、铁、铜、钛、陶瓷(包含ALN、SiC、AL₂O₃、SiN、氧化锆(zirconia)、BN、TiC、TiN)等形成，而静电吸附层21为黏贴在该基材20上。

静电吸附层21是由介电体22、以及吸附电极23所形成，并将其表面21a作为玻璃基板等被加工板体W的吸附面。

介电体22是由聚酰亚胺薄膜(polyimide film)或陶瓷所形成。

吸附电极23是以碳墨(carbon ink)、Cu、SUS、铁、镍、银、白金等为主成分或者混合的导电性物质(箔体或膏体)等形成，且通过配线24、25与升压电路3电性连接。

升压电路3为将自低电压用输入端子31a、32a输入的低电压升压成高电压而从高电压用输出端子31b、32b输出的装置，例如，DC－DC转换器、AC－DC转换器或AC－AC转换器。

前述的升压电路3是以嵌入于基材20的状态安装。

具体而言，低电压用输入端子31a、32a为露出于外部，而高电压用输出端子31b、32b为收纳在基材20内。并且，使高电压用输出端子31b、32b连接在自吸附电极23通过介电体22及基材20内而拉出的配线24、25的端部，且这些构件的电性连接部分P1、P2是呈现非露出状态。

如图1所示，如同上述具有升压电路3的静电夹盘2为载设在真空室200内的搬运机构300上。

图3为显示供电系统1－1的概略俯视图。

如图1及图3所示，搬运机构300具备有一对的机架排301、302、多对的滚轮311、312、及未图标的驱动机构，该多对的滚轮311、312是通过这些机架排301、302而转动自如地支持，而该驱动机构用以使滚轮311、312驱动转动。

在蒸镀装置中，必须将蒸镀材料230a从真空室200的底板上的蒸镀源230朝上方的被加工板体W喷射，并使被加工板体W蒸镀。因此，如图1所示，静电夹盘2为以朝下侧的状态，载设于搬运机构300的滚轮311、312上。

具体而言，屏蔽5为载设在滚轮311、312上，而吸附被加工板体W的静电夹盘2为使被加工板体W朝下侧而安装在屏蔽5上。借此，从下方的蒸镀源230所喷射的蒸镀材料230a为以与屏蔽5的花纹相对应的形状，蒸镀于被加工板体W的表面。

电性接触机构4为用以使来自外部电源40的低电压输入至升压电路3的低电压用输入端子31a、32a的机构。

电性接触机构4为以作为固定电极的导电性的轨条41、42、及作为可动电极的导电性的可挠性接触件43、44所构成。

具体而言，轨条41、42为在接近于静电夹盘2的状态下，朝搬运方向(图1的纸面正反面方向、图3的上下方向)平行地配设，并固定在真空室200内。并且，轨条41为通过电缆41a而连接于外部电源40的一方端子，而轨条42为通过电缆42a而连接于外部电源40的另一方端子。

此外，如图3所示，导电板45为经介绝缘膜(图面省略)而安装于静电夹盘2的基材20的左侧面，而可挠性接触件43为嵌埋多个于该导电板45。并且，导电板46为经介绝缘膜(图面省略)而安装于基材20的右侧面，而可挠性接触件44为嵌埋多个于该导电板46。

亦如图1所示，这些可挠性接触件43、44的前端部为分别压接于轨条41、42，且可挠性接触件43、44为以与轨条41、42接触的状态与静电夹盘2一同朝搬运方向移动。

此外，嵌埋有可挠性接触件43的导电板45为通过电缆45a而连接于升压电路3的低电压用输入端子31a，而嵌埋有可挠性接触件44的导电板46为通过电缆46a而连接于升压电路3的低电压用输入端子32a。

如以上所述，外部电源40是通过轨条41、42与可挠性接触件43、44的接触，连接在升压电路3的低电压用输入端子31a、32a，而升压电路3的高电压用输出端子31b、32b是通过配线24、25，连接于吸附电极23。

借此形成为：外部电源40的低电压是通过电性接触机构4输入至升压电路3，而来自升压电路3的高电压是通过配线24、25而供应至吸附电极23。

来自外部电源40的低电压是能够设定为5伏特至100伏特的范围的电压，而来自升压电路3的高电压是能够设定为300伏特至10000伏特的范围的电压。

在本实施例中，将+24伏特施加至升压电路3的低电压用输入端子31a，且将低电压用输入端子32a予以接地。并且设定成：分别自高电压用输出端子31b、32b输出+2000伏特、－2000伏特，且将4000伏特的高电压施加至吸附电极23。

接着，针对本实施例的静电夹盘及供电系统所示的作用及效果加以说明。

在图1中，当关闭开关49时，来自外部电源40的低电压+24伏特是通过电缆41a、42a、电性接触机构4及电缆45a、46a而输入至升压电路3的低电压用输入端子31a、32a。于是，使高电压+2000伏特、－2000伏特由升压电路3的高电压用输出端子31b、32b输出，且使4000伏特的高电压通过配线24、25而施加至吸附电极23。

借此，强大的静电力即产生在被加工板体W与静电吸附层表面21a，而被加工板体W会因为强大的静电力而吸附在静电吸附层表面21a。

另外，由于在自电缆41a、42a至升压电路3为止之间供应有来自外部电源40的低电压+24伏特，所以不会在电缆41a、42a本身产生放电。此外，即使电缆41a、42a与低电压用输入端子31a、32a的连接部分P3、P4露出时，也不会产生放电。

但是，由于在升压电路3的高电压用输出端子31b、32b与吸附电极23之间供应有4000伏特的高电压，所以会有放电产生在升压电路3与吸附电极23之间的配线24、25本身或高电压用输出端子31b、32b与配线24、25端部的连接部分P1、P2的疑虑。

然而，在本实施例的静电夹盘2中，是使配线24、25自吸附电极23通过介电体22内及基材20内而以非露出状态拉出，且将该配线24、25的端部与高电压用输出端子31b、32b的电性连接部分P1、P2收纳在基材20内而呈现非露出状态。因此，即使高电压供应至升压电路3的高电压用输出端子31b、32b与吸附电极23之间，也不会有放电产生在配线24、25本身或高电压用输出端子31b、32b与配线24、25端部的连接部分P1、P2的疑虑。

当以静电夹盘2吸附被加工板体W，且通过搬运机构300而对该静电夹盘2进行搬运时，在被加工板体W通过蒸镀源230的正上方时，蒸镀材料230a被喷射，而执行对被加工板体W的蒸镀处理。

如此，由于在搬运静电夹盘2时，亦使电性接触机构4的可挠性接触件43、44持续与轨条41、42接触，所以会使来自外部电源40的低电压+24通过轨条41、42及可挠性接触件43、44而持续输入至升压电路3的低电压用输入端子31a、32a。结果，会使来自升压电路3的高电压+2000伏特、－2000伏特通过配线24、25而持续供应至吸附电极23。

如前所述，一般而言，由于在以搬运机构300搬运静电夹盘2时，是采用将来自外部电源40的电缆41a、42a连接于静电夹盘2的构成，所以必须将电缆41a加长成非常长。

然而，由于在本实施例的供电系统1－1中是将轨条41、42固定在真空室200内，且将来自外部电源40的电缆41a、42a连接于这些轨条41、42的构成，所以电缆长度是以至轨条41、42为止的长度即足够，并能够将电缆长度缩短成非常短。此外，由于使+24伏特的低电压供应至电缆41a、42a，所以也无需密封电缆41a、42a与轨条41、42的连接部分。

(第二实施例)

以下，针对本发明第二实施例加以说明。

图4为显示本发明第二实施例的供电系统的剖面图，而图5为显示供电系统的概略俯视图。

在本实施例的供电系统1－2中，电性接触机构的构造与前述第一实施例的供电系统1－1的电性接触机构4不同。

在图4中，符号6为电性接触机构，且该电性接触机构6形成为利用搬运机构300的滚轮的构造。

具体而言，以导电性的滚轮61、62形成前述第一实施例的搬运机构300中多对的滚轮311、312(参照图1)，且将这些滚轮61、62设为电性接触机构6的固定电极。并且，使滚轮61、62通过电缆61a、62a而分别连接于外部电源40的两端子。

如图5所示，这些滚轮61、62安装于各滚轴6a－1(6a－2至6a－10)的两端部，且多根滚轴6a－1至6a－10为转动自如地安装于机架排301、302。

在本实施例中，是构成为将外部电源40的两端子连接于全部的滚轴6a－1至6a－10的滚轮61、62。然而，也可例如仅对一定区域的滚轴6a－1至6a－6的滚轮61、62供应外部电源40的低电压，或例如仅对每隔三根的滚轴6a－1、6a－4、6a－7、6a－10的滚轮61、62供应低电压。

另一方面，如图5所示，电性接触机构6的可动电极是以安装于屏蔽5的电极板63、64所形成。并且，使这些电极板63、64接触于滚轮61、62，并且通过电缆63a、64a而连接于升压电路3的低电压用输入端子31a、32a。

根据这样的构成，在静电夹盘2的搬运时，安装于屏蔽5的电极板63、64是与静电夹盘2一同移动。此时，由于使电极板63、64接触于滚轴6a－1至6a－10中的任一根滚轴的滚轮61、62，所以来自外部电源40的低电压+24伏特是通过电性接触机构6而输入至升压电路3的低电压用输入端子31a、32a。于是，以升压电路3所升压的高电压+2000伏特、－2000伏特会通过配线24、25而供应至吸附电极23。

其它的构成、作用及效果由于与前述第一实施例相同，所以省略其记载。

(第三实施例)

以下，针对本发明的第三实施例加以说明。

图6为显示本发明第三实施例的供电系统的概略俯视图。

在本实施例的供电系统1－3中具备有电磁感应装置以取代前述实施例的电性接触机构，这一点与前述第一及第二实施例的供电系统不同。

在图6中，符号7为电磁感应装置。

该电磁感应装置7是以固定在真空室200内的固定线圈71、及安装于静电夹盘2的可动线圈72所构成。

固定线圈71的长度设定为大致相等于静电夹盘2的搬运范围，且其两端是通过电缆71a、71b而连接于外部电源40的两端子。在本实施例中，外部电源40是将交流的低电压输入至固定线圈71。

另一方面，可动线圈72为在接近于固定线圈71的状态下安装于静电夹盘2的基材20上，且其两端为连接于升压电路3的低电压用输入端子31a、32a。

借此，在静电夹盘2的搬运时，可动线圈72是在和固定线圈71成非接触状态下与静电夹盘2一同移动。并且，当低电压的交流电由外部电源40输入至固定线圈71时，通过自固定线圈71对可动线圈72的电磁感应所感应的电压是从可动线圈72输出至升压电路3的低电压用输入端子31a、32a。结果，会使以升压电路3所升压的高电压通过配线24、25(参照图1)而持续供应至吸附电极23(参照图1)。

其它的构成、作用及效果由于与前述第一及第二实施例相同，所以省略其记载。

(第四实施例)

最后，针对本发明的第四实施例加以说明。

图7为显示本发明第四实施例的供电系统的剖面图。

本实施例的供电系统1－4为利用光而供电至静电夹盘，这一点与前述第一至第三实施例的供电系统不同。

如图7所示，本实施例的供电系统1－4具备有作为透明顶板的玻璃顶板81、及太阳电池装置82。

玻璃顶板81安装于真空室200的上表面201的大致前面，且能够将来自太阳或电灯等外部光源的光L导入至真空室200内。

太阳电池装置82是通过多个太阳电池组件(省略图标)将所接受的光L转换成预定电压的电力并予以输出的现有装置，并安装于静电夹盘2的基材20上。该太阳电池装置82的输出端82a、82b为电性连接于升压电路3的低电压用输入端子31a、32a。另外，在本实施例中，将太阳电池装置82的输出电压设定为+24伏特的低电压。

根据这样的构成，于静电夹盘2在真空室200内通过搬运机构300而进行搬运时，当来自外部光源的光L通过玻璃顶板81而导入至真空室200内时，光L是通过安装于静电夹盘2的太阳电池装置82，而转换成低电压的电力。于是，被转换的低电压为输入至升压电路3的低电压用输入端子31a、32a，且以升压电路3所升压的高电压是通过高电压用输出端子31b、32b及配线24、25而供应至吸附电极23。

换言之，在静电夹盘2的搬运中，是通过来自外部光源的光L而持续驱动静电夹盘2。

因此，通过采用本实施例的供电系统1－4，能够完全地去除由外部电源40往静电夹盘2的电缆及配管等。此外，由于无需如应用于前述第一及第二实施例的电性接触机构4、6般大型的机构，所以能够使供电系统整体的构造极为简化。

其它的构成、作用及效果由于与前述第一至第三实施例相同，所以省略其记载。

另外，本发明并不受前述实施例所限定，在发明要旨的范围内能够做各种的变形及变更。

例如，在前述实施例中，如图1等所示，由于供电系统1－1至1－4为用以将电源供电至在蒸镀装置的真空室200内被搬运的静电夹盘2的系统，所以，针对将静电夹盘2朝向下侧，并载设于搬运机构300的滚轮311、312上的例子加以说明。但是，在蒸镀装置以外的装置中，会有将静电夹盘2朝向上侧，并载设于搬运机构300的滚轮311、312上的情形。这种情形的供电系统当然也包含在本发明的范围。

此外，在上述实施例中，虽然针对将升压电路3嵌入于基材20，且仅将低电压用输入端子31a、32a露出于外部的例子加以说明，但是，使低电压用输入端子31a、32a与升压电路3本体露出，且仅将高电压用输出端子31b、32b嵌入于基材20内也包含于本发明的范围。然而，在这种情形下，优选将高电压用输出端子31b、32b与配线24、25的端部的电性连接部分P1、P2予以密封。

Claims

1.一种供电系统，其特征为，该供电系统具备：

静电夹盘，通过真空室内的搬运机构进行搬运；以及

电性接触机构，是使固定于真空室内的固定电极连接于外部电源，且使与静电夹盘一同移动的可动电极连接于升压电路的低电压用输入端子，并通过这些固定电极与可动电极的接触，将来自所述外部电源的低电压输入至所述升压电路的低电压用输入端子；其中，

所述静电夹盘具备有静电吸附层、基材、及所述升压电路，该静电吸附层具有将表面设为被加工板体的吸附面的介电体及配置于该介电体内部的吸附电极，该基材的上表面配设有该静电吸附层，而该升压电路具有用以输入来自所述外部电源的低电压的低电压用输入端子及用以将使该低电压升压而获得的高电压供应至所述吸附电极的高电压用输出端子；且

使所述升压电路的本体与所述低电压用输入端子露出于所述基材的下表面而安装，

将从所述吸附电极通过所述介电体内及所述基材内而以非露出状态拉出的配线的端部与所述高电压用输出端子的电性连接部分，收纳于所述基材内而呈现非露出状态，

所述电性接触机构的固定电极为由在接近于静电夹盘的状态下朝搬运方向平行地配设的导电性的轨条所形成；所述电性接触机构的可动电极为由在与该轨条接触的状态下安装于静电夹盘的导体性的可挠性接触件所形成。

2.一种供电系统，其特征为，该供电系统具备：

静电夹盘，通过真空室内的搬运机构进行搬运；以及

所述搬运机构为由朝搬运方向排列的多个导电性的滚轮、及以能够转动的方式支持这些滚轮的平行的一对机架排所构成；

所述电性接触机构的固定电极为由所述多个导电性的滚轮所形成，而可动电极为由在和滚轮接触的状态下与静电夹盘一同移动的电极板所形成。