CN201264621Y - 装载基板的运送车 - Google Patents

Abstract

一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离子清洁室，用以清洁这些基板的表面。等离子清洁室具有多个平行排列的电极板。装载基板的运送车包括一框架模块以及多个绝缘夹具。框架模块具有彼此相对的一上框架与一下框架。绝缘夹具配置于框架模块上，并分别固定于上框架与下框架，用以夹持这些基板，并分别电性绝缘于这些基板与这些电极板之间。

Description

装载基板的运送车

技术领域

本实用新型是有关于一种运送车，且特别是有关于一种装载基板的运送车。

背景技术

等离子是包括离子或电子与自由基(radical)的气体的电离态。通常电路板的等离子处理是在等离子清洁室的电极板之间形成强大的电场之后，被供应到这些电极板之间的气体就会被离子化而产生等离子，借由等离子气体来清洁残留于电路板表面的有机物、抗蚀剂或显影液等，以改善电路板的表面品质。

图1为传统的一种对装载电路板的运送车上的电路板进行等离子处理的示意图。请参考图1，传统的装载电路板的运送车100适于将多个电路板20(图1所示为五个)运送至一等离子清洁室10，其中等离子清洁室10具有多个平行排列的电极板12(图1所示为五个)，用以清洁这些电路板20的表面。

传统的装载电路板的运送车100包括一底板110、一框架120以及二驱动轮130。框架120位于底板110上，用以固定电路板20。驱动轮130用以顺利推动装载电路板的运送车100至等离子清洁室10内。框架120借由多个金属夹具122(图1中仅示意地所示为十个)固定这些电路板20的上、下两侧。相邻电路板20之间的间距可供平行排列的电极板12插入其中，并由电极板12的正、负极之间产生的等离子气体对电路板20的表面进行清洁。

由于传统的底板110与框架120及其金属夹具122为金属材料，因此当进行等离子清洁处理时，若有两个或两个以上的电路板20碰触到这些电极板12其中之二时，电流会从一电极板12的负极经由框架120流向一电路板20，而后再经由底板110透过另一电路板20流向另一电极板12的正极，使这些电路板20与框架120形成一导电通路。当电流通过这些电路板20时，因为电流会加热这些电路板20，而使得这些电路板20产生爆板的现象。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种装载基板的运送车，其借由绝缘夹具使基板与框架模块电性绝缘，以避免等离子处理时形成高危险性的导电通路。

本实用新型提供一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离子清洁室，用以清洁这些基板的表面。等离子清洁室具有多个平行排列的电极板。装载基板的运送车包括一框架模块以及多个绝缘夹具。框架模块具有彼此相对的一上框架与一下框架。绝缘夹具配置于框架模块上，并分别固定于上框架与下框架，用以夹持这些基板，并分别电性绝缘于这些基板与这些电极板之间。

在本实用新型的一实施例中，上述的每一绝缘夹具包括一固定部以及一连接于固定部的夹持部。这些固定部分别固定于上框架与下框架。这些挟持部分别夹持这些基板的相对两侧缘。

在本实用新型的一实施例中，上述的框架模块包括一底板以及多个侧框架。底板、上框架与下框架相互平行。这些侧框架垂直连接底板、上框架与下框架。

在本实用新型的一实施例中，上述的这些侧框架、上框架以及下框架形成一容置空间，用以并排放置这些基板。

在本实用新型的一实施例中，上述的装载基板的运送车，还包括至少一驱动轮。驱动轮设置于底板上，用以顺利推动装载基板的运送车。

在本实用新型的一实施例中，上述的框架模块的材质为金属。

在本实用新型的一实施例中，上述的这些绝缘夹具的材质包括陶瓷。

基于上述，由于本实用新型的绝缘夹具能使这些基板与框架模块间呈现电性绝缘状态，因此当两个或两个以上的基板碰触到电极板时，电流不会通过这些基板，可以避免这些基板因电流加热而产生爆板的现象。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1为传统的一种对装载电路板的运送车上的电路板进行等离子处理的示意图。

图2A为本实用新型的一实施例的一种装载基板的运送车的示意图。

图2B为对图2A的装载基板的运送车上的基板进行等离子处理的示意图。

主要元件符号说明

10：等离子清洁室

12：电极板

20：电路板

100：装载电路板的运送车

110：底板

120：框架

122：金属夹具

130：驱动轮

200：装载基板的运送车

210：框架模块

212：底板

214：上框架

216：下框架

218：侧框架

220：绝缘夹具

222：固定部

224：夹持部

230：驱动轮

300：基板

400：等离子清洁室

410：电极板

S：容置空间

具体实施方式

图2A为本实用新型的一实施例的一种装载基板的运送车的示意图，图2B为对图2A的装载基板的运送车上的基板进行等离子处理的示意图。在此必须说明的是，为了方便说明起见，图2A省略所示为部分基板，图2B省略所示为部分框架模块。请同时参考图2A与图2B，在本实施例中，装载基板的运送车200适于将多个基板300(图2B中仅示意地所示为五个)运送至一等离子清洁室400，用以清洁这些基板300的表面，其中等离子清洁室400具有多个平行排列的电极板410(图2B中仅示意地所示为五个)，这些基板300例如是电路板或待清洁的物体。

装载基板的运送车200包括一框架模块210以及多个绝缘夹具220(图2B中仅示意地所示为十个)。框架模块210具有一底板212、彼此相对的一上框架214与一下框架216以及多个侧框架218。底板212、上框架214与下框架216相互平行排列。这些侧框架218垂直连接底板212、上框架214与下框架216，其中这些侧框架218、上框架214与下框架216形成一容置空间S，用以并排放置这些基板300(图2A仅示意地所示为二个)。在本实施例中，框架模块210的材质为金属。

具体而言，在本实施例中，这些侧框架218、上框架214、下框架216与底板212为一体成型的结构，也就是说，这些侧框架218、上框架214、下框架216与底板212均是由金属材质所构成。在其他未所示为的实施例中，这些侧框架218、上框架214、下框架216与底板212也可以是可拆卸式的构件。

另外，绝缘夹具220配置于框架模块210上，且绝缘夹具220分别固定于上框架214与下框架216。详细地说，每一绝缘夹具220包括一固定部222以及一夹持部224，其中夹持部224连接于固定部222。这些固定部222分别固定于上框架214与下框架216，而这些夹持部224分别夹持这些基板300的相对两侧缘，用以将这些基板300(图2A仅示意地所示为二个)并排固定于容置空间S内。在本实施例中，这些绝缘夹具220的材质例如是陶瓷或耐高热、抗等离子蚀刻的材质。利用陶瓷所制成的绝缘夹具220除了电性绝缘的功效之外，更具有耐热、抗腐蚀的特性，可承受高温的等离子气体而避免劣化、老化现象发生，并可提高耐腐蚀性以及使用寿命。

具体来说，在本实施例中，这些固定部222分别对称地固定于上框架214与下框架216，且这些夹持部224分别将这些基板300固定悬挂于这些侧框架218、上框架214与下框架216所组成的容置空间S内。由于这些这些固定部222分别对称地固定于上框架214与下框架216，因此这些基板300能稳固地并排于容置空间S内。

此外，在本实施例中，装载基板的运送车200，还包括至少一驱动轮230(图2A仅示意地所示为二个)。驱动轮230设置于底板212上，用以顺利推动装载基板的运送车200。

当装载基板的运送车200借由驱动轮230将这些基板300运送至等离子清洁室400时，等离子清洁室400内的这些电极板410与这些基板300呈交错排列，且这些电极板410彼此间的正负极也呈交错排列。接着，提供一处理气体进入等离子清洁室400，并同时施加高电压至这些电极板410以产生电流，此时，任两相邻的电极板410之间即会形成等离子，并对这些基板300喷射离子、自由基等，用以清洁这些基板300的表面。

由于框架模块210与这些绝缘夹具220的材料不同，且这些基板300分别是借由这些绝缘夹具220来夹持，因此当两个或两个以上的基板300碰触到电极板410时，这些绝缘夹具220会使这些基板300与这些电极板410会呈现电性绝缘的状态，换句话说，这些基板300不会经由绝缘夹具410与这些电极板410电性导通，也就是说，这些基板300与这些电极板410之间电性绝缘。

简而言之，这些基板300借由这些绝缘夹具220与框架模块210形成电性绝缘，因此当两个或两个以上的基板300碰触到电极板410时，电流会以电位最低位置行进，而不会通过这些基板300，可以避免传统的电路板20(请参考图1)因电流加热电路板20，而使得电路板20产生爆板的现象。

综上所述，由于本实用新型的绝缘夹具能使这些基板与框架模块间呈现电性绝缘状态，因此当两个或两个以上的基板碰触到电极板时，电流不会通过这些基板，相较于传统的，本实用新型可以避免这些基板与框架模块形成导电通路，进而避免这些基板因电流加热而产生爆板的现象。

虽然本实用新型已以实施例公开如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，故本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (7)

1.一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离子清洁室，用以清洁该些基板的表面，其特征在于，该等离子清洁室具有多个平行排列的电极板，该装载基板的运送车包括：

一框架模块，具有彼此相对的一上框架与一下框架；以及

多个绝缘夹具，配置于该框架模块上，并分别固定于该上框架与该下框架，用以夹持该些基板，并分别电性绝缘于该些基板与该些电极板之间。

2.根据权利要求1所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中各该绝缘夹具包括一固定部以及一连接于该固定部的夹持部，该些固定部分别固定于该上框架与该下框架，该些挟持部分别夹持该些基板的相对两侧缘。

3.根据权利要求1所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中该框架模块还包括一底板以及多个侧框架，该底板、该上框架与该下框架相互平行，该些侧框架垂直连接该底板、该上框架与该下框架。

4.根据权利要求3所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中该些侧框架、该上框架以及该下框架形成一容置空间，用以并排放置该些基板。

5.根据权利要求3所述的装载基板的运送车，其特征在于，还包括至少一驱动轮，设置于该底板上，用以顺利推动该装载基板的运送车。

6.根据权利要求1所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中该框架模块的材质为金属。

7.根据权利要求1所述的装载基板的运送车，其特征在于，其中该些绝缘夹具的材质包括陶瓷。

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