CN118159356A - 照射单元、灯单元、灯座 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于提供一种照射单元和灯单元，使灯的更换作业容易化而降低了损坏灯的风险。具备：灯单元，搭载有准分子灯，该准分子灯具有在第一方向上延伸的发光管、和在发光管的径向上相对地设置的第一电极和第二电极；及壳体，通过灯单元插入该壳体而收容所述准分子灯，灯单元具备：板材；限制构件，形成为从第一主面突出，并限制准分子灯在壳体内的移动；及供电部，在板材堵塞插入口的状态下，设置于位于壳体的外侧的板材的第二主面侧，并对准分子灯进行供电。
Description
技术领域
本发明涉及照射单元、搭载于照射单元的灯单元和搭载于照射单元的灯座。
背景技术
以往，已知对半导体晶圆或显示面板等照射紫外光来进行干洗的技术、对印刷物照射紫外光来进行油墨固化的技术。并且，已知有对配置于规定的位置的半导体晶圆照射紫外光的紫外光照射装置、对依次输送来的印刷物照射紫外光的紫外光照射装置等。例如，在下述专利文献1中，记载了用于印刷相关的油墨干燥、半导体相关的微细曝光、液晶相关的粘接剂固化等的紫外光照射装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2011-177625号公报
发明内容
发明所要解决的课题
近年来，紫外光照射装置为了能够对大型的工件(例如显示面板等)照射紫外光，有时会搭载全长超过1m的长尺寸的紫外线灯。
但是，长尺寸的紫外线灯非常重，操作性差，因此难以进行在宽度窄的通路中的搬运、在狭小的空间中的更换作业。因此，作业者在进行紫外线照射装置的维护作业时，有时会使紫外线灯碰到紫外光照射装置的壁面等，根据情况，有时会掉落到地板。特别是，在需要使身体潜入紫外光照射装置内进行作业的情况下、紫外光照射装置配置于作业场所的角落而未充分确保作业空间的情况下等，特别容易发生上述那样的课题。
因此，上述专利文献1提出了一种紫外光照射装置，为了使紫外线灯的更换作业容易化，利用被称为承载件的构件将紫外线灯从灯罩拉出，能够在灯罩的外侧更换紫外线灯。
但是，上述专利文献1所记载的紫外光照射装置在利用承载件取出和放入紫外线灯的工序之外，还需要将作为更换对象的旧的紫外线灯从钩上取下的工序、及使新的紫外线灯与钩卡合并利用防脱件进行固定的工序。
因此，在该结构的紫外光照射装置中，在更换紫外线灯时等，有时会使紫外线灯碰到灯罩的内壁面或钩而损坏紫外线灯。
本发明鉴于上述课题，其目的在于提供一种照射单元和灯单元，使灯的更换作业容易化而降低了损坏灯的风险。
用于解决课题的技术方案
本发明的照射单元的特征在于，具备：
长条状的准分子灯，在第一方向上延伸；
灯座，搭载所述准分子灯；
壳体，具有插入口，所述灯座从该插入口插入于所述壳体；
光取出部，设置于所述壳体，并将从搭载于所述灯座的所述准分子灯出射的紫外光取出到所述壳体的外侧；
板材，设置于所述灯座，并堵塞所述插入口；
限制构件，在所述板材堵塞所述插入口的状态下，形成为从所述板材的主面中的位于所述壳体的内侧的第一主面突出，并限制所述准分子灯在所述壳体内的移动；及
供电部，在所述板材堵塞所述插入口的状态下，设置于位于所述壳体的外侧的所述板材的第二主面侧，并对所述准分子灯进行供电。
准分子灯是具有在内侧封入有发光气体的发光管，并通过对电极间施加电压而出射与该放电气体相应的波长的光的电介质阻挡放电灯。准分子灯的形状存在具备圆筒状的发光管的被称为单层管形状或双层管形状的形状、以与管轴正交的平面切断时的截面形状呈矩形形状的被称为扁平管形状的形状等。搭载于本发明的照射单元的准分子灯可以是任一形状。
在本说明书中，所谓“电连接”，是指直接连接或经由金属板、引线、电阻元件、变压器这样的电路部件等间接连接而在各个构件之间形成能够通电的状态的情况。
在板材等不存在供人钩挂手指的部分等的情况下，插入到壳体的状态下的灯单元难以从壳体中拔出。因此，通过形成为上述结构，作业者或机器人能够通过从壳体拉出灯单元而将准分子灯从照射单元拆下。并且，搭载于灯单元的准分子灯的更换作业能够使灯单元移动到容易进行作业的空间来实施。
并且，在将更换了准分子灯的灯单元从壳体的插入口插入后，将配置于板材的第二主面侧、即壳体的外侧的供电部与电源装置连接，从而完成向照射单元的安装作业。
另外，准分子灯由设置于板材的一对限制构件支承两端部。因此，与把持准分子灯的一端进行作业的情况相比，发光管的重心接近作业者，操作性变得良好。
因此，上述结构的照射单元能够确保用于准分子灯的更换作业的足够宽的空间，并且不需要在壳体内频繁地移动准分子灯或进行位置的调整，因此在维护作业等中损坏准分子灯的风险降低。
在上述照射单元中，也可以是，
所述准分子灯具备：发光管，形成有彼此相对的平坦的一对外壁面；及第一电极和第二电极，在所述发光管的所述一对外壁面上以隔着所述发光管相对的方式形成。
半导体晶圆或显示面板的干洗大多利用分解油分等污垢的效果高的波长为100nm～200nm的紫外光。这样的波段的紫外光容易被空气中的氧吸收，能够在空气中传播的距离为几mm至几cm左右。因此，搭载于照射单元的准分子灯优选尽可能与照射对象物(以下称为“工件”)接近地配置。
上述结构的准分子灯从发光管的平坦面出射紫外光。因此，照射单元通过形成为上述结构，能够大范围地将准分子灯与作为板状的工件的半导体晶圆或显示面板等接近配置。即，上述结构的照射单元能够抑制紫外光对上述那样的板状工件的照射不均。
在上述照射单元中，也可以是，
所述限制构件具备：
基座构件，从所述板材的所述第一主面向作为所述第一主面的法线方向的所述第二方向突出；
第一支柱，从所述基座构件向与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向突出；
第二支柱，在比所述第一支柱远离所述板材的位置处，从所述基座构件向与所述第一支柱相同的方向突出；及
第一夹持构件和第二夹持构件，在所述第一支柱与所述第二支柱之间，夹持所述准分子灯的端部，
所述第二夹持构件以连接所述第一支柱与所述第二支柱的方式被固定。
而且，也可以是，所述照射单元具备：
通电构件，被夹持在所述第一夹持构件与所述准分子灯之间而与所述准分子灯所具备的一对电极中的一方即第一电极接触，且由金属材料形成；及
引线，将所述第二支柱与所述准分子灯的所述第一电极之外的第二电极电连接，且布线在形成于所述基座构件的槽或贯通孔的内侧，
所述第一夹持构件由陶瓷材料形成，所述第二夹持构件和所述第二支柱的至少一部分由金属材料形成，
当所述第一夹持构件和所述第二夹持构件以夹持所述准分子灯的状态被固定时，所述供电部中的一方即第一供电部与所述第一电极经由所述通电构件电连接，所述供电部的所述第一供电部之外的第二供电部与所述第二电极经由所述第二夹持构件、所述第二支柱及所述引线电连接。
通过形成为上述结构，灯单元仅通过利用第一夹持构件和第二夹持构件夹持准分子灯，并将第二夹持构件固定于各支柱，就完成了电极与供电部的连接。因此，不需要将准分子灯搭载于灯单元时的配线作业。
另外，根据上述结构，连接第二支柱与第二供电部的引线由几乎不导电的陶瓷材料保护，因此能够抑制动作时的漏电流、短路的发生。
在上述照射单元中，也可以是，
所述板材具备从所述第二主面突出的把手部。
根据上述结构，与未设置把手部的灯单元相比，作业者或机器人容易从壳体中拔出灯单元。
在上述照射单元中，也可以是，
所述照射单元具备：引导插入部，形成于所述壳体，且在作为所述第一主面的法线方向的第二方向上延伸；及引导构件，设置于所述板材，且在所述第二方向上延伸，通过插入于所述引导插入部来限制所述灯座的移动。
根据上述结构，由于利用引导构件和引导插入部，将灯单元引导成在壳体的规定的位置处向第二方向插入，因此，灯单元向与第二方向不同的方向偏移的可能性、误使壳体与准分子灯碰撞的可能性变得更低。即，进一步降低了损坏准分子灯的发光管的风险。
在上述照射单元中，也可以是，
所述壳体构成为，所述光取出部由透射从所述准分子灯出射的紫外光的材料覆盖，通过将所述灯座插入所述壳体并利用所述板材堵塞所述插入口，从而密闭所述壳体的内侧的空间。
通过形成为上述结构，照射单元能够在动作时使壳体内部被非活性气体充满，由此能够抑制从壳体内的准分子灯出射的紫外光被氧吸收的情况。因此，上述结构的照射单元能够更效率地对工件照射紫外光。
本发明的灯单元具备适用于上述照射单元的所述准分子灯和所述灯座。
另外，本发明的灯座是上述照射单元所具备的灯座。
发明效果
根据本发明，实现了使灯的更换作业容易化而降低了损坏灯的风险的照射单元和灯单元。
附图说明
图1是示意性地表示紫外光照射装置的一个实施方式的立体图。
图2是表示照射单元的结构的立体图。
图3是表示将灯单元向壳体插入的中途的状态的立体图。
图4是表示壳体的结构的立体图。
图5是表示灯单元的结构的立体图。
图6A是沿Y方向观察准分子灯时的图。
图6B是以YZ平面切断准分子灯时的剖视图。
图7是表示从灯单元取下准分子灯和限制构件后的状态的立体图。
图8是从X方向观察灯单元时的图。
图9是表示将限制构件分解后的状态的图。
图10A是图9的基座构件的周边的图。
图10B是图9的基座构件的周边的图。
图11是示意性地表示照射单元的其他实施方式所具备的灯单元的立体图。
图12是示意性地表示照射单元的其他实施方式所具备的灯单元的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的照射单元、灯单元和灯座进行说明。另外，以下的各附图均是示意性地图示的图，附图上的尺寸比和个数未必与实际的尺寸比和个数一致。
图1是示意地表示紫外光照射装置1的一个实施方式的立体图。如图1所示，紫外光照射装置1具备：输送路径2，作为被照射紫外光的对象的工件W1在该输送路径2中被输送；及照射单元10，对在输送路径2内被输送的工件W1的一个主面即照射面W1a照射紫外光。
另外，在图1中，为了便于图示，图示了主面呈长方形状的板状的工件W1，但由紫外光照射装置1照射紫外光的工件W1并不限于该形状的构件。具体而言，紫外光照射装置1也可以构成为对半导体晶圆、依次输送来的薄膜材料、印刷物等照射紫外光。
图2是表示照射单元10的结构的立体图，图3是表示为了构成照射单元10而将灯单元30向壳体20插入的中途的状态的立体图。并且，图4是表示壳体20的结构的立体图，图5是表示灯单元30的结构的立体图。另外，在图4中，为了容易确认壳体20的内侧的构造，后述的光取出部23未附加影线。
如图2和图3所示，照射单元10具备壳体20和灯单元30，如图3所示，照射单元10通过向壳体20插入灯单元30而构成。
在以下的说明中，将如图2所示那样从照射单元10出射紫外光L1的方向设为Z方向，将如图3所示那样灯单元30相对于壳体20插入的方向设为Y方向，将与Y方向和Z方向正交的方向设为X方向来进行说明。另外，X方向对应于“第一方向”，Y方向对应于“第二方向”，Z方向对应于“第三方向”。
另外，在表现方向时，在区别正负朝向的情况下，如“+Z方向”、“-Z方向”那样附加正负符号来记载，在不区别正负朝向地表现方向的情况下，仅记载为“Z方向”。
如图4所示，壳体20具备插入口21、引导插入部22和光取出部23。本实施方式中的光取出部23是被石英玻璃覆盖的出射窗。
另外，光取出部23也可以是除了石英玻璃以外，例如由氟化镁等透射真空紫外光的构件覆盖的出射窗。另外，在与将壳体20内密闭而用非活性气体充满相比，想要使搭载于灯单元30的准分子灯31与工件W1的距离更接近的情况下，光取出部23也可以是未被石英玻璃等覆盖的单纯的开口。
如图5所示，灯单元30具备准分子灯31、板材32、一对限制构件(33、33)、第一供电部34a、第二供电部34b、引导构件35和把手部36。另外，从构成灯单元30的构件中除去准分子灯31后的结构相当于灯座30a。
本实施方式中的准分子灯31构成为，利用形成为从板材32的第一主面32a向+Y方向突出的一对限制构件(33、33)支承两端部(31e、31e)，发光管31c的延伸方向沿着X方向。
图6A是沿Y方向观察准分子灯31时的图，图6B是以YZ平面切断准分子灯31时的剖视图。如图6B所示，准分子灯31的以YZ平面切断时的截面形状呈矩形形状，在Z方向(径向)上相对的发光管31c的平坦的外壁面31p上，形成有隔着发光管31c在Z方向上相对的一对电极(31b、31c)。另外，在本实施方式中，-Z侧的电极对应于第一电极31a，+Z侧的电极对应于第二电极31b。
并且，本实施方式中的准分子灯31在X方向上的长度为0.4m的发光管31c的内侧封入有含Xe的发光气体G1，通过对第一电极31a与第二电极31b之间施加电压，从而出射主要的发光波长为172nm的紫外光。这里的“主要的发光波长”是指在强度谱中显示出峰值的波长。
本实施方式中的灯单元30也可以搭载有与图6A和图6B所示的准分子灯31不同的形状的准分子灯，例如，可以搭载有如上所述的被称为单层管形状或双层管形状的形状的准分子灯。
另外，封入于发光管31c的发光气体G1也可以是不含Xe的气体，可以根据使用用途任意选择。另外，在照射单元10中，从能够对油分等污垢进行分解处理和生成臭氧的观点出发，准分子灯31出射的紫外光优选波长为150nm～200nm。
而且，如图6A和图6B所示，本实施方式的准分子灯31在发光管的内壁面31q上形成有由二氧化硅(SiO2)构成的反射膜31d，该反射膜31d使在发光管31c内产生并朝向-Z侧行进的紫外光反射成朝向+Z侧行进。在利用在发光管31c内产生并直接朝向+Z侧行进的紫外光能够充分进行所期望的处理的情况下，准分子灯31也可以不形成反射膜31d。
如图2所示，当灯单元30插入到壳体20时，板构件32堵塞壳体20的插入口21，密闭壳体20的内侧的空间。内部的空间被板材32密闭的壳体20在动作时填充有非活性气体(例如，氮气)。另外，如上所述，在光取出部23不被石英玻璃等覆盖而成为开口那样的情况下等，壳体20也可以不被板材32密闭。
如图5所示，第一供电部34a和第二供电部34b设置成在板材32的第二主面32b侧(-Y侧)对齐。如图2所示，当灯单元30插入到壳体20时，第一供电部34a和第二供电部34b分别与搭载于紫外光照射装置1的未图示的电源装置的高电压侧端子和低电压侧端子连接。另外，如图5所示，第一供电部34a和第二供电部34b可以构成为分别经由导线而位于板材32的-Y侧，也可以是设置成从板材32的第二主面32b向-Y侧突出的供电端子。
图7是表示从灯单元30取下准分子灯31和限制构件33后的状态的立体图，图8是从X侧观察灯单元30时的图。
如图7和图8所示，本实施方式中的引导构件35是设置成从板材32的第一主面32a向+Y方向突出的棒状的构件，并且在X方向上分离地设置有两个。并且，如图4所示，壳体20设置有在X方向上分离的两个引导插入部22。
通过将引导构件35插入于壳体20的引导插入部22的结构，如图3所示，灯单元30被引导到壳体20的规定的插入位置，并在X方向或Z方向上不摆动地在Y方向上笔直地插入。
另外，图4所示的引导插入部22的结构和图7所示的引导构件35的结构只是一例，引导构件35和引导插入部22的形状、设置的数量等是任意的。另外，例如，在壳体20构成得足够大，插入灯单元30时不存在准分子灯31与壳体20接触的可能的情况下，也可以不设置引导构件35和引导插入部22。
如图5所示，把手部36是设置成从板材32的第二主面32b向-Y方向突出的、长度为200mm的棒状的构件，是在使灯单元30相对于壳体20出入时由作业者用手握住的部分。把手部36的长度更优选为100mm～400mm，使得人容易握住且不碍事。
另外，把手部36也可以是压曲、弯曲成人容易握住的形状，还可以在一部分设置凸部或凹部以使人的手或手指容易钩挂。另外，例如，在为了从壳体20拉出灯单元30而在板材32形成有供人的手指钩挂的部分的情况下，也可以不设置把手部36。而且，把手部36也可以相对于壳体20能够装卸。
图9是表示将限制构件33分解后的状态的图。如图9所示，本实施方式中的限制构件33具备基座构件70、第一支柱71a、第二支柱71b、第一夹持构件72a和第二夹持构件72b。
基座构件70设置成从板材32的第一主面32a向+Y方向突出，并且以向+Z方向突出的方式设置有第一支柱71a。另外，基座构件70在比第一支柱71a靠+Y侧、即远离板材32的位置具备一部分向+Z方向延伸的第二支柱71b。
并且，限制构件33具备在第一支柱71a与第二支柱71b之间夹持准分子灯31的发光管31c的第一夹持构件72a和第二夹持构件72b。第一夹持构件72a和第二夹持构件72b通过在第一夹持构件72a载置准分子灯31的发光管31c的端部，且所述第二夹持构件72b与第一支柱71a和第二支柱71b螺纹固定，由此夹持并支承发光管31c。
在本实施方式中，基座构件70、第一支柱71a和第一夹持构件72a由作为绝缘性材料的陶瓷材料形成，第二支柱71b和第二夹持构件72b由金属材料形成。关于第二支柱71b和第二夹持构件72b，具体而言，第二支柱71b由铝形成，第二夹持构件72b由不锈钢形成。
另外，如图9所示，第一夹持构件72a搭载有在载置了发光管31c时与第一电极31a(在图9中未图示)接触的、由作为金属材料的铍铜形成的作为通电构件的板簧71c。
另外，本实施方式中的第二支柱71b整体由硬质耐酸铝形成，但也可以仅一部分由金属材料形成，使得在支承准分子灯31时，第二电极31b与第二供电部34b电连接。
图10A是图9的基座构件70的周边的图，图10B是从与图10A不同的角度观察时的图9的基座构件70的周边的图。另外，为了便于说明，图10A和图10B未图示第一夹持构件72a和第二夹持构件72b。另外，在图10B中，为了能够掌握来自第一供电部34a的通电路径，未图示第一夹持构件72a，仅假想地图示了板簧71c。
如图10A和图10B所示，在基座构件70形成有在内侧配置引线80a的槽70a。引线80a布线在基座构件70的槽70a内，将第二支柱71b与第二供电部34b电连接。在本实施方式的灯单元30中，如图10B所示，为了装置结构的方便，在第二供电部34b与引线80a之间连接有金属板80c。
即，通过由第一夹持构件72a和第二夹持构件72b夹持准分子灯31的发光管31c，第二支柱71b与第二夹持构件72b接触而电连接。另外，本实施方式中的基座构件70形成有用于插通引线80a的槽70a，但也可以形成用于插通引线80a的贯通孔。
板簧71c是将以作为金属材料的铍铜为材料的板材折弯而形成的构件，如图10B所示，经由引线80b与第一供电部34a电连接。
通过形成为上述结构，不需要灯单元30的安装后的准分子灯31的位置调整和壳体20内的复杂的配线连接作业。另外，与仅支承发光管31c的一端侧来进行作业的情况相比较，施加于准分子灯31的更换作业时的作业者和发光管31c自身的负荷变小。因此，使准分子灯31的更换作业容易化而降低了损坏准分子灯31的风险。
另外，如图1所示，本实施方式中的照射单元10在紫外光照射装置1中搭载于输送工件W1的输送路径2的下方，但例如也可以搭载于工件W1的输送路径2的上方。
[其他实施方式]
以下，对其他实施方式进行说明。
〈1〉图11是示意性地表示照射单元10的其他实施方式所具备的灯单元30的立体图。如图11所示，灯单元30也可以是如下结构：限制构件33具备把持部33a，并从板材32的第一主面32a向Y方向突出，把持准分子灯31的发光管31c的两端部(31e、31e)。另外，在该结构的情况下，把持部33a由陶瓷材料等绝缘性构件构成，准分子灯31的各电极(32a、32b)与各供电部(34a、34b)经由在限制构件33之外设置的未图示的导线或金属板等电连接。
上述结构可以在施加于准分子灯的电压比较低，即使壳体20内的配线稍微偏移，在配线管中也不会产生漏电流等的情况下采用。
〈2〉图12是示意性地表示照射单元10的其他实施方式所具备的灯单元30的立体图。如图12所示，灯单元30也可搭载有多个准分子灯31。另外，在该结构的情况下，灯单元30例如如图12所示，具备根据要搭载的准分子灯31的宽度而调整了基座构件70的长度的限制构件33。
在图12所示的结构中，设置有用于连接未图示的板簧71c的导线80d，该板簧71c搭载于相对于各准分子灯31而设置的第一夹持构件72a。另外，第二夹持构件72b分别与对应的第二支柱71b连接，各第二支柱71b通过在基座构件70的内侧布线的引线(未图示)连接。
〈3〉上述的照射单元10、灯单元30和灯座30a所具备的结构仅为一例，本发明并不限定于图示的各结构。
标号说明
1：紫外光照射装置，
2：输送路径，
10：照射单元，
20：壳体，
21：插入口，
22：引导插入部，
23：光取出部，
30：灯单元，
30a：灯座，
31：准分子灯，
31a：第一电极，
31b：第二电极，
31c：发光管，
31d：反射膜，
31e：端部，
31p：外壁面，
31q：内壁面，
32：板材，
32a：第一主面，
32b：第二主面，
33：限制构件，
33a：把持部，
34a：第一供电部，
34b：第二供电部，
35：引导构件，
36：把手部，
70：基座构件，
70a：槽，
71a：第一支柱，
71b：第二支柱，
71c：板簧，
72a：第一夹持构件，
72b：第二夹持构件，
80a、80b、80d：引线，
80c：金属板，
G1：发光气体，
L1：紫外光，
W1：工件，
W1a：照射面。
Claims (9)
1.一种照射单元，其特征在于，具备：
长条状的准分子灯，在第一方向上延伸；
灯座，搭载所述准分子灯；
壳体，具有插入口，所述灯座从该插入口插入于所述壳体；
光取出部，设置于所述壳体，并将从搭载于所述灯座的所述准分子灯出射的紫外光取出到所述壳体的外侧；
板材，设置于所述灯座，并堵塞所述插入口；
限制构件，在所述板材堵塞所述插入口的状态下，形成为从所述板材的主面中的位于所述壳体的内侧的第一主面突出，并限制所述准分子灯在所述壳体内的移动；及
供电部，在所述板材堵塞所述插入口的状态下，设置于位于所述壳体的外侧的所述板材的第二主面侧，并对所述准分子灯进行供电。
2.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
所述准分子灯具备：发光管，形成有彼此相对的平坦的一对外壁面；及第一电极和第二电极，在所述发光管的所述一对外壁面上以隔着所述发光管相对的方式形成。
3.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
所述限制构件具备：
基座构件，从所述板材的所述第一主面向作为所述第一主面的法线方向的第二方向突出；
第一支柱，从所述基座构件向与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向突出；
第二支柱，在比所述第一支柱远离所述板材的位置处，从所述基座构件向与所述第一支柱相同的方向突出；及
第一夹持构件和第二夹持构件，在所述第一支柱与所述第二支柱之间，夹持所述准分子灯的端部，
所述第二夹持构件以连接所述第一支柱与所述第二支柱的方式被固定。
4.根据权利要求3所述的照射单元，其特征在于，
所述照射单元具备：
通电构件，被夹持在所述第一夹持构件与所述准分子灯之间而与所述准分子灯所具备的一对电极中的一方即第一电极接触，且由金属材料形成；及
引线，将所述第二支柱与所述准分子灯的所述第一电极之外的第二电极电连接，且布线在形成于所述基座构件的槽或贯通孔的内侧，
所述第一夹持构件由陶瓷材料形成，所述第二夹持构件和所述第二支柱的至少一部分由金属材料形成，
当所述第一夹持构件和所述第二夹持构件以夹持所述准分子灯的状态被固定时，所述供电部中的一方即第一供电部与所述第一电极经由所述通电构件电连接，所述供电部的所述第一供电部之外的第二供电部与所述第二电极经由所述第二夹持构件、所述第二支柱及所述引线电连接。
5.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
所述板材具备从所述第二主面突出的把手部。
6.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
所述照射单元具备：引导插入部，形成于所述壳体，且在作为所述第一主面的法线方向的第二方向上延伸；及引导构件，设置于所述板材且在所述第二方向上延伸，通过插入于所述引导插入部来限制所述灯座的移动。
7.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
所述壳体的所述光取出部由透射从所述准分子灯出射的紫外光的材料覆盖，通过将所述灯座插入所述壳体并利用所述板材堵塞所述插入口，从而密闭所述壳体的内侧的空间。
8.一种灯单元，具备权利要求1至7中任一项所述的照射单元所具有的所述准分子灯和所述灯座。
9.一种灯座，由权利要求1至7中任一项所述的照射单元具备。
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